JPWO2020059426A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2020059426A5 JPWO2020059426A5 JP2019549594A JP2019549594A JPWO2020059426A5 JP WO2020059426 A5 JPWO2020059426 A5 JP WO2020059426A5 JP 2019549594 A JP2019549594 A JP 2019549594A JP 2019549594 A JP2019549594 A JP 2019549594A JP WO2020059426 A5 JPWO2020059426 A5 JP WO2020059426A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- light
- imaging
- defect inspection
- imaging means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 31
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims 23
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 17
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018176918 | 2018-09-21 | ||
| JP2018176918 | 2018-09-21 | ||
| PCT/JP2019/033190 WO2020059426A1 (ja) | 2018-09-21 | 2019-08-23 | シート状物の欠点検査用照明、シート状物の欠点検査装置、およびシート状物の欠点検査方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2020059426A1 JPWO2020059426A1 (ja) | 2021-08-30 |
| JPWO2020059426A5 true JPWO2020059426A5 (https=) | 2022-08-18 |
| JP7392470B2 JP7392470B2 (ja) | 2023-12-06 |
Family
ID=69887156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019549594A Active JP7392470B2 (ja) | 2018-09-21 | 2019-08-23 | シート状物の欠点検査用照明およびシート状物の欠点検査装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11341630B2 (https=) |
| EP (1) | EP3855172B1 (https=) |
| JP (1) | JP7392470B2 (https=) |
| KR (1) | KR102721999B1 (https=) |
| CN (1) | CN112703393B (https=) |
| MY (1) | MY204678A (https=) |
| WO (1) | WO2020059426A1 (https=) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US12427528B2 (en) * | 2020-01-15 | 2025-09-30 | Jdc Corporation | Rotary crushing apparatus |
| CN115598127A (zh) * | 2021-07-08 | 2023-01-13 | 捷将科技有限公司(Tw) | 用于编织状素材的红外线检测装置及红外线检测方法 |
| TWI767828B (zh) * | 2021-08-27 | 2022-06-11 | 開必拓數據股份有限公司 | 應用於具有卷對卷機構的設備的馬達控制系統 |
| JP7706659B2 (ja) * | 2022-06-08 | 2025-07-11 | 株式会社ヴィーネックス | 光学ラインセンサ |
| CN115993369A (zh) * | 2022-12-31 | 2023-04-21 | 浙江洁美电子科技股份有限公司 | 一种膜缺陷检测方法及装置 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04270949A (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-28 | Toyobo Co Ltd | 欠点検出装置 |
| US5493123A (en) * | 1994-04-28 | 1996-02-20 | Particle Measuring Systems, Inc. | Surface defect inspection system and method |
| US6490032B1 (en) * | 2000-05-31 | 2002-12-03 | Newport Fab, Llc | Method and apparatus for improving a dark field inspection environment |
| KR100543733B1 (ko) * | 2001-11-30 | 2006-01-23 | 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션 | 패턴 프로파일의 검사 장치 및 검사 방법, 노광 장치 |
| JP2004177377A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Hitachi Ltd | 検査方法および検査装置 |
| JP2006098198A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Futec Inc | 透明部材の欠陥検査装置 |
| US7796805B1 (en) * | 2005-09-26 | 2010-09-14 | Kla-Tencor Corporation | Defect detection |
| JP4908995B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2012-04-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥分類方法及びその装置並びに欠陥検査装置 |
| JP4615532B2 (ja) | 2007-03-06 | 2011-01-19 | 株式会社メック | 欠陥検査装置、照明装置 |
| US7710557B2 (en) * | 2007-04-25 | 2010-05-04 | Hitachi High-Technologies Corporation | Surface defect inspection method and apparatus |
| JP2013253906A (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-19 | Toppan Printing Co Ltd | ウェブ搬送物の検査方法及び検査装置 |
| JP2015068670A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 東レ株式会社 | シート状物の欠点検査装置およびシート状物の欠点検査方法 |
| JP6679942B2 (ja) * | 2016-01-15 | 2020-04-15 | 東レ株式会社 | シートのキズ欠点検査装置 |
| JP6789141B2 (ja) * | 2017-01-31 | 2020-11-25 | 大王製紙株式会社 | 衛生薄葉紙の評価方法 |
| JP6389977B1 (ja) * | 2018-06-05 | 2018-09-12 | 株式会社ヒューテック | 欠陥検査装置 |
-
2019
- 2019-08-23 MY MYPI2021001478A patent/MY204678A/en unknown
- 2019-08-23 CN CN201980060619.2A patent/CN112703393B/zh active Active
- 2019-08-23 WO PCT/JP2019/033190 patent/WO2020059426A1/ja not_active Ceased
- 2019-08-23 KR KR1020217007651A patent/KR102721999B1/ko active Active
- 2019-08-23 JP JP2019549594A patent/JP7392470B2/ja active Active
- 2019-08-23 US US17/277,401 patent/US11341630B2/en active Active
- 2019-08-23 EP EP19863821.5A patent/EP3855172B1/en active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPWO2020059426A5 (https=) | ||
| JP5559163B2 (ja) | 多結晶ウエハの検査方法 | |
| JP7392470B2 (ja) | シート状物の欠点検査用照明およびシート状物の欠点検査装置 | |
| KR20160004099A (ko) | 결함 검사 장치 | |
| JP5542367B2 (ja) | 外観検査装置及び外観検査用の光学装置 | |
| US10209203B2 (en) | Wafer inspection apparatus and wafer inspection method | |
| JP2015040835A (ja) | 透明板状体の欠点検査装置及び欠点検査方法 | |
| JP5728395B2 (ja) | 円筒内周面検査用光学系及び円筒内周面検査装置 | |
| JP4630945B1 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| CN114981645A (zh) | 表面检查装置、表面检查方法、钢材的制造方法、钢材的品质管理方法和钢材的制造设备 | |
| JP2017150872A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP6338847B2 (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
| JP2015068670A (ja) | シート状物の欠点検査装置およびシート状物の欠点検査方法 | |
| JP7448808B2 (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
| JP6679942B2 (ja) | シートのキズ欠点検査装置 | |
| KR20180136421A (ko) | 결함 검출 시스템 및 방법 | |
| JP4496257B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP2014169988A (ja) | 透過体または反射体の欠陥検査装置 | |
| JP6409606B2 (ja) | キズ欠点検査装置およびキズ欠点検査方法 | |
| JPH10185828A (ja) | 透明平面体表面の欠陥検査方法及びその装置 | |
| JP6187153B2 (ja) | 検査装置 | |
| JP7829755B2 (ja) | 検査装置 | |
| JP6086277B2 (ja) | パターン検査装置及びそれに使用する照明光学系 | |
| JP7358937B2 (ja) | 異物検出装置および異物検出方法 | |
| JP2019124540A (ja) | 物体の表面検査装置 |