JPWO2022196386A5 - - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 17
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 25
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Description
前記トーナメント状接続流路の各ガス導入口には、一又は複数の前記流体制御ユニットが直接に、又は、複数の前記流体制御ユニットが当該流体制御ユニットの下流側を互いに流体接続する合流配管を介して接続されている。
前記トーナメント状接続流路Ｔは、
前記流体制御ユニットＡ１～Ｈ６にそれぞれ接続可能な導入口ＴＣを有する２Ｎ本の第１段部分流路Ｔ１（Ｎは２以上の整数）と、
第ｋ―１段部分流路Ｔｋ－１が(ｋは２からＮまでの整数)、２本ずつ合流して形成される第ｋ段部分流路Ｔｋと、
第Ｎ段部分流路ＴＮが合流して形成され、ガスを外部へ導出する導出口ＴＯを有する１本の第Ｎ＋１段部分流路ＴＮ＋１と、を含む、
Ｎ＋１段の部分流路を有するトーナメント状の流路である。
また、トーナメント状接続流路Ｔの各導入口ＴＣから導出口ＴＯまでの流路長（又は内容積）が互いに（実質的に）等しく形成されている。
この構成は、例えば、段ごとに全ての部分流路Ｔｋ（ｋは１からＮまでの整数）の流路長を（実質的に）等しくし、流路を同一内径で形成することにより実現できる。
本実施形態のトーナメント状接続流路Ｔは、Ｎ＝３の例であり、８本の第１段部分流路Ｔ１と、この第１段部分流路Ｔ１が２本ずつ合流部Ｕ１で合流して形成された４本の第２段部分流路Ｔ２と、この第２段部分流路Ｔ２が２本ずつ合流部Ｕ２で合流して形成された２本の第３段部分流路Ｔ３と、この２本の第３段部分流路Ｔ３合流部がＵ３で合流して形成された１本の第４段部分流路Ｔ４とを含む。
各部分流路Ｔ１～Ｔ４は、配管で形成してもよく、マニホールドや流路ブロックで構成してもよい。また、段ごとに全ての部分流路の流路径が等しいことが好ましい。
前記流体制御ユニットＡ１～Ｈ６にそれぞれ接続可能な導入口ＴＣを有する２Ｎ本の第１段部分流路Ｔ１（Ｎは２以上の整数）と、
第ｋ―１段部分流路Ｔｋ－１が(ｋは２からＮまでの整数)、２本ずつ合流して形成される第ｋ段部分流路Ｔｋと、
第Ｎ段部分流路ＴＮが合流して形成され、ガスを外部へ導出する導出口ＴＯを有する１本の第Ｎ＋１段部分流路ＴＮ＋１と、を含む、
Ｎ＋１段の部分流路を有するトーナメント状の流路である。
また、トーナメント状接続流路Ｔの各導入口ＴＣから導出口ＴＯまでの流路長（又は内容積）が互いに（実質的に）等しく形成されている。
この構成は、例えば、段ごとに全ての部分流路Ｔｋ（ｋは１からＮまでの整数）の流路長を（実質的に）等しくし、流路を同一内径で形成することにより実現できる。
本実施形態のトーナメント状接続流路Ｔは、Ｎ＝３の例であり、８本の第１段部分流路Ｔ１と、この第１段部分流路Ｔ１が２本ずつ合流部Ｕ１で合流して形成された４本の第２段部分流路Ｔ２と、この第２段部分流路Ｔ２が２本ずつ合流部Ｕ２で合流して形成された２本の第３段部分流路Ｔ３と、この２本の第３段部分流路Ｔ３合流部がＵ３で合流して形成された１本の第４段部分流路Ｔ４とを含む。
各部分流路Ｔ１～Ｔ４は、配管で形成してもよく、マニホールドや流路ブロックで構成してもよい。また、段ごとに全ての部分流路の流路径が等しいことが好ましい。
Claims (7)
- 上流から下流へ向かうガスが流通する流路と、当該流路の中途に設けられ当該流路を流通するガスの流れを制御する流体制御機器とをそれぞれ含む複数の流体制御ユニットと、
前記複数の流体制御ユニットと流体接続される複数の接続部と、前記複数の接続部を通じて導入されたガスを導出する単一のガス導出部と、を含む合流流路と、を有し、
前記複数の接続部は、前記合流流路の流路方向において前記ガス導出部に対して対称的に配置され、かつ、前記複数の接続部の各々には、２以上の前記流体制御ユニットが流体接続されている、ガス供給装置。 - 前記複数の接続部は、前記合流流路の流路方向において、前記ガス導出部の一方側および他方側にそれぞれ複数かつ同数設けられている、請求項１に記載のガス供給装置。
- 前記合流流路は、前記ガス導出部の両側近傍にそれぞれ設けられた開閉バルブを有し、各当該開閉バルブの上流側を他の部分から遮断できるように構成されている、請求項１又は２に記載のガス供給装置。
- 上流から下流へ向かうガスが流通する流路と、当該流路の中途に設けられ当該流路を流通するガスの流れを制御する流体制御機器とをそれぞれ含む複数の流体制御ユニットと、
前記複数の流体制御ユニットと流体接続され、当該複数の流体制御ユニットから導出されるガスを導入し、トーナメント状に合流させて外部へ導出するトーナメント状接続流路とを有するガス供給装置であって、
前記トーナメント状接続流路は、
前記流体制御ユニットにそれぞれ接続可能な導入口を有する２Ｎ本の第１段部分流路（Ｎは２以上の整数）と、
第ｋ―１段部分流路が(ｋは２からＮまでの整数)、２本ずつ合流して形成される第ｋ段部分流路と、
第Ｎ段部分流路が合流して形成され、前記ガスを外部へ導出する導出口を有する１本の第Ｎ＋１段部分流路と、を含む、
Ｎ＋１段の部分流路を有するトーナメント状の流路であり、
前記トーナメント状接続流路の各前記導入口から前記導出口までの流路長又は内容積が互いに等しい又は実質的に等しい、ガス供給装置。 - 前記トーナメント状接続流路の各ガス導入口には、一又は複数の前記流体制御ユニットが直接に、又は、複数の前記流体制御ユニットが当該流体制御ユニットの下流側を互いに流体接続する合流配管を介して接続されている、請求項４に記載のガス供給装置。
- 前記トーナメント状接続流路は、前記第ｋ段部分流路（ｋは１からＮまでの整数）が２本ずつ合流する箇所の上流側近傍にそれぞれ設けられた開閉バルブを有し、各当該開閉バルブの上流側を他の部分から遮断できるように構成されている、請求項４又は５に記載のガス供給装置。
- 密閉されたプロセスチャンバ内においてプロセスガスによる処理工程を要する半導体装置の製造プロセスにおいて、前記プロセスガスの供給制御に請求項１ないし６のいずれかに記載のガス供給装置を用いた半導体製造装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021045537 | 2021-03-19 | ||
| PCT/JP2022/009314 WO2022196386A1 (ja) | 2021-03-19 | 2022-03-04 | ガス供給装置および半導体製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2022196386A1 JPWO2022196386A1 (ja) | 2022-09-22 |
| JPWO2022196386A5 true JPWO2022196386A5 (ja) | 2023-10-24 |
Family
ID=83320337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023506965A Pending JPWO2022196386A1 (ja) | 2021-03-19 | 2022-03-04 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20240242976A1 (ja) |
| JP (1) | JPWO2022196386A1 (ja) |
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| CN (1) | CN116997993A (ja) |
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| WO (1) | WO2022196386A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP3360539B2 (ja) * | 1996-07-12 | 2002-12-24 | 信越半導体株式会社 | ガス供給装置及び気相成長用設備 |
| KR101466998B1 (ko) * | 2006-08-23 | 2014-12-01 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 집적형 가스 패널 장치 |
| JP2018098387A (ja) | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
| KR102162072B1 (ko) | 2018-07-18 | 2020-10-06 | 주식회사 프리티 | 시술 포트폴리오 중개 시스템 및 방법 |
-
2022
- 2022-03-04 WO PCT/JP2022/009314 patent/WO2022196386A1/ja active Application Filing
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- 2022-03-04 JP JP2023506965A patent/JPWO2022196386A1/ja active Pending
- 2022-03-17 TW TW111109730A patent/TW202242960A/zh unknown
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