JP6021550B2 - Electronic component mounting equipment - Google Patents

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Description

本発明は、電子部品をノズルで保持して移動させ、基板上に実装する電子部品実装装置に関する。   The present invention relates to an electronic component mounting apparatus for holding and moving an electronic component with a nozzle and mounting the electronic component on a substrate.

基板上に電子部品を搭載する電子部品実装装置は、ノズルを備えるヘッドを有し、当該ノズルで電子部品を保持して基板上に搭載する。電子部品実装装置は、ヘッドのノズルを基板の表面に直交する方向に移動させることで、電子部品供給装置にある部品を吸着し、その後、ヘッドを基板の表面に平行な方向に相対的に移動させ、吸着している部品の搭載位置に到着したらヘッドのノズルを基板の表面に直交する方向に移動させ基板に近づけることで吸着した電子部品を基板上に搭載する。   An electronic component mounting apparatus for mounting an electronic component on a substrate has a head including a nozzle, holds the electronic component with the nozzle, and mounts the electronic component on the substrate. The electronic component mounting device picks up the components in the electronic component supply device by moving the head nozzle in a direction perpendicular to the surface of the substrate, and then moves the head relatively in a direction parallel to the surface of the substrate. When the picked-up component arrives at the mounting position, the picked electronic component is mounted on the substrate by moving the nozzle of the head in a direction orthogonal to the surface of the substrate and bringing it closer to the substrate.

ここで、電子部品実装装置は、吸着する電子部品に対応して、当該電子部品を吸着するノズルを交換する機構を備えているものがある。このノズルとしては、吸着時、搭載時に押圧する荷重を調整する機構を備えるノズルがある(特許文献1及び2参照)。押圧する荷重を調整する機構としては、ばね等の弾性体でノズルの先端と基部が連結され、先端が基部に対して移動可能な機構がある。ノズルは、このような弾性体を設けることで、電子部品の吸着面の形状に合わせて先端の向きを調整することができる。荷重調整機能を備えるノズルを使用する場合、ノズルにロードセル等の荷重検出部を設け、当該荷重検出部の検出結果に基づいて、ノズルの上下動を制御する。   Here, some electronic component mounting apparatuses include a mechanism that replaces a nozzle that sucks the electronic component in accordance with the electronic component that is sucked. As this nozzle, there is a nozzle provided with a mechanism for adjusting a load to be pressed at the time of suction and mounting (see Patent Documents 1 and 2). As a mechanism for adjusting the pressing load, there is a mechanism in which the tip and the base of the nozzle are connected by an elastic body such as a spring, and the tip is movable with respect to the base. By providing such an elastic body, the nozzle can adjust the direction of the tip in accordance with the shape of the suction surface of the electronic component. When a nozzle having a load adjustment function is used, a load detection unit such as a load cell is provided in the nozzle, and the vertical movement of the nozzle is controlled based on the detection result of the load detection unit.

特開平09−246790号公報JP 09-246790 A 特開2006−147640号公報JP 2006-147640 A

電子部品実装装置は、ノズルに設けた荷重検出部でノズルの荷重を検出することで、電子部品供給装置や基板に大きな負荷をかけることを抑制できる。しかしながら、荷重検出部を設けても、検出した荷重と実際の荷重がずれたり、ノズルを押し込みすぎたり、ノズルがはなれていたりして、電子部品の実装動作が不安定になる場合がある。   The electronic component mounting apparatus can suppress applying a large load to the electronic component supply apparatus and the substrate by detecting the load of the nozzle with a load detection unit provided in the nozzle. However, even if the load detection unit is provided, the detected load and the actual load may deviate, the nozzle may be pushed too much, or the nozzle may be separated, which may make the electronic component mounting operation unstable.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、電子部品を安定して吸着し、基板に実装することができる電子部品実装装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide an electronic component mounting apparatus capable of stably adsorbing electronic components and mounting them on a substrate.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、電子部品を保持領域に供給する電子部品供給装置と、前記電子部品供給装置から前記保持領域に供給される電子部品を保持するノズルと前記ノズルを上下駆動及び回転駆動させかつ前記ノズルに当該ノズルを駆動する空気圧を供給するノズル駆動部と前記ノズル及び前記ノズル駆動部を支持するヘッド支持体とを有するヘッド本体と、前記ヘッド本体を移動させるヘッド移動機構と、測定面に前記ノズルの先端が押し当てられることで生じる荷重を検出する荷重検出部と、前記ノズルの形状を検出するノズル形状検出部と、各部の動作を制御する制御装置と、を有し、前記制御装置は、前記荷重検出部と前記ノズル形状検出部とを用いて、前記ノズルの外形、バネの有無及びそのバネストロークの検出を行い、検出した結果を前記ノズルの特性として記憶し、記憶した前記ノズルの特性に基づいて、前記ノズル駆動部による前記ノズルの上下駆動を制御することを特徴とする。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention holds an electronic component supply device that supplies an electronic component to a holding region, and an electronic component that is supplied from the electronic component supply device to the holding region. A head main body having a nozzle, a nozzle driving unit for driving the nozzle up and down and rotating, and supplying air pressure for driving the nozzle to the nozzle, and a head support for supporting the nozzle and the nozzle driving unit; and the head A head moving mechanism that moves the main body, a load detection unit that detects a load generated by pressing the tip of the nozzle against the measurement surface, a nozzle shape detection unit that detects the shape of the nozzle, and controls the operation of each unit The control device uses the load detection unit and the nozzle shape detection unit, and uses the load detection unit and the nozzle shape detection unit to determine the outer shape of the nozzle, the presence or absence of a spring, and its bar. It performs detection of the stroke, and stores the result of detection as a characteristic of the nozzle, based on the stored characteristics of the nozzle, and controlling the vertical drive of the nozzle by the nozzle driving unit.

ここで、前記制御装置は、前記ノズル形状検出部を用いて、前記ノズルのストッパの有無を検出し、前記ストッパを備える場合、前記ノズルが荷重制御用ノズルと判定することが好ましい。   Here, it is preferable that the control device detects the presence or absence of a stopper of the nozzle using the nozzle shape detection unit, and determines that the nozzle is a load control nozzle when the stopper is provided.

また、前記荷重検出部は、ロードセルであることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said load detection part is a load cell.

また、前記ノズル形状検出部は、前記ヘッド支持体に連結されたレーザセンサであることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said nozzle shape detection part is a laser sensor connected with the said head support body.

また、前記ノズルの特性は、当接荷重値と、Z軸動作速度と、を含み、前記制御装置は、前記ノズルの特性に含まれる前記バネストロークと、当接荷重値、Z軸動作速度と、前記ノズルで前記電子部品を実装する実装動作時の各動作の実行時間と、に基づいて、前記ノズルの状態を判定することが好ましい。   The characteristic of the nozzle includes a contact load value and a Z-axis operation speed, and the control device includes the spring stroke, the contact load value, and the Z-axis operation speed included in the nozzle characteristic. It is preferable to determine the state of the nozzle based on the execution time of each operation during the mounting operation of mounting the electronic component with the nozzle.

また、前記制御装置は、前記ノズルで前記電子部品を実装する実装動作時の実動作時間を検出し、前記ノズルの特性から検出した理論値と前記実動作時間とを比較して、前記ノズルの前記バネストロークの変化を検出することが好ましい。   In addition, the control device detects an actual operation time during a mounting operation of mounting the electronic component with the nozzle, compares the theoretical value detected from the characteristics of the nozzle with the actual operation time, It is preferable to detect a change in the spring stroke.

また、前記制御装置は、前記理論値と前記実動作時間との差がしきい値以内である場合、正常と判定し、前記実動作時間に基づいて前記ノズルの特性を補正し、前記理論値と前記実動作時間との差がしきい値以上である場合、異常と判定し、対象の前記ノズルを使用禁止の設定とすることが好ましい。   Further, the control device determines that the difference between the theoretical value and the actual operation time is within a threshold value, determines that the difference is normal, corrects the characteristics of the nozzle based on the actual operation time, and the theoretical value When the difference between the actual operation time and the actual operation time is equal to or greater than a threshold value, it is preferable to determine that the target nozzle is in an abnormal state by setting the target nozzle to be prohibited.

本発明は、ノズルに対応した適切な荷重制御で電子部品を吸着し、基板に実装させることができる。これにより、電子部品を安定して吸着し、基板に実装することができるという効果を奏する。   According to the present invention, an electronic component can be sucked and mounted on a substrate with appropriate load control corresponding to the nozzle. As a result, the electronic component can be stably adsorbed and mounted on the substrate.

図1は、電子部品実装装置の概略構成を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of an electronic component mounting apparatus. 図2は、部品供給ユニットの概略構成を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the component supply unit. 図3は、電子部品実装装置の概略構成を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the electronic component mounting apparatus. 図4は、電子部品実装装置のヘッドの概略構成を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the head of the electronic component mounting apparatus. 図5は、電子部品実装装置のヘッドの概略構成を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the head of the electronic component mounting apparatus. 図6は、電子部品実装装置の動作の一例を示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart illustrating an example of the operation of the electronic component mounting apparatus. 図7は、電子部品実装装置の動作の一例を示すフローチャートである。FIG. 7 is a flowchart showing an example of the operation of the electronic component mounting apparatus. 図8は、ノズルの概略構成を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of the nozzle. 図9は、ノズルの動作と検出した荷重との関係を示す説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram showing the relationship between the operation of the nozzle and the detected load. 図10は、ノズルの動作の一例を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram illustrating an example of the operation of the nozzle. 図11は、ノズルの特性の一例を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram illustrating an example of nozzle characteristics. 図12は、電子部品実装装置の動作の一例を示すフローチャートである。FIG. 12 is a flowchart illustrating an example of the operation of the electronic component mounting apparatus. 図13は、電子部品実装装置の動作の一例を示す説明図である。FIG. 13 is an explanatory diagram illustrating an example of the operation of the electronic component mounting apparatus. 図14は、電子部品実装装置の動作の一例を示すフローチャートである。FIG. 14 is a flowchart illustrating an example of the operation of the electronic component mounting apparatus. 図15は、電子部品実装装置の動作の一例を示すフローチャートである。FIG. 15 is a flowchart illustrating an example of the operation of the electronic component mounting apparatus. 図16は、ノズルの動作と検出した荷重との関係を示す説明図である。FIG. 16 is an explanatory diagram showing the relationship between the operation of the nozzle and the detected load. 図17は、ノズルの動作と検出した荷重との関係を示す説明図である。FIG. 17 is an explanatory diagram showing the relationship between the operation of the nozzle and the detected load. 図18は、ノズルの動作と検出した荷重との関係を示す説明図である。FIG. 18 is an explanatory diagram showing the relationship between the operation of the nozzle and the detected load.

以下、本発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の発明を実施するための形態(以下、実施形態という。)により本発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記実施形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the following modes for carrying out the invention (hereinafter referred to as embodiments). In addition, constituent elements in the following embodiments include those that can be easily assumed by those skilled in the art, those that are substantially the same, and those in a so-called equivalent range. Furthermore, the constituent elements disclosed in the following embodiments can be appropriately combined.

以下に、本発明にかかる電子部品実装装置の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。図1は、電子部品実装装置の概略構成を示す模式図である。   Embodiments of an electronic component mounting apparatus according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited by this embodiment. FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of an electronic component mounting apparatus.

図1に示す電子部品実装装置10は、基板8の上に電子部品を搭載する装置である。電子部品実装装置10は、筐体11と、基板搬送部12と、部品供給ユニット14f、14rと、ヘッド15と、XY移動機構16と、VCSユニット17と、交換ノズル保持機構18と、部品貯留部19と、制御装置20と、操作部40と、表示部42と、ロードセル48と、を有する。なお、XY移動機構16は、X軸駆動部22と、Y軸駆動部24と、を備える。ここで、本実施形態の電子部品実装装置10は、図1に示すように、基板搬送部12を中心にしてフロント側とリア側に部品供給ユニット14f、14rを備える。電子部品実装装置10は、部品供給ユニット14fが電子部品実装装置10のフロント側に配置され、部品供給ユニット14rが電子部品実装装置10のリア側に配置される。また、以下では、2つの部品供給ユニット14f、14rを特に区別しない場合、部品供給ユニット14とする。筐体11は、電子部品実装装置10を構成する各部を収納する箱である。   An electronic component mounting apparatus 10 shown in FIG. 1 is an apparatus for mounting electronic components on a substrate 8. The electronic component mounting apparatus 10 includes a housing 11, a board transport unit 12, component supply units 14 f and 14 r, a head 15, an XY movement mechanism 16, a VCS unit 17, a replacement nozzle holding mechanism 18, and a component storage. A unit 19, a control device 20, an operation unit 40, a display unit 42, and a load cell 48 are included. The XY movement mechanism 16 includes an X-axis drive unit 22 and a Y-axis drive unit 24. Here, as shown in FIG. 1, the electronic component mounting apparatus 10 according to the present embodiment includes component supply units 14 f and 14 r on the front side and the rear side with the board conveyance unit 12 as the center. In the electronic component mounting apparatus 10, the component supply unit 14 f is disposed on the front side of the electronic component mounting apparatus 10, and the component supply unit 14 r is disposed on the rear side of the electronic component mounting apparatus 10. In the following description, the two component supply units 14f and 14r are referred to as a component supply unit 14 unless particularly distinguished. The housing 11 is a box that accommodates each part of the electronic component mounting apparatus 10.

基板8は、電子部品を搭載する部材であればよく、その構成は特に限定されない。本実施形態の基板8は、板状部材であり、表面に配線パターンが設けられている。基板8に設けられた配線パターンの表面には、リフローによって板状部材の配線パターンと電子部品とを接合する接合部材であるはんだが付着している。   The board | substrate 8 should just be a member which mounts an electronic component, and the structure is not specifically limited. The substrate 8 of the present embodiment is a plate-like member, and a wiring pattern is provided on the surface. Solder which is a bonding member for bonding the wiring pattern of the plate-like member and the electronic component is attached to the surface of the wiring pattern provided on the substrate 8 by reflow.

基板搬送部12は、基板8を図中X軸方向に搬送する搬送機構である。基板搬送部12は、X軸方向に延在するレールと、基板8を支持し、基板8をレールに沿って移動させる搬送機構とを有する。基板搬送部12は、基板8の搭載対象面がヘッド15と対面する向きで、基板8を搬送機構によりレールに沿って移動させることで基板8をX軸方向に搬送する。基板搬送部12は、電子部品実装装置10に供給する機器から供給された基板8を、レール上の所定位置まで搬送する。ヘッド15は、前記所定位置で、電子部品を基板8の表面に搭載する。基板搬送部12は、前記所定位置まで搬送した基板8上に電子部品が搭載されたら、基板8を、次の工程を行う装置に搬送する。なお、基板搬送部12の搬送機構としては、種々の構成を用いることができる。例えば、基板8の搬送方向に沿って配置されたレールと前記レールに沿って回転するエンドレスベルトとを組合せ、前記エンドレスベルトに基板8を搭載した状態で搬送する、搬送機構を一体としたベルト方式の搬送機構を用いることができる。   The substrate transport unit 12 is a transport mechanism that transports the substrate 8 in the X-axis direction in the drawing. The substrate transport unit 12 includes a rail that extends in the X-axis direction, and a transport mechanism that supports the substrate 8 and moves the substrate 8 along the rail. The substrate transport unit 12 transports the substrate 8 in the X-axis direction by moving the substrate 8 along the rail by the transport mechanism in a direction in which the mounting target surface of the substrate 8 faces the head 15. The board transport unit 12 transports the board 8 supplied from the equipment supplied to the electronic component mounting apparatus 10 to a predetermined position on the rail. The head 15 mounts an electronic component on the surface of the substrate 8 at the predetermined position. When the electronic component is mounted on the substrate 8 that has been transported to the predetermined position, the substrate transport unit 12 transports the substrate 8 to an apparatus that performs the next step. Various structures can be used as the transport mechanism of the substrate transport unit 12. For example, a belt system in which a transport mechanism is integrated, in which a rail disposed along the transport direction of the substrate 8 and an endless belt rotating along the rail are combined and transported in a state where the substrate 8 is mounted on the endless belt. Can be used.

電子部品実装装置10は、フロント側に部品供給ユニット14fが配置され、リア側に部品供給ユニット14rが配置されている。フロント側の部品供給ユニット14fと、リア側の部品供給ユニット14rは、それぞれ基板8上に搭載する電子部品を多数保持し、ヘッド15に供給可能、つまり、ヘッド15で保持(吸着または把持)可能な状態で保持位置に供給する電子部品供給装置を備える。本実施形態の部品供給ユニット14f、14rは、同様の構成であり、複数の電子部品供給装置を備える。電子部品供給装置は、それぞれヘッド15が電子部品を保持する保持位置に電子部品を供給する。以下、部品供給ユニット14の構成として説明する。   In the electronic component mounting apparatus 10, a component supply unit 14f is disposed on the front side, and a component supply unit 14r is disposed on the rear side. The front-side component supply unit 14f and the rear-side component supply unit 14r each hold a large number of electronic components mounted on the substrate 8, and can supply them to the head 15, that is, they can be held (sucked or gripped) by the head 15. The electronic component supply apparatus which supplies to a holding position in a state is provided. The component supply units 14f and 14r of the present embodiment have the same configuration and include a plurality of electronic component supply devices. The electronic component supply device supplies the electronic component to a holding position where the head 15 holds the electronic component. Hereinafter, the configuration of the component supply unit 14 will be described.

部品供給ユニット14は、図2に示すように、複数の電子部品供給装置(以下、単に「部品供給装置」ともいう。)100を有する。図2に示す複数の部品供給装置100は、支持台(バンク)102に保持される。また、支持台102は、部品供給装置100、100の他の装置(例えば、計測装置やカメラ等)を搭載することができる。   As shown in FIG. 2, the component supply unit 14 includes a plurality of electronic component supply devices (hereinafter also simply referred to as “component supply devices”) 100. A plurality of component supply apparatuses 100 shown in FIG. 2 are held by a support base (bank) 102. Further, the support table 102 can be mounted with other devices (for example, a measurement device, a camera, etc.) of the component supply devices 100 and 100.

部品供給ユニット14は、複数の搭載型電子部品をテープ本体に固定した電子部品保持テープ(チップ部品テープ)を装着し、当該電子部品保持テープで保持した搭載型電子部品の保持位置でテープ本体から剥がし、当該保持位置にある搭載型電子部品をヘッドに備えた吸着ノズルまたは把持ノズルで保持可能とする電子部品供給装置100を備えている。   The component supply unit 14 is mounted with an electronic component holding tape (chip component tape) in which a plurality of mounted electronic components are fixed to the tape body, and is mounted from the tape body at the holding position of the mounted electronic component held by the electronic component holding tape. An electronic component supply apparatus 100 is provided that can peel off and hold the mounted electronic component at the holding position by a suction nozzle or a grip nozzle provided in the head.

電子部品供給装置100は、テープに基板搭載するチップ型の電子部品を貼り付けて構成される電子部品保持テープを使用してヘッド15に電子部品を供給する。なお、電子部品保持テープは、テープに複数の格納室が形成されており、当該格納室に電子部品が格納されている。電子部品供給装置100は、電子部品保持テープを保持し、保持している電子部品保持テープを送り、格納室をヘッド15のノズルにより電子部品が吸着できる保持領域まで移動させるテープフィーダである。なお、格納室を保持領域に移動させることで、当該格納室に収容されている電子部品を所定位置に露出した状態とすることができ、当該電子部品をヘッド15のノズルにより吸着、把持することができる。電子部品供給装置100は、テープフィーダに限定されず、チップ型電子部品を供給する種々のチップ部品フィーダとすることができる。チップ部品フィーダとしては、例えば、スティックフィーダ、バルクフィーダを用いることができる。なお、チップ電子部品(搭載型電子部品)とは、基板の形成された挿入穴(スルーホール)に挿入するリードを備えないリードなし電子部品である。搭載型電子部品としては、SOP、QFP等が例示される。チップ型電子部品は、リードを挿入穴に挿入せずに、基板に実装される。   The electronic component supply apparatus 100 supplies an electronic component to the head 15 using an electronic component holding tape configured by attaching a chip-type electronic component mounted on a substrate to a tape. In the electronic component holding tape, a plurality of storage chambers are formed in the tape, and the electronic components are stored in the storage chamber. The electronic component supply device 100 is a tape feeder that holds an electronic component holding tape, sends the held electronic component holding tape, and moves the storage chamber to a holding region where the electronic component can be adsorbed by the nozzles of the head 15. By moving the storage chamber to the holding area, the electronic component accommodated in the storage chamber can be exposed to a predetermined position, and the electronic component is sucked and held by the nozzle of the head 15. Can do. The electronic component supply apparatus 100 is not limited to a tape feeder, and can be various chip component feeders that supply chip-type electronic components. As the chip component feeder, for example, a stick feeder or a bulk feeder can be used. The chip electronic component (mounted electronic component) is an electronic component without a lead that does not include a lead that is inserted into an insertion hole (through hole) in which a substrate is formed. Examples of the on-board electronic component include SOP and QFP. The chip-type electronic component is mounted on the substrate without inserting the lead into the insertion hole.

部品供給ユニット14は、支持台102に保持されている複数の部品供給装置100が、搭載する電子部品の種類、電子部品を保持する機構または供給機構が異なる複数種類の部品供給装置100で構成される。また、部品供給ユニット14は、同一種類の部品供給装置100を複数備えていてもよい。また、部品供給ユニット14は、装置本体に対して着脱可能な構成とすることが好ましい。部品供給ユニット14は、電子部品を供給する種々の電子部品供給装置を用いることができる。例えば、部品供給ユニット14は、電子部品供給装置100としてスティックフィーダやトレイフィーダを設置してもよい。また、部品供給ユニット14は、電子部品供給装置としてボウルフィーダを設けてもよい。   The component supply unit 14 is composed of a plurality of types of component supply devices 100 in which the plurality of component supply devices 100 held on the support base 102 are different in the type of electronic component to be mounted, the mechanism for holding the electronic component, or the supply mechanism. The The component supply unit 14 may include a plurality of the same type of component supply devices 100. The component supply unit 14 is preferably configured to be detachable from the apparatus main body. The component supply unit 14 can use various electronic component supply devices that supply electronic components. For example, the component supply unit 14 may install a stick feeder or a tray feeder as the electronic component supply apparatus 100. The component supply unit 14 may be provided with a bowl feeder as an electronic component supply device.

ヘッド15は、部品供給ユニット14に保持された電子部品(電子部品供給装置100に保持された搭載型電子部品)をノズルで保持(吸着または把持)し、保持した電子部品を基板搬送部12によって所定位置に移動された基板8上に実装する機構である。なお、ヘッド15の構成については、後述する。   The head 15 holds (sucks or holds) an electronic component held by the component supply unit 14 (mounted electronic component held by the electronic component supply apparatus 100) with a nozzle, and the held electronic component is held by the substrate transport unit 12. This is a mechanism for mounting on the substrate 8 moved to a predetermined position. The configuration of the head 15 will be described later.

XY移動機構16は、ヘッド15を図1中、X軸方向及びY軸方向、つまり、基板8の表面と平行な面上で移動させる移動機構でありX軸駆動部22とY軸駆動部24とを有する。X軸駆動部22は、ヘッド15と連結しており、ヘッド15をX軸方向に移動させる。X軸駆動部22は、ボールねじを有しており、ボールねじを回転させることで、ヘッド15を支持している支持部をX方向に移動させる。また、X軸駆動部22は、ボールねじが回転してもヘッド15が回転しないようにX軸方向に移動可能な状態で支持するリニアガイドも備えている。Y軸駆動部24は、X軸駆動部22を介してヘッド15と連結しており、X軸駆動部22をY軸方向に移動させることで、ヘッド15をY軸方向に移動させる。Y軸駆動部24は、ボールねじを有しており、ボールねじを回転させることで、ヘッド15を支持している支持部をY方向に移動させる。また、Y軸駆動部24は、ボールねじが回転してもX軸駆動部22が回転しないようにY軸方向に移動可能な状態で支持するリニアガイドも備えている。XY移動機構16は、ヘッド15をXY軸方向に移動させることで、ヘッド15を基板8と対面する位置、または、部品供給ユニット14f、14rと対面する位置に移動させることができる。また、XY移動機構16は、ヘッド15を移動させることで、ヘッド15と基板8との相対位置を調整する。これにより、ヘッド15が保持した電子部品を基板8の表面の任意の位置に移動させることができ、電子部品を基板8の表面の任意の位置に搭載することが可能となる。つまり、XY移動機構16は、ヘッド15を水平面(XY平面)上で移動させて、部品供給ユニット14f、14rの電子部品供給装置にある電子部品を基板8の所定位置(搭載位置、実装位置)に移送する移送手段となる。なお、X軸駆動部22としては、ヘッド15を所定の方向に移動させる種々の機構を用いることができる。Y軸駆動部24としては、X軸駆動部22を所定の方向に移動させる種々の機構を用いることができる。対象物を所定の方向に移動させる機構(X軸駆動部22、Y軸駆動部24)としては、ボールねじとリニアガイドとを用いた搬送機構以外の機構も用いることができる。X軸駆動部22、Y軸駆動部24の機構としては、例えば、リニアモータ、ラックアンドピニオン、ベルトを利用した搬送機構等を用いることができる。   The XY moving mechanism 16 is a moving mechanism that moves the head 15 in the X-axis direction and the Y-axis direction in FIG. 1, that is, on a plane parallel to the surface of the substrate 8, and is an X-axis drive unit 22 and a Y-axis drive unit 24. And have. The X-axis drive unit 22 is connected to the head 15 and moves the head 15 in the X-axis direction. The X-axis drive unit 22 has a ball screw, and moves the support unit supporting the head 15 in the X direction by rotating the ball screw. The X-axis drive unit 22 is also provided with a linear guide that supports the head 15 so that the head 15 does not rotate even when the ball screw rotates so as to be movable in the X-axis direction. The Y-axis drive unit 24 is connected to the head 15 via the X-axis drive unit 22 and moves the head 15 in the Y-axis direction by moving the X-axis drive unit 22 in the Y-axis direction. The Y-axis drive unit 24 has a ball screw, and moves the support unit that supports the head 15 in the Y direction by rotating the ball screw. The Y-axis drive unit 24 also includes a linear guide that supports the X-axis drive unit 22 so that it can move in the Y-axis direction so that the X-axis drive unit 22 does not rotate even when the ball screw rotates. The XY moving mechanism 16 can move the head 15 to the position facing the substrate 8 or the position facing the component supply units 14f and 14r by moving the head 15 in the XY axis direction. The XY moving mechanism 16 adjusts the relative position of the head 15 and the substrate 8 by moving the head 15. Thus, the electronic component held by the head 15 can be moved to an arbitrary position on the surface of the substrate 8, and the electronic component can be mounted at an arbitrary position on the surface of the substrate 8. That is, the XY movement mechanism 16 moves the head 15 on the horizontal plane (XY plane), and places the electronic components in the electronic component supply devices of the component supply units 14f and 14r on the substrate 8 at predetermined positions (mounting position, mounting position). It becomes a transfer means to transfer to. As the X-axis drive unit 22, various mechanisms that move the head 15 in a predetermined direction can be used. As the Y-axis drive unit 24, various mechanisms that move the X-axis drive unit 22 in a predetermined direction can be used. As a mechanism (X-axis drive unit 22, Y-axis drive unit 24) for moving the object in a predetermined direction, a mechanism other than a conveyance mechanism using a ball screw and a linear guide can be used. As a mechanism of the X-axis drive unit 22 and the Y-axis drive unit 24, for example, a linear motor, a rack and pinion, a transport mechanism using a belt, or the like can be used.

VCSユニット17と、交換ノズル保持機構18と、部品貯留部19とは、XY平面において、ヘッド15の可動領域と重なる位置で、かつ、Z方向における位置がヘッド15よりも鉛直方向下側となる位置に配置されている。本実施形態では、VCSユニット17と、交換ノズル保持機構18と、部品貯留部19とは、基板搬送部12と部品供給ユニット14rとの間に、隣接して配置される。   The VCS unit 17, the replacement nozzle holding mechanism 18, and the component storage unit 19 are positions that overlap the movable region of the head 15 in the XY plane, and the position in the Z direction is lower than the head 15 in the vertical direction. Placed in position. In the present embodiment, the VCS unit 17, the replacement nozzle holding mechanism 18, and the component storage unit 19 are disposed adjacent to each other between the substrate transport unit 12 and the component supply unit 14r.

VCSユニット(部品状態検出部、状態検出部)17は、画像認識装置であり、ヘッド15のノズル近傍を撮影するカメラや、撮影領域を照明する照明ユニットを有する。VCSユニット17は、ヘッド15のノズルで吸着された電子部品の形状や、ノズルによる電子部品の保持状態を認識する。より具体的には、VCSユニット17は、対面する位置にヘッド15が移動されると、ヘッド15のノズルを鉛直方向下側から撮影し、撮影した画像を解析することで、ノズルの形状、ノズルで吸着された電子部品の形状や、ノズルによる電子部品の保持状態を認識する。VCSユニット17は、取得した情報を制御装置20に送る。   The VCS unit (component state detection unit, state detection unit) 17 is an image recognition device, and includes a camera for photographing the vicinity of the nozzles of the head 15 and an illumination unit for illuminating the photographing region. The VCS unit 17 recognizes the shape of the electronic component sucked by the nozzle of the head 15 and the holding state of the electronic component by the nozzle. More specifically, when the head 15 is moved to the facing position, the VCS unit 17 captures the nozzle of the head 15 from the lower side in the vertical direction, and analyzes the captured image to obtain the shape of the nozzle, the nozzle It recognizes the shape of the electronic component attracted by the nozzle and the holding state of the electronic component by the nozzle. The VCS unit 17 sends the acquired information to the control device 20.

交換ノズル保持機構18は、複数種類のノズルを保持する機構である。交換ノズル保持機構18は、複数種類のノズルをヘッド15が着脱交換可能な状態で保持する。ここで、本実施形態の交換ノズル保持機構18は、電子部品を吸引することで保持する吸引ノズルと、電子部品を把持することで保持する把持ノズルと、を保持している。ヘッド15は、交換ノズル保持機構18で装着するノズルを変更し、装着されたノズルに対して空気圧を供給して駆動することで、保持する電子部品を適切な条件(吸引または把持)で保持することができる。   The replacement nozzle holding mechanism 18 is a mechanism that holds a plurality of types of nozzles. The replacement nozzle holding mechanism 18 holds a plurality of types of nozzles in a state where the head 15 can be attached and detached. Here, the replacement nozzle holding mechanism 18 of the present embodiment holds a suction nozzle that holds the electronic component by suction and a gripping nozzle that holds the electronic component by gripping the electronic component. The head 15 changes the nozzle to be mounted by the replacement nozzle holding mechanism 18, and supplies air pressure to the mounted nozzle to drive it, thereby holding the electronic component to be held under appropriate conditions (suction or gripping). be able to.

部品貯留部19は、ヘッド15がノズルで保持し、基板8に実装しない電子部品を貯留する箱である。つまり、電子部品実装装置10では、基板8に実装しない電子部品を廃棄する廃棄ボックスとなる。電子部品実装装置10は、ヘッド15が保持している電子部品の中に基板8に実装しない電子部品がある場合、ヘッド15を部品貯留部19と対面する位置に移動させ、保持している電子部品を開放することで、電子部品を部品貯留部19に投入する。   The component storage unit 19 is a box that stores electronic components that the head 15 holds with nozzles and is not mounted on the substrate 8. That is, the electronic component mounting apparatus 10 is a disposal box for discarding electronic components that are not mounted on the substrate 8. When there is an electronic component that is not mounted on the substrate 8 among the electronic components held by the head 15, the electronic component mounting apparatus 10 moves the head 15 to a position facing the component storage unit 19 and holds the held electronic component. An electronic component is thrown into the component storage unit 19 by opening the component.

ロードセル48は、VCSユニット17と部品貯留部19との間に配置されている。ロードセル48は、鉛直方向上側の面、つまり、ヘッド15側の面が測定面となり、測定面に付与される荷重を検出する。例えば、ロードセル48は、測定面にヘッド15のノズルが押し付けられることで生じる荷重を検出する。ロードセル48は、検出した荷重を制御装置20に送信する。ロードセル48を用いて荷重を検出することで、後述するノズルの荷重を高い精度で計測することができる。なお、本実施形態では、測定面にノズルが押し付けられて生じる荷重をひずみゲージ等で検出するロードセル48を用いたが、これに限定されない。電子部品実装装置10は、ロードセル48に換えて、荷重検出部としてノズルに負荷される荷重を計測できる各種の荷重の検出機構を用いてもよい。   The load cell 48 is disposed between the VCS unit 17 and the component storage unit 19. The load cell 48 detects the load applied to the measurement surface, with the upper surface in the vertical direction, that is, the surface on the head 15 side serving as the measurement surface. For example, the load cell 48 detects a load generated when the nozzle of the head 15 is pressed against the measurement surface. The load cell 48 transmits the detected load to the control device 20. By detecting the load using the load cell 48, the later-described nozzle load can be measured with high accuracy. In this embodiment, the load cell 48 that detects the load generated by pressing the nozzle against the measurement surface with a strain gauge or the like is used, but the present invention is not limited to this. The electronic component mounting apparatus 10 may use various load detection mechanisms that can measure the load applied to the nozzle as a load detection unit instead of the load cell 48.

制御装置20は、電子部品実装装置10の各部を制御する。制御装置20は、各種制御部の集合体である。また制御装置20は、各種データを記憶する記憶領域を備えている。操作部40は、作業者が操作を入力する入力デバイスである。入力デバイスとしては、キーボード、マウス、タッチパネル等が例示される。操作部40は検出した各種入力を制御装置20に送る。表示部42は、作業者に各種情報を表示する画面であり、タッチパネル、ビジョンモニタ等を有する。表示部42は、制御装置20から入力される画像信号に基づいて各種画像を表示させる。   The control device 20 controls each part of the electronic component mounting apparatus 10. The control device 20 is an aggregate of various control units. In addition, the control device 20 includes a storage area for storing various data. The operation unit 40 is an input device through which an operator inputs an operation. Examples of the input device include a keyboard, a mouse, and a touch panel. The operation unit 40 sends the detected various inputs to the control device 20. The display unit 42 is a screen that displays various types of information to the worker, and includes a touch panel, a vision monitor, and the like. The display unit 42 displays various images based on the image signal input from the control device 20.

なお、本実施形態の電子部品実装装置10は、ヘッドを1つとしたが部品供給ユニット14f、14rのそれぞれに対応して2つのヘッドを設けてもよい。この場合、X軸駆動部を2つ設け、2つのヘッドをそれぞれXY方向に移動させることで、2つのヘッドを独立して移動させることができる。電子部品実装装置10は、2つのヘッドを備えることで、1つの基板8に対して、交互に電子部品を搭載することができる。このように、2つのヘッドで交互に電子部品を搭載することで、一方のヘッドが電子部品を基板8に搭載している間に、他方のヘッドは、部品供給装置にある電子部品を保持することができる。これにより、基板8に電子部品が搭載されない時間をより短くすることができ、効率よく電子部品を搭載することができる。さらに、電子部品実装装置10は、基板搬送部12を平行に2つ配置することも好ましい。電子部品実装装置10は、2つの基板搬送部12で2つの基板を交互に電子部品搭載位置に移動させ、前記2つのヘッド15で交互に部品搭載すれば、さらに効率よく基板に電子部品を搭載することができる。   Although the electronic component mounting apparatus 10 of the present embodiment has one head, two heads may be provided corresponding to each of the component supply units 14f and 14r. In this case, two X-axis drive units are provided, and the two heads can be moved independently by moving the two heads in the XY directions, respectively. Since the electronic component mounting apparatus 10 includes two heads, electronic components can be alternately mounted on one substrate 8. Thus, by alternately mounting electronic components with two heads, while one head is mounting the electronic component on the substrate 8, the other head holds the electronic component in the component supply device. be able to. Thereby, the time when an electronic component is not mounted on the board | substrate 8 can be shortened more, and an electronic component can be mounted efficiently. Furthermore, the electronic component mounting apparatus 10 is also preferably arranged with two board transfer parts 12 in parallel. The electronic component mounting apparatus 10 can more efficiently mount electronic components on the substrate by moving the two substrates alternately to the electronic component mounting position by the two substrate transfer units 12 and mounting the components alternately by the two heads 15. can do.

次に、図3から図5を用いて、ヘッド15の構成について説明する。図3は、電子部品実装装置のヘッドの概略構成を示す模式図である。図4は、電子部品実装装置のヘッドの概略構成を示す模式図である。図5は、電子部品実装装置のヘッドの概略構成を示す模式図である。なお、図3には、電子部品実装装置10を制御する各種制御部と部品供給ユニット14の1つの部品供給装置100もあわせて示す。ヘッド15は、図4及び図5に示すように、ヘッド本体30と撮影装置(基板状態検出部)36と高さセンサ(基板状態検出部)37とレーザ認識装置(レーザセンサ、部品状態検出部、状態検出部)38と特殊用途ヘッド70と撮影装置(基板状態検出部)76と高さセンサ(基板状態検出部)77とを有する。   Next, the configuration of the head 15 will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the head of the electronic component mounting apparatus. FIG. 4 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the head of the electronic component mounting apparatus. FIG. 5 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the head of the electronic component mounting apparatus. In FIG. 3, various control units that control the electronic component mounting apparatus 10 and one component supply device 100 of the component supply unit 14 are also shown. As shown in FIGS. 4 and 5, the head 15 includes a head main body 30, an imaging device (substrate state detection unit) 36, a height sensor (substrate state detection unit) 37, and a laser recognition device (laser sensor, component state detection unit). , State detection unit) 38, special purpose head 70, imaging device (substrate state detection unit) 76, and height sensor (substrate state detection unit) 77.

電子部品実装装置10は、図3に示すように、制御部60と、ヘッド制御部62と、部品供給制御部64と、を有する。制御部60と、ヘッド制御部62と、部品供給制御部64とは、上述した制御装置20の一部である。また、電子部品実装装置10は、電源と接続されており電源から供給される電力を制御部60、ヘッド制御部62、部品供給制御部64及び各種回路を用いて、各部に供給する。制御部60と、ヘッド制御部62と、部品供給制御部64とについては後述する。   As shown in FIG. 3, the electronic component mounting apparatus 10 includes a control unit 60, a head control unit 62, and a component supply control unit 64. The control unit 60, the head control unit 62, and the component supply control unit 64 are part of the control device 20 described above. In addition, the electronic component mounting apparatus 10 is connected to a power source and supplies power supplied from the power source to each unit using the control unit 60, the head control unit 62, the component supply control unit 64, and various circuits. The control unit 60, the head control unit 62, and the component supply control unit 64 will be described later.

電子部品供給装置100は、電子部品保持テープに電子部品80の本体が上方に露出している。電子部品供給装置100は、電子部品保持テープを引き出し、移動させることで、電子部品保持テープに保持された電子部品80を保持領域(吸着領域、把持領域)に移動させる。本実施形態では、電子部品供給装置100のY軸方向の先端近傍が、電子部品保持テープに保持された電子部品80をヘッド15のノズルが保持する保持領域となる。   In the electronic component supply device 100, the main body of the electronic component 80 is exposed upward on the electronic component holding tape. The electronic component supply apparatus 100 moves the electronic component 80 held on the electronic component holding tape to the holding area (suction area, holding area) by pulling out and moving the electronic component holding tape. In the present embodiment, the vicinity of the tip in the Y-axis direction of the electronic component supply apparatus 100 is a holding region where the nozzle of the head 15 holds the electronic component 80 held on the electronic component holding tape.

ヘッド本体30は、各部を支持するヘッド支持体31と、複数のノズル32と、ノズル駆動部34と、を有する。本実施形態のヘッド本体30には、図4及び図5に示すように、6本のノズル32が一列に配置されている。6本のノズル32は、X軸に平行な方向に並んでいる。なお、図4及び図5に示すノズル32は、いずれも電子部品を吸着して保持する吸着ノズルが配置されている。   The head body 30 includes a head support 31 that supports each part, a plurality of nozzles 32, and a nozzle drive unit 34. As shown in FIGS. 4 and 5, six nozzles 32 are arranged in a row in the head main body 30 of the present embodiment. The six nozzles 32 are arranged in a direction parallel to the X axis. In addition, as for the nozzle 32 shown in FIG.4 and FIG.5, the adsorption | suction nozzle which adsorb | sucks and hold | maintains an electronic component is arrange | positioned.

ヘッド支持体31は、X軸駆動部22と連結している支持部材であり、ノズル32及びノズル駆動部34を支持する。なお、ヘッド支持体31は、撮影装置(基板状態検出部)36と高さセンサ(基板状態検出部)37とレーザ認識装置38と特殊用途ヘッド70も支持している。   The head support 31 is a support member connected to the X-axis drive unit 22 and supports the nozzle 32 and the nozzle drive unit 34. The head support 31 also supports an imaging device (substrate state detection unit) 36, a height sensor (substrate state detection unit) 37, a laser recognition device 38, and a special purpose head 70.

ノズル32は、電子部品80を吸着し、保持する吸着機構である。ノズル32は、先端に開口33を有し、この開口33から空気を吸引することで、先端に電子部品80を吸着し、保持する。なお、ノズル32は、シャフト32aに連結されている。シャフト32aは、ノズル32を支持する棒状の部材であり、Z軸方向に延在して配置されている。シャフト32aは、内部に開口33とノズル駆動部34の吸引機構とを接続する空気管(配管)が配置されている。   The nozzle 32 is a suction mechanism that sucks and holds the electronic component 80. The nozzle 32 has an opening 33 at the tip, and sucks air from the opening 33 to suck and hold the electronic component 80 at the tip. The nozzle 32 is connected to the shaft 32a. The shaft 32a is a rod-like member that supports the nozzle 32, and is arranged extending in the Z-axis direction. The shaft 32 a has an air pipe (pipe) that connects the opening 33 and the suction mechanism of the nozzle drive unit 34 therein.

ノズル駆動部34は、ノズル32をZ軸方向に移動させ、ノズル32の開口33で電子部品80を吸着させる。ここで、Z軸は、XY平面に対して直交する軸である。なお、Z軸は、基板8の表面に対して直交する方向となる。また、ノズル駆動部34は、電子部品の実装時等にノズル32をθ方向に回転させる。θ方向とは、すなわち、ノズル駆動部がノズル32を移動させる方向と平行な軸であるZ軸を中心とした円の円周方向と平行な方向である。なお、θ方向は、ノズル32の回動方向となる。   The nozzle drive unit 34 moves the nozzle 32 in the Z-axis direction and sucks the electronic component 80 through the opening 33 of the nozzle 32. Here, the Z axis is an axis orthogonal to the XY plane. The Z axis is a direction orthogonal to the surface of the substrate 8. In addition, the nozzle drive unit 34 rotates the nozzle 32 in the θ direction when mounting electronic components. That is, the θ direction is a direction parallel to the circumferential direction of a circle around the Z axis, which is an axis parallel to the direction in which the nozzle driving unit moves the nozzle 32. The θ direction is the rotation direction of the nozzle 32.

ノズル駆動部34は、ノズル32をZ軸方向に移動させる機構として、例えば、Z軸方向が駆動方向となる直動リニアモータを有する機構がある。ノズル駆動部34は、直動リニアモータでノズル32のシャフト32aをZ軸方向に移動させることで、ノズル32の先端部の開口33をZ軸方向に移動させる。また、ノズル駆動部34は、ノズル32をθ方向に回転させる機構として、例えばモータとシャフト32aに連結された伝達要素とで構成された機構がある。ノズル駆動部34は、モータから出力された駆動力を伝達要素でシャフト32aに伝達し、シャフト32aをθ方向に回転させることで、ノズル32の先端部もθ方向に回転させる。   As the mechanism for moving the nozzle 32 in the Z-axis direction, the nozzle driving unit 34 includes, for example, a mechanism having a linear motion linear motor in which the Z-axis direction is the driving direction. The nozzle driving unit 34 moves the opening 33 at the tip of the nozzle 32 in the Z-axis direction by moving the shaft 32a of the nozzle 32 in the Z-axis direction with a linear motion linear motor. In addition, the nozzle drive unit 34 includes a mechanism configured by, for example, a motor and a transmission element connected to the shaft 32a as a mechanism for rotating the nozzle 32 in the θ direction. The nozzle drive unit 34 transmits the driving force output from the motor to the shaft 32a by a transmission element, and rotates the shaft 32a in the θ direction, thereby rotating the tip of the nozzle 32 in the θ direction.

ノズル駆動部34は、ノズル32の開口33で電子部品80を吸着させる機構、つまり吸引機構としては、例えば、ノズル32の開口33と連結された空気管と、当該空気管と接続されたポンプと、空気管の管路の開閉を切り換える電磁弁と、を有する機構がある。ノズル駆動部34は、ポンプで空気管の空気を吸引し、電磁弁の開閉を切り換えることで開口33から空気を吸引するか否かを切り換える。ノズル駆動部34は、電磁弁を開き開口33から空気を吸引することで開口33に電子部品80を吸着(保持)させ、電磁弁を閉じ開口33から空気を吸引しないことで開口33に吸着していた電子部品80を開放する、つまり開口33で電子部品80を吸着しない状態(保持しない状態)とする。   The nozzle drive unit 34 has a mechanism for sucking the electronic component 80 through the opening 33 of the nozzle 32, that is, as a suction mechanism, for example, an air pipe connected to the opening 33 of the nozzle 32, and a pump connected to the air pipe. And a solenoid valve that switches between opening and closing the pipe of the air pipe. The nozzle drive unit 34 switches whether to suck air from the opening 33 by sucking air from the air pipe with a pump and switching between opening and closing of the electromagnetic valve. The nozzle drive unit 34 opens the electromagnetic valve and sucks air from the opening 33 to suck (hold) the electronic component 80 into the opening 33, and closes the electromagnetic valve and does not suck air from the opening 33 to suck into the opening 33. The electronic component 80 that has been opened is opened, that is, a state in which the electronic component 80 is not picked up by the opening 33 (not held).

また、本実施形態のヘッド15は、各ノズル32またはシャフト32aに圧力を検出する圧力検出部を備えている。ヘッド15は、圧力検出部で対応するノズル32に負荷されている圧力、つまりノズル32にかかる荷重を検出する。   Further, the head 15 of the present embodiment includes a pressure detection unit that detects the pressure in each nozzle 32 or the shaft 32a. The head 15 detects the pressure applied to the corresponding nozzle 32 by the pressure detection unit, that is, the load applied to the nozzle 32.

また、ヘッド15は、ノズル駆動部34でノズル32を移動させ、交換動作を実行することで、ノズル駆動部34が駆動させるノズル32を換えることができる。例えば、本実施形態のヘッド15は、吸着(保持)する電子部品の種類に基づいて、装着するノズル32の種類を変更する。また、本実施形態のヘッド15は、電子部品80の本体を保持するときに本体上面がノズル(吸着ノズル)32で吸着できない形状である場合には、把持ノズルを用いる。把持ノズルは、吸着ノズルと同様に空気を吸引開放することで固定片に対して可動片が開閉することで電子部品80の本体を上方から把持開放することができる。   Moreover, the head 15 can change the nozzle 32 which the nozzle drive part 34 drives by moving the nozzle 32 by the nozzle drive part 34, and performing replacement | exchange operation | movement. For example, the head 15 of the present embodiment changes the type of nozzle 32 to be mounted based on the type of electronic component to be sucked (held). The head 15 of the present embodiment uses a gripping nozzle when the top surface of the main body has a shape that cannot be sucked by the nozzle (suction nozzle) 32 when holding the main body of the electronic component 80. The gripping nozzle can open and close the main body of the electronic component 80 from above by opening and closing the movable piece with respect to the fixed piece by sucking and releasing air in the same manner as the suction nozzle.

撮影装置36は、ヘッド本体30のヘッド支持体31に固定されており、ヘッド15と対面する領域、例えば、基板8や電子部品80が搭載された基板8等を撮影する。撮影装置36は、カメラと、照明装置と、を有し、照明装置で視野を照明しつつ、カメラで画像を取得する。これにより、ヘッド本体30に対面する位置の画像、例えば、基板8や、部品供給ユニット14の各種画像を撮影することができる。例えば、撮影装置36は、基板8の表面に形成された基準マークとしてのBOCマーク(以下単にBOCともいう)やスルーホール(挿入穴)の画像を撮影する。ここで、BOCマーク以外の基準マークを用いる場合、当該基準マークの画像を撮影する。   The imaging device 36 is fixed to the head support 31 of the head body 30 and images an area facing the head 15, for example, the substrate 8 or the substrate 8 on which the electronic component 80 is mounted. The imaging device 36 has a camera and an illumination device, and acquires an image with the camera while illuminating the visual field with the illumination device. Thereby, an image of a position facing the head body 30, for example, various images of the substrate 8 and the component supply unit 14 can be taken. For example, the imaging device 36 captures an image of a BOC mark (hereinafter also simply referred to as a BOC) or a through hole (insertion hole) as a reference mark formed on the surface of the substrate 8. Here, when a reference mark other than the BOC mark is used, an image of the reference mark is taken.

高さセンサ37は、ヘッド本体30のヘッド支持体31に固定されており、ヘッド15と対面する領域、例えば、基板8や電子部品80が搭載された基板8との距離を計測する。高さセンサ37としては、レーザ光を照射する発光素子と、対面する位置で反射して戻ってくるレーザ光を受光する受光素子とを有し、レーザ光を発光してから受光するまでの時間で対面する部分との距離を計測するレーザセンサを用いることができる。また、高さセンサ37は、測定時の自身の位置及び基板8の位置を用いて、対面する部分との距離を処理することで、対面する部分、具体的には電子部品80の高さを検出する。なお、電子部品との距離の測定結果に基づいて電子部品80の高さを検出する処理は制御部60で行ってもよい。   The height sensor 37 is fixed to the head support 31 of the head body 30 and measures the distance from the area facing the head 15, for example, the substrate 8 or the substrate 8 on which the electronic component 80 is mounted. The height sensor 37 includes a light emitting element that emits laser light and a light receiving element that receives the laser light reflected and returned at the facing position, and the time from when the laser light is emitted until it is received. It is possible to use a laser sensor that measures the distance from the facing part. In addition, the height sensor 37 processes the distance from the facing portion using the position of the sensor itself and the position of the substrate 8 to measure the height of the facing portion, specifically, the electronic component 80. To detect. The process of detecting the height of the electronic component 80 based on the measurement result of the distance to the electronic component may be performed by the control unit 60.

レーザ認識装置(レーザセンサ・ノズル形状検出部)38は、光源38aと、受光素子38bと、を有する。レーザ認識装置38は、ブラケット50に内蔵されている。ブラケット50は、図3に示すように、ヘッド支持体31の下側、基板8及び部品供給装置100側に連結されている。レーザ認識装置38は、ヘッド本体30のノズル32で吸着した電子部品80に対して、レーザ光を照射することで、電子部品80の状態やノズル32の形状を検出する装置である。ここで、電子部品80の状態とは、電子部品80の形状、ノズル32で電子部品80を正しい姿勢で吸着しているか等である。ノズル32の形状とは、ノズルの外形形状である。光源38aは、レーザ光を出力する発光素子である。受光素子38bは、Z軸方向における位置、つまり高さが同じ位置であり、光源38aに対向する位置に配置されている。   The laser recognition device (laser sensor / nozzle shape detection unit) 38 includes a light source 38a and a light receiving element 38b. The laser recognition device 38 is built in the bracket 50. As shown in FIG. 3, the bracket 50 is connected to the lower side of the head support 31, the substrate 8, and the component supply device 100 side. The laser recognition device 38 is a device that detects the state of the electronic component 80 and the shape of the nozzle 32 by irradiating the electronic component 80 adsorbed by the nozzle 32 of the head body 30 with laser light. Here, the state of the electronic component 80 includes the shape of the electronic component 80, whether the electronic component 80 is sucked in the correct posture by the nozzle 32, and the like. The shape of the nozzle 32 is the outer shape of the nozzle. The light source 38a is a light emitting element that outputs laser light. The light receiving element 38b has a position in the Z-axis direction, that is, a position having the same height, and is disposed at a position facing the light source 38a.

特殊用途ヘッド70は、ヘッド本体30に連結している。特殊用途ヘッド70は、ノズルの本数が1本である以外は、ヘッド本体30と同様の構成である。特殊用途ヘッド70は、各部を支持するヘッド支持体71と、1本のノズル72と、ノズル駆動部74と、を有する。本実施形態の特殊用途ヘッド70には、図4に示すように、ヘッド本体30の6本のノズル32が配置されている列の延長線上にノズル72が配置されている。6本のノズル32は、X軸に平行な方向に並んでいる。ノズル72は、電子部品80を吸着して保持する吸着ノズルが配置されている。   The special purpose head 70 is connected to the head body 30. The special purpose head 70 has the same configuration as the head body 30 except that the number of nozzles is one. The special purpose head 70 includes a head support 71 that supports each part, a single nozzle 72, and a nozzle driving unit 74. In the special purpose head 70 of the present embodiment, as shown in FIG. 4, nozzles 72 are arranged on the extended line of the row in which the six nozzles 32 of the head body 30 are arranged. The six nozzles 32 are arranged in a direction parallel to the X axis. The nozzle 72 is provided with a suction nozzle that sucks and holds the electronic component 80.

ヘッド支持体71は、ヘッド支持体31と連結している支持部材であり、ノズル72及びノズル駆動部74を支持する。なお、ヘッド支持体71は、ノズル72をヘッド支持体31とは一定距離離れた位置で支持する。   The head support 71 is a support member connected to the head support 31 and supports the nozzle 72 and the nozzle driving unit 74. The head support 71 supports the nozzle 72 at a position away from the head support 31 by a certain distance.

ノズル72は、電子部品80を吸着し、保持する吸着機構である。ノズル72は、先端に開口を有し、この開口から空気を吸引することで、先端に電子部品80を吸着し、保持する。なお、ノズル72は、開口が形成され電子部品80を吸着する先端部に連結されたシャフト72aを有する。シャフト72aは、先端部を支持する棒状の部材であり、Z軸方向に延在して配置されている。シャフト72aは、内部に開口とノズル駆動部74の吸引機構とを接続する空気管(配管)が配置されている。   The nozzle 72 is a suction mechanism that sucks and holds the electronic component 80. The nozzle 72 has an opening at the tip, and sucks air from the opening to suck and hold the electronic component 80 at the tip. The nozzle 72 has a shaft 72a formed with an opening and connected to a tip end portion that sucks the electronic component 80. The shaft 72a is a rod-like member that supports the tip portion, and is arranged extending in the Z-axis direction. The shaft 72 a has an air pipe (pipe) that connects the opening and the suction mechanism of the nozzle drive unit 74 inside.

ノズル駆動部74は、ノズル72をZ軸方向に移動させ、ノズル72の開口で電子部品80を吸着させる。また、ノズル駆動部74は、電子部品80の実装時等にノズル72をθ方向に回転させる。ノズル駆動部74は、ノズル72をZ軸方向に移動させる機構として、例えば、Z軸方向が駆動方向となる直動リニアモータを有する機構がある。ノズル駆動部74は、直動リニアモータでノズル72のシャフト72aをZ軸方向に移動させることで、ノズル72の先端部の開口をZ軸方向に移動させる。また、ノズル駆動部74は、ノズル72をθ方向に回転させる機構として、例えばモータとシャフト72aに連結された伝達要素とで構成された機構がある。ノズル駆動部74は、モータから出力された駆動力を伝達要素でシャフト72aに伝達し、シャフト72aをθ方向に回転させることで、ノズル72の先端部もθ方向に回転させる。   The nozzle drive unit 74 moves the nozzle 72 in the Z-axis direction and sucks the electronic component 80 through the opening of the nozzle 72. In addition, the nozzle driving unit 74 rotates the nozzle 72 in the θ direction when the electronic component 80 is mounted. As the mechanism for moving the nozzle 72 in the Z-axis direction, the nozzle driving unit 74 includes, for example, a mechanism having a linear motion linear motor in which the Z-axis direction is the driving direction. The nozzle drive unit 74 moves the opening at the tip of the nozzle 72 in the Z-axis direction by moving the shaft 72a of the nozzle 72 in the Z-axis direction with a linear motion linear motor. In addition, the nozzle driving unit 74 includes a mechanism configured by, for example, a motor and a transmission element coupled to the shaft 72a as a mechanism for rotating the nozzle 72 in the θ direction. The nozzle driving unit 74 transmits the driving force output from the motor to the shaft 72a by a transmission element, and rotates the shaft 72a in the θ direction, thereby rotating the tip of the nozzle 72 in the θ direction.

ノズル駆動部74は、ノズル72の開口で電子部品80を吸着させる機構、つまり吸引機構としては、例えば、ノズル72の開口と連結された空気管と、当該空気管と接続されたポンプと、空気管の管路の開閉を切り換える電磁弁と、を有する機構がある。ノズル駆動部74は、ポンプで空気管の空気を吸引し、電磁弁の開閉を切り換えることで開口から空気を吸引するか否かを切り換える。ノズル駆動部74は、電磁弁を開き開口から空気を吸引することで開口に電子部品80を吸着(保持)させ、電磁弁を閉じ開口から空気を吸引しないことで開口に吸着していた電子部品80を開放する、つまり開口で電子部品80を吸着しない状態(保持しない状態)とする。   The nozzle drive unit 74 has a mechanism for sucking the electronic component 80 through the opening of the nozzle 72, that is, as a suction mechanism, for example, an air pipe connected to the opening of the nozzle 72, a pump connected to the air pipe, and an air There is a mechanism having an electromagnetic valve for switching opening and closing of a pipe line. The nozzle driving unit 74 sucks air from the air pipe with a pump, and switches whether to suck air from the opening by switching between opening and closing of the electromagnetic valve. The nozzle drive unit 74 opens the electromagnetic valve and sucks air from the opening to suck (holds) the electronic component 80 into the opening, and closes the electromagnetic valve and sucks air from the opening to suck the electronic component from the opening. 80 is opened, that is, the electronic component 80 is not picked up by the opening (not held).

撮影装置76は、ヘッド本体30のヘッド支持体71に固定されており、ヘッド15と対面する領域、例えば、基板8や電子部品80が搭載された基板8等を撮影する。撮影装置76は、撮影装置36と同様の機能を備える。高さセンサ77は、ヘッド本体30のヘッド支持体71に固定されており、ヘッド15と対面する領域、例えば、基板8や電子部品80が搭載された基板8との距離を計測する。高さセンサ77は、高さセンサ37と同様の機能を備える。撮影装置76、高さセンサ77は、配置位置が異なるのみで、撮影装置36、高さセンサ37と同様の機能を備え、同様の用途に用いられる。   The imaging device 76 is fixed to the head support 71 of the head body 30 and images an area facing the head 15, for example, the substrate 8 or the substrate 8 on which the electronic component 80 is mounted. The photographing device 76 has the same function as the photographing device 36. The height sensor 77 is fixed to the head support 71 of the head body 30 and measures the distance from the area facing the head 15, for example, the substrate 8 or the substrate 8 on which the electronic component 80 is mounted. The height sensor 77 has the same function as the height sensor 37. The photographing device 76 and the height sensor 77 have the same functions as those of the photographing device 36 and the height sensor 37 except for the arrangement positions, and are used for the same purposes.

ヘッド15は、ヘッド本体30から離れた位置にノズル72が配置された特殊用途ヘッド70を備えることで、ヘッド15が部品供給ユニット14と基板8との間の一度の往復で実装する電子部品の選択肢をより広くすることができる。例えば、離れた位置のノズル72で大きな電子部品(ノズル32の配置間隔よりも大きい電子部品)を保持しつつ、隣接した6本のノズル32で小さい電子部品を保持することができる。つまり、ノズル32で吸着すると他のノズル32で電子部品を保持できなくなる大きい電子部品がある場合でも、ノズル72を用いることで、他のノズル32の保持に影響を与えることなく作業を行うことができる。   The head 15 includes a special-purpose head 70 in which the nozzle 72 is disposed at a position away from the head main body 30, so that the head 15 is mounted on the electronic component to be mounted in one reciprocation between the component supply unit 14 and the substrate 8. The options can be broadened. For example, a small electronic component can be held by the six adjacent nozzles 32 while holding a large electronic component (an electronic component larger than the arrangement interval of the nozzles 32) by the nozzle 72 at a distant position. In other words, even when there is a large electronic component that cannot be held by another nozzle 32 when sucked by the nozzle 32, the nozzle 72 can be used to operate without affecting the holding of the other nozzle 32. it can.

ヘッド15は、以上のような構成である。なお、上記実施形態のヘッド15は、ノズル32、72に吸着ノズルを装着している場合として説明したが、ノズル32、72に電子部品を把持して保持する把持ノズルを用いることができる。ヘッド15は、ノズル32、72に把持ノズルを用いる場合も、ノズル32、72に供給する空気圧を調整することで、把持ノズルの駆動部を稼動させて、電子部品を把持している状態と開放している状態を切り換える。また、ヘッド15は、撮影装置(基板状態検出部)36、76と高さセンサ(基板状態検出部)37、77とレーザ認識装置38と特殊用途ヘッド70を備えていることが好ましいが、必ずしも備えていなくてもよい。   The head 15 is configured as described above. The head 15 of the above embodiment has been described as the case where the suction nozzles are mounted on the nozzles 32 and 72, but a gripping nozzle that grips and holds the electronic component on the nozzles 32 and 72 can be used. Even when a gripping nozzle is used for the nozzles 32 and 72, the head 15 operates the gripping nozzle drive unit by adjusting the air pressure supplied to the nozzles 32 and 72, and releases the state where the electronic component is gripped. Change the status. The head 15 preferably includes photographing devices (substrate state detecting units) 36 and 76, height sensors (substrate state detecting units) 37 and 77, a laser recognizing device 38, and a special purpose head 70. It does not have to be provided.

次に、電子部品実装装置10の装置構成の制御機能について説明する。電子部品実装装置10は、図3に示すように、制御装置20として、制御部60と、ヘッド制御部62と、部品供給制御部64と、を有する。各種制御部は、それぞれ、CPU、ROMやRAM等の演算処理機能と記憶機能(記憶領域)とを備える部材で構成される。また、本実施形態では、説明の都合で複数の制御部としたが、1つの制御部としてもよい。また、電子部品実装装置10の制御機能を1つの制御部とした場合、1つの演算装置で実現しても複数の演算装置で実現してもよい。また、各制御部は、記憶領域として、1つのROM、RAMに記憶させてもよいし、複数の記憶媒体を設けてもよい。各制御部は、記憶領域に演算処理に用いるプログラムや、各種設定データ、条件を記憶している。   Next, the control function of the device configuration of the electronic component mounting apparatus 10 will be described. As illustrated in FIG. 3, the electronic component mounting apparatus 10 includes a control unit 60, a head control unit 62, and a component supply control unit 64 as the control device 20. Each of the various control units is configured by a member having an arithmetic processing function such as a CPU, a ROM, and a RAM, and a storage function (storage area). In this embodiment, a plurality of control units are used for convenience of explanation, but a single control unit may be used. Further, when the control function of the electronic component mounting apparatus 10 is a single control unit, it may be realized by one arithmetic device or a plurality of arithmetic devices. Each control unit may be stored in a single ROM or RAM as a storage area, or a plurality of storage media may be provided. Each control unit stores a program used for arithmetic processing, various setting data, and conditions in a storage area.

制御部60は、電子部品実装装置10の各部と接続されており、入力された操作信号や、電子部品実装装置10の各部で検出された情報に基づいて、記憶されているプログラムを実行し、各部の動作を制御する。制御部60は、例えば、基板8の搬送動作、XY移動機構16によるヘッド15の駆動動作、レーザ認識装置38による形状の検出動作等を制御する。また、制御部60は、上述したようにヘッド制御部62に各種指示を送り、ヘッド制御部62による制御動作も制御する。制御部60は、ヘッド制御部62や部品供給制御部64による制御動作も制御する。   The control unit 60 is connected to each unit of the electronic component mounting apparatus 10 and executes a stored program based on the input operation signal and information detected by each unit of the electronic component mounting apparatus 10. Control the operation of each part. The control unit 60 controls, for example, the transport operation of the substrate 8, the drive operation of the head 15 by the XY movement mechanism 16, the shape detection operation by the laser recognition device 38, and the like. Further, the control unit 60 sends various instructions to the head control unit 62 as described above, and also controls the control operation by the head control unit 62. The control unit 60 also controls control operations by the head control unit 62 and the component supply control unit 64.

ヘッド制御部62は、ノズル駆動部34、74、ヘッド支持体31に配置された各種センサ及び制御部60に接続されており、ノズル駆動部34、74を制御し、ノズル32、72の動作を制御する。ヘッド制御部62は、制御部60から供給される操作指示及び各種センサ(例えば、距離センサ)の検出結果に基づいて、ノズル32、72の電子部品80の吸着(保持)/開放動作、各ノズル32、72の回動動作、Z軸方向の移動動作を制御する。   The head control unit 62 is connected to the nozzle driving units 34 and 74 and various sensors disposed on the head support 31 and the control unit 60, controls the nozzle driving units 34 and 74, and operates the nozzles 32 and 72. Control. The head control unit 62 performs the suction (holding) / release operation of the electronic components 80 of the nozzles 32 and 72 based on the operation instructions supplied from the control unit 60 and the detection results of various sensors (for example, distance sensors), and each nozzle. The rotation operation of 32 and 72 and the movement operation in the Z-axis direction are controlled.

部品供給制御部64は、部品供給ユニット14f、14rによる電子部品80の供給動作を制御する。部品供給制御部64は、部品供給装置100毎に設けても、1つですべての部品供給装置100を制御してもよい。例えば、部品供給制御部64は、電子部品供給装置100によるトレイの交換動作、移動動作を制御する。また、部品供給制御部64は、部品供給装置100による電子部品保持テープの引き出し動作(移動動作)を制御する。部品供給制御部64は、制御部60による指示に基づいて各種動作を実行する。部品供給制御部64は、電子部品保持テープまたは電子部品保持テープの引き出し動作を制御することで、電子部品保持テープまたは電子部品保持テープの移動を制御する。   The component supply control unit 64 controls the operation of supplying the electronic component 80 by the component supply units 14f and 14r. The component supply control unit 64 may be provided for each component supply device 100 or may control all the component supply devices 100 by one. For example, the component supply control unit 64 controls tray replacement operation and movement operation by the electronic component supply apparatus 100. In addition, the component supply control unit 64 controls the operation (moving operation) of the electronic component holding tape by the component supply apparatus 100. The component supply control unit 64 executes various operations based on instructions from the control unit 60. The component supply control unit 64 controls the movement of the electronic component holding tape or the electronic component holding tape by controlling the drawing operation of the electronic component holding tape or the electronic component holding tape.

また、制御装置20は、記憶領域にノズルの特性のデータを記憶している。なお、制御装置20は、制御部60と、ヘッド制御部62と、部品供給制御部64とのいずれの制御部の記憶領域にノズルの特性のデータを記憶していてもよい。また制御装置20は、制御部60、ヘッド制御部62及び部品供給制御部64とは別体の記憶領域(ROM等)を設け、この別体の記憶領域にノズルの特性のデータを記憶させてもよい。制御装置20は、制御部60によって、ヘッド制御部62や部品供給制御部64の動作を制御することで、ノズルの特性を検出する動作を実行する。さらに、制御装置20は、検出したノズルの特性に基づいて、ヘッド制御部62によるヘッドの動作、具体的には、ノズル32、72のZ軸方向の移動動作を制御する。この点については、後述する。   The control device 20 stores nozzle characteristic data in the storage area. The control device 20 may store nozzle characteristic data in a storage area of any of the control unit 60, the head control unit 62, and the component supply control unit 64. In addition, the control device 20 provides a storage area (ROM, etc.) separate from the control unit 60, the head control unit 62, and the component supply control unit 64, and stores nozzle characteristic data in this separate storage area. Also good. The control device 20 controls the operation of the head control unit 62 and the component supply control unit 64 by the control unit 60 to execute an operation for detecting the characteristics of the nozzle. Furthermore, the control device 20 controls the head operation by the head control unit 62, specifically, the movement operation of the nozzles 32 and 72 in the Z-axis direction based on the detected nozzle characteristics. This point will be described later.

次に、電子部品実装装置の各部の動作について説明する。なお、下記で説明する電子部品の各部の動作は、いずれも制御装置20に基づいて各部の動作を制御することで実行することができる。   Next, the operation of each part of the electronic component mounting apparatus will be described. Note that the operation of each part of the electronic component described below can be executed by controlling the operation of each part based on the control device 20.

図6は、電子部品実装装置の動作の一例を示すフローチャートである。図6を用いて、電子部品実装装置10の全体の処理動作の概略を説明する。なお、図6に示す処理は制御装置20が各部を制御することで実行される。電子部品実装装置10は、ステップS52として、生産プログラムを読み込む。生産プログラムは、専用の生産プログラム作成装置で作成されたり、入力された各種データに基づいて制御装置20によって作成されたりする。   FIG. 6 is a flowchart illustrating an example of the operation of the electronic component mounting apparatus. The overall processing operation of the electronic component mounting apparatus 10 will be described with reference to FIG. Note that the processing shown in FIG. 6 is executed by the control device 20 controlling each unit. The electronic component mounting apparatus 10 reads a production program as step S52. The production program is created by a dedicated production program creation device, or created by the control device 20 based on various input data.

電子部品実装装置10は、ステップS52で生産プログラムを読み込んだら、ステップS54として、装置の状態を検出する。具体的には、部品供給ユニット14f、14rの構成、充填されている電子部品80の種類、準備されているノズル32、72の種類等を検出する。電子部品実装装置10は、ステップS54で装置の状態を検出し、準備が完了したら、ステップS56として、基板8を搬入する。電子部品実装装置10は、ステップS56で基板を搬入し、電子部品を実装する位置に基板を配置したら、ステップS58として電子部品を基板に実装する。電子部品実装装置10は、ステップS58で電子部品の実装が完了したら、ステップS60として基板を搬出する。電子部品実装装置10は、ステップS60で基板を搬出したら、ステップS62として生産終了かを判定する。電子部品実装装置10は、ステップS62で生産終了ではない(No)と判定した場合、ステップS56に進み、ステップS56からステップS60の処理を実行する。つまり、生産プログラムに基づいて、基板に電子部品を実装する処理を実行する。電子部品実装装置10は、ステップS62で生産終了である(Yes)と判定した場合、本処理を終了する。   After reading the production program in step S52, the electronic component mounting apparatus 10 detects the state of the apparatus in step S54. Specifically, the configuration of the component supply units 14f and 14r, the type of the electronic component 80 that is filled, the type of the nozzles 32 and 72 that are prepared, and the like are detected. The electronic component mounting apparatus 10 detects the state of the apparatus in step S54, and when preparation is completed, the board 8 is carried in as step S56. The electronic component mounting apparatus 10 carries in a board | substrate at step S56, and if a board | substrate is arrange | positioned in the position which mounts an electronic component, it will mount an electronic component on a board | substrate as step S58. The electronic component mounting apparatus 10 will carry out a board | substrate as step S60, if mounting of an electronic component is completed by step S58. When the electronic component mounting apparatus 10 carries out the board in step S60, it is determined in step S62 whether production is finished. If the electronic component mounting apparatus 10 determines that the production is not finished (No) in step S62, the electronic component mounting apparatus 10 proceeds to step S56, and executes the processing from step S56 to step S60. That is, processing for mounting electronic components on the board is executed based on the production program. If the electronic component mounting apparatus 10 determines that the production is finished (Yes) in step S62, the electronic component mounting apparatus 10 finishes this process.

電子部品実装装置10は、以上のようにして、生産プログラムを読み込み、各種設定を行った後、基板に電子部品を実装することで、電子部品が実装された基板を製造することができる。また、電子部品実装装置10は、電子部品として、本体と当該本体に接続されたリードとを有するリード型電子部品を基板に実装、具体的には、リードを基板に形成された穴(挿入穴)に挿入することで当該電子部品を基板に実装することができる。   The electronic component mounting apparatus 10 can manufacture a board on which the electronic component is mounted by reading the production program and performing various settings as described above, and then mounting the electronic component on the board. In addition, the electronic component mounting apparatus 10 mounts a lead-type electronic component having a main body and leads connected to the main body on the substrate as an electronic component, specifically, a hole (insertion hole) formed on the substrate. ) Can be mounted on the substrate.

図7は、電子部品実装装置の動作の一例を示すフローチャートである。なお、図7に示す処理動作は、基板を搬入してから、基板への電子部品の搭載が完了するまでの動作である。また、図7に示す処理動作は、制御部60が各部の動作を制御することで実行される。   FIG. 7 is a flowchart showing an example of the operation of the electronic component mounting apparatus. Note that the processing operation shown in FIG. 7 is an operation from the loading of the substrate to the completion of the mounting of the electronic component on the substrate. Further, the processing operation shown in FIG. 7 is executed by the control unit 60 controlling the operation of each unit.

制御部60は、ステップS102として、基板8を搬入する。具体的には、制御部60は、電子部品を搭載する対象の基板を基板搬送部12で所定位置まで搬送する。制御部60は、ステップS102で基板を搬入したら、ステップS104として保持移動を行う。ここで、保持移動(吸着移動)とは、ノズル32が部品供給ユニット14の保持領域にある電子部品80と対面する位置までヘッド本体30を移動させる処理動作である。   The control part 60 carries in the board | substrate 8 as step S102. Specifically, the control unit 60 transports the substrate on which the electronic component is to be mounted to a predetermined position by the substrate transport unit 12. If the board | substrate is carried in by step S102, the control part 60 will carry out holding movement as step S104. Here, the holding movement (suction movement) is a processing operation for moving the head main body 30 to a position where the nozzle 32 faces the electronic component 80 in the holding area of the component supply unit 14.

制御部60は、ステップS104で保持移動を行ったら、ステップS106として、ノズル32を下降させる。つまり、制御部60は、電子部品80を保持(吸着、把持)できる位置までノズル32を下方向に移動させる。制御部60は、ステップS106でノズル32を下降させたら、ステップS108として、ノズル32で部品を保持し、ステップS110として、ノズル32を上昇させる。制御部60は、ステップS110でノズルを所定位置まで上昇させたら、具体的には電子部品80をレーザ認識装置38の計測位置まで移動させたら、ステップS112として、ノズル32で吸着している電子部品80の形状を検出する。制御部60は、ステップS112で電子部品の形状を検出したら、ステップS114としてノズル32を上昇させる。なお、制御部60は、上述したようにステップS112で電子部品の形状を検出し、保持した電子部品が搭載不可であると判定した場合、電子部品を廃棄し、再び電子部品を吸着する。制御部60は、ノズルを所定位置まで上昇させたら、ステップS116として、搭載移動、つまりノズル32で吸着している電子部品を基板8の搭載位置(実装位置)に対向する位置まで移動させる処理動作を行い、ステップS118として、ノズル32を下降させ、ステップS120として部品搭載(部品実装)、つまりノズル32から電子部品80を開放する処理動作を行い、ステップS122として、ノズル32を上昇させる。つまり、制御部60は、ステップS112からステップS120の処理動作は、上述した実装処理を実行する。   After performing the holding movement in step S104, the control unit 60 lowers the nozzle 32 as step S106. That is, the control unit 60 moves the nozzle 32 downward to a position where the electronic component 80 can be held (sucked and gripped). After lowering the nozzle 32 in step S106, the control unit 60 holds the component with the nozzle 32 as step S108 and raises the nozzle 32 as step S110. When the control unit 60 raises the nozzle to a predetermined position in step S110, specifically, moves the electronic component 80 to the measurement position of the laser recognition device 38, the electronic component sucked by the nozzle 32 is step S112. 80 shapes are detected. When detecting the shape of the electronic component in step S112, the control unit 60 raises the nozzle 32 in step S114. Note that the control unit 60 detects the shape of the electronic component in step S112 as described above, and when it is determined that the held electronic component cannot be mounted, the electronic component is discarded and the electronic component is adsorbed again. When the control unit 60 raises the nozzle to a predetermined position, in step S116, the controller 60 moves the electronic component sucked by the nozzle 32 to a position facing the mounting position (mounting position) of the substrate 8. In step S118, the nozzle 32 is lowered. In step S120, component mounting (component mounting), that is, a processing operation for releasing the electronic component 80 from the nozzle 32 is performed. In step S122, the nozzle 32 is raised. That is, the control unit 60 performs the mounting process described above in the processing operation from step S112 to step S120.

制御部60は、ステップS122でノズル32を上昇させた場合、ステップS124として全部品の搭載が完了したか、つまり基板8に搭載する予定の電子部品の実装処理が完了したかを判定する。制御部60は、ステップS124で全部品の搭載が完了していない(No)、つまり搭載する予定の電子部品が残っていると判定した場合、ステップS104に進み、次の電子部品を基板8に搭載する処理動作を実行する。このように制御部60は、基板8に全部品の搭載が完了するまで、上記処理動作を繰り返す。制御部60は、ステップS124で全部品の搭載が完了した(Yes)と判定した場合、本処理を終了する。   When the nozzle 32 is raised in step S122, the control unit 60 determines in step S124 whether the mounting of all the components is complete, that is, whether the mounting process of the electronic components to be mounted on the board 8 is completed. If the control unit 60 determines in step S124 that the mounting of all the components has not been completed (No), that is, it is determined that the electronic components to be mounted remain, the process proceeds to step S104, and the next electronic component is placed on the substrate 8. Execute the processing operation to be installed. In this way, the control unit 60 repeats the above processing operation until the mounting of all components on the substrate 8 is completed. If the control unit 60 determines in step S124 that all parts have been mounted (Yes), the process ends.

電子部品実装装置10は、図7に示す処理動作を実行することで、基板に電子部品を搭載することができ、電子部品が実装された基板を生産することができる。   The electronic component mounting apparatus 10 can mount the electronic component on the substrate by executing the processing operation shown in FIG. 7, and can produce a substrate on which the electronic component is mounted.

次に、図8から図18を用いて電子部品実装装置10によるノズル32の制御動作、具体的にはノズルによる電子部品の吸着時の動作、基板への搭載時の動作について説明する。   Next, the control operation of the nozzle 32 by the electronic component mounting apparatus 10, specifically, the operation at the time of suction of the electronic component by the nozzle and the operation at the time of mounting on the substrate will be described with reference to FIGS. 8 to 18.

まず、図8を用いてノズルの一例について説明する。図8は、ノズルの概略構成を示す説明図である。本実施形態の電子部品実装装置10は、電子部品を吸着して保持する吸着型のノズルとして、標準型のノズルと荷重制御型のノズルを備えている。図8に示すノズル120は、荷重制御型のノズルであり、基部130と先端支持部132と先端部134とバネ136とストッパ138とを有する。基部130は、シャフト32aと連結する部分である。ノズル120は、基部130がシャフト32aの先端に支持されることで、シャフト32aと一体で移動可能な状態となる。先端支持部132は、Z軸方向に伸びた棒状の部材であり、摺動可能な状態で基部130に接続されている。先端部134は、先端支持部132の先端に連結されている。先端部134は、基部130から最も離れた面が、電子部品と接触する面となる。バネ136は、一方の端部が基部130と接続され、他方の端部がストッパ138とに接続されている。バネ136は、ストッパ138が基部130側に移動した場合、ストッパ138を元の位置に移動する方向の力をストッパ138に付与する。ストッパ138は、先端支持部132から一定距離離れた位置に固定されている。   First, an example of a nozzle will be described with reference to FIG. FIG. 8 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of the nozzle. The electronic component mounting apparatus 10 of the present embodiment includes a standard type nozzle and a load control type nozzle as suction type nozzles that suck and hold electronic components. A nozzle 120 shown in FIG. 8 is a load control type nozzle, and includes a base 130, a tip support portion 132, a tip portion 134, a spring 136, and a stopper 138. The base part 130 is a part connected to the shaft 32a. The nozzle 120 is in a state where it can move integrally with the shaft 32a by the base 130 being supported by the tip of the shaft 32a. The tip support portion 132 is a rod-like member extending in the Z-axis direction, and is connected to the base portion 130 in a slidable state. The distal end portion 134 is connected to the distal end of the distal end support portion 132. The tip portion 134 is the surface that is farthest from the base portion 130 and is in contact with the electronic component. One end of the spring 136 is connected to the base 130, and the other end is connected to the stopper 138. When the stopper 138 moves to the base portion 130 side, the spring 136 applies a force to the stopper 138 in a direction to move the stopper 138 to the original position. The stopper 138 is fixed at a position away from the tip support portion 132 by a certain distance.

ノズル120は、以上のような構成であり、無荷重の状態で基部130とストッパ138とが離れている。この状態から、先端部134に荷重を付与すると、先端支持部132、先端部134及びストッパ138が基部130に近づく方向に移動し、バネ136が縮む。さらに、先端部134に一定以上の荷重が付与されると、ノズル120aに示すように、ストッパ138と基部130とが接触する。またノズル120aは、ストッパ138が基部130と接触する位置まで移動すると、先端部134に付与される荷重が増大しても基本的に先端部134が移動しない状態となる。また、ノズル120aは、先端部134に付与された荷重が小さくなり、荷重よりもバネ136の反力が大きくなると、バネ136の反力で先端部134が基部130から離れる方向に移動し、荷重が0となるとノズル120の状態となる。   The nozzle 120 is configured as described above, and the base 130 and the stopper 138 are separated from each other in a no-load state. When a load is applied to the distal end portion 134 from this state, the distal end support portion 132, the distal end portion 134, and the stopper 138 move in a direction approaching the base portion 130, and the spring 136 contracts. Further, when a certain load or more is applied to the distal end portion 134, the stopper 138 and the base portion 130 come into contact as shown in the nozzle 120a. Further, when the nozzle 120a moves to a position where the stopper 138 contacts the base portion 130, the tip portion 134 basically does not move even if the load applied to the tip portion 134 increases. Further, when the load applied to the tip end portion 134 becomes smaller and the reaction force of the spring 136 becomes larger than the load, the nozzle 120a moves in a direction in which the tip end portion 134 moves away from the base portion 130 due to the reaction force of the spring 136. When becomes zero, the state of the nozzle 120 is reached.

ノズル120は、以上のような構成であり、先端支持部132にストッパ138を設け、バネ136と接続させることで、先端支持部132にバネを接続するよりもバネ136及び先端支持部132の稼動範囲を小さくすることができる。先端支持部132の稼動範囲を小さくすることで、先端支持部132の位置ずれを抑制でき、電子部品を吸着しやすくすることができる。また、ノズル120は、リジット時、つまり、ストッパ138と基部130とが接触している時、ストッパ138を基部130が面で押す構造となる。これにより、先端支持部132、先端部134等に力が集中することを抑制でき、ノズル120の耐久性を向上させ、高い負荷がかかっても破損しにくくすることができる。電子部品実装装置は、ノズル120を用い、荷重制御時、バネ136を充分に押し込みリジットとして、ヘッド15の各種手段により発生させた負荷を電子部品に高い伝達率で伝達する。これにより、検出した圧力と電子部品にかかる負荷との差を小さくすることができる。なお、電子部品実装装置10は、形状が同じでバネ定数が異なる、つまりリジットとなるまでの荷重(指定荷重)が異なるノズルを備えている。   The nozzle 120 is configured as described above, and by providing the stopper 138 on the tip support portion 132 and connecting it to the spring 136, the operation of the spring 136 and the tip support portion 132 is performed rather than connecting the spring to the tip support portion 132. The range can be reduced. By reducing the operating range of the tip support portion 132, it is possible to suppress the displacement of the tip support portion 132 and to easily attract the electronic components. Further, the nozzle 120 has a structure in which the base portion 130 pushes the stopper 138 with the surface at the rigid time, that is, when the stopper 138 and the base portion 130 are in contact with each other. Thereby, it can suppress that force concentrates on the front-end | tip support part 132, the front-end | tip part 134, etc., can improve the durability of the nozzle 120, and can make it difficult to break even if a heavy load is applied. The electronic component mounting apparatus uses the nozzle 120 to transmit the load generated by the various means of the head 15 to the electronic component at a high transmission rate by sufficiently pushing the spring 136 into the rigid at the time of load control. Thereby, the difference of the detected pressure and the load concerning an electronic component can be made small. The electronic component mounting apparatus 10 includes nozzles having the same shape and different spring constants, that is, different loads (designated loads) until becoming rigid.

図9及び図10を用いて、ノズルの動作と荷重との関係を説明する。図9は、ノズルの動作と検出した荷重との関係を示す説明図である。図10は、ノズルの動作の一例を示す説明図である。なお、図9及び図10は、ノズル120の先端部134をロードセル48に接触させ、ロードセル48で荷重を検出している。また、図9に示す縦軸としてZ軸動作と荷重の2つを示す。Z軸動作は、鉛直方向下側の向きの移動速度を正、つまり下降する移動を正の方向とした場合の移動速度を示している。荷重は、ロードセルが検出した荷重である。なお、ヘッドに設けられた荷重検出部で荷重を検出する場合も同様の制御を行う。この場合、ノズルと電子部品とが接触した状態での荷重、電子部品を吸着したノズルと基板とが接触した状態での荷重を検出する。当接検知荷重は、ノズルが接触したと判定する基準の荷重であり、指定荷重は、電子部品の吸着時や、電子部品を基板に搭載する際に当該ノズルに付与すると設定した荷重である。   The relationship between nozzle operation and load will be described with reference to FIGS. 9 and 10. FIG. 9 is an explanatory diagram showing the relationship between the operation of the nozzle and the detected load. FIG. 10 is an explanatory diagram illustrating an example of the operation of the nozzle. 9 and 10, the tip portion 134 of the nozzle 120 is brought into contact with the load cell 48, and the load cell 48 detects the load. In addition, the vertical axis shown in FIG. 9 shows the Z-axis operation and the load. The Z-axis operation indicates the movement speed when the movement speed in the downward direction in the vertical direction is positive, that is, when the downward movement is the positive direction. The load is a load detected by the load cell. The same control is performed when a load is detected by a load detector provided in the head. In this case, a load in a state where the nozzle and the electronic component are in contact with each other, and a load in a state in which the nozzle that adsorbs the electronic component and the substrate are in contact with each other are detected. The contact detection load is a reference load for determining that the nozzle is in contact, and the designated load is a load set to be applied to the nozzle when the electronic component is attracted or when the electronic component is mounted on the substrate.

ヘッド15は、ノズル120がZ軸方向において所定の高さにある状態から、下降を行い、所定高さまで下降したら減速し、所定の高さまで下降した時間t1で一度停止する。その後、所定高さまで下降する際の速度よりも低い速度(基板接触速度)で再び下降を開始する。また、電子部品実装装置は、時間t1で基板接触速度での下降を開始したら、ロードセル48での荷重の検出を開始する。その後、ノズルの下降を続け、時間t2でロードセルが当接検知荷重以上の荷重を検出したら、電子部品とロードセルが接触したと判定する。つまり、図10のノズル120の状態からノズル120bの状態に移行したと判定する。   The head 15 descends from a state where the nozzle 120 is at a predetermined height in the Z-axis direction, decelerates when the nozzle 120 descends to the predetermined height, and stops once at a time t1 when the nozzle 120 descends to the predetermined height. Thereafter, the descent is started again at a speed (substrate contact speed) lower than the speed when descent to the predetermined height. In addition, when the electronic component mounting apparatus starts descending at the substrate contact speed at time t <b> 1, the electronic component mounting apparatus starts detecting the load in the load cell 48. Thereafter, the nozzle continues to descend, and when the load cell detects a load greater than the contact detection load at time t2, it is determined that the electronic component and the load cell are in contact. That is, it is determined that the state of the nozzle 120 in FIG. 10 has shifted to the state of the nozzle 120b.

ヘッド15は、時間t2で接触を検出してから一定時間経過した時間t3でノズルの下降を一旦停止させ、基板接触速度よりもさらに低い速度(荷重制御速度)での下降を開始する。ここで時間t2から時間t3までの一定時間は、切り替え待ち時間となる。また、時間t2から時間t3の間もヘッドが下降するため、図10に示すヘッド120bからヘッド120cに示すように、先端部134がロードセル48に接触した状態で、基部130が下降し、バネが圧縮される。その後、ヘッド15は、時間t3で下降を再び開始した後、時間t4でノズル120がリジットな状態となる。つまり、図10のノズル120dに示すようにストッパ138と基部130とが接触した状態となる。   The head 15 temporarily stops the descent of the nozzle at a time t3 after a predetermined time has elapsed after detecting contact at time t2, and starts descent at a speed (load control speed) lower than the substrate contact speed. Here, a fixed time from time t2 to time t3 is a switching waiting time. Further, since the head is lowered from time t2 to time t3, as shown in the head 120b to the head 120c shown in FIG. 10, the base portion 130 is lowered and the spring is moved with the distal end portion 134 in contact with the load cell 48. Compressed. Thereafter, after the head 15 starts to descend again at time t3, the nozzle 120 is in a rigid state at time t4. That is, the stopper 138 and the base 130 are in contact with each other as shown by the nozzle 120d in FIG.

ヘッド15は、ノズル120がリジットな状態となった後も、下降動作を継続することで、図9の時間t4から時間t5に示すように先端部134からロードセル48に付与される荷重を増大させる。ヘッド15は、停止後指定荷重となると判定した時間t5で下降速度の減速を開始し、停止することで、指定荷重でノズルの移動を停止させる。また、ヘッド15は、所定の作業が終了したら、時間t6でノズルの上昇を開始する。   The head 15 continues the lowering operation even after the nozzle 120 is in a rigid state, thereby increasing the load applied to the load cell 48 from the distal end portion 134 as shown from time t4 to time t5 in FIG. . The head 15 starts to decelerate the descending speed at time t5 when it is determined that the specified load is reached after the stop, and stops the movement of the nozzle with the specified load by stopping. Further, the head 15 starts to raise the nozzle at time t6 when the predetermined work is completed.

荷重制御用のノズルは、以上のような動作で挙動が制御される。また、電子部品実装装置10は、種々の電子部品を実装するために特性が異なる複数のノズルを備えている。また、ノズルは、種類によってバネストロークや当接荷重、指定荷重が異なるため、同様の条件で制御を行うと、適切な制御を行うことができない。   The behavior of the load control nozzle is controlled by the operation described above. The electronic component mounting apparatus 10 includes a plurality of nozzles having different characteristics in order to mount various electronic components. Moreover, since the spring stroke, the contact load, and the specified load differ depending on the type, proper control cannot be performed if the nozzle is controlled under the same conditions.

本実施形態の電子部品実装装置10は、制御装置20の記憶領域に、ノズルの特性のデータを記憶し、記憶したデータに基づいて各ノズルの動作、特に荷重制御用のノズルの動作を制御する。   The electronic component mounting apparatus 10 according to the present embodiment stores nozzle characteristic data in the storage area of the control device 20, and controls the operation of each nozzle, particularly the load control nozzle, based on the stored data. .

ここで、図11は、ノズルの特性の一例を示す説明図である。記憶領域は、図11に示すようにノズル毎に、先端X方向幅、先端Y方向幅、ノズルタイプ、当接荷重、バネストローク等の情報を記憶している。ノズルの特性としては、さらに指定荷重の上限値を含んでいてもよい。なお、ノズルの特性のうち、先端X方向幅、先端Y方向幅、ノズルタイプ等は、オペレータが操作部40に入力した情報を用いてもよい。電子部品実装装置10は、レーザ認識装置38やVCSユニット17で形状を検出してもよいし、各種計測の結果に基づいてノズルタイプを特定してもよい。また、電子部品実装装置10は、当接荷重やバネストロークも計測によって検出することができる。   Here, FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of the characteristics of the nozzle. As shown in FIG. 11, the storage area stores information such as the tip X-direction width, the tip Y-direction width, the nozzle type, the contact load, and the spring stroke for each nozzle. The nozzle characteristics may further include an upper limit value of the designated load. Of the nozzle characteristics, information input by the operator to the operation unit 40 may be used for the tip X-direction width, the tip Y-direction width, the nozzle type, and the like. The electronic component mounting apparatus 10 may detect the shape with the laser recognition device 38 or the VCS unit 17 or may specify the nozzle type based on the results of various measurements. Moreover, the electronic component mounting apparatus 10 can also detect the contact load and the spring stroke by measurement.

以下、ノズルの特性(ノズルデータ)の取得処理について説明する。図12は、電子部品実装装置の動作の一例を示すフローチャートである。図13は、電子部品実装装置の動作の一例を示す説明図である。図14は、電子部品実装装置の動作の一例を示すフローチャートである。図12及び図14に示す処理は、制御装置20が各部の動作を制御することで実現することができる。   Hereinafter, the process of acquiring the nozzle characteristics (nozzle data) will be described. FIG. 12 is a flowchart illustrating an example of the operation of the electronic component mounting apparatus. FIG. 13 is an explanatory diagram illustrating an example of the operation of the electronic component mounting apparatus. FIG. 14 is a flowchart illustrating an example of the operation of the electronic component mounting apparatus. The processing illustrated in FIGS. 12 and 14 can be realized by the control device 20 controlling the operation of each unit.

制御装置20は、ステップS200として、ノズルを装着させる。具体的には、ノズルの特性を取得する対象のノズルをヘッドに装着させる。制御装置20は、ステップS200でノズルを装着させたら、ステップS202として、ノズル先端形状を取得する。具体的には、レーザ認識装置38によって、ノズルの形状を検出する。具体的には、ノズルの先端(鉛直方向下側の端部)を特定し、当該高さにおけるノズルの形状を計測することで、ノズル先端サイズ(X方向幅、Y方向幅)を検出する。   The controller 20 mounts the nozzle as step S200. Specifically, the target nozzle for acquiring the nozzle characteristics is mounted on the head. After mounting the nozzle in step S200, the control device 20 acquires the nozzle tip shape in step S202. Specifically, the shape of the nozzle is detected by the laser recognition device 38. Specifically, the nozzle tip size (X-direction width, Y-direction width) is detected by specifying the tip of the nozzle (vertical lower end) and measuring the shape of the nozzle at that height.

制御装置20は、ステップS202で先端の形状を検出したら、ステップS204として、先端形状に基づいた分類を行う。具体的には、制御装置20は、検出した先端の形状と同じ形状のノズルを記憶領域に記憶されたデータから抽出する。   If the shape of the tip is detected in step S202, the control device 20 performs classification based on the tip shape in step S204. Specifically, the control device 20 extracts a nozzle having the same shape as the detected tip shape from the data stored in the storage area.

制御装置20は、ステップS204で分類を行ったら、ステップS206として、ノズル分類が完了しているか、つまり対象のノズルが特定できたかを判定する。具体的には、制御装置20は、記憶領域から抽出した同一形状のノズルが1つの場合、ノズル分類完了と判定し、2つ以上または0である場合、ノズル分類が完了していないと判定する。制御装置20は、ステップS206でノズル分類が完了していない(ステップS206でNo)と判定した場合、ステップS210に進む。   After performing the classification in step S204, the control device 20 determines in step S206 whether the nozzle classification has been completed, that is, whether the target nozzle has been identified. Specifically, the control device 20 determines that the nozzle classification is complete when there is one nozzle having the same shape extracted from the storage area, and determines that the nozzle classification is not complete when the number is two or more or zero. . When it is determined in step S206 that the nozzle classification is not completed (No in step S206), the control device 20 proceeds to step S210.

制御装置20は、ステップS206で、抽出したノズルが2つ以上あり、かつ、通常用のノズルと荷重制御用のノズルを含んでいる場合、当該荷重制御用のノズルのストッパの位置の高さで形状を計測し、ノズルの種類を判定してもよい。具体的には、図13に示すように、荷重制御用のノズルのストッパが配置される高さ150の位置の形状を計測することで、測定対象のノズルがストッパ138を備える荷重制御用のノズル120であるか、ストッパを備えない通常用のノズル140であるかを識別することができる。ここで、ノズル140は、一方の端部が先端部134と接続され、他方の端部が基部130に接続されたバネ148が配置されている。また、制御装置20は、ノズルが通常用のノズルであると判定した場合、ノズルの特性の検出処理を終了してもよい。   If there are two or more extracted nozzles and includes a normal nozzle and a load control nozzle in step S206, the control device 20 determines the height of the position of the stopper of the load control nozzle. The shape may be measured to determine the type of nozzle. Specifically, as shown in FIG. 13, by measuring the shape at the height 150 where the stopper for the load control nozzle is disposed, the nozzle for measurement includes the stopper 138. Whether it is 120 or a normal nozzle 140 without a stopper can be identified. Here, the nozzle 140 is provided with a spring 148 having one end connected to the distal end 134 and the other end connected to the base 130. Further, when it is determined that the nozzle is a normal nozzle, the control device 20 may end the nozzle characteristic detection process.

制御装置20は、ステップS206でノズル分類完了(ステップS206でYes)と判定した場合、ステップS208として、荷重制御用のノズルであるかを判定する。制御装置20は、ステップS208で荷重制御用のノズルである(ステップS208でYes)と判定した場合、ステップS210に進む。制御装置20は、ステップS208で荷重制御用のノズルではない(ステップS208でNo)と判定した場合、ステップS230に進む。   When it is determined in step S206 that the nozzle classification is completed (Yes in step S206), the control device 20 determines in step S208 whether the nozzle is for load control. If the control device 20 determines in step S208 that the nozzle is for load control (Yes in step S208), the control device 20 proceeds to step S210. When determining that the nozzle is not a load control nozzle (No in Step S208) in Step S208, the control device 20 proceeds to Step S230.

制御装置20は、ステップS206でNoまたはステップS208でYes、つまり、記憶領域からノズルが2つ以上抽出されたか1つも抽出されなかった場合、または、対象が荷重制御用のノズルであると判定した場合、ステップS210として、ヘッド15をロードセル48上に移動させる。なお、本実施形態では、ロードセル48を用いたが、ヘッド15にノズルの荷重を検出する機構(荷重検出部)が設置されている場合、水平な台(電子部品の仮置き台等)に移動し、荷重の検出は、ヘッドに備えられている荷重検出部で実行してもよい。   The control device 20 determines No in step S206 or Yes in step S208, that is, if two or more nozzles are extracted from the storage area or none is extracted, or the target is a nozzle for load control. In this case, the head 15 is moved onto the load cell 48 as step S210. In this embodiment, the load cell 48 is used. However, when a mechanism for detecting the load of the nozzle (load detection unit) is installed in the head 15, the load cell 48 is moved to a horizontal table (such as a temporary table for electronic components). The load detection may be performed by a load detection unit provided in the head.

制御装置20は、ステップS210でヘッド15をロードセル48上に移動させたら、ステップS212としてバキュームをONする。つまりノズルの吸引動作を開始する。ノズルで吸引動作を行うことでノズル内が負圧となり、実際の部品搭載時と同様の環境となる。具体的には、ノズル内を負圧にすることで、バネ定数に基づいて検出した理論値よりも実際の検出荷重が低くなる状態とする。   After moving the head 15 onto the load cell 48 in step S210, the control device 20 turns on the vacuum in step S212. That is, the nozzle suction operation is started. By performing the suction operation with the nozzle, the inside of the nozzle becomes negative pressure, and the environment is the same as when actual components are mounted. Specifically, by setting the inside of the nozzle to a negative pressure, the actual detected load becomes lower than the theoretical value detected based on the spring constant.

制御装置20は、ステップS212でバキュームをONにしたら、ステップS214として当接荷重を検出する。具体的には、制御装置20は、ノズルを徐々に下降させ、つまりロードセル48に近づけ、ロードセル48でノズルが接触したと判定する荷重を検出するまで、ノズルを移動させる。   When the vacuum is turned on in step S212, the control device 20 detects the contact load in step S214. Specifically, the control device 20 gradually lowers the nozzle, that is, moves closer to the load cell 48 until the load cell 48 detects a load that determines that the nozzle is in contact with the load cell 48.

制御装置20は、ステップS214で当接荷重を取得したら、ステップS216として、検知高さから10mmまでの荷重値を取得する。つまり、制御装置20は、当接荷重を検出した位置からノズルをさらに10mm下降させ、ロードセル48でノズルが各位置にある場合の荷重を検出する。制御装置20は、例えば、ノズルを0.1mm間隔で下降させ、各位置で荷重を検出する。検出した位置と荷重の関係は、記憶領域に記憶させる。   After acquiring the contact load in step S214, the control device 20 acquires a load value from the detected height to 10 mm as step S216. That is, the control device 20 further lowers the nozzle by 10 mm from the position where the contact load is detected, and detects the load when the nozzle is at each position by the load cell 48. For example, the control device 20 lowers the nozzle at intervals of 0.1 mm and detects the load at each position. The relationship between the detected position and the load is stored in the storage area.

制御装置20は、ステップS216で荷重値を取得したら、ステップS218として、荷重制御用ノズルに異常があるかを判定する。以下、図14を用いて、荷重制御用のノズルの判定処理について説明する。   After acquiring the load value in step S216, the control device 20 determines whether there is an abnormality in the load control nozzle as step S218. Hereinafter, the determination process of the load control nozzle will be described with reference to FIG.

制御装置20は、ステップS240で戻り値を異常なしにする。つまり、後述する判定結果を示す値を初期状態に戻す。制御装置20は、ステップS240で戻り値を初期化したら、ステップS242としてAに荷重値、具体的には、ステップS214で検出した当接荷重を代入し、ステップS244としてBに最終取得値、具体的には、ステップS216で検出した値のうち、最後に検出した値を代入し、ステップS246としてAとBの比較を行う。   The control device 20 sets the return value to no abnormality in step S240. That is, a value indicating a determination result described later is returned to the initial state. After initializing the return value in step S240, the control device 20 substitutes the load value for A in step S242, specifically, the contact load detected in step S214, and the final acquired value for B in step S244. Specifically, the last detected value among the values detected in step S216 is substituted, and A and B are compared in step S246.

制御装置20は、ステップS246でA>Bつまり、最終取得値より荷重値のほうが大きいと判定した場合、ステップS248として、戻り値を異常ありとして、本処理を終了する。つまり、最終取得値より荷重値のほうが大きい場合、計測またはノズル自体に異常があると判定して、本処理を終了する。   When it is determined in step S246 that A> B, that is, the load value is larger than the final acquired value, the control device 20 determines that the return value is abnormal in step S248 and ends the present process. That is, when the load value is larger than the final acquired value, it is determined that there is an abnormality in the measurement or the nozzle itself, and this process ends.

制御装置20は、ステップS246でA=Bつまり、最終取得値と荷重値が同じであると判定した場合、ステップS250として、ノズルのタイプが通常型のノズルであると判定して、本処理を終了する。この場合、戻り値は異常なしとなる。なお、制御装置20は、AとBとの差がしきい値以内の場合、つまり、同一だけではなく近い値である場合、ノズルのタイプが通常型のノズルであると判定してもよい。   When it is determined in step S246 that A = B, that is, the final acquired value and the load value are the same, the control device 20 determines in step S250 that the nozzle type is a normal type nozzle, and performs this process. finish. In this case, the return value is not abnormal. The control device 20 may determine that the nozzle type is a normal nozzle when the difference between A and B is within a threshold value, that is, when the difference is not only the same but also a close value.

制御装置20は、ステップS246でA<Bつまり、最終取得値より荷重値のほうが小さいと判定した場合、ステップS252として、ノズルのタイプが荷重制御型のノズルであると判定する。制御装置20は、ステップS252で荷重制御型のノズルであると判定したら、ステップS254として、Cにノズル情報テーブル、つまり記憶領域に記憶されているノズルの特性データに記憶されている対応するノズルの当接荷重値を代入する。制御装置20は、ステップS254で値を代入したら、ステップS256として(A−C)の絶対値が閾値未満であるかを判定する。   When it is determined in step S246 that A <B, that is, the load value is smaller than the final acquired value, the control device 20 determines in step S252 that the nozzle type is a load control type nozzle. If the control device 20 determines that the nozzle is a load control type nozzle in step S252, in step S254, the control device 20 stores the nozzle information table in C, that is, the corresponding nozzle stored in the nozzle characteristic data stored in the storage area. Substitute the contact load value. After substituting the value in step S254, the control device 20 determines whether or not the absolute value of (AC) is less than the threshold value in step S256.

制御装置20は、ステップS256で(A−C)の絶対値が閾値未満ではない、つまり閾値以上である(ステップS256でNo)と判定した場合、そのまま本処理を終了する。制御装置20は、ステップS256で(A−C)の絶対値が閾値未満である(ステップS256でYes)と判定した場合、ステップS258として、戻り値を異常ありとして、本処理を終了する。   When it is determined in step S256 that the absolute value of (AC) is not less than the threshold value, that is, the control device 20 determines that the absolute value is equal to or greater than the threshold value (No in step S256), the process ends. When it is determined in step S256 that the absolute value of (AC) is less than the threshold value (Yes in step S256), the control device 20 determines that the return value is abnormal in step S258, and ends this process.

制御装置20は、図14に示す処理で異常なし(ステップS218でNo)と判定した場合、ステップS220として、ノズル情報を保存し、つまり検出した情報をノズルの特性として保存し、ステップS230に進む。ここで、ノズルの特性としては、荷重制御用のノズルである場合、ステップS214で取得した当接荷重値を当接荷重とし、ステップS216で検出した荷重値と位置とに基づいて算出した関係をバネストロークとして記憶する。さらに、必要に応じてノズルの形状等も記憶する。制御装置20は、図14に示す処理で異常あり(ステップS218でYes)と判定した場合、ステップS222として、エラー表示を行い、ステップS230に進む。なお、エラー表示を行った場合、ノズルの特性の検出が正常に行われていないので、取得したデータは、ノズルの特性として記憶しない。   When it is determined that there is no abnormality in the process shown in FIG. 14 (No in step S218), the control device 20 stores the nozzle information as step S220, that is, stores the detected information as the characteristics of the nozzle, and proceeds to step S230. . Here, as a characteristic of the nozzle, in the case of a nozzle for load control, the contact load value acquired in step S214 is set as the contact load, and the relationship calculated based on the load value and the position detected in step S216 is as follows. Memorize as spring stroke. Further, the shape of the nozzle and the like are stored as necessary. When it is determined that there is an abnormality in the process shown in FIG. 14 (Yes in step S218), the control device 20 displays an error as step S222 and proceeds to step S230. Note that when error display is performed, since the nozzle characteristics are not normally detected, the acquired data is not stored as the nozzle characteristics.

制御装置20は、ステップS208でNoと判定した場合、ステップS220、またはステップS222の処理を行った場合、対象のノズルについてノズルの特性の検出処理を終了したと判定し、ステップS230としてノズルを返却し、例えば交換ノズル保持機構18の所定位置に戻して、本処理を終了する。   When it is determined No in step S208, or when the process of step S220 or step S222 is performed, the control device 20 determines that the nozzle characteristic detection process for the target nozzle has ended, and returns the nozzle as step S230. Then, for example, the replacement nozzle holding mechanism 18 is returned to a predetermined position, and this process is terminated.

電子部品実装装置10は、上述した処理で検出したノズルの特性に基づいて、電子部品の実装動作時にノズルの状態を判定することが好ましい。ここで、電子部品実装装置10による検査動作に付いて説明する。なお、基板の生産動作は、上述した処理を行うものであるので、詳細な説明を省略し、ノズルの状態の判定に係る処理を重点的に説明する。   The electronic component mounting apparatus 10 preferably determines the state of the nozzle during the mounting operation of the electronic component based on the nozzle characteristics detected by the above-described processing. Here, the inspection operation by the electronic component mounting apparatus 10 will be described. Since the substrate production operation performs the above-described processing, detailed description will be omitted, and processing relating to determination of the state of the nozzle will be mainly described.

制御装置20は、基板の生産が開始されると、指定された生産プログラムデータを参照し、搭載する電子部品のデータから使用するノズルを検出し、検出したノズルをヘッドに装着する。制御装置20は、ヘッドにノズルを装着させたら、レーザ認識装置38でノズルの先端の形状を検出し、記憶領域のノズルの特性データと比較し、装着したノズルの種類が正しいかを判定する。また、制御装置20は、レーザ認識装置38で所定高さ(ストッパが形成されている高さ)の形状を検出し、記憶領域のノズルの特性データと比較し、装着したノズルの種類が正しいかを判定する。   When the production of the substrate is started, the control device 20 refers to the designated production program data, detects the nozzle to be used from the data of the electronic component to be mounted, and mounts the detected nozzle on the head. When the nozzle is mounted on the head, the control device 20 detects the shape of the tip of the nozzle with the laser recognition device 38 and compares it with the characteristic data of the nozzle in the storage area to determine whether the type of the mounted nozzle is correct. Further, the control device 20 detects the shape of a predetermined height (the height at which the stopper is formed) by the laser recognition device 38, compares it with the characteristic data of the nozzles in the storage area, and confirms whether the type of the mounted nozzle is correct. Determine.

制御装置20は、装着したノズルが通常用のノズルである場合(搭載する電部部品が非荷重生産部品である場合)、生産プログラムに基づいて、電子部品の吸着、搭載の動作を行う。電子部品実装装置10は、装着したノズルが荷重制御用のノズルである場合(搭載する電子部品が荷重生産部品である場合)も、生産プログラムに基づいて、電子部品の吸着、搭載の動作を行う。このとき、制御装置20は、搭載動作時は、図9に示す動作で電子部品の搭載を行う。つまり、搭載時にノズルを用いて、基板に電子部品を指定荷重まで押し込む。ここで、当接荷重値は、ノズルの特性データの当接荷重値を用い、制御切り替え待ち時間は、ノズルの特性データのバネストローク/荷重制御用速度+マージン値を用いる。制御装置20は、当接検知荷重制御切り替え待ち時間を使用して荷重動作を実施し、指定荷重値への到達時に指定荷重値に対して許容範囲以上の荷重が発生した場合は使用していたノズルを使用不可ノズル、つまりノズルの特性データを再取得するまで生産動作では使用できない設定とし、ノズル状態確認を警告するエラー情報を出力する。   When the mounted nozzle is a normal nozzle (when the electric component to be mounted is a non-load production component), the control device 20 performs the operation of sucking and mounting the electronic component based on the production program. Even when the mounted nozzle is a load control nozzle (when the electronic component to be mounted is a load production component), the electronic component mounting apparatus 10 performs the operation of sucking and mounting the electronic component based on the production program. . At this time, the control device 20 mounts the electronic component by the operation shown in FIG. 9 during the mounting operation. In other words, the electronic component is pushed into the board to the specified load using the nozzle at the time of mounting. Here, the contact load value uses the contact load value of the nozzle characteristic data, and the control switching waiting time uses the spring stroke / load control speed + margin value of the nozzle characteristic data. The control device 20 performs the load operation using the contact detection load control switching waiting time, and is used when a load exceeding an allowable range is generated when the specified load value is reached. The nozzle is set to an unusable nozzle, that is, a setting that cannot be used in the production operation until the nozzle characteristic data is re-acquired, and error information for warning the nozzle state confirmation is output.

制御装置20は、電子部品の実装動作と並行して図15に示す処理を実行する。図15は、電子部品実装装置の動作の一例を示すフローチャートである。制御装置20は、ステップS270として、バネストローク=記憶領域に保存されているバネストロークとし、ステップS272として、Time1=制御切り替え待ち時間の完了時の時間とし、ステップS274として、Time2=指定荷重到達時の時間とし、ステップS276として、Time3=Time2−Time1とし、ステップS278として、Time4=バネストローク/荷重制御速度とする。ここで、荷重制御速度とは、荷重制御時のノズルの移動速度(下降速度)である。これにより、制御装置20は、制御切り替え待ち時間完了時(Time1)から指定荷重到達時(Time2)までの経過時間であるTime3と、押し込み速度の理論時間(バネストローク/荷重制御速度)であるTime4と、を算出する。   The control device 20 executes the process shown in FIG. 15 in parallel with the electronic component mounting operation. FIG. 15 is a flowchart illustrating an example of the operation of the electronic component mounting apparatus. At step S270, the control device 20 sets the spring stroke = the spring stroke stored in the storage area, sets the time 1 at the completion of the control switching waiting time at step S272, and sets the time 2 = when the specified load is reached at step S274. In step S276, Time3 = Time2-Time1 and in step S278, Time4 = spring stroke / load control speed. Here, the load control speed is the moving speed (lowering speed) of the nozzle during load control. As a result, the control device 20 has Time3, which is the elapsed time from the completion of the control switching waiting time (Time1) to the arrival of the specified load (Time2), and Time4, which is the theoretical time of the pushing speed (spring stroke / load control speed). And are calculated.

制御装置20は、ステップS270からステップS278の処理でTime3とTime4とを取得したら、ステップS280として、Time3とTime4とを比較する。制御装置20は、ステップS280でTime3とTime4の差異がない、つまりノズルの特性から算出した理論値と実際の値とが一致していると判定したら、そのまま本処理を終了する。   When the control device 20 obtains Time3 and Time4 by the processing from Step S270 to Step S278, it compares Time3 and Time4 as Step S280. If the control device 20 determines in step S280 that there is no difference between Time3 and Time4, that is, the theoretical value calculated from the characteristics of the nozzle matches the actual value, the present processing is terminated.

制御装置20は、ステップS280でTime3とTime4の差が一定範囲以上であると判定したら、ステップS282として、使用ノズルを使用不可と判定し、ステップS284として、バネストロークが異常であることを示す警告を出力し、本処理を終了する。   If the controller 20 determines that the difference between Time3 and Time4 is greater than or equal to a certain range in step S280, it determines that the nozzle used is unusable in step S282, and warns that the spring stroke is abnormal in step S284. Is output, and this process ends.

制御装置20は、ステップS280でTime3とTime4の差が一定範囲以内であると判定したら、ステップS286として、補正量=理論時間との差/荷重制御速度、つまり、実際の時間と理論時間との差を荷重制御速度で割った値を補正量として算出する。制御装置20は、ステップS286で補正量を算出したら、ステップS288として、Time3>Time4であるかを判定する。   If the controller 20 determines in step S280 that the difference between Time3 and Time4 is within a certain range, then in step S286, the correction amount = the difference between the theoretical time / load control speed, that is, the actual time and the theoretical time. A value obtained by dividing the difference by the load control speed is calculated as a correction amount. After calculating the correction amount in step S286, the control device 20 determines whether Time3> Time4 as step S288.

制御装置20は、ステップS288でTime3>Time4ではない(No)と判定した場合、ステップS290として、バネストローク=バネストローク−補正量とし、つまり、現状のバネストローク−補正量を新たなバネストロークとし、ステップS294に進む。制御装置20は、ステップS288でTime3>Time4である(Yes)と判定した場合、ステップS292として、バネストローク=バネストローク+補正量とし、つまり、現状のバネストローク+補正量を新たなバネストロークとし、ステップS294に進む。つまり、制御装置20は、実測値が理論値よりも一定値以上に早い場合は、制御切り替え待ち時間が長いと判断し、記憶領域に保存されているバネストロークを「理論値との差分時間/荷重制御速度」分短くする。また、制御装置20は、実測値が理論値よりも一定値以上に遅い場合は、制御切り替え待ち時間が短いと判断し、記憶領域に保存されているバネストロークを「理論値との差分時間/荷重制御速度」分長く変更する。   If it is determined in step S288 that Time3> Time4 is not satisfied (No), the control device 20 sets spring stroke = spring stroke−correction amount in step S290, that is, sets the current spring stroke−correction amount as a new spring stroke. The process proceeds to step S294. If it is determined in step S288 that Time3> Time4 (Yes), the control device 20 sets spring stroke = spring stroke + correction amount in step S292, that is, sets the current spring stroke + correction amount as a new spring stroke. The process proceeds to step S294. That is, the control device 20 determines that the control switching waiting time is long when the actual measurement value is faster than the theoretical value by a certain value or more, and determines the spring stroke stored in the storage area as “difference time / theoretical value / Reduce the load control speed ”. When the measured value is slower than the theoretical value by a certain value or more, the control device 20 determines that the control switching waiting time is short, and sets the spring stroke stored in the storage area as “difference time / theoretical value / Change the load control speed longer.

制御装置20は、ステップS290、S292の処理を行ったら、ステップS294として、記憶領域のバネストロークを更新し、つまり、ステップS290、S292の処理結果を反映させ、本処理を終了する。   After performing the processes in steps S290 and S292, the control device 20 updates the spring stroke in the storage area in step S294, that is, reflects the processing results in steps S290 and S292, and ends this process.

電子部品実装装置10は、上記処理を行うことで、次回荷重制御動作時に正常な動作時間となるように理論値の補正を行うことができる。このように、電子部品を実装する処理時においても、検査を行うことで、ノズルの個体差やバネの経時変化による不具合発生を早期に発見することができ、迅速に対応することが可能となる。また、電子部品実装装置10は、処理時間に基づいてノズルの検査を行うことで、ノズルの荷重の検出精度を高くしなくてもノズルの検査を行うことができる。   By performing the above processing, the electronic component mounting apparatus 10 can correct the theoretical value so that a normal operation time is obtained during the next load control operation. In this way, even during the process of mounting the electronic component, by performing inspection, it is possible to quickly detect the occurrence of problems due to individual differences in nozzles and changes over time in the spring, and it is possible to respond quickly. . In addition, the electronic component mounting apparatus 10 can inspect the nozzle based on the processing time without increasing the nozzle load detection accuracy.

電子部品実装装置10は、ノズルの特性データを検出し、その結果に基づいて電子部品の実装動作を実行することで、当接検知からバネの圧縮までの制御を高精度で行うことができ、荷重制御動作でのタクトのロスや品質の低下を抑制することができる。   The electronic component mounting apparatus 10 can detect the characteristic data of the nozzle and perform a mounting operation of the electronic component based on the result, thereby performing control from contact detection to spring compression with high accuracy. It is possible to suppress tact loss and quality degradation in the load control operation.

図16は、ノズルの動作と検出した荷重との関係を示す説明図である。図16の荷重制御動作を理論値(初期状態)としたときに、バネストロークが短いノズルや、経時変化によりバネが縮んだ場合の動作を示す。ヘッド15は、ノズル120がZ軸方向において所定の高さにある状態から、下降を行い、所定高さまで下降したら減速し、所定の高さまで下降した時間t11で一度停止する。その後、所定高さまで下降する際の速度よりも低い速度(基板接触速度)で再び下降を開始する。また、電子部品実装装置は、時間t11で基板接触速度での下降を開始したら、ロードセル48での荷重の検出を開始する。その後、ノズルの下降を続け、時間t12でロードセルが当接検知荷重以上の荷重を検出したら、電子部品とロードセルが接触したと判定する。その後、バネストロークが短い場合、バネの圧縮時間(時間t12から時間t13までの間)が短くなるため、制御切り替え待ち時間中にノズルがリジット状態となる。この時のZ軸動作速度は基板接触速度であるため、部品にかかる荷重が一気に上昇し、時間t14で指定荷重をオーバーしてしまう。電子部品実装装置は、時間t14で荷重が指定荷重を超えたと判定したら、移動速度をマイナス方向に変化させ、ノズルを上昇させる。ノズルを上昇させた時間t15で荷重が所定値より低くなったことを検出したら、ノズルの移動速度を減速させ、時間t16で指定荷重となったら、ノズルを停止させる。   FIG. 16 is an explanatory diagram showing the relationship between the operation of the nozzle and the detected load. When the load control operation in FIG. 16 is a theoretical value (initial state), an operation when the spring is contracted due to a nozzle having a short spring stroke or a change with time is shown. The head 15 descends from a state where the nozzle 120 is at a predetermined height in the Z-axis direction, decelerates when the nozzle 120 is lowered to the predetermined height, and stops once at a time t11 when the nozzle 120 is lowered to the predetermined height. Thereafter, the descent is started again at a speed (substrate contact speed) lower than the speed when descent to the predetermined height. In addition, when the electronic component mounting apparatus starts descending at the substrate contact speed at time t11, the electronic component mounting apparatus starts detecting the load in the load cell 48. Thereafter, the nozzle continues to descend, and when the load cell detects a load greater than the contact detection load at time t12, it is determined that the electronic component and the load cell are in contact. Thereafter, when the spring stroke is short, the compression time of the spring (between time t12 and time t13) is shortened, so that the nozzle is in a rigid state during the control switching waiting time. Since the Z-axis operation speed at this time is the board contact speed, the load applied to the component rises at a stretch and exceeds the specified load at time t14. When the electronic component mounting apparatus determines that the load has exceeded the specified load at time t14, the electronic component mounting apparatus changes the moving speed in the negative direction and raises the nozzle. When it is detected that the load has become lower than the predetermined value at time t15 when the nozzle is raised, the moving speed of the nozzle is reduced, and when the specified load is reached at time t16, the nozzle is stopped.

次に、図17は、ノズルの動作と検出した荷重との関係を示す説明図である。図17は、当接荷重値が低いバネでの動作で、バネ圧縮中でも当接検知荷重にならず、リジット状態になった後に当接検知となり、基板接触速度のまま指定荷重に到達し、指定荷重をオーバーしてしまう場合である。ヘッド15は、ノズル120がZ軸方向において所定の高さにある状態から、下降を行い、所定高さまで下降したら減速し、所定の高さまで下降した時間t21で一度停止する。その後、所定高さまで下降する際の速度よりも低い速度(基板接触速度)で再び下降を開始する。また、電子部品実装装置は、時間t21で基板接触速度での下降を開始したら、ロードセル48での荷重の検出を開始する。その後、ノズルの下降を続けても時間t22に示すようにロードセルが当接検知荷重に到達しないと、基板接触速度での下降が継続される。この場合、時間t23でノズルがリジットの状態なると荷重が急激に上昇し、時間t24で指定荷重をオーバーしてしまう。電子部品実装装置は、時間t24で荷重が指定荷重を超えたと判定したら、移動速度をマイナス方向に変化させ、ノズルを上昇させる。ノズルを上昇させた時間t25で荷重が所定値より低くなったことを検出したら、ノズルの移動速度を減速させ、時間t26で指定荷重となったら、ノズルを停止させる。その後、処理を終了した時間t27でノズルの上昇を開始させる。   Next, FIG. 17 is an explanatory diagram showing the relationship between the operation of the nozzle and the detected load. FIG. 17 shows an operation with a spring having a low contact load value. Even when the spring is compressed, the contact detection load is not detected, but contact detection is performed after the rigid state is reached, and the specified load is reached while the substrate contact speed is reached. This is the case when the load is exceeded. The head 15 descends from a state where the nozzle 120 is at a predetermined height in the Z-axis direction, decelerates when the nozzle 120 is lowered to the predetermined height, and stops once at a time t21 when the nozzle 120 is lowered to the predetermined height. Thereafter, the descent is started again at a speed (substrate contact speed) lower than the speed when descent to the predetermined height. In addition, when the electronic component mounting apparatus starts descending at the substrate contact speed at time t <b> 21, it starts detecting the load in the load cell 48. After that, if the load cell does not reach the contact detection load as shown at time t22 even if the nozzle continues to descend, the substrate contact speed continues to descend. In this case, when the nozzle is in a rigid state at time t23, the load increases rapidly, and the specified load is exceeded at time t24. If the electronic component mounting apparatus determines that the load has exceeded the specified load at time t24, the electronic component mounting apparatus changes the moving speed in the negative direction and raises the nozzle. When it is detected that the load has become lower than the predetermined value at time t25 when the nozzle is raised, the moving speed of the nozzle is reduced, and when the specified load is reached at time t26, the nozzle is stopped. Thereafter, the nozzle starts to rise at time t27 when the process is completed.

電子部品実装装置10は、ノズルの特性を記憶領域に記憶し、その記憶領域に検出した結果に基づいて、電子部品の実装を行うことで、図16や図17のような実装動作が起きることを抑制し、指定荷重以上の荷重が電子部品に付与されることを抑制することができる。これにより、高い品質の基板を製造することができる。   The electronic component mounting apparatus 10 stores the nozzle characteristics in a storage area, and mounts the electronic component based on the detection result in the storage area, whereby the mounting operation as shown in FIGS. 16 and 17 occurs. It is possible to suppress the application of a load greater than the specified load to the electronic component. Thereby, a high quality board | substrate can be manufactured.

次に、図18は、ノズルの動作と検出した荷重との関係を示す説明図である。図18は、ヘッドに荷重検出部を設け、この荷重検出部でノズルの荷重を検出する場合Z軸の摺動抵抗(ガタ)をノズルの荷重として検出し当接荷重を検出したと判定した時の動作である。電子部品実装装置10は、時間t31で荷重検出部がZ軸の摺動抵抗で生じた力を当接荷重として検出した場合、時間t31から制御切り替え時間が経過した時間t32で一旦停止し、その後、荷重制御速度で移動を開始する。その後、荷重制御速度で移動すると時間t33でノズルがリジット状態となり、荷重が上昇し、時間t34で指定荷重となったらノズルの移動を停止する。その後、処理を終了した時間でノズルの上昇を開始させる。図18は、誤って当接を検出しているため、減速が早くなり、当接荷重を適切に検出した場合よりも具体的には時間t35と時間t36の差分だけ、処理が遅れる。電子部品実装装置10は、上述したように、ノズルの特性データに基づいて理論値を検出し、その結果を用いつつ、比較を行うことで、高い精度で動作を制御することができる。   Next, FIG. 18 is an explanatory diagram showing the relationship between the operation of the nozzle and the detected load. FIG. 18 shows that when a load detection unit is provided in the head and the load of the nozzle is detected by this load detection unit, it is determined that the contact load is detected by detecting the Z-axis sliding resistance (backlash) as the nozzle load. Is the operation. When the load detection unit detects the force generated by the Z-axis sliding resistance as a contact load at time t31, the electronic component mounting apparatus 10 temporarily stops at time t32 when the control switching time has elapsed from time t31. Start moving at the load control speed. Thereafter, when moving at the load control speed, the nozzle is in a rigid state at time t33, the load increases, and when the specified load is reached at time t34, the movement of the nozzle is stopped. Thereafter, the nozzle rise is started at the time when the processing is completed. In FIG. 18, since the contact is erroneously detected, the deceleration is accelerated, and the processing is delayed by the difference between time t35 and time t36 more specifically than when the contact load is appropriately detected. As described above, the electronic component mounting apparatus 10 can control the operation with high accuracy by detecting the theoretical value based on the characteristic data of the nozzle and performing comparison while using the result.

また、電子部品実装装置10は、ノズルの特性データに基づいて、ノズルの所定高さの形状を検出することで、通常用のノズルと荷重制御用のノズル識別を容易に行うことができる。また、ノズルの先端の形状を検出することでもノズルの種類を識別することができる。これにより、種々の形状のノズルを用いる場合でも適切にノズルを特定することができる。また、それぞれのノズルについて特性を検出することで、バネストロークが異なるノズルや、ばね定数が異なる場合でもそれぞれの特性を高い精度で検出することができる。電子部品実装装置10は、ノズルを高い精度で特定できることで、荷重搭載時に通常ノズルを使用することを抑制できる。これにより、搭載時にバネストロークが長くなり荷重制御時間が長くなりタクトが低下することを抑制することができる。また、通常用ノズルを高荷重領域で使用しノズルが破損する恐れを低減することができる。また、バネ定数の異なるノズルを荷重搭載時に使用し、当接荷重が正しく制御できず、不良基板を作成してしまう恐れを低減できる。通常搭載時に荷重制御用ノズルを使用してしまい、設定された吸着動作ができず、部品を正しく吸着できなくなること、及び実装時の押し込み処理が出来ず搭載ズレが発生することを予防することができる。   Further, the electronic component mounting apparatus 10 can easily identify the normal nozzle and the load control nozzle by detecting the shape of the nozzle at a predetermined height based on the nozzle characteristic data. The type of nozzle can also be identified by detecting the shape of the nozzle tip. Thereby, even when using nozzles of various shapes, the nozzles can be specified appropriately. Further, by detecting the characteristics of each nozzle, it is possible to detect each characteristic with high accuracy even when the nozzle has a different spring stroke or when the spring constant is different. Since the electronic component mounting apparatus 10 can identify the nozzle with high accuracy, the electronic component mounting apparatus 10 can suppress the use of the normal nozzle during loading. Thereby, it is possible to suppress a decrease in tact due to a long spring stroke and a long load control time during mounting. In addition, it is possible to reduce the risk of the nozzle being damaged by using the normal nozzle in a high load region. In addition, when nozzles having different spring constants are used when a load is mounted, the contact load cannot be correctly controlled, and the risk of creating a defective substrate can be reduced. It is possible to prevent the use of the load control nozzle during normal mounting, which prevents the set suction operation from being performed, prevents parts from being correctly suctioned, and prevents mounting displacement due to the inability to perform push-in processing during mounting. it can.

また、本実施形態のヘッド15は、1台のヘッドでより多くの種類の電子部品を実装できるようにするため複数のノズルを備えている場合は、ノズル自動交換装置(本実施形態では交換ノズル保持機構とヘッド本体との組合せで実現されるヘッド交換動作)を使って実装生産中に各ノズルを種々の吸着ノズル、把持ノズルに交換できる。電子部品実装装置10は、搭載型電子部品及びリード型電子部品に対する大きさ、重さ、部品本体上面が吸着可能な平面を有するかどうか、及び部品本体を把持可能かどうか等の部品条件により、部品ごとに適切な吸着孔径の吸着ノズルまたは適切な形状の把持部材を備えた把持ノズルが指定され、生産プログラムに記憶されている。電子部品実装装置10は、生産プログラムに記憶されている電子部品とノズルとの対応関係に基づいて、ヘッドに装着するノズルを切り換えたり、ヘッド内で当該電子部品を保持するノズルを決定したりする。   Further, the head 15 of this embodiment has an automatic nozzle changer (in this embodiment, the replacement nozzle in the case where a plurality of nozzles are provided so that more types of electronic components can be mounted by one head. Each head can be replaced with various suction nozzles and gripping nozzles during mounting production using a head replacement operation realized by a combination of the holding mechanism and the head body. The electronic component mounting apparatus 10 is based on component conditions such as the size, weight, whether the upper surface of the component body has a suckable plane, and whether the component body can be gripped. A suction nozzle having an appropriate suction hole diameter or a gripping nozzle having a gripping member having an appropriate shape is designated for each part and stored in the production program. The electronic component mounting apparatus 10 switches the nozzle to be mounted on the head or determines the nozzle that holds the electronic component in the head based on the correspondence between the electronic component and the nozzle stored in the production program. .

電子部品実装装置は、部品供給ユニットに複数のラジアルリード型電子部品(ラジアルリード部品)をテープ本体に固定した電子部品保持テープ(ラジアル部品テープ)を装着し、当該電子部品保持テープで保持したラジアルリード型電子部品のリードを保持位置で切断し、当該保持位置にあるラジアルリード型電子部品をヘッドに備えた吸着ノズルまたは把持ノズルで保持可能とする電子部品供給装置を装着してもよい。   The electronic component mounting apparatus is a radial component in which an electronic component holding tape (radial component tape) in which a plurality of radial lead type electronic components (radial lead components) are fixed to a tape body is mounted on the component supply unit and held by the electronic component holding tape. An electronic component supply device that cuts the lead of the lead type electronic component at the holding position and can hold the radial lead type electronic component at the holding position with the suction nozzle or the grip nozzle provided in the head may be mounted.

8 基板、10 電子部品実装装置、11 筐体、12 基板搬送部、14、14f、14r 部品供給ユニット、15 ヘッド、16 XY移動機構、17 VCSユニット、18 交換ノズル保持機構、19 部品貯留部、20 制御装置、22 X軸駆動部、24 Y軸駆動部、30 ヘッド本体、31 ヘッド支持体、32 ノズル、34 ノズル駆動部、38 レーザ認識装置(ノズル形状検出部)、40 操作部、42 表示部、48 ロードセル、60 制御部、62 ヘッド制御部、64 部品供給制御部、80 電子部品、100 電子部品供給装置   8 substrate, 10 electronic component mounting apparatus, 11 housing, 12 substrate transport unit, 14, 14f, 14r component supply unit, 15 head, 16 XY moving mechanism, 17 VCS unit, 18 replacement nozzle holding mechanism, 19 component storage unit, 20 control device, 22 X axis drive unit, 24 Y axis drive unit, 30 head body, 31 head support, 32 nozzle, 34 nozzle drive unit, 38 laser recognition device (nozzle shape detection unit), 40 operation unit, 42 display Unit, 48 load cell, 60 control unit, 62 head control unit, 64 component supply control unit, 80 electronic component, 100 electronic component supply device

Claims (7)

電子部品を保持領域に供給する電子部品供給装置と、
前記電子部品供給装置から前記保持領域に供給される電子部品を保持するノズルと前記ノズルを上下駆動及び回転駆動させかつ前記ノズルに当該ノズルを駆動する空気圧を供給するノズル駆動部と前記ノズル及び前記ノズル駆動部を支持するヘッド支持体とを有するヘッド本体と、
前記ヘッド本体を移動させるヘッド移動機構と、
測定面に前記ノズルの先端が押し当てられることで生じる荷重を検出する荷重検出部と、
前記ノズルの形状を検出するノズル形状検出部と、
各部の動作を制御する制御装置と、を有し、
前記制御装置は、前記荷重検出部と前記ノズル形状検出部とを用いて、前記ノズルの外形、前記ノズルの先端部が基部側に移動した場合、先端部を元の位置に移動する方向の力を付与するバネの有無及びそのバネストロークの検出を行い、検出した結果を前記ノズルの特性として記憶し、記憶した前記ノズルの特性に基づいて、前記ノズル駆動部による前記ノズルの上下駆動を制御し、
前記ノズルの特性は、当接荷重値を含み、
前記制御装置は、前記ノズルの特性に含まれる前記バネストローク及び当接荷重値と、Z軸動作速度と、前記ノズルで前記電子部品を実装する実装動作時の各動作の実行時間と、に基づいて、前記ノズルの状態を判定することを特徴とする電子部品実装装置。
An electronic component supply device for supplying electronic components to the holding area;
A nozzle that holds an electronic component supplied from the electronic component supply device to the holding region, a nozzle drive unit that drives the nozzle up and down and rotates and supplies air pressure that drives the nozzle to the nozzle, the nozzle, and the nozzle A head body having a head support for supporting the nozzle drive unit;
A head moving mechanism for moving the head body;
A load detection unit for detecting a load generated by pressing the tip of the nozzle against the measurement surface;
A nozzle shape detection unit for detecting the shape of the nozzle;
A control device for controlling the operation of each part;
The control device uses the load detection unit and the nozzle shape detection unit to force the tip to move to the original position when the outer shape of the nozzle and the tip of the nozzle move to the base side. The presence / absence of a spring to be applied and the spring stroke thereof are detected, and the detected result is stored as the characteristics of the nozzle, and the vertical driving of the nozzle by the nozzle driving unit is controlled based on the stored characteristics of the nozzle. ,
The characteristics of the nozzle include a contact load value,
The control device is based on the spring stroke and the contact load value included in the characteristics of the nozzle, the Z-axis operation speed, and the execution time of each operation during the mounting operation of mounting the electronic component by the nozzle. An electronic component mounting apparatus characterized by determining the state of the nozzle.
前記制御装置は、前記ノズル形状検出部を用いて、前記ノズルのストッパの有無を検出し、前記ストッパを備える場合、前記ノズルが荷重制御用ノズルと判定し、
前記ストッパは、前記バネの前記基部側に固定されている端部とは反対側の端部が固定され、前記先端部と一体で移動することを特徴とする請求項1に記載の電子部品実装装置。
The control device detects the presence or absence of a stopper of the nozzle using the nozzle shape detection unit, and when the stopper is provided, determines that the nozzle is a load control nozzle,
2. The electronic component mounting according to claim 1, wherein the stopper has an end opposite to an end fixed to the base side of the spring and is moved integrally with the tip. apparatus.
前記荷重検出部は、ロードセルであることを特徴とする請求項1または2に記載の電子部品実装装置。   The electronic component mounting apparatus according to claim 1, wherein the load detection unit is a load cell. 前記ノズル形状検出部は、前記ヘッド支持体に連結されたレーザセンサであることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電子部品実装装置。   4. The electronic component mounting apparatus according to claim 1, wherein the nozzle shape detection unit is a laser sensor connected to the head support. 5. 前記制御装置は、前記ノズルで前記電子部品を実装する実装動作時の実動作時間を検出し、前記ノズルの特性から検出した理論値と前記実動作時間とを比較して、前記ノズルの前記バネストロークの変化を検出することを特徴とする請求項1からのいずれか一項に記載の電子部品実装装置。 The control device detects an actual operation time during a mounting operation in which the electronic component is mounted by the nozzle, compares the theoretical value detected from the characteristics of the nozzle with the actual operation time, and performs the spring of the nozzle. electronic component mounting apparatus according to any one of claims 1, wherein the detecting a change in stroke 4. 電子部品を保持領域に供給する電子部品供給装置と、  An electronic component supply device for supplying electronic components to the holding area;
前記電子部品供給装置から前記保持領域に供給される電子部品を保持するノズルと前記ノズルを上下駆動及び回転駆動させかつ前記ノズルに当該ノズルを駆動する空気圧を供給するノズル駆動部と前記ノズル及び前記ノズル駆動部を支持するヘッド支持体とを有するヘッド本体と、  A nozzle that holds an electronic component supplied from the electronic component supply device to the holding region, a nozzle drive unit that drives the nozzle up and down and rotates and supplies air pressure that drives the nozzle to the nozzle, the nozzle, and the nozzle A head body having a head support for supporting the nozzle drive unit;
前記ヘッド本体を移動させるヘッド移動機構と、  A head moving mechanism for moving the head body;
測定面に前記ノズルの先端が押し当てられることで生じる荷重を検出する荷重検出部と、  A load detection unit for detecting a load generated by pressing the tip of the nozzle against the measurement surface;
前記ノズルの形状を検出するノズル形状検出部と、  A nozzle shape detection unit for detecting the shape of the nozzle;
各部の動作を制御する制御装置と、を有し、  A control device for controlling the operation of each part;
前記制御装置は、前記荷重検出部と前記ノズル形状検出部とを用いて、前記ノズルの外形、前記ノズルの先端部が基部側に移動した場合、先端部を元の位置に移動する方向の力を付与するバネの有無及びそのバネストロークの検出を行い、検出した結果を前記ノズルの特性として記憶し、記憶した前記ノズルの特性に基づいて、前記ノズル駆動部による前記ノズルの上下駆動を制御し、  The control device uses the load detection unit and the nozzle shape detection unit to force the tip to move to the original position when the outer shape of the nozzle and the tip of the nozzle move to the base side. The presence / absence of a spring to be applied and the spring stroke thereof are detected, and the detected result is stored as the characteristics of the nozzle, and the vertical driving of the nozzle by the nozzle driving unit is controlled based on the stored characteristics of the nozzle. ,
かつ、前記ノズルで前記電子部品を実装する実装動作時の実動作時間を検出し、前記ノズルの特性から検出した理論値と前記実動作時間とを比較して、前記ノズルの前記バネストロークの変化を検出することを特徴とする電子部品実装装置。  And the actual operation time during the mounting operation of mounting the electronic component by the nozzle is detected, the theoretical value detected from the characteristics of the nozzle and the actual operation time are compared, and the change in the spring stroke of the nozzle An electronic component mounting apparatus characterized by detecting
前記制御装置は、前記理論値と前記実動作時間との差がしきい値以内である場合、正常と判定し、前記実動作時間に基づいて前記ノズルの特性を補正し、
前記理論値と前記実動作時間との差がしきい値以上である場合、異常と判定し、対象の前記ノズルを使用禁止の設定とすることを特徴とする請求項5または6に記載の電子部品実装装置。
When the difference between the theoretical value and the actual operation time is within a threshold value, the control device determines that it is normal, and corrects the characteristics of the nozzle based on the actual operation time,
7. The electron according to claim 5 , wherein when the difference between the theoretical value and the actual operation time is equal to or greater than a threshold value, it is determined as abnormal and the target nozzle is set to be prohibited from use. Component mounting equipment.
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3136832B1 (en) * 2014-04-22 2020-11-18 FUJI Corporation Load measurement method and recovery method
JP6280808B2 (en) * 2014-05-13 2018-02-14 ヤマハ発動機株式会社 Component mounting device and detection device
JP6415864B2 (en) * 2014-06-06 2018-10-31 Juki株式会社 Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method
WO2016016929A1 (en) * 2014-07-28 2016-02-04 富士機械製造株式会社 Nozzle storage container
JP6546801B2 (en) * 2015-07-16 2019-07-17 ヤマハ発動機株式会社 Component thickness measuring method and component mounting apparatus
US10935150B2 (en) * 2016-01-19 2021-03-02 Fuji Corporation Component mounter
JP6528133B2 (en) * 2016-03-04 2019-06-12 パナソニックIpマネジメント株式会社 Component mounting device
JP6781326B2 (en) * 2017-02-24 2020-11-04 株式会社Fuji Component mounting device
CN111713185B (en) * 2018-02-21 2022-02-11 株式会社富士 Component mounting system and component holding method
WO2019171481A1 (en) * 2018-03-07 2019-09-12 株式会社Fuji Component mounting system
WO2019193724A1 (en) * 2018-04-05 2019-10-10 株式会社Fuji Information processing device and information processing method
WO2019202655A1 (en) * 2018-04-17 2019-10-24 株式会社Fuji Mounting operation machine and confirmation method
JP6993506B2 (en) * 2018-05-30 2022-01-13 株式会社Fuji Component mounting system
JP7188735B2 (en) * 2018-08-01 2022-12-13 Thk株式会社 actuator
CN108718519B (en) * 2018-08-02 2024-03-29 昆山微容电子企业有限公司 Electronic component suction device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2554437B2 (en) * 1992-08-07 1996-11-13 ヤマハ発動機株式会社 Parts mounting method and device
JP2005166944A (en) * 2003-12-02 2005-06-23 Yamaha Motor Co Ltd Component mounting method and surface mounting machine
JP2006108384A (en) * 2004-10-05 2006-04-20 Juki Corp Mounting device, its mounting load correcting method and nozzle inspecting method
JP4884032B2 (en) * 2006-03-07 2012-02-22 山形カシオ株式会社 Nozzle type recognition control method and component mounting apparatus
JP2008227140A (en) * 2007-03-13 2008-09-25 Juki Corp Method and apparatus for mounting parts
JP5329164B2 (en) * 2008-09-26 2013-10-30 Juki株式会社 Method and apparatus for determining nozzle type of nozzle exchange device in surface mounter

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