JPWO2020071109A1 - 工作装置及び放電加工装置 - Google Patents
工作装置及び放電加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2020071109A1 JPWO2020071109A1 JP2020506385A JP2020506385A JPWO2020071109A1 JP WO2020071109 A1 JPWO2020071109 A1 JP WO2020071109A1 JP 2020506385 A JP2020506385 A JP 2020506385A JP 2020506385 A JP2020506385 A JP 2020506385A JP WO2020071109 A1 JPWO2020071109 A1 JP WO2020071109A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- unit
- machining
- machine tool
- optical sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 title claims description 92
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 121
- 239000010730 cutting oil Substances 0.000 claims abstract description 79
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 75
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 27
- 239000003921 oil Substances 0.000 claims description 20
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 26
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 15
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/24—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
- B23Q17/2452—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves for measuring features or for detecting a condition of machine parts, tools or workpieces
- B23Q17/2471—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves for measuring features or for detecting a condition of machine parts, tools or workpieces of workpieces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H1/00—Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H11/00—Auxiliary apparatus or details, not otherwise provided for
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/26—Apparatus for moving or positioning electrode relatively to workpiece; Mounting of electrode
- B23H7/32—Maintaining desired spacing between electrode and workpiece, e.g. by means of particulate material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/24—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
- B23Q17/248—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods
- B23Q17/2495—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods using interferometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02002—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies
- G01B9/02004—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies using frequency scans
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/0209—Low-coherence interferometers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H2500/00—Holding and positioning of tool electrodes
- B23H2500/20—Methods or devices for detecting wire or workpiece position
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H9/00—Machining specially adapted for treating particular metal objects or for obtaining special effects or results on metal objects
- B23H9/006—Cavity sinking
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/10—Arrangements for cooling or lubricating tools or work
- B23Q11/1007—Arrangements for cooling or lubricating tools or work by submerging the tools or work partially or entirely in a liquid
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
Description
図1は、実施の形態1による工作装置を示す構成図である。図1において、テーブル1は、加工対象の被加工物3を載せる台である。バイス2は、被加工物3の加工時に、被加工物3が動かないように固定する固定具である。被加工物3は、加工部10によって、加工面3aが加工される金属などが該当する。なお、実施の形態1では、説明の簡単化のため、加工部10によって加工される前の加工面3aは、平面であるものとする。
ΔL=L−L0 (3)
Δd=d−ΔL (4)
実施の形態1の工作装置では、ヘッド本体部11aに光センサ部20のセンサヘッド部21を取り付けるように構成した。これに対して、実施の形態2では、スピンドル11bにセンサヘッド部21bを取り付けるように、工作装置を構成している。図13は、実施の形態2による工作装置を示す構成図である。図13において、図1と同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略する。
実施の形態3では、工作装置が、加工面3aの加工に用いる複数の加工工具12を格納している工具格納部100を備えている。工具格納部100には、センサヘッド部21も格納されている。そして、加工時においては、スピンドル11bが、工具格納部100により格納されている複数の加工工具12のうち、いずれか1つの加工工具12を着脱自在に保持する。形状測定時においては、スピンドル11bが、工具格納部100により格納されているセンサヘッド部21bを保持する。
実施の形態3では、形状を測定する際、スピンドル11bが、センサヘッド部21bを保持するように工作装置を構成した。これに対して、実施の形態4では、形状を測定する際、スピンドル11bが、光センサ部20を保持するようにしている。
スピンドル11bが有する電気接続部122には、上述した距離情報、制御信号及び同期信号等の情報を送受信するための通信ケーブル25が接続されている。通信ケーブル25は、スピンドル11b及びヘッド本体部11aの内部を通って、ヘッド本体部11aから導出されて、コントロール部50に接続されている。したがって、実施の形態4の工作装置は、スピンドル11bの電気接続部122と光センサ部20の電気接続部121とが接続されることにより、コントロール部50と光センサ部20との間で信号の送受信が可能となる。
しかし、加工部19が、加工面3aに供給する油は、金属加工に伴う工具の磨耗防止、又は、金属加工に伴う工具の温度上昇防止を、主目的として使用する液体であればよく、切削油に限るものではない。これらの主目的として使用する液体は、加工油と呼ばれ、切削油は、加工油に含まれる。なお、加工油には、後述する放電油等も含まれる。
実施の形態1〜4では、光センサ部20を有する工作装置について説明した。
実施の形態5では、光センサ部20を有する放電加工装置について説明する。
図18は、実施の形態5による放電加工装置を示す構成図である。図18において、図1と同一符号は同一または相当部分を示すので説明を省略する。
図18に示す放電加工装置は、加工ヘッド11に取り付けられている電極15を用いて、放電加工装置から加工面3aまでの距離を測定し、測定した距離に基づいて、被加工物3の形状を算出する。
加工槽4は、加工油である放電油5をたくわえている容器である。テーブル1及び被加工物3のそれぞれは、全体が放電油5に浸るように、加工槽4に収納されている。
電極15は、ヘッド本体部11aが有する複数の外周面のうち、テーブル1と相対している外周面11cに取り付けられている。電極15は、電子を放出する先端部15aを有している。電極15は、先端部15aと、被加工物3の加工面3aとの間に電圧をかけることにより、放電による火花を生じさせる。火花が生じることで、加工面3aが削られるため、被加工物3の加工が可能になる。電極15としては、銅又はグラファイト等の電導性の高い素材が使われる。
光センサ部20が距離を算出する際、センサヘッド部21は、実施の形態1と同様に、センサ本体部22から出力された照射光を加工面3aに向けて照射する。センサヘッド部21は、加工面3aに反射された照射光である反射光と、放電油5に反射された照射光である反射光とを含む反射光を受光する。センサヘッド部21は受光した反射光をセンサ本体部22に出力する。
なお、加工部10が加工面3aを加工する際には、被加工物3の全体が、放電油5に浸っている必要がある。一方、光センサ部20が距離を算出する際には、被加工物3の加工面3aが、放電油5に浸っていてもよいし、放電油5に浸っていなくてもよい。したがって、図示せぬアクチュエータ等を用いて、テーブル1を−z軸方向に移動させることにより、被加工物3の加工面3aが、放電油5に浸っていない状態で、光センサ部20が距離を算出するようにしてもよい。
Claims (17)
- 被加工物の加工面に切削油を供給して、前記加工面を加工する加工部を備えた工作装置であって、
周波数が周期的に変化する光を出力する周波数掃引光源から出力された光を、前記被加工物に照射する照射光と参照光とに分岐して、前記照射光を前記被加工物に照射するとともに、前記被加工物に反射された照射光である反射光と前記参照光との干渉光のピーク周波数を検出し、前記ピーク周波数に基づき、前記工作装置から前記加工面までの距離を測定する光センサ部と、
前記光センサ部により測定された距離に基づき前記被加工物の形状を算出する形状算出部と、を備えたことを特徴とする工作装置。 - 前記干渉光は、前記被加工物の加工面からの反射光と前記参照光との干渉光である第1の干渉光と、前記切削油からの反射光と前記参照光との干渉光である第2の干渉光とを含み、
前記光センサ部は、前記第1の干渉光のピーク周波数と前記第2の干渉光のピーク周波数とに基づいて、前記工作装置から前記加工面までの距離を算出することを特徴とする請求項1記載の工作装置。 - 前記光センサ部は、周波数の大きさに基づいて、前記第1の干渉光のピーク周波数と前記第2の干渉光のピーク周波数とを区別することを特徴とする請求項2記載の工作装置。
- 前記光センサ部は、前記工作装置から前記切削油までの距離と、前記切削油の厚みとに基づいて、前記工作装置から前記加工面までの距離を測定することを特徴とする請求項3に記載の工作装置。
- 前記加工部は、
前記加工面を加工する加工工具を保持する工具保持部と、
前記工具保持部を保持するヘッド本体部と、
前記被加工物が載せられているテーブルに対して、前記ヘッド本体部の位置を相対的に変化させるヘッド駆動部とを備え、
前記形状算出部は、
前記ヘッド駆動部によって変化された前記ヘッド本体部の位置と、前記光センサ部により測定された距離とに基づき、前記被加工物の形状を算出することを特徴とする請求項1記載の工作装置。 - 前記加工部は、
前記加工面を加工する加工工具を保持する工具保持部と、
前記工具保持部を保持するヘッド本体部とを備え、
前記光センサ部の一部が、前記ヘッド本体部に取り付けられていることを特徴とする請求項1記載の工作装置。 - 前記光センサ部の一部として、集光光学素子を有するセンサヘッド部が、前記ヘッド本体部に取り付けられていることを特徴とする請求項6記載の工作装置。
- 前記被加工物が載せられる面を有するテーブルを備え、
前記センサヘッド部は、前記ヘッド本体部が有する複数の外周面のうち、前記被加工物が載せられる面と相対している外周面に取り付けられていることを特徴とする請求項7記載の工作装置。 - 前記加工部は、
前記加工面を加工する加工工具を保持する工具保持部と、
前記工具保持部を保持するヘッド本体部とを備え、
前記光センサ部の一部が、前記工具保持部に保持されていることを特徴とする請求項1記載の工作装置。 - 前記光センサ部の一部として、集光光学素子を有するセンサヘッド部が、前記工具保持部に保持されていることを特徴とする請求項9記載の工作装置。
- 前記加工部は、前記加工面の加工に用いる複数の加工工具を格納する工具格納部を備え、
前記光センサ部の一部が、前記工具格納部に格納されていることを特徴とする請求項1記載の工作装置。 - 前記加工部は、
前記加工面を加工する加工工具を保持する工具保持部と、
前記工具保持部を保持するヘッド本体部とを備え、
前記光センサ部が、前記工具保持部に保持されていることを特徴とする請求項1記載の工作装置。 - 前記加工部は、前記加工面の加工に用いる複数の加工工具を格納する工具格納部を備え、
前記光センサ部が、前記工具格納部に格納されていることを特徴とする請求項1記載の工作装置。 - 前記加工部は、
前記加工面を加工する加工工具を保持する工具保持部と、
前記工具保持部を保持するヘッド本体部とを備え、
前記光センサ部により測定された距離を含む情報を外部に出力するための通信ケーブルを、前記ヘッド本体部の内部を通して導出させたことを特徴とする請求項1に記載の工作装置。 - 前記加工部は、前記加工面に前記切削油を供給するための切削油ノズルを備えていることを特徴とする請求項1記載の工作装置。
- 被加工物の加工面に加工油を供給して、前記加工面を加工する加工部を備えた工作装置であって、
1つの周波数帯で周波数が周期的に変化する光を出力する周波数掃引光源から出力された光を、前記被加工物に照射する照射光と参照光とに分岐して、前記照射光を前記被加工物に照射するとともに、前記被加工物に反射された照射光である反射光と前記参照光との干渉光のピーク周波数を検出し、前記ピーク周波数に基づき、前記工作装置から前記加工面までの距離を測定する光センサ部と、
前記光センサ部により測定された距離に基づき前記被加工物の形状を算出する形状算出部と、を備えたことを特徴とする工作装置。 - 加工油に浸っている被加工物の加工面を加工する加工部を備えた放電加工装置であって、
1つの周波数帯で周波数が周期的に変化する光を出力する周波数掃引光源から出力された光を、前記被加工物に照射する照射光と参照光とに分岐して、前記照射光を前記被加工物に照射するとともに、前記被加工物に反射された照射光である反射光と前記参照光との干渉光のピーク周波数を検出し、前記ピーク周波数に基づき、前記放電加工装置から前記加工面までの距離を測定する光センサ部と、
前記光センサ部により測定された距離に基づき前記被加工物の形状を算出する形状算出部と、を備えたことを特徴とする放電加工装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPPCT/JP2018/037409 | 2018-10-05 | ||
PCT/JP2018/037409 WO2020070884A1 (ja) | 2018-10-05 | 2018-10-05 | 工作装置 |
PCT/JP2019/036394 WO2020071109A1 (ja) | 2018-10-05 | 2019-09-17 | 工作装置及び放電加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020071109A1 true JPWO2020071109A1 (ja) | 2021-02-15 |
Family
ID=67982905
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019507965A Active JP6576594B1 (ja) | 2018-10-05 | 2018-10-05 | 工作装置 |
JP2020506385A Pending JPWO2020071109A1 (ja) | 2018-10-05 | 2019-09-17 | 工作装置及び放電加工装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019507965A Active JP6576594B1 (ja) | 2018-10-05 | 2018-10-05 | 工作装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210199424A1 (ja) |
JP (2) | JP6576594B1 (ja) |
CN (1) | CN112771348A (ja) |
DE (1) | DE112019004400B4 (ja) |
TW (1) | TWI794546B (ja) |
WO (2) | WO2020070884A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6576594B1 (ja) * | 2018-10-05 | 2019-09-18 | 三菱電機株式会社 | 工作装置 |
WO2021166130A1 (ja) * | 2020-02-19 | 2021-08-26 | 三菱電機株式会社 | 距離計測装置、距離計測方法、距離計測学習装置、及び、距離計測学習方法 |
KR102535920B1 (ko) | 2020-07-22 | 2023-05-26 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 거리 계측 장치, 거리 계측 방법, 및 공작 장치 |
CN113510325B (zh) * | 2021-07-05 | 2022-08-09 | 河南理工大学 | 一种用于射流电解加工的对刀装置 |
WO2023233607A1 (ja) * | 2022-06-02 | 2023-12-07 | 三菱電機株式会社 | 工作装置 |
JP7378670B1 (ja) | 2022-11-17 | 2023-11-13 | 三菱電機株式会社 | 光測定装置、取得方法、取得プログラム、及び記録媒体 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10143641A (ja) * | 1996-11-15 | 1998-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | 撮像方法及び撮像装置 |
JPH11287629A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Mitsutoyo Corp | 光干渉式測定装置およびその測定装置を備えた測定機能付き加工装置 |
WO2001084620A1 (fr) * | 2000-05-01 | 2001-11-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Dispositif et procede de mesure d'epaisseur, dispositif et procede de gravure humide utilisant les precedents |
JP2006326769A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Soatec Inc | 非接触式測定システム |
JP2013161880A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Mitsubishi Electric Corp | 炭化珪素単結晶基板の製造方法 |
JP2016024086A (ja) * | 2014-07-22 | 2016-02-08 | 株式会社東京精密 | 距離測定装置、波長検出装置、及び距離測定方法 |
JP2016187859A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | ファナック株式会社 | 軸送り特性を変更する放電加工機 |
WO2017209729A1 (en) * | 2016-05-31 | 2017-12-07 | Carestream Health, Inc. | Intraoral 3d scanner with fluid segmentation |
US20180100755A1 (en) * | 2016-10-10 | 2018-04-12 | Airbus Operations Limited | Measuring fuel in a fuel tank |
JP6576594B1 (ja) * | 2018-10-05 | 2019-09-18 | 三菱電機株式会社 | 工作装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3626137A (en) * | 1970-03-25 | 1971-12-07 | Amsted Ind Inc | Method of electrical discharge machining |
FR2542934B1 (fr) | 1983-03-16 | 1985-07-05 | Aerospatiale | Dispositif pour la connexion automatique de conducteurs electriques sur un organe de regroupement |
JPH07204990A (ja) * | 1994-01-13 | 1995-08-08 | Makino Milling Mach Co Ltd | Nc工作機械を用いた測定システム |
JP4460659B2 (ja) * | 1997-10-22 | 2010-05-12 | 株式会社ルネサステクノロジ | 薄膜の膜厚計測方法及びその装置並びにそれを用いた薄膜デバイスの製造方法及びその製造装置 |
US6882432B2 (en) * | 2000-08-08 | 2005-04-19 | Zygo Corporation | Frequency transform phase shifting interferometry |
JP4328569B2 (ja) * | 2003-06-23 | 2009-09-09 | 富士通株式会社 | 微細パターン加工方法 |
DE102004012426A1 (de) * | 2004-03-13 | 2005-09-29 | Knüttel, Alexander, Dr. | Niederkohärenz-interferometrisches Verfahren und Gerät zur lichtoptischen Abtastung von Oberflächen |
US8493567B2 (en) * | 2008-09-25 | 2013-07-23 | Terumo Kabushiki Kaisha | Optical tomographic image acquisition apparatus and method of acquiring optical tomographic image which adjusts reference position that acquires optical tomographic image based on sheath interference signal |
KR101327571B1 (ko) * | 2009-11-10 | 2013-11-12 | 미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤 | 워크 계측 장치, 충돌 방지 장치 및 공작기계 |
JP5416025B2 (ja) * | 2010-04-22 | 2014-02-12 | 株式会社神戸製鋼所 | 表面形状測定装置および半導体ウェハ検査装置 |
EP2789968A4 (en) * | 2011-12-07 | 2015-09-02 | Konica Minolta Inc | SHAPE MEASURING DEVICE |
TWI472714B (zh) * | 2014-02-27 | 2015-02-11 | Univ Nat Formosa | Shaped surface contact of the oil film thickness analysis device |
JP6502626B2 (ja) * | 2014-07-10 | 2019-04-17 | 株式会社東京精密 | 距離測定装置、および距離測定方法 |
JP2018059434A (ja) | 2016-10-04 | 2018-04-12 | ダイキン工業株式会社 | 圧縮機 |
JP6983374B2 (ja) * | 2016-11-21 | 2021-12-17 | 株式会社東京精密 | 測定装置及び測定方法 |
-
2018
- 2018-10-05 JP JP2019507965A patent/JP6576594B1/ja active Active
- 2018-10-05 WO PCT/JP2018/037409 patent/WO2020070884A1/ja active Application Filing
-
2019
- 2019-09-17 JP JP2020506385A patent/JPWO2020071109A1/ja active Pending
- 2019-09-17 DE DE112019004400.1T patent/DE112019004400B4/de active Active
- 2019-09-17 CN CN201980064312.XA patent/CN112771348A/zh active Pending
- 2019-09-17 WO PCT/JP2019/036394 patent/WO2020071109A1/ja active Application Filing
- 2019-10-01 TW TW108135472A patent/TWI794546B/zh active
-
2021
- 2021-03-11 US US17/198,523 patent/US20210199424A1/en active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10143641A (ja) * | 1996-11-15 | 1998-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | 撮像方法及び撮像装置 |
JPH11287629A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Mitsutoyo Corp | 光干渉式測定装置およびその測定装置を備えた測定機能付き加工装置 |
WO2001084620A1 (fr) * | 2000-05-01 | 2001-11-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Dispositif et procede de mesure d'epaisseur, dispositif et procede de gravure humide utilisant les precedents |
JP2006326769A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Soatec Inc | 非接触式測定システム |
JP2013161880A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Mitsubishi Electric Corp | 炭化珪素単結晶基板の製造方法 |
JP2016024086A (ja) * | 2014-07-22 | 2016-02-08 | 株式会社東京精密 | 距離測定装置、波長検出装置、及び距離測定方法 |
JP2016187859A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | ファナック株式会社 | 軸送り特性を変更する放電加工機 |
WO2017209729A1 (en) * | 2016-05-31 | 2017-12-07 | Carestream Health, Inc. | Intraoral 3d scanner with fluid segmentation |
US20180100755A1 (en) * | 2016-10-10 | 2018-04-12 | Airbus Operations Limited | Measuring fuel in a fuel tank |
JP6576594B1 (ja) * | 2018-10-05 | 2019-09-18 | 三菱電機株式会社 | 工作装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
春名 正光: "光コヒーレンストモグラフィー(OCT)", MEDICAL PHOTONICS, vol. 第1号, JPN6020042873, 10 August 2011 (2011-08-10), pages 29 - 33, ISSN: 0004385591 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2020070884A1 (ja) | 2021-02-15 |
US20210199424A1 (en) | 2021-07-01 |
JP6576594B1 (ja) | 2019-09-18 |
WO2020070884A1 (ja) | 2020-04-09 |
TWI794546B (zh) | 2023-03-01 |
WO2020071109A1 (ja) | 2020-04-09 |
CN112771348A (zh) | 2021-05-07 |
DE112019004400B4 (de) | 2022-11-10 |
DE112019004400T5 (de) | 2021-05-20 |
TW202014673A (zh) | 2020-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPWO2020071109A1 (ja) | 工作装置及び放電加工装置 | |
US20190360795A1 (en) | Device and method for measuring workpieces | |
JP7087885B2 (ja) | 計測システムおよび穴付きシャフトの製造方法 | |
US10890433B2 (en) | Interferometric thickness measuring apparatus using multiple light sources coupled with a selecting means | |
JP2015014604A (ja) | クロマティックレンジセンサを構成する光学ペン用の交換可能光学エレメント、および、その分離状態の検出方法 | |
CN102554709A (zh) | 距离测量系统和方法 | |
US10502563B2 (en) | Measurement device | |
JP5237153B2 (ja) | 工作機械における工作物測定装置およびその方法 | |
KR101425493B1 (ko) | 레이저 가공 방법 및 이를 적용하는 장치 | |
JP5177643B2 (ja) | 高精度レーザ加工およびレーザ・電解複合加工装置 | |
CN117232440A (zh) | 超精密切削加工表面粗糙度在线测量系统与方法 | |
JP7297179B1 (ja) | 工作装置 | |
CN105928470B (zh) | 基于全息方法的自由曲面表面形貌在机检测方法及装置 | |
JP2022024717A (ja) | 画像処理装置及び工作機械 | |
JP6860730B1 (ja) | 画像処理装置及び工作機械 | |
US11754390B2 (en) | Method, system, and apparatus for optical measurement | |
JP2013253915A (ja) | レンズ面間隔測定装置 | |
JP5188377B2 (ja) | 球体の真球度の測定方法および球体の曲率半径の測定方法 | |
JP2009166135A (ja) | 芯高位置調整装置及び芯高位置調整方法 | |
JP2012058118A (ja) | レーザ加工機用機上計測装置 | |
JP2022082138A (ja) | 光学測定装置 | |
JP2013238514A (ja) | 測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200205 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200205 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20200205 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20200306 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200602 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20200730 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20201117 |