JPWO2020084415A1 - 半導体装置、および半導体装置の作製方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図2A、図2B、図2Cは本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す断面図である。
図3A、図3B、図3Cは本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す断面図である。
図4A、図4Bは本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す断面図である。
図5A、図5B、図5C、図5Dは本発明の一態様に係る半導体装置の上面図および断面図である。
図6A、図6B、図6Cは本発明の一態様に係る半導体装置の上面図および断面図である。
図7A、図7B、図7C、図7Dは本発明の一態様に係る半導体装置の上面図および断面図である。
図8はキャリア濃度とシート抵抗の関係を示す図である。
図9A、図9Bはキャリア濃度と水素濃度の関係を示す図である。
図10はキャリア濃度とフェルミレベルの関係を示す図である。
図11は本発明の一態様に係る記憶装置の構成を示す断面図である。
図12は本発明の一態様に係る記憶装置の構成を示す断面図である。
図13は本発明の一態様に係る記憶装置の構成を示す断面図である。
図14A、図14Bは本発明の一態様に係る記憶装置の構成例を示すブロック図である。
図15A、図15B、図15C、図15D、図15E、図15F、図15G、図15Hは本発明の一態様に係る記憶装置の構成例を示す回路図である。
図16A、図16Bは本発明の一態様に係る半導体装置の模式図である。
図17A、図17B、図17C、図17D、図17Eは本発明の一態様に係る記憶装置の模式図である。
図18A、図18B、図18C、図18D、図18E、図18F、図18G、図18Hは本発明の一態様に係る電子機器を示す図である。
図19A、図19B、図19C、図19Dは実施例に係る半導体装置の平面を説明する図である。
図20Aは、実施例にかかる試料のShift値の正規確率プロットを表す図である。図20Bは、実施例にかかる試料のオン電流の正規確率プロットを表す図である。
図21Aは、実施例にかかるId−Vd特性を表す図である。図21Bは、実施例にかかるドレイン耐圧VbL依存性を表す図である。
図22Aは、実施例にかかる+DBT試験結果を表す図である。図22Bは、実施例にかかる+GBT試験結果を表す図である。
図23Aは、実施例にかかる+DBT試験結果を表す図である。図23Bは、実施例にかかる+GBT試験結果を表す図である。
図24A、図24Bは、実施例にかかる+GBT長期試験結果を表す図である。
図25A、図25Bは、実施例にかかる+GBT長期試験結果を表す図である。
図26A、図26Bは、実施例にかかるHC劣化試験結果を表す図である。
図27A、図27Bは、実施例にかかるHC劣化試験結果を表す図である。
図28A、図28B、図28Cは、実施例にかかるヒステリシス評価結果を表す図である。
図29A、図29B、図29Cは、実施例にかかるヒステリシス評価結果を表す図である。
本実施の形態では、本発明の一態様に係るトランジスタ200を有する半導体装置の一例について説明する。
図1は、本発明の一態様に係るトランジスタ200を有する半導体装置の上面図および断面図である。図1Aは、当該半導体装置の上面図である。また、図1Bは、図1AにL1−L2の一点鎖線で示す部位の断面図である。なお、図1に示す半導体装置では、図の明瞭化のために一部の要素を省いている。
次に、図1に示す、本発明の一態様に係るトランジスタ200を有する半導体装置の作製方法を、図2A乃至図3Cを用いて説明する。図2A乃至図3Cは、本発明の一態様に係るトランジスタ200を有する半導体装置の断面図である。なお、図2A乃至図3Cに示す半導体装置では、図の明瞭化のために一部の要素を省いている。
以下では、図4を用いて、本発明の一態様に係るトランジスタ200を有する半導体装置の一例について説明する。
図4Aに示す半導体装置は、開口部295の側面に、絶縁体247を有する。
図4Bに示す半導体装置は、トランジスタ200の上下にバリア層として機能する絶縁体212、および絶縁体283を有する。また、絶縁体212と絶縁体283とは、トランジスタ200の側面、または基板の端部となる領域297において、接する構造を有する。つまり、図4Bに示す半導体装置は、トランジスタ200と過剰酸素領域を有する絶縁体280とを、バリア層により封止する構造を有する。
本実施の形態では、本発明の一態様に係るトランジスタを有する半導体装置の一例について説明する。本発明の一態様に係るトランジスタを有する半導体装置は、チャネル形成領域に酸化物半導体を有するトランジスタである。
図5A乃至図5Dは、本発明の一態様に係るトランジスタ200を有する半導体装置の上面図および断面図である。図5Aは、当該半導体装置の上面図である。また、図5B乃至図5Dは、当該半導体装置の断面図である。ここで、図5Bは、図5AにA1−A2の一点鎖線で示す部位の断面図である。また、図5Cは、図5AにA3−A4の一点鎖線で示す部位の断面図である。また、図5Dは、図5AにA5−A6の一点鎖線で示す部位の断面図である。なお、図5Aの上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いている。
図5A乃至図5Dに示すように、トランジスタ200は、基板(図示せず。)の上に配置され、絶縁体216に埋め込まれるように配置された導電体205と、絶縁体216の上および導電体205の上に配置された絶縁体222と、絶縁体222の上に配置された絶縁体224と、絶縁体224の上に配置された酸化物230(酸化物230a、酸化物230b、および酸化物230c)と、酸化物230の上に配置された絶縁体250と、絶縁体250上に配置された導電体260(導電体260a、および導電体260b)と、酸化物230bの上面の一部と接する導電体240aおよび導電体240bと、導電体240a上の絶縁体245aと、導電体240b上の絶縁体245bと、を有する。
以下では、半導体装置に用いることができる構成材料について説明する。
トランジスタ200を形成する基板としては、例えば、絶縁体基板、半導体基板、または導電体基板を用いればよい。絶縁体基板としては、例えば、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、安定化ジルコニア基板(イットリア安定化ジルコニア基板など)、樹脂基板などがある。また、半導体基板としては、例えば、シリコン、ゲルマニウムを材料とした半導体基板、または炭化シリコン、シリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、酸化亜鉛、酸化ガリウムからなる化合物半導体基板などがある。さらには、前述の半導体基板内部に絶縁体領域を有する半導体基板、例えば、SOI(Silicon On Insulator)基板などがある。導電体基板としては、黒鉛基板、金属基板、合金基板、導電性樹脂基板などがある。または、金属の窒化物を有する基板、金属の酸化物を有する基板などがある。さらには、絶縁体基板に導電体または半導体が設けられた基板、半導体基板に導電体または絶縁体が設けられた基板、導電体基板に半導体または絶縁体が設けられた基板などがある。または、これらの基板に素子が設けられたものを用いてもよい。基板に設けられる素子としては、容量素子、抵抗素子、スイッチ素子、発光素子、記憶素子などがある。
絶縁体としては、絶縁性を有する酸化物、窒化物、酸化窒化物、窒化酸化物、金属酸化物、金属酸化窒化物、金属窒化酸化物などがある。
導電体としては、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウム、イリジウム、ストロンチウム、ランタンなどから選ばれた金属元素、または上述した金属元素を成分とする合金か、上述した金属元素を組み合わせた合金等を用いることが好ましい。例えば、窒化タンタル、窒化チタン、タングステン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物などを用いることが好ましい。また、窒化タンタル、窒化チタン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物は、酸化しにくい導電性材料、または、酸素を吸収しても導電性を維持する材料であるため、好ましい。また、リン等の不純物元素を含有させた多結晶シリコンに代表される、電気伝導度が高い半導体、ニッケルシリサイドなどのシリサイドを用いてもよい。
酸化物230として、酸化物半導体として機能する金属酸化物を用いることが好ましい。以下では、本発明に係る酸化物230に適用可能な金属酸化物について説明する。
酸化物半導体(金属酸化物)は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、CAAC−OS、多結晶酸化物半導体、nc−OS(nanocrystalline oxide semiconductor)、擬似非晶質酸化物半導体(a−like OS:amorphous−like oxide semiconductor)、および非晶質酸化物半導体などがある。
ここで、金属酸化物中における各不純物の影響について説明する。
本実施例では、酸化物半導体として機能する金属酸化物におけるキャリア濃度、シート抵抗、及びフェルミ準位の関係について説明する。
以下では、図6A乃至図6Cを用いて、本発明の一態様に係るトランジスタ200を有する半導体装置の一例について説明する。
以下では、図7A乃至図7Dを用いて、本実施例に係るトランジスタ200を有する半導体装置に、本発明の一態様の層間膜の積層構造、およびプラグを応用した一例を説明する。
本実施の形態では、半導体装置の一形態を、図11および図12を用いて説明する。
本発明の一態様である容量素子を使用した、半導体装置(記憶装置)の一例を図11に示す。本発明の一態様の半導体装置は、トランジスタ200はトランジスタ300の上方に設けられ、容量素子100はトランジスタ200の上方に設けられている。容量素子100、またはトランジスタ300は、少なくとも一部がトランジスタ200と重畳することが好ましい。これにより、容量素子100、トランジスタ200、およびトランジスタ300の上面視における占有面積を低減することができるので、本実施の形態に係る半導体装置を微細化または高集積化させることができる。なお、本実施の形態に係る半導体装置は、例えば、CPU(Central Processing Unit)またはGPU(Graphics Processing Unit)に代表されるロジック回路、あるいはDRAM(Dynamic Random Access Memory)またはNVM(Non−Volatile Memory)に代表されるメモリ回路に適用することができる。
トランジスタ300は、基板311上に設けられ、ゲート電極として機能する導電体316、ゲート絶縁体として機能する絶縁体315、基板311の一部からなる半導体領域313、ならびにソース領域またはドレイン領域として機能する低抵抗領域314a、および低抵抗領域314bを有する。
容量素子100は、絶縁体160上の絶縁体114と、絶縁体114上の絶縁体140と、絶縁体114および絶縁体140に形成された開口の中に配置された導電体110と、導電体110および絶縁体140上の絶縁体130と、絶縁体130上の導電体120と、導電体120および絶縁体130上の絶縁体150と、を有する。ここで、絶縁体114および絶縁体140に形成された開口の中に導電体110、絶縁体130、および導電体120の少なくとも一部が配置される。
各構造体の間には、層間膜、配線、およびプラグ等が設けられた配線層が設けられていてもよい。また、配線層は、設計に応じて複数層設けることができる。ここで、プラグまたは配線として機能する導電体は、複数の構造をまとめて同一の符号を付与する場合がある。また、本明細書等において、配線と、配線と電気的に接続するプラグとが一体物であってもよい。すなわち、導電体の一部が配線として機能する場合、および導電体の一部がプラグとして機能する場合もある。
なお、トランジスタ200に、酸化物半導体を用いる場合、酸化物半導体の近傍に過剰酸素領域を有する絶縁体が設けられることがある。その場合、該過剰酸素領域を有する絶縁体と、該過剰酸素領域を有する絶縁体に設ける導電体との間に、バリア性を有する絶縁体を設けることが好ましい。
本発明の一態様である半導体装置を使用した、半導体装置(記憶装置)の一例を図12に示す。図12に示す半導体装置は、図11で示した半導体装置と同様に、トランジスタ200、トランジスタ300、および容量素子100を有する。ただし、図12に示す半導体装置は、容量素子100がプレーナ型である点、およびトランジスタ200とトランジスタ300が電気的に接続されている点において、図11に示す半導体装置と異なる。
本発明の一態様である半導体装置を使用した、記憶装置の一例を図13に示す。図13に示す記憶装置は、図12で示したトランジスタ200、トランジスタ300、および容量素子100を有する半導体装置に加え、トランジスタ400を有している。
トランジスタ400は、トランジスタ200と、同じ層に形成されており、並行して作製することができるトランジスタである。トランジスタ400は、第1のゲート電極として機能する導電体460(導電体460a、および導電体460b)と、第2のゲート電極として機能する導電体405と、ゲート絶縁層として機能する絶縁体222、絶縁体224、および絶縁体450と、チャネルが形成される領域を有する酸化物430cと、ソースまたはドレインの一方として機能する導電体440a、酸化物432a、および酸化物432bと、ソースまたはドレインの他方として機能する導電体440b、酸化物431a、および酸化物431bと、バリア層として機能する絶縁体445a、および445bと、を有する。
本実施の形態では、図14A、図14B、および図15A乃至図15Hを用いて、本発明の一態様に係る、酸化物を半導体に用いたトランジスタ(以下、OSトランジスタと呼ぶ場合がある。)、および容量素子が適用されている記憶装置(以下、OSメモリ装置と呼ぶ場合がある。)について説明する。OSメモリ装置は、少なくとも容量素子と、容量素子の充放電を制御するOSトランジスタを有する記憶装置である。OSトランジスタのオフ電流は極めて小さいので、OSメモリ装置は優れた保持特性をもち、不揮発性メモリとして機能させることができる。
図14AにOSメモリ装置の構成の一例を示す。記憶装置1400は、周辺回路1411、およびメモリセルアレイ1470を有する。周辺回路1411は、行回路1420、列回路1430、出力回路1440、およびコントロールロジック回路1460を有する。
図15A乃至図15Cに、DRAMのメモリセルの回路構成例を示す。本明細書等において、1OSトランジスタ1容量素子型のメモリセルを用いたDRAMを、DOSRAM(Dynamic Oxide Semiconductor Random Access Memory)と呼ぶ場合がある。図15Aに示す、メモリセル1471は、トランジスタM1と、容量素子CAと、を有する。なお、トランジスタM1は、ゲート(トップゲートと呼ぶ場合がある。)、及びバックゲートを有する。
図15D乃至図15Gに、2トランジスタ1容量素子のゲインセル型のメモリセルの回路構成例を示す。図15Dに示す、メモリセル1474は、トランジスタM2と、トランジスタM3と、容量素子CBと、を有する。なお、トランジスタM2は、トップゲート(単にゲートと呼ぶ場合がある。)、及びバックゲートを有する。本明細書等において、トランジスタM2にOSトランジスタを用いたゲインセル型のメモリセルを有する記憶装置を、NOSRAM(Nonvolatile Oxide Semiconductor RAM)と呼ぶ場合がある。
本実施の形態では、図16A、および図16Bを用いて、本発明の半導体装置が実装されたチップ1200の一例を示す。チップ1200には、複数の回路(システム)が実装されている。このように、複数の回路(システム)を一つのチップに集積する技術を、システムオンチップ(System on Chip:SoC)と呼ぶ場合がある。
本実施の形態では、先の実施の形態に示す半導体装置を用いた記憶装置の応用例について説明する。先の実施の形態に示す半導体装置は、例えば、各種電子機器(例えば、情報端末、コンピュータ、スマートフォン、電子書籍端末、デジタルカメラ(ビデオカメラも含む)、録画再生装置、ナビゲーションシステムなど)の記憶装置に適用できる。なお、ここで、コンピュータとは、タブレット型のコンピュータ、ノート型のコンピュータ、デスクトップ型のコンピュータの他、サーバシステムのような大型のコンピュータを含むものである。または、先の実施の形態に示す半導体装置は、メモリカード(例えば、SDカード)、USBメモリ、SSD(ソリッド・ステート・ドライブ)等の各種のリムーバブル記憶装置に適用される。図17A乃至図17Eにリムーバブル記憶装置の幾つかの構成例を模式的に示す。例えば、先の実施の形態に示す半導体装置は、パッケージングされたメモリチップに加工され、様々なストレージ装置、リムーバブルメモリに用いられる。
本発明の一態様に係る半導体装置は、CPUやGPUなどのプロセッサ、またはチップに用いることができる。図18A乃至図18Hに、本発明の一態様に係るCPUやGPUなどのプロセッサ、またはチップを備えた電子機器の具体例を示す。
本発明の一態様に係るGPUまたはチップは、様々な電子機器に搭載することができる。電子機器の例としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型またはノート型の情報端末用などのモニタ、デジタルサイネージ(Digital Signage:電子看板)、パチンコ機などの大型ゲーム機、などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、電子ブックリーダー、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。また、本発明の一態様に係るGPUまたはチップを電子機器に設けることにより、電子機器に人工知能を搭載することができる。
図18Aには、情報端末の一種である携帯電話(スマートフォン)が図示されている。情報端末5100は、筐体5101と、表示部5102と、を有しており、入力用インターフェースとして、タッチパネルが表示部5102に備えられ、ボタンが筐体5101に備えられている。
図18Cは、ゲーム機の一例である携帯ゲーム機5300を示している。携帯ゲーム機5300は、筐体5301、筐体5302、筐体5303、表示部5304、接続部5305、操作キー5306等を有する。筐体5302、および筐体5303は、筐体5301から取り外すことが可能である。筐体5301に設けられている接続部5305を別の筐体(図示せず)に取り付けることで、表示部5304に出力される映像を、別の映像機器(図示せず)に出力することができる。このとき、筐体5302、および筐体5303は、それぞれ操作部として機能することができる。これにより、複数のプレイヤーが同時にゲームを行うことができる。筐体5301、筐体5302、および筐体5303の基板に設けられているチップなどに先の実施の形態に示すチップを組み込むことができる。
本発明の一態様のGPUまたはチップは、大型コンピュータに適用することができる。
本発明の一態様のGPUまたはチップは、移動体である自動車、および自動車の運転席周辺に適用することができる。
図18Hは、電化製品の一例である電気冷凍冷蔵庫5800を示している。電気冷凍冷蔵庫5800は、筐体5801、冷蔵室用扉5802、冷凍室用扉5803等を有する。
以下に、図4Aに示すプラグ構造、およびトランジスタ200を有する半導体装置990の作製方法を説明する。
次に、各試料1A、および試料1Bに対し、各2点のプラグに対し平面観察を行った。それぞれ試料1A−1、および試料1A−2、または、試料1B−1、および試料1B−2とする。なお、試料1A−1の位置と試料1B−1の位置は、各基板における同等の露光領域から選出した。また、試料1A−2の位置と試料1B−2の位置も、各基板における同等の露光領域から選出した。下表に、各試料のマスク、および洗浄工程の有無を示す。
まず、試料2Aに対し、窒素雰囲気下で400℃、8時間の加熱処理を行った。その後、試料2Aが有する27個のトランジスタの電気特性を測定した。なお、電気特性として、ドレイン電圧Vdを1.2Vとし、ゲート電圧Vgを−4Vから+4Vまで変化させ、Id−Vg特性を測定した。
まず、L=60nm、100nm、200nm、および350nm、であり、それぞれW=60nmのトランジスタのドレイン耐圧を測定した。また、それぞれ3個のトランジスタを測定した。測定において、ゲート電圧Vgを+5Vに設定し、ドレイン電圧Vdを0Vから増加させて、ドレイン電流Idを監視した。ドレイン耐圧は、Idが急激に低下したとき、つまりトランジスタ200が破壊された時のVdとした。なお、Vdの最大電圧は+20Vとした。また、測定時の温度は85℃とした。
次に、L=60nm、W=60nmのトランジスタ、およびL=350nm、W=60nmのトランジスタのVshの変動量に着目して信頼性を評価した。信頼性試験の条件は、125℃の温度ストレスを与え、初期のId−Vg特性を125℃で測定し、初期Vshを算出した。その後、初期Vshからの相対変動量をΔVshとして、1時間のストレス時間を与えた後のVsh値を125℃で測定しその差分からΔVshを算出し変動量とした。信頼性試験は2種類行っており、Vdにストレス電圧を与え、Vg、Vs、VbgをGNDとした+DBT(+Drain Bias Temperature)試験とVgにストレス電圧を与え、Vs、Vd、VbgをGNDとした+GBT(Gate Bias Temperature)試験をそれぞれ行った。
本実施例のHC劣化試験は、以下に説明するストレスをトランジスタに与えて、ストレス前後のトランジスタ特性を比較した。以下にストレスの詳細を記す。
ヒステリシス評価は、以下のように行った。温度25℃、Vd=+1.2Vにおいて、Vgを−2Vから+4Vに掃引(順方向掃引)してId−Vg特性を測定した後、Vg=+4Vから−2Vに掃引(逆方向掃引)してId−Vg特性の測定を行う。この測定を3回繰り返し行い、順方向掃引と逆方向掃引でのId−Vg特性のずれを評価した。評価したトランジスタは、L=350nm、W=60nmを3素子、L=60nm、W=60nmを3素子、それぞれ評価した。
Claims (6)
- 酸化物半導体を形成し、
前記酸化物半導体に接する第1の絶縁体を成膜し、
前記第1の絶縁体上に、第2の絶縁体を成膜し、
前記第2の絶縁体上に、第3の絶縁体を成膜し、
前記第3の絶縁体、前記第2の絶縁体、および前記第1の絶縁体に、開口部を形成し、
前記開口部内を洗浄し、
前記洗浄された開口部内に導電体を埋め込み、
前記第1の絶縁体は、過剰酸素領域を含むように形成され、
前記第2の絶縁体は、前記第1の絶縁体よりも、酸素、水素、または水に対する高いバリア性を有するように形成され、
前記開口部は、円柱、または逆円錐の形状になるように加工される半導体装置の作製方法。 - 酸化物半導体を形成し、
前記酸化物半導体に接する第1の絶縁体を成膜し、
前記第1の絶縁体上に、酸素雰囲気下のスパッタリング法により、第2の絶縁体を成膜し、
前記第2の絶縁体上に、第3の絶縁体を成膜し、
前記第3の絶縁体、前記第2の絶縁体、および前記第1の絶縁体に、開口部を形成し、
前記開口部内を洗浄し、
前記洗浄された開口部内に導電体を埋め込み、
前記第1の絶縁体は、酸化窒化シリコンであり、
前記第2の絶縁体は、酸化アルミニウムであり、
前記開口部は、円柱、または逆円錐の形状になるように加工される半導体装置の作製方法。 - 請求項1または請求項2において、
前記洗浄された開口部の側面に、第4の絶縁体を形成する工程を有し、
前記第4の絶縁体は、前記第1の絶縁体よりも、酸素、水素、または水に対する高いバリア性を有する半導体装置の作製方法。 - 第1の絶縁体を成膜し、
前記第1の絶縁体上に、酸化物半導体を形成し、
前記酸化物半導体に接する第2の絶縁体を成膜し、
前記第2の絶縁体上に、第3の絶縁体を成膜し、
前記第3の絶縁体上に、第4の絶縁体を成膜し、
前記第4の絶縁体、前記第3の絶縁体、および前記第2の絶縁体に、開口部を形成し、
前記開口部内を洗浄し、
前記洗浄された開口部内に導電体を埋め込み、
前記第2の絶縁体は、過剰酸素領域を含むように形成され、
前記第2の絶縁体、および前記第3の絶縁体は、前記第1の絶縁体よりも、酸素、水素、または水に対する高いバリア性を有するように形成され、
前記第1の絶縁体と前記第4の絶縁体とは、同じ材質を用いて形成され、
前記第1の絶縁体と前記第2の絶縁体とは、前記酸化物半導体の周縁領域で接し、
前記開口部は、円柱、または逆円錐の形状になるように加工される半導体装置の作製方法。 - 第1の絶縁体を成膜し、
前記第1の絶縁体上に、酸化物半導体を形成し、
前記酸化物半導体に接する第2の絶縁体を成膜し、
前記第2の絶縁体上に、酸素雰囲気下のスパッタリング法により、第3の絶縁体を成膜し、
前記第3の絶縁体上に、第4の絶縁体を成膜し、
前記第4の絶縁体、前記第3の絶縁体、および前記第2の絶縁体に、開口部を形成し、
前記開口部内を洗浄し、
前記洗浄された開口部内に導電体を埋め込み、
前記第1の絶縁体、前記第4の絶縁体は、窒化シリコンであり、
前記第2の絶縁体は、酸化窒化シリコンであり、
前記第3の絶縁体は、酸化アルミニウムであり、
前記第1の絶縁体と前記第2の絶縁体とは、前記酸化物半導体の周縁領域で接し、
前記開口部は、円柱、または逆円錐の形状になるように加工される半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一において、
前記酸化物半導体は、In−Ga−Zn酸化物である半導体装置の作製方法。
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