JPWO2020203592A1 - 光検出装置、光検出方法、光検出装置の設計方法、試料分類方法、及び、不良検出方法 - Google Patents
光検出装置、光検出方法、光検出装置の設計方法、試料分類方法、及び、不良検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2020203592A1 JPWO2020203592A1 JP2021511884A JP2021511884A JPWO2020203592A1 JP WO2020203592 A1 JPWO2020203592 A1 JP WO2020203592A1 JP 2021511884 A JP2021511884 A JP 2021511884A JP 2021511884 A JP2021511884 A JP 2021511884A JP WO2020203592 A1 JPWO2020203592 A1 JP WO2020203592A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- slits
- spectra
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 106
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 60
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 27
- 238000013461 design Methods 0.000 title claims description 16
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 171
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 111
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 118
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 29
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 25
- 238000000513 principal component analysis Methods 0.000 claims description 19
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 claims description 17
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 claims description 9
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 9
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 62
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 34
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 22
- 239000004006 olive oil Substances 0.000 description 20
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 19
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 18
- 235000008390 olive oil Nutrition 0.000 description 16
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000010076 replication Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K11/00—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00
- G01K11/32—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in transmittance, scattering or luminescence in optical fibres
- G01K11/3206—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in transmittance, scattering or luminescence in optical fibres at discrete locations in the fibre, e.g. using Bragg scattering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
- G01N2021/8845—Multiple wavelengths of illumination or detection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/85—Investigating moving fluids or granular solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/12—Circuits of general importance; Signal processing
- G01N2201/129—Using chemometrical methods
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
Description
まず、ヴァーニア効果を利用して入力光に含まれる所望の波長成分を高い波長分解能で検出する従来の技術を説明する。図1は、特許文献1等の従来の技術による波長成分の検出原理を説明する図である。
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示す。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、各図は、必ずしも厳密に図示したものではない。各図において、実質的に同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略又は簡略化する場合がある。
以上の設計方法に従って製作した光検出装置10を用いて、種類が既知の複数のオリーブオイルA、B及びCの透過スペクトルを測定する実験をしたので、その内容及び結果を説明する。
次に、実験1で用いた光検出装置10を用いて、オリーブオイルの不良を検出する実験をしたので、その内容及び結果を説明する。本実験では、オリーブオイルBを良品とし、そのオリーブオイルBに、様々な混入割合で、不良品としてのオリーブオイルAを混ぜた複数の試料(ここでは、各混入割合について50サンプル)を準備し、それら複数の試料を本実施の形態に係る光検出装置10で測定した。
Claims (11)
- 入力光に含まれる所望の波長成分を検出する光検出装置であって、
前記入力光を入力とし、前記入力光の分光スペクトルの複製を複数、並べて出力する分光器と、
前記分光器から出力された前記複数の分光スペクトルの並びに対して、3箇所以上の波長成分の光を通過させる3以上のスリットの並びを有するスリットアレイと、
前記スリットアレイを通過した3以上の波長成分の光を受光する、画素の並びで構成される撮像素子とを備え、
前記3以上のスリットの並びにおける少なくとも2以上のピッチは、異なる
光検出装置。 - 前記複数の分光スペクトルの並びでは、隣接する分光スペクトルは、一部が空間的に重ねられており、
前記3以上のスリットの少なくとも1つは、前記複数の分光スペクトルの並びのうち、一部が空間的に重ねられた複数の分光スペクトルにおける同じ空間位置に対応する複数の波長成分の光を通過させる
請求項1記載の光検出装置。 - 前記複数の分光スペクトルのそれぞれには、第1ピーク及び第2ピークが含まれ、
前記3以上のスリットには、前記第1ピークの光を通過させるスリット、及び、前記第2ピークの光を通過させるスリットが含まれる
請求項1又は2記載の光検出装置。 - 前記画素の並びは、所望の波長帯域の光の受光に必要な数の画素の並びで構成され、
前記第1ピークと前記第2ピークとは、前記複数の分光スペクトルの並ぶ間隔に相当する波長帯域よりも大きい波長だけ離れている
請求項3記載の光検出装置。 - 入力光に含まれる所望の波長成分を検出する光検出方法であって、
前記入力光が入力されると、前記入力光の分光スペクトルの複製を複数、並べて出力する分光ステップと、
3以上のスリットの並びを有するスリットアレイにより、前記分光ステップで出力された前記複数の分光スペクトルの並びに対して、3箇所以上の波長成分の光を通過させる波長選択ステップと、
画素の並びで構成される撮像素子により、前記スリットアレイを通過した3以上の波長成分の光を検出する検出ステップとを含み、
前記3以上のスリットの並びにおける少なくとも2以上のピッチは、異なる
光検出方法。 - 入力光に含まれる所望の波長成分を検出する光検出装置の設計方法であって、
前記光検出装置は、
前記入力光を入力とし、前記入力光の分光スペクトルの複製を複数、並べて出力する分光器と、
前記分光器から出力された前記複数の分光スペクトルの並びに対して、3箇所以上の波長成分の光を通過させる3以上のスリットの並びを有するスリットアレイと、
前記スリットアレイを通過した3以上の波長成分の光を受光する画素の並びで構成される撮像素子とを備え、
前記設計方法は、
前記3以上のスリットに、前記入力光の分光スペクトルの特徴箇所に対応する波長の光を通過させるスリットが含まれるように、前記スリットアレイにおける前記3以上のスリットの位置を決定する位置決定ステップを含む
光検出装置の設計方法。 - 前記複数の分光スペクトルのそれぞれには、第1ピーク及び第2ピークが含まれ、
前記位置決定ステップでは、前記3以上のスリットに、前記第1ピークの光を通過させるスリット、及び、前記第2ピークの光を通過させるスリットが含まれるように、前記スリットアレイにおける前記3以上のスリットの位置を決定する
請求項6記載の光検出装置の設計方法。 - さらに、前記位置決定ステップに先立ち、前記入力光の分光スペクトルを複数取得し、取得した前記複数の分光スペクトルから、圧縮センシングによって前記分光スペクトルを復元するのに用いられる3以上の測定波長を決定する測定波長決定ステップを含み、
前記位置決定ステップでは、前記3以上のスリットに、前記測定波長決定ステップで決定された前記3以上の測定波長の光のそれぞれを通過させるスリットが含まれるように、前記スリットアレイにおける前記3以上のスリットの位置を決定する
請求項6記載の光検出装置の設計方法。 - 前記測定波長決定ステップでは、取得した前記分光スペクトルに対して、スパース主成分分析を適用することで、前記分光スペクトルにおける3以上の測定波長を決定する
請求項8記載の光検出装置の設計方法。 - 試料の種類を分類する試料分類方法であって、
複数の試料のそれぞれについて透過又は吸収のスペクトルを取得し、取得した複数のスペクトルに対して圧縮センシングによって前記スペクトルを復元するのに用いられる3以上の測定波長を決定する測定波長決定ステップと、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の光検出装置を用いて、種類が既知の複数の試料を対象として、前記3以上の測定波長の波長成分を測定し、得られた測定結果と前記種類とを対応づけた参照データを生成する参照データ生成ステップと、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の光検出装置を用いて、種類が未知の試料を対象として、前記3以上の測定波長の波長成分を測定し、得られた測定結果と前記参照データとを照合することで、前記種類が未知の試料の種類を判別する判別ステップと
を含む試料分類方法。 - 不良の試料を検出する不良検出方法であって、
複数の試料のそれぞれについて透過又は吸収のスペクトルを取得し、取得した複数のスペクトルに対して圧縮センシングによって前記スペクトルを復元するのに用いられる3以上の測定波長を決定する測定波長決定ステップと、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の光検出装置を用いて、良品の複数の試料を対象として、前記3以上の測定波長の波長成分を測定し、得られた測定結果を示す参照データを生成する参照データ生成ステップと、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の光検出装置を用いて、良品か不良品かが未知の試料を対象として、前記3以上の測定波長の波長成分を測定し、得られた測定結果と前記参照データとを照合することで、前記未知の試料が良品か不良品かを判別する判別ステップと
を含む不良検出方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019068251 | 2019-03-29 | ||
JP2019068251 | 2019-03-29 | ||
PCT/JP2020/013495 WO2020203592A1 (ja) | 2019-03-29 | 2020-03-25 | 光検出装置、光検出方法、光検出装置の設計方法、試料分類方法、及び、不良検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020203592A1 true JPWO2020203592A1 (ja) | 2021-12-16 |
JP7236170B2 JP7236170B2 (ja) | 2023-03-09 |
Family
ID=72669061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021511884A Active JP7236170B2 (ja) | 2019-03-29 | 2020-03-25 | 光検出装置、光検出方法、光検出装置の設計方法、試料分類方法、及び、不良検出方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11933735B2 (ja) |
JP (1) | JP7236170B2 (ja) |
WO (1) | WO2020203592A1 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050031259A1 (en) * | 2003-07-23 | 2005-02-10 | Jds Uniphase Corporation | Optical performance monitor |
JP2012181098A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Nec Corp | 光強度スペクトル測定方法および装置 |
WO2014141666A1 (ja) * | 2013-03-12 | 2014-09-18 | 国立大学法人大阪大学 | 光波長測定方法および光波長測定装置 |
Family Cites Families (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5442439A (en) * | 1993-04-21 | 1995-08-15 | Kaiser Optical Systems, Inc. | Spectrograph with multiplexing of different wavelength regions onto a single opto-electric detector array |
US7123844B2 (en) * | 1999-04-06 | 2006-10-17 | Myrick Michael L | Optical computational system |
US6046808A (en) * | 1999-04-09 | 2000-04-04 | Three Lc, Inc. | Radiation filter, spectrometer and imager using a micro-mirror array |
US6859275B2 (en) * | 1999-04-09 | 2005-02-22 | Plain Sight Systems, Inc. | System and method for encoded spatio-spectral information processing |
US7180588B2 (en) * | 1999-04-09 | 2007-02-20 | Plain Sight Systems, Inc. | Devices and method for spectral measurements |
US20020090650A1 (en) * | 2000-04-06 | 2002-07-11 | Quantum Dot Corporation | Two-dimensional spectral imaging system |
JP3190913B1 (ja) * | 2000-10-18 | 2001-07-23 | レーザーテック株式会社 | 撮像装置及びフォトマスクの欠陥検査装置 |
US7253897B2 (en) * | 2001-06-01 | 2007-08-07 | Cidra Corporation | Optical spectrum analyzer |
US8174694B2 (en) * | 2001-12-21 | 2012-05-08 | Bodkin Design And Engineering Llc | Hyperspectral imaging systems |
JP4041854B2 (ja) * | 2002-04-05 | 2008-02-06 | レーザーテック株式会社 | 撮像装置及びフォトマスクの欠陥検査装置 |
US9612155B2 (en) * | 2004-03-20 | 2017-04-04 | Electronic Photonic Ic Inc. (Epic Inc.) | Curved grating spectrometer and wavelength multiplexer or demultiplexer with very high wavelength resolution |
US7518728B2 (en) * | 2005-09-30 | 2009-04-14 | Intel Corporation | Method and instrument for collecting fourier transform (FT) Raman spectra for imaging applications |
US7324196B2 (en) * | 2006-04-13 | 2008-01-29 | Neil Goldstein | Spectral encoder |
US8922783B2 (en) * | 2007-04-27 | 2014-12-30 | Bodkin Design And Engineering Llc | Multiband spatial heterodyne spectrometer and associated methods |
US8305575B1 (en) * | 2008-06-23 | 2012-11-06 | Spectral Sciences, Inc. | Adaptive spectral sensor and methods using same |
US8406859B2 (en) * | 2008-08-10 | 2013-03-26 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Digital light processing hyperspectral imaging apparatus |
US7808635B2 (en) * | 2008-08-27 | 2010-10-05 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Wide swath imaging spectrometer utilizing a multi-modular design |
US9036147B2 (en) * | 2009-05-29 | 2015-05-19 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Spectrum measuring apparatus |
JP5655437B2 (ja) * | 2009-09-14 | 2015-01-21 | 株式会社リコー | 分光特性取得装置 |
US20120229813A1 (en) * | 2009-10-15 | 2012-09-13 | Eq Med Co., Ltd. | Wavelength detector and optical coherence tomography having the same |
US9042414B2 (en) * | 2010-06-24 | 2015-05-26 | Spectral Sciences, Inc. | External cavity laser source |
US8885161B2 (en) * | 2011-10-12 | 2014-11-11 | Spectroclick, Inc. | Energy dispersion device |
US20130134309A1 (en) * | 2011-11-10 | 2013-05-30 | Yissum and Research Development Company of the Hebrew University of Jerusalem LTD. | Nonlinear optical and electro-optical devices and methods of use thereof for amplification of non-linear properties |
US9041932B2 (en) * | 2012-01-06 | 2015-05-26 | Chemimage Technologies Llc | Conformal filter and method for use thereof |
US9013691B2 (en) * | 2012-01-29 | 2015-04-21 | Ramot At Tel-Aviv University | Snapshot spectral imaging based on digital cameras |
US20130314765A1 (en) * | 2012-05-25 | 2013-11-28 | The Trustees Of Boston College | Metamaterial Devices with Environmentally Responsive Materials |
WO2014143276A2 (en) * | 2012-12-31 | 2014-09-18 | Omni Medsci, Inc. | Short-wave infrared super-continuum lasers for natural gas leak detection, exploration, and other active remote sensing applications |
US9177245B2 (en) * | 2013-02-08 | 2015-11-03 | Qualcomm Technologies Inc. | Spiking network apparatus and method with bimodal spike-timing dependent plasticity |
US9995623B2 (en) * | 2013-03-14 | 2018-06-12 | Integrated Plasmonics Corporation | Ambient light assisted spectroscopy |
US9709510B2 (en) * | 2014-06-26 | 2017-07-18 | Kla-Tencor Corp. | Determining a configuration for an optical element positioned in a collection aperture during wafer inspection |
CA2936725C (en) * | 2015-07-21 | 2022-04-26 | Queen's University At Kingston | Multiplexed excitation emission matrix spectroscopy |
US10564105B2 (en) * | 2015-08-25 | 2020-02-18 | B&W Tek Llc | Variable reduction method for spectral searching |
NL2017729B1 (en) * | 2016-11-07 | 2018-05-23 | Univ Twente | Method, apparatus and computer program for measuring and processing a spectrum of an xuv light source from soft x-rays to infrared wavelengths |
JP7089719B2 (ja) * | 2017-02-07 | 2022-06-23 | ナノフォトン株式会社 | 分光顕微鏡、及び分光観察方法 |
FR3065132B1 (fr) * | 2017-04-06 | 2019-06-28 | Office National D'etudes Et De Recherches Aerospatiales (Onera) | Dispositif et procede d'imagerie multispectrale dans l'infrarouge |
US11852537B2 (en) * | 2017-04-13 | 2023-12-26 | Miftek Corporation | System and method for determining successive single molecular decay |
-
2020
- 2020-03-25 WO PCT/JP2020/013495 patent/WO2020203592A1/ja active Application Filing
- 2020-03-25 JP JP2021511884A patent/JP7236170B2/ja active Active
- 2020-03-25 US US17/440,896 patent/US11933735B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050031259A1 (en) * | 2003-07-23 | 2005-02-10 | Jds Uniphase Corporation | Optical performance monitor |
JP2012181098A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Nec Corp | 光強度スペクトル測定方法および装置 |
WO2014141666A1 (ja) * | 2013-03-12 | 2014-09-18 | 国立大学法人大阪大学 | 光波長測定方法および光波長測定装置 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
VIDAL, B ET AL.: "Harmonic Suppressed Photonic Microwave Filter", JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY, vol. 21, no. 12, JPN6020022667, 2003, pages 3150 - 3154, XP001244564, ISSN: 0004869357, DOI: 10.1109/JLT.2003.822255 * |
小西 毅: "マルチチャネル分光器の新しい波長分解能向上技術", 応用物理, vol. 87巻, 5号, JPN6023002241, 10 May 2018 (2018-05-10), pages 357 - 361, ISSN: 0004971555 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2020203592A1 (ja) | 2020-10-08 |
JP7236170B2 (ja) | 2023-03-09 |
US20220155237A1 (en) | 2022-05-19 |
US11933735B2 (en) | 2024-03-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10732044B2 (en) | Apparatus, systems, and methods for talbot spectrometers | |
US11313721B2 (en) | Compact spectrometer | |
NL1032793C2 (nl) | Spectroscopiesysteem. | |
US10612975B2 (en) | Gas visualizing methods and systems with birefringent polarization interferometer | |
CN106796143B (zh) | 光谱学设备和光谱学方法 | |
JP6255022B2 (ja) | 光学素子の配置を有する装置 | |
US10393585B2 (en) | Spectral detector and spectral detecting method using the same | |
CA2070330C (en) | High resolution spectroscopy system | |
US20220364918A1 (en) | Optical spectrometer and method for spectrally resolved two-dimensional imaging of an object | |
WO2020203592A1 (ja) | 光検出装置、光検出方法、光検出装置の設計方法、試料分類方法、及び、不良検出方法 | |
JP2003532102A (ja) | 波長変化の測定 | |
WO2018146456A1 (en) | Compact interferometer | |
TWI749145B (zh) | 光譜測定裝置及光譜測定方法 | |
JP2021526632A (ja) | 複合マルチスペクトルラマン分光測定方法及び装置 | |
CN115752262A (zh) | 一种面阵光谱共焦测量系统及方法 | |
JP7246781B2 (ja) | 波長可変光学フィルタのスペクトル応答速度をテストするためのシステム及び方法 | |
KR20100060530A (ko) | 형광 라이다 수신 광학계, 상기 형광 라이다 수신 광학계에서의 형광물질 탐지 장치 및 방법 | |
JP7283190B2 (ja) | 分光測定装置及び分光測定方法 | |
US11371932B2 (en) | Optical assembly for the hyperspectral illumination and evaluation of an object | |
EP3483573B1 (en) | Spectroscope and spectrum measuring method | |
CA2824894A1 (en) | Apparatus and method for characterizing an electromagnetic signal using spectral analysis | |
CN111684243A (zh) | 光谱仪、用于制造光谱仪的方法和用于运行光谱仪的方法 | |
CN117419806A (zh) | 一种光路结构、光谱仪及光谱信号处理方法、电子设备 | |
JP2021056025A (ja) | ラマン分光センサ | |
US20070159626A1 (en) | Method and Apparatus for High Resolution Spectroscopy |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210805 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220524 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220906 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220922 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20221004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221216 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20221216 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20221228 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20230110 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7236170 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |