JPWO2020213264A1 - 切削工具 - Google Patents
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Abstract
Description
したがって、刃先の摩耗及び欠けを抑制することが切削工具の寿命を向上させる上で重要である。
逃げ面を含む基材と、上記逃げ面を被覆する被覆層とを備える切削工具であって、
上記被覆層は、マトリックス領域と金属微粒子とを含み、
上記マトリックス領域は、(AlxTiyX1−x−y)CvOwN1−v−wで表される化合物からなり、
xは、0.5を超えて0.7以下であり、
yは、0.3以上0.5未満であり、
1−x−yは、0以上0.1以下であり、
vは、0以上1以下であり、
wは、0以上1以下であり、
1−v−wは、0以上1以下であり、
Xは、クロム、ケイ素、ニオブ、タンタル、タングステン及びホウ素からなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を示し、
上記金属微粒子は、アルミニウム又はチタンを構成元素として含み、
上記金属微粒子の粒径が20nm以上200nm以下であり、
上記金属微粒子の数が上記被覆層の界面における法線方向に対して平行な断面における3μm×4μmの視野において、12以上36以下である。
しかし、特許文献1に記載の耐摩耗皮膜被覆工具は、皮膜にアモルファス層を含むため硬度が低いことから、高効率な(送り速度が大きい)切削加工へ適用する際には更なる性能(例えば、耐クレータ摩耗性、耐摩耗性等)の向上が求められる。
上記によれば、耐逃げ面摩耗性に優れる切削工具を提供することが可能になる。
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
[1]本開示に係る切削工具は、
逃げ面を含む基材と、上記逃げ面を被覆する被覆層とを備える切削工具であって、
上記被覆層は、マトリックス領域と金属微粒子とを含み、
上記マトリックス領域は、(AlxTiyX1−x−y)CvOwN1−v−wで表される化合物からなり、
xは、0.5を超えて0.7以下であり、
yは、0.3以上0.5未満であり、
1−x−yは、0以上0.1以下であり、
vは、0以上1以下であり、
wは、0以上1以下であり、
1−v−wは、0以上1以下であり、
Xは、クロム、ケイ素、ニオブ、タンタル、タングステン及びホウ素からなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を示し、
上記金属微粒子は、アルミニウム又はチタンを構成元素として含み、
上記金属微粒子の粒径が20nm以上200nm以下であり、
上記金属微粒子の数が上記被覆層の界面における法線方向に対して平行な断面における3μm×4μmの視野において、12以上36以下である。
以下、本開示の一実施形態(以下「本実施形態」と記す。)について説明する。ただし、本実施形態はこれに限定されるものではない。本明細書において「A〜Z」という形式の表記は、範囲の上限下限(すなわちA以上Z以下)を意味し、Aにおいて単位の記載がなく、Zにおいてのみ単位が記載されている場合、Aの単位とZの単位とは同じである。さらに、本明細書において、例えば「TiC」等のように、構成元素の組成比が限定されていない化学式によって化合物が表された場合には、その化学式は従来公知のあらゆる組成比(元素比)を含むものとする。このとき上記化学式は、化学量論組成のみならず、非化学量論組成も含むものとする。例えば「TiC」の化学式には、化学量論組成「Ti1C1」のみならず、例えば「Ti1C0.8」のような非化学量論組成も含まれる。このことは、「TiC」以外の化合物の記載についても同様である。
本開示に係る切削工具は、
逃げ面を含む基材と、上記逃げ面を被覆する被覆層とを備える切削工具であって、
上記被覆層は、マトリックス領域と金属微粒子とを含み、
上記マトリックス領域は、(AlxTiyX1−x−y)CvOwN1−v−wで表される化合物からなり、
xは、0.5を超えて0.7以下であり、
yは、0.3以上0.5未満であり、
1−x−yは、0以上0.1以下であり、
vは、0以上1以下であり、
wは、0以上1以下であり、
1−v−wは、0以上1以下であり、
Xは、クロム、ケイ素、ニオブ、タンタル、タングステン及びホウ素からなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を示し、
上記金属微粒子は、アルミニウム又はチタンを構成元素として含み、
上記金属微粒子の粒径が20nm以上200nm以下であり、
上記金属微粒子の数が上記被覆層の界面における法線方向に対して平行な断面における3μm×4μmの視野において、12以上36以下である。
なお、上記基材上に設けられている上述の各層をまとめて「被膜」と呼ぶ場合がある。すなわち、上記切削工具は上記逃げ面を被覆する被膜を備え、上記被膜は上記被覆層を含む。また、上記被膜は、上記下地層、上記中間層又は上記最表面層を更に含んでいてもよい。
本実施形態の基材は、この種の基材として従来公知のものであればいずれのものも使用することができる。例えば、上記基材は、超硬合金(例えば、炭化タングステン(WC)基超硬合金、WCの他にCoを含む超硬合金、WCの他にCr、Ti、Ta、Nb等の炭窒化物を添加した超硬合金等)、サーメット(TiC、TiN、TiCN等を主成分とするもの)、高速度鋼、セラミックス(炭化チタン、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム等)、立方晶型窒化硼素焼結体(cBN焼結体)及びダイヤモンド焼結体からなる群から選ばれる1種を含むことが好ましい。
本実施形態に係る被膜は、被覆層を含む。「被膜」は、上記基材の少なくとも一部(例えば、逃げ面の一部)を被覆することで、切削工具における耐欠損性、耐逃げ面摩耗性等の諸特性を向上させる作用を有するものである。上記被膜は、上記基材の全面を被覆することが好ましい。しかしながら、上記基材の一部が上記被膜で被覆されていなかったり被膜の構成が部分的に異なっていたりしていたとしても本実施形態の範囲を逸脱するものではない。
本実施形態に係る被覆層は、マトリックス領域と金属微粒子とを含む。上記被覆層は、本実施形態に係る切削工具が奏する効果を損なわない範囲において、上記基材の直上に設けられていてもよいし、下地層等の他の層を介して上記基材の上に設けられていてもよい。上記被覆層は、その上に最表面層等の他の層が設けられていてもよい。また、上記被覆層は、上記被膜の最表面に設けられていてもよい。上記被覆層は、上記基材の逃げ面を被覆すればよいが、上記基材のすくい面を被覆していてもよい。上記被覆層は、上記基材の全面を被覆することが好ましい。しかしながら、上記基材の一部が上記被覆層で被覆されていなかったりしていたとしても本実施形態の範囲を逸脱するものではない。
「マトリックス領域」とは上記被覆層の母体となる領域であり、金属微粒子以外の領域(後述するAr(アルゴン)を含む場合は、金属微粒子及びAr以外の領域)を意味する。言い換えると、上記マトリックス領域は、上記金属微粒子のそれぞれを取り囲むように配置されている領域である。本実施形態の他の側面において、上記マトリックス領域の大部分は、上記金属微粒子のそれぞれを取り囲むように配置されている領域と把握することもできる。また、上記マトリックス領域の大部分は、上記金属微粒子の間に配置されていると把握することもできる。
なお、ホウ素は通常、金属元素と非金属元素との中間の性質を示す半金属として捉えられるが、本実施形態においては、自由電子を有する元素を金属であるとみなしてホウ素を金属元素の範囲に含むものとする。
本実施形態に係る金属微粒子は、上記マトリックス領域中に分散した状態で存在していると把握することができる(例えば、図4Aの破線で囲まれた部分)。なお、上述の「分散した状態」は、金属微粒子同士が互いに接触しているものを排除するものではない。すなわち、各金属微粒子は、互いに接していてもよいし、離合していてもよい。
上記金属微粒子が分散している上記マトリックス領域では、上記金属微粒子の上側(基材とは反対側)において、周辺よりも粒径が小さい多結晶からなる組織が形成されていることを本発明者らは初めて見いだした(図4A、図4B)。このような多結晶からなる組織(以下、「微小多結晶組織」と記載する場合がある。)が存在することによって、上記被覆層の靱性が向上する。そのため、上記切削工具は優れた耐逃げ面摩耗性を有するようになる。
また、本開示が奏する効果を損なわない範囲において、上記金属微粒子は、その表面において、酸化物、炭化物、窒化物等が形成されていてもよい。
なお、本実施形態では、粒径が20nm以上200nm以下である金属の粒子を「金属微粒子」と規定しているが、粒径が上述の範囲にはない金属の粒子が上記被覆層に含まれることを排除するものではない。すなわち、本開示が奏する効果を損なわない範囲において、上記被覆層は、粒径が20nm未満の金属の粒子又は粒径が200nmを超えている金属の粒子を含んでいてもよい。
上記金属微粒子の計数方法について具体的には、まず上述した断面サンプルにおける任意の複数の視野をTEMで観察することによって、各視野ごとに上記金属微粒子の数を計数する。各視野ごとに計数した上記金属微粒子の数の平均をとることによって、上記金属微粒子の数を求める。このときの倍率は例えば、50000倍である。また、測定する視野の数は、少なくとも3である。なお、一部が測定視野の外に出ている金属微粒子も1つとしてカウントする。
本実施形態の一側面において、上記マトリックス領域は、上記金属微粒子に隣接する微小多結晶組織を含むと把握することができる。上記微小多結晶組織は、TEMで得られた断面サンプルの画像を解析することによって、マトリックス領域における微小多結晶組織以外の組織と区別することが可能である。上記微小多結晶組織の組成は、マトリックス領域のその他の部分と同じ組成、すなわち(AlxTiyX1−x−y)CvOwN1−v−wで表される。
また、上記微小多結晶組織を構成する結晶粒の粒径は、電子線回折法による分析によって求めることが可能である。具体的には以下の手順で行う。まず上述の断面サンプルにおいて上記金属微粒子の上側部分の電子線回折測定を行う。このとき、照射する電子線のビーム径を2nmから30nmへ変化させながら測定を行う。電子線のビーム径が上記微小多結晶組織を構成する結晶粒の粒径よりも小さい場合、電子線回折像において離散的で大きな回折スポットが観察される(例えば、図3A)。一方、電子線のビーム径が上記微小多結晶組織を構成する結晶粒の粒径よりも大きい場合、電子線回折像において、連続的なリングパターンが観測される(例えば、図3B)。すなわち、電子線回折像において、観察されるパターンが回折スポットから連続的なリングパターンに変化するときの電子線のビーム径が上記多結晶組織を構成する結晶粒の粒径に相当することになる。本実施形態において、上記微小多結晶組織を構成する結晶粒の粒径は、例えば、2nm以上20nm以下であってもよいし、2nm以上10nm以下であってもよい。
上記被覆層は、Ar(アルゴン)を更に含み、上記Arは、上記被覆層中におけるその含有割合が0at%を超えて3at%以下であることが好ましい。このようにすることで、上記切削工具は更に優れた耐逃げ面摩耗性を有することが可能になる。上記被覆層中におけるArの含有割合は、上述の断面サンプルをTEM−EDXで、マトリックス領域の全体を分析することによって求めることが可能である。
本実施形態の効果を損なわない範囲において、上記被膜は、他の層を更に含んでいてもよい。上記他の層としては、例えば、上記基材と上記被覆層との間に設けられている下地層、及び上記下地層と上記被覆層との間に設けられている中間層、及び、上記被覆層上に設けられている最表面層等が挙げられる。上記下地層は、例えば、TiWCNで表される化合物からなる層であってもよい。上記中間層は、例えば、TiNで表される化合物からなる層であってもよい。上記最表面層は、例えば、AlTiCNで表される化合物からなる層であってもよい。上記他の層の厚みは、本実施形態の効果を損なわない範囲において、特に制限はないが例えば、0.1μm以上2μm以下が挙げられる。
本実施形態に係る切削工具の製造方法は、
上記基材を準備する工程(以下、「第1工程」という場合がある。)と、
物理的蒸着法を用いて上記基材における逃げ面の上に上記被覆層を形成する工程(以下、「第2工程」という場合がある。)と、
を含み、
上記被覆層を形成する工程は、Arガスを断続的に供給することを含む。
第1工程では基材を準備する。例えば、基材として超硬合金基材が準備される。超硬合金基材は、市販の基材を用いてもよく、一般的な粉末冶金法で製造してもよい。一般的な粉末冶金法で製造する場合、例えば、ボールミル等によってWC粉末とCo粉末等とを混合して混合粉末を得る。該混合粉末を乾燥した後、所定の形状に成形して成形体を得る。さらに該成形体を焼結することにより、WC−Co系超硬合金(焼結体)を得る。次いで該焼結体に対して、ホーニング処理等の所定の刃先加工を施すことにより、WC−Co系超硬合金からなる基材を製造することができる。第1工程では、上記以外の基材であっても、この種の基材として従来公知のものであればいずれも準備可能である。
第2工程では、上記基材における逃げ面の上に上記被覆層を形成する。その方法としては、形成しようとする被覆層の組成に応じて、各種の方法が用いられる。例えば、Ti及びAl等の粒径をそれぞれ変化させた合金製ターゲットを使用する方法、それぞれ組成の異なる複数のターゲットを使用する方法、成膜時に印可するバイアス電圧をパルス電圧とする方法、成膜時にガス流量を変化させる方法、又は、成膜装置において基材を保持する基材ホルダの回転速度を調整する方法等を挙げることができる。
本実施形態に係る製造方法では、上述した工程の他にも、第1工程と第2工程との間に、上記基材の表面をイオンボンバードメント処理するイオンボンバードメント処理工程、基材と上記被覆層との間に下地層を形成する下地層被覆工程、上記下地層と上記被覆層との間に中間層を形成する中間層被覆工程、上記被覆層の上に最表面層を形成する最表面層被覆工程及び、表面処理する工程等を適宜行ってもよい。上述の下地層、中間層及び最表面層等の他の層を形成する場合、従来の方法によって他の層を形成してもよい。具体的には、例えば、上述したPVD法によって上記他の層を形成することが挙げられる。表面処理をする工程としては、例えば、応力を付与する弾性材にダイヤモンド粉末を担持させたメディアを用いた表面処理等が挙げられる。上記表面処理を行う装置としては、例えば、株式会社不二製作所製のシリウスZ等が挙げられる。
(付記1)
逃げ面を含む基材と、前記逃げ面を被覆する被覆層とを備える表面被覆切削工具であって、
前記被覆層は、マトリックス領域と金属微粒子とを含み、
前記マトリックス領域は、(AlxTiyX1−x−y)CvOwN1−v−w(0.5<x≦0.7、0.3≦y<0.5、0≦1−x−y≦0.1、0≦v≦1、0≦w≦1、0≦1−v−w≦1、XはCr,Si,Nb,Ta,W及びBからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を示す)で表される化合物からなり、
前記金属微粒子は、構成元素として、Al又はTiを含み、
前記金属微粒子は、その粒径が20nm以上200nm以下であり、
前記金属微粒子は、その数が前記被覆層の界面における法線方向に対して平行な断面における3μm×4μmの視野において、12以上36以下である、表面被覆切削工具。
(付記2)
前記被覆層は、Arを更に含み、
前記Arは、前記被覆層中におけるその含有割合が0at%を超えて3at%以下である、付記1に記載の表面被覆切削工具。
(付記3)
前記Xは、Bを含む、付記1又は付記2に記載の表面被覆切削工具。
(付記4)
前記被覆層は、その厚みが1μm以上20μm以下である、付記1から付記3のいずれかに記載の表面被覆切削工具。
<基材の準備>
まず、被膜を形成させる対象となる基材として、表面被覆旋削加工用超硬チップ(JIS規格、K20相当超硬合金、DCGT11T3−2R−FY)を準備した(第1工程:基材を準備する工程)。
後述する被膜の作製に先立って、以下の手順で上記基材の表面にイオンボンバードメント処理を行った。まず、上記基材をアークイオンプレーティング装置にセットした。次に、以下の条件によってイオンボンバードメント処理を行った。
ガス組成 : Ar(100%)
ガス圧 : 0.5Pa
バイアス電圧: 600V(直流電源)
処理時間 : 60分
イオンボンバードメント処理を行った上記基材の表面上(逃げ面を含む表面上)に、表1−1及び表1−2に示される被覆層を形成することによって、被膜を作製した。以下、被覆層の作製方法について説明する。
試料No.1〜9及び13〜27においては、基材をチャンバ内の中央で回転させた状態で、反応ガスとして窒素ガスを導入した。試料No.10においては、反応ガスとして窒素ガスとアセチレンガスとを導入した。試料No.11においては、反応ガスとして窒素ガスと酸素ガスとを導入した。試料No.12においては、反応ガスとして窒素ガスとアセチレンガスと酸素ガスとを導入した。さらに、基材を温度500℃に、反応ガス圧を6.0Paに、バイアス電源の電圧を50V(直流電源)にそれぞれ維持して被覆層形成用の蒸発源にそれぞれ150Aのアーク電流を供給した。これにより、被覆層形成用の蒸発源から金属イオンを発生させ、基材における逃げ面の表面上に表1−1及び表1−2に示す組成の被覆層を形成した(第2工程:被覆層を形成する工程)。ここで、被覆層形成用の蒸発源は、表1−1及び表1−2に記載の原料組成のものを用いた。また、試料No.1〜24では、被覆層の形成中に、Arガスを分圧1Paで、5分間以上30分間以下の間隔で断続的に投入した。このとき、1回あたりのArガスの供給は、20秒間であった。試料No.25〜27では、上述のArガスの断続的な投入を行わなかった。
以上の工程によって、試料No.1〜27の切削工具を作製した。
上述のようにして作製した試料No.1〜27の切削工具を用いて、以下のように、切削工具の各特性を評価した。なお、試料No.1〜24の切削工具は実施例に対応し、試料No.25〜27の切削工具は比較例に対応する。
被膜の厚み(すなわち、被覆層の厚み)は、透過型電子顕微鏡(TEM)(日本電子株式会社製、商品名:JEM−2100F)を用いて、基材の表面の法線方向に平行な断面サンプルにおける任意の10点を測定し、測定された10点の厚みの平均値をとることで求めた。このときの観察倍率は、10000倍であった。結果を表1−1及び表1−2に示す。
被覆層におけるマトリックス領域の組成は、TEMに付帯のエネルギー分散型X線分光法(TEM−EDX)で、マトリックス領域の全体を分析することによって求めた。具体的には、まず切削工具を上記被覆層の界面における法線方向に対して平行な方向に切断し、その切断面を研磨することにより、基材と被膜とが含まれる長さ2.5mm×幅0.5mm×厚み0.1mmの切片を作製した。この切片に対し、イオンスライサ装置(商品名:「IB−09060CIS」、日本電子株式会社製)を用い、切片の厚みが50nm以下となるまで加工することにより測定試料を得た。得られた測定試料のマトリックス領域における任意の10点それぞれを、TEM−EDXで測定して各構成元素の組成比を算出した。このときの観察倍率は、20000倍であった。各構成元素について、求められた10点の組成比の平均値を当該マトリックス領域における当該構成元素の組成比とした。ここで当該「任意の10点」は、上記マトリックス領域中の互いに異なる結晶粒から選択した。EDX装置としては、日本電子株式会社製のJED−2300(商品名)を用いた。求められたマトリックス領域の組成を表1−1及び表1−2に示す。
上述測定試料をTEM−EDXで、マトリックス領域の全体を分析することによって、上記被覆層中におけるArの含有割合を求めた。結果を表1−1及び表1−2に示す。
(金属微粒子の粒径)
被覆層における金属微粒子の粒径を以下の方法で求めた。まず切削工具を上記被覆層の界面における法線方向に対して平行な方向に切断し、その切断面を集束イオンビーム装置を用いて研磨した。その後、研磨された当該切断面について、TEMで観察して観察画像を得た(図4B)。このときの観察倍率は、100000倍であった。得られた観察画像において上記金属微粒子の断面の面積を算出した。その後算出された上記面積と等しい面積を有する円の直径を算出した。このようにして算出された円の直径を上記金属微粒子の粒径とした。その結果を表1−1及び表1−2に示す。
また、1視野における金属微粒子の個数を、上述の観察画像を用いて計数した(図4A)。このときの観察倍率は、50000倍であった。このとき当該視野は、上記被覆層の断面における3μm×4μmの視野とした。結果を表1−1及び表1−2に示す。なお、一部が測定視野の外に出ている金属微粒子も1つとしてカウントした。
TEMで得られた断面サンプルの画像を解析することによって、被覆層における微小多結晶組織の有無を観察した。微小多結晶組織が観察された断面サンプルについては、その後電子線回折法による分析によって上記微小多結晶組織を構成する結晶粒の粒径を求めた。具体的には、まず上述の断面サンプルにおいて上記金属微粒子の上側部分の電子線回折測定を行った。このとき、照射する電子線のビーム径を2nmから30nmへ変化させながら測定を行った。電子線回折像において、観察されるパターンが回折スポットから連続的なリングパターンに変化するときの電子線のビーム径を上記微小多結晶組織を構成する結晶粒の粒径とした。結果を表2に示す。
「ISO 14577−1: 2015 Metallic materials−Instrumented indentation test for hardness and materials parameters−」において定められている標準手順によるナノインデンテーション法によって、各切削工具における被覆層の硬度とヤング率とを測定した。ここで、押し込み深さは100nmに設定した。測定装置は、株式会社エリオニクス製のENT−1100(商品名)を用いた。結果を表2に示す。
<旋削加工試験>
上述のようにして作製した試料No.1〜27の切削工具を用いて、以下の切削条件により切削工具の逃げ面における摩耗量(Vb摩耗量)が0.2mmを超えるまでの切削時間を測定した。その結果を表2に示す。切削時間が長いほど耐逃げ面摩耗性に優れる切削工具として評価することができる。
切削条件
被削材 :SCM435
切削速度 :120m/min
送り量 :0.1mm/t
切込み量(ap):0.8mm、wet
Claims (4)
- 逃げ面を含む基材と、前記逃げ面を被覆する被覆層とを備える切削工具であって、
前記被覆層は、マトリックス領域と金属微粒子とを含み、
前記マトリックス領域は、(AlxTiyX1−x−y)CvOwN1−v−wで表される化合物からなり、
xは、0.5を超えて0.7以下であり、
yは、0.3以上0.5未満であり、
1−x−yは、0以上0.1以下であり、
vは、0以上1以下であり、
wは、0以上1以下であり、
1−v−wは、0以上1以下であり、
Xは、クロム、ケイ素、ニオブ、タンタル、タングステン及びホウ素からなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を示し、
前記金属微粒子は、アルミニウム又はチタンを構成元素として含み、
前記金属微粒子の粒径が20nm以上200nm以下であり、
前記金属微粒子の数が前記被覆層の界面における法線方向に対して平行な断面における3μm×4μmの視野において、12以上36以下である、切削工具。 - 前記被覆層は、アルゴンを更に含み、
前記アルゴンは、前記被覆層中におけるその含有割合が0at%を超えて3at%以下である、請求項1に記載の切削工具。 - 前記Xは、ホウ素を含む、請求項1又は請求項2に記載の切削工具。
- 前記被覆層の厚みが3μm以上20μm以下である、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の切削工具。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019079711 | 2019-04-19 | ||
JP2019079711 | 2019-04-19 | ||
PCT/JP2020/008222 WO2020213264A1 (ja) | 2019-04-19 | 2020-02-28 | 切削工具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6794604B1 JP6794604B1 (ja) | 2020-12-02 |
JPWO2020213264A1 true JPWO2020213264A1 (ja) | 2021-05-06 |
Family
ID=72838220
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020534995A Active JP6794604B1 (ja) | 2019-04-19 | 2020-02-28 | 切削工具 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210046561A1 (ja) |
JP (1) | JP6794604B1 (ja) |
WO (1) | WO2020213264A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116390824A (zh) * | 2021-02-17 | 2023-07-04 | 住友电工硬质合金株式会社 | 切削工具 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5930187B2 (ja) * | 2011-05-24 | 2016-06-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐欠損性と耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具 |
JP2013082057A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-05-09 | Mitsubishi Materials Corp | 耐欠損性と耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具 |
JP6257142B2 (ja) * | 2013-01-24 | 2018-01-10 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速断続切削加工においてすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP6364195B2 (ja) * | 2014-01-30 | 2018-07-25 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速断続切削加工においてすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP6394898B2 (ja) * | 2014-01-31 | 2018-09-26 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
KR102232131B1 (ko) * | 2017-02-28 | 2021-03-24 | 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 | 표면 피복 절삭 공구 및 그 제조 방법 |
CN107254610A (zh) * | 2017-06-12 | 2017-10-17 | 吉林大学 | 一种内生纳米尺寸颗粒强化铝合金材料制备方法 |
JP2019063899A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐欠損性にすぐれた表面被覆切削工具 |
JP7021607B2 (ja) * | 2018-06-18 | 2022-02-17 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層が優れた耐欠損性および耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
-
2020
- 2020-02-28 US US16/979,985 patent/US20210046561A1/en not_active Abandoned
- 2020-02-28 JP JP2020534995A patent/JP6794604B1/ja active Active
- 2020-02-28 WO PCT/JP2020/008222 patent/WO2020213264A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210046561A1 (en) | 2021-02-18 |
JP6794604B1 (ja) | 2020-12-02 |
WO2020213264A1 (ja) | 2020-10-22 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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