JPWO2022153672A5 - - Google Patents

Description

さらに、本発明の別の局面によれば、
ワークに対して斜めに入射する光を放射する複数の光照射ユニットを有する光源と、
前記光源からの前記光を受け、透過させた前記光を前記ワークに照射する偏光素子とを備えており、
前記各光照射ユニットは、それぞれ、ＬＥＤと、前記ＬＥＤが取り付けられるヒートシンクとを有しており、
前記偏光素子に向かい、別の前記光照射ユニットから放射されて前記偏光素子の表面で反射した光が当たる前記ヒートシンクの面と、前記偏光素子の前記表面とが成す角度は、９０°－（α／２）以上（ただし、９０°の場合を除く。）であることを特徴とする
光照射装置が提供される。
なお、ここで「α」は、別の前記光照射ユニットから放射される前記光のうち、前記光照射ユニットの光軸と最も大きな角度を有する光と、前記偏光素子の前記表面とが成す角度をいう。

Claims (4)

1. ワークに対して斜めに入射する光を放射する複数の光照射ユニットを有する光源と、
   前記光源からの前記光を受け、透過させた前記光を前記ワークに照射する偏光素子とを備えており、
   前記各光照射ユニットは、それぞれ、ＬＥＤと、前記ＬＥＤが取り付けられるヒートシンクとを有しており、
   前記偏光素子に向かい、別の前記光照射ユニットから放射されて前記偏光素子の表面で反射した光が当たる前記ヒートシンクの面には、光反射防止処理が施されていることを特徴とする
   光照射装置。
2. ワークに対して斜めに入射する光を放射する複数の光照射ユニットを有する光源と、
   前記光源からの前記光を受け、透過させた前記光を前記ワークに照射する偏光素子とを備えており、
   前記各光照射ユニットは、それぞれ、ＬＥＤと、前記ＬＥＤが取り付けられるヒートシンクとを有しており、
   前記偏光素子に向かい、別の前記光照射ユニットから放射されて前記偏光素子の表面で反射した光が当たる前記ヒートシンクの面には、表面に光反射防止処理が施された遮光板が配置されている
   光照射装置。
3. ワークに対して斜めに入射する光を放射する複数の光照射ユニットを有する光源と、
   前記光源からの前記光を受け、透過させた前記光を前記ワークに照射する偏光素子とを備えており、
   前記各光照射ユニットは、それぞれ、ＬＥＤと、前記ＬＥＤが取り付けられるヒートシンクとを有しており、
   前記偏光素子に向かい、別の前記光照射ユニットから放射されて前記偏光素子の表面で反射した光が当たる前記ヒートシンクの面と、前記偏光素子の前記表面とが成す角度は、９０°－（α／２）以上（ただし、９０°の場合を除く。）であることを特徴とする
   光照射装置。
   「α」は、別の前記光照射ユニットから放射される前記光のうち、前記光照射ユニットの光軸と最も大きな角度を有する光と、前記偏光素子の前記表面とが成す角度をいう。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載の光照射装置を備える露光装置。