JPWO2020183748A1 - パラジウム被覆銅ボンディングワイヤ、パラジウム被覆銅ボンディングワイヤの製造方法、及びこれを用いたワイヤ接合構造、半導体装置並びにその製造方法 - Google Patents
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- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
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- H01L2224/45663—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
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- H01L2224/85438—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
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Abstract
Description
ボール接合では、ボンディングワイヤの先端に溶融ボールを形成し、この溶融ボールを介してボンディングワイヤを、例えば、半導体素子上のアルミニウム電極表面に接続する。
また、本発明は、高温、高湿の環境においても接合信頼性を安定的に維持することができ、狭ピッチ接合においても、第一接合形状の真円性を向上することのできる半導体装置、特には、QFP(Quad Flat Packaging)、BGA(Ball Grid Array)、QFN(Quad For Non-Lead Packaging)のパッケージに好適で、車載用途に使用できる半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
また、本発明の半導体装置及びその製造方法によれば、狭ピッチ接合のショート不良の発生を抑制でき、高温、高湿の環境においても長期間優れた接合信頼性を安定的に維持することができる。
次に、フリーエアーボールの分析について説明する。上述したように本実施形態のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤは、FAB付きワイヤ分析を行ったとき(すなわち、実施形態のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤを用いてフリーエアーボールを形成して、第一接合せずに先端部分を分析したとき)、フリーエアーボールの先端部分の表面から5.0nm以上100.0nm以下の深さ方向の範囲で、銅とパラジウムの合計に対して、パラジウムを6.5〜30.0原子%含むパラジウム濃化領域が観測される。本実施形態のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤは、本実施形態の特定の濃度でパラジウムと硫黄族元素を含有することで、フリーエアーボールの先端部表面近傍にパラジウム濃化領域が安定的に形成され、第一接合の接合信頼性の長期維持を阻害するような、問題となる大きな引け巣の発生を抑制することができる。
次に、本実施形態のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤを用いて作製されるワイヤ接合構造及び接合構造分析について説明する。図1は、本実施形態のワイヤ接合構造10の一例を示す断面模式図である。図1に示すワイヤ接合構造10は、パラジウム被覆銅ボンディングワイヤをシリコン(Si)基板51上のアルミニウムを含む電極52表面にボール接合して形成される。図1はこのワイヤ接合構造10を、パラジウム被覆銅ボンディングワイヤのワイヤ長手方向の中心線Lを通り中心線Lに平行な面で切断した断面を表している。ワイヤ接合構造10は、ボール接合部20と、接合面21と、上記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤからなるワイヤ部22とを有している。ワイヤ部22の線径φはパラジウム被覆銅ボンディングワイヤの線径と等しい。
次に、本実施形態のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤの製造方法について説明する。本実施形態のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤは、芯材となる銅を主成分とする銅線材表面にパラジウムが被覆され、伸線加工及び、必要に応じて熱処理されることで得られる。パラジウム被覆後に金が被覆されてもよく、また、パラジウム又は金が被覆された後に、段階的に伸線や、熱処理が施されてもよい。
次に、上記実施形態のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤを用いた半導体装置について説明する。図7に示すように、本実施形態の半導体装置1は、半導体チップ2と、半導体チップ2上に設けられた、アルミニウムを含有するアルミニウム電極3と、半導体チップ2の外部に設けられた、金被覆を有する外部電極4と、アルミニウム電極3と外部電極4表面を接続するボンディングワイヤ5を有する。なお、図7では外部電極上に金被覆を有する場合を例に説明するが、金被覆に代えて、又は金被覆とともに銀被覆を有していても同様である。
パラジウムめっき後(金の層を有するものは金被覆後)の銅線材について稔回試験を行い、稔回試験後の線材表面の外観を光学実体顕微鏡(オリンパス社製、製品名:SZX16)で観察し、パラジウムの亀裂が芯材の銅まで達しているかどうかで評価した。亀裂が銅まで達していないものをワイヤ表面割れ無し(○)、亀裂が銅まで達しているものをワイヤ表面割れ有(×)と評価した。稔回試験は、前川試験機製作所製の装置(装置名:TO−202)を用いて、約20cmサンプリングしたワイヤの両端を固定して、時計回りに180度、反時計回りに180度回転させ、それを7セット行ったあと、外観を観察した。結果を表3、4に示す。なお、亀裂が銅まで達していたワイヤについては、これ以降の伸線加工のほか、引け巣やHAST評価等を実施しなかったので表中には未実施(−)と示した。
ワイヤ断面の結晶方位は次のように測定した。作製したパラジウム被覆銅ボンディングワイヤを、数センチ長さに切り出したワイヤ試料を複数本用意した。ワイヤ試料が伸びたりたるんだりしないように考慮しながら、金属(Agめっきフレーム)板上に真っ直ぐかつ平坦に貼り付けた。その後、金属板ごとワイヤ試料を円筒状の型(かた)に金属板が円筒の底面となるように入れ、型内に埋め込み樹脂を流し込んで、その後、硬化剤を添加して樹脂を硬化させた。続いて、硬化させたワイヤ試料入りの円筒状の樹脂を、ワイヤ長手方向の垂直断面が露出するように研磨器にて粗研磨した。その後、最終研磨によって切断面の仕上げをし、続いて、イオンミリングにより、研磨面の残留歪みを除去し、滑らかな表面を得た。なお、ワイヤ切断面がワイヤ長手方向と垂直になるようにイオンミリング装置を微調整した。
例1で得られた線径18μmのパラジウム被覆銅ボンディングワイヤをケイ・アンド・エス社製の装置(全自動Cu線ボンダー;IConn ProCu PLUS)型超音波装置にてアーク放電電流値(エレクトロン・フレーム・オフ(EFO)電流値)を65mAにして、放電時間を50〜1000μsの範囲で調節し、ボール径(FAB径)約32μm(ワイヤ線径の約1.8倍)のフリーエアーボールを形成した。フリーエアーボール形成雰囲気は、窒素ガス95.0体積%と水素ガス5.0体積%の混合ガスで、ガス流量5.0L/分でワイヤ先端にガスを吹き付けた。形成したフリーエアーボールの先端側(ワイヤネック部と反対側)の略中心を走査型オージェ電子分光分析装置(日本電子社製のJAMP−9500F(装置名))によって深さ方向分析した。オージェ電子分光分析装置の設定条件は、一次電子線の加速電圧10kV、電流50nA、ビーム径5μm、アルゴンイオンスパッタの加速電圧1kV、スパッタ速度2.5nm/分(SiO2換算)である。フリーエアーボールの先端部表面から深さ方向に5.0〜100.0nmまでに等間隔で9点以上分析したときの銅とパラジウムの合計に対する、パラジウムの平均濃度を求めた。分析箇所は具体的には、表面から略0〜30.0nmまでは、1.0nmごとに31箇所、31.0〜60.0nmまでは6nmごとに5箇所、61.0〜480.0nmまでは12.0nmごとに35箇所である。
また、上記と同じ条件で作成した30個のフリーエアーボールについてボール表面の、大きな引け巣の有無をSEMによって観察した。SEM観察写真において、引け巣の最大長が、12μmを超えるものを問題となる引け巣、12μm以下のものを問題とならない引け巣として評価した。なお、図2に問題とならない小さな引け巣のあるフリーエアーボール、図3に問題となる大きな引け巣のあるフリーエアーボールを表し、引け巣を写真中に破線で囲って示した。問題となる大きな引け巣は、図3に示されるように、フリーエアーボール表面に形成される大きなしわのような溝である。引け巣のないもの及び問題とならない程度の小さな引け巣を生じたものを引け巣無し(○)、問題となる引け巣が1個でもあったものを引け巣有り(×)と評価した。
第一接合の真円性は次のように通常接合の場合と狭ピッチ接合の場合に分けて行なった。通常接合の場合、フリーエアーボール径が32μmの例1において、上記と同様にフリーエアーボールを形成した。そして、第2ボール圧縮部20bの高さYが10μm、第2ボール圧縮部20bの接合面21に平行方向の最大幅X0が40μmとなるように、ボールボンディングの条件(ボール圧着力7.5gf、超音波印加出力70mA、ボール圧着時間15ms、圧着温度150℃)をボンダー装置にて調節し、チップのアルミニウム電極上にボールボンディングを形成した。他の実施例において、前記の接合面の最大幅X0がボール径の約1.2〜1.3倍となるように、ボールボンディング条件を調整した。
各例で得られたパラジウム被覆銅ボンディングワイヤについて、次のように試験片を作製して、通常接合及び狭ピッチ(小径ボール)接合の接合信頼性評価を行った。上記同様の全自動Cu線ボンダー装置にて、BGA(ball grid array)基板上の厚さ400μmのSiチップ上の厚さ2μmのAl−1.0質量%Si−0.5質量%Cu合金電極上に、それぞれ真円性評価における通常接合、狭ピッチ接合のフリーエアーボール、ボール接合及び第二接合と同様の条件でワイヤボンディングを行なった。
この試験片についてHAST装置(株式会社平山製作所、PCR8D)を用いて、130℃×85.0%RH(相対湿度)で400時間及び600時間保持した。各々の時間において保持前後に上記500回路の電気抵抗値を測定し、保持後の電気抵抗値が保持前の電気抵抗値の1.1倍を超えた回路が一つでもあると不良(×)、500回路全てにおいて抵抗値が1.1倍未満であった場合は優良(◎)と評価した。400時間保持後では、すべてのサンプルで電気抵抗は1.1倍未満であった。
また、試験片についてHTS装置(アドバンテック社製、DRS420DA)を用いて、220℃で2000時間保持した。保持前後に上記同様に500回路の電気抵抗値を測定し、保持後の電気抵抗値が保持前の電気抵抗値の1.1倍を超えた回路が一つでもあると不良(×)、500回路全てにおいて抵抗値が1.1倍未満であった場合は優良(◎)と評価した。HAST試験及びHTS試験の評価結果を表3、4、6に示す。表4中の「不良数」は、保持後の電気抵抗値が保持前の電気抵抗値の1.1倍を超えた回路の数である。
パラジウム濃化接合領域の観測は次のように行なった。例31で作製したワイヤを用いて、上記HAST及びHTS用の試験片作製の条件と同様にフリーエアーボールを形成した。そして、第2ボール圧縮部20bの高さYが10μm、第2ボール圧縮部20bの接合面21に平行方向の最大幅X0が40μmとなるように、ボールボンディングの条件をボンダー装置にて調節し、チップのアルミニウム電極上にボールボンディングを形成した。得られたボール接合部を、上述の方法でモールドし、ワイヤ長手方向の中心線に平行な面が露出するようにイオンミリング装置(日立ハイテクノロジーズ社製 IM4000)を用いて切断した。切断面を、ワイヤ側の所定箇所から接合面に垂直方向に電解放出形走査型電子顕微鏡/エネルギー分散型X線分光分析(FE−SEM/EDX)によってライン分析した。分析条件は、FE−SEM/EDXの設定として、加速電圧6keV、測定領域φ0.18μm、測定間隔0.02μmである。このライン分析箇所は図1に示すP1、P2と同様である。すなわち、第2ボール圧縮部の、接合面に平行方向の最大幅に対して、両端から8分の1の距離に位置する点を通るようにライン分析を行った。得られたFE−SEM/EDXプロファイルを図5及び図6に示す。図5、6より、アルミニウムが0.5質量%を超え95.0質量%以下の接合面近傍において、アルミニウム、銅及びパラジウムの合計に対して、パラジウムの割合2.0質量%以上のパラジウム濃化接合領域が存在することが分かる。また、パラジウム濃化接合領域の幅(深さ)は2点の平均で約220nmであった。
パラジウム濃化接合領域の占有率は上述の方法で求めた。すなわち、切断面を電子線マイクロアナライザ(EPMA)の面分析(加速電圧15kV、電流値290nA)によって観察し、パラジウム元素の強度差にてパラジウム濃化接合領域を特定し、それが検出された範囲の合計幅X1とした。接合面における第2ボール圧縮部20bの最大幅X0と、上記合計幅X1を用いて、占有率((X1/X0)×100(%))を算出した。また、EPMAの面分析において接合面21近傍のパラジウム強度が一番低い点(画像上一番薄い色の部分)をFE−SEM/EDXにてライン分析を行ったところパラジウム濃度がアルミニウム、銅及びパラジウムの合計に対して、2.0質量%以上あることを確認した。すなわち、占有率として算出した箇所はすべてパラジウム濃化接合領域であることが分かる。
次に、所定の実施例のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤについて、チップダメージの評価、及び、設定温度を5℃上昇させ、135℃で600時間の過酷仕様にしたHAST試験評価を行った。チップダメージ性能評価は、表7に示した各例で得られたパラジウム被覆銅ボンディングワイヤによって上記と同様の条件でボール接合を行い、ボール接合部直下の基板を光学顕微鏡で観察することによって行った。ボール接合部を100箇所観察した。例17は、特に使用上問題とならない小さな亀裂が1箇所あったため良(○)と表記した。その他の例は、亀裂が全く発生しなかったので優良(◎)と表記した。過酷仕様のHAST試験では、通常のHAST試験と同様に、試験後の電気抵抗の値が、試験前の1.1倍未満の例を◎、1.1倍以上1.2倍以下のものがあった例を○として評価した。なお、例1では、500回路中5回路で試験後の電気抵抗の値が、試験前の1.1倍以上1.2倍以下となったが、その他は全て1.1倍未満であった。また、総合評価としてチップダメージの評価と過酷仕様のHAST試験の結果がいずれも◎の例を◎、いずれか一方が○で他方が◎の例を○と評価した。結果を表7に示す。
Claims (20)
- 銅を主成分とする芯材と、前記芯材上のパラジウム層と、を有し、かつ硫黄族元素を含有するパラジウム被覆銅ボンディングワイヤであって、
前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤは、銅、パラジウム、および硫黄族元素の合計に対して、
1.0質量%以上4.0質量%以下のパラジウム、および
合計で50質量ppm以下の硫黄族元素を含み、かつ
5.0質量ppm以上12.0質量ppm以下の硫黄、
5.0質量ppm以上20.0質量ppm以下のセレン、または
15.0質量ppm以上50.0質量ppm以下のテルルを含み、
前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤの断面の結晶面におけるワイヤ長手方向の結晶方位<hkl>の内、<100>方位比率の総計が15%以上であり、かつ<111>方位比率が50%以下であり、前記<100>および<111>方位は、前記ワイヤ長手方向に対して角度差が15°以内の方位を含み、
前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤに、フリーエアーボールを形成したときに、前記フリーエアーボールの先端部分の表面から5.0nm以上100.0nm以下の深さ方向の範囲で、銅とパラジウムの合計に対して、パラジウムを6.5原子%以上30.0原子%以下含むパラジウム濃化領域が観測される、
パラジウム被覆銅ボンディングワイヤ。 - 前記芯材が、前記芯材の全体に対して、合計1質量ppm以上3質量%以下の、P、Au、Pd、Pt、Ni、Ag、Rh、In、Ga及びFeから選ばれる、1種以上の微量元素を含む、
請求項1に記載のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤ。 - 前記芯材が、P、Au、Pd、Pt、Ni、Ag、Rh、In、Ga及びFeから選ばれる1種以上の微量元素を含み、かつ
前記芯材が、
0.05質量%以上3質量%以下の、Au、Pd、Pt、Ni及びRhの少なくともいずれかを含む、前記微量元素、
0.01質量%以上0.7質量%以下の、In、Gaの少なくともいずれかを含む、前記微量元素、
5質量ppm以上500質量ppm以下の、Pを含む、前記微量元素、または
1質量ppm以上100質量ppm以下の、Ag、Feの少なくともいずれかを含む、前記微量元素、を含む、
請求項1又は2に記載のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤ。 - 前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤが、銅、パラジウム、および硫黄族元素の合計に対して、1.0質量%以上2.5質量%以下の、前記パラジウム層由来のパラジウムを含む、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤ。 - 前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤは、10μm以上25μm以下の、直径を有する、
請求項1乃至4のいずれか1項に記載のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤ。 - 前記フリーエアーボールは、窒素と水素の混合ガスの存在下で、前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤに65mAの放電電流を印加することで形成され、かつ前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤの直径の1.8倍の直径を有する、
請求項1乃至5のいずれか1項に記載のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤ。 - 前記パラジウム濃化領域のパラジウム濃度は、次の条件下でのオージェ電子分光分析によって測定される、
請求項1乃至6のいずれか1項に記載のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤ。
一次電子線の加速電圧:10kV、
設定値から算出される測定領域:15μm2以上20μm2以下、
スパッタリング用アルゴンイオンの加速電圧:1kV、
スパッタリング速度:2.5nm/分(SiO2換算) - 前記パラジウム層上に金の層を有する、
請求項1乃至7のいずれか1項に記載のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤ。 - 前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤが、このワイヤ全体に対して、6.0質量ppm以上10.0質量ppm以下の、硫黄(S)を含む、
請求項1乃至8のいずれか1項に記載のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤ。 - 前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤが、このワイヤ全体に対して、6.0質量ppm以上15.0質量ppm以下のセレン(Se)を含む、
請求項1乃至9のいずれか1項に記載のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤ。 - 前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤが、このワイヤ全体に対して、16.0質量ppm以上45.0質量ppm以下のテルル(Te)を含む、
請求項1乃至10のいずれか1項に記載のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤ。 - パラジウム被覆銅ボンディングワイヤの製造方法であって、
前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤが、銅を主成分とする芯材と、前記芯材上のパラジウム層と、を有し、硫黄族元素を含有し、
前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤが、銅、パラジウム、および硫黄族元素の合計に対して、
1.0質量%以上4.0質量%以下のパラジウム、および
合計で50質量ppm以下の硫黄族元素を含み、かつ
5.0質量ppm以上12.0質量ppm以下の硫黄、
5.0質量ppm以上20.0質量ppm以下のセレン、または
15.0質量ppm以上50.0質量ppm以下のテルルを含み、
前記製造方法が、
銅を主成分とする銅線材を準備する工程と、
前記銅線材の表面に前記硫黄族元素を含むパラジウム層を形成する工程と、
前記パラジウム層を形成した銅線材を50%以上伸ばす工程と、
前記伸ばした銅線材の伸び率が5%以上15%以下となるように熱処理する工程と、を具備する、
パラジウム被覆銅ボンディングワイヤの製造方法。 - 半導体チップのアルミニウムを含む電極と、ボンディングワイヤと、前記電極及び前記ボンディングワイヤの間のボール接合部とを有するワイヤ接合構造であって、
前記ボンディングワイヤは、銅を主成分とする芯材と、前記芯材上のパラジウム層と、を有し、かつ硫黄族元素を含有するパラジウム被覆銅ボンディングワイヤであり、
前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤは、銅、パラジウム、および硫黄族元素の合計に対して、
1.0質量%以上4.0質量%以下のパラジウム、および
合計で50質量ppm以下の硫黄族元素を含み、かつ
5.0質量ppm以上12.0質量ppm以下の硫黄、
5.0質量ppm以上20.0質量ppm以下のセレン、または
15.0質量ppm以上50.0質量ppm以下のテルルを含み、
前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤの断面の結晶面におけるワイヤ長手方向の結晶方位<hkl>の内、<100>方位比率が15%以上であり、かつ<111>方位比率が50%以下であり、前記<100>および<111>方位は、前記ワイヤ長手方向に対して角度差が15°以内の方位を含み、
前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤをアルミニウム電極上にボール接合したワイヤ接合構造を作製すると、前記アルミニウム電極上の前記ボール接合の接合面近傍に、パラジウム濃度が、アルミニウム、パラジウム、および銅の合計に対して2質量%以上となるパラジウム濃化接合領域を有する、
ワイヤ接合構造。 - 前記パラジウム濃化接合領域は、前記ボール接合の最大幅の、両端から8分の1の距離の位置を通る、ワイヤ長手方向に平行なライン上に少なくとも配置される、
請求項13に記載のワイヤ接合構造。 - 前記接合面近傍での前記パラジウム濃化接合領域の占有率が25%以上である、
請求項13又は14に記載のワイヤ接合構造。 - 半導体チップと、前記半導体チップ上に配置される、アルミニウムを含有するアルミニウム電極と、前記半導体チップの外部に配置され、金又は銀の被覆を有する外部電極と、前記アルミニウム電極と前記外部電極表面を接続するボンディングワイヤと、を有する半導体装置であって、
前記ボンディングワイヤがパラジウム被覆銅線からなり、
前記アルミニウム電極と前記ボンディングワイヤの接合面近傍に、請求項13乃至15のいずれか1項に記載のワイヤ接合構造を有する、
半導体装置。 - 半導体チップと、前記半導体チップ上に配置される、アルミニウムを含有するアルミニウム電極と、前記半導体チップの外部に配置され、金又は銀の被覆を有する外部電極と、前記アルミニウム電極と前記外部電極表面を接続するボンディングワイヤとを有する半導体装置であって、
前記ボンディングワイヤが、請求項1乃至11のいずれか1項に記載のパラジウム被覆銅ボンディングワイヤからなる、
半導体装置。 - 前記半導体装置が、QFP(Quad Flat Packaging)、BGA(Ball Grid Array)又はQFN(Quad For Non-Le ad Packaging)である、
請求項16又は17に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置が、車載用である、
請求項16乃至18のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 半導体チップと、前記半導体チップ上に配置され、アルミニウムを含有するアルミニウム電極と、前記半導体チップの外部に配置され、金又は銀の被覆を有する外部電極と、前記アルミニウム電極と前記外部電極表面を接続するボンディングワイヤとを有する半導体装置の製造方法であって、
前記ボンディングワイヤは、銅を主成分とする芯材と、前記芯材上のパラジウム層と、を有し、かつ硫黄族元素を含有するパラジウム被覆銅ボンディングワイヤであって、
前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤは、銅、パラジウム、および硫黄族元素の合計に対して、
1.0質量%以上4.0質量%以下のパラジウム、および
合計で50質量ppm以下の硫黄族元素を含み、かつ
5.0質量ppm以上12.0質量ppm以下の硫黄、
5.0質量ppm以上20.0質量ppm以下のセレン、または
15.0質量ppm以上50.0質量ppm以下のテルルを含み、
前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤの断面の結晶面におけるワイヤ長手方向の結晶方位<hkl>の内、<100>方位比率の総計が15%以上であり、かつ<111>方位比率が50%以下であり、前記<100>および<111>方位は、前記ワイヤ長手方向に対して角度差が15°以内の方位を含み、
前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤに、フリーエアーボールを形成したときに、前記フリーエアーボールの先端部分の表面から5.0nm以上100.0nm以下の深さ方向の範囲で、銅とパラジウムの合計に対して、パラジウムを6.5原子%以上30.0原子%以下含むパラジウム濃化領域が観測され、
前記製造方法は、
前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤの先端に、フリーエアーボールを形成する工程と、
前記フリーエアーボールを介して、前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤを前記アルミニウム電極にボール接合する工程と、
前記フリーエアーボールから前記パラジウム被覆銅ボンディングワイヤの長さ分、離間した箇所を前記外部電極表面に接合する工程と、を有する、
半導体装置の製造方法。
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