JPWO2020188711A1

JPWO2020188711A1 - Mounting head maintenance device

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Publication number: JPWO2020188711A1
Application number: JP2021506860A
Authority: JP
Inventors: 大樹鈴木; 正隆岩崎
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2019-03-18
Filing date: 2019-03-18
Publication date: 2021-11-25
Anticipated expiration: 2039-03-18
Also published as: WO2020188711A1; JP7235849B2

Abstract

装着ヘッドメンテナンス装置は、吸着ノズルを着脱可能に保持するノズル保持部、および保持された前記吸着ノズルに負圧および正圧のエアを選択的に供給する内部流路を有する装着ヘッドの前記ノズル保持部に着脱可能に取り付けられて、前記内部流路に連通される連通部材と、その一端が前記連通部材に連通される外部流路と、前記外部流路に設けられて前記エアの流量および圧力の少なくとも一方を検出するエアセンサと、を備える。The mounting head maintenance device holds the nozzle of the mounting head having a nozzle holding portion that holds the suction nozzle detachably and an internal flow path that selectively supplies negative pressure and positive pressure air to the held suction nozzle. A communication member that is detachably attached to the portion and communicates with the internal flow path, an external flow path having one end thereof communicate with the communication member, and an air flow rate and pressure provided in the external flow path. It is provided with an air sensor that detects at least one of the above.

Description

本明細書は、吸着ノズルを有して部品装着機に着脱可能に装備される装着ヘッドを保守するメンテンナンス装置に関する。 The present specification relates to a maintenance device having a suction nozzle and maintaining a mounting head detachably mounted on a component mounting machine.

プリント配線が施された基板に対基板作業を実施して、回路基板を量産する技術が普及している。対基板作業を実施する対基板作業機の代表例として、部品の装着作業を実施する部品装着機がある。多くの部品装着機は、吸着ノズルを有する装着ヘッドが着脱可能に取り付けられる。装着ヘッドは、吸着ノズルに負圧および正圧のエアを選択的に供給する内部流路を有する。内部流路のうち負圧のエアが流れる負圧流路範囲は、外気エアの吸い込みに伴って塵埃などが混入する場合があり、吸着ノズルの機能低下が懸念される。この対策として、例えば特許文献１に開示された装置により、装着ヘッドのメンテンナンスが実施される。 The technology of mass-producing circuit boards by carrying out board-to-board work on boards with printed wiring is widespread. As a typical example of a board-to-board work machine that performs board-to-board work, there is a component-mounting machine that carries out component-mounting work. In many component mounting machines, a mounting head having a suction nozzle is detachably mounted. The mounting head has an internal flow path that selectively supplies negative pressure and positive pressure air to the suction nozzle. Of the internal flow paths, the negative pressure flow path range in which the negative pressure air flows may be mixed with dust or the like as the outside air is sucked in, and there is a concern that the function of the suction nozzle may deteriorate. As a countermeasure, for example, the apparatus disclosed in Patent Document 1 is used to maintain the mounting head.

特許文献１の装着ヘッド洗浄装置は、内部流路に正圧のエアを供給して装着ヘッド内を洗浄するメンテナンス装置である。この装着ヘッド洗浄装置は、部品装着機と共通のヘッドクランプ装置と、エア供給源から供給される正圧のエアを洗浄用通路あるいは検査用通路に選択的に供給する切り替え手段と、検査用通路に設けられたエア測定手段と、を備える。これによれば、装着ヘッド内を自動で洗浄することが可能となり、さらに、洗浄後にエアの流れを測定することができる、とされている。 The mounting head cleaning device of Patent Document 1 is a maintenance device that cleans the inside of the mounting head by supplying positive pressure air to the internal flow path. This mounting head cleaning device includes a head clamp device common to the component mounting machine, a switching means for selectively supplying positive pressure air supplied from an air supply source to the cleaning passage or the inspection passage, and an inspection passage. The air measuring means provided in the above is provided. According to this, it is possible to automatically clean the inside of the mounting head, and further, it is possible to measure the air flow after cleaning.

国際公開第２０１３／１５３５９８号International Publication No. 2013/153598

ところで、特許文献１の装置において、装着ヘッドの洗浄およびエアの流れの測定を自動化できる点は好ましい。しかしながら、検査用通路は、内部流路の上流端に連通され、エア測定手段は、内部流路の下流端に連通される吸着ノズルから見て離れた位置に配置される。このため、エア測定手段で測定されるエアの流れは、離れた位置の吸着ノズルの機能を高精度に表わすことができるとは限らなかった。 By the way, in the apparatus of Patent Document 1, it is preferable that the cleaning of the mounting head and the measurement of the air flow can be automated. However, the inspection passage is communicated with the upstream end of the internal flow path, and the air measuring means is arranged at a position away from the suction nozzle communicating with the downstream end of the internal flow path. Therefore, the air flow measured by the air measuring means cannot always express the function of the suction nozzle at a distant position with high accuracy.

また、エアの流量および圧力の両方を測定する場合、内部流路の下流端を開いた状態および閉じた状態にする２種類の測定治具が必要であった。さらには、２種類の測定治具の交換作業が必要となり、特に、複数の吸着ノズルを有するロータリ型の装着ヘッドでは、測定治具の交換作業に多くの作業時間が必要となっていた。 Further, when measuring both the flow rate and the pressure of air, two kinds of measuring jigs were required to keep the downstream end of the internal flow path open and closed. Further, it is necessary to replace the two types of measuring jigs, and in particular, in the rotary type mounting head having a plurality of suction nozzles, it takes a lot of work time to replace the measuring jigs.

本明細書では、吸着ノズルを保持するノズル保持部の近くにおいて、吸着ノズルの機能に直結するエアの流量および圧力の少なくとも一方を高精度に検出することができる装着ヘッドメンテナンス装置を提供することを解決すべき課題とする。 The present specification provides a mounting head maintenance device capable of detecting at least one of the flow rate and pressure of air directly linked to the function of the suction nozzle in the vicinity of the nozzle holding portion that holds the suction nozzle with high accuracy. It is an issue to be solved.

本明細書は、吸着ノズルを着脱可能に保持するノズル保持部、および保持された前記吸着ノズルに負圧および正圧のエアを選択的に供給する内部流路を有する装着ヘッドの前記ノズル保持部に着脱可能に取り付けられて、前記内部流路に連通される連通部材と、その一端が前記連通部材に連通される外部流路と、前記外部流路に設けられて前記エアの流量および圧力の少なくとも一方を検出するエアセンサと、を備える装着ヘッドメンテナンス装置を開示する。 The present specification describes the nozzle holding portion of a mounting head having a nozzle holding portion that detachably holds the suction nozzle and an internal flow path that selectively supplies negative pressure and positive pressure air to the held suction nozzle. A communication member that is detachably attached to the internal flow path and communicates with the internal flow path, an external flow path whose one end communicates with the communication member, and an air flow rate and pressure provided in the external flow path. Disclosed is a mounting head maintenance device comprising an air sensor that detects at least one.

本明細書で開示する装着ヘッドメンテナンス装置によれば、吸着ノズルに代えて連通部材を装着ヘッドのノズル保持部に取り付け、連通部材に連通される外部流路にエアセンサを設けることができる。したがって、装着ヘッドメンテナンス装置は、ノズル保持部の近くにおいて、吸着ノズルの機能に直結するエアの流量および圧力の少なくとも一方をエアセンサによって高精度に検出することができる。 According to the mounting head maintenance device disclosed in the present specification, a communication member can be attached to the nozzle holding portion of the mounting head instead of the suction nozzle, and an air sensor can be provided in the external flow path communicating with the communication member. Therefore, the mounting head maintenance device can detect at least one of the flow rate and the pressure of the air directly linked to the function of the suction nozzle in the vicinity of the nozzle holding portion with high accuracy by the air sensor.

装着ヘッドが取り付けられる部品装着機の構成例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structural example of the component mounting machine to which a mounting head is mounted. 吸着ノズルおよびノズル保持部の周りの構成を示す側面断面図である。It is a side sectional view which shows the structure around the suction nozzle and the nozzle holding part. 装着ヘッドの取り付け構造を示す側面断面図である。It is a side sectional view which shows the mounting structure of a mounting head. 部品装着機の内部においてエアが流れる流路の系統構成を示した図である。It is a figure which showed the system structure of the flow path through which air flows inside a component mounting machine. 第１実施形態の装着ヘッドメンテナンス装置の外形を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outer shape of the mounting head maintenance apparatus of 1st Embodiment. 装着ヘッドメンテナンス装置の内部の斜視図である。It is a perspective view of the inside of a mounting head maintenance device. 装着ヘッドメンテナンス装置において、測定を実施している状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state which carries out the measurement in the mounting head maintenance apparatus. 装着ヘッドメンテナンス装置において、装着ヘッドの内部流路を洗浄している状況を示す図である。It is a figure which shows the state which is cleaning the internal flow path of a mounting head in a mounting head maintenance device. 装着ヘッドメンテナンス装置において、正圧のエアにより測定を実施している状況を示す流路系統図である。It is a flow path system diagram which shows the situation which the measurement is performed by the air of a positive pressure in the mounting head maintenance apparatus. 装着ヘッドメンテナンス装置において、負圧のエアにより測定を実施している状況を示す流路系統図である。It is a flow path system diagram which shows the situation which the measurement is performed by the air of a negative pressure in the mounting head maintenance apparatus. 装着ヘッドメンテナンス装置の制御の構成を示す機能ブロック図である。It is a functional block diagram which shows the control structure of the mounting head maintenance apparatus. 装着ヘッドメンテナンス装置を使用して装着ヘッドをメンテナンスするときの動作フローの図である。It is a figure of the operation flow when the mounting head is maintained by using the mounting head maintenance device. 第２実施形態の装着ヘッドメンテナンス装置の制御の構成を示す機能ブロック図である。It is a functional block diagram which shows the control structure of the mounting head maintenance apparatus of 2nd Embodiment.

１．部品装着機１の構成例
まず、装着ヘッド４６が取り付けられる部品装着機１の構成例について、図１〜図４を参考にして説明する。図１の左上から右下に向かう方向が基板Ｋを搬送するＸ軸方向、左下（後側）から右上（前側）に向かう方向がＹ軸方向、鉛直方向がＺ軸方向である。部品装着機１は、部品の装着作業を繰り返して実施する。部品装着機１は、基板搬送装置２、部品供給装置３、部品移載装置４、部品カメラ１１、および図略の制御装置などで構成されている。1. 1. Configuration Example of the Component Mounting Machine 1 First, a configuration example of the component mounting machine 1 to which the mounting head 46 is mounted will be described with reference to FIGS. 1 to 4. The direction from the upper left to the lower right of FIG. 1 is the X-axis direction for transporting the substrate K, the direction from the lower left (rear side) to the upper right (front side) is the Y-axis direction, and the vertical direction is the Z-axis direction. The component mounting machine 1 repeatedly carries out the component mounting work. The component mounting machine 1 includes a board transfer device 2, a component supply device 3, a component transfer device 4, a component camera 11, a control device (not shown), and the like.

基板搬送装置２は、第１ガイドレール２１および第２ガイドレール２２、一対のコンベアベルト、ならびにクランプ装置などで構成される。第１ガイドレール２１および第２ガイドレール２２は、基台１０の上部中央を横断してＸ軸方向に延在し、かつ互いに平行するように基台１０に組み付けられる。第１ガイドレール２１および第２ガイドレール２２に沿い、互いに平行に配置された一対のコンベアベルトが設けられる。一対のコンベアベルトは、コンベア搬送面に基板Ｋを戴置した状態で輪転して、基台１０の中央に設定された装着実施位置に基板Ｋを搬入および搬出する。また、基台１０の中央部のコンベアベルトの下方にクランプ装置が設けられる。クランプ装置は、基板Ｋを複数の押し上げピンで押し上げて水平姿勢でクランプし、装着実施位置に位置決めする。 The substrate transfer device 2 includes a first guide rail 21, a second guide rail 22, a pair of conveyor belts, a clamp device, and the like. The first guide rail 21 and the second guide rail 22 extend in the X-axis direction across the upper center of the base 10 and are assembled to the base 10 so as to be parallel to each other. A pair of conveyor belts arranged parallel to each other are provided along the first guide rail 21 and the second guide rail 22. The pair of conveyor belts rotate around with the substrate K placed on the conveyor transport surface, and carry in and out the substrate K to the mounting implementation position set in the center of the base 10. Further, a clamping device is provided below the conveyor belt at the center of the base 10. The clamping device pushes up the substrate K with a plurality of push-up pins, clamps the substrate K in a horizontal posture, and positions the substrate K at the mounting implementation position.

部品供給装置３は、部品装着機１の後側に着脱可能に装備される。部品供給装置３は、デバイスパレット３５上に複数のフィーダ装置３１が列設されて構成される。フィーダ装置３１は、本体３２と、本体３２の後側に設けられた供給リール３３と、本体３２の前端上部に設けられた部品取り出し部３４とを備える。供給リール３３には、多数の部品が所定ピッチで封入されたキャリアテープが巻回保持される。このキャリアテープが所定ピッチで送り出されると、部品は、封入状態を解除されて部品取り出し部３４に順次送り込まれる。 The parts supply device 3 is detachably mounted on the rear side of the parts mounting machine 1. The component supply device 3 is configured by arranging a plurality of feeder devices 31 in a row on the device pallet 35. The feeder device 31 includes a main body 32, a supply reel 33 provided on the rear side of the main body 32, and a component take-out portion 34 provided on the upper part of the front end of the main body 32. A carrier tape in which a large number of parts are enclosed at a predetermined pitch is wound and held on the supply reel 33. When the carrier tape is sent out at a predetermined pitch, the parts are released from the sealed state and are sequentially sent to the part take-out unit 34.

部品移載装置４は、一対のＹ軸レール４１、Ｙ軸移動台４２、Ｙ軸モータ４３、Ｘ軸移動台４４、Ｘ軸モータ４５、および装着ヘッド４６などで構成される。一対のＹ軸レール４１は、基台１０の前側から後側の部品供給装置３の上方にかけて配設される。Ｙ軸移動台４２は、一対のＹ軸レール４１に装架されている。Ｙ軸移動台４２は、Ｙ軸モータ４３からボールねじ機構を介して駆動され、Ｙ軸方向に移動する。 The component transfer device 4 includes a pair of Y-axis rails 41, a Y-axis moving table 42, a Y-axis motor 43, an X-axis moving table 44, an X-axis motor 45, a mounting head 46, and the like. The pair of Y-axis rails 41 are arranged from the front side of the base 10 to the upper side of the component supply device 3 on the rear side. The Y-axis moving table 42 is mounted on a pair of Y-axis rails 41. The Y-axis moving table 42 is driven from the Y-axis motor 43 via a ball screw mechanism and moves in the Y-axis direction.

Ｘ軸移動台４４は、Ｙ軸移動台４２に装架されている。Ｘ軸移動台４４は、Ｘ軸モータ４５からボールねじ機構を介して駆動され、Ｘ軸方向に移動する。装着ヘッド４６は、Ｘ軸移動台４４の後側に、着脱可能に取り付けられる。Ｙ軸レール４１、Ｙ軸移動台４２、Ｙ軸モータ４３、およびＸ軸モータ４５は、装着ヘッド４６を駆動するヘッド駆動機構４０を構成する。 The X-axis moving table 44 is mounted on the Y-axis moving table 42. The X-axis moving table 44 is driven from the X-axis motor 45 via a ball screw mechanism and moves in the X-axis direction. The mounting head 46 is detachably mounted on the rear side of the X-axis moving table 44. The Y-axis rail 41, the Y-axis moving table 42, the Y-axis motor 43, and the X-axis motor 45 constitute a head drive mechanism 40 that drives the mounting head 46.

装着ヘッド４６は、ロータリツール４７を下側に有する。ロータリツール４７は、Ｒ軸モータ４Ａ（図１１参照）によって回転駆動される。図１には省略されているが、ロータリツール４７の下側に、複数の吸着ノズル５（図２参照）が環状に配置される。マークカメラ４９は、装着ヘッド４６の下側に設けられ、ロータリツール４７に並んで配置される。マークカメラ４９は、位置決めされた基板Ｋに付設された位置マークを撮像して、基板Ｋの正確な装着実施位置を検出する。 The mounting head 46 has a rotary tool 47 on the lower side. The rotary tool 47 is rotationally driven by an R-axis motor 4A (see FIG. 11). Although omitted in FIG. 1, a plurality of suction nozzles 5 (see FIG. 2) are arranged in an annular shape under the rotary tool 47. The mark camera 49 is provided below the mounting head 46 and is arranged side by side with the rotary tool 47. The mark camera 49 captures a position mark attached to the positioned substrate K and detects an accurate mounting position of the substrate K.

部品カメラ１１は、基板搬送装置２と部品供給装置３との間の基台１０の上面に、上向きに設けられている。部品カメラ１１は、装着ヘッド４６の複数本の吸着ノズル５が部品取り出し部３４で部品を吸着して基板Ｋに移動する途中の状態を撮影する。これにより、部品カメラ１１は、複数本の吸着ノズル５にそれぞれ保持された部品を一括して撮像できる。取得された画像データは、画像処理されて、部品の有無や正誤が確認されるとともに、吸着姿勢が取得される。 The component camera 11 is provided upward on the upper surface of the base 10 between the board transfer device 2 and the component supply device 3. The component camera 11 captures a state in which the plurality of suction nozzles 5 of the mounting head 46 are sucking the component by the component extraction unit 34 and moving to the substrate K. As a result, the component camera 11 can collectively image the components held by the plurality of suction nozzles 5. The acquired image data is image-processed to confirm the presence or absence of parts and correctness, and the suction posture is acquired.

制御装置は、基板Ｋの種類ごとのジョブデータを保持して、装着作業を制御する。ジョブデータは、装着作業の詳細な手順や方法などを記述したデータである。制御装置は、基板搬送装置２、部品供給装置３、部品移載装置４、および部品カメラ１１に各種の指令を送信する。また、制御装置は、これらの装置から動作状況に関する情報を受信する。制御装置は、単一のコンピュータ装置で構成されてもよく、複数のコンピュータ装置に機能分散されて構成されてもよい。 The control device holds job data for each type of the substrate K and controls the mounting operation. Job data is data that describes detailed procedures and methods for mounting work. The control device transmits various commands to the board transfer device 2, the component supply device 3, the component transfer device 4, and the component camera 11. In addition, the control device receives information on the operating status from these devices. The control device may be configured by a single computer device, or may be configured by distributing the functions to a plurality of computer devices.

２．吸着ノズル５および装着ヘッド４６の構成
次に、吸着ノズル５および装着ヘッド４６の詳細な構成について説明する。ロータリツール４７の中心から離れた円周上に等間隔で、複数のノズル保持部４Ｂが設けられる。図２に示されるように、ノズル保持部４Ｂは、上下方向に延在する円柱状の内部空間によって形成される。ノズル保持部４Ｂは、吸着ノズル５を着脱可能かつ動作可能に保持する。2. 2. Configuration of Suction Nozzle 5 and Mounting Head 46 Next, a detailed configuration of the suction nozzle 5 and the mounting head 46 will be described. A plurality of nozzle holding portions 4B are provided at equal intervals on the circumference away from the center of the rotary tool 47. As shown in FIG. 2, the nozzle holding portion 4B is formed by a columnar internal space extending in the vertical direction. The nozzle holding portion 4B holds the suction nozzle 5 detachably and operably.

吸着ノズル５は、ノズル本体部５１、ノズル先端部５３、および付勢ばね５６などで構成される。ノズル本体部５１は、上下方向に長く形成され、ノズル保持部４Ｂの内部に昇降可能に配置される。ノズル本体部５１の外周面と、ノズル保持部４Ｂの内周面との間は、気密構造とされている。ノズル本体部５１は、軸方向流路５１１、径方向流路５１２、外周流路５１３、および先端保持空間５１４を有する。軸方向流路５１１は、ノズル本体部５１の中心に形成されて、上下方向に延在する。径方向流路５１２は、径方向に形成されて、軸方向流路５１１の上部からノズル本体部５１の外周面に連通する。 The suction nozzle 5 is composed of a nozzle body 51, a nozzle tip 53, an urging spring 56, and the like. The nozzle body 51 is formed long in the vertical direction and is arranged so as to be able to move up and down inside the nozzle holding portion 4B. An airtight structure is formed between the outer peripheral surface of the nozzle body 51 and the inner peripheral surface of the nozzle holding portion 4B. The nozzle body 51 has an axial flow path 511, a radial flow path 512, an outer peripheral flow path 513, and a tip holding space 514. The axial flow path 511 is formed at the center of the nozzle body 51 and extends in the vertical direction. The radial flow path 512 is formed in the radial direction and communicates with the outer peripheral surface of the nozzle body 51 from the upper part of the axial flow path 511.

外周流路５１３は、ノズル本体部５１の外周の一部分が縮径されて形成される。外周流路５１３は、径方向流路５１２に連通しつつ、ノズル本体部５１の外周において上下方向および周方向に拡がっている。先端保持空間５１４は、軸方向流路５１１の下側に連通して形成される。先端保持空間５１４は、軸方向流路５１１よりも大径の空間であり、下方に開口している。ノズル本体部５１は、先端保持空間５１４の内側面から外周面に開口する昇降規制窓５２をもつ。 The outer peripheral flow path 513 is formed by reducing the diameter of a part of the outer circumference of the nozzle body 51. The outer peripheral flow path 513 extends in the vertical direction and the circumferential direction on the outer periphery of the nozzle body 51 while communicating with the radial flow path 512. The tip holding space 514 is formed so as to communicate with the lower side of the axial flow path 511. The tip holding space 514 is a space having a diameter larger than that of the axial flow path 511, and is open downward. The nozzle body 51 has an elevating control window 52 that opens from the inner side surface of the tip holding space 514 to the outer peripheral surface.

ノズル先端部５３は、先端保持空間５１４の内部に、気密を確保しつつ昇降可能に設けられる。ノズル先端部５３は、円筒状の部材で形成され、その外径が先端保持空間５１４の内径に略等しい。ノズル先端部５３は、下方に進むにつれて徐々に縮径されつつ下方に開口する開口部５４を下側に有する。吸着する様々な大きさの部品に対応するために、開口部５４の開口面積が相違する複数種類の吸着ノズル５が用いられる。 The nozzle tip portion 53 is provided inside the tip holding space 514 so as to be able to move up and down while ensuring airtightness. The nozzle tip portion 53 is formed of a cylindrical member, and its outer diameter is substantially equal to the inner diameter of the tip holding space 514. The nozzle tip portion 53 has an opening 54 on the lower side that opens downward while being gradually reduced in diameter as the nozzle tip portion 53 advances downward. In order to deal with parts of various sizes to be adsorbed, a plurality of types of adsorption nozzles 5 having different opening areas of the openings 54 are used.

ノズル先端部５３の途中高さに、エアの流れを妨げない支持板５５が設けられる。支持板５５は、水平方向に配置され、その端部が昇降規制窓５２に係入している。支持板５５とノズル本体部５１の間に、付勢ばね５６が設けられる。付勢ばね５６は、ノズル本体部５１を基準にして、ノズル先端部５３を下方に付勢する。したがって、通常時に、ノズル先端部５３は、支持板５５が昇降規制窓５２の下面に接する高さに維持される（図２参照）。 A support plate 55 that does not obstruct the flow of air is provided at an intermediate height of the nozzle tip 53. The support plate 55 is arranged in the horizontal direction, and its end is engaged with the elevating control window 52. An urging spring 56 is provided between the support plate 55 and the nozzle body 51. The urging spring 56 urges the nozzle tip portion 53 downward with reference to the nozzle body portion 51. Therefore, in the normal state, the nozzle tip portion 53 is maintained at a height at which the support plate 55 is in contact with the lower surface of the elevating regulation window 52 (see FIG. 2).

ここで、装着ヘッド４６の後部寄りの特定箇所に、吸着ノズル５が動作するノズル動作位置が設定されている。ノズル動作位置の上方には、昇降駆動部に相当するＺ軸モータ４８が設けられる。ロータリツール４７の回転によってノズル動作位置にセットされた吸着ノズル５は、Ｚ軸モータ４８に駆動されて、ノズル保持部４Ｂの中を昇降する。また、ノズル動作位置にセットされた吸着ノズル５は、Ｑ軸モータ４Ｃ（図１１参照）に駆動されて、ノズル保持部４Ｂの中で自転する。 Here, the nozzle operating position in which the suction nozzle 5 operates is set at a specific location near the rear of the mounting head 46. Above the nozzle operating position, a Z-axis motor 48 corresponding to an elevating drive unit is provided. The suction nozzle 5 set at the nozzle operating position by the rotation of the rotary tool 47 is driven by the Z-axis motor 48 and moves up and down in the nozzle holding portion 4B. Further, the suction nozzle 5 set at the nozzle operation position is driven by the Q-axis motor 4C (see FIG. 11) and rotates in the nozzle holding portion 4B.

さらに、ノズル動作位置の近傍に、タッチダウン監視センサ４Ｄが設けられる。タッチダウン監視センサ４Ｄは、下降駆動された吸着ノズル５の下端が物体に当接するタッチダウン状態を監視する。タッチダウン監視センサ４Ｄとして、検出光の通過および反射を利用して支持板５５の高さ位置を監視する光電センサを例示することができる。光電センサ（タッチダウン監視センサ４Ｄ）は、Ｚ軸モータ４８に駆動されて、吸着ノズル５とともに下降する。 Further, a touchdown monitoring sensor 4D is provided in the vicinity of the nozzle operating position. The touch-down monitoring sensor 4D monitors a touch-down state in which the lower end of the suction nozzle 5 driven downward abuts on an object. As the touch-down monitoring sensor 4D, a photoelectric sensor that monitors the height position of the support plate 55 by utilizing the passage and reflection of the detected light can be exemplified. The photoelectric sensor (touchdown monitoring sensor 4D) is driven by the Z-axis motor 48 and descends together with the suction nozzle 5.

光電センサ（タッチダウン監視センサ４Ｄ）による検出方式について補足説明する。Ｚ軸モータ４８に下降駆動されたとき、ノズル本体部５１、ノズル先端部５３、および光電センサは、始めのうちは共に下降する。ノズル先端部５３が物体に当接して下降できなくなると、以降は、ノズル本体部５１および光電センサが下降し続ける。この結果、付勢ばね５６が圧縮され、支持板５５は、昇降規制窓５２の下面から離れてゆく。つまり、光電センサから見て、支持板５５が相対的に上昇することから、タッチダウン状態の検出が可能となる。なお、タッチダウン監視センサ４Ｄとして、光電センサ以外の監視手段、例えば、吸着ノズル５の下降動作を撮影する監視カメラを用いてもよい。 The detection method using the photoelectric sensor (touchdown monitoring sensor 4D) will be supplementarily described. When driven downward by the Z-axis motor 48, the nozzle body 51, the nozzle tip 53, and the photoelectric sensor are all lowered at the beginning. When the nozzle tip portion 53 comes into contact with an object and cannot descend, the nozzle body portion 51 and the photoelectric sensor continue to descend. As a result, the urging spring 56 is compressed, and the support plate 55 moves away from the lower surface of the elevating regulation window 52. That is, since the support plate 55 rises relatively when viewed from the photoelectric sensor, the touch-down state can be detected. As the touch-down monitoring sensor 4D, a monitoring means other than the photoelectric sensor, for example, a monitoring camera that captures the descending operation of the suction nozzle 5 may be used.

さらに、ロータリツール４７には、吸着ノズル５ごとに内部流路４Ｅおよびメカバルブ４Ｆが設けられる。内部流路４Ｅは、吸着ノズル５に負圧および正圧のエアを選択的に供給する。内部流路４Ｅは、ノズル保持部４Ｂに開口して形成され、吸着ノズル５の外周流路５１３に連通される。外周流路５１３が上下方向および周方向に拡がっているので、吸着ノズル５が昇降し、また自転しても、内部流路４Ｅと外周流路５１３の連通が維持される。 Further, the rotary tool 47 is provided with an internal flow path 4E and a mechanical valve 4F for each suction nozzle 5. The internal flow path 4E selectively supplies negative pressure and positive pressure air to the suction nozzle 5. The internal flow path 4E is formed by opening in the nozzle holding portion 4B and communicates with the outer peripheral flow path 513 of the suction nozzle 5. Since the outer peripheral flow path 513 expands in the vertical direction and the circumferential direction, communication between the inner flow path 4E and the outer peripheral flow path 513 is maintained even if the suction nozzle 5 moves up and down and rotates.

メカバルブ４Ｆは、内部流路４Ｅの開閉をメカニカルに行う。メカバルブ４Ｆは、内部流路４Ｅを遮断しつつ上下方向に延在し、昇降可能に設けられる。メカバルブ４Ｆは、昇降駆動される係合部４Ｇを上部に有し、内部流路４Ｅを連通させる開口部４Ｈを下方寄りに有する。メカバルブ４Ｆは、図略の摩擦力保持機構を備えており、重力や振動などの影響が抑制される。これにより、メカバルブ４Ｆは、通常時に安定して下側に位置する。 The mechanical valve 4F mechanically opens and closes the internal flow path 4E. The mechanical valve 4F extends in the vertical direction while blocking the internal flow path 4E, and is provided so as to be able to move up and down. The mechanical valve 4F has an engaging portion 4G that is driven up and down at the upper part, and has an opening 4H that communicates the internal flow path 4E at the lower side. The mechanical valve 4F is provided with a frictional force holding mechanism (not shown), and the influence of gravity, vibration, or the like is suppressed. As a result, the mechanical valve 4F is stably located on the lower side in normal times.

また、装着ヘッド４６のノズル動作位置の近傍に、駆動軸４Ｊおよびステッピングモータ４Ｌが設けられる。駆動軸４Ｊは、メカバルブ４Ｆの係合部４Ｇを係止する係止部４Ｋを有して、昇降可能に保持される。ロータリツール４７が回転すると、駆動軸４Ｊの係止部４Ｋは、別のメカバルブ４Ｆの係合部４Ｇを係止する。 Further, a drive shaft 4J and a stepping motor 4L are provided in the vicinity of the nozzle operating position of the mounting head 46. The drive shaft 4J has a locking portion 4K for locking the engaging portion 4G of the mechanical valve 4F, and is held so as to be able to move up and down. When the rotary tool 47 rotates, the locking portion 4K of the drive shaft 4J locks the engaging portion 4G of another mechanical valve 4F.

ステッピングモータ４Ｌは、駆動軸４Ｊを昇降駆動する。図３において、ステッピングモータ４Ｌは動作しておらず、駆動軸４Ｊは下側に位置し、メカバルブ４Ｆは下側に位置する。このとき、メカバルブ４Ｆの開口部４Ｈは、内部流路４Ｅから外れており、内部流路４Ｅは遮断される。ステッピングモータ４Ｌが動作して駆動軸４Ｊを上方に駆動すると、係止部４Ｋが係合部４Ｇを上方に駆動して、メカバルブ４Ｆが上昇する。これにより、メカバルブ４Ｆの開口部４Ｈが内部流路４Ｅに重なり、内部流路４Ｅは連通される。メカバルブ４Ｆは、ノズル動作位置にある場合に開閉操作され、ノズル動作位置以外では常に閉じた状態となる。 The stepping motor 4L moves the drive shaft 4J up and down. In FIG. 3, the stepping motor 4L is not operating, the drive shaft 4J is located on the lower side, and the mechanical valve 4F is located on the lower side. At this time, the opening 4H of the mechanical valve 4F is disconnected from the internal flow path 4E, and the internal flow path 4E is cut off. When the stepping motor 4L operates to drive the drive shaft 4J upward, the locking portion 4K drives the engaging portion 4G upward, and the mechanical valve 4F rises. As a result, the opening 4H of the mechanical valve 4F overlaps the internal flow path 4E, and the internal flow path 4E communicates with the internal flow path 4E. The mechanical valve 4F is opened and closed when it is in the nozzle operating position, and is always closed except in the nozzle operating position.

また、図３に示されるように、Ｘ軸移動台４４の後側には、装着ヘッド４６を取り付けるためのクランプ機構４Ｍが設けられる。クランプ機構４Ｍは、下部の脚部支承部４Ｎ、上部のプッシャ部材４Ｐおよび押圧部材４Ｑなどで構成される。脚部支承部４Ｎは、上方に開口するＶ溝形状に形成されている。プッシャ部材４Ｐは、上下動可能に設けられ、下側に係止斜面４Ｐ１を有し、上側に従動斜面４Ｐ２を有する。押圧部材４Ｑは、プッシャ部材４Ｐの後方の上部の位置に、前後動可能に配置される。押圧部材４Ｑの前側の下部に形成された駆動斜面４Ｑ１は、プッシャ部材４Ｐの従動斜面４Ｐ２に接する。また、Ｘ軸移動台４４のクランプ機構４Ｍよりも上方の位置に、後方に向かって延在する図略の電気接続部が設けられている。 Further, as shown in FIG. 3, a clamp mechanism 4M for mounting the mounting head 46 is provided on the rear side of the X-axis moving table 44. The clamp mechanism 4M is composed of a lower leg support portion 4N, an upper pusher member 4P, a pressing member 4Q, and the like. The leg support portion 4N is formed in a V-groove shape that opens upward. The pusher member 4P is provided so as to be movable up and down, has a locking slope 4P1 on the lower side, and has a driven slope 4P2 on the upper side. The pressing member 4Q is arranged so as to be movable back and forth at a position in the upper part behind the pusher member 4P. The drive slope 4Q1 formed in the lower part on the front side of the pressing member 4Q is in contact with the driven slope 4P2 of the pusher member 4P. Further, an electrical connection portion (not shown) extending rearward is provided at a position above the clamp mechanism 4M of the X-axis moving table 44.

一方、装着ヘッド４６は、前側の下部に脚部４Ｒを有し、前側の上部に係合ローラ４Ｓを有する。脚部４Ｒの断面は、Ｖ字状に下向きに突出している。係合ローラ４Ｓの断面は、円形とされている。また、装着ヘッド４６の上面に、コネクタ４６１（図６、図７参照）が設けられている。コネクタ４６１は、Ｘ軸移動台４４の電気接続部に接続されて、電源供給を受けるとともに、制御情報の授受などを行う通信路を確保する。 On the other hand, the mounting head 46 has a leg portion 4R at the lower portion on the front side and an engaging roller 4S at the upper portion on the front side. The cross section of the leg portion 4R projects downward in a V shape. The cross section of the engaging roller 4S is circular. Further, a connector 461 (see FIGS. 6 and 7) is provided on the upper surface of the mounting head 46. The connector 461 is connected to the electrical connection portion of the X-axis moving table 44 to receive power supply and secure a communication path for exchanging and receiving control information.

装着ヘッド４６の取り付け作業において、まず、装着ヘッド４６が傾けられ、脚部４Ｒが脚部支承部４Ｎに係入される。次に、装着ヘッド４６が起立されて、係合ローラ４Ｓがプッシャ部材４Ｐの前側まで入り込む。次に、押圧部材４Ｑが前側に駆動されると、駆動斜面４Ｑ１が従動斜面４Ｐ２を下向きに押圧し、プッシャ部材４Ｐは下降する。これにより、プッシャ部材４Ｐの係止斜面４Ｐ１は、係合ローラ４Ｓを係止する。最後に、Ｘ軸移動台４４の電気接続部と、装着ヘッド４６のコネクタ４６１とが接続されて、取り付け作業が完了する。なお、装着ヘッド４６の取り外し作業は、概ね取り付け作業の逆順となる。 In the mounting work of the mounting head 46, first, the mounting head 46 is tilted, and the leg portion 4R is engaged with the leg bearing portion 4N. Next, the mounting head 46 is erected, and the engaging roller 4S enters the front side of the pusher member 4P. Next, when the pressing member 4Q is driven forward, the driving slope 4Q1 presses the driven slope 4P2 downward, and the pusher member 4P descends. As a result, the locking slope 4P1 of the pusher member 4P locks the engaging roller 4S. Finally, the electrical connection portion of the X-axis moving table 44 and the connector 461 of the mounting head 46 are connected to complete the mounting work. The removal work of the mounting head 46 is generally in the reverse order of the mounting work.

また、図４に示されるように、Ｘ軸移動台４４は、負圧源４Ｔ、正圧源４Ｕ、切り替え弁４Ｖ、および供給管路４Ｗを有する。負圧源４Ｔは、吸着ノズル５に負圧のエアを供給するものであり、例えば、エアを吸引する真空ポンプを用いて構成される。正圧源４Ｕは、吸着ノズル５に正圧のエアを供給するものであり、例えば、エアを圧縮して送り出すコンプレッサを用いて構成される。切り替え弁４Ｖは、供給管路４Ｗに供給するエアの負圧と正圧を切り替える。切り替え弁４Ｖは、例えば、１個の三方弁や、複数の開閉弁の組み合わせにより構成される。 Further, as shown in FIG. 4, the X-axis moving table 44 has a negative pressure source 4T, a positive pressure source 4U, a switching valve 4V, and a supply pipeline 4W. The negative pressure source 4T supplies negative pressure air to the suction nozzle 5, and is configured by using, for example, a vacuum pump that sucks air. The positive pressure source 4U supplies positive pressure air to the suction nozzle 5, and is configured by using, for example, a compressor that compresses and sends out the air. The switching valve 4V switches between the negative pressure and the positive pressure of the air supplied to the supply pipe 4W. The switching valve 4V is composed of, for example, one three-way valve or a combination of a plurality of on-off valves.

図３に示されるように、供給管路４Ｗは、Ｘ軸移動台４４の後面に開口している。一方、内部流路４Ｅは、ロータリツール４７から装着ヘッド４６の本体に連通され、装着ヘッド４６の前面に開口している。クランプ機構４Ｍを用いて装着ヘッド４６が取り付けられたとき、供給管路４Ｗと内部流路４Ｅは、気密を維持して連通される。図４に示されるように、内部流路４Ｅは、途中で吸着ノズル５の個数に等しい流路数に分岐され、メカバルブ４Ｆを経由して吸着ノズル５に至る。 As shown in FIG. 3, the supply line 4W is open to the rear surface of the X-axis moving table 44. On the other hand, the internal flow path 4E communicates with the main body of the mounting head 46 from the rotary tool 47 and opens in front of the mounting head 46. When the mounting head 46 is attached using the clamp mechanism 4M, the supply line 4W and the internal flow path 4E are communicated with each other while maintaining airtightness. As shown in FIG. 4, the internal flow path 4E is branched into a number of flow paths equal to the number of suction nozzles 5 on the way, and reaches the suction nozzle 5 via the mechanical valve 4F.

３．第１実施形態の装着ヘッドメンテナンス装置６
第１実施形態の装着ヘッドメンテナンス装置６の説明に移る。図５に示されるように、装着ヘッドメンテナンス装置６は、箱形状のフレーム６１を用いて形成される。フレーム６１の下側に複数のキャスタ６２が設けられており、装着ヘッドメンテナンス装置６は、移動が可能である。フレーム６１の前面の上部に、扉６３が設けられる。扉６３は、透明な樹脂で形成され、フレーム６１内が目視されるようになっている。装着ヘッド４６は、扉６３が開けられてフレーム６１内に持ち込まれる。扉６３の上側に、操作部９１および表示部９２が設けられる。3. 3. Mounting head maintenance device 6 of the first embodiment
The description of the mounting head maintenance device 6 of the first embodiment will be given. As shown in FIG. 5, the mounting head maintenance device 6 is formed by using the box-shaped frame 61. A plurality of casters 62 are provided on the lower side of the frame 61, and the mounting head maintenance device 6 can be moved. A door 63 is provided on the upper part of the front surface of the frame 61. The door 63 is made of a transparent resin so that the inside of the frame 61 can be visually recognized. The mounting head 46 is brought into the frame 61 with the door 63 opened. An operation unit 91 and a display unit 92 are provided on the upper side of the door 63.

図６には、装着ヘッドメンテナンス装置６からフレーム６１を取り外した状態の概ね上半分が示されている。フレーム６１の内部の略中間高さに、基台６４が水平に架け渡される。装着ヘッドメンテナンス装置６は、取り付けユニット６５、検査ユニット７、および制御部９（図１１参照）を含んで構成される。 FIG. 6 shows substantially the upper half of the state in which the frame 61 is removed from the mounting head maintenance device 6. The base 64 is horizontally bridged at a substantially intermediate height inside the frame 61. The mounting head maintenance device 6 includes a mounting unit 65, an inspection unit 7, and a control unit 9 (see FIG. 11).

取り付けユニット６５は、基台６４の後寄りに立設される。取り付けユニット６５の前側にクランプ機構６６が設けられる、クランプ機構６６は、Ｘ軸移動台４４に設けられたクランプ機構４Ｍと同一の構成を有する。したがって、装着ヘッド４６は、Ｘ軸移動台４４への取り付け作業と同じ要領で、取り付けユニット６５に取り付けられる。図６および図７において、既に装着ヘッド４６が取り付けられており、クランプ機構６６の上部の電気接続部６８および装着ヘッド４６の上面のコネクタ４６１が示されている。 The mounting unit 65 is erected near the rear of the base 64. The clamp mechanism 66 provided with the clamp mechanism 66 on the front side of the mounting unit 65 has the same configuration as the clamp mechanism 4M provided on the X-axis moving table 44. Therefore, the mounting head 46 is mounted on the mounting unit 65 in the same manner as the mounting work on the X-axis moving table 44. In FIGS. 6 and 7, the mounting head 46 is already mounted, and the electrical connection portion 68 at the top of the clamp mechanism 66 and the connector 461 on the top surface of the mounting head 46 are shown.

検査ユニット７は、エアセンサ（後述）による測定の機能に加えて、装着ヘッド４６を洗浄する機能を併せもつ。検査ユニット７は、圧力源７１、検査機能部８、汚れ吸引ブロア７２、およびＸ−Ｙ駆動機構７３などで構成される。圧力源７１は、取り付けユニット６５の内部に配置される。図８〜１０に示されるように、圧力源７１は、Ｘ軸移動台４４の供給管路４Ｗと同一形状の供給管路７５を有する。供給管路７５は、取り付けユニット６５に取り付けられた装着ヘッド４６の内部流路４Ｅに連通される。なお、図８〜１０において、ノズル動作位置以外のメカバルブ４Ｆおよび内部流路４Ｅは、図示省略されている。 The inspection unit 7 has a function of cleaning the mounting head 46 in addition to the function of measurement by an air sensor (described later). The inspection unit 7 includes a pressure source 71, an inspection function unit 8, a dirt suction blower 72, an XY drive mechanism 73, and the like. The pressure source 71 is arranged inside the mounting unit 65. As shown in FIGS. 8 to 10, the pressure source 71 has a supply line 75 having the same shape as the supply line 4W of the X-axis moving table 44. The supply pipeline 75 communicates with the internal flow path 4E of the mounting head 46 mounted on the mounting unit 65. In FIGS. 8 to 10, the mechanical valve 4F and the internal flow path 4E other than the nozzle operating position are not shown.

圧力源７１は、装着ヘッド４６の内部流路４Ｅに負圧および正圧のエアを選択的に供給する。圧力源７１は、負圧源４Ｔと同等の負圧、および正圧源４Ｕと同等の正圧を切り替えて発生する。さらに、圧力源７１は、内部流路４Ｅのうち少なくとも負圧のエアが流れる負圧流路範囲を洗浄する洗浄用エアの供給源を兼ねる。圧力源７１は、例えば、真空ポンプ、コンプレッサ、および弁類の組み合わせによって構成される。第１実施形態において、内部流路４Ｅの全体が負圧流路範囲に該当する。また、洗浄用エアの圧力は、正圧源４Ｕの正圧よりも高いパージ圧力とされている。 The pressure source 71 selectively supplies negative pressure and positive pressure air to the internal flow path 4E of the mounting head 46. The pressure source 71 is generated by switching between a negative pressure equivalent to the negative pressure source 4T and a positive pressure equivalent to the positive pressure source 4U. Further, the pressure source 71 also serves as a supply source of cleaning air for cleaning the negative pressure flow path range in which at least the negative pressure air flows in the internal flow path 4E. The pressure source 71 is composed of, for example, a combination of a vacuum pump, a compressor, and valves. In the first embodiment, the entire internal flow path 4E corresponds to the negative pressure flow path range. Further, the pressure of the cleaning air is set to be a purge pressure higher than the positive pressure of the positive pressure source 4U.

検査機能部８は、取り付けユニット６５に取り付けられた装着ヘッド４６の下側に位置する箱体の内部に収納される。図９および図１０に示されるように、検査機能部８は、外部流路、弁類、およびエアセンサで構成される。外部流路は、樹脂製チューブや金属製パイプを用いて構成される。外部流路は、共通外部流路８０、第１外部流路８１、第２外部流路８２、および測定流路８３を含む。弁類は、切り替え弁８５、第１開閉弁８６、および第２開閉弁８７を含む。弁類は、電気的に制御可能な電磁弁とされる。エアセンサは、エア流量センサ８Ｘおよびエア圧力センサ８Ｙを含む。 The inspection function unit 8 is housed inside a box body located below the mounting head 46 mounted on the mounting unit 65. As shown in FIGS. 9 and 10, the inspection function unit 8 is composed of an external flow path, valves, and an air sensor. The external flow path is configured by using a resin tube or a metal pipe. The external flow path includes a common external flow path 80, a first external flow path 81, a second external flow path 82, and a measurement flow path 83. The valves include a switching valve 85, a first on-off valve 86, and a second on-off valve 87. The valves are solenoid valves that can be electrically controlled. The air sensor includes an air flow rate sensor 8X and an air pressure sensor 8Y.

共通外部流路８０は、上流端に設けられたパッキン８０１と、切り替え弁８５の共通ポート８５０を連通する。図７に示されるように、パッキン８０１は、箱体の上部に突出している。パッキン８０１は、取り付けユニット６５に取り付けられた装着ヘッド４６から見て、基板Ｋと同じ高さに設定される。第１外部流路８１は、切り替え弁８５の第１ポート８５１と、第１開閉弁８６を連通する。第２外部流路８２は、切り替え弁８５の第２ポート８５２と、第２開閉弁８７を連通する。測定流路８３は、第１外部流路８１の途中位置から分岐して、第２外部流路８２の途中位置に合流する。外部流路を短く構成することにより、エアセンサの位置をノズル保持部４Ｂに近付けることができる。 The common external flow path 80 communicates with the packing 801 provided at the upstream end and the common port 850 of the switching valve 85. As shown in FIG. 7, the packing 801 projects to the upper part of the box body. The packing 801 is set at the same height as the substrate K when viewed from the mounting head 46 mounted on the mounting unit 65. The first external flow path 81 communicates the first port 851 of the switching valve 85 with the first on-off valve 86. The second external flow path 82 communicates the second port 852 of the switching valve 85 with the second on-off valve 87. The measurement flow path 83 branches from the middle position of the first external flow path 81 and joins the middle position of the second external flow path 82. By making the external flow path short, the position of the air sensor can be brought closer to the nozzle holding portion 4B.

切り替え弁８５は、次に説明する第１状態と第２状態を切り替える。第１状態において、共通ポート８５０と第１ポート８５１が連通し、第２ポート８５２が閉止される（図９参照）。第２状態において、共通ポート８５０と第２ポート８５２が連通し、第１ポート８５１が閉止される（図１０参照）。第１開閉弁８６は、第１外部流路８１の下流端８１１を開閉操作する。第２開閉弁８７は、第２外部流路８２の下流端８２１を開閉操作する。 The switching valve 85 switches between the first state and the second state described below. In the first state, the common port 850 and the first port 851 communicate with each other, and the second port 852 is closed (see FIG. 9). In the second state, the common port 850 and the second port 852 communicate with each other, and the first port 851 is closed (see FIG. 10). The first on-off valve 86 operates to open and close the downstream end 811 of the first external flow path 81. The second on-off valve 87 operates to open and close the downstream end 821 of the second external flow path 82.

エアセンサは、測定流路８３に設けられる。エアセンサは、良好な検出精度を有することが確認されている必要がある。エア流量センサ８Ｘは、測定流路８３内に直列に接続される。エア流量センサ８Ｘは、第１外部流路８１から第２外部流路８２に向かう一方向のエアの流量のみを検出する一方向エア流量センサとされている。エア圧力センサ８Ｙは、第１外部流路８１とエア流量センサ８Ｘの間から分岐された分岐流路８Ｚに接続され、袋小路を形成する。エア圧力センサ８Ｙは、負圧および正圧の両方を測定できるタイプが採用される。また、分岐流路８Ｚの分岐点よりも第１外部流路８１に近い箇所に、混入した塵埃を除去するフィルタ８３１が直列に接続される。 The air sensor is provided in the measurement flow path 83. The air sensor needs to be confirmed to have good detection accuracy. The air flow rate sensor 8X is connected in series in the measurement flow path 83. The air flow rate sensor 8X is a one-way air flow rate sensor that detects only the flow rate of air in one direction from the first external flow path 81 to the second external flow path 82. The air pressure sensor 8Y is connected to the branch flow path 8Z branched from between the first external flow path 81 and the air flow rate sensor 8X, and forms a dead end. As the air pressure sensor 8Y, a type capable of measuring both negative pressure and positive pressure is adopted. Further, a filter 831 for removing mixed dust is connected in series at a position closer to the first external flow path 81 than the branch point of the branch flow path 8Z.

装着ヘッド４６のメンテナンスに際し、ノズル動作位置の吸着ノズル５に代えて、連通部材６７がノズル保持部４Ｂに取り付けられる。連通部材６７は、上下方向の寸法、および付勢ばね５６などの構成が吸着ノズル５と同一に形成されている。前述したように、吸着ノズル５の開口部５４は、開口面積の相違する複数種類がある。連通部材６７の下側の開口部の開口面積は、最も大きな開口部５４に合わせて設定される。これにより、内部流路４Ｅに大きな塵埃が仮に混入していても、確実に排出することが可能となる。 During maintenance of the mounting head 46, a communication member 67 is attached to the nozzle holding portion 4B instead of the suction nozzle 5 at the nozzle operating position. The communication member 67 has the same vertical dimensions and a configuration such as the urging spring 56 as the suction nozzle 5. As described above, there are a plurality of types of openings 54 of the suction nozzle 5 having different opening areas. The opening area of the lower opening of the communication member 67 is set to match the largest opening 54. As a result, even if large dust is mixed in the internal flow path 4E, it can be reliably discharged.

ノズル保持部４Ｂに保持された連通部材６７は、内部流路４Ｅに連通され、かつ、Ｚ軸モータ４８からの昇降駆動、およびタッチダウン監視センサ４Ｄによる監視が可能となっている。また、検査機能部８のパッキン８０１は、連通部材６７の開口部に適合する形状とされている。したがって、連通部材６７が下降してパッキン８０１に圧接されたとき、連通部材６７および共通外部流路８０は、気密を確保しつつ相互に連通する。 The communication member 67 held by the nozzle holding portion 4B is communicated with the internal flow path 4E, and can be driven up and down from the Z-axis motor 48 and monitored by the touchdown monitoring sensor 4D. Further, the packing 801 of the inspection function unit 8 has a shape that fits the opening of the communication member 67. Therefore, when the communication member 67 descends and is pressed against the packing 801 the communication member 67 and the common external flow path 80 communicate with each other while ensuring airtightness.

図６〜図８に示されるように、汚れ吸引ブロア７２は、検査機能部８の箱体の上側に一体的に設けられる。汚れ吸引ブロア７２は、装着ヘッド４６の内部流路４Ｅの洗浄に使用される。汚れ吸引ブロア７２は、上方に開口する円筒状に形成され、ファンなどを備えて塵埃の吸引機能を有する。Ｘ−Ｙ駆動機構７３は、基台６４の上面の取り付けユニット６５の前側に配置される。Ｘ−Ｙ駆動機構７３は、検査機能部８および汚れ吸引ブロア７２を水平二方向に駆動する。 As shown in FIGS. 6 to 8, the dirt suction blower 72 is integrally provided on the upper side of the box body of the inspection function unit 8. The dirt suction blower 72 is used for cleaning the internal flow path 4E of the mounting head 46. The dirt suction blower 72 is formed in a cylindrical shape that opens upward, and is provided with a fan or the like to have a dust suction function. The XY drive mechanism 73 is arranged on the front side of the mounting unit 65 on the upper surface of the base 64. The XY drive mechanism 73 drives the inspection function unit 8 and the dirt suction blower 72 in two horizontal directions.

制御部９は、ＣＰＵを有してソフトウェアで動作するコンピュータ装置により構成される。制御部９の配設位置は特に限定されない。図１１の機能ブロック図に示されるように、制御部９には、前述した操作部９１および表示部９２が付属されている。操作部９１は、操作スイッチやテンキーなどで構成され、洗浄や測定の動作指令などが入力される。表示部９２は、液晶表示装置などで構成され、装着ヘッド４６の個体情報、洗浄や測定の進捗状況および実施結果などを表示する。 The control unit 9 is composed of a computer device having a CPU and operating by software. The arrangement position of the control unit 9 is not particularly limited. As shown in the functional block diagram of FIG. 11, the control unit 9 is provided with the operation unit 91 and the display unit 92 described above. The operation unit 91 is composed of an operation switch, a numeric keypad, and the like, and an operation command for cleaning and measurement is input. The display unit 92 is composed of a liquid crystal display device or the like, and displays individual information of the mounting head 46, progress of cleaning and measurement, implementation results, and the like.

制御部９は、モータ制御部９３および測定制御部９４を含む。モータ制御部９３は、装着ヘッド４６のＺ軸モータ４８、Ｒ軸モータ４Ａ、Ｑ軸モータ４Ｃ、およびステッピングモータ４Ｌを制御する。測定制御部９４は、圧力源７１、Ｘ−Ｙ駆動機構７３、切り替え弁８５、第１開閉弁８６、および第２開閉弁８７を制御する。測定制御部９４は、さらに、エア流量センサ８Ｘおよびエア圧力センサ８Ｙの検出出力を取得する。測定制御部９４は、洗浄動作、ならびに正圧および負圧のエアによる測定動作の手順を記述したソフトウェアにしたがい、制御を進める。 The control unit 9 includes a motor control unit 93 and a measurement control unit 94. The motor control unit 93 controls the Z-axis motor 48, the R-axis motor 4A, the Q-axis motor 4C, and the stepping motor 4L of the mounting head 46. The measurement control unit 94 controls the pressure source 71, the XY drive mechanism 73, the switching valve 85, the first on-off valve 86, and the second on-off valve 87. The measurement control unit 94 further acquires the detection outputs of the air flow rate sensor 8X and the air pressure sensor 8Y. The measurement control unit 94 advances the control according to the software describing the procedure of the cleaning operation and the measurement operation by the positive pressure and the negative pressure air.

ここで、エアセンサの測定結果は、良否を判定する検査に適用可能な物理量であることが必要条件となる。詳述すると、エアの流れが時間的に一定でないので、検出される瞬時値は時々刻々と変化し得る。また、過渡的なエアの流れの状態は、流路の位置に依存して変化する。したがって、エアセンサの測定結果として、エアの流れが停止した後の圧力値や、流量の時間平均値などが用いられる。 Here, it is a necessary condition that the measurement result of the air sensor is a physical quantity applicable to the inspection for determining the quality. In detail, since the air flow is not constant over time, the detected instantaneous value can change from moment to moment. Also, the transient air flow state changes depending on the position of the flow path. Therefore, as the measurement result of the air sensor, the pressure value after the air flow is stopped, the time average value of the flow rate, and the like are used.

４．装着ヘッドメンテナンス装置６を使用したメンテナンス動作
次に、装着ヘッドメンテナンス装置６を使用して装着ヘッド４６のメンテナンスを実施する動作について説明する。メンテナンスでは、まず、装着ヘッド４６の内部流路４Ｅの洗浄が実施され、続いて、エアセンサによる測定および検査が実施される。図１２に示された動作フローは、作業者と装着ヘッドメンテナンス装置６の共同作業により進められる。4. Maintenance operation using the mounting head maintenance device 6 Next, an operation of performing maintenance of the mounting head 46 using the mounting head maintenance device 6 will be described. In the maintenance, first, the internal flow path 4E of the mounting head 46 is cleaned, and then the measurement and inspection by the air sensor are performed. The operation flow shown in FIG. 12 is carried out by the joint work of the operator and the mounting head maintenance device 6.

図１２のステップＳ１で、作業者は、装着ヘッドメンテナンス装置６の扉６３を開け、装着ヘッド４６を取り付けユニット６５に取り付ける。電気接続部６８とコネクタ４６１の接続により、装着ヘッド４６への電源供給が確保され、かつ、制御部９から装着ヘッド４６を制御できるようになる。次のステップＳ２で、作業者は、装着ヘッド４６のノズル動作位置にある吸着ノズル５を取り外して、連通部材６７を取り付ける。 In step S1 of FIG. 12, the operator opens the door 63 of the mounting head maintenance device 6 and mounts the mounting head 46 on the mounting unit 65. By connecting the electrical connection unit 68 and the connector 461, the power supply to the mounting head 46 is secured, and the mounting head 46 can be controlled from the control unit 9. In the next step S2, the operator removes the suction nozzle 5 at the nozzle operating position of the mounting head 46 and attaches the communication member 67.

次のステップＳ３で、作業者は、扉６３を閉じて、操作部９１から動作指令を入力する。動作指令は、洗浄動作、正圧エアによる測定動作、および負圧エアによる測定動作を続けて実施させる指令である。これに限定されず、三つの動作に個別の指令が設定され、いずれか一つの動作のみが実施されてもよい。動作指令を認識した制御部９は、測定制御部９４を起動する。測定制御部９４は、１番目に、洗浄動作を制御する。 In the next step S3, the operator closes the door 63 and inputs an operation command from the operation unit 91. The operation command is a command to continuously execute the cleaning operation, the measurement operation by the positive pressure air, and the measurement operation by the negative pressure air. Not limited to this, individual commands may be set for the three operations, and only one of the operations may be executed. The control unit 9 that recognizes the operation command activates the measurement control unit 94. First, the measurement control unit 94 controls the cleaning operation.

具体的に、測定制御部９４は、Ｘ−Ｙ駆動機構７３を制御して、汚れ吸引ブロア７２を連通部材６７の真下に移動させ、図８に示された状況とする。測定制御部９４は、次に、モータ制御部９３経由でステッピングモータ４Ｌを制御してメカバルブ４Ｆを開き、内部流路４Ｅを連通させる。測定制御部９４は、その次に、圧力源７１を制御して、パージ圧力の洗浄用エアを供給させる。この制御により、洗浄用エアは、圧力源７１から内部流路４Ｅおよび連通部材６７を通り、汚れ吸引ブロア７２に向かって排気される。したがって、内部流路４Ｅに混入していた塵埃は、洗浄用エアの流れに乗って移動し、汚れ吸引ブロア７２に排出される。 Specifically, the measurement control unit 94 controls the XY drive mechanism 73 to move the dirt suction blower 72 directly under the communication member 67, and the situation is as shown in FIG. Next, the measurement control unit 94 controls the stepping motor 4L via the motor control unit 93 to open the mechanical valve 4F and communicate the internal flow path 4E. The measurement control unit 94 then controls the pressure source 71 to supply cleaning air with a purge pressure. By this control, the cleaning air is exhausted from the pressure source 71 through the internal flow path 4E and the communication member 67 toward the dirt suction blower 72. Therefore, the dust mixed in the internal flow path 4E moves along with the flow of the cleaning air and is discharged to the dirt suction blower 72.

次のステップＳ４で、測定制御部９４は、２番目に、正圧エアによる測定動作を制御する。具体的に、測定制御部９４は、Ｘ−Ｙ駆動機構７３を制御して、検査機能部８を連通部材６７の真下に移動させる。さらに、測定制御部９４は、モータ制御部９３経由でＺ軸モータ４８を制御して連通部材６７を下降させ、パッキン８０１に圧接させる。これにより、図９および図１０に示される測定用の流路系統が形成される。 In the next step S4, the measurement control unit 94 secondly controls the measurement operation by the positive pressure air. Specifically, the measurement control unit 94 controls the XY drive mechanism 73 to move the inspection function unit 8 directly under the communication member 67. Further, the measurement control unit 94 controls the Z-axis motor 48 via the motor control unit 93 to lower the communication member 67 and press-contact it with the packing 801. As a result, the flow path system for measurement shown in FIGS. 9 and 10 is formed.

測定制御部９４は、次に、切り替え弁８５を第１状態、第１開閉弁８６を閉状態、第２開閉弁８７を開状態に制御し、圧力源７１を正圧源４Ｕの正圧に制御する。すると、正圧エアは、図９に示された太線の矢印の方向に流れ、エア流量センサ８Ｘによる測定が可能となる。圧力源７１の制御から第１所定時間が経過すると、正圧エアの流れが安定化するので、測定制御部９４は測定を開始する。測定制御部９４は、所定の測定時間幅の間、エア流量センサ８Ｘの検出出力を取得して平均化し、正圧エアの流量の時間平均値を取得する。 Next, the measurement control unit 94 controls the switching valve 85 in the first state, the first on-off valve 86 in the closed state, and the second on-off valve 87 in the open state, and sets the pressure source 71 to the positive pressure of the positive pressure source 4U. Control. Then, the positive pressure air flows in the direction of the arrow of the thick line shown in FIG. 9, and the measurement by the air flow rate sensor 8X becomes possible. When the first predetermined time elapses from the control of the pressure source 71, the flow of the positive pressure air stabilizes, so that the measurement control unit 94 starts the measurement. The measurement control unit 94 acquires and averages the detection output of the air flow rate sensor 8X during a predetermined measurement time width, and acquires the time average value of the flow rate of positive pressure air.

測定制御部９４は、その次に、第２開閉弁８７を閉じる制御を行う。これにより、測定用の流路系統は出入り口が無くなり、エア圧力センサ８Ｙによる静的な正圧の測定が可能となる。第２開閉弁８７が閉じてから第２所定時間が経過すると、正圧エアの流れが停止して静的圧力が安定化する。測定制御部９４は、エア圧力センサ８Ｙの検出出力を取得して、正圧値を求める。 Next, the measurement control unit 94 controls to close the second on-off valve 87. As a result, the flow path system for measurement has no entrance / exit, and static positive pressure can be measured by the air pressure sensor 8Y. When the second predetermined time elapses after the second on-off valve 87 is closed, the flow of positive pressure air is stopped and the static pressure is stabilized. The measurement control unit 94 acquires the detection output of the air pressure sensor 8Y and obtains a positive pressure value.

次のステップＳ５で、測定制御部９４は、３番目に、負圧エアによる測定動作を制御する。具体的に、測定制御部９４は、切り替え弁８５を第２状態、第１開閉弁８６を開状態、第２開閉弁８７を閉状態に制御し、圧力源７１を負圧源４Ｔの負圧に制御する。すると、負圧エアは、図１０に示された太線の矢印の方向に流れ、エア流量センサ８Ｘによる測定が可能となる。圧力源７１の制御から第３所定時間が経過すると、負圧エアの流れが安定化するので、測定制御部９４は測定を開始する。測定制御部９４は、所定の測定時間幅の間、エア流量センサ８Ｘの検出出力を取得して平均化し、負圧エアの流量の時間平均値を取得する。 In the next step S5, the measurement control unit 94 thirdly controls the measurement operation by the negative pressure air. Specifically, the measurement control unit 94 controls the switching valve 85 in the second state, the first on-off valve 86 in the open state, and the second on-off valve 87 in the closed state, and sets the pressure source 71 to the negative pressure of the negative pressure source 4T. To control. Then, the negative pressure air flows in the direction of the arrow of the thick line shown in FIG. 10, and the measurement by the air flow rate sensor 8X becomes possible. When a third predetermined time elapses from the control of the pressure source 71, the flow of the negative pressure air stabilizes, so that the measurement control unit 94 starts the measurement. The measurement control unit 94 acquires and averages the detection output of the air flow rate sensor 8X during a predetermined measurement time width, and acquires the time average value of the flow rate of the negative pressure air.

測定制御部９４は、その次に、第１開閉弁８６を閉じる制御を行う。これにより、測定用の流路系統は出入り口が無くなり、エア圧力センサ８Ｙによる静的な負圧の測定が可能となる。第１開閉弁８６が閉じてから第４所定時間が経過すると、負圧エアの流れが停止して静的圧力が安定化する。測定制御部９４は、エア圧力センサ８Ｙの検出出力を取得して、負圧値を求める。なお、第１〜第４所定時間は、相互に相違しても、または等しくてもよい。 Next, the measurement control unit 94 controls to close the first on-off valve 86. As a result, the flow path system for measurement has no entrance / exit, and static negative pressure can be measured by the air pressure sensor 8Y. When the fourth predetermined time elapses after the first on-off valve 86 is closed, the flow of negative pressure air is stopped and the static pressure is stabilized. The measurement control unit 94 acquires the detection output of the air pressure sensor 8Y and obtains the negative pressure value. The first to fourth predetermined times may be different from each other or may be equal to each other.

次のステップＳ６で、測定制御部９４は、測定結果を処理して検査結果を作成し、表示部９２に表示する。なお、測定制御部９４は、複数の吸着ノズル５に対応する複数個の測定結果をまとめて処理し、あるいは、複数の検査結果をまとめて表示部９２に表示してもよい。この後、作業者は、連通部材６７を取り外して、吸着ノズル５を取り付ける。これで、１本の吸着ノズル５に対応する内部流路４Ｅのメンテナンスが終了する。 In the next step S6, the measurement control unit 94 processes the measurement result, creates an inspection result, and displays it on the display unit 92. The measurement control unit 94 may collectively process a plurality of measurement results corresponding to the plurality of suction nozzles 5, or may collectively display the plurality of inspection results on the display unit 92. After that, the operator removes the communication member 67 and attaches the suction nozzle 5. This completes the maintenance of the internal flow path 4E corresponding to one suction nozzle 5.

次のステップＳ７で、吸着ノズル５の全数に対応するメンテナンスが終了したか否かが判定される。否の場合、測定制御部９４は、モータ制御部９３経由でＲ軸モータ４Ａを制御して、ロータリツール４７を回転させる。これにより、次の吸着ノズル５に対応する内部流路４Ｅがメンテナンスの対象となる。そして、動作フローの実行は、ステップＳ２に戻される。 In the next step S7, it is determined whether or not the maintenance corresponding to the total number of the suction nozzles 5 has been completed. If not, the measurement control unit 94 controls the R-axis motor 4A via the motor control unit 93 to rotate the rotary tool 47. As a result, the internal flow path 4E corresponding to the next suction nozzle 5 becomes a target for maintenance. Then, the execution of the operation flow is returned to step S2.

ステップＳ７で、吸着ノズル５の全数に対応するメンテナンスが終了した場合、動作フローの実行は、ステップＳ８に進められる。ステップＳ８で、作業者は、扉６３を開け、取り付けユニット６５から装着ヘッド４６を取り外して装置外に取り出す。これで、１個の装着ヘッド４６に対するメンテナンスが終了する。 When the maintenance corresponding to the total number of the suction nozzles 5 is completed in step S7, the execution of the operation flow proceeds to step S8. In step S8, the operator opens the door 63, removes the mounting head 46 from the mounting unit 65, and takes it out of the device. This completes the maintenance for one mounting head 46.

第１実施形態の装着ヘッドメンテナンス装置６によれば、吸着ノズル５に代えて連通部材６７を装着ヘッド４６のノズル保持部４Ｂに取り付け、連通部材６７に連通される外部流路（８３）にエアセンサ（８Ｘ、８Ｙ）を設けることができる。したがって、装着ヘッドメンテナンス装置６は、ノズル保持部４Ｂの近くにおいて、吸着ノズル５の機能に直結するエアの流量および圧力の少なくとも一方をエアセンサ（８Ｘ、８Ｙ）によって高精度に検出することができる。 According to the mounting head maintenance device 6 of the first embodiment, the communication member 67 is attached to the nozzle holding portion 4B of the mounting head 46 instead of the suction nozzle 5, and the air sensor is connected to the external flow path (83) communicated with the communication member 67. (8X, 8Y) can be provided. Therefore, the mounting head maintenance device 6 can detect at least one of the flow rate and the pressure of the air directly connected to the function of the suction nozzle 5 with high accuracy by the air sensor (8X, 8Y) near the nozzle holding portion 4B.

また、エア流量センサ８Ｘに一方向エア流量センサを用いているので、正圧および負圧でエアの流れる方向を切り替える切り替え弁８５が必要となる。それでも、特殊で高価な双方向エア流量センサをエア流量センサ８Ｘに用いる構成と比較して、装着ヘッドメンテナンス装置６のコストは低廉化される。さらに、エアの流量および圧力の両方を測定するために、連通部材６７を取り付けて流路系統を切り替え制御する。したがって、従来技術で２種類の測定治具を取り替えることと比較して、作業者の手間が省力化される。 Further, since a one-way air flow rate sensor is used for the air flow rate sensor 8X, a switching valve 85 for switching the air flow direction between positive pressure and negative pressure is required. Nevertheless, the cost of the mounting head maintenance device 6 is reduced as compared with the configuration in which the special and expensive bidirectional air flow rate sensor is used for the air flow rate sensor 8X. Further, in order to measure both the flow rate and the pressure of the air, a communication member 67 is attached to switch and control the flow path system. Therefore, the labor of the operator is saved as compared with the case where the two types of measuring jigs are replaced by the conventional technique.

５．第２実施形態の装着ヘッドメンテナンス装置６Ａ
次に、第２実施形態の装着ヘッドメンテナンス装置６Ａについて、第１実施形態と異なる点を主にして説明する。装着ヘッドメンテナンス装置６Ａは、第１実施形態と同様の取り付けユニット６５および検査ユニット７を備える。また、図１３に示されるように、装着ヘッドメンテナンス装置６Ａは、第１実施形態に無い撮像検査器具７６および総合判定部９６を備える。さらに、モータ制御部９３Ａの機能が第１実施形態と相違する。5. Mounting head maintenance device 6A of the second embodiment
Next, the mounting head maintenance device 6A of the second embodiment will be mainly described with respect to the differences from the first embodiment. The mounting head maintenance device 6A includes a mounting unit 65 and an inspection unit 7 similar to those in the first embodiment. Further, as shown in FIG. 13, the mounting head maintenance device 6A includes an imaging inspection device 76 and a comprehensive determination unit 96, which are not included in the first embodiment. Further, the function of the motor control unit 93A is different from that of the first embodiment.

撮像検査器具７６は、エアセンサと相違する検査器具である。撮像検査器具７６は、カメラ７７および画像処理検査部９５からなる。カメラ７７は、基台６４上に配置される。カメラ７７は、取り付けユニット６５に取り付けられた装着ヘッド４６を側方から撮像して、画像データを取得する。カメラ７７は、ノズル動作位置の吸着ノズル５が昇降する状況やロータリツール４７が回転するする状況を連続的に撮像する動画カメラとすることができる。また、カメラ７７は、吸着ノズル５がタッチダウンしている状態などを撮像する静止画カメラでもよい。 The imaging inspection instrument 76 is an inspection instrument different from the air sensor. The image pickup inspection instrument 76 includes a camera 77 and an image processing inspection unit 95. The camera 77 is arranged on the base 64. The camera 77 takes an image of the mounting head 46 mounted on the mounting unit 65 from the side and acquires image data. The camera 77 can be a moving image camera that continuously captures a situation in which the suction nozzle 5 at the nozzle operating position moves up and down and a situation in which the rotary tool 47 rotates. Further, the camera 77 may be a still image camera that captures a state in which the suction nozzle 5 is touched down.

画像処理検査部９５は、ソフトウェアで実現されており、制御部９Ａの中に設けられる。画像処理検査部９５は、カメラ７７から画像データを受け取って画像処理を実施することにより、装着ヘッド４６を検査する。例えば、画像処理検査部９５は、連通部材６７や吸着ノズル５が傾斜取り付けされた外観異常、および、吸着ノズル５やロータリツール４７の中心軸がずれる振れ回り動作などが認められた場合に、不合格と判定する。撮像検査器具７６を用いた検査は、図１２の動作フローと並行して、ノズル保持部４Ｂに連通部材６７が取り付けられた状態で実施される。あるいは、ステップＳ６で再び吸着ノズル５が取り付けられて、装着ヘッド４６が実使用状態に戻されてから実施される。 The image processing inspection unit 95 is realized by software and is provided in the control unit 9A. The image processing inspection unit 95 inspects the mounting head 46 by receiving image data from the camera 77 and performing image processing. For example, the image processing inspection unit 95 fails when an abnormality in appearance in which the communication member 67 or the suction nozzle 5 is tilted and a swinging motion in which the central axis of the suction nozzle 5 or the rotary tool 47 is displaced is observed. Judge as passing. The inspection using the image pickup inspection instrument 76 is carried out in a state where the communication member 67 is attached to the nozzle holding portion 4B in parallel with the operation flow of FIG. Alternatively, the suction nozzle 5 is attached again in step S6, and the mounting head 46 is returned to the actual use state.

モータ制御部９３Ａは、装着ヘッド４６のＺ軸モータ４８、Ｒ軸モータ４Ａ、Ｑ軸モータ４Ｃ、およびステッピングモータ４Ｌを制御しつつ、モータ電流を検出する。モータ制御部９３Ａは、さらに、タッチダウン監視センサ４Ｄの検出信号を取得する。モータ制御部９３Ａは、装着ヘッド４６の動作特性に関する次の１）〜５）の監視項目を監視する。これら５項目の監視は、撮像検査器具７６を用いた検査と同時に実施される。 The motor control unit 93A detects the motor current while controlling the Z-axis motor 48, the R-axis motor 4A, the Q-axis motor 4C, and the stepping motor 4L of the mounting head 46. The motor control unit 93A further acquires a detection signal of the touchdown monitoring sensor 4D. The motor control unit 93A monitors the following monitoring items 1) to 5) regarding the operating characteristics of the mounting head 46. Monitoring of these five items is carried out at the same time as the inspection using the imaging inspection instrument 76.

１）Ｚ軸、Ｒ軸、およびＱ軸の移動時間
モータ制御部９３Ａは、Ｚ軸モータ４８のモータ電流の通電継続時間から、吸着ノズル５の昇降に要する時間を求めて良否を判定する。同様に、モータ制御部９３Ａは、Ｒ軸モータ４Ａのモータ電流の通電継続時間から、ロータリツール４７の回転に要する時間を求めて良否を判定する。さらに、モータ制御部９３Ａは、Ｑ軸モータ４Ｃのモータ電流の通電継続時間から、吸着ノズル５の自転に要する時間を求めて良否を判定する。1) Z-axis, R-axis, and Q-axis movement time The motor control unit 93A determines whether or not the suction nozzle 5 is good or bad by obtaining the time required for raising and lowering the suction nozzle 5 from the energization duration of the motor current of the Z-axis motor 48. Similarly, the motor control unit 93A determines the quality by obtaining the time required for the rotation of the rotary tool 47 from the energization duration of the motor current of the R-axis motor 4A. Further, the motor control unit 93A determines the quality by obtaining the time required for the rotation of the suction nozzle 5 from the energization duration of the motor current of the Q-axis motor 4C.

２）Ｚ軸、Ｒ軸、およびＱ軸の発生トルク
モータ制御部９３Ａは、Ｚ軸モータ４８、Ｒ軸モータ４Ａ、およびＱ軸モータ４Ｃのモータ電流の大きさに基づき、それぞれの発生トルクを求めて良否を判定する。仮に、可動部の摩耗やかじり、こじれ等に起因して摺動抵抗や軸受抵抗が増加すると、発生トルクが過大となるため、不合格と判定される。なお、モータ電流の大きさとして、ピーク値、実効値、および平均値などを用いることができる。2) Z-axis, R-axis, and Q-axis generated torque motor control unit 93A obtains the generated torque of each of the Z-axis motor 48, R-axis motor 4A, and Q-axis motor 4C based on the magnitude of the motor current. To judge the quality. If the sliding resistance or the bearing resistance increases due to wear, galling, or twisting of the moving part, the generated torque becomes excessive, and it is determined to be rejected. As the magnitude of the motor current, a peak value, an effective value, an average value, or the like can be used.

３）Ｒ軸およびＱ軸の寄り付き
モータ制御部９３Ａは、Ｒ軸モータ４ＡおよびＱ軸モータ４Ｃのモータ電流の大きさや波形の変歪に基づいて、軸周りの寄り付きの良否を判定する。仮に、ロータリツール４７や吸着ノズル５が中心軸の周りにスムーズに回転しない振れ回り状態に陥っていると、モータ電流の波形が通常時から変化するため、不合格と判定される。3) The R-axis and Q-axis leaning motor control unit 93A determines whether or not the R-axis motor 4A and the Q-axis motor 4C are leaning around the axis based on the magnitude of the motor current and the distortion of the waveform. If the rotary tool 47 or the suction nozzle 5 is in a swinging state in which the rotary tool 47 or the suction nozzle 5 does not rotate smoothly around the central axis, the waveform of the motor current changes from the normal time, so that it is determined to be unacceptable.

４）メカバルブ４Ｆの動作確認
メカバルブ４Ｆを開閉操作するステッピングモータ４Ｌの回転量は、モータ制御部９３Ａで検出することができる。モータ制御部９３Ａは、ステッピングモータ４Ｌの回転量に異常が生じたときに、メカバルブ４Ｆの動作が不十分であるとして、不合格と判定する。4) Operation confirmation of the mechanical valve 4F The amount of rotation of the stepping motor 4L that opens and closes the mechanical valve 4F can be detected by the motor control unit 93A. When an abnormality occurs in the rotation amount of the stepping motor 4L, the motor control unit 93A determines that the operation of the mechanical valve 4F is insufficient and rejects the test.

５）タッチダウン監視センサ４Ｄの動作確認
モータ制御部９３Ａは、Ｚ軸モータ４８が吸着ノズル５を下降駆動してもタッチダウン監視センサ４Ｄが動作しない場合に、不合格と判定する。また、モータ制御部９３Ａは、Ｚ軸モータ４８の通電開始とタッチダウン監視センサ４Ｄの動作時期との時間差を検出し、許容時間幅に収まっているか否かを判定してもよい。不合格の場合、タッチダウン監視センサ４Ｄの故障、または、吸着ノズル５が下降しない不具合が想定される。5) Operation confirmation of the touch-down monitoring sensor 4D The motor control unit 93A determines that the touch-down monitoring sensor 4D has failed if the touch-down monitoring sensor 4D does not operate even if the Z-axis motor 48 drives the suction nozzle 5 downward. Further, the motor control unit 93A may detect the time difference between the start of energization of the Z-axis motor 48 and the operation time of the touchdown monitoring sensor 4D, and may determine whether or not the time is within the allowable time range. If it fails, it is assumed that the touchdown monitoring sensor 4D is out of order or the suction nozzle 5 is not lowered.

総合判定部９６は、ソフトウェアで実現されており、制御部９Ａの中に設けられる。総合判定部９６は、エア流量センサ８Ｘおよびエア圧力センサ８Ｙを用いた検査の結果を測定制御部９４から取得する。さらに、総合判定部９６は、カメラ７７を用いた検査の結果を画像処理検査部９５から取得し、モータ制御部９３Ａから監視の結果を取得する。 The comprehensive determination unit 96 is realized by software and is provided in the control unit 9A. The comprehensive determination unit 96 acquires the result of the inspection using the air flow rate sensor 8X and the air pressure sensor 8Y from the measurement control unit 94. Further, the comprehensive determination unit 96 acquires the inspection result using the camera 77 from the image processing inspection unit 95 and the monitoring result from the motor control unit 93A.

そして、総合判定部９６は、全項目の検査結果および監視結果が合格である場合に、装着ヘッド４６を使用できると判定する。また、総合判定部９６は、一項目でも不合格がある場合に、装着ヘッド４６を使用できないと判定する。総合判定部９６は、装着ヘッド４６の使用可否の判定結果、ならびに全項目の検査結果および監視結果を表示部９２に表示する。第２実施形態の装着ヘッドメンテナンス装置６Ａは、複数の検査項目および監視項目を併用するので、極めて高い信頼性で装着ヘッド４６の使用可否を判定できる。 Then, the comprehensive determination unit 96 determines that the mounting head 46 can be used when the inspection results and the monitoring results of all the items are acceptable. Further, the comprehensive determination unit 96 determines that the mounting head 46 cannot be used when even one item fails. The comprehensive determination unit 96 displays the determination result of whether or not the mounting head 46 can be used, and the inspection results and monitoring results of all items on the display unit 92. Since the mounting head maintenance device 6A of the second embodiment uses a plurality of inspection items and monitoring items in combination, it is possible to determine whether or not the mounting head 46 can be used with extremely high reliability.

６．実施形態の応用および変形
なお、装着ヘッド４６がロータリツール４７を備えず、１本の吸着ノズル５のみを備える場合でも、装着ヘッドメンテナンス装置（６、６Ａ）を使用することができる。また、装着ヘッド４６の内部流路４Ｅが負圧流路範囲と正圧流路範囲に分かれていてもよい。この態様では、洗浄用エアは、内部流路４Ｅの少なくとも負圧流路範囲を流れる。また、洗浄動作を行わないときに、連通部材６７を使用せず、吸着ノズル５の開口部５４と検査機能部８のパッキン８０１との間をチューブで接続してもよい。6. Application and Modification of the Embodiment Even when the mounting head 46 is not provided with the rotary tool 47 and is provided with only one suction nozzle 5, the mounting head maintenance device (6, 6A) can be used. Further, the internal flow path 4E of the mounting head 46 may be divided into a negative pressure flow path range and a positive pressure flow path range. In this aspect, the cleaning air flows through at least the negative pressure flow path range of the internal flow path 4E. Further, when the cleaning operation is not performed, the communication member 67 may not be used, and the opening 54 of the suction nozzle 5 and the packing 801 of the inspection function unit 8 may be connected by a tube.

さらに、多数の連通部材６７が有る場合、動作フローの始めに全部の吸着ノズル５を連通部材６７に付け替えてもよい。この場合、洗浄動作および測定動作と、ロータリツール４７の回転が交互に繰り返される。また、エア流量センサ８Ｘおよびエア圧力センサ８Ｙの一方だけを用い、他方を省略することもできる。この態様において、検査機能部８の流路系統が簡略化される。第１および第２実施形態は、その他にも様々な応用や変形が可能である。 Further, when there are a large number of communication members 67, all the suction nozzles 5 may be replaced with the communication members 67 at the beginning of the operation flow. In this case, the cleaning operation and the measurement operation and the rotation of the rotary tool 47 are alternately repeated. Further, only one of the air flow rate sensor 8X and the air pressure sensor 8Y may be used, and the other may be omitted. In this embodiment, the flow path system of the inspection function unit 8 is simplified. The first and second embodiments can be applied and modified in various ways.

１：部品装着機４４：Ｘ軸移動台４６：装着ヘッド４７：ロータリツール４Ｂ：ノズル保持部４Ｄ：タッチダウン監視センサ４Ｅ：内部流路４Ｆ：メカバルブ４Ｍ：クランプ機構４Ｔ：負圧源４Ｕ：正圧源５：吸着ノズル６、６Ａ：装着ヘッドメンテナンス装置６６：クランプ機構６７：連通部材７：検査ユニット７１：圧力源７２：汚れ吸引ブロア７３：Ｘ−Ｙ駆動機構７６：撮像検査器具７７：カメラ８：検査機能部８０：共通外部流路８１：第１外部流路８２：第２外部流路８３：測定流路８５：切り替え弁８６：第１開閉弁８７：第２開閉弁８Ｘ：エア流量センサ８Ｙ：エア圧力センサ９、９Ａ：制御部９３、９３Ａ：モータ制御部９４：測定制御部９５：画像処理検査部９６：総合判定部 1: Parts mounting machine 44: X-axis moving table 46: Mounting head 47: Rotary tool 4B: Nozzle holding part 4D: Touchdown monitoring sensor 4E: Internal flow path 4F: Mechanical valve 4M: Clamp mechanism 4T: Negative pressure source 4U: Positive Pressure source 5: Suction nozzle 6, 6A: Mounting head maintenance device 66: Clamp mechanism 67: Communication member 7: Inspection unit 71: Pressure source 72: Dirt suction blower 73: XY drive mechanism 76: Imaging inspection equipment 77: Camera 8: Inspection function unit 80: Common external flow path 81: First external flow path 82: Second external flow path 83: Measurement flow path 85: Switching valve 86: First on-off valve 87: Second on-off valve 8X: Air flow rate Sensor 8Y: Air pressure sensor 9, 9A: Control unit 93, 93A: Motor control unit 94: Measurement control unit 95: Image processing inspection unit 96: Comprehensive judgment unit

Claims

Detachably attached to the nozzle holding portion that holds the suction nozzle detachably and the nozzle holding portion of the mounting head having an internal flow path that selectively supplies negative pressure and positive pressure air to the held suction nozzle. And the communication member that communicates with the internal flow path,
An external flow path whose end is communicated with the communication member,
An air sensor provided in the external flow path to detect at least one of the flow rate and pressure of the air,
A mounting head maintenance device.

The external flow path has an on-off valve at the other end.
The air sensor is an air flow rate sensor that detects the flow rate of the air when the on-off valve is open, and an air pressure sensor that detects the pressure of the air when the on-off valve is closed.
The mounting head maintenance device according to claim 1.

The air sensor includes a one-way air flow sensor that detects only the flow rate of the air in one direction.
The external flow path has a switching valve that switches the flow path system so that the air flows in the one direction to the one-way air flow sensor according to whether the air has a negative pressure or a positive pressure. ,
The mounting head maintenance device according to claim 1 or 2.

The mounting head maintenance device according to any one of claims 1 to 3, further comprising a pressure source for selectively supplying the negative pressure and positive pressure air to the internal flow path of the mounting head.

The pressure source also serves as a supply source of positive pressure cleaning air for cleaning the negative pressure flow path range in which at least the negative pressure air flows in the internal flow path.
The air sensor detects after the negative pressure flow path range has been cleaned.
The mounting head maintenance device according to claim 4.

One of claims 1 to 5, comprising a camera that captures an image of the mounting head to acquire image data, and an imaging inspection device including an image processing inspection unit that processes the image data to inspect the mounting head. The mounting head maintenance device according to item 1.

The mounting head has a touch-down monitoring sensor that monitors that the lower end of the suction nozzle driven downward by the elevating drive unit abuts on an object.
The communication member has the same vertical dimensions and configuration as the suction nozzle, and can be driven from the elevating drive unit and monitored by the touchdown monitoring sensor.
The mounting head maintenance device according to any one of claims 1 to 6.

Inspection information obtained by inspecting the mounting head by an inspection device provided in the mounting head maintenance device and different from the air sensor, and a monitoring sensor provided in the mounting head monitors and acquires the mounting head. Claims 1 to 7 include a comprehensive determination unit that receives at least one of the monitoring information and determines whether or not the mounting head can be used based on the detection result of the air sensor and at least one of the inspection information and the monitoring information. The mounting head maintenance device according to any one of the above.