JPWO2024134748A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2024134748A5
JPWO2024134748A5 JP2024565427A JP2024565427A JPWO2024134748A5 JP WO2024134748 A5 JPWO2024134748 A5 JP WO2024134748A5 JP 2024565427 A JP2024565427 A JP 2024565427A JP 2024565427 A JP2024565427 A JP 2024565427A JP WO2024134748 A5 JPWO2024134748 A5 JP WO2024134748A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
contact surface
transport
unit
clamp member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2024565427A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2024134748A1 (https=
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/JP2022/046795 external-priority patent/WO2024134748A1/ja
Publication of JPWO2024134748A1 publication Critical patent/JPWO2024134748A1/ja
Publication of JPWO2024134748A5 publication Critical patent/JPWO2024134748A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2024565427A 2022-12-20 2022-12-20 Pending JPWO2024134748A1 (https=)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2022/046795 WO2024134748A1 (ja) 2022-12-20 2022-12-20 基板搬送装置、部品実装機および基板搬送方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2024134748A1 JPWO2024134748A1 (https=) 2024-06-27
JPWO2024134748A5 true JPWO2024134748A5 (https=) 2025-06-10

Family

ID=91588123

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2024565427A Pending JPWO2024134748A1 (https=) 2022-12-20 2022-12-20

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPWO2024134748A1 (https=)
DE (1) DE112022007819T5 (https=)
WO (1) WO2024134748A1 (https=)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2026069477A1 (ja) * 2024-09-25 2026-04-02 ヤマハ発動機株式会社 バックアップピン配置支援装置、半田印刷機、バックアップピン配置支援方法、バックアップピン配置支援プログラムおよび記録媒体

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH073920B2 (ja) * 1987-09-08 1995-01-18 三洋電機株式会社 プリント基板位置決め装置
JPH10139091A (ja) * 1996-11-11 1998-05-26 Dainichi Shoji Kk 基板用カセットにおけるサイドレール
JP4995977B2 (ja) * 2011-02-09 2012-08-08 富士機械製造株式会社 基板保持装置
JP2014232802A (ja) * 2013-05-29 2014-12-11 京セラ株式会社 部品吸着装置およびそれに用いる吸着ノズル
JP2019140353A (ja) * 2018-02-15 2019-08-22 京セラ株式会社 バックアップピン、バックアップピン組み立て体および部品実装機
JP7116195B2 (ja) * 2019-01-22 2022-08-09 株式会社Fuji 搬送装置
JP7430107B2 (ja) * 2020-04-24 2024-02-09 ヤマハ発動機株式会社 基板作業システム、基板作業ライン用の電源スイッチおよび基板作業ラインの電源管理方法。
JP7386754B2 (ja) * 2020-05-13 2023-11-27 株式会社Fuji 部品実装機

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4467720B2 (ja) 基板搬送装置
JP7240497B2 (ja) 電荷散逸コーティングを施した静電チャック
JP4489904B2 (ja) 真空処理装置及び基板保持方法
US7204888B2 (en) Lift pin assembly for substrate processing
JP6440587B2 (ja) 吸着プレート、半導体装置の試験装置および半導体装置の試験方法
CN105358323B (zh) 丝网印刷方法及丝网印刷装置
CN109727900B (zh) 基板传送机械手终端受动器
TW201526153A (zh) 具有經減少基板粒子產生的基板支持設備
JPWO2024134748A5 (https=)
CN111373523A (zh) 基板保持装置、基板保持方法和成膜装置
JP2001223252A (ja) ロボットの吸着レスハンド
CN116288224B (zh) 一种等离子体设备
JP4509811B2 (ja) 検査治具
CN219526778U (zh) 片材用支撑装置以及等离子体设备
CN209496107U (zh) 一种pcb电路板检测用治具
WO2024134748A1 (ja) 基板搬送装置、部品実装機および基板搬送方法
KR101414136B1 (ko) 기판 반송 장치
CN213426578U (zh) Fpc板定位载具
US20100119350A1 (en) Clamping apparatus including movable gripper and a semiconductor device fabrication process using the same
TWI894538B (zh) 靜電放電保護工具及工裝塊及印刷機以及保護工件免受靜電放電的方法
WO2017110467A1 (ja) 基板吸着装置
KR101340309B1 (ko) 플라즈마 처리장치의 리프트 핀
JP2004176161A (ja) めっき治具
EP3884514B1 (en) End effector for slab formed substrates
JP2025503298A5 (https=)