JPWO2022102153A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 試料の構成元素を分析する蛍光Ｘ線分析装置であって、
   開口部が形成され、前記開口部から露出するように前記試料が載置される試料台と、
   前記試料台の下方から前記開口部を通して前記試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、
   前記試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、
   前記蛍光Ｘ線に基づいて前記構成元素を分析する分析部と、
   前記試料のうち前記開口部から露出する表面の高さを計測する計測装置と、
   前記計測装置によって計測された高さと前記試料台の上面の高さとの高度差が許容範囲内であるか否かを判定する判定部と、
   前記判定部の判定結果を通知する通知部と、を備える蛍光Ｘ線分析装置。
2. 前記通知部は、前記高度差が前記許容範囲外であると判定されたことに応じて、試料の位置が適切でないことを示す警告を通知する、請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
3. 前記通知部は、前記高度差が前記許容範囲外である状態において前記分析部が前記構成元素を分析したことに応じて、前記高度差が前記許容範囲外であることを示す情報を前記分析部の分析結果に付加する、請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
4. 前記高度差が前記許容範囲外であると判定されたことに応じて、前記上面に沿って前記試料を移動させる移動機構をさらに備える、請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
5. 前記計測装置はレーザ距離計である、請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
6. 前記計測装置は、
   前記開口部に照明光を照射する照明部と、
   前記開口部を撮像する撮像部と、
   前記撮像部の撮像によって得られる画像から三次元画像を生成し、前記三次元画像を用いて前記表面の高さを演算する画像処理部と、を含む、請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。