JP7232985B2 - Component Mounting Device, Sliding State Measuring Device for Component Holding Section, and Sliding State Measuring Method for Component Holding Section - Google Patents

Component Mounting Device, Sliding State Measuring Device for Component Holding Section, and Sliding State Measuring Method for Component Holding Section Download PDF

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本発明は、部品保持部で部品を保持して基板に装着する部品装着装置および部品保持部の摺動状態計測装置並びに部品保持部の摺動状態計測方法に関する。 The present invention relates to a component mounting apparatus that holds a component in a component holding portion and mounts it on a board, a sliding state measuring device for the component holding portion, and a sliding state measuring method for the component holding portion.

部品装着装置は、部品を保持して基板に装着する装着ユニットを備えており、装着ユニットは駆動モータによって昇降するシャフトと、シャフトの下端に装着された部品保持部であるノズルとを含んで構成されている。ノズルは、コイルスプリングによってシャフトに対して下方に付勢された状態でシャフトに対して上下に摺動自在になっている。この構造により、部品を保持したノズルを下降させて部品を基板の上面に装着する際に、ノズルが摺動して衝撃力を吸収することにより部品に加わるダメージを軽減している。 A component mounting apparatus includes a mounting unit that holds a component and mounts it on a substrate. The mounting unit includes a shaft that is moved up and down by a drive motor, and a nozzle that is a component holder attached to the lower end of the shaft. It is The nozzle is vertically slidable relative to the shaft while being biased downward relative to the shaft by a coil spring. With this structure, when the nozzle holding the component is lowered to mount the component on the upper surface of the substrate, the nozzle slides and absorbs the impact force, thereby reducing damage to the component.

ところで、ノズルが摺動する部分にごみなどが付着してノズルの摺動状態が劣化すると、部品を装着する際の衝撃力を十分に吸収できずに部品が割れるなどの不具合が発生することがあるため、定期的にノズルの摺動状態が計測(点検)される。特許文献1に記載の装着ユニットによる点検方法では、駆動モータに電圧を供給してシャフトを下降させ、検査台の検査面にノズルが当接した状態からシャフトをさらに下降させる一連の動作中の駆動モータへの供給電圧とシャフトが下降する変位量との関係を取得している。そして、正常な摺動状態において予め取得しておいた基準グラフと比較することにより、摺動状態の良否を判定している。 By the way, if the sliding state of the nozzle is deteriorated due to dust or the like adhering to the part where the nozzle slides, it may not be possible to sufficiently absorb the impact force when mounting the part, resulting in problems such as cracking of the part. Therefore, the sliding state of the nozzle is periodically measured (inspected). In the inspection method using the mounting unit described in Patent Document 1, a drive motor is supplied with voltage to lower the shaft, and the shaft is further lowered from the state in which the nozzle is in contact with the inspection surface of the inspection table. The relationship between the voltage supplied to the motor and the amount of displacement of the shaft that descends is obtained. Then, the quality of the sliding state is determined by comparing with a reference graph obtained in advance in the normal sliding state.

特開2011-29253号公報JP 2011-29253 A

ところで、近年、部品の小型によりこれまでよりも衝撃に弱い部品を基板に装着するようになってきており、摺動状態のわずかな劣化を見逃さずに点検・整備をすることが求められている。しかしながら、特許文献1を含む従来技術では、このような要求にこたえることが困難になりつつあり、さらなる改善の余地があった。 By the way, in recent years, due to the miniaturization of parts, it has become possible to mount parts that are more vulnerable to shocks than before on the board, and it is required to perform inspection and maintenance without overlooking even the slightest deterioration in the sliding state. . However, it is becoming difficult for the prior art including Patent Document 1 to meet such demands, and there is room for further improvement.

そこで本発明は、部品保持部の摺動状態を短時間で確実に計測することができる部品装着装置および部品保持部の摺動状態計測装置並びに部品保持部の摺動状態計測方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention provides a component mounting apparatus, a component holding section sliding state measuring apparatus, and a component holding section sliding state measuring method that can reliably measure the sliding state of a component holding section in a short period of time. With the goal.

本発明の部品装着装置は、駆動モータと、前記駆動モータによって昇降する昇降部と、前記昇降部に対して上下方向に所定距離だけ相対移動可能な状態で前記昇降部に装着され、少なくとも、吸引孔よりエアを吸引して部品を保持する吸引管を含む部品保持部と、前記部品保持部を前記昇降部に対して下方に付勢する弾性部材と、前記昇降部の上下方向の位置を検出する位置検出部と、前記駆動モータを制御する駆動モータ制御部と、前記吸引管の先端を物体に押し当てながら前記駆動モータで前記昇降部を下方へ押し込むことにより前記昇降部を前記部品保持部へ接近させ、その状態から前記駆動モータの推力を減じた後の前記昇降部の位置の変化を前記位置検出部で検出する計測部と、を備えた。 A component mounting apparatus according to the present invention includes a drive motor, an elevating unit that is lifted and lowered by the drive motor, and is mounted on the elevating unit in a state in which it is capable of moving relative to the elevating unit by a predetermined distance in the vertical direction. Detects a component holding section including a suction tube that sucks air from a hole to hold the component, an elastic member that biases the component holding section downward with respect to the elevation section, and a vertical position of the elevation section. a drive motor control unit that controls the drive motor; and a drive motor that pushes the lift unit downward while pressing the tip of the suction tube against an object, thereby moving the lift unit to the part holding unit. and a measurement unit for detecting, by the position detection unit, a change in the position of the lifting unit after the thrust of the drive motor is reduced from that state.

本発明の部品保持部の摺動状態計測装置は、駆動モータと、前記駆動モータによって昇降する昇降部と、前記昇降部に対して上下方向に所定距離だけ相対移動可能な状態で前記昇降部に装着され、少なくとも、吸引孔よりエアを吸引して部品を保持する吸引管を含む部品保持部と、前記部品保持部を前記昇降部に対して下方に付勢する弾性部材と、前記昇降部の上下方向の位置を検出する位置検出部と、を有する装着ユニットにおいて、前記昇降部に対する前記部品保持部の摺動状態を計測する部品保持部の摺動状態計測装置であって、前記吸引管の先端を物体に押し当てながら前記駆動モータで前記昇降部を下方へ押し込むことにより前記昇降部を前記部品保持部へ接近させ、その状態から前記駆動モータの推力を減じた後の前記昇降部の位置の変化を前記位置検出部で検出する計測部を備えた。 A device for measuring the sliding condition of a component holding part according to the present invention comprises: a driving motor; an elevating part that is moved up and down by the driving motor; a component holding section including a suction tube that is attached and holds a component by sucking air from a suction hole; an elastic member that biases the component holding section downward with respect to the elevation section; and a position detector for detecting a position in a vertical direction. The position of the lifting section after the driving motor pushes the lifting section downward while pressing the tip against an object to bring the lifting section closer to the component holding section, and from this state, the thrust of the driving motor is reduced. and a measurement unit for detecting a change in the position detection unit.

本発明の部品保持部の摺動状態計測方法は、駆動モータと、前記駆動モータによって昇降する昇降部と、前記昇降部に対して上下方向に所定距離だけ相対移動可能な状態で前記昇降部に装着され、少なくとも、吸引孔よりエアを吸引して部品を保持する吸引管を含む部品保持部と、前記部品保持部を前記昇降部に対して下方に付勢する弾性部材と、前記昇降部の上下方向の位置を検出する位置検出部と、を有する装着ユニットにおいて、前記昇降部に対する前記部品保持部の摺動状態を計測する部品保持部の摺動状態計測方法であって、前記吸引管の先端を物体に押し当てながら前記駆動モータで前記昇降部を下方へ押し込む押し込み工程と、前記押し込み工程から前記駆動モータの推力を減じるとともに前記昇降部の位置の変化を前記位置検出部で検出する計測工程と、を含む。 A method for measuring the sliding state of a component holding section according to the present invention comprises: a driving motor; an elevating section that is moved up and down by the driving motor; a component holding section including a suction tube that is attached and holds a component by sucking air from a suction hole; an elastic member that biases the component holding section downward with respect to the elevation section; and a position detector for detecting a position in the vertical direction. a pushing step in which the drive motor pushes the lift unit downward while the tip is pressed against an object; and

本発明によれば、部品保持部の摺動状態を短時間で確実に計測することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the sliding state of a component holding part can be reliably measured in a short time.

本発明の一実施の形態の部品装着装置の平面図1 is a plan view of a component mounting device according to one embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施の形態の部品装着装置が備えた装着ヘッドの正断面図1 is a sectional front view of a mounting head provided in a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施の形態の部品装着装置が備えた装着ヘッドに装着された部品保持部の構成説明図FIG. 2 is a configuration explanatory diagram of a component holding portion mounted on a mounting head provided in a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention; 本発明の一実施の形態の部品装着装置が備えた装着ヘッドに装着されるノズルホルダと部品保持ノズルの構成説明図FIG. 2 is an explanatory diagram of the configuration of a nozzle holder and a component holding nozzle to be mounted on a mounting head provided in a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention; (a)(b)本発明の一実施の形態の部品装着装置が備えた装着ヘッドに装着された部品保持部の接地動作の説明図(a) (b) Explanatory diagrams of the grounding operation of the component holding portion mounted on the mounting head provided in the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の部品装着装置の制御系の構成を示すブロック図1 is a block diagram showing the configuration of a control system of a component mounting apparatus according to one embodiment of the present invention; FIG. (a)~(f)本発明の一実施の形態の摺動状態計測における正常な部品保持部の挙動の説明図(a) to (f) Explanatory diagrams of behavior of a normal component holding portion in sliding state measurement according to one embodiment of the present invention (a)~(f)本発明の一実施の形態の摺動状態計測における摺動不良の部品保持部の挙動の説明図(a) to (f) Explanatory diagrams of the behavior of the component holding portion with poor sliding in the sliding state measurement according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の摺動状態計測における(a)正常な部品保持部が装着された昇降部の位置変化の説明図(b)摺動不良の部品保持部が装着された昇降部の位置変化の説明図(a) Explanatory diagram of positional change of a lifting unit equipped with a normal component holder in the sliding state measurement of one embodiment of the present invention (b) of a lifting unit equipped with a defective component holder Illustration of position change 本発明の一実施の形態の摺動状態計測における昇降部の変位量の説明図Explanatory drawing of the displacement amount of the raising/lowering part in the sliding state measurement of one embodiment of the present invention (a)(b)本発明の一実施の形態の部品装着装置が備えた装着ヘッドにおける他の部品保持部の構成説明図(a) and (b) are configuration explanatory diagrams of other component holding portions in the mounting head provided in the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. (a)~(d)本発明の一実施の形態の部品装着装置が備えた装着ヘッドにおける部品保持部の連結部への装着動作の説明図(a) to (d) are explanatory diagrams of the mounting operation of the component holding portion to the connecting portion in the mounting head provided in the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.

以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品装着装置、装着ヘッド、部品保持部の仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付
し、重複する説明を省略する。図1、及び後述する一部では、水平面内で互いに直交する2軸方向として、基板搬送方向のX方向(図1における左右方向)、基板搬送方向に直交するY方向(図1における上下方向)が示される。図2、及び後述する一部では、水平面と直交する高さ方向としてZ方向(図2における上下方向)が示される。Z方向は、部品装着装置が水平面上に設置された場合の上下方向である。
An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. The configuration, shape, etc. described below are examples for explanation, and can be changed as appropriate according to the specifications of the component mounting device, the mounting head, and the component holder. In the following, the same reference numerals are given to the corresponding elements in all the drawings, and redundant explanations are omitted. In FIG. 1 and a part described later, the two axial directions perpendicular to each other in the horizontal plane are the X direction of the substrate transfer direction (horizontal direction in FIG. 1) and the Y direction perpendicular to the substrate transfer direction (vertical direction in FIG. 1). is shown. In FIG. 2 and a part described later, the Z direction (vertical direction in FIG. 2) is shown as the height direction orthogonal to the horizontal plane. The Z direction is the vertical direction when the component mounting apparatus is installed on a horizontal plane.

まず図1を参照して、部品装着装置1の構成を説明する。図1において、本体ベース1aの中央には、基板搬送コンベア2がX方向に設置されている。基板搬送コンベア2は、上流側から搬入された基板3をX方向へ搬送し、以下に説明する装着ヘッドによる装着作業位置に位置決めして保持する。また、基板搬送コンベア2は、部品実装作業が完了した基板3を下流側に搬出する。装着作業位置における基板搬送コンベア2の上方には、金属等の剛体で形成された平板状の押え板2aが配置されている。装着作業位置に搬送された基板3は、基板保持部(図示省略)によって持ち上げられて、上面の側部が押え板2aの下面に押し当てられて保持される。 First, the configuration of the component mounting apparatus 1 will be described with reference to FIG. In FIG. 1, a substrate transport conveyor 2 is installed in the X direction at the center of the main body base 1a. The substrate transport conveyor 2 transports the substrate 3 carried in from the upstream side in the X direction, and positions and holds the substrate 3 at the mounting work position by the mounting head described below. Further, the board transport conveyor 2 carries out the board 3 on which the component mounting work is completed to the downstream side. A flat pressing plate 2a made of a rigid material such as metal is arranged above the board transport conveyor 2 at the mounting position. The substrate 3 conveyed to the mounting position is lifted by a substrate holding portion (not shown), and is held by pressing the side portion of the upper surface against the lower surface of the pressing plate 2a.

基板搬送コンベア2の両側方には、それぞれ部品供給部4F,4Rが設置されている。両方の部品供給部4F,4Rには、部品供給装置である複数のテープフィーダ5がX方向に並列に装着されている。テープフィーダ5は、部品を格納するポケットが形成されたキャリアテープを部品供給部4F,4Rの外側から基板搬送コンベア2に向かう方向(テープ送り方向)にピッチ送りすることにより、装着ヘッドが部品をピックアップする部品供給位置5aに部品を供給する。 Component supply units 4F and 4R are installed on both sides of the substrate transport conveyor 2, respectively. A plurality of tape feeders 5, which are component supply devices, are mounted in parallel in the X direction on both of the component supply units 4F and 4R. The tape feeder 5 pitch-feeds the carrier tape in which pockets for storing components are formed in the direction (tape feed direction) toward the board transport conveyor 2 from the outside of the component supply sections 4F and 4R, so that the mounting head feeds the components. A component is supplied to the component supply position 5a to be picked up.

図1において、本体ベース1aの上面におけるX方向の両端部には、リニア駆動機構を備えたY軸テーブル6が配置されている。Y軸テーブル6には、同様にリニア機構を備えた2基のビーム7F,7RがY方向に移動自在に結合されている。ビーム7F,7Rには、それぞれ装着ヘッド8F,8RがX方向に移動自在に装着されている。装着ヘッド8F,8Rの下端部には、部品を真空吸着して保持する部品保持部が装着されている。 In FIG. 1, a Y-axis table 6 having a linear driving mechanism is arranged at both ends in the X direction on the upper surface of the body base 1a. Two beams 7F and 7R, which are also provided with linear mechanisms, are coupled to the Y-axis table 6 so as to be movable in the Y direction. Mounting heads 8F and 8R are mounted on the beams 7F and 7R, respectively, so as to be movable in the X direction. At the lower ends of the mounting heads 8F and 8R, a component holding section that holds the component by vacuum suction is mounted.

Y軸テーブル6およびビーム7F,7Rは、装着ヘッド8F,8Rを水平方向(X方向、Y方向)に移動させるヘッド移動機構を構成する。ヘッド移動機構および装着ヘッド8F,8Rは、部品供給部4F,4Rに装着されているテープフィーダ5の部品供給位置5aから部品を部品保持部によって真空吸着してピックアップし、基板搬送コンベア2に保持された基板3の装着位置に移送して実装する部品装着作業の一連のターンを繰り返し実行する。 The Y-axis table 6 and the beams 7F, 7R constitute a head moving mechanism for moving the mounting heads 8F, 8R in the horizontal direction (X direction, Y direction). The head moving mechanism and the mounting heads 8F, 8R pick up the component from the component supply position 5a of the tape feeder 5 mounted on the component supply units 4F, 4R by vacuum suction by the component holding unit, and hold the component on the substrate transport conveyor 2. A series of turns of the component mounting work for transferring and mounting the substrate 3 to the mounted position is repeatedly executed.

図1において、ビーム7F,7Rには、ビーム7F,7Rの下面側に位置して装着ヘッド8F,8Rとともに一体的に移動する基板認識カメラ9F,9Rがそれぞれ装着されている。装着ヘッド8F,8Rが移動することにより、基板認識カメラ9F,9Rは基板搬送コンベア2の装着作業位置に位置決めされた基板3の上方に移動して、基板3に設けられた基板マーク(図示省略)を撮像して基板3の位置を認識する。 In FIG. 1, the beams 7F and 7R are equipped with substrate recognition cameras 9F and 9R, which are positioned below the beams 7F and 7R and move integrally with the mounting heads 8F and 8R. As the mounting heads 8F and 8R move, the board recognition cameras 9F and 9R move above the board 3 positioned at the mounting work position of the board transport conveyor 2, and the board marks (not shown) provided on the board 3 are detected. ) is imaged to recognize the position of the substrate 3 .

部品供給部4F,4Rと基板搬送コンベア2との間には、それぞれ部品認識カメラ10F,10Rが設置されている。部品認識カメラ10F,10Rは、部品供給部4F,4Rから部品を取り出した装着ヘッド8F,8Rが部品認識カメラ10F,10Rの上方に位置した際に、部品保持部に保持された部品を下方から撮像する。装着ヘッド8F,8Rによる部品の基板3への部品装着作業では、基板認識カメラ9F,9Rによる基板3の認識結果と部品認識カメラ10F,10Rによる部品の認識結果とを加味して装着位置の補正が行われる。 Component recognition cameras 10F and 10R are installed between the component supply units 4F and 4R and the board transfer conveyor 2, respectively. The component recognition cameras 10F and 10R pick up the components held by the component holding units from below when the mounting heads 8F and 8R that have picked up the components from the component supply units 4F and 4R are positioned above the component recognition cameras 10F and 10R. Take an image. In the work of mounting the components on the board 3 by the mounting heads 8F and 8R, the mounting positions are corrected in consideration of the recognition results of the board 3 by the board recognition cameras 9F and 9R and the recognition results of the components by the component recognition cameras 10F and 10R. is done.

図1において、部品装着装置1の前面で作業者が作業する位置には、作業者が操作する
タッチパネル11が設置されている。タッチパネル11は、その表示部に各種情報を表示し、また表示部に表示される操作ボタンなどを使って作業者がデータ入力や部品装着装置1の操作を行う。以下、前側の装着ヘッド8Fと後側の装着ヘッド8Rを区別する必要がない場合は、単に「装着ヘッド8」と略記する。
In FIG. 1, a touch panel 11 operated by a worker is installed at a position where the worker works on the front surface of the component mounting apparatus 1 . The touch panel 11 displays various kinds of information on its display section, and the operator uses operation buttons displayed on the display section to input data and operate the component mounting apparatus 1 . Hereinafter, when there is no need to distinguish between the front mounting head 8F and the rear mounting head 8R, they are simply referred to as "mounting head 8".

次に図2を参照して、装着ヘッド8の構成を説明する。装着ヘッド8には、装着ヘッドベース8aの内部に複数基(ここではX方向に4基)の装着ユニット20が配置されている。装着ユニット20は、上下方向(Z方向)の延伸するシャフト21をサーボ制御されるZ軸モータ22によって昇降させ、これにより部品保持部31を昇降させる構成となっている。シャフト21は、出力部23を介してZ軸モータ22の下方に接続されている。シャフト21の下端部は、上下に配置されたベアリング24aによってθ回転自在なスプラインガイド部24に挿通されて、装着ヘッドベース8aの下面より外側に突出している。 Next, referring to FIG. 2, the configuration of the mounting head 8 will be described. In the mounting head 8, a plurality of (here, four in the X direction) mounting units 20 are arranged inside the mounting head base 8a. The mounting unit 20 has a configuration in which a shaft 21 extending in the vertical direction (Z direction) is lifted and lowered by a servo-controlled Z-axis motor 22 , thereby raising and lowering the component holding section 31 . The shaft 21 is connected below the Z-axis motor 22 via the output portion 23 . A lower end portion of the shaft 21 is inserted through a spline guide portion 24 rotatable by θ by bearings 24a arranged vertically, and protrudes outward from the lower surface of the mounting head base 8a.

装着ヘッドベース8aの下面より突出しているシャフト21の下端部には、連結部25が接続されている。連結部25の下部には、部品保持部31が着脱自在に装着されている。連結部25は、後述するように部品保持部31を上下方向に所定距離だけ相対移動可能な状態で保持している。また、部品保持部31は、上部に圧縮バネであるコイルスプリング26が装着された状態で連結部25に装着されている。すなわち、部品保持部31は、連結部25に装着された状態でコイルスプリング26によって下方に付勢されている。 A connecting portion 25 is connected to the lower end portion of the shaft 21 protruding from the lower surface of the mounting head base 8a. A component holding portion 31 is detachably attached to the lower portion of the connecting portion 25 . As will be described later, the connecting portion 25 holds the component holding portion 31 in a state in which it can move relative to the component holding portion 31 by a predetermined distance in the vertical direction. The component holding portion 31 is attached to the connecting portion 25 with a coil spring 26, which is a compression spring, attached to the upper portion thereof. That is, the component holding portion 31 is urged downward by the coil spring 26 while attached to the connecting portion 25 .

図2において、シャフト21において、出力部23とスプラインガイド部24の間には、圧縮バネであるリターンスプリング27が装着されている。リターンスプリング27は出力部23に対して上向きの反発力を作用させる。すなわち部品保持部31を下降させる際には、Z軸モータ22は下向きの推力を発生させ、リターンスプリング27の反発力に抗してシャフト21を下降させる。そして部品保持部31を上昇させる際には、Z軸モータ22は上向きの推力を発生させ、リターンスプリング27の上向きの反発力に加えてシャフト21を上昇させる。 In FIG. 2, a return spring 27, which is a compression spring, is mounted between the output portion 23 and the spline guide portion 24 on the shaft 21. As shown in FIG. The return spring 27 applies an upward repulsive force to the output portion 23 . That is, when lowering the component holding portion 31 , the Z-axis motor 22 generates a downward thrust to lower the shaft 21 against the repulsive force of the return spring 27 . When the component holding portion 31 is lifted, the Z-axis motor 22 generates an upward thrust, and in addition to the upward repulsive force of the return spring 27, the shaft 21 is lifted.

Z軸モータ22の上部には、出力部23の昇降動作、すなわちシャフト21の昇降移動に合わせて昇降移動するスケール28が上方に突出して設けられている。また、Z軸モータ22の上方には、スケール28の移動を検出する位置検出センサ29が配置されている。位置検出センサ29は、スケール28の移動距離と方向を示すエンコーダパルスを位置信号としてサーボ制御部45(図6参照)へ出力する。位置信号からは、シャフト21の上下方向の位置が検出される。すなわち、スケール28と位置検出センサ29は、シャフト21(または、出力部23)の上下方向の位置を検出する位置検出部30を構成する。 Above the Z-axis motor 22 , a scale 28 that moves up and down in accordance with the up-and-down movement of the output section 23 , that is, the up-and-down movement of the shaft 21 , protrudes upward. A position detection sensor 29 for detecting movement of the scale 28 is arranged above the Z-axis motor 22 . The position detection sensor 29 outputs an encoder pulse indicating the moving distance and direction of the scale 28 to the servo control section 45 (see FIG. 6) as a position signal. The vertical position of the shaft 21 is detected from the position signal. That is, the scale 28 and the position detection sensor 29 constitute a position detection section 30 that detects the vertical position of the shaft 21 (or the output section 23).

このように、装着ヘッド8が備える装着ユニット20は、駆動モータ(Z軸モータ22)と、駆動モータによって昇降する昇降部(シャフト21、連結部25)と、昇降部に対して上下方向に所定距離だけ相対移動可能な状態で昇降部に装着される部品保持部31と、部品保持部31を昇降部に対して下方に付勢する弾性部材(コイルスプリング26)と、昇降部の上下方向の位置を検出する位置検出部30と、駆動モータを制御する駆動モータ制御部(サーボ制御部45)と、を備えている。サーボ制御部45は、位置検出部30による検出結果に基づいて、部品装着作業における部品供給位置5aから部品の取り出し動作や基板3への部品の装着動作での部品保持部31の高さが所定の高さ位置となるようにZ軸モータ22を制御する(位置制御)。 As described above, the mounting unit 20 provided in the mounting head 8 includes a driving motor (Z-axis motor 22), an elevating section (shaft 21, connecting section 25) that is moved up and down by the driving motor, and a predetermined vertical direction with respect to the elevating section. A component holding portion 31 mounted on the elevating portion in a state capable of relative movement by a distance; A position detection unit 30 for detecting a position and a drive motor control unit (servo control unit 45) for controlling the drive motor are provided. Based on the detection result of the position detection unit 30, the servo control unit 45 determines the height of the component holding unit 31 in the operation of picking up the component from the component supply position 5a in the component mounting operation and the mounting operation of the component on the board 3. (position control).

次に図3~図5を参照して、部品保持部31の詳細構成および連結部25へ部品保持部31を装着して保持させる装着動作について説明する。部品保持部31は、ノズルホルダ32と部品保持ノズル33を含んで構成される。図3は、ノズルホルダ32に部品保持ノ
ズル33を装着し、さらに連結部25に保持させた状態を示している。図4は、連結部25からノズルホルダ32が取り外され、さらにノズルホルダ32から部品保持ノズル33が取り外された状態を示している。
Next, with reference to FIGS. 3 to 5, a detailed configuration of the component holding portion 31 and a mounting operation for mounting and holding the component holding portion 31 to the connecting portion 25 will be described. The component holding section 31 includes a nozzle holder 32 and a component holding nozzle 33 . FIG. 3 shows a state in which the component holding nozzle 33 is attached to the nozzle holder 32 and held by the connecting portion 25 . FIG. 4 shows a state in which the nozzle holder 32 is removed from the connecting portion 25 and the component holding nozzle 33 is removed from the nozzle holder 32 .

図3、図4において、ノズルホルダ32は、本体部34の両側面に2つのフック35を取り付け、引張りバネ部材36によって本体部34に押しつけた構成となっている。本体部34の下部には、部品保持ノズル装着部34aが下方に突出して設けられている。部品保持ノズル装着部34aには、1対の回り止めピン34bが水平方向に突出して設けられている。ノズルホルダ32の下端には、2つのフック35によって部品保持ノズル33が着脱自在に保持される。 3 and 4, the nozzle holder 32 has a configuration in which two hooks 35 are attached to both side surfaces of a body portion 34 and are pressed against the body portion 34 by a tension spring member 36 . A component holding nozzle mounting portion 34a is provided at the lower portion of the main body portion 34 so as to protrude downward. A pair of anti-rotation pins 34b are provided in the component holding nozzle mounting portion 34a so as to protrude in the horizontal direction. A component holding nozzle 33 is detachably held by two hooks 35 at the lower end of the nozzle holder 32 .

図4において、部品保持ノズル33の上側にはノズルホルダ32がクランプして保持するための被装着部33aが形成され、下側には吸引孔33bを有し下方に延出する吸引管33cが形成されている。被装着部33aには、上方が開口してノズルホルダ32の部品保持ノズル装着部34aが挿入される挿入孔33dが形成されている。部品保持ノズル33の吸引孔33bの上部は、挿入孔33dまで貫通している。また、被装着部33aには、部品保持ノズル装着部34aの回り止めピン34bが嵌合する溝33eが形成されている。 In FIG. 4, a mounted portion 33a for clamping and holding by the nozzle holder 32 is formed on the upper side of the component holding nozzle 33, and a downwardly extending suction pipe 33c having a suction hole 33b is formed on the lower side. formed. The mounting portion 33a is formed with an insertion hole 33d which is open upward and into which the component holding nozzle mounting portion 34a of the nozzle holder 32 is inserted. The upper part of the suction hole 33b of the component holding nozzle 33 penetrates to the insertion hole 33d. Further, the mounted portion 33a is formed with a groove 33e into which the anti-rotation pin 34b of the component holding nozzle mounting portion 34a is fitted.

部品保持ノズル33をノズルホルダ32に保持させる際には、図4に示す状態において、ノズルホルダ32の部品保持ノズル装着部34aを部品保持ノズル33の挿入孔33dに挿入するとともに、溝33eに回り止めピン34bを嵌合させる。さらに、フック35によって被装着部33aを両側から挟み込んで、引張りバネ部材36の弾性力によってクランプする。これにより、図3に示すように、部品保持ノズル33がノズルホルダ32に装着される。 When the component holding nozzle 33 is held by the nozzle holder 32, the component holding nozzle mounting portion 34a of the nozzle holder 32 is inserted into the insertion hole 33d of the component holding nozzle 33 in the state shown in FIG. The stop pin 34b is fitted. Further, the hooks 35 sandwich the attached portion 33a from both sides and clamp it by the elastic force of the tension spring member 36. As shown in FIG. Thereby, the component holding nozzle 33 is attached to the nozzle holder 32 as shown in FIG.

図4において、ノズルホルダ32の本体部34の上部には、連結部25に保持される被連結部34cが形成されている。被連結部34cの上部には、1対のピン34dが水平方向に突出して設けられている。ノズルホルダ32の本体部34には、部品保持ノズル装着部34aの下面から被連結部34cの上面まで上下に貫通する貫通孔34eが形成されている。被連結部34cには、コイルスプリング26が装着されている。 In FIG. 4 , a connected portion 34 c held by the connecting portion 25 is formed on the upper portion of the main body portion 34 of the nozzle holder 32 . A pair of pins 34d are provided on the upper portion of the connected portion 34c so as to protrude in the horizontal direction. The main body portion 34 of the nozzle holder 32 is formed with a through hole 34e that penetrates vertically from the lower surface of the component holding nozzle mounting portion 34a to the upper surface of the connected portion 34c. A coil spring 26 is attached to the connected portion 34c.

連結部25の下部には、ノズルホルダ32の被連結部34cが挿入される連結孔25aが形成されている。連結部25の下部からは、シャフト21から下方に延出して設けられた摺動軸21aが、連結孔25aを通過して突出している。摺動軸21aには、シャフト21内の内孔21c(図5参照)に連通する摺動孔21bが形成されている。 A connecting hole 25 a into which the connected portion 34 c of the nozzle holder 32 is inserted is formed in the lower portion of the connecting portion 25 . A sliding shaft 21a extending downward from the shaft 21 protrudes from the lower portion of the connecting portion 25 through a connecting hole 25a. A slide hole 21b communicating with an inner hole 21c (see FIG. 5) inside the shaft 21 is formed in the slide shaft 21a.

図4において、連結部25の外周には、下方からノズルホルダ32の一対のピン34dが挿入される1対のピン案内ガイド溝25bが形成されている。連結部25の外周には、ピン案内ガイド溝25bの上部から略90度の位置まで水平方向に外周に沿って1対の切欠き部25cが形成されている。切欠き部25cにおいて、ピン案内ガイド溝25bとは反対側の端には、下方に所定の深さ寸法だけ切り込んで形成された係止溝25dが形成されている(図5も参照)。 4, a pair of pin guide grooves 25b into which a pair of pins 34d of the nozzle holder 32 are inserted are formed on the outer periphery of the connecting portion 25 from below. A pair of notch portions 25c are formed on the outer periphery of the connecting portion 25 along the outer periphery in the horizontal direction to a position approximately 90 degrees from the upper portion of the pin guide groove 25b. A locking groove 25d is formed by cutting downward to a predetermined depth at the end of the notch 25c opposite to the pin guide groove 25b (see also FIG. 5).

ノズルホルダ32を連結部25に保持させる際には、図4に示す状態において、まずノズルホルダ32を略90度θ回転させてピン34dの位置をピン案内ガイド溝25bの位置に合わせる。次いでノズルホルダ32を持ち上げながら、摺動軸21aを貫通孔34eに挿入し、さらに被連結部34cを連結孔25aに挿入するとともに、ピン34dをピン案内ガイド溝25bに挿入させる。さらにコイルスプリング26の反力に抗してノズルホルダ32を持ち上げて、ピン34dを切欠き部25cの高さまで到達させると、ノズルホ
ルダ32を略90度θ回転させてピン34dを係止溝25dに係止させる。
When the nozzle holder 32 is held by the connecting portion 25, in the state shown in FIG. 4, the nozzle holder 32 is first rotated by approximately 90 degrees .theta. to match the position of the pin 34d with the position of the pin guide groove 25b. Next, while lifting the nozzle holder 32, the sliding shaft 21a is inserted into the through hole 34e, the connected portion 34c is inserted into the connecting hole 25a, and the pin 34d is inserted into the pin guide groove 25b. Further, when the nozzle holder 32 is lifted against the reaction force of the coil spring 26 and the pin 34d reaches the height of the notch 25c, the nozzle holder 32 is rotated approximately 90 degrees .theta. to lock.

これにより、図5に示すように、ノズルホルダ32は連結部25に装着される。連結部25に装着されたノズルホルダ32は、コイルスプリング26の弾性力により下方に付勢されている。これにより、部品保持部31は、ピン34dが係止溝25dの底面で下方向の移動が規制された状態で連結部25に保持される。部品保持部31が基板や物体等に押付けられていない状態では、昇降部37に対する部品保持部31の相対的な高さは最も低い位置(以下、「最下点」と称する。)に位置する(図5(a))。部品保持部31が最下点にある状態は、コイルスプリング26は上下方向に最も伸びた状態であり、部品保持部31を付勢力Fc3で下方に付勢する。 As a result, the nozzle holder 32 is attached to the connecting portion 25 as shown in FIG. The nozzle holder 32 attached to the connecting portion 25 is biased downward by the elastic force of the coil spring 26 . As a result, the component holding portion 31 is held by the connecting portion 25 in a state in which the downward movement of the pin 34d is restricted by the bottom surface of the locking groove 25d. In a state in which the component holding portion 31 is not pressed against a substrate, an object, or the like, the relative height of the component holding portion 31 with respect to the elevating portion 37 is positioned at the lowest position (hereinafter referred to as the “lowest point”). (Fig. 5(a)). When the component holding portion 31 is at its lowest point, the coil spring 26 is stretched to the maximum in the vertical direction, and biases the component holding portion 31 downward with the biasing force Fc3.

また、ノズルホルダ32が連結部25に装着された状態では、ピン34dは係止溝25d内で左右方向への変位が規制されながら連結部25に対して相対的に上下方向に移動可能になっている。すなわち、ノズルホルダ32は、ピン34dと係止溝25dによって連結部25(シャフト21)に対する回転を規制されながら連結部25に対してシャフト21の軸方向(上下方向)へ相対的に変位可能になっている。ピン34dは係止溝25dの底面と上面によって制限された範囲で上下方向に移動可能であり、その範囲は緩衝部38の最大ストロークHになっている。部品保持部31が吸着した部品を基板3に装着する際に部品に衝撃力が作用するが、緩衝部38はその衝撃力を緩衝部38の変位とコイルスプリング26で吸収することにより、部品に作用する衝撃力を緩和する。なお、部品を装着する場合、サーボ制御部45は緩衝部38の変位を最大ストロークHよりも小さな実用ストロークを超えないようにZ軸モータ22を制御する。 Further, when the nozzle holder 32 is attached to the connecting portion 25, the pin 34d is allowed to move vertically relative to the connecting portion 25 while being restricted in lateral displacement in the locking groove 25d. ing. That is, the nozzle holder 32 can be displaced relative to the connecting portion 25 in the axial direction (vertical direction) of the shaft 21 while being restricted from rotating with respect to the connecting portion 25 (shaft 21) by the pin 34d and the locking groove 25d. It's becoming The pin 34d can move vertically within a range limited by the bottom and top surfaces of the locking groove 25d, and this range corresponds to the maximum stroke H of the buffer portion 38. As shown in FIG. When the component held by the component holding portion 31 is mounted on the substrate 3, an impact force acts on the component. It softens the impact force acting on it. When mounting a component, the servo control unit 45 controls the Z-axis motor 22 so that the displacement of the buffer unit 38 does not exceed a practical stroke smaller than the maximum stroke H.

図3、図5において、ノズルホルダ32が部品保持ノズル33を保持する部品保持部31が連結部25に装着されると、シャフト21の内孔21cは、摺動孔21b、貫通孔34e、挿入孔33dを介して吸引孔33bに連通する。この状態でシャフト21の内孔21cを真空吸引すると、吸引孔33bよりエアが吸引されて吸引管33cの下面に部品が保持される。このように、部品保持部31は、シャフト21と連結部25を含んで構成される昇降部37に対して上下方向に所定距離だけ相対移動可能な状態で昇降部37に装着され、少なくとも、吸引孔33bよりエアを吸引して部品を保持する吸引管33cを含んでいる。 3 and 5, when the component holding portion 31 for holding the component holding nozzle 33 is attached to the connecting portion 25 by the nozzle holder 32, the inner hole 21c of the shaft 21 is formed into a sliding hole 21b, a through hole 34e, and an insertion hole 21b. It communicates with the suction hole 33b through the hole 33d. When the inner hole 21c of the shaft 21 is vacuum-sucked in this state, air is sucked from the suction hole 33b and the component is held on the lower surface of the suction tube 33c. In this manner, the component holding section 31 is attached to the elevation section 37 in a state in which it can move relative to the elevation section 37 including the shaft 21 and the connecting section 25 by a predetermined distance in the vertical direction. It includes a suction tube 33c that sucks air from the hole 33b to hold the component.

次に図5を参照して、部品保持部31が物体に接地した際に部品保持部31に加わる力と、連結部25、コイルスプリング26、被連結部34cを含んで構成される緩衝部38の機能について説明する。図5(a)は、Z軸モータ22(駆動モータ)を駆動させて昇降部37を下降させ、部品保持部31の吸引管33cが基板3や押え板2aなど物体の上面に当接した瞬間の状態を示している。このとき、部品保持部31から物体に作用する力はゼロとする。 Next, referring to FIG. 5, a force applied to the component holding portion 31 when the component holding portion 31 is grounded on an object, and a buffer portion 38 including the connecting portion 25, the coil spring 26, and the connected portion 34c. I will explain the function of FIG. 5A shows the moment when the Z-axis motor 22 (driving motor) is driven to lower the lifting section 37, and the suction tube 33c of the component holding section 31 contacts the upper surface of an object such as the substrate 3 or the pressing plate 2a. state. At this time, the force acting on the object from the component holding portion 31 is assumed to be zero.

図5(b)は、図5(a)に示す部品保持部31が物体に当接した状態からZ軸モータ22を駆動させて、さらに昇降部37を下降させ、緩衝部38を最大ストロークHだけ変位させた状態を示している。昇降部37から作用する力はピン34dから部品保持部31にダイレクトに作用する。すなわち、部品保持部31から物体に作用する荷重(load)Ftは、Z軸モータ22から発生される推力に昇降部37や部品保持部31などの重さを加えた力からリターンスプリング27の反発力を差し引いたものとみなすことができる。 In FIG. 5B, the Z-axis motor 22 is driven from the state in which the component holding section 31 is in contact with the object shown in FIG. It shows a state of being displaced by A force acting from the lifting portion 37 directly acts on the component holding portion 31 from the pin 34d. That is, the load (load) Ft acting on the object from the component holding portion 31 is obtained by adding the weight of the lifting portion 37 and the component holding portion 31 to the thrust generated by the Z-axis motor 22 . It can be regarded as minus force.

次に図6を参照して、部品装着装置1の制御系の構成について説明する。部品装着装置1が備える制御部40には、基板搬送コンベア2、部品供給部4F,4R、Y軸テーブル6、ビーム7F,7R、装着ヘッド8F,8R、基板認識カメラ9F,9R、部品認識カ
メラ10F,10R、タッチパネル11が接続されている。装着ヘッド8F,8Rが備える4基の装着ユニット20は、それぞれサーボ制御部45を備えている。サーボ制御部45には、Z軸モータ22、位置検出部30が接続されている。
Next, referring to FIG. 6, the configuration of the control system of the component mounting apparatus 1 will be described. The control unit 40 provided in the component mounting apparatus 1 includes the board transport conveyor 2, component supply units 4F and 4R, Y-axis table 6, beams 7F and 7R, mounting heads 8F and 8R, board recognition cameras 9F and 9R, and component recognition cameras. 10F, 10R, and the touch panel 11 are connected. Each of the four mounting units 20 included in the mounting heads 8F and 8R has a servo control section 45. As shown in FIG. The Z-axis motor 22 and the position detection section 30 are connected to the servo control section 45 .

サーボ制御部45は、制御部40からの指令に従い、位置検出部30が検出した昇降部37の上下方向の位置に基づいて、Z軸モータ22を駆動する。サーボ制御部45によるZ軸モータ22の制御方法には、位置制御やトルク制御などがある。位置制御の場合、サーボ制御部45は、昇降部37の高さが制御部40からの指令の高さとなるようにZ軸モータ22を制御する。また、トルク制御の場合、サーボ制御部45は、制御部40からの指令に基づいてZ軸モータ22の推力を制御する。このとき、制御部40は部品保持部31による所定の荷重Ftが得られる推力をサーボ制御部45に指令する。 The servo control unit 45 drives the Z-axis motor 22 according to the command from the control unit 40 and based on the vertical position of the lifting unit 37 detected by the position detection unit 30 . Methods of controlling the Z-axis motor 22 by the servo control unit 45 include position control and torque control. In the case of position control, the servo control section 45 controls the Z-axis motor 22 so that the height of the lifting section 37 is the height commanded from the control section 40 . In torque control, the servo control unit 45 controls the thrust of the Z-axis motor 22 based on commands from the control unit 40 . At this time, the control unit 40 commands the servo control unit 45 to generate a thrust force with which the component holding unit 31 can obtain a predetermined load Ft.

図6において、制御部40は、部品装着処理部41、摺動状態計測部42、摺動状態判定部43、表示処理部44を備えている。部品装着処理部41は、基板3に装着する部品の部品名、装着位置などを含む生産データに基づいて、部品装着装置1の各部を制御して部品装着作業を実行させる。摺動状態計測部42は、Y軸テーブル6、ビーム7F,7R、装着ヘッド8F,8Rを制御して、後述する部品保持部31の摺動状態を判定するための各種データを計測する摺動状態計測処理を実行させる。摺動状態判定部43は、摺動状態計測処理によって計測された各種データに基づいて、部品保持部31の摺動状態が良好か不良かを判定する。表示処理部44は、摺動状態計測処理によって計測された各種データ、摺動状態の判定結果などをタッチパネル11に表示させる。 6, the control unit 40 includes a component mounting processing unit 41, a sliding state measurement unit 42, a sliding state determination unit 43, and a display processing unit 44. As shown in FIG. The component mounting processing section 41 controls each section of the component mounting apparatus 1 based on the production data including the component name, mounting position, etc. of the component to be mounted on the board 3 to execute the component mounting work. The sliding state measuring unit 42 controls the Y-axis table 6, the beams 7F, 7R, and the mounting heads 8F, 8R to measure various data for determining the sliding state of the component holding unit 31, which will be described later. Execute the state measurement process. The sliding state determination section 43 determines whether the sliding state of the component holding section 31 is good or bad based on various data measured by the sliding state measurement process. The display processing unit 44 causes the touch panel 11 to display various data measured by the sliding state measurement process, determination results of the sliding state, and the like.

次に図7、図9(a)を参照して、摺動状態計測処理(摺動状態計測方法)について説明する。部品保持部31は、部品装着作業を継続して実行する過程で、緩衝部38のコイルスプリング26や連結部25の係止溝25d、ノズルホルダ32のピン34dに金属くずなどが付着して、摺動状態が不良となって緩衝機能が正常に機能しなくなることがある。部品保持部31の摺動状態が不良の状態で部品装着作業を実行すると、基板3に装着される部品に過剰な衝撃力が加わって部品が破損したり、装着位置に正常に装着できなかったりする部品の装着不良が発生するおそれがある。そこで、部品保持部31の交換後や、使用回数や使用時間に基づき定期的に、または部品装着作業の空き時間などに摺動状態計測処理が実行される。 Next, the sliding state measuring process (sliding state measuring method) will be described with reference to FIGS. 7 and 9A. In the process of continuously performing the component mounting operation, the component holding unit 31 may have metal scraps attached to the coil spring 26 of the buffer unit 38, the locking groove 25d of the connecting unit 25, and the pin 34d of the nozzle holder 32. The sliding state may deteriorate and the cushioning function may not function properly. If the component mounting operation is carried out while the component holding portion 31 is not properly slidable, excessive impact force is applied to the component mounted on the substrate 3, causing damage to the component or improper mounting at the mounting position. There is a possibility that the mounting failure of the part to be used may occur. Therefore, the sliding state measurement process is executed after the replacement of the component holding portion 31, periodically based on the number of times of use and the time of use, or during idle time of component mounting work.

図7(a)~図7(f)には、摺動状態が良好な部品保持部31と緩衝部38での摺動状態計測処理を示している。摺動状態計測処理では、摺動状態計測部42はY軸テーブルとビーム7F,7Rを制御して、剛体である物体の上方に計測対象の部品保持部31が装着された装着ヘッド8を移動させる。ここでは、基板搬送コンベア2の押え板2aの上方に移動させたとする。この状態で、摺動状態計測部42は、装着ヘッド8が備える複数の装着ユニット20に順番に以下に説明する処理を実行させ、摺動状態判定部43が摺動状態を判定する。 FIGS. 7(a) to 7(f) show the sliding state measurement processing in the component holding portion 31 and the buffer portion 38 which are in good sliding state. In the sliding state measurement process, the sliding state measuring unit 42 controls the Y-axis table and the beams 7F and 7R to move the mounting head 8 on which the component holding unit 31 to be measured is mounted above the rigid object. Let Here, it is assumed that the substrate transport conveyor 2 is moved above the pressing plate 2a. In this state, the sliding state measuring section 42 causes the plurality of mounting units 20 provided in the mounting head 8 to sequentially execute the processing described below, and the sliding state determining section 43 determines the sliding state.

図7(a)において、まず、摺動状態計測部42は、計測対象の部品保持部31が装着された装着ユニット20のサーボ制御部45に、位置制御で昇降部37が所定の高さとなるまで下降させるように指令を送る。指令を受けたサーボ制御部45はZ軸モータ22を駆動させ、吸引管33cの先端が押え板2aに当接し、さらに昇降部37が下降してコイルスプリング26を圧縮させて部品保持部31に接近する所定の高さまで昇降部37を下降させる(矢印a)。 In FIG. 7(a), first, the sliding state measuring unit 42 instructs the servo control unit 45 of the mounting unit 20 on which the component holding unit 31 to be measured is mounted to raise and lower the lifting unit 37 to a predetermined height by position control. Send a command to descend to Upon receipt of the command, the servo control unit 45 drives the Z-axis motor 22, the tip of the suction tube 33c contacts the pressing plate 2a, and the elevating unit 37 descends to compress the coil spring 26 and move the component holding unit 31. The lifting unit 37 is lowered to a predetermined height (arrow a).

すなわち、摺動状態計測部42(計測部)は、吸引管33cの先端を押え板2a(物体)に押し当てながらZ軸モータ22(駆動モータ)で昇降部37を下方へ押し込むことにより、昇降部37を部品保持部31に接近させる(ST1:押し込み工程)。押し込み工
程(ST1)では、緩衝部38を変位させる。この状態では、緩衝部38のコイルスプリング26は最も圧縮されており、コイルスプリング26が発生する付勢力Fc1は最大になる。部品保持部31からから物体に加わる荷重Ftaは付勢力Fc1よりも大きい。
That is, the sliding state measurement unit 42 (measurement unit) pushes the elevation unit 37 downward by the Z-axis motor 22 (driving motor) while pressing the tip of the suction tube 33c against the pressing plate 2a (object). The portion 37 is brought closer to the component holding portion 31 (ST1: pushing step). In the pushing step (ST1), the buffer portion 38 is displaced. In this state, the coil spring 26 of the buffer portion 38 is most compressed, and the biasing force Fc1 generated by the coil spring 26 is maximized. A load Fta applied to the object from the component holding portion 31 is larger than the biasing force Fc1.

次に、摺動状態計測部42は、サーボ制御部45の制御を位置制御からトルク制御に変更させて、計測工程(ST2)に移行する(図7(b)~図7(e))。図7(b)は、Z軸モータ22を推力Pbで駆動したときの状態を示している。この状態では、荷重Ftaと付勢力Fc1はほぼ同じであり、緩衝部38は最大ストロークH変位した状態を維持している。この状態からZ軸モータ22の推力をPb→Pc→Pd→Peと段階的に減少させて摺動状態の計測を行う。 Next, the sliding state measurement section 42 changes the control of the servo control section 45 from position control to torque control, and shifts to the measurement step (ST2) (FIGS. 7B to 7E). FIG. 7(b) shows the state when the Z-axis motor 22 is driven with the thrust Pb. In this state, the load Fta and the biasing force Fc1 are substantially the same, and the cushioning portion 38 maintains the state displaced by the maximum stroke H. From this state, the thrust of the Z-axis motor 22 is decreased stepwise from Pb→Pc→Pd→Pe, and the sliding state is measured.

図7(c)は、Z軸モータ22を推力Pcで駆動したときの状態を示している。この状態では、昇降部37の押下力はコイルスプリング26を介して部品保持部31に伝わるので、荷重Ftcは付勢力Fc2と同じである。図7(d)は、Z軸モータ22を推力Pdで駆動したときの状態を示している。このとき、部品保持部31は最下点に到達し、コイルスプリング26の長さは最大になる。また荷重Ftdと付勢力Fc3はほぼ等しくなる。図7(e)は、Z軸モータ22の推力をさらに減じて、荷重Ftをほぼゼロにした状態である。吸引管33cの先端は押え板2aにかろうじて接触した状態を維持している。 FIG. 7(c) shows the state when the Z-axis motor 22 is driven with the thrust Pc. In this state, the pressing force of the lifting portion 37 is transmitted to the component holding portion 31 via the coil spring 26, so the load Ftc is the same as the biasing force Fc2. FIG. 7(d) shows the state when the Z-axis motor 22 is driven with the thrust Pd. At this time, the component holding portion 31 reaches the lowest point, and the length of the coil spring 26 becomes maximum. Also, the load Ftd and the biasing force Fc3 are substantially equal. FIG. 7(e) shows a state in which the thrust of the Z-axis motor 22 is further reduced to make the load Ft almost zero. The tip of the suction tube 33c is barely in contact with the pressing plate 2a.

計測工程(ST2)では、摺動状態計測部42は、図7(b)の状態から、Z軸モータ22が発生させる推力(トルク)を段階的に減少させる。Z軸モータ22の推力を減少させるということは、昇降部37がコイルスプリング26を押し下げる力(以下、「昇降部荷重」と称する。)が減少する。昇降部荷重は、Z軸モータ22から発生される推力に昇降部37の重さを加えた力からリターンスプリング27の反発力を差し引いた大きさとみなすことができる。 In the measurement step (ST2), the sliding state measurement unit 42 gradually reduces the thrust (torque) generated by the Z-axis motor 22 from the state shown in FIG. 7(b). Reducing the thrust of the Z-axis motor 22 reduces the force of the lifting section 37 pushing down the coil spring 26 (hereinafter referred to as "lifting section load"). The elevator load can be regarded as a force obtained by subtracting the repulsive force of the return spring 27 from the force generated by the Z-axis motor 22 plus the weight of the elevator 37 .

昇降部荷重が減少すると、コイルスプリング26は昇降部荷重に釣り合う付勢力Fcを発生させる長さまで伸張する。言い換えれば、昇降部37がコイルスプリング26によって上方に押し上げられることになる。位置検出部30は、計測開始時から昇降部37が上昇した変位量Lを計測する。すなわち、計測工程(ST2)において、摺動状態計測部42(計測部)は、Z軸モータ22(駆動モータ)の推力を減じた後の昇降部37の位置の変化を位置検出部30で検出する。 When the elevator load decreases, the coil spring 26 expands to a length that generates a biasing force Fc that balances the elevator load. In other words, the elevating section 37 is pushed upward by the coil spring 26 . The position detection unit 30 measures the displacement amount L by which the elevating unit 37 rises from the start of measurement. That is, in the measurement step (ST2), the sliding state measurement unit 42 (measurement unit) detects a change in the position of the elevation unit 37 after the thrust of the Z-axis motor 22 (driving motor) is reduced, using the position detection unit 30. do.

図7(c)において、Z軸モータ22の推力をPcに減少させると昇降部荷重は計測開始時より減少し、コイルスプリング26は付勢力Fc2と釣り合う位置まで昇降部37を変位量L1だけ上昇させる。位置検出部30は、Z軸モータ22の推力がPcに減少されたら、昇降部37の位置が安定するまで待機した後に位置検出部30でシャフト21の位置を検出する。図7(d)において、さらにZ軸モータ22の推力をPdに減少させた後も同様に位置検出部30でシャフト21の位置を検出する。この時点で、昇降部37に対する部品保持部31の相対的な高さはピン34dが係止溝25dの底面に接する最下点になっている。 In FIG. 7(c), when the thrust force of the Z-axis motor 22 is reduced to Pc, the lifting section load is reduced from that at the start of measurement, and the coil spring 26 raises the lifting section 37 by the displacement amount L1 to a position that balances the biasing force Fc2. Let When the thrust of the Z-axis motor 22 is reduced to Pc, the position detection unit 30 waits until the position of the lifting unit 37 stabilizes, and then detects the position of the shaft 21 . In FIG. 7(d), the position of the shaft 21 is similarly detected by the position detector 30 after the thrust of the Z-axis motor 22 is further reduced to Pd. At this point, the relative height of the component holding portion 31 with respect to the lifting portion 37 is the lowest point where the pin 34d contacts the bottom surface of the locking groove 25d.

図7(e)は、さらにZ軸モータ22の推力をPeに減少させて荷重Ftをゼロに減少させた状態を示している。部品保持部31は図7(d)の状態で最下点にあるため、変位量L2と緩衝部38からの付勢力Fc3は図7(d)から変わらない。この時点で摺動状態計測部42はサーボ制御部45の制御をトルク制御から位置制御に変更させて、計測工程(ST2)を終了させる。このように、摺動状態が良好な部品保持部31の場合、Z軸モータ22の推力を減少させると、その減少にほぼ比例して変位量Lが円滑に変化する。 FIG. 7(e) shows a state in which the thrust of the Z-axis motor 22 is further reduced to Pe and the load Ft is reduced to zero. Since the component holding portion 31 is at the lowest point in the state of FIG. 7(d), the displacement amount L2 and the biasing force Fc3 from the buffer portion 38 remain unchanged from FIG. 7(d). At this point, the sliding state measuring section 42 changes the control of the servo control section 45 from torque control to position control, and ends the measuring step (ST2). As described above, in the case of the component holding portion 31 having a good sliding state, when the thrust of the Z-axis motor 22 is reduced, the displacement amount L smoothly changes substantially in proportion to the reduction.

図7(f)において、計測工程(ST2)が終了すると、摺動状態計測部42は、位置
制御で昇降部37を元の高さまで上昇させる(矢印b)。この時、部品保持部31は付勢力Fc3で昇降部37に係止されており、昇降部37と一緒に上昇する。計測工程(ST2)が終了すると、摺動状態判定部43(判定部)は、計測工程(ST2)で得た摺動状態計測部42(計測部)による計測結果に基づいて、昇降部37に対する部品保持部31の摺動状態を判定する(ST3:判定工程)。このように、摺動状態計測処理においてサーボ制御部45(駆動モータ制御部)は、押し込み工程(ST1)ではZ軸モータ22(駆動モータ)を位置制御で制御し、計測工程(ST2)では、Z軸モータ22をトルク制御で制御する。
In FIG. 7(f), when the measurement step (ST2) is completed, the sliding state measurement unit 42 raises the elevation unit 37 to the original height by position control (arrow b). At this time, the component holding portion 31 is engaged with the lifting portion 37 by the biasing force Fc3 and rises together with the lifting portion 37 . When the measurement step (ST2) is completed, the sliding state determination unit 43 (determination unit) determines the elevation unit 37 based on the measurement results obtained by the sliding state measurement unit 42 (measurement unit) obtained in the measurement step (ST2). The sliding state of the component holding portion 31 is determined (ST3: determination step). Thus, in the sliding state measurement process, the servo control unit 45 (driving motor control unit) controls the Z-axis motor 22 (driving motor) by position control in the pressing step (ST1), and in the measuring step (ST2), The Z-axis motor 22 is controlled by torque control.

図9(a)には、図7(a)~図7(f)に示す摺動状態が良好な部品保持部31の摺動状態計測処理による変位量Lの計測結果を示している。図9(a)中の(a)~(f)は、図7(a)~図7(f)に対応している。(b)~(e)が、計測工程(ST2)における変位量Lの計測結果である。摺動状態判定部43は、(b)~(e)での変位量Lから摺動状態の良否を判定する。表示処理部44は、摺動状態計測部42による計測結果や摺動状態判定部43による判定結果をタッチパネル11に表示させる。 FIG. 9(a) shows the measurement result of the displacement amount L by the sliding state measurement processing of the component holding portion 31 in the good sliding state shown in FIGS. 7(a) to 7(f). (a) to (f) in FIG. 9(a) correspond to FIGS. 7(a) to 7(f). (b) to (e) are the measurement results of the displacement amount L in the measurement step (ST2). The sliding state determination unit 43 determines whether the sliding state is good or bad from the displacement amount L in (b) to (e). The display processing unit 44 causes the touch panel 11 to display the measurement result by the sliding state measuring unit 42 and the determination result by the sliding state determination unit 43 .

摺動状態が良好である場合、上述の(b)~(e)での変位量Lは昇降部荷重、すなわちZ軸モータ22の推力に比例して変化する。また、Z軸モータ22の推力に対する変位量Lも想定した許容範囲に含まれる。例えば、摺動状態判定部43は、(b)~(e)での変位量LがZ軸モータ22の推力に比例して変化していれば摺動状態は良好と判定する。また、変位量Lが想定される変位量L1から所定の許容範囲Rc内にあり、かつ、(d)では変位量L2から所定の許容範囲Rd内にある場合に摺動状態が良好と判定する。一方、摺動状態が不良の場合、上述の(b)~(e)での変位量LはZ軸モータ22の推力に比例しない。また、Z軸モータ22の推力に対する変位量Lも想定した許容範囲から外れることがある。 When the sliding state is good, the displacement amount L in (b) to (e) described above changes in proportion to the load of the lifting section, that is, the thrust of the Z-axis motor 22 . Further, the displacement amount L with respect to the thrust of the Z-axis motor 22 is also included in the assumed allowable range. For example, if the displacement amount L in (b) to (e) changes in proportion to the thrust of the Z-axis motor 22, the sliding state determination unit 43 determines that the sliding state is good. Further, when the displacement amount L is within a predetermined allowable range Rc from the assumed displacement amount L1 and within a predetermined allowable range Rd from the displacement amount L2 in (d), it is determined that the sliding state is good. . On the other hand, when the sliding state is poor, the displacement amount L in the above (b) to (e) is not proportional to the thrust of the Z-axis motor 22. Further, the displacement amount L with respect to the thrust of the Z-axis motor 22 may also deviate from the assumed allowable range.

次に図8、図9(b)を参照して、摺動状態が不良の部品保持部31の緩衝部38の摺動状態計測処理における計測例について説明する。摺動状態計測処理における摺動状態計測部42、摺動状態判定部43の動作は図7と同じである。すなわち、押し込み工程(ST1)(図8(a))の後、計測工程(ST2)(図8(b)~図8(e))が実行されて、昇降部37が元の位置に戻される(図8(f))。 Next, with reference to FIGS. 8 and 9B, an example of measurement in the sliding state measurement process of the buffer portion 38 of the component holding portion 31 with a defective sliding state will be described. The operations of the sliding state measuring section 42 and the sliding state determining section 43 in the sliding state measuring process are the same as in FIG. That is, after the pressing step (ST1) (FIG. 8(a)), the measuring step (ST2) (FIGS. 8(b) to 8(e)) is performed to return the lifting section 37 to its original position. (FIG. 8(f)).

図8(b)に示す部品保持部31が静止した状態からZ軸モータ22の推力をPcに減少させても(図8(c))、昇降部37はほとんど上昇しない。これは、緩衝部38に異物等に起因する異常な摺動抵抗Fr(引っ掛かり)が発生しているためであり、この異常な摺動抵抗Frによってコイルスプリング26は昇降部37を想定された変位量L1だけ上昇させることができないからである。図8(d)において、Z軸モータ22の推力をPdに減少させると昇降部37はわずかに上昇するがその変位量L3は摺動状態が良好な場合の変位量L2より小さい。 Even if the thrust force of the Z-axis motor 22 is reduced to Pc (FIG. 8(c)) from the state where the component holding unit 31 is stationary as shown in FIG. 8(b), the elevation unit 37 hardly rises. This is because abnormal sliding resistance Fr (hooking) is generated in the cushioning portion 38 due to foreign matter or the like. This is because it cannot be increased by the amount L1. In FIG. 8(d), when the thrust of the Z-axis motor 22 is reduced to Pd, the elevation unit 37 rises slightly, but the displacement amount L3 is smaller than the displacement amount L2 when the sliding state is good.

図9(b)には、図8(a)~図8(f)に示す摺動状態が不良の部品保持部31の計測結果を示している。図9(b)中の(a)~(f)は、図8(a)~図8(f)に対応している。図示するように、(b)~(e)での変位量LはZ軸モータ22の推力に比例していない。また、Z軸モータ22の推力に対する変位量Lも(c)では変位量Lがゼロであり、想定した変位量L1やその許容範囲Rcから外れている。(d)でも同様に許容範囲Rdから外れている。従って、摺動状態判定部43(判定部)は、判定工程(ST3)において、摺動状態が不良と判定する。 FIG. 9(b) shows the measurement results of the component holding portion 31 with the defective sliding state shown in FIGS. 8(a) to 8(f). (a) to (f) in FIG. 9(b) correspond to FIGS. 8(a) to 8(f). As shown, the displacement amount L in (b) to (e) is not proportional to the thrust of the Z-axis motor 22. FIG. Also, the displacement amount L with respect to the thrust of the Z-axis motor 22 is zero in (c), and is out of the assumed displacement amount L1 and its allowable range Rc. (d) also falls outside the allowable range Rd. Therefore, the sliding state determination section 43 (determination section) determines that the sliding state is defective in the determination step (ST3).

次に図7、図10を参照して、摺動状態計測処理(摺動状態計測方法)の他の実施例(以下、「他の摺動状態計測処理」と称する。)について説明する。他の摺動状態計測処理
では、押し込み工程(ST1)(図7(a))と計測工程(ST2)の計測開始の状態(図7(b))までは、上述の摺動状態計測処理と同じであるが、その後、処理が異なる。すなわち、他の摺動状態計測処理では、計測開始時の状態(図7(b))からZ軸モータ22(駆動モータ)の推力(昇降部加重)を瞬時に減少させて、昇降部37の高さ位置(変位量L)の時間変動(応答性)を計測するところが上述の摺動状態計測処理と異なる。ここでの瞬時とは、昇降部37が追従して上昇できない短い時間を意味している。
Next, another embodiment of the sliding state measuring process (sliding state measuring method) (hereinafter referred to as "another sliding state measuring process") will be described with reference to FIGS. 7 and 10. FIG. In the other sliding state measurement processing, the pressing step (ST1) (FIG. 7(a)) and the measurement start state (FIG. 7(b)) of the measurement step (ST2) are the same as the sliding state measurement processing described above. Same, but then the processing is different. That is, in the other sliding state measurement process, the thrust (elevating unit load) of the Z-axis motor 22 (driving motor) is instantaneously reduced from the state at the start of measurement (FIG. 7B), and the elevating unit 37 is This differs from the sliding state measurement process described above in that the time variation (responsiveness) of the height position (displacement amount L) is measured. The moment here means a short time during which the lifting section 37 cannot follow and rise.

他の摺動状態計測処理では、例えば摺動状態計測部42は、計測開始後にZ軸モータ22の推力をPbからPdまで瞬時に減少させて、変位量Lの時間変動すなわち昇降部37の挙動を計測する。図10は、摺動状態計測部42による計測結果、すなわち荷重Ftを減少させた後の変位量Lの変動を示している。図10において、(a)は摺動状態が良好(正常)な場合の計測結果を示しており、(b)~(d)は摺動状態が不良の場合の計測結果を示している。摺動状態が不良の場合は、変位量Lが変位量Laに戻るまでの時間Tが正常な場合より長くなっており、不良具合により変位量Laまで戻らないこともある(例えば(d))。 In another sliding state measurement process, for example, the sliding state measurement unit 42 instantaneously reduces the thrust of the Z-axis motor 22 from Pb to Pd after the start of measurement, and measures the time variation of the displacement amount L, that is, the behavior of the lifting unit 37. to measure FIG. 10 shows the results of measurement by the sliding state measuring unit 42, that is, fluctuations in the displacement amount L after the load Ft is reduced. In FIG. 10, (a) shows the measurement results when the sliding state is good (normal), and (b) to (d) show the measurement results when the sliding state is bad. When the sliding state is defective, the time T until the displacement amount L returns to the displacement amount La is longer than when the displacement amount L returns to the displacement amount La. Depending on the degree of failure, the displacement amount L may not return to the displacement amount La (for example, (d)). .

判定工程(ST3)において、摺動状態判定部43(判定部)は、判定時間Tmにおいて変位量Lが判定閾値Lmを超えていれば摺動状態が良好と判断し、変位量Lが判定閾値Lmより小さければ不良と判定する。図10において、(a)は判定時間Tmにおいては判定閾値Lmを超えており良好(正常)と判定され、(b)~(d)は判定閾値Lmより小さくて不良と判定される。 In the determination step (ST3), the sliding state determination section 43 (determination section) determines that the sliding state is good if the displacement amount L exceeds the determination threshold value Lm at the determination time Tm, and the displacement amount L exceeds the determination threshold value. If it is smaller than Lm, it is judged to be defective. In FIG. 10, (a) exceeds the determination threshold value Lm at the determination time Tm and is determined to be good (normal), and (b) to (d) are determined to be defective because they are smaller than the determination threshold value Lm.

または、摺動状態判定部43(判定部)は、変位量Lが判定閾値Lmに到達した時間Tが判定時間Tmより早ければ良好と判断し、判定時間Tmより遅ければ不良と判定する。図10において、(a)は判定閾値Lmに達した時間T1が判定時間Tmより早くて正常と判定され、(b)と(c)は判定閾値Lmに達した時間T2,T3が判定時間Tmより遅くて不良と判定される。(d)は、所定の計測時間内に判定閾値Lmに達せず(元の位置に戻らない)、不良と判定される。 Alternatively, the sliding state determination unit 43 (determination unit) determines that the sliding state is good if the time T at which the displacement amount L reaches the determination threshold value Lm is earlier than the determination time Tm, and that it is defective if it is later than the determination time Tm. In FIG. 10, in (a), the time T1 at which the determination threshold value Lm is reached is earlier than the determination time Tm and is determined to be normal, and in (b) and (c), the times T2 and T3 at which the determination threshold value Lm is reached are determined at the determination time Tm. slower and judged as bad. (d) does not reach the determination threshold value Lm (does not return to the original position) within a predetermined measurement time, and is determined to be defective.

このように、他の摺動状態計測処理(摺動状態計測方法)では、判定工程(ST3)において、摺動状態判定部43(判定部)は、昇降部37がZ軸モータ22(駆動モータ)の推力を減じたタイミングから所定量変位(判定閾値Lm)するまでに要した時間T、または推力を減じたタイミングからの変位量L(判定時間Tmにおける変位量L)に基づいて部品保持部31の摺動状態を判定する。なお、摺動状態判定部43は、昇降部37の変位速度を計測して摺動状態を判定するようにしてもよい。他の摺動状態計測処理では、圧縮されたコイルスプリング26が荷重Ftに釣り合う長さまで戻る(回復する)動作時間内に計測が完了するため、摺動状態の判定を短時間で行うことができる。 As described above, in another sliding state measurement process (sliding state measurement method), in the determination step (ST3), the sliding state determination unit 43 (determination unit) determines that the elevation unit 37 is the Z-axis motor 22 (driving motor). ) from the timing when the thrust is reduced to a predetermined amount of displacement (determination threshold value Lm), or the displacement amount L from the timing when the thrust is reduced (displacement amount L at the determination time Tm). 31 is determined. The sliding state determination unit 43 may measure the displacement speed of the lifting unit 37 to determine the sliding state. In other sliding state measurement processing, the measurement is completed within the operation time for the compressed coil spring 26 to return (recover) to the length that balances the load Ft, so the sliding state can be determined in a short time. .

上記説明したように、本実施の形態の部品装着装置1は、駆動モータ(Z軸モータ22)と、駆動モータによって昇降する昇降部37(シャフト21、連結部25)と、昇降部37に対して上下方向に所定距離だけ相対移動可能な状態で昇降部37に装着され、少なくとも、吸引孔33bよりエアを吸引して部品を保持する吸引管33cを含む部品保持部31(ノズルホルダ32、部品保持ノズル33)と、部品保持部31を昇降部37に対して下方に付勢する弾性部材(コイルスプリング26)と、昇降部37の上下方向の位置を検出する位置検出部30(スケール28、位置検出センサ29)と、を備えている。 As described above, the component mounting apparatus 1 of the present embodiment includes a drive motor (Z-axis motor 22), an elevating section 37 (shaft 21, connecting section 25) that is lifted and lowered by the driving motor, and the elevating section 37 The part holding part 31 (nozzle holder 32, part a holding nozzle 33), an elastic member (coil spring 26) that biases the component holding portion 31 downward with respect to the lifting portion 37, and a position detecting portion 30 (scale 28, and a position detection sensor 29).

部品装着装置1は、さらに、駆動モータを制御する駆動モータ制御部(サーボ制御部45)と、吸引管33cの先端を物体(押え板2a)に押し当てながら駆動モータで昇降部37を下方へ押し込むことにより昇降部37を部品保持部31へ接近させ、その状態から駆動モータの推力を減じた後の昇降部37の位置の変化を位置検出部30で検出する計測
部(摺動状態計測部42)と、を備えている。これによって、部品保持部31によって加えられる荷重を計測する荷重計測器などを新たに設けることなく、部品保持部31の摺動状態のわずかな劣化を短時間で確実に計測することができる。
The component mounting apparatus 1 further includes a drive motor control section (servo control section 45) that controls the drive motor, and the drive motor moves the lift section 37 downward while pressing the tip of the suction tube 33c against the object (pressing plate 2a). By pressing, the lifting section 37 is brought closer to the component holding section 31, and the position detecting section 30 detects the change in the position of the lifting section 37 after the thrust of the drive motor is reduced from that state (sliding state measuring section). 42) and As a result, slight deterioration of the sliding state of the component holding portion 31 can be reliably measured in a short time without newly providing a load measuring device or the like for measuring the load applied by the component holding portion 31 .

なお上記では、部品装着装置1は一方の装着ヘッド8を使用して部品保持部31の摺動状態を計測する例で説明したが、2つの装着ヘッド8F、装着ヘッド8Rをそれぞれ押え板2aの上方に移動させて、並行して部品保持部31の摺動状態を計測するようにしてもよい。 In the above description, the component mounting apparatus 1 uses one of the mounting heads 8 to measure the sliding state of the component holder 31. However, the two mounting heads 8F and 8R are attached to the pressing plate 2a. It may be moved upward and the sliding state of the component holding portion 31 may be measured in parallel.

すなわち、部品装着装置1は、駆動モータ(Z軸モータ22)と昇降部37(シャフト21、連結部25)と部品保持部31(ノズルホルダ32、部品保持ノズル33)と弾性部材(コイルスプリング26)と位置検出部30(スケール28、位置検出センサ29)とを含む装着ユニット20を複数備えた装着ヘッド8F,8Rを備え、計測部(摺動状態計測部42)は少なくとも2個以上の装着ユニット20に対する計測を同時に行うようにしてもよい。これによって、複数の部品保持部31の摺動状態の良否を短時間に判定することができる。 That is, the component mounting apparatus 1 includes a drive motor (Z-axis motor 22), an elevating portion 37 (shaft 21, connecting portion 25), a component holding portion 31 (nozzle holder 32, component holding nozzle 33), and an elastic member (coil spring 26). ) and a plurality of mounting units 20 each including a position detection unit 30 (scale 28, position detection sensor 29), and at least two measurement units (sliding state measurement units 42). You may make it measure with respect to the unit 20 simultaneously. As a result, it is possible to determine whether the sliding states of the plurality of component holding portions 31 are good or bad in a short time.

また上記では、部品装着装置1において部品保持部31の摺動状態を計測する例を説明したが、摺動状態計測処理は部品実装作業を行わない専用のメンテナンス装置(部品保持部の摺動状態計測装置)で実行するようにしてもよい。部品保持部の摺動状態計測装置は、計測部(摺動状態計測部42)を備えており、部品装着装置1から移送された装着ヘッド8の装着ユニット20における昇降部37に対する部品保持部31の摺動状態を計測する。 In the above description, an example of measuring the sliding state of the component holder 31 in the component mounting apparatus 1 has been described. measurement device). The sliding state measuring device for the component holding unit includes a measuring unit (sliding state measuring unit 42). Measure the sliding state of

また、本発明では駆動モータ(Z軸モータ22)の推力を減じた後の昇降部37の位置の変化を位置検出部30で検出するようにしているため、これまで検出困難であったわずかな摺動状態の変化も感度よく検出することができる。すなわち、駆動モータの推力を増加させながら昇降部37の位置の変化を検出する方式では微小な摺動状態の変化を検出することが困難であったが、弾性部材(コイルスプリング26)によって押し上げられる昇降部37の挙動を計測することでこれを可能にしている。また、本実施の形態では、押し込み工程で緩衝部38を最大ストロークH変位させる例で説明しているが、押し込み工程での変位は実用ストローク以上であればよい。 Further, in the present invention, since the position detection unit 30 detects the change in the position of the lifting unit 37 after the thrust force of the drive motor (Z-axis motor 22) is reduced, slight changes that have been difficult to detect in the past are detected. A change in the sliding state can also be detected with high sensitivity. That is, it was difficult to detect a minute change in the sliding state in the method of detecting a change in the position of the elevating portion 37 while increasing the thrust of the drive motor, but the elastic member (coil spring 26) pushes it up. This is made possible by measuring the behavior of the lifting section 37 . Further, in the present embodiment, an example in which the buffer portion 38 is displaced by the maximum stroke H in the pressing process is described, but the displacement in the pressing process may be a practical stroke or more.

また、本実施の形態ではノズルホルダ32の緩衝部38の摺動状態を判定する例を説明したが、部品保持ノズルに組み込まれた緩衝部の摺動状態を判定する場合にも適用できる。次に図11、図12を参照して、部品保持ノズルに緩衝部が組み込まれた他の部品保持部50の例について説明する。 Also, in the present embodiment, an example of determining the sliding state of the buffer portion 38 of the nozzle holder 32 has been described, but the present invention can also be applied to determining the sliding state of the buffer portion incorporated in the component holding nozzle. Next, with reference to FIGS. 11 and 12, an example of another component holding portion 50 in which a cushioning portion is incorporated in the component holding nozzle will be described.

図11において、他の部品保持部50は、吸引孔50aよりエアを吸引して部品を保持する吸引管50bと、シャフト21に設けられた連結部51に連結される被連結部50cが、分離できずに他の部品保持部50に一体的に形成されているところが上述の部品保持部31と異なる。すなわち、他の部品保持部50は、本体部50dの下端に吸引管50bが形成され、本体部50dの上部に被連結部50cが形成されている。本体部50dの内部には、被連結部50cの上面に開口して吸引孔50aに連通する貫通孔50eが形成されている。被連結部50cの上部には、1対のピン50fが水平方向に突出して設けられている。 In FIG. 11, another component holding portion 50 includes a suction pipe 50b that holds the component by sucking air from a suction hole 50a and a connected portion 50c that is connected to a connecting portion 51 provided on the shaft 21. It is different from the component holding portion 31 described above in that it is integrally formed with another component holding portion 50 without being able to do so. That is, the other component holding portion 50 has a suction pipe 50b formed at the lower end of a main body portion 50d, and a connected portion 50c formed at the upper portion of the main body portion 50d. Inside the body portion 50d, a through hole 50e is formed that opens to the upper surface of the connected portion 50c and communicates with the suction hole 50a. A pair of pins 50f are provided on the top of the connected portion 50c so as to protrude in the horizontal direction.

図11において、連結部51の下部には連結孔51aが形成され、連結孔51aの上部はシャフト21の内孔21cに連通している。連結部51の外周には、上述の連結部25と同様に、一対のピン50fが下方から挿入される1対のピン案内ガイド溝51b、水平
方向に設けられた1対の切欠き部51c、ピン50fが係止される一対の係止溝51dが形成されている。シャフト21と連結部51は、昇降部52を構成する。被連結部50cには、コイルスプリング53が装着されている。
11, a connecting hole 51a is formed in the lower portion of the connecting portion 51, and the upper portion of the connecting hole 51a communicates with the inner hole 21c of the shaft 21. As shown in FIG. Similar to the above-described connecting portion 25, the outer periphery of the connecting portion 51 is provided with a pair of pin guide grooves 51b into which the pair of pins 50f are inserted from below, a pair of notches 51c provided in the horizontal direction, A pair of locking grooves 51d for locking the pin 50f are formed. The shaft 21 and the connecting portion 51 constitute an elevating portion 52 . A coil spring 53 is attached to the connected portion 50c.

図12において、他の部品保持部50を連結部51に保持させる際は、ピン50fの位置をピン案内ガイド溝51bの位置に合わせて被連結部50cを連結孔51aに挿入する(図12(a)の矢印c)。次いで他の部品保持部50を持ち上げながらピン50fをピン案内ガイド溝51bに挿入して切欠き部51cの高さまで到達させ(図12(b)の矢印d)、他の部品保持部50を回転させて(図12(b)の矢印e、図12(c))、ピン50fを係止溝51dに係止させる(図12(d)の矢印f)。 In FIG. 12, when another component holding portion 50 is held by the connecting portion 51, the position of the pin 50f is aligned with the position of the pin guide groove 51b, and the connected portion 50c is inserted into the connecting hole 51a (see FIG. 12 ( Arrow c) in a). Next, while lifting the other component holding portion 50, the pin 50f is inserted into the pin guide groove 51b to reach the height of the notch portion 51c (arrow d in FIG. 12(b)), and the other component holding portion 50 is rotated. (arrow e in FIG. 12(b), FIG. 12(c)) to lock the pin 50f in the locking groove 51d (arrow f in FIG. 12(d)).

これにより、図11に示すように、他の部品保持部50は連結部51に装着される。この状態で、他の部品保持部50はコイルスプリング53の弾性力により下方に付勢されており、ピン50fが係止溝51d内で左右方向の回転が規制されながら、他の部品保持部50が連結部51に対して相対的に上下方向に移動する。そして、連結部51、コイルスプリング53、被連結部50cは、緩衝部54を構成する。 Thereby, as shown in FIG. 11, the other component holding portion 50 is attached to the connecting portion 51 . In this state, the other component holding portion 50 is urged downward by the elastic force of the coil spring 53, and the pin 50f is restrained from rotating in the lateral direction within the locking groove 51d. moves vertically relative to the connecting portion 51 . The connecting portion 51, the coil spring 53, and the connected portion 50c constitute a buffer portion 54. As shown in FIG.

このように、他の部品保持部50は、昇降部52に対して上下方向に所定距離だけ相対移動可能な状態で昇降部52に装着され、少なくとも、吸引孔50aよりエアを吸引して部品を保持する吸引管50bを含んでいる。また、コイルスプリング53は、他の部品保持部50を昇降部52に対して下方に付勢する弾性部材である。部品保持部31と同様に、他の部品保持部50を部品装着装置1の装着ヘッド8に装着して摺動状態計測処理を実行することで、他の部品保持部50、緩衝部54の摺動状態が良好か不良かを判定することができる。 In this manner, the other component holding section 50 is attached to the lifting section 52 in a state in which it can move a predetermined distance in the vertical direction relative to the lifting section 52, and sucks air from at least the suction hole 50a to remove the component. It includes a holding suction tube 50b. Also, the coil spring 53 is an elastic member that biases the other component holding portion 50 downward with respect to the lifting portion 52 . Similar to the component holding section 31, by mounting the other component holding section 50 on the mounting head 8 of the component mounting apparatus 1 and executing the sliding state measurement process, the sliding state of the other component holding section 50 and the buffer section 54 can be determined. It can be determined whether the motion state is good or bad.

本発明の部品装着装置および部品保持部の摺動状態計測装置並びに部品保持部の摺動状態計測方法は、部品保持部の摺動状態を短時間で確実に計測することができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The component mounting device, the component holding unit sliding state measuring device, and the component holding unit sliding state measuring method of the present invention have the effect of being able to reliably measure the sliding state of the component holding unit in a short period of time. It is useful in the field of mounting components on substrates.

1 部品装着装置
2a 押え板(物体)
8F、8R 装着ヘッド
20 装着ユニット
22 Z軸モータ(駆動モータ)
26、53 コイルスプリング(弾性部材)
30 位置検出部
31 部品保持部
33b、50a 吸引孔
33c、50b 吸引管
37、52 昇降部
50 他の部品保持部(部品保持部)
L、L1~L3 変位量
1 component mounting device 2a holding plate (object)
8F, 8R mounting head 20 mounting unit 22 Z-axis motor (driving motor)
26, 53 coil spring (elastic member)
30 Position detector 31 Component holder 33b, 50a Suction hole 33c, 50b Suction tube 37, 52 Elevator 50 Other component holder (component holder)
L, L1 to L3 Displacement amount

Claims (15)

駆動モータと、
前記駆動モータによって昇降する昇降部と、
前記昇降部に対して上下方向に所定距離だけ相対移動可能な状態で前記昇降部に装着され、少なくとも、吸引孔よりエアを吸引して部品を保持する吸引管を含む部品保持部と、
前記部品保持部を前記昇降部に対して下方に付勢する弾性部材と、
前記昇降部の上下方向の位置を検出する位置検出部と、
前記駆動モータを制御する駆動モータ制御部と、
前記吸引管の先端を物体に押し当てながら前記駆動モータで前記昇降部を下方へ押し込むことにより前記昇降部を前記部品保持部へ接近させ、その状態から前記駆動モータの推力を減じた後の前記昇降部の位置の変化を前記位置検出部で検出する計測部と、を備えた部品装着装置。
a drive motor;
an elevating unit that is elevated by the driving motor;
a component holding unit that is attached to the elevating unit in a state capable of moving relative to the elevating unit by a predetermined distance in the vertical direction and that includes at least a suction tube that holds the component by sucking air from a suction hole;
an elastic member that biases the component holding portion downward with respect to the lifting portion;
a position detection unit that detects the vertical position of the lifting unit;
a drive motor control unit that controls the drive motor;
The driving motor presses the lifting section downward while pressing the tip of the suction tube against the object, thereby causing the lifting section to approach the component holding section. a component mounting apparatus comprising: a measuring section for detecting a change in the position of an elevating section with the position detecting section.
さらに、前記計測部による計測結果に基づいて、前記昇降部に対する前記部品保持部の摺動状態を判定する判定部を備えた請求項1記載の部品装着装置。 2. The component mounting apparatus according to claim 1, further comprising a determination section that determines a sliding state of said component holding section with respect to said elevating section based on a result of measurement by said measurement section. 前記判定部は、前記昇降部が前記駆動モータの推力を減じたタイミングから所定量変位するまでに要した時間、変位速度、前記タイミングからの変位量の少なくとも1つに基づいて前記部品保持部の摺動状態を判定する請求項2記載の部品装着装置。 The judging section determines the degree of displacement of the component holding section based on at least one of a time required for the lifting section to be displaced by a predetermined amount from a timing at which the thrust of the drive motor is reduced, a displacement speed, and an amount of displacement from the timing. 3. The component mounting apparatus according to claim 2, wherein the sliding state is determined. 前記駆動モータ制御部は、前記吸引管の先端を物体に押し当てながら前記駆動モータで前記昇降部を下方へ押し込む時は前記駆動モータを位置制御で制御し、前記計測部が前記昇降部の位置の変化を計測している時は前記駆動モータをトルク制御で制御する、請求項1から3のいずれかに記載の部品装着装置。 The driving motor control unit controls the driving motor by position control when the driving motor pushes the lifting unit downward while pressing the tip of the suction tube against an object, and the measuring unit detects the position of the lifting unit. 4. The component mounting apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein said drive motor is controlled by torque control when measuring a change in . 前記駆動モータと前記昇降部と前記部品保持部と前記弾性部材と前記位置検出部とを含む装着ユニットを複数備えた装着ヘッドを備え、前記計測部は少なくとも2個以上の前記装着ユニットに対する計測を同時に行う請求項1記載の部品装着装置。 A mounting head having a plurality of mounting units each including the driving motor, the lifting section, the component holding section, the elastic member, and the position detecting section, wherein the measurement section measures at least two or more of the mounting units. 2. The component mounting apparatus according to claim 1, wherein said parts are mounted simultaneously. 駆動モータと、前記駆動モータによって昇降する昇降部と、前記昇降部に対して上下方向に所定距離だけ相対移動可能な状態で前記昇降部に装着され、少なくとも、吸引孔よりエアを吸引して部品を保持する吸引管を含む部品保持部と、前記部品保持部を前記昇降部に対して下方に付勢する弾性部材と、前記昇降部の上下方向の位置を検出する位置検出部と、を有する装着ユニットにおいて、前記昇降部に対する前記部品保持部の摺動状態を計測する部品保持部の摺動状態計測装置であって、
前記吸引管の先端を物体に押し当てながら前記駆動モータで前記昇降部を下方へ押し込むことにより前記昇降部を前記部品保持部へ接近させ、その状態から前記駆動モータの推力を減じた後の前記昇降部の位置の変化を前記位置検出部で検出する計測部を備えた部品保持部の摺動状態計測装置。
a drive motor, an elevating unit that is lifted and lowered by the drive motor, and is attached to the elevating unit in a state in which it is capable of moving relative to the elevating unit by a predetermined distance in the vertical direction. an elastic member that urges the component holding part downward with respect to the elevating part; and a position detection part that detects the position of the elevating part in the vertical direction. In a mounting unit, a sliding state measuring device for a component holding section that measures a sliding state of the component holding section with respect to the lifting section,
The driving motor presses the lifting section downward while pressing the tip of the suction tube against the object, thereby causing the lifting section to approach the component holding section. A sliding state measuring device for a part holding section, comprising a measuring section for detecting a change in the position of the lifting section with the position detecting section.
さらに、前記計測部による計測結果に基づいて、前記摺動状態を判定する判定部を備えた請求項6記載の部品保持部の摺動状態計測装置。 7. The sliding state measuring device for a component holding portion according to claim 6, further comprising a judging section for judging said sliding state based on the result of measurement by said measuring section. 前記判定部は、前記昇降部が前記駆動モータの推力を減じたタイミングから所定量変位するまでに要した時間、変位速度、前記タイミングからの変位量の少なくとも1つに基づいて前記部品保持部の摺動状態を判定する請求項7記載の部品保持部の摺動状態計測装置。 The judging section determines the degree of displacement of the component holding section based on at least one of a time required for the lifting section to be displaced by a predetermined amount from a timing at which the thrust of the drive motor is reduced, a displacement speed, and an amount of displacement from the timing. 8. The sliding state measuring device for a part holding portion according to claim 7, wherein the sliding state is determined. 前記吸引管の先端を物体に押し当てながら前記駆動モータで前記昇降部を下方へ押し込
む時は前記駆動モータを位置制御で制御し、前記計測部が前記昇降部の位置の変化を計測している時は前記駆動モータをトルク制御で制御する、請求項6から8のいずれかに記載の部品保持部の摺動状態計測装置。
When the driving motor pushes the lifting section downward while pressing the tip of the suction tube against an object, the driving motor is controlled by position control, and the measuring section measures the change in the position of the lifting section. 9. The sliding state measuring device for a component holder according to claim 6, wherein the drive motor is controlled by torque control during time.
前記装着ユニットを複数備えた装着ヘッドを対象に前記摺動状態を計測する場合、前記計測部は少なくとも2個以上の前記装着ユニットに対する計測を同時に行う請求項6記載の部品保持部の摺動状態計測装置。 7. The sliding state of the component holding section according to claim 6, wherein when measuring the sliding state of a mounting head having a plurality of the mounting units, the measuring section measures at least two or more of the mounting units simultaneously. measuring device. 駆動モータと、前記駆動モータによって昇降する昇降部と、前記昇降部に対して上下方向に所定距離だけ相対移動可能な状態で前記昇降部に装着され、少なくとも、吸引孔よりエアを吸引して部品を保持する吸引管を含む部品保持部と、前記部品保持部を前記昇降部に対して下方に付勢する弾性部材と、前記昇降部の上下方向の位置を検出する位置検出部と、を有する装着ユニットにおいて、前記昇降部に対する前記部品保持部の摺動状態を計測する部品保持部の摺動状態計測方法であって、
前記吸引管の先端を物体に押し当てながら前記駆動モータで前記昇降部を下方へ押し込む押し込み工程と、
前記押し込み工程から前記駆動モータの推力を減じるとともに前記昇降部の位置の変化を前記位置検出部で検出する計測工程と、を含む部品保持部の摺動状態計測方法。
a drive motor, an elevating unit that is lifted and lowered by the drive motor, and is attached to the elevating unit in a state in which it is capable of moving relative to the elevating unit by a predetermined distance in the vertical direction. an elastic member that urges the component holding part downward with respect to the elevating part; and a position detection part that detects the position of the elevating part in the vertical direction. In a mounting unit, a sliding state measuring method of a component holding section for measuring a sliding state of the component holding section with respect to the lifting section, comprising:
a pushing step of pushing the lifting section downward by the drive motor while pressing the tip of the suction tube against the object;
a measuring step of reducing the thrust of the drive motor from the pushing step and detecting a change in the position of the lifting portion by the position detecting portion.
さらに、前記計測工程で得た計測結果に基づいて、前記摺動状態を判定する判定工程を含む請求項11記載の部品保持部の摺動状態計測方法。 12. The method for measuring the sliding state of a component holding portion according to claim 11, further comprising a determining step of determining said sliding state based on the measurement result obtained in said measuring step. 前記判定工程は、前記昇降部が前記駆動モータの推力を減じたタイミングから所定量変位するまでに要した時間、変位速度、前記タイミングからの変位量の少なくとも1つに基づいて前記部品保持部の摺動状態を判定する請求項12記載の部品保持部の摺動状態計測方法。 The determination step is based on at least one of a time required for the elevation unit to be displaced by a predetermined amount from the timing at which the thrust of the drive motor is reduced, a displacement speed, and an amount of displacement from the timing. 13. The method for measuring the sliding state of a component holder according to claim 12, wherein the sliding state is determined. 前記押し込み工程では、前記駆動モータを位置制御で制御し、
前記計測工程では、前記駆動モータをトルク制御で制御する、請求項11から13のいずれかに記載の部品保持部の摺動状態計測方法。
In the pushing step, the drive motor is controlled by position control,
14. The method for measuring a sliding state of a component holding portion according to claim 11, wherein in said measuring step, said driving motor is controlled by torque control.
前記装着ユニットを複数備えた装着ヘッドを対象に前記摺動状態を計測する場合、前記押し込み工程と前記計測工程は少なくとも2個以上の前記装着ユニットで同時に行う請求項11記載の部品保持部の摺動状態計測方法。 12. The slide of the component holding portion according to claim 11, wherein when measuring the sliding state of a mounting head having a plurality of the mounting units, the pushing step and the measuring step are performed simultaneously for at least two or more of the mounting units. dynamic state measurement method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007111296A1 (en) 2006-03-27 2007-10-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Nozzle mechanism, mounting head, and electronic component mounting equipment
JP2011029253A (en) 2009-07-22 2011-02-10 Panasonic Corp Component mounting machine and method of inspecting suction unit
JP2012156328A (en) 2011-01-26 2012-08-16 Panasonic Corp Part mounting method and part mounting device
JP2016134531A (en) 2015-01-20 2016-07-25 ヤマハ発動機株式会社 Nozzle inspection device, nozzle inspection method and component conveyance device
WO2019003261A1 (en) 2017-06-26 2019-01-03 株式会社Fuji Electronic component mounting apparatus

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3233053B2 (en) * 1997-02-05 2001-11-26 松下電器産業株式会社 Method for measuring height of nozzle of transfer head in electronic component mounting apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007111296A1 (en) 2006-03-27 2007-10-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Nozzle mechanism, mounting head, and electronic component mounting equipment
JP2011029253A (en) 2009-07-22 2011-02-10 Panasonic Corp Component mounting machine and method of inspecting suction unit
JP2012156328A (en) 2011-01-26 2012-08-16 Panasonic Corp Part mounting method and part mounting device
JP2016134531A (en) 2015-01-20 2016-07-25 ヤマハ発動機株式会社 Nozzle inspection device, nozzle inspection method and component conveyance device
WO2019003261A1 (en) 2017-06-26 2019-01-03 株式会社Fuji Electronic component mounting apparatus

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