JPWO2020165248A5

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Publication number: JPWO2020165248A5
Application number: JP2021547378A
Authority: JP
Publication date: 2023-01-05

Claims

開口軸（Ｏ）を規定する開口部（１１）を実質的に気密に閉塞するための真空弁（１０）、特に真空スライド弁、特にゲート弁であって、
・閉塞側面（１５）と、前記閉塞側面（１５）の反対側の裏側に配置された結合ユニット（２０）とを有する閉塞要素（１４、１４’）、
・前記開口部（１１）を囲む弁座を備えた弁壁（１２、１２’）、
・線形駆動ユニット（３０）、これによって、前記閉塞要素（１４、１４’）は、前記開口軸（Ｏ）に本質的に直交する調整軸（Ｖ）に沿って、少なくとも２つの調整方向に調整されうる、
を有し、
前記閉塞要素（１４、１４’）は、
o 前記開口部（１１）を露出する開放位置、
o 前記開口部（１１）上方に押された中間位置、そこにおいて、前記閉塞要素（１４、１４’）は、少なくとも部分的に、前記弁座に対して実質的に平行な間隔を空けられた対向位置にある、及び
o 前記開口部（１１）を閉塞する閉塞位置、ここで、前記閉塞要素（１４、１４’）は、その閉塞側面（１５）で前記弁座に押し付けられ、且つ前記開口部（１１）を閉塞する、特にそれを気密な様式で閉塞する、
の間で調整されうる、上記の真空弁（１０）において、
・前記真空弁（１０）は、前記開口部（１１）に関連付けられた前記閉塞要素（１４、１４’）のためのガイド部（２６、２６’）を備えていること、
・前記閉塞要素（１４、１４’）は、前記開放位置から前記閉塞位置への変位中に及び逆の変位中に前記ガイド部（２６、２６’）と相互作用するガイド要素（２５、２５’）を含んでいること、及び
・前記ガイド部（２６、２６’）と前記ガイド要素（２５、２５’）とは、前記中間位置から前記閉塞位置への調整の過程で、前記閉塞要素（１４、１４'）の前記調整軸（Ｖ）に対する横方向への傾斜が、第１の部分的な動きにおいて開始され及び／又は達成されるように、成型され且つ相互作用する
こと、
を特徴とする、
前記真空弁（１０）。
前記閉塞側面（１５）の一部分が前記弁座に押し付けられ、少なくとも接地線（１２ａ）に沿って前記弁座と接触するように、前記傾斜は顕著であり、前記接地線（１２ａ）は、前記開口軸（Ｏ）並びに前記調整軸（Ｖ）に対して実質的に直交している、ことを特徴とする、請求項１に記載の真空弁（１０）。
前記中間位置から前記閉塞位置への調整の過程において、前記閉塞要素（１４、１４’）は、第２の部分的な動きにおいて、前記弁座と前記閉塞側面（１５）との間に円周状の接触があり且つ前記開口部（１１）が閉塞されるように、その閉塞側面（１５）で前記弁座上に押されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の真空弁（１０）。
前記第２の部分的な動きは、前記閉塞要素（１４、１４’）の前記接地線（１２ａ）の周りの回転を含むこと、それは、特に前記閉塞要素（１４、１４’）の前記接地線（１２ａ）の周りの回転であること、を特徴とする、請求項３に記載の真空弁（１０）。
前記ガイド部（２６、２６’）が前記ガイド要素（２５、２５'）のための停止部を提供する、ここで、前記第１の部分的な動きは、前記停止部と衝突する前記ガイド要素（２５、２５’）によって制限され、且つ前記第２の部分的な動きは、前記衝突で開始される、ことを特徴とする、請求項１～４の何れか１項に記載の真空弁（１０）。
前記ガイド部（２６、２６’）は、
・前記開放位置から前記中間位置への移動中及びその逆の移動中に、前記閉塞要素全体（１４、１４’）の直線的動きは前記調整軸（Ｖ）に沿って発生し、且つ
・前記第１の部分的な動きの過程で、前記調整軸（Ｖ）の位置合わせから逸脱する前記閉塞要素（１４、１４’）の少なくとも一部分の横方向の動きが生じ、前記閉塞要素（１４、１４’）の傾斜をもたらす、
ように成形されていることを特徴とする、請求項１～５の何れか１項に記載の真空弁（１０）。
前記ガイド部（２６、２６’）は、ガイド経路を規定するか、又はそのように設計されている、
・凹部、
・細長い窪み、
・チャネル、又は
・溝
を含むことを特徴とする、請求項１～６の何れか１項に記載の真空弁（１０）。
前記ガイド経路は、前記中間位置から前記閉塞位置への調整を規定する領域において、少なくとも部分的に湾曲した、特に曲線の、経路（２６ａ、２６ａ’）を有することを特徴とする、請求項７に記載の真空弁（１０）。
前記ガイド部（２６、２６’）は、前記閉塞要素（１４、１４'）を１自由度のみの運動で移動させる、特に、ここで、運動の自由度は前記ガイド経路によって規定される、ことを特徴とする、請求項１～８の何れか１項に記載の真空弁（１０）。
・前記ガイド要素（２５、２５’）は、前記ガイド部（２６、２６’）に係合していること、及び/又は
・前記ガイド要素（２５、２５’）は、スライド要素又はローラーを備えているか、そのように設計されていること、及び/又は
・前記ガイド要素（２５、２５’）は、前記閉塞要素（１４、１４'）に堅固に接続されていること、
を特徴とする、請求項１～９のいずれか１項に記載の真空弁（１０）。
前記結合ユニット（２０）は、少なくとも前記中間位置から前記閉塞位置への変位の文脈において、ガイド部（２６、２６’）と相互作用する別のガイド要素（２７）を含んでいることを特徴とする、請求項１～１０のいずれか１項に記載の真空弁（１０）。
前記結合ユニット（２０）は、
・前記閉塞要素（１４、１４'）の背面に堅固に配設された保持要素（２１）、
・前記閉塞要素（１４、１４'）の背面に旋回可能に取り付けられた旋回要素（２２、２２’）、及び
・前記保持要素（２１）及び前記旋回要素（２２、２２'）に接続された復元要素（２３）、特に、ここで、前記復元要素（２３）は、ばねとして、特に螺旋ばねとして、又は弾性要素として設計され、そして前記開放位置と前記中間位置に予め張力をかけられた様式で置かれている、
を備えていることを特徴とする、請求項１～１１のいずれか１項に記載の真空弁（１０）。
前記復元要素（２３）によって提供される復元力は、前記閉塞位置への前記第２の部分的運動の一部分として増加し、前記復元力は、前記閉塞位置への前記第２の部分的運動の方向の反対に作用する、ことを特徴とする、請求項１２に記載の真空弁（１０）。
前記第２の部分的運動中に、前記旋回要素（２２、２２'）の旋回が起こり、それによって、前記閉塞要素（１４、１４'）は、前記弁座と前記閉塞側（１５）との間の接触が円周状に生成され、前記開口部（１１）は閉塞されるように、その閉塞側面（１５）で前記弁座上に押されることを特徴とする、請求項１２又は１３に記載の真空弁（１０）。