JPWO2020153366A1 - ボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 半導体ダイを被実装部材にはんだを用いて接合するボンディング装置であって、
はんだボールの一部を下面から露出させるとともに、溶融した前記はんだボールを通過させる穴が底に形成されたはんだボール保持部と、
前記はんだボール保持部を昇降させて前記はんだボールの一部を前記被実装部材に接触させる昇降機構と、
前記被実装部材を加熱する熱によって前記はんだボールを前記被実装部材に溶融させるヒータとを備える、
ことを特徴とするボンディング装置。 - 請求項1に記載のボンディング装置において、
前記はんだボール保持部は、上面に前記はんだボールが供給されるプレートを底に備え、前記穴は、前記プレートに形成されており、
前記穴は、前記プレートの上面に形成された入口が前記はんだボールの直径より大きく、前記プレートの下面に形成された出口が前記はんだボールの直径以下であるスロート状である、
ことを特徴とするボンディング装置。 - 請求項1または2に記載のボンディング装置において、
前記はんだボール保持部には、複数の前記穴が、前記被実装部材の上面に塗布するはんだのパターンに従って形成されている、
ことを特徴とするボンディング装置。 - 請求項2に記載のボンディング装置において、
前記はんだボール保持部の前記プレートの前記穴に保持された前記はんだボールの上側の空気圧力を調整する圧力調整装置を、さらに備え、
前記圧力調整装置により前記空気圧力を調整することにより、前記はんだボールの下面が前記被実装部材の上面に接する圧力を調整する、
ことを特徴とするボンディング装置。 - 請求項1または2に記載のボンディング装置において、
前記はんだボール保持部に振動を印加する振動発生装置を、さらに備える、
ことを特徴とするボンディング装置。 - 請求項5に記載のボンディング装置において、
前記振動発生装置により印加する前記振動の量を調整することで、前記はんだボールが前記被実装部材の上面で溶融する速度を調整する、
ことを特徴とするボンディング装置。 - 請求項2に記載のボンディング装置において、
前記はんだボール保持部の前記プレートを加熱する第2のヒータを、さらに備える、
ことを特徴とするボンディング装置。 - 請求項1に記載のボンディング装置において、
フォーミングガスが供給された密閉チャンバを、さらに備え、
前記密閉チャンバの中に、前記被実装部材が搬送されて、前記密閉チャンバの中で前記被実装部材の上面に前記はんだボールが溶融される、
ことを特徴とするボンディング装置。
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