JP4835607B2

JP4835607B2 - Inspection method and inspection device for suction nozzle unit

Info

Publication number: JP4835607B2
Application number: JP2008039635A
Authority: JP
Inventors: 勇次田中; 登山▲崎▼; 博徳北島
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2008-02-21
Filing date: 2008-02-21
Publication date: 2011-12-14
Anticipated expiration: 2028-02-21
Also published as: JP2009200204A

Description

本発明は、部品実装機等に備えられる吸着ノズルユニットの点検方法及び点検装置に関するものである。 The present invention relates to an inspection method and an inspection device for a suction nozzle unit provided in a component mounting machine or the like.

基板に部品を実装する部品実装機は、基板の位置決めを行う搬送コンベアと、搬送コンベアによって位置決めされた基板に対して相対移動して部品を基板に搭載する移載ヘッドを備えており、移載ヘッドには部品を真空吸着する複数の吸着ノズルユニットが設けられている。各吸着ノズルユニットは移載ヘッドに対して昇降移動するシャフト部材の下部に、ホルダ部材を介して吸着ノズルが取り付けられた構成となっている。 A component mounting machine that mounts components on a board includes a transfer conveyor that positions the board and a transfer head that moves relative to the board positioned by the transfer conveyor and mounts the component on the board. The head is provided with a plurality of suction nozzle units for vacuum suction of components. Each suction nozzle unit is configured such that a suction nozzle is attached to a lower part of a shaft member that moves up and down with respect to the transfer head via a holder member.

吸着ノズルユニットは、吸着ノズルによって部品を吸着するとき、或いは吸着ノズルによって吸着した部品を基板に搭載するとき、シャフト部材を下降させて吸着ノズルの下端部を部品の上面に押し付けるが、この押し付け力が過大であるときには部品を損傷させたり部品の特性を変化させたりするおそれがある。このため、吸着ノズルを保持するホルダ部材はシャフト部に対して上下方向に摺動自在となっており、このシャフト部材とホルダ部材の摺動によって吸着ノズルによる部品を押し付ける力の一部が吸収されるようになっている。また、ホルダ部材はばね等の付勢部材によってシャフト部材の下方に付勢されており、吸着ノズルによる部品の押し付けが終了した後は、ホルダ部材は付勢部材の付勢力によってシャフト部材に対する初期位置に復帰するようになっている。 The suction nozzle unit lowers the shaft member and presses the lower end of the suction nozzle against the upper surface of the component when the component is sucked by the suction nozzle or when the component sucked by the suction nozzle is mounted on the substrate. If is excessive, there is a risk of damaging the parts or changing the characteristics of the parts. For this reason, the holder member that holds the suction nozzle is slidable in the vertical direction with respect to the shaft portion, and a part of the force pressing the component by the suction nozzle is absorbed by the sliding of the shaft member and the holder member. It has become so. Further, the holder member is biased below the shaft member by a biasing member such as a spring, and after the pressing of the component by the suction nozzle is finished, the holder member is moved to the initial position with respect to the shaft member by the biasing force of the biasing member. To come back.

一方、シャフト部材とホルダ部材の接触部、すなわち吸着ノズルユニットの摺動部には、吸着ノズルから吸い込んだ小さなごみなどが蓄積しやすく、この摺動部の摺動状態が不良になると、部品を吸着した後、ホルダ部がシャフト部に対する初期位置に戻らなくなるためにその吸着ノズルユニットの部品吸着点は正規の位置よりも相対的に高いところに位置した状態となってしまい、部品搭載時に部品を基板に接触（搭載）させることができずに持ち帰ってしまう、いわゆる部品の持ち帰りを起こすおそれがある。このため従来、吸着ノズルユニットの摺動部の点検（摺動状態の良否の判定）を行うことができる装置が考案されており、例えば下記の特許文献１には、吸着ノズルに作用する荷重を測定し、その結果に基づいて摺動部の摺動状態の点検（検査）を行う構成が示されている。
特開２００７−２２０８３６号公報 On the other hand, in the contact portion between the shaft member and the holder member, that is, in the sliding portion of the suction nozzle unit, small dust sucked from the suction nozzle tends to accumulate. After suction, the holder part will not return to the initial position with respect to the shaft part, so the part suction point of the suction nozzle unit will be located at a position relatively higher than the normal position. There is a risk of bringing back a so-called component that cannot be brought into contact with (mounted on) the substrate and is taken home. For this reason, conventionally, an apparatus capable of inspecting the sliding portion of the suction nozzle unit (determining whether the sliding state is good or bad) has been devised. A configuration is shown in which the measurement is performed and the sliding state of the sliding portion is inspected (inspected) based on the result.
JP 2007-220836 A

しかしながら、上記従来の装置では、吸着ノズルに作用する荷重を測定する荷重測定装置のような摺動部の摺動状態の点検を行うための専用の設備が別途必要であり、コストアップが避けられないという問題点があった。 However, in the above conventional apparatus, a dedicated facility for checking the sliding state of the sliding portion such as a load measuring apparatus for measuring the load acting on the suction nozzle is separately required, and an increase in cost can be avoided. There was no problem.

そこで本発明は、専用の設備を必要とすることなく、低コストで吸着ノズルユニットの摺動部の点検を行うことができる吸着ノズルユニットの点検方法及び点検装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a suction nozzle unit inspection method and inspection device that can check the sliding portion of the suction nozzle unit at a low cost without requiring a dedicated facility.

請求項１に記載の吸着ノズルユニットの点検方法は、昇降自在なシャフト部材、シャフト部材の下部にシャフト部材に対して上下方向に摺動自在に設けられたホルダ部材、ホルダ部材をシャフト部材の下方に付勢する付勢部材及びホルダ部材に取り付けられた吸着ノズルから成る吸着ノズルユニットの点検方法であって、吸着ノズルの吸着口が検査面に上
方から当接する基準高さ位置にシャフト部材を位置決めする位置決め工程と、シャフト部材を基準高さ位置から一定量下降させる下降工程と、吸着ノズル内に圧力を供給しつつ、シャフト部材を下降位置から上昇させて吸着ノズル内の空気流量若しくは圧力の計測を行い、シャフト部材が基準高さ位置に達するまでの間に吸着ノズル内の空気流量若しくは圧力が予め定めた閾値を超えるか否かに基づいてシャフト部材とホルダ部材の摺動状態の良否判定を行う判定工程とを含む。 The suction nozzle unit inspection method according to claim 1 is a shaft member that is movable up and down, a holder member that is provided below the shaft member so as to be slidable in the vertical direction with respect to the shaft member, The suction nozzle unit is composed of a biasing member that biases the suction nozzle and a suction nozzle attached to the holder member, and the shaft member is positioned at a reference height position where the suction port of the suction nozzle contacts the inspection surface from above. Positioning step, lowering step of lowering the shaft member by a certain amount from the reference height position, and measuring the air flow rate or pressure in the suction nozzle by raising the shaft member from the lowering position while supplying pressure into the suction nozzle And whether the air flow rate or pressure in the suction nozzle exceeds a predetermined threshold before the shaft member reaches the reference height position And a determination step of performing quality determination of the sliding state of the shaft member and the holder member based on whether.

請求項２に記載の吸着ノズルユニットの点検装置は、昇降自在なシャフト部材、シャフト部材の下部にシャフト部材に対して上下方向に摺動自在に設けられたホルダ部材、ホルダ部材をシャフト部材の下方に付勢する付勢部材及びホルダ部材に取り付けられた吸着ノズルから成る吸着ノズルユニットの点検装置であって、シャフト部材を昇降させるシャフト部材昇降手段と、吸着ノズル内に圧力を供給する圧力供給手段と、吸着ノズル内の空気流量若しくは圧力の計測を行う計測手段と、シャフト部材昇降手段によるシャフト部の昇降制御、圧力供給手段による吸着ノズル内への圧力の供給制御及び計測手段による吸着ノズル内の空気流量若しくは圧力の計測制御を行う制御手段とを備え、制御手段は、吸着ノズルの吸着口が検査面に上方から当接する基準高さ位置にシャフト部材を位置決めした後、シャフト部材を基準高さ位置から一定量下降させ、その後吸着ノズル内に圧力を供給しつつ、シャフト部材を下降位置から上昇させて吸着ノズル内の空気流量若しくは圧力の計測を行い、シャフト部材が基準高さ位置に達するまでの間に吸着ノズル内の空気流量若しくは圧力が予め定めた閾値を超えるか否かに基づいてシャフト部材とホルダ部材の摺動状態の良否の判定を行う。 The suction nozzle unit inspection device according to claim 2 is a shaft member that is movable up and down, a holder member that is provided below the shaft member so as to be slidable in the vertical direction with respect to the shaft member, and the holder member that is located below the shaft member. A suction nozzle unit inspection device comprising a biasing member for biasing and a suction nozzle attached to a holder member, a shaft member lifting / lowering means for lifting and lowering the shaft member, and a pressure supply means for supplying pressure into the suction nozzle Measuring means for measuring the air flow rate or pressure in the suction nozzle, control for raising and lowering the shaft portion by the shaft member raising and lowering means, pressure supply control for the suction nozzle by the pressure supply means, and measurement means Control means for measuring and controlling the air flow rate or pressure, and the control means determines whether the suction port of the suction nozzle is above the inspection surface. After positioning the shaft member at the reference height position where it abuts, the shaft member is lowered by a certain amount from the reference height position, and then the shaft member is raised from the lowered position while supplying pressure to the suction nozzle. The air flow rate or pressure of the shaft member and the holder member are measured based on whether the air flow rate or pressure in the suction nozzle exceeds a predetermined threshold before the shaft member reaches the reference height position. The sliding state is judged as good or bad.

本発明では、吸着ノズルの吸着口が検査面に上方から当接する基準高さ位置にシャフト部材を位置決めした後、シャフト部材を基準高さ位置から一定量下降させ、その後吸着ノズル内に圧力を供給しつつ、シャフト部材を下降位置から上昇させて吸着ノズル内の空気流量若しくは圧力の計測を行い、シャフト部材が基準高さ位置に達するまでの間に吸着ノズル内の空気流量若しくは圧力が予め定めた閾値を超えるか否かに基づいてシャフト部材とホルダ部材の摺動状態の良否判定を行うようになっており、シャフト部材の昇降と吸着ノズル内への圧力供給及び吸着ノズル内の空気流量若しくは圧力の計測という吸着ノズルユニットを備える装置（例えば部品実装機）であれば通常備えている機能（設備）を利用して吸着ノズルユニットの摺動部（シャフト部材とノズル部材の接触部）の摺動状態の点検を行うことができるようになっているので、従来のように、吸着ノズルに作用する荷重を測定する荷重測定装置のような摺動部の点検を行うための専用の設備は不要であり、コストをかけずに吸着ノズルユニットの点検を行うことができる。 In the present invention, after positioning the shaft member at a reference height position where the suction port of the suction nozzle contacts the inspection surface from above, the shaft member is lowered by a certain amount from the reference height position, and then pressure is supplied into the suction nozzle. While the shaft member is raised from the lowered position, the air flow rate or pressure in the suction nozzle is measured, and the air flow rate or pressure in the suction nozzle is determined in advance until the shaft member reaches the reference height position. Based on whether or not the threshold value is exceeded, whether the sliding state of the shaft member and the holder member is good or bad is determined, the shaft member is raised and lowered, the pressure is supplied to the suction nozzle, and the air flow rate or pressure in the suction nozzle If the device is equipped with a suction nozzle unit (for example, a component mounting machine), the suction nozzle unit slides using the function (equipment) that is normally provided. Since it is possible to check the sliding state of the (contact portion between the shaft member and the nozzle member), the sliding like a load measuring device that measures the load acting on the suction nozzle as in the past. No special equipment for inspecting the part is required, and the suction nozzle unit can be inspected without cost.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態における部品実装機の平面図、図２は本発明の一実施の形態における部品実装機の移載ヘッドの拡大正面図、図３は本発明の一実施の形態における吸着ノズルユニットの点検装置の構成図、図４は本発明の一実施の形態における吸着ノズルユニットの断面図、図５は本発明の一実施の形態における部品実装機の制御系統を示すブロック図、図６は本発明の一実施の形態における吸着ノズルユニットの点検方法の実行手順を示すフローチャート、図７（ａ），（ｂ），（ｃ）及び図８（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ本発明の一実施の形態における吸着ノズルユニットの点検実行時の吸着ノズルユニットの断面図、図９（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態における吸着ノズルユニットの点検実行時の吸着ノズル内の空気流量の時間変化を示すグラフ、図１０（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態における吸着ノズルユニットの点検実行時の吸着ノズル内の圧力の時間変化を示すグラフである。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a component mounter according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged front view of a transfer head of the component mounter according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a sectional view of the suction nozzle unit according to the embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a block diagram showing a control system of the component mounting machine according to the embodiment of the present invention. FIG. 6 and FIG. 6 are flowcharts showing the execution procedure of the suction nozzle unit inspection method according to the embodiment of the present invention, FIGS. 7 (a), (b), (c) and FIGS. 8 (a), (b), (C) is a sectional view of the suction nozzle unit at the time of inspection of the suction nozzle unit according to the embodiment of the present invention, and FIGS. 9A and 9B are views of the suction nozzle unit according to the embodiment of the present invention. Adsorption nose during inspection FIG. 10A and FIG. 10B are graphs showing the time change of the pressure in the suction nozzle when the suction nozzle unit is inspected according to the embodiment of the present invention. .

図１において、部品実装機１は基台２上に基板３を一定の水平方向（Ｘ軸方向）に搬送する搬送コンベア４を備えており、搬送コンベア４の上方には搬送コンベア４による基板３の搬送方向（Ｘ軸方向）と水平に直交する方向（Ｙ軸方向）に延びたＹ軸テーブル５が設けられている。Ｙ軸テーブル５には２つのＹ軸スライダ６がＹ軸テーブル５に沿って（すなわちＹ軸方向に）移動自在に設けられており、各Ｙ軸スライダ６にはＸ軸方向に延びたＸ軸テーブル７の一端が取り付けられている。各Ｘ軸テーブル７にはＸ軸テーブル７に沿って（すなわちＸ軸方向に）移動自在な移動ステージ８が設けられている。 In FIG. 1, the component mounting machine 1 includes a transport conveyor 4 that transports a substrate 3 on a base 2 in a certain horizontal direction (X-axis direction), and above the transport conveyor 4, the substrate 3 by the transport conveyor 4. A Y-axis table 5 extending in a direction (Y-axis direction) perpendicular to the transport direction (X-axis direction) is provided. Two Y-axis sliders 6 are provided on the Y-axis table 5 so as to be movable along the Y-axis table 5 (that is, in the Y-axis direction), and each Y-axis slider 6 has an X-axis extending in the X-axis direction. One end of the table 7 is attached. Each X-axis table 7 is provided with a movable stage 8 that is movable along the X-axis table 7 (that is, in the X-axis direction).

図１及び図２において、各移動ステージ８には移載ヘッド９が設けられており、各移載ヘッド９には複数の吸着ノズルユニット１０が取り付けられている。 1 and 2, each moving stage 8 is provided with a transfer head 9, and each transfer head 9 is provided with a plurality of suction nozzle units 10.

図２、図３及び図４において、各吸着ノズルユニット１０は、移動ステージ８のシャフトガイド固定部８ａに固定されて上下方向（Ｚ軸方向）に延びた中空のシャフトガイド１１と、このシャフトガイド１１内を上下方向に貫通して延び、シャフトガイド１１に対して昇降自在に設けられたノズルシャフト（シャフト部材）１２と、ノズルシャフト１２の下部に設けられたノズルホルダ（ホルダ部材）１３と、ノズルホルダ１３に着脱自在に取り付けられて下端部に吸着口１４ａを有した吸着ノズル１４とを備えている。ノズルホルダ１３はノズルシャフト１２に対して上下方向に摺動自在であり、ノズルホルダ１３はノズルシャフト１２との間に縮設された付勢ばね（付勢部材）１５によって常時ノズルシャフト１２の下方に付勢された状態となっている。すなわち、各吸着ノズルユニット１０は、昇降自在なノズルシャフト１２、ノズルシャフト１２の下部にノズルシャフト１２に対して上下方向に摺動自在に設けられたノズルホルダ１３、ノズルホルダ１３をノズルシャフト１２の下方に付勢する付勢ばね１５及びノズルホルダ１３に取り付けられた吸着ノズル１４を有した構成となっている。 2, 3, and 4, each suction nozzle unit 10 includes a hollow shaft guide 11 that is fixed to the shaft guide fixing portion 8 a of the moving stage 8 and extends in the vertical direction (Z-axis direction), and the shaft guide. 11, a nozzle shaft (shaft member) 12 that extends vertically through the shaft guide 11 and can be moved up and down with respect to the shaft guide 11, and a nozzle holder (holder member) 13 that is provided below the nozzle shaft 12. The suction nozzle 14 is detachably attached to the nozzle holder 13 and has a suction port 14a at the lower end. The nozzle holder 13 is slidable in the vertical direction with respect to the nozzle shaft 12, and the nozzle holder 13 is always below the nozzle shaft 12 by a biasing spring (biasing member) 15 contracted between the nozzle shaft 12 and the nozzle holder 13. It is in a state of being energized. That is, each suction nozzle unit 10 includes a nozzle shaft 12 that can be raised and lowered, a nozzle holder 13 that is provided below the nozzle shaft 12 so as to be slidable in the vertical direction with respect to the nozzle shaft 12, and the nozzle holder 13. The biasing spring 15 biases downward and the suction nozzle 14 attached to the nozzle holder 13.

図３及び図４において、ノズルホルダ１３は、ノズルシャフト１２の下端部に外嵌された中空のホルダ基部１３ａ、ホルダ基部１３ａの左右両側に上下方向に延びて設けられた２つの（一対の）ノズル係止部材１３ｂ及びこれら２つのノズル係止部材１３ｂの外周に巻き掛けられてこれらノズル係止部材１３ｂをホルダ基部１３ａに固定する固定バンド１３ｃを有して成る。 3 and 4, the nozzle holder 13 includes a hollow holder base portion 13 a that is externally fitted to the lower end portion of the nozzle shaft 12, and two (a pair) provided on the left and right sides of the holder base portion 13 a so as to extend in the vertical direction. The nozzle locking member 13b and a fixing band 13c that is wound around the outer periphery of the two nozzle locking members 13b and fixes the nozzle locking member 13b to the holder base 13a are provided.

図３及び図４において、吸着ノズル１４は、ホルダ基部１３ａの下端に下方から外嵌される円筒状の基部１４ｂと、基部１４ｂの下端から下方に延びて設けられた管状部１４ｃを有する。基部１４ｂの内部と管状部１４ｃの内部は連通して吸着ノズル１４の内部管路１４ｄを形成している。 3 and 4, the suction nozzle 14 has a cylindrical base portion 14b that is externally fitted to the lower end of the holder base portion 13a and a tubular portion 14c that extends downward from the lower end of the base portion 14b. The inside of the base portion 14b and the inside of the tubular portion 14c communicate with each other to form an internal conduit 14d of the suction nozzle 14.

吸着ノズル１４を、基部１４ｂがホルダ基部１３ａに下方から外嵌するようにノズルホルダ１３に対して押し上げると、固定バンド１３ｃによってホルダ基部１３ａに固定されている一対のノズル係止部材１３ｂはその下端部１３ｄが吸着ノズル１４の基部１４ｂの上テーパ面１４ｅによって弾性的に側方に押し広げられる。そして、吸着ノズル１４の基部１４ｂの上端がノズル係止部材１３ｂに下方から当接してそれ以上吸着ノズル１４をノズルホルダ１３に対して押し上げることができなくなると、それまで弾性的に側方に押し広げられていた両ノズル係止部材１３ｂは元の状態に復帰し、その下端部１３ｄが吸着ノズル１４の基部１４ｂの下テーパ面１４ｆに下方から当接するので、吸着ノズル１４はノズルホルダ１３に保持される（図４参照）。なお、このように吸着ノズル１４がノズルホルダ１３に保持された状態では、吸着ノズル１４の内部管路１４ｄはホルダ基部１３ａの内部管路１３ｅを介してノズルシャフト１２の内部管路１２ａと連通する。 When the suction nozzle 14 is pushed up with respect to the nozzle holder 13 so that the base portion 14b is externally fitted to the holder base portion 13a, the pair of nozzle locking members 13b fixed to the holder base portion 13a by the fixing band 13c is the lower end thereof. The portion 13d is elastically pushed sideways by the upper tapered surface 14e of the base portion 14b of the suction nozzle 14. When the upper end of the base portion 14b of the suction nozzle 14 comes into contact with the nozzle locking member 13b from the lower side and the suction nozzle 14 cannot be pushed up with respect to the nozzle holder 13, it is elastically pushed sideways until then. Both expanded nozzle locking members 13b return to their original state, and their lower end portions 13d abut on the lower tapered surface 14f of the base portion 14b of the suction nozzle 14 from below, so that the suction nozzle 14 is held by the nozzle holder 13. (See FIG. 4). When the suction nozzle 14 is held by the nozzle holder 13 as described above, the internal conduit 14d of the suction nozzle 14 communicates with the internal conduit 12a of the nozzle shaft 12 via the internal conduit 13e of the holder base 13a. .

図３及び図４において、ノズルシャフト１２の下端部には下方に開口した中空部１６ａを有するホルダガイド１６が取り付けられており、ホルダ基部１３ａはこのホルダガイド
１６の中空部１６ａに下方から入り込んだ状態でノズルシャフト１２に取り付けられている。ホルダ基部１３ａの上部には左右に張り出した一対の突起部１３ｆが設けられており、これら一対の突起部１３ｆはホルダガイド１６に上下方向に延びて形成された一対のガイド溝１６ｂ内に内側から入り込んでいる。 3 and 4, a holder guide 16 having a hollow portion 16a that opens downward is attached to the lower end portion of the nozzle shaft 12, and the holder base portion 13a enters the hollow portion 16a of the holder guide 16 from below. It is attached to the nozzle shaft 12 in a state. A pair of projecting portions 13f projecting left and right is provided on the upper portion of the holder base portion 13a. The pair of projecting portions 13f extends from the inside into a pair of guide grooves 16b formed to extend in the vertical direction on the holder guide 16. It has entered.

ホルダ基部１３ａとノズルシャフト１２は、ホルダ基部１３ａの内部管路１３ｅの内周面とノズルシャフト１２の外周面を互いに接触させて（両面をノズルシャフト１２とノズルホルダ１３の接触部Ｓとして図４中に示す）上下方向に摺動（相対移動）自在になっている。このときホルダ基部１３ａの突起部１３ｆはホルダガイド１６のガイド溝１６ｂ内でのみ移動できるので、ノズルホルダ１３はホルダガイド１６のガイド溝１６ｂ内で突起部１３ｆが移動できる範囲内でのみノズルシャフト１２に対して相対的に昇降できる。すなわち、ホルダガイド１６はその中空部１６ａにおいてホルダ基部１３ａのノズルシャフト１２に対する移動（摺動）をガイドするとともに、ノズルホルダ１３のノズルシャフト１２に対する上下方向の移動領域を規制し、更にノズルホルダ１３のノズルシャフト１２からの脱落を防止している。 The holder base portion 13a and the nozzle shaft 12 are configured such that the inner peripheral surface of the inner conduit 13e of the holder base portion 13a and the outer peripheral surface of the nozzle shaft 12 are in contact with each other (both surfaces are referred to as a contact portion S between the nozzle shaft 12 and the nozzle holder 13) It can slide (relatively move) in the vertical direction. At this time, since the protrusion 13f of the holder base 13a can move only within the guide groove 16b of the holder guide 16, the nozzle holder 12 can move only within the range in which the protrusion 13f can move within the guide groove 16b of the holder guide 16. Can be moved up and down relatively. That is, the holder guide 16 guides the movement (sliding) of the holder base portion 13a relative to the nozzle shaft 12 in the hollow portion 16a, restricts the vertical movement region of the nozzle holder 13 relative to the nozzle shaft 12, and further restricts the nozzle holder 13 to the nozzle holder 13. Is prevented from falling off the nozzle shaft 12.

図４において、付勢ばね１５はホルダガイド１６の中空部１６ａ内に設けられている。この付勢ばね１５はホルダガイド１６とホルダ基部１３ａの一対の突起部１３ｆとの間に縮設されており、ノズルホルダ１３全体を常時ノズルシャフト１２の下方（下端側）に付勢して（押し下げて）いる。吸着ノズル１４の吸着口１４ａが何物にも押し当てられていない状態（図４に示す状態）では、ノズルホルダ１３はホルダ基部１３ａの突起部１３ｆをホルダガイド１６のガイド溝１６ｂの下縁に上方から当接させた位置（以下、「初期位置」と称する）に位置した状態となっているが、吸着ノズル１４の吸着口１４ａが何物かに押し当てられると、ノズルホルダ１３は付勢ばね１５を上方に押し縮めつつ、ノズルシャフト１２との接触部Ｓにおいて摺動しながら、ノズルシャフト１２に対して相対的に上動する。 In FIG. 4, the urging spring 15 is provided in the hollow portion 16 a of the holder guide 16. The biasing spring 15 is contracted between the holder guide 16 and the pair of protrusions 13f of the holder base 13a, and constantly biases the entire nozzle holder 13 downward (lower end side) of the nozzle shaft 12 ( Push down). In a state where the suction port 14a of the suction nozzle 14 is not pressed against anything (the state shown in FIG. 4), the nozzle holder 13 places the protrusion 13f of the holder base 13a on the lower edge of the guide groove 16b of the holder guide 16. The nozzle holder 13 is energized when the suction port 14a of the suction nozzle 14 is pressed against something, although it is in a state where it is in contact with the top (hereinafter referred to as "initial position"). The spring 15 is moved upward relative to the nozzle shaft 12 while being slid at the contact portion S with the nozzle shaft 12 while compressing the spring 15 upward.

図１において、搬送コンベア４の側方領域には移載ヘッド９に部品Ｐ（図２）を供給する複数のテープフィーダ２０がＸ軸方向に並んで設けられている。また、移載ヘッド９には撮像面を下方に向けた基板カメラ２１が設けられており、基台２上には撮像面を上方に向けた部品カメラ２２が設けられている。 In FIG. 1, a plurality of tape feeders 20 for supplying a component P (FIG. 2) to the transfer head 9 are provided side by side in the X-axis direction in the lateral region of the conveyor 4. The transfer head 9 is provided with a substrate camera 21 with the imaging surface facing downward, and a component camera 22 with the imaging surface facing upward is provided on the base 2.

図５において、部品実装機１には、搬送コンベア４を駆動する搬送コンベア駆動モータ２３ａ、各Ｙ軸スライダ６をＹ軸テーブル５に沿って移動させるＹ軸スライダ移動機構２３ｂ、各移動ステージ８をＸ軸テーブル７に沿って移動させる移動ステージ移動機構２３ｃ及び各吸着ノズルユニット１０のノズルシャフト１２を（すなわち吸着ノズル１４を）個別に昇降及び上下軸（Ｚ軸）回りに回転させるノズル駆動機構２３ｄが備えられている。これら搬送コンベア駆動モータ２３ａ、Ｙ軸スライダ移動機構２３ｂ、移動ステージ移動機構２３ｃ及びノズル駆動機構２３ｄは部品実装機１に備えられた制御装置２４によって作動制御がなされ、搬送コンベア４による基板３の搬送及び位置決めや、移載ヘッド９の移動制御及び各吸着ノズルユニット１０のノズルシャフト１２の昇降制御等が行われる。また、基板カメラ２１及び部品カメラ２２は制御装置２４によってその作動制御がなされ、基板カメラ２１及び部品カメラ２２からの撮像結果は制御装置２４に入力される。また、制御装置２４に繋がる記憶装置２５には、各部品Ｐの基板３上の目標搭載位置のデータを含む種々のデータが記憶されている。 In FIG. 5, the component mounter 1 includes a transport conveyor drive motor 23 a that drives the transport conveyor 4, a Y-axis slider moving mechanism 23 b that moves each Y-axis slider 6 along the Y-axis table 5, and each moving stage 8. A moving stage moving mechanism 23c that moves along the X-axis table 7 and a nozzle driving mechanism 23d that individually moves the nozzle shaft 12 of each suction nozzle unit 10 (that is, the suction nozzle 14) up and down and rotates around the vertical axis (Z axis). Is provided. The transport conveyor drive motor 23a, the Y-axis slider moving mechanism 23b, the moving stage moving mechanism 23c, and the nozzle drive mechanism 23d are controlled by a control device 24 provided in the component mounting machine 1, and the substrate 3 is transported by the transport conveyor 4. In addition, positioning, movement control of the transfer head 9, elevation control of the nozzle shaft 12 of each suction nozzle unit 10, and the like are performed. The operation of the substrate camera 21 and the component camera 22 is controlled by the control device 24, and the imaging results from the substrate camera 21 and the component camera 22 are input to the control device 24. The storage device 25 connected to the control device 24 stores various data including data on the target mounting position of each component P on the board 3.

図３において、各吸着ノズルユニット１０が備えるノズルシャフト１２の内部管路１２ａは吸着ノズルユニット１０の外部に設けられた外部管路１０ａと繋がっており、各吸着ノズルユニット１０の外部管路１０ａは吸着ノズルユニット１０ごとに設けられた切換弁３１を介して真空ポンプ３２及び空圧源３３と繋がっている。また、空圧源３３と切換弁
３１との間には空圧源３３から供給される空圧の圧力制御を行うブロー弁３４が介装されている。 In FIG. 3, the internal pipe line 12 a of the nozzle shaft 12 included in each suction nozzle unit 10 is connected to an external pipe line 10 a provided outside the suction nozzle unit 10, and the external pipe line 10 a of each suction nozzle unit 10 is The vacuum pump 32 and the air pressure source 33 are connected via a switching valve 31 provided for each suction nozzle unit 10. A blow valve 34 that controls the pressure of the air pressure supplied from the air pressure source 33 is interposed between the air pressure source 33 and the switching valve 31.

制御装置２４は、吸着ノズルユニット１０ごとに設けられた切換弁３１のスプール（図示せず）の位置切り換えを行うことにより、外部管路１０ａを通じて吸着ノズル１４内に圧力を供給する。制御装置２４の切換弁３１の位置切り換えによって外部管路１０ａが空圧源３３と接続されると、吸着ノズル１４内には正圧が供給され、外部管路１０ａが真空ポンプ３２と接続されると、吸着ノズル１４内には負圧が供給される。外部管路１０ａを空圧源３３に接続させた状態では、制御装置２４はブロー弁３４の制御を行い、空圧源３３からの圧力（正圧）を低圧に絞って吸着ノズル１４の吸着口１４ａからわずかな空気を放出させることができる。 The control device 24 supplies pressure into the suction nozzle 14 through the external pipe line 10a by switching the position of a spool (not shown) of the switching valve 31 provided for each suction nozzle unit 10. When the external conduit 10 a is connected to the pneumatic pressure source 33 by switching the position of the switching valve 31 of the control device 24, positive pressure is supplied into the suction nozzle 14 and the external conduit 10 a is connected to the vacuum pump 32. Then, a negative pressure is supplied into the suction nozzle 14. In a state where the external pipe line 10 a is connected to the pneumatic pressure source 33, the control device 24 controls the blow valve 34, and the pressure (positive pressure) from the pneumatic pressure source 33 is reduced to a low pressure to suck the suction port of the suction nozzle 14. A slight amount of air can be released from 14a.

図３において、吸着ノズルユニット１０ごとに設けられた各外部管路１０ａには、その外部管路１０ａ内の空気流量（すなわち、その吸着ノズルユニット１０が備える吸着ノズル１４内の空気流量）を計測する空気流量センサ３５が介装されている。空気流量センサ３５は制御装置２４によって外部管路１０ａ内の空気流量の計測制御が行われ、空気流量センサ３５が計測した外部管路１０ａ内（すなわち吸着ノズル１４内）の空気流量の情報は制御装置２４に入力される。 In FIG. 3, the air flow rate in the external pipeline 10a (that is, the air flow rate in the suction nozzle 14 included in the suction nozzle unit 10) is measured for each external pipeline 10a provided for each suction nozzle unit 10. An air flow sensor 35 is interposed. The air flow rate sensor 35 is controlled to measure the air flow rate in the external pipe line 10a by the control device 24, and the information on the air flow rate in the external pipe line 10a (that is, in the adsorption nozzle 14) measured by the air flow rate sensor 35 is controlled. Input to the device 24.

また、図３において、制御装置２４には報知器３６が接続されている。この報知器３６は、後述する吸着ノズルユニット１０の点検によって得られた各吸着ノズルユニット１０のノズルシャフト１２とノズルホルダ１３の接触部Ｓ、すなわちノズルユニット１０の摺動部の摺動状態の点検結果をオペレータに報知するものであり、例えば部品実装機１に備えられた図示しないディスプレイ装置等に組み込まれている。 In FIG. 3, an alarm 36 is connected to the control device 24. This alarm 36 is used to check the sliding state of the contact portion S between the nozzle shaft 12 and the nozzle holder 13 of each suction nozzle unit 10 obtained by checking the suction nozzle unit 10 described later, that is, the sliding portion of the nozzle unit 10. The result is notified to the operator, and is incorporated in, for example, a display device (not shown) provided in the component mounter 1.

部品実装機１による部品Ｐの基板３への実装では、制御装置２４は先ず、搬送コンベア駆動モータ２３ａの作動制御により搬送コンベア４を駆動して基板３をＸ軸方向に搬送し、所定位置に位置決めする。そして、Ｙ軸スライダ移動機構２３ｂの作動制御によるＸ軸テーブル７のＹ軸方向への移動と移動ステージ移動機構２３ｃの作動制御による移動ステージ８のＸ軸方向への移動とによって移動ステージ８を所定位置に位置決めされた基板３に対して相対移動させ、基板３の上方に位置させた基板カメラ２１によって基板３の位置決めマーク（図示せず）の画像認識（撮像）を行わせた後、移載ヘッド９が備える各吸着ノズルユニット１０にテープフィーダ２０が部品供給口２０ａ（図１）に供給する部品Ｐをピックアップ（吸着）させる。 In mounting the component P on the substrate 3 by the component mounter 1, the control device 24 first drives the transport conveyor 4 by controlling the operation of the transport conveyor drive motor 23a to transport the substrate 3 in the X-axis direction and put it in a predetermined position. Position it. Then, the movement stage 8 is preliminarily determined by the movement of the X-axis table 7 in the Y-axis direction by the operation control of the Y-axis slider movement mechanism 23b and the movement of the movement stage 8 in the X-axis direction by the operation control of the movement stage movement mechanism 23c. The substrate 3 is moved relative to the substrate 3 positioned at the position, and image recognition (imaging) of a positioning mark (not shown) of the substrate 3 is performed by the substrate camera 21 positioned above the substrate 3. The component P supplied from the tape feeder 20 to the component supply port 20a (FIG. 1) is picked up (sucked) to each suction nozzle unit 10 provided in the head 9.

部品Ｐのピックアップにおいて、制御装置２４は、吸着ノズル１４の下端部の吸着口１４ａをこれから吸着しようとする部品Ｐの上方に位置させた後、ノズル駆動機構２３ｄの作動制御を行って、その吸着ノズル１４が取り付けられている吸着ノズルユニット１０のノズルシャフト１２を下降させ、吸着ノズル１４の吸着口１４ａが部品Ｐの上面に所定の押圧力で押し付けられるようにする。そして、切換弁３１を真空ポンプ３２側に切り換えて真空ポンプ３２を吸着ノズル１４に連通させ、部品Ｐが吸着ノズル１４の吸着口１４ａに吸い付けられるようにする。 In picking up the component P, the control device 24 positions the suction port 14a at the lower end of the suction nozzle 14 above the component P to be sucked, and then controls the operation of the nozzle drive mechanism 23d to pick up the suction. The nozzle shaft 12 of the suction nozzle unit 10 to which the nozzle 14 is attached is lowered so that the suction port 14a of the suction nozzle 14 is pressed against the upper surface of the component P with a predetermined pressing force. Then, the switching valve 31 is switched to the vacuum pump 32 side so that the vacuum pump 32 communicates with the suction nozzle 14 so that the component P is sucked to the suction port 14 a of the suction nozzle 14.

ここで、吸着ノズル１４の吸着口１４ａに部品Ｐが正常に吸い付けられた状態では、吸着ノズル１４の吸着口１４ａは部品Ｐによって閉塞状態にされるので、吸着ノズル１４の内部管路１４ｄ内には空気は流れず、したがってこの吸着ノズル１４の内部管路１４ｄと繋がる外部管路１０ａ内にも空気は流れないので、空気流量センサ３５によって計測される空気流量はほぼ「０」となる。このため、制御装置２４は空気流量センサ３５が計測する外部管路１０ａ内の空気流量がほぼ「０」であることを検知することによって、部品Ｐのピックアップが正常に行われたことを認識することができる。 Here, in a state where the component P is normally sucked to the suction port 14a of the suction nozzle 14, the suction port 14a of the suction nozzle 14 is closed by the component P, so that the inside of the internal conduit 14d of the suction nozzle 14 Therefore, air does not flow, and therefore air does not flow in the external pipe line 10a connected to the internal pipe line 14d of the suction nozzle 14, so that the air flow rate measured by the air flow rate sensor 35 is substantially “0”. For this reason, the control device 24 recognizes that the pickup of the component P has been performed normally by detecting that the air flow rate in the external pipe line 10a measured by the air flow rate sensor 35 is substantially “0”. be able to.

制御装置２４は部品Ｐのピックアップが終了したら、そのピックアップした部品Ｐが部品カメラ２２の上方（部品カメラ２２の視野内）を通過するように移載ヘッド９を移動させ、部品カメラ２２に部品Ｐの下面の画像認識（撮像）を行わせる。そして、現在ピックアップしている部品Ｐの基板３上での目標搭載位置のデータを記憶装置２５から読み出し、その読み出した搭載位置に部品Ｐを搭載させる。 When the pickup of the component P is completed, the control device 24 moves the transfer head 9 so that the picked-up component P passes above the component camera 22 (within the field of view of the component camera 22). The image recognition (imaging) of the lower surface of is performed. And the data of the target mounting position on the board | substrate 3 of the components P currently picked up are read from the memory | storage device 25, and the components P are mounted in the read mounting position.

部品Ｐの基板３上に搭載する際、制御装置２４は、これから搭載しようとしている（現在ピックアップしている）部品Ｐを基板３上の目標搭載位置の直上に位置させた後、ノズル駆動機構２３ｄの作動制御を行って、その吸着ノズルユニット１０のノズルシャフト１２を下降させ、部品Ｐが基板３上に所定の押圧力で押し付けられるようにする。そして、切換弁３１を空圧源３３側に切り換えて空圧源３３を吸着ノズル１４に連通させ、ブロー弁３４の作動制御を行って吸着ノズル１４の吸着口１４ａからわずかな空気を放出させながらノズルシャフト１２を（すなわち吸着ノズル１４を）上昇させる。これにより部品Ｐは吸着ノズル１４の吸着口１４ａから切り離され、基板３上の目標搭載位置に搭載される。 When the component P is mounted on the substrate 3, the control device 24 positions the component P to be mounted (currently picked up) immediately above the target mounting position on the substrate 3, and then the nozzle drive mechanism 23d. The nozzle shaft 12 of the suction nozzle unit 10 is lowered so that the component P is pressed onto the substrate 3 with a predetermined pressing force. Then, the switching valve 31 is switched to the pneumatic pressure source 33 side so that the pneumatic pressure source 33 communicates with the suction nozzle 14, and the blow valve 34 is controlled to release a slight amount of air from the suction port 14 a of the suction nozzle 14. The nozzle shaft 12 is raised (that is, the suction nozzle 14) is raised. As a result, the component P is separated from the suction port 14 a of the suction nozzle 14 and mounted at the target mounting position on the substrate 3.

部品Ｐが基板３に搭載された後は、吸着ノズル１４の吸着口１４ａは閉塞状態から開放されるので、吸着ノズル１４の内部管路１４ｄに空気が流れるようになり、したがって外部管路１０ａ内にも空気が流れるようになる。このため、制御装置２４は空気流量センサ３５が計測する外部管路１０ａ内の空気流量が吸着ノズル１４の吸着口１４ａの開放時に計測されるべき空気流量（開放時流量）に達していることを検知することによって、部品Ｐの搭載が正常に行われ、部品Ｐの持ち帰りが発生していないことを認識することができる。これが空気流量センサ３５の主とした機能である。なお、制御装置２４は、部品Ｐを基板３に搭載する際には、基板カメラ２１の画像認識によって得られる基板３の位置ずれと、部品カメラ２２の画像認識によって得られる吸着ノズル１４に対する部品Ｐの吸着ずれが修正されるようにする。 After the component P is mounted on the substrate 3, the suction port 14a of the suction nozzle 14 is released from the closed state, so that air flows through the internal pipe line 14d of the suction nozzle 14, and therefore, in the external pipe line 10a. Even air will flow. For this reason, the control device 24 confirms that the air flow rate in the external pipe line 10a measured by the air flow rate sensor 35 has reached the air flow rate (flow rate at opening) to be measured when the suction port 14a of the suction nozzle 14 is opened. By detecting, it is possible to recognize that the component P is normally mounted and that the component P is not taken home. This is the main function of the air flow sensor 35. When the component P is mounted on the substrate 3, the control device 24 shifts the position of the substrate 3 obtained by the image recognition of the substrate camera 21 and the component P with respect to the suction nozzle 14 obtained by the image recognition of the component camera 22. So that the adsorption deviation is corrected.

次に、この部品実装機１における吸着ノズルユニット１０の摺動部の点検（摺動状態の良否の判定）方法の実行手順を図６のフローチャート等に基づいて説明する。 Next, the execution procedure of the method of checking the sliding portion of the suction nozzle unit 10 (determining whether the sliding state is good or bad) in the component mounting machine 1 will be described based on the flowchart of FIG.

吸着ノズルユニット１０の摺動部の点検は、オペレータにより点検開始のための所定の操作が行われたとき、又は部品実装機１が予め設定された条件（例えば所定枚数の基板生産が終了したという条件）が満たされたときなど、制御装置２４の判断によって開始される。 The inspection of the sliding portion of the suction nozzle unit 10 is performed when a predetermined operation for starting the inspection is performed by the operator or when the component mounting machine 1 is set in advance (for example, the production of a predetermined number of boards has been completed). The process is started by the determination of the control device 24, for example, when the (condition) is satisfied.

吸着ノズルユニット１０の摺動部の点検を行うにおいて、制御装置２４は先ず、Ｙ軸スライダ移動機構２３ｂ及び移動ステージ移動機構２３ｃの作動制御を行って移載ヘッド９を基台２上に設けられた検査面３７（図１）の上方に位置させたうえで、ノズル駆動機構２３ｄを作動させて点検対象となっている吸着ノズルユニット１０のノズルシャフト１２を下降させる。そして、その吸着ノズルユニット１０が備える吸着ノズル１４の吸着口１４ａが検査面３７に上方から当接する基準高さ位置（図７及び図８ではホルダガイド１６の下端が水平線Ｌ１上に位置する位置）に、その吸着ノズルユニット１０のノズルシャフト１２を位置決めする（図６中のステップＳＴ１。図７（ａ）及び図８（ａ）参照）。ノズルシャフト１２が基準高さ位置に位置決めされた状態では、付勢ばね１５は全く縮んでいないことが好ましいが、わずかに縮んだ状態であってもよい。 In checking the sliding portion of the suction nozzle unit 10, the control device 24 first controls the operation of the Y-axis slider moving mechanism 23 b and the moving stage moving mechanism 23 c so that the transfer head 9 is provided on the base 2. Then, the nozzle drive mechanism 23d is operated to lower the nozzle shaft 12 of the suction nozzle unit 10 to be inspected, after being positioned above the inspection surface 37 (FIG. 1). The reference height position where the suction port 14a of the suction nozzle 14 included in the suction nozzle unit 10 comes into contact with the inspection surface 37 from above (the position where the lower end of the holder guide 16 is located on the horizontal line L1 in FIGS. 7 and 8). Next, the nozzle shaft 12 of the suction nozzle unit 10 is positioned (step ST1 in FIG. 6; see FIGS. 7A and 8A). In a state where the nozzle shaft 12 is positioned at the reference height position, the biasing spring 15 is preferably not contracted at all, but may be in a slightly contracted state.

ステップＳＴ１が終了したら、制御装置２４はノズル駆動機構２３ｄを作動させて、ノズルシャフト１２を基準高さ位置から一定量（図７（ｂ）及び図８（ｂ）中に示す距離Δ）下降させる（ステップＳＴ２。図７（ｂ）及び図８（ｂ）中に示す矢印Ａ参照）。これ
によりノズルシャフト１２はノズルホルダ１３との接触部Ｓにおいて摺動しながらノズルホルダ１３に対して下動する（ノズルホルダ１３はノズルシャフト１２に対して相対的に上動する）。 When step ST1 ends, the control device 24 operates the nozzle drive mechanism 23d to lower the nozzle shaft 12 by a certain amount (the distance Δ shown in FIGS. 7B and 8B) from the reference height position. (Step ST2, see arrow A shown in FIGS. 7B and 8B). Accordingly, the nozzle shaft 12 moves downward relative to the nozzle holder 13 while sliding at the contact portion S with the nozzle holder 13 (the nozzle holder 13 moves upward relative to the nozzle shaft 12).

ステップＳＴ２が終了したら、制御装置２４は切換弁３１を作動させて外部管路１０ａを空圧源３３（又は真空ポンプ３２）に接続させ、吸着ノズル１４内に圧力を供給しつつ、ノズルシャフト１２を下降位置（ステップＳＴ２においてノズルシャフト１２を一定量下降させたときのノズルシャフト１２の位置）から上昇させながら（図７（ｃ）及び図８（ｃ）中に示す矢印Ｂ参照）、空気流量センサ３５からの出力に基づいて吸着ノズル１４内の空気流量を計測する（ステップＳＴ３）そして、その計測した空気流量を予め定めた閾値と比較し、吸着ノズル１４内の空気流量が閾値を超えたか否かの判断を行う（ステップＳＴ４）。この閾値は、吸着ノズル１４の吸着口１４ａの閉塞時に計測されるべき閉塞時流量である「０」よりも大きく、かつ、吸着ノズル１４の吸着口１４ａの開放時に計測されるべき開放時流量よりも小さい任意の値として定められる（図９（ａ）及び図９（ｂ）参照）。 When step ST2 is completed, the control device 24 operates the switching valve 31 to connect the external pipe line 10a to the pneumatic pressure source 33 (or the vacuum pump 32), and while supplying pressure into the suction nozzle 14, the nozzle shaft 12 Is raised from the lowered position (the position of the nozzle shaft 12 when the nozzle shaft 12 is lowered by a certain amount in step ST2) (see arrow B shown in FIGS. 7C and 8C). Based on the output from the sensor 35, the air flow rate in the suction nozzle 14 is measured (step ST3). Then, the measured air flow rate is compared with a predetermined threshold value, and whether the air flow rate in the suction nozzle 14 exceeds the threshold value. It is determined whether or not (step ST4). This threshold is larger than “0”, which is a flow rate at the time of closing when the suction port 14a of the suction nozzle 14 is closed, and is larger than a flow rate at the time of opening when the suction port 14a of the suction nozzle 14 is opened. Is also determined as an arbitrary small value (see FIGS. 9A and 9B).

制御装置２４は、ステップＳＴ４において、計測した吸着ノズル１４内の空気流量が閾値を超えていると判断した場合には、吸着ノズルユニット１０の摺動部の摺動状態は不良であると判定し（ステップＳＴ５）、その判定結果を報知器３６により報知して点検を終了する。 If the control device 24 determines in step ST4 that the measured air flow rate in the suction nozzle 14 exceeds the threshold value, it determines that the sliding state of the sliding portion of the suction nozzle unit 10 is defective. (Step ST5), the determination result is notified by the notification device 36, and the inspection is completed.

一方、ステップＳＴ４において、吸着ノズル１４内の空気流量が閾値を超えていないと判断した場合には、次いでノズルシャフト１２が基準位置に達しているか否かの判断を行い（ステップＳＴ６）、ノズルシャフト１２が基準位置に達していないと判断した場合にはステップＳＴ３に戻って（ノズルシャフト１２の位置は前回のステップＳＴ３のときよりも上昇している）、吸着ノズル１４内の空気流量の計測とステップＳＴ４の比較を行い、ノズルシャフト１２が基準位置に達していると判断した場合には、吸着ノズルユニット１０の摺動部の摺動状態は良好であると判定し（ステップＳＴ７）、その判定結果を報知器３６により報知して点検を終了する。 On the other hand, if it is determined in step ST4 that the air flow rate in the suction nozzle 14 does not exceed the threshold value, it is then determined whether or not the nozzle shaft 12 has reached the reference position (step ST6). If it is determined that 12 has not reached the reference position, the process returns to step ST3 (the position of the nozzle shaft 12 is higher than in the previous step ST3), and the measurement of the air flow rate in the suction nozzle 14 is performed. When the comparison in step ST4 is made and it is determined that the nozzle shaft 12 has reached the reference position, it is determined that the sliding state of the sliding portion of the suction nozzle unit 10 is good (step ST7), and the determination is made. The result is notified by the notification device 36 and the inspection is completed.

このように制御装置２４は、ステップＳＴ３以降の工程において、ノズルシャフト１２を基準高さ位置から一定量下降させ、その後吸着ノズル１４内に圧力を供給しつつ、ノズルシャフト１２を下降位置から上昇させて吸着ノズル１４内の空気流量の計測を行い、ノズルシャフト１２が基準高さ位置に達するまでの間に吸着ノズル１４内の空気流量が予め定めた閾値を超えるか否かに基づいてノズルシャフト１２とノズルホルダ１３の摺動状態の良否の判定を行い、その判定結果を報知器３６により報知するようになっている。これにより部品実装機１のオペレータは、現在点検対象となっている吸着ノズルユニット１０の摺動部の摺動状態の良否を知ることができ、必要な対策を講じることができる。 In this way, in the processes after step ST3, the control device 24 lowers the nozzle shaft 12 by a certain amount from the reference height position, and then raises the nozzle shaft 12 from the lowered position while supplying pressure into the suction nozzle 14. The air flow rate in the suction nozzle 14 is measured, and the nozzle shaft 12 is determined based on whether or not the air flow rate in the suction nozzle 14 exceeds a predetermined threshold until the nozzle shaft 12 reaches the reference height position. The nozzle holder 13 is judged to be good or bad in the sliding state, and the result of the judgment is notified by the notification device 36. Thereby, the operator of the component mounting machine 1 can know the quality of the sliding state of the sliding portion of the suction nozzle unit 10 currently being inspected, and can take necessary measures.

上記のステップＳＴ３において、ノズルシャフト１２が下降位置から上昇すると、ノズルシャフト１２はノズルホルダ１３との接触部Ｓにおいて摺動し、ノズルシャフト１２はノズルホルダ１３に対して上動する（ノズルホルダ１３はノズルシャフト１２に対して相対的に下動する）。ここで、摺動部（ノズルシャフト１２とノズルホルダ１３の接触部Ｓ）の摺動状態が良好であるときにはノズルシャフト１２が基準高さ位置に戻った時点でノズルホルダ１３は初期位置に復帰するが（図７（ｃ））、摺動部の摺動状態が不良であるときには、ノズルシャフト１２が基準高さ位置に戻った時点でノズルホルダ１３は初期位置に復帰せず、ノズルシャフト１２を基準として初期位置よりも高い位置に位置することになる（図８（ｃ））。 In step ST3, when the nozzle shaft 12 rises from the lowered position, the nozzle shaft 12 slides at the contact portion S with the nozzle holder 13, and the nozzle shaft 12 moves up with respect to the nozzle holder 13 (nozzle holder 13 Moves downward relative to the nozzle shaft 12). Here, when the sliding state of the sliding portion (the contact portion S between the nozzle shaft 12 and the nozzle holder 13) is good, the nozzle holder 13 returns to the initial position when the nozzle shaft 12 returns to the reference height position. (FIG. 7C), when the sliding state of the sliding portion is poor, the nozzle holder 13 does not return to the initial position when the nozzle shaft 12 returns to the reference height position, and the nozzle shaft 12 is As a reference, it is located at a position higher than the initial position (FIG. 8C).

図９（ａ），（ｂ）はノズルシャフト１２を下降位置から基準高さ位置を超えて上昇さ
せる間の吸着ノズル１４内の空気流量の時間変化を表したグラフであり、図９（ａ）は摺動部の摺動状態が良好であるときの例、図９（ｂ）は摺動部の摺動状態が不良であるときの例である。 FIGS. 9A and 9B are graphs showing the time change of the air flow rate in the suction nozzle 14 while the nozzle shaft 12 is raised from the lowered position beyond the reference height position. Is an example when the sliding state of the sliding part is good, and FIG. 9B is an example when the sliding state of the sliding part is poor.

摺動部の摺動状態が良好であるときには、吸着ノズル１４の吸着口１４ａは、ノズルシャフト１２が下降位置から基準高さ位置に達するまでの間（図７（ｂ）→図７（ｃ））に検査面３７から離間することはないので、吸着ノズル１４内には空気の流れが生じず、その間の吸着ノズル１４内の空気流量はほぼ「０」を維持し、吸着ノズル１４内の空気流量が閾値を超えることはない（図９（ａ））。一方、摺動部の摺動状態が不良であるときには、吸着ノズル１４の吸着口１４ａは、ノズルシャフト１２が基準高さ位置に達する前に検査面３７から離間して吸着ノズル１４内に空気の流れが生じるようになるので、ノズルシャフト１２が下降位置から基準高さ位置に達するまでの間に（図８（ｂ）→図８（ｃ））、吸着ノズル１４内の空気流量は閾値を超えることになる（図９（ｂ））。 When the sliding state of the sliding portion is good, the suction port 14a of the suction nozzle 14 is moved until the nozzle shaft 12 reaches the reference height position from the lowered position (FIG. 7 (b) → FIG. 7 (c). ), The air flow does not occur in the suction nozzle 14, and the air flow rate in the suction nozzle 14 during that period is maintained at almost “0”. The flow rate does not exceed the threshold value (FIG. 9 (a)). On the other hand, when the sliding state of the sliding portion is poor, the suction port 14a of the suction nozzle 14 is separated from the inspection surface 37 before the nozzle shaft 12 reaches the reference height position, and air is sucked into the suction nozzle 14. Since the flow comes to occur, the air flow rate in the suction nozzle 14 exceeds the threshold value until the nozzle shaft 12 reaches the reference height position from the lowered position (FIG. 8 (b) → FIG. 8 (c)). (FIG. 9B).

このように、本実施の形態における吸着ノズルユニット１０の点検方法は、吸着ノズル１４の吸着口１４ａが検査面３７に上方から当接する基準高さ位置にノズルシャフト１２を位置決めする位置決め工程（ステップＳＴ１）と、ノズルシャフト１２を基準高さ位置から一定量下降させる下降工程（ステップＳＴ２）と、吸着ノズル１４内に圧力を供給しつつ、ノズルシャフト１２を下降位置から上昇させて吸着ノズル１４内の空気流量の計測を行い、ノズルシャフト１２が基準高さ位置に達するまでの間に吸着ノズル１４内の空気流量が予め定めた閾値を超えるか否かに基づいてノズルシャフト１２とノズルホルダ１３の（すなわち摺動部の）摺動状態の良否判定を行う判定工程（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ７）とを含むものとなっている。判定工程では、具体的には、ノズルシャフト１２が基準高さ位置に達するまでの間に吸着ノズル１４内の空気流量が閾値を超えない場合には吸着ノズルユニット１０の摺動部の摺動状態は良好であると判定し、閾値を超える場合には吸着ノズルユニット１０の摺動部の摺動状態は不良であると判定する。 As described above, the inspection method of the suction nozzle unit 10 in the present embodiment is a positioning step (step ST1) of positioning the nozzle shaft 12 at the reference height position where the suction port 14a of the suction nozzle 14 contacts the inspection surface 37 from above. ), A descent process (step ST2) in which the nozzle shaft 12 is lowered by a certain amount from the reference height position, and the nozzle shaft 12 is raised from the descent position while supplying pressure to the adsorption nozzle 14, The air flow rate is measured, and the nozzle shaft 12 and the nozzle holder 13 (on the basis of whether the air flow rate in the suction nozzle 14 exceeds a predetermined threshold before the nozzle shaft 12 reaches the reference height position. That is, it includes a determination step (step ST3 to step ST7) for determining whether or not the sliding state of the sliding portion is good. That. In the determination step, specifically, when the air flow rate in the suction nozzle 14 does not exceed the threshold value until the nozzle shaft 12 reaches the reference height position, the sliding state of the sliding portion of the suction nozzle unit 10 Is determined to be good, and if the threshold value is exceeded, it is determined that the sliding state of the sliding portion of the suction nozzle unit 10 is poor.

また、本実施の形態における吸着ノズルユニット１０の点検装置は、ノズルシャフト１２を昇降させるシャフト部材昇降手段としてのノズル駆動機構２３ｄ、吸着ノズル１４内に圧力を供給する圧力供給手段としての空圧源３３（又は真空ポンプ３２）、吸着ノズル１４内の空気流量の計測を行う計測手段としての空気流量センサ３５、ノズル駆動機構２３ｄによるノズルシャフト１２の昇降制御、空圧源３３（又は真空ポンプ３２）による吸着ノズル１４内への圧力の供給制御及び空気流量センサ３５による吸着ノズル１４内の空気流量の計測制御を行う制御手段としての制御装置２４を備えている。そして制御装置２４は、吸着ノズル１４の吸着口１４ａが検査面３７に上方から当接する基準高さ位置にノズルシャフト１２を位置決めした後、ノズルシャフト１２を基準高さ位置から一定量下降させ、その後吸着ノズル１４内に圧力を供給しつつ、ノズルシャフト１２を下降位置から上昇させて吸着ノズル１４内の空気流量の計測を行い、ノズルシャフト１２が基準高さ位置に達するまでの間に吸着ノズル１４内の空気流量が予め定めた閾値を超えるか否かに基づいてノズルシャフト１２とノズルホルダ１３（摺動部）の摺動状態の良否の判定を行うようになっている。 Further, the inspection device for the suction nozzle unit 10 according to the present embodiment includes a nozzle drive mechanism 23d as a shaft member raising / lowering means for raising and lowering the nozzle shaft 12, and an air pressure source as a pressure supply means for supplying pressure into the suction nozzle 14. 33 (or vacuum pump 32), an air flow rate sensor 35 as a measuring means for measuring the air flow rate in the suction nozzle 14, the elevation control of the nozzle shaft 12 by the nozzle drive mechanism 23d, the air pressure source 33 (or vacuum pump 32). Is provided with a control device 24 as a control means for controlling the supply of pressure into the suction nozzle 14 by means of and the measurement control of the air flow rate in the suction nozzle 14 by means of the air flow sensor 35. Then, the controller 24 positions the nozzle shaft 12 at the reference height position where the suction port 14a of the suction nozzle 14 contacts the inspection surface 37 from above, and then lowers the nozzle shaft 12 from the reference height position by a certain amount. While supplying pressure into the suction nozzle 14, the nozzle shaft 12 is raised from the lowered position to measure the air flow rate in the suction nozzle 14, and the suction nozzle 14 until the nozzle shaft 12 reaches the reference height position. The quality of the sliding state of the nozzle shaft 12 and the nozzle holder 13 (sliding portion) is determined based on whether or not the air flow rate in the chamber exceeds a predetermined threshold value.

このように本実施の形態における吸着ノズルユニット１０の点検方法（点検装置）では、ノズルシャフト１２の昇降と吸着ノズル１４内への圧力供給及び吸着ノズル１４内の空気流量の計測という吸着ノズルユニット１０を備える装置（本実施の形態では部品実装機１）であれば通常備えている機能（設備）を利用して吸着ノズル１４の摺動部（ノズルシャフト１２とノズルホルダ１３の接触部）の点検を行うことができるようになっているので、従来のように、吸着ノズル１４に作用する荷重を測定する荷重測定装置のような摺動部の点検を行うための専用の設備は不要であり、コストをかけずに吸着ノズルユニット１０の点検を行うことができる。 As described above, in the inspection method (inspection apparatus) of the suction nozzle unit 10 in the present embodiment, the suction nozzle unit 10 includes raising and lowering the nozzle shaft 12, supplying pressure to the suction nozzle 14, and measuring the air flow rate in the suction nozzle 14. If the device (in this embodiment, the component mounting machine 1) is provided with a function (equipment) that is normally provided, the sliding portion of the suction nozzle 14 (the contact portion between the nozzle shaft 12 and the nozzle holder 13) is inspected. Therefore, there is no need for a dedicated facility for inspecting the sliding portion such as a load measuring device for measuring the load acting on the suction nozzle 14 as in the prior art. The suction nozzle unit 10 can be inspected without cost.

ところで、本実施の形態における部品実装機１において、吸着ノズル１４内の空気流量と吸着ノズル１４内の圧力とは対応する関係にあり、吸着ノズル１４内に正圧を作用させた場合、吸着ノズル１４内の空気流量が小さいときには吸着ノズル１４内の圧力が高く（吸着ノズル１４内に負圧を作用させた場合には真空度が高く）、吸着ノズル１４内の空気流量が大きいときには吸着ノズル１４内の圧力が低い（吸着ノズル１４内に負圧を作用させた場合には真空度が低い）。このため、上述の空気流量センサ３５を吸着ノズル１４の内部管路１４ｄと繋がる外部管路１０ａ内の圧力の計測を行う圧力センサ（図示せず）に置き換えて上述の吸着ノズルユニット１０の点検を行うこともできる。 By the way, in the component mounting machine 1 in the present embodiment, the air flow rate in the suction nozzle 14 and the pressure in the suction nozzle 14 have a corresponding relationship, and when a positive pressure is applied to the suction nozzle 14, the suction nozzle When the air flow rate in the suction nozzle 14 is small, the pressure in the suction nozzle 14 is high (the degree of vacuum is high when a negative pressure is applied to the suction nozzle 14), and when the air flow rate in the suction nozzle 14 is large, the suction nozzle 14 The internal pressure is low (the degree of vacuum is low when a negative pressure is applied to the suction nozzle 14). For this reason, the above-described suction nozzle unit 10 is inspected by replacing the above-described air flow sensor 35 with a pressure sensor (not shown) that measures the pressure in the external conduit 10a connected to the internal conduit 14d of the suction nozzle 14. It can also be done.

すなわち、ノズルシャフト１２を基準高さ位置に位置決めした後、ノズルシャフト１２を基準高さ位置から一定量下降させ、その後吸着ノズル１４内に圧力を供給しつつ、ノズルシャフト１２を下降位置から上昇させて吸着ノズル１４内の圧力の計測を行い、その計測した圧力を予め定めた閾値と比較して、吸着ノズル１４内の圧力がその閾値を超えたか否かの判断を行うようにしてもよい。ここで、具体的には、ノズルシャフト１２が基準高さ位置に達するまでの間に吸着ノズル１４内の圧力が閾値を超えない場合には吸着ノズルユニット１０の摺動部の摺動状態は良好であると判定し、閾値を超える場合には吸着ノズルユニット１０の摺動部の摺動状態は不良であると判定する。 That is, after positioning the nozzle shaft 12 at the reference height position, the nozzle shaft 12 is lowered by a certain amount from the reference height position, and then the nozzle shaft 12 is raised from the lowered position while supplying pressure into the suction nozzle 14. Then, the pressure in the suction nozzle 14 may be measured, and the measured pressure may be compared with a predetermined threshold value to determine whether or not the pressure in the suction nozzle 14 has exceeded the threshold value. Specifically, when the pressure in the suction nozzle 14 does not exceed the threshold value until the nozzle shaft 12 reaches the reference height position, the sliding state of the sliding portion of the suction nozzle unit 10 is good. If the threshold value is exceeded, it is determined that the sliding state of the sliding portion of the suction nozzle unit 10 is defective.

なお、この場合の閾値は、吸着ノズル１４内に正圧を作用させる場合には、吸着ノズル１４の吸着口１４ａの閉塞時に計測されるべき閉塞時圧力よりも低く、かつ、吸着ノズル１４の吸着口１４ａの開放時に計測されるべき開放時圧力よりも高い任意の値として定められる（図１０（ａ）及び図１０（ｂ）参照）。そして、この場合の「閾値を超える」とは、吸着ノズル１４の圧力（正圧）が閾値を下回る（大気圧に近づく側に閾値を超える）ことを意味する。一方、吸着ノズル１４内に負圧を作用させる場合には、閾値は、吸着ノズル１４の吸着口１４ａの閉塞時に計測されるべき真空度よりも低く、かつ、吸着ノズル１４の吸着口１４ａの開放時に計測されるべき真空度よりも高い任意の値として定められる。そして、この場合の「閾値を超える」とは、吸着ノズル１４内の真空度が閾値を下回る（圧力が大気圧に近づく側に閾値を超える）ことを意味する。 Note that the threshold value in this case is lower than the closing pressure to be measured when the suction port 14a of the suction nozzle 14 is closed when a positive pressure is applied to the suction nozzle 14, and the suction of the suction nozzle 14 It is determined as an arbitrary value higher than the opening pressure to be measured when the opening 14a is opened (see FIGS. 10 (a) and 10 (b)). In this case, “exceeding the threshold” means that the pressure (positive pressure) of the suction nozzle 14 falls below the threshold (exceeds the threshold closer to the atmospheric pressure). On the other hand, when a negative pressure is applied to the suction nozzle 14, the threshold is lower than the degree of vacuum to be measured when the suction port 14 a of the suction nozzle 14 is closed, and the suction port 14 a of the suction nozzle 14 is opened. It is defined as an arbitrary value higher than the degree of vacuum to be measured sometimes. In this case, “exceeding the threshold value” means that the degree of vacuum in the suction nozzle 14 is below the threshold value (the pressure exceeds the threshold value on the side closer to the atmospheric pressure).

図１０（ａ），（ｂ）はノズルシャフト１２を下降位置から基準高さ位置を超えて上昇させる間の吸着ノズル１４内の圧力（正圧）の時間変化を表したグラフであり、図１０（ａ）は摺動部の摺動状態が良好であるときの（図９（ａ）に対応する場合の）例、図１０（ｂ）は摺動部の摺動状態が不良であるときの（図９（ｂ）に対応する場合の）例である。 10 (a) and 10 (b) are graphs showing the change over time in the pressure (positive pressure) in the suction nozzle 14 while the nozzle shaft 12 is raised from the lowered position beyond the reference height position. (A) is an example when the sliding state of the sliding part is good (corresponding to FIG. 9 (a)), and FIG. 10 (b) is when the sliding state of the sliding part is poor. It is an example (when corresponding to FIG. 9B).

摺動部の摺動状態が良好であるときには、吸着ノズル１４の吸着口１４ａは、ノズルシャフト１２が下降位置から基準高さ位置に達するまでの間（図７（ｂ）→図７（ｃ））に検査面３７から離間することはないので、その間の吸着ノズル１４内の圧力が閾値を超えることはない（図１０（ａ））。一方、摺動部の摺動状態が不良であるときには、吸着ノズル１４の吸着口１４ａは、ノズルシャフト１２が基準高さ位置に達する前に検査面３７から離間するので、ノズルシャフト１２が下降位置から基準高さ位置に達するまでの間に（図８（ｂ）→図８（ｃ））、吸着ノズル１４内の圧力は予め定めた閾値を超えることになる（図１０（ｂ））。 When the sliding state of the sliding portion is good, the suction port 14a of the suction nozzle 14 is moved until the nozzle shaft 12 reaches the reference height position from the lowered position (FIG. 7 (b) → FIG. 7 (c). ) Is not separated from the inspection surface 37, the pressure in the suction nozzle 14 during that time does not exceed the threshold value (FIG. 10A). On the other hand, when the sliding state of the sliding portion is poor, the suction port 14a of the suction nozzle 14 is separated from the inspection surface 37 before the nozzle shaft 12 reaches the reference height position, so that the nozzle shaft 12 is in the lowered position. Until the reference height position is reached (FIG. 8 (b) → FIG. 8 (c)), the pressure in the suction nozzle 14 exceeds a predetermined threshold value (FIG. 10 (b)).

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、吸着ノズル１４内に圧力を供給しつつ、ノズルシャフト１２を下降位置から上昇させて吸着ノズル１４内の空気流量若しくは圧力の計測を行い、ノズルシャフト１２が基準高さ位置に達するまでの間に吸着ノズル１４内の空気流量若しくは圧力が予め定めた閾値を超えるか否かに基づいてノズルシ
ャフト１２とノズルホルダ１３の摺動状態の良否判定を行う判定工程を、吸着ノズル１４内の空気流量若しくは圧力の計測と、吸着ノズル内の空気流量若しくは圧力が閾値を超えるか否かの判断を並行して行っていたが、ノズルシャフト１２が下降位置から基準高さ位置に達するまでの間の吸着ノズル１４内の空気流量若しくは圧力を計測し終えてから（データを記憶して）、吸着ノズル内の空気流量若しくは圧力が閾値を超えるか否かの判断を行うようにしてもよい。また、上述の実施の形態では、本発明が適用される吸着ノズルユニット１０を備えた装置の一例として部品実装機１を例示したが、本発明はこのような部品実装機１に限られず、吸着ノズルユニット１０を備えた他のあらゆる装置において適用することができる。 Although the embodiments of the present invention have been described so far, the present invention is not limited to those shown in the above-described embodiments. For example, in the above-described embodiment, while supplying pressure into the suction nozzle 14, the nozzle shaft 12 is raised from the lowered position to measure the air flow rate or pressure in the suction nozzle 14, and the nozzle shaft 12 is at the reference height. A determination step for determining whether the sliding state of the nozzle shaft 12 and the nozzle holder 13 is good or not based on whether or not the air flow rate or pressure in the suction nozzle 14 exceeds a predetermined threshold before reaching the vertical position, Although the measurement of the air flow rate or pressure in the suction nozzle 14 and the determination of whether the air flow rate or pressure in the suction nozzle exceeds the threshold value are performed in parallel, the nozzle shaft 12 is moved from the lowered position to the reference height position. After measuring the air flow rate or pressure in the suction nozzle 14 until it reaches the value (stores data), the air flow rate or pressure in the suction nozzle 14 There may perform determination of whether more than a threshold. In the above-described embodiment, the component mounting machine 1 is illustrated as an example of an apparatus including the suction nozzle unit 10 to which the present invention is applied. However, the present invention is not limited to such a component mounting machine 1, and suction The present invention can be applied to any other device including the nozzle unit 10.

専用の設備を必要とすることなく、低コストで吸着ノズルユニットの摺動部の点検を行うことができる吸着ノズルユニットの点検方法及び点検装置を提供する。 An inspection method and an inspection device for a suction nozzle unit that can check a sliding portion of the suction nozzle unit at low cost without requiring a dedicated facility.

本発明の一実施の形態における部品実装機の平面図The top view of the component mounting machine in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における部品実装機の移載ヘッドの拡大正面図The enlarged front view of the transfer head of the component mounting machine in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における吸着ノズルユニットの点検装置の構成図The block diagram of the inspection apparatus of the suction nozzle unit in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態における吸着ノズルユニットの断面図Sectional drawing of the suction nozzle unit in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における部品実装機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the component mounting machine in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における吸着ノズルユニットの点検方法の実行手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the execution procedure of the inspection method of the suction nozzle unit in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における吸着ノズルユニットの点検実行時の吸着ノズルユニットの断面図(A) (b) (c) Sectional drawing of the suction nozzle unit at the time of inspection execution of the suction nozzle unit in one embodiment of the present invention （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における吸着ノズルユニットの点検実行時の吸着ノズルユニットの断面図(A) (b) (c) Sectional drawing of the suction nozzle unit at the time of inspection execution of the suction nozzle unit in one embodiment of the present invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における吸着ノズルユニットの点検実行時の吸着ノズル内の空気流量の時間変化を示すグラフ(A) (b) The graph which shows the time change of the air flow rate in the suction nozzle at the time of the inspection execution of the suction nozzle unit in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における吸着ノズルユニットの点検実行時の吸着ノズル内の圧力の時間変化を示すグラフ(A) (b) The graph which shows the time change of the pressure in the suction nozzle at the time of inspection execution of the suction nozzle unit in one embodiment of this invention

Explanation of symbols

１０吸着ノズルユニット
１２ノズルシャフト（シャフト部材）
１３ノズルホルダ（ホルダ部材）
１４吸着ノズル
１４ａ吸着口
１５付勢ばね（付勢部材）
２３ｄノズル駆動機構（シャフト部材昇降手段）
２４制御装置（制御手段）
３３空圧源（圧力供給手段）
３５空気流量センサ（計測手段）
３７検査面 10 Suction nozzle unit 12 Nozzle shaft (shaft member)
13 Nozzle holder (holder member)
14 Suction nozzle 14a Suction port 15 Biasing spring (Biasing member)
23d Nozzle drive mechanism (shaft member lifting / lowering means)
24 Control device (control means)
33 Air pressure source (pressure supply means)
35 Air flow sensor (measuring means)
37 Inspection surface

Claims

A shaft member that can be moved up and down, a holder member that is slidable in the vertical direction with respect to the shaft member at a lower portion of the shaft member, an urging member that urges the holder member below the shaft member, and a holder member A method for inspecting a suction nozzle unit comprising suction nozzles, wherein the shaft member is positioned at a reference height position where the suction port of the suction nozzle contacts the inspection surface from above, and the shaft member is fixed from the reference height position. The lowering process of lowering the amount and supplying the pressure into the suction nozzle while raising the shaft member from the lowered position to measure the air flow rate or pressure in the suction nozzle until the shaft member reaches the reference height position The sliding state of the shaft member and the holder member based on whether the air flow rate or pressure in the suction nozzle exceeds a predetermined threshold Inspection method of the suction nozzle unit which comprises a determination step of performing quality determination.

A shaft member that can be moved up and down, a holder member that is slidable in the vertical direction with respect to the shaft member at a lower portion of the shaft member, an urging member that urges the holder member below the shaft member, and a holder member An inspection device for an adsorption nozzle unit comprising an adsorption nozzle, which measures a shaft member raising / lowering means for raising and lowering a shaft member, a pressure supply means for supplying pressure into the adsorption nozzle, and an air flow rate or pressure in the adsorption nozzle Measuring means and control means for controlling the raising / lowering of the shaft portion by the shaft member raising / lowering means, the supply control of the pressure into the suction nozzle by the pressure supply means, and the measurement control of the air flow rate or pressure in the suction nozzle by the measurement means The control means positions the shaft member at a reference height position where the suction port of the suction nozzle contacts the inspection surface from above. After that, the shaft member is lowered by a certain amount from the reference height position, and then the pressure is supplied to the suction nozzle, and then the shaft member is lifted from the lowered position to measure the air flow rate or pressure in the suction nozzle. Before and after reaching the reference height position, whether the sliding state of the shaft member and the holder member is good or bad is determined based on whether the air flow rate or pressure in the suction nozzle exceeds a predetermined threshold value. The suction nozzle unit inspection device.