JPWO2022059070A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. ２以上のプローブと、
   前記プローブがそれぞれ挿通される２以上の第１ガイド孔を有する第１ガイド板と、を備え、
   前記プローブは、前記第１ガイド板に対し傾斜するように配置され、前記第１ガイド板よりも上方の側面であって、前記第１ガイド板に対する角度が鋭角となる第１方向側の側面を突出させた係止部と、前記第１ガイド板に対する角度が鈍角となる第２方向側の側面を前記係止部側へオフセットさせた凹部とを有し、
   一方の前記プローブの前記係止部は、隣接する他方の前記プローブの前記凹部と対向しており、前記プローブの中心軸上において、前記凹部の下面は、前記係止部の下面よりも下方に形成されるとともに、前記凹部の上面の最外縁は、前記係止部の上面の最外縁よりも上方に形成されることを特徴とするプローブカード。
2. 前記凹部の上面は、上方に行くほどオフセット量が減少するように前記プローブの中心軸に対し傾斜していることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
3. 前記第１ガイド板の下方に配置され、前記プローブがそれぞれ挿通される２以上の第２ガイド孔を有する第２ガイド板をさらに備え、
   前記第１ガイド孔及び前記第２ガイド孔は、前記プローブが傾斜する方向に相対的にオフセットさせた位置に配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブカード。