JPWO2021160377A5

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Publication number: JPWO2021160377A5
Application number: JP2022548816A
Authority: JP
Publication date: 2023-08-31

Description

ガス導通ライン４４の先端１８には、吸込口４０を形成するようにオリフィスが設置されている。センサ４６は、ポンプ３６の真空側のポンプ３６近傍、すなわち、真空ポンプ３６の低圧吸入口４２付近に配置されている。結果として、生信号の最大微分として測定される測定信号が測定レンジに亘って維持されるほか、信号応答が高速になり、測定対象ガスの短いパルスに対する精度が向上する。
なお本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
〔態様１〕
手持ち式吸込みプローブ（３０）と、
真空ポンプ（３６）と、
前記吸込みプローブ（３０）と前記真空ポンプ（３６）とを接続するガス導通ライン（４４）と、
リーク検知中に、前記吸込みプローブ（３０）で吸引されるガス流内のトレーサガス成分を直接かつ一斉に分析する、固体半導体型のガスセンサ（４６）と、
を備え、
前記ガスセンサ（４６）は、前記ガス導通ライン（４４）の第１部位（５４）が該ガスセンサ（４６）から前記吸込みプローブ（３０）まで延び、前記ガス導通ライン（４４）の第２部位（５２）が該ガスセンサ（４６）から前記真空ポンプ（３６）まで延びる形で、前記ガス導通ライン（４４）に接続されており、
前記吸込みプローブ（３０）は、前記ガス導通ライン（４４）への吸込口を形成するオリフィスを具備し、
前記ガス導通ライン（４４）の前記第２部位（５２）が前記ガスセンサ（４６）と前記真空ポンプ（３６）の低圧吸入口（４２）を接続する一方で、前記真空ポンプ（３６）の吐出口（５６）は外気に繋がっている、ガスリーク検知器において、
前記ガスセンサ（４６）は、前記真空ポンプ（３６）の位置に、前記ガス導通ライン（４４）の前記第１部位（５４）の長さが前記ガス導通ライン（４４）の前記第２部位（５２）の長さよりも大きくなる形で配置されており、前記ガス導通ライン（４４）の前記第２部位（５２）が前記ガスセンサ（４６）と前記真空ポンプ（３６）の低圧吸入口（４２）を接続する一方で、前記真空ポンプ（３６）の吐出口（５６）は外気に繋がっていることを特徴とする、ガスリーク検知器。
〔態様２〕
態様１に記載のガスリーク検知器において、前記真空ポンプ（３６）および前記ガスセンサ（４６）が、前記吸込みプローブ（３０）から離間する位置にある共通の筐体（３２）内に配置されており、前記ガス導通ライン（４４）によって前記吸込みプローブ（３０）と接続されている、ガスリーク検知器。
〔態様３〕
態様１または２に記載のガスリーク検知器において、前記真空ポンプ（３６）が、外気圧よりも低い（好ましくは約５０～約２５０ｍｂａｒの）圧力を生成するように構成されており、前記センサが、前記真空ポンプ（３６）によって生成された、前記外気圧よりも低い圧力で動作するように構成されている、ガスリーク検知器。
〔態様４〕
態様１から３のいずれか一態様に記載のガスリーク検知器において、前記ガス導通ライン（４４）の全長が約１０メートル未満、好ましくは約５メートル未満であり、かつ／あるいは、前記ガス導通ライン（４４）の吸引内径が約５ｍｍ未満、好ましくは約３ｍｍ未満である、ガスリーク検知器。
〔態様５〕
態様１から４のいずれか一態様に記載のガスリーク検知器において、前記ガスセンサ（４６）が、固体半導体金属酸化物センサ又は酸化スズ（ＳｎＯ _２）センサである、ガスリーク検知器。
〔態様６〕
態様１から５のいずれか一態様に記載のガスリーク検知器において、前記ガスセンサが、水素センサである、ガスリーク検知器。
〔態様７〕
態様１から６のいずれか一態様に記載のガスリーク検知器において、前記ガス導通ライン（４４）の、前記真空ポンプの吸入口（４２）と前記ガスセンサ（４６）との間の前記第２部位（５２）の長さが、約１メートル未満、好ましくは約５０ｃｍ未満である、ガスリーク検知器。
〔態様８〕
態様１から７のいずれか一態様に記載のガスリーク検知器において、前記真空ポンプ（３６）、前記ガス導通ライン（４４）および前記オリフィスが、前記吸込口（４０）から約２０～３０００ｓｃｃｍの吸込みガス体積流を生成するように構成されている、ガスリーク検知器。
〔態様９〕
態様１から８のいずれか一態様に記載のガスリーク検知器を用いた、ガスリーク検知の方法であって、前記真空ポンプ（３６）を、４００ｍｂａｒ未満の吸入圧を生成するように作動させ、リーク検知中に、前記吸込口（４０）から連続的又は周期的に吸引される４００ｍｂａｒ未満の圧力のガス流内のトレーサガス成分を、前記ガスセンサ（４６）で直接分析する、方法。
〔態様１０〕
態様９に記載の方法において、前記吸込口（４０）から前記ガス導通ライン（４４）を通過する、約２０～約３０００ｓｃｃｍのガス流を生成するように、前記真空ポンプ（３６）を作動させる、方法。
〔態様１１〕
態様９または１０に記載の方法において、前記ガスセンサ（４６）が、前記吸込口（４０）から吸引されたガス流について、ガス流から分離された成分ではなく、ガス流全体を分析する、方法。