JPWO2021015068A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 側面同士の一部以上が接している複数の柱状部を有する柱状構造体であって、
   前記柱状部が、異なる無機化合物層が重なった積層部を備える、電極を構成する柱状構造体。
2. 請求項１において、
   前記無機化合物層が、金属酸化物層、金属窒化物層、および金属炭化物層の一種以上である柱状構造体。
3. 請求項１または２において、
   前記積層部の積層方向が異なっている二以上の隣接する前記柱状部を備える柱状構造体。
4. 請求項１から３のいずれかにおいて、
   前記柱状部の幅が１０ｎｍ～１００ｎｍである柱状構造体。
5. 請求項１から４のいずれかにおいて、
   前記無機化合物層の厚さが１ｎｍ～１０ｎｍである柱状構造体。
6. 請求項１から５のいずれかにおいて、
   前記積層部の積層方向が、前記柱状部の高さ方向と異なっている柱状構造体。
7. 請求項１から６のいずれかにおいて、
   前記積層部が、二種類以上の金属酸化物層から構成されている柱状構造体。
8. 請求項７において、
   前記二種類以上の金属酸化物層の一つが、（Ｃｅ，Ｇｄ）Ｏ_２層、（Ｌａ，Ｓｒ）ＣｏＯ_３層、または（Ｌａ，Ｓｒ）（Ｃｏ，Ｆｅ）Ｏ_３層である柱状構造体。
9. 請求項７において、
   前記二種類以上の金属酸化物層のうちの二種類の金属酸化物層の一方が（Ｃｅ，Ｇｄ）Ｏ_２層で、前記二種類以上の金属酸化物層のうちの前記二種類の金属酸化物層の他方が（Ｌａ，Ｓｒ）ＣｏＯ_３層または（Ｌａ，Ｓｒ）（Ｃｏ，Ｆｅ）Ｏ_３層である柱状構造体。
10. 多結晶基材と、
    前記多結晶基材上に設けられた請求項１から９のいずれかの柱状構造体と、
    を有する複合構造体。
11. 請求項１から９のいずれかの柱状構造体を含有する電極用部材と、
    前記電極用部材上に設けられた多孔質の集電層と、
    を有する電極。
12. 請求項１１において、
    前記集電層が、前記柱状構造体の一部の柱状部の上に設けられた複数の柱状体と、前記複数の柱状体の間に形成された空隙を備える電極。
13. 請求項１０の複合構造体を製造する複合構造体の製造方法であって、
    パルスレーザー蒸着法を用いて、前記多結晶基材上に、前記異なる金属酸化物層を同時に製膜する工程を有する複合構造体の製造方法。