JPWO2022097328A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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FI131276B1 (en) * 2023-07-17 2025-01-22 Kyocera Tech Oy IMPLEMENTATIONS TO SILICON

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4086023B2 (ja) * 2003-12-04 2008-05-14 セイコーエプソン株式会社 マイクロメカニカル静電振動子
JP4458203B2 (ja) * 2007-12-06 2010-04-28 株式会社村田製作所 圧電振動部品
CN102792168B (zh) * 2010-03-09 2014-04-30 阿尔卑斯电气株式会社 Mems传感器
JP6163832B2 (ja) * 2013-03-29 2017-07-19 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動片の製造方法、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP2017130823A (ja) * 2016-01-21 2017-07-27 京セラ株式会社 圧電発振器及びその製造方法
WO2018008198A1 (ja) * 2016-07-05 2018-01-11 株式会社村田製作所 共振子及び共振装置
WO2019111740A1 (ja) * 2017-12-06 2019-06-13 株式会社村田製作所 電子部品
CN111683896B (zh) * 2018-02-09 2023-11-10 株式会社村田制作所 Mems设备
WO2019159410A1 (ja) * 2018-02-14 2019-08-22 株式会社村田製作所 共振装置及び共振装置製造方法
CN112335178B (zh) * 2018-08-02 2024-02-13 株式会社村田制作所 Mems设备
JP7047922B2 (ja) * 2018-09-04 2022-04-05 株式会社村田製作所 Memsデバイスの製造方法及びmemsデバイス
CN112689957B (zh) * 2018-09-28 2024-05-14 株式会社村田制作所 共振装置和共振装置的制造方法
CN112740550B (zh) * 2018-10-24 2024-03-22 株式会社村田制作所 谐振装置
CN113491069B (zh) * 2019-03-26 2024-05-28 株式会社村田制作所 谐振装置和谐振装置制造方法
CN113632375A (zh) * 2019-06-19 2021-11-09 株式会社村田制作所 谐振装置以及谐振装置制造方法
JP7154487B2 (ja) * 2019-09-05 2022-10-18 株式会社村田製作所 パッケージ構造及びその製造方法

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