JPWO2020026399A1 - 油除去方法、接着方法、組立装置、および大気圧プラズマ装置 - Google Patents

油除去方法、接着方法、組立装置、および大気圧プラズマ装置 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2020026399A1
JPWO2020026399A1 JP2020533985A JP2020533985A JPWO2020026399A1 JP WO2020026399 A1 JPWO2020026399 A1 JP WO2020026399A1 JP 2020533985 A JP2020533985 A JP 2020533985A JP 2020533985 A JP2020533985 A JP 2020533985A JP WO2020026399 A1 JPWO2020026399 A1 JP WO2020026399A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plasma
gas
oil
plasma gas
atmospheric pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020533985A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7198282B2 (ja
Inventor
神藤 高広
高広 神藤
卓也 岩田
卓也 岩田
陽大 丹羽
陽大 丹羽
明洋 東田
明洋 東田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of JPWO2020026399A1 publication Critical patent/JPWO2020026399A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7198282B2 publication Critical patent/JP7198282B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
    • B08B7/0035Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431Constructional details of the reactor
    • H01J37/3244Gas supply means
    • H01J37/32449Gas control, e.g. control of the gas flow
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431Constructional details of the reactor
    • H01J37/32458Vessel
    • H01J37/32522Temperature
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431Constructional details of the reactor
    • H01J37/32532Electrodes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B2220/00Type of materials or objects being removed
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/48Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/78Means for handling the parts to be joined, e.g. for making containers or hollow articles, e.g. means for handling sheets, plates, web-like materials, tubular articles, hollow articles or elements to be joined therewith; Means for discharging the joined articles from the joining apparatus
    • B29C65/7841Holding or clamping means for handling purposes
    • B29C65/7847Holding or clamping means for handling purposes using vacuum to hold at least one of the parts to be joined
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/01General aspects dealing with the joint area or with the area to be joined
    • B29C66/02Preparation of the material, in the area to be joined, prior to joining or welding
    • B29C66/028Non-mechanical surface pre-treatments, i.e. by flame treatment, electric discharge treatment, plasma treatment, wave energy or particle radiation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/01General aspects dealing with the joint area or with the area to be joined
    • B29C66/05Particular design of joint configurations
    • B29C66/10Particular design of joint configurations particular design of the joint cross-sections
    • B29C66/11Joint cross-sections comprising a single joint-segment, i.e. one of the parts to be joined comprising a single joint-segment in the joint cross-section
    • B29C66/112Single lapped joints
    • B29C66/1122Single lap to lap joints, i.e. overlap joints
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/40General aspects of joining substantially flat articles, e.g. plates, sheets or web-like materials; Making flat seams in tubular or hollow articles; Joining single elements to substantially flat surfaces
    • B29C66/47Joining single elements to sheets, plates or other substantially flat surfaces
    • B29C66/472Joining single elements to sheets, plates or other substantially flat surfaces said single elements being substantially flat
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/50General aspects of joining tubular articles; General aspects of joining long products, i.e. bars or profiled elements; General aspects of joining single elements to tubular articles, hollow articles or bars; General aspects of joining several hollow-preforms to form hollow or tubular articles
    • B29C66/51Joining tubular articles, profiled elements or bars; Joining single elements to tubular articles, hollow articles or bars; Joining several hollow-preforms to form hollow or tubular articles
    • B29C66/53Joining single elements to tubular articles, hollow articles or bars
    • B29C66/532Joining single elements to the wall of tubular articles, hollow articles or bars
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/80General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
    • B29C66/83General aspects of machine operations or constructions and parts thereof characterised by the movement of the joining or pressing tools
    • B29C66/832Reciprocating joining or pressing tools
    • B29C66/8322Joining or pressing tools reciprocating along one axis
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/90Measuring or controlling the joining process
    • B29C66/91Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux
    • B29C66/914Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by controlling or regulating the temperature, the heat or the thermal flux
    • B29C66/9141Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by controlling or regulating the temperature, the heat or the thermal flux by controlling or regulating the temperature
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/90Measuring or controlling the joining process
    • B29C66/91Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux
    • B29C66/919Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux characterised by specific temperature, heat or thermal flux values or ranges
    • B29C66/9192Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux characterised by specific temperature, heat or thermal flux values or ranges in explicit relation to another variable, e.g. temperature diagrams
    • B29C66/91921Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux characterised by specific temperature, heat or thermal flux values or ranges in explicit relation to another variable, e.g. temperature diagrams in explicit relation to another temperature, e.g. to the softening temperature or softening point, to the thermal degradation temperature or to the ambient temperature
    • B29C66/91931Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux characterised by specific temperature, heat or thermal flux values or ranges in explicit relation to another variable, e.g. temperature diagrams in explicit relation to another temperature, e.g. to the softening temperature or softening point, to the thermal degradation temperature or to the ambient temperature in explicit relation to the fusion temperature or melting point of the material of one of the parts to be joined
    • B29C66/91935Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux characterised by specific temperature, heat or thermal flux values or ranges in explicit relation to another variable, e.g. temperature diagrams in explicit relation to another temperature, e.g. to the softening temperature or softening point, to the thermal degradation temperature or to the ambient temperature in explicit relation to the fusion temperature or melting point of the material of one of the parts to be joined lower than said fusion temperature
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/32Processing objects by plasma generation
    • H01J2237/33Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
    • H01J2237/335Cleaning
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24Generating plasma

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Arc Welding In General (AREA)

Abstract

油が付着した対象物の形状にかかわらず、油を除去できる技術を提供することを目的とする。酸素プラズマを含むプラズマガスを照射することにより、切削油を分解する。酸素ラジカルは、油を構成する炭素元素および水素元素をそれぞれ二酸化炭素および水に分解して除去する。したがって、酸素プラズマを含むプラズマガスを照射することにより、切削油に含まれるパラフィンおよびエステルを分解することができる。プラズマガスは対象物の形状に沿って流動することができるため、対象物の油の付着部分の形状にかかわらず、油を除去することができる。

Description

本発明は、油除去方法、接着方法、組立装置、および大気圧プラズマ装置に関するものである。
近年、プラズマの利用について種々の検討がされており、例えば特許文献1には、水蒸気プラズマを用いた油性成分含有物質に対する抗酸化処理方法について開示されている。
特開2010−246509号公報
ところで、工業製品の製造工程あるいは使用過程において、油が使用される機会は多い。また、これに付随して、油の除去が必要とされる機会も多い。
例えば、自動車製造工程においては、部品となる金属の切削が行われる場合に、切削油が使用される。切削油は一般に接着剤を用いた接着の接着性を低下させるため、成形された部品の接着に先行して除去の必要がある。しかしながら、金属の切削面は凹凸が生じている場合が多く、ふき取るなどしても除去しきれない場合があった。
本願は、上記の課題に鑑み提案されたものであって、油が付着した対象物の形状にかかわらず、油を除去できる技術を提供することを目的とする。
本明細書は、対象物に付着した油に大気圧プラズマによりプラズマ化されたプラズマガスを照射するステップを含む油除去方法を開示する。
また、本明細書は、前記油除去方法により対象物に付着した油を除去する油除去ステップと、対象物の油が除去された部分と被接着物との間に接着剤を介在させて対象物と被接着物とを接着させる接着ステップと含む接着方法を開示する。
また、本明細書は、樹脂製の対象物に付着した油に大気圧プラズマによりプラズマ化された酸素プラズマを含むプラズマガスを照射する照射部と、プラズマガスの温度を対象物の融点より低い温度に制御する制御部と、対象物の油が除去された部分と被接着物との間に接着剤を介在させて対象物と被接着物とを接着させる接着部と、を備える組立装置を開示する。
また、本明細書は、樹脂製の対象物に付着した油に大気圧プラズマによりプラズマ化された酸素プラズマを含むプラズマガスを照射する照射部と、プラズマガスの温度を対象物の融点より低い温度に制御する制御部と、を備え、照射部は、放電によりプラズマを発生させる1対の電極と、1対の電極を内蔵し、1対の電極によりプラズマ化されたプラズマガスが流出する流出口を有する反応室と、反応室と連通し、プラズマガスが噴出するノズルブロックと、冷却加熱ガスが流れるガス流路を有し、反応室を冷却する冷却器と、ガス流路と連結され、冷却加熱ガスが流れるガス管と、ガス管に配設される加熱器と、ガス管と連結され、流出口の近傍に噴出口を有する連結部と、を有し、加熱器により加熱された冷却加熱ガスが噴出口からプラズマガスに対して噴出されることにより、プラズマガスは加熱され、制御部は、加熱器を制御することにより、プラズマガスの温度を制御する大気圧プラズマ装置を開示する。
本開示によれば、油が付着した対象物の形状にかかわらず、油を除去できる技術を提供することができる。
大気圧プラズマ装置を示す斜視図である。 プラズマガス噴出装置および加熱ガス供給装置を示す断面図である。 大気圧プラズマ装置の制御系統を示すブロック図である。 プラズマガス照射前および照射後のFTIRスペクトルであり、図4(a)は油面濃度15%、図4(b)は油面濃度10%、図4(c)は油面濃度5%、図4(d)は油面濃度0%の結果である。 プラズマガス照射による切削油の分解を説明する模式図である。 各油面濃度におけるプラズマ処理前後の引張りせん断応力の結果である。 組立装置を示す図である。
第1実施形態
(大気圧プラズマ装置)
図1に示す様に、大気圧プラズマ装置10は、不図示の保護カバーに覆われたプラズマヘッド11と、制御装置16(図3)とを備えている。プラズマヘッド11は、プラズマガス噴出装置12および加熱ガス供給装置14を有する。以下の説明において、プラズマヘッド11の幅方向をX方向と、プラズマヘッド11の奥行方向をY方向と、X方向とY方向とに直行する方向、つまり、上下方向をZ方向と称する。
プラズマガス噴出装置12は、上部ハウジング19、下部ハウジング20、下部カバー22、1対の電極24,26(図2)、1対のヒートシンク27,28によって構成されている。上部ハウジング19と下部ハウジング20とは、上部ハウジング19を下部ハウジング20の上に配設させた状態で、ゴム製のシール部材29を介して連結されている。そして、連結された状態の上部ハウジング19と下部ハウジング20とが、X方向における両側面において、1対のヒートシンク27,28によって挟まれている。
後述するように、下部ハウジング20内部に形成された反応室38によりプラズマガスが生成され、生成されたプラズマガスは下部カバー22の下面から下方に噴射される。ヒートシンク27,28は、上部ハウジング19および下部ハウジング20などを冷却する機能を有する。ヒートシンク27,28の内部には、供給口96から排気口98へ至る流路が形成されている。供給口96には、供給パイプ100を介して、冷却ガス供給装置102(図3)から、室温程度の空気である冷却ガスが供給される。冷却ガスは、熱交換により暖められ、排気口98から排気される。
加熱ガス供給装置14は、ガス管110と、ヒータ112と、連結ブロック114とを有している。ガス管110は、ヒートシンク27,28の内部に形成された冷却ガスが流れる流路と連結されている。詳しくは、ガス管110は、上端部において、排出パイプ116を介して、1対のヒートシンク27,28の排気口98に接続されている。排出パイプ116は、一端部において二股に分岐しており、それら二股に分岐した端部が1対のヒートシンク27,28の排気口98に連結されている。一方、排出パイプ116の他端部は分岐しておらず、ガス管110の上端に接続されている。これにより、1対のヒートシンク27,28から排出されたガスが、ガス管110に供給される。なお、ガス管110の外周面には、概して円筒状のヒータ112が配設されており、ガス管110がヒータ112によって加熱される。これにより、ヒートシンク27,28からガス管110に供給されたガスが加熱される。
次に、図2を用いて、プラズマガス噴出装置12の内部構造について説明する。下部ハウジング20は、メインハウジング30、放熱板31、アース板32、連結ブロック34、ノズルブロック36を含む。メインハウジング30は、概してブロック状をなし、メインハウジング30の内部には、反応室38が形成されている。反応室38は、処理ガスが流入する流入口(不図示)およびプラズマガスが流出する流出口39を有する。
アース板32は、避雷針として機能するものであり、メインハウジング30の下面に固定されている。アース板32の下面に連結ブロック34が固定されており、連結ブロック34の下面にノズルブロック36が固定されている。放熱板31は、メインハウジング30の側面に配設されている。放熱板31は、複数のフィン(不図示)を有しており、メインハウジング30の熱を放熱する。
メインハウジング30、アース板32、連結ブロック34、およびノズルブロック36において、ガス流路50が形成されている。つまり、ノズルブロック36は反応室38と連通している。
連結ブロック114は、ガス管110の下端に連結されるとともに、下部カバー22のY方向での加熱ガス供給装置14側の側面に固定されている。連結ブロック114には、連通路120が形成されており、連通路120の一端部は、連結ブロック114の上面に開口するとともに、連通路120の他端部は、Y方向でのプラズマガス噴出装置12側の側面に開口している。そして、連通路120の一端部がガス管110の下端に連通し、連通路120の他端部が、下部カバー22の貫通穴72に連通している。これにより、ガス管110において加熱されたガスが、下部カバー22に供給される。
1対の電極24,26は、メインハウジング30の反応室38の内部において、対向するように配設されている。その反応室38には、ガス供給路(不図示)を介して、処理ガス供給装置77(図3)から、酸素等の活性ガスと窒素等の不活性ガスとを任意の割合で混合させた処理ガスが供給される。
大気圧プラズマ装置10の制御系統は、図3に示すように、制御装置16と、処理ガス供給装置77、および冷却ガス供給装置102が通信可能に接続されており、制御装置16により、各部が制御されている。制御装置16は、コンピュータを主体とするコントローラ130、駆動回路132〜134を有する。尚、駆動回路132は、電極24,26へ供給する電力を制御する回路である。駆動回路133は、処理ガス供給装置77および冷却ガス供給装置102が供給する各ガスの流量を制御する回路である。駆動回路134は、ヒータ112へ供給する電力を制御する回路である。
大気圧プラズマ装置10において、プラズマガス噴出装置12では、上述した構成により、反応室38の内部で処理ガスがプラズマ化され、ノズルブロック36の下端からプラズマガスが噴出される。詳しくは、反応室38の内部に、処理ガス供給装置77によって処理ガスが供給される。この際、反応室38では、反応室38に内蔵される1対の電極24,26に電圧が印加されており、1対の電極24,26間に電流が流れる。これにより、1対の電極24,26間に放電が生じ、その放電により、処理ガスがプラズマ化され、発生されたプラズマガスが噴出される。尚、処理ガスには、活性ガスとして酸素が含まれるため、プラズマガスには酸素ラジカルが含まれる。ヒートシンク27,28を備えない場合には、プラズマ化の際、電極24,26への電圧の印加により反応室38の温度は上昇する。しかし、大気圧プラズマ装置10においては、冷却ガス供給装置102により冷却ガスがヒートシンク27,28の流路に供給され、熱交換により反応室38が冷却される。尚、ヒートシンク27,28の流路を流れ、熱交換により暖められた冷却ガスは、ガス管110に供給され、ヒータ112により加熱される。加熱された冷却ガスは、下部カバー22の内部に供給され下部カバー22の貫通穴70から、プラズマガスに対して噴出される。尚、貫通穴70はノズルブロック36の近傍にあり、ノズルブロック36の下端から噴出されるプラズマガスの流路に配設されている。そして、下部カバー22の貫通穴70から、プラズマガスが、加熱された冷却ガスとともに噴出される。プラズマガスは、噴射される加熱された冷却ガスにより加熱される。ヒータ112は制御装置16により制御されているため、プラズマガスの温度も制御されている。
(実施例)
大気圧プラズマ装置10による大気圧プラズマガス照射による油除去の効果を検証するために、次に説明する実験を行った。まず、アルミダイカストである4つの平板状のテストピースを用意した。4つのテストピースのそれぞれに、工作機械用の切削油を0%、5%、10%、15%の油面濃度で塗布した。尚、工作機械で使用される際には、油面濃度は5〜10%とされる。
ここで、テストピースをアルミダイカストとし、除去の対象とされる油を切削油としたのは、自動車の製造工程における利用を想定しているためである。例えば、自動車のECU(engine control unit)の筐体は、アルミダイカストの複数部品からなり、切削油を用いた切削が行われる。また、切削後切削油の除去が行われ、その後接着剤により部品が互いに接着される。尚、ここでの接着剤とは、接着性を有するものであり、併せて密閉性を有する例えばFIPG(Formed IN Place Gaskets)、シール剤などを含む概念である。
尚、切削油の成分は製造元により異なるが、主にパラフィン系鉱物油およびエステルを含む。
次に、プラズマガス照射前のテストピースを、フーリエ変換赤外線分光光度計(以下、FTIRと記載する)を用いて分析した。次に、大気圧プラズマ装置10を用いてテストピースに所定温度のプラズマガスを照射した。次に、プラズマガス照射後のテストピースを、FTIRを用いて分析した。
図4(a)〜(d)は、プラズマガス照射前および照射後のテストピースを、FTIRを用いて分析した結果である。図4(a)〜(d)の各図の実線がプラズマガス照射前のスペクトルであり、破線がプラズマガス照射後のスペクトルである。図4(a)〜(d)は、それぞれ、油面像度が15%、10%、5%、0%に対応する。
3000〜2840cm−1のピークはアルカンのC−H伸縮に由来するものである。1750〜1735cm−1のピークはエステルのC=O伸縮に由来するものである。1600〜1400cm−1のピークはアルカンのC−H変角に由来するものである。また、各ピークの強度は油面濃度が大きい程、高くなっている。図4(a)〜(d)の各図において、プラズマガス照射後のスペクトルの各ピークは小さくなっている。これは、切削油がプラズマガスの照射により分解されたことを示すものである。
図5は、プラズマガス照射による切削油の分解の様子を模式的に描いた図である。切削油に含まれるパラフィン系鉱物油およびエステルは、プラズマガスに含まれる酸素ラジカルにより分解される。詳しくは、酸素ラジカルとの反応により、切削油に含まれる炭素元素は二酸化炭素に、切削油に含まれる酸素元素は水になったと考えられる。
次に、プラズマガス照射後のテストピースに接着剤を塗布し、被接着物となる平板状のアルミダイカストを接着した。詳しくは、テストピースのプラズマガスが照射された面と、被接着物との間に接着剤を介在させて、テストピースと被接着物とを接着した。また、比較例として、アルミダイカストである4つのテストピースの各々に切削油を0%、5%、10%、15%の油面濃度で塗布し、プラズマガスを照射せずに、塗布面と被接着物との間に接着剤を介在させて、テストピースと被接着物とを接着した。接着剤は、ThreeeBond社製の1217Mであり、これは油面接着性を付与した脱オキシムタイプのFIPG用一液常温硬化型シリコーン系シール剤である。次に、接着されたテストピースおよび被接着物の各々を接着面に平行であって相反する方向に引っ張り、接着面が破壊する最大荷重を測定した。図6は、最大荷重を接着面の面積で除した引っ張りせん断応力の測定結果(n=3)である。油面濃度10%、15%において、プラズマガスが照射されたテストピース(図6における「プラズマ処理あり」)の引っ張りせん断応力の方が、プラズマガスが照射されていないテストピース(図6における「プラズマ処理なし」)の引っ張りせん断応力よりも大きいことがわかる。これは、プラズマガス照射により接着強度の低下の要因となる切削油が分解されたためであると考えられる。ただし、使用した接着剤は、油面接着性を付与した、つまり、接着面に一般には接着強度を低下させる油が存在しても接着強度の低下を低減する効果が得られる接着剤である。油面濃度5%の実験結果はこの接着剤の特性が反映されたものであると考えられる。また、油面濃度0%においても、プラズマガスが照射されたテストピースの引っ張りせん断応力の方が、プラズマガスが照射されていないテストピースの引っ張りせん断応力よりも大きい結果となった。これは、プラズマガスが照射されることにより、テストピースに付着していた汚れがクリーニングされたためであると考えられる。
以上、説明した実施形態によれば、以下の効果を奏する。
プラズマガスは対象物の形状に沿って流動することができるため、プラズマガスにより対象物の油の付着部分の形状にかかわらず、油を除去することができる。また、酸素ラジカルを用いることにより、油を構成する炭素元素および水素元素をそれぞれ二酸化炭素および水に分解して除去することができる。従って、切削油に含まれるパラフィンおよびエステルを分解することができる。また、接着に先立って、接着面にプラズマガスを照射することにより、接着面に付着する油を分解し、接着強度を向上させることができる。
第2実施形態
(組立装置)
次に、プラズマガス照射、接着剤塗布、被接着物の装着を一連に行う組立装置200について、図7を用いて説明する。組立装置200は、大気圧プラズマ装置10、塗布装置210、装着装置220、および移動装置230を備える。尚、大気圧プラズマ装置10は、プラズマヘッド11と、制御装置16、処理ガス供給装置77、および冷却ガス供給装置102を収納する本体部17を有する。移動装置230は、例えばベルトコンベアであり、上面に載置されたワークW1を大気圧プラズマ装置10、塗布装置210、装着装置220の各作業位置へ、この順に移動させる。尚、ワークW1は樹脂製であり、表面に油が付着している。塗布装置210は、ワークW1の接着面に接着剤Aを吐出ノズル211から吐出させて塗布する。装着装置220は、吸着ヘッド221で吸着した被接着物W2を、接着剤Aが塗布された接着面に装着する。つまり、装着装置220は、ワークW1の大気圧プラズマ装置10によるプラズマ照射により油が除去された部分と被接着物W2との間に接着剤を介在させてワークW1と被接着物W2とを接着させる。尚、大気圧プラズマ装置10から照射されるプラズマガスの温度は、制御装置16により、樹脂製であるワークW1の融点より低い温度に制御されている。
上記実施形態にて、プラズマヘッド11は照射部の一例であり、制御装置16は制御部の一例であり、塗布装置210および装着装置220は接着部の一例である。電極24,26は1対の電極の一例である。ヒートシンク27,28は冷却器の一例であり、ヒータ112は加熱器の一例である。冷却ガスは冷却加熱ガスの一例であり、連結ブロック114および下部カバー22は連結部の一例であり、貫通穴70は噴出口の一例である。
以上、説明した実施形態によれば、以下の効果を奏する。
大気圧プラズマ装置10により照射されるプラズマガスは、樹脂製であるワークW1の融点より低い温度に制御されているため、ワークW1の損傷を低減しつつ、油を除去することができる。また、組立装置200は、大気圧プラズマ装置10、塗布装置210、装着装置220を有するため、プラズマガス照射作業、接着剤塗布作業、被接着物W2の装着作業を流れ作業として実施することができる。
尚、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内での種々の改良、変更が可能であることは言うまでもない。
例えば、上記では、組立装置200を平板状のワークW1に対して各作業が実施される構成を図示したが、これに限定されない。例えば、プラズマヘッド11、吐出ノズル211、吸着ヘッド221の各々が多関節ロボットに備えられ、曲面を有するワークに対して、その曲面に適当な角度で、プラズマヘッド11、吐出ノズル211、吸着ヘッド221の位置が調整される構成としても良い。ワークは、各作業位置にベルトコンベアなどで移動される構成としても良いし、位置が固定されたワークに対して、多関節ロボットが移動されて各作業が実施される構成としても良い。
上記技術の適用対象は、アルミダイカストのECUケースに限らない。例えば、アルミニウム製、樹脂製の例えば自動車のオイルバンの油除去などにも適用することができる。また、酸素プラズマは炭素元素と結合し、二酸化炭素を生成する原理によって、例えば自動車などの金属部品に付着した炭素元素を含む汚れの溶接前のクリーニングなどにも適用することができる。
また、上記では、下部ハウジング20は、アース板32を有すると説明したが、これに限定されず、アース板32を有しない構成としても良い。
10 大気圧プラズマ装置
11 プラズマヘッド
16 制御装置
22 下部カバー
24,26 電極
27,28 ヒートシンク
36 ノズルブロック
38 反応室
200 組立装置
210 塗布装置
220 装着装置
110 ガス管
112 ヒータ
114 連結ブロック

Claims (8)

  1. 対象物に付着した油に大気圧プラズマによりプラズマ化されたプラズマガスを照射するステップを含む油除去方法。
  2. 前記プラズマガスは酸素プラズマを含む請求項1に記載の油除去方法。
  3. 前記プラズマガスの温度を制御するステップを含む請求項1または2に記載の油除去方法。
  4. 前記対象物は金属であり、前記油は切削油である請求項1から3の何れかに記載の油除去方法。
  5. 前記対象物は樹脂であり、前記プラズマガスの温度は前記樹脂の融点より低い温度に制御されている請求項3に記載の油除去方法。
  6. 請求項1から5の何れかに記載の油除去方法により前記対象物に付着した前記油を除去する油除去ステップと、
    前記対象物の前記油が除去された部分と被接着物との間に接着剤を介在させて前記対象物と前記被接着物とを接着させる接着ステップと含む接着方法。
  7. 樹脂製の対象物に付着した油に大気圧プラズマによりプラズマ化された酸素プラズマを含むプラズマガスを照射する照射部と、
    前記プラズマガスの温度を前記対象物の融点より低い温度に制御する制御部と、
    前記対象物の前記油が除去された部分と被接着物との間に接着剤を介在させて前記対象物と前記被接着物とを接着させる接着部と、を備える組立装置。
  8. 樹脂製の対象物に付着した油に大気圧プラズマによりプラズマ化された酸素プラズマを含むプラズマガスを照射する照射部と、
    前記プラズマガスの温度を前記対象物の融点より低い温度に制御する制御部と、を備え、
    前記照射部は、
    放電によりプラズマを発生させる1対の電極と、
    前記1対の電極を内蔵し、前記1対の電極によりプラズマ化された前記プラズマガスが流出する流出口を有する反応室と、
    前記反応室と連通し、前記プラズマガスが噴出するノズルブロックと、
    冷却加熱ガスが流れるガス流路を有し、前記反応室を冷却する冷却器と、
    前記ガス流路と連結され、前記冷却加熱ガスが流れるガス管と、
    前記ガス管に配設される加熱器と、
    前記ガス管と連結され、前記プラズマガスの流路に噴出口を有する連結部と、を有し、
    前記加熱器により加熱された前記冷却加熱ガスが前記噴出口から前記プラズマガスに対して噴出されることにより、前記プラズマガスは加熱され、
    前記制御部は、
    前記加熱器を制御することにより、前記プラズマガスの温度を制御する大気圧プラズマ装置。
JP2020533985A 2018-08-02 2018-08-02 組立装置 Active JP7198282B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2018/028988 WO2020026399A1 (ja) 2018-08-02 2018-08-02 油除去方法、接着方法、組立装置、および大気圧プラズマ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2020026399A1 true JPWO2020026399A1 (ja) 2021-03-18
JP7198282B2 JP7198282B2 (ja) 2022-12-28

Family

ID=69231641

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020533985A Active JP7198282B2 (ja) 2018-08-02 2018-08-02 組立装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20210276054A1 (ja)
JP (1) JP7198282B2 (ja)
CN (1) CN112512707B (ja)
DE (1) DE112018007882T5 (ja)
WO (1) WO2020026399A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USD951194S1 (en) * 2019-12-03 2022-05-10 Fuji Corporation Head for an atmospheric pressure plasma equipment

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5669369A (en) * 1979-11-08 1981-06-10 Toshiba Corp Plasma treating apparatus
JPH09251971A (ja) * 1996-03-15 1997-09-22 Kazuo Sugiyama 物質表面の有機物の除去方法
JP2005223167A (ja) * 2004-02-06 2005-08-18 Shinko Electric Ind Co Ltd 親水性処理方法及び配線パターンの形成方法
JP2008506796A (ja) * 2004-07-13 2008-03-06 シーカ・テクノロジー・アーゲー 水和した酸化物及び/又は水酸化物層を含む金属又は合金から作られた加工部材を処理及び固着させる方法
JP2012212803A (ja) * 2011-03-31 2012-11-01 Akitoshi Okino プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置
KR20130075882A (ko) * 2011-12-28 2013-07-08 주식회사 포스코 대기압 플라즈마 탈지 장치
WO2018029845A1 (ja) * 2016-08-11 2018-02-15 富士機械製造株式会社 プラズマ発生装置、およびプラズマ照射方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2927596B2 (ja) * 1992-02-19 1999-07-28 日鐵溶接工業株式会社 非移行式プラズマジェット揺動方法およびプラズマジェット装置
JP4672384B2 (ja) 2004-04-27 2011-04-20 大日本印刷株式会社 Icタグ付シートの製造方法、icタグ付シートの製造装置、icタグ付シート、icチップの固定方法、icチップの固定装置、およびicタグ
JP2007287454A (ja) * 2006-04-14 2007-11-01 Seiko Epson Corp プラズマ装置
JP2007299822A (ja) 2006-04-28 2007-11-15 Noritsu Koki Co Ltd 部品実装装置
US10115565B2 (en) * 2012-03-02 2018-10-30 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Plasma processing apparatus and plasma processing method
ITVI20130220A1 (it) * 2013-09-05 2015-03-06 Trafimet Spa Torcia al plasma con sistema di raffreddamento perfezionato e relativo metodo di raffreddamento.
JP6307591B2 (ja) * 2014-03-03 2018-04-04 富士機械製造株式会社 大気圧プラズマ発生装置
KR102105235B1 (ko) * 2014-09-16 2020-04-27 가부시키가이샤 후지 플라스마 가스 조사 장치

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5669369A (en) * 1979-11-08 1981-06-10 Toshiba Corp Plasma treating apparatus
JPH09251971A (ja) * 1996-03-15 1997-09-22 Kazuo Sugiyama 物質表面の有機物の除去方法
JP2005223167A (ja) * 2004-02-06 2005-08-18 Shinko Electric Ind Co Ltd 親水性処理方法及び配線パターンの形成方法
JP2008506796A (ja) * 2004-07-13 2008-03-06 シーカ・テクノロジー・アーゲー 水和した酸化物及び/又は水酸化物層を含む金属又は合金から作られた加工部材を処理及び固着させる方法
JP2012212803A (ja) * 2011-03-31 2012-11-01 Akitoshi Okino プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置
KR20130075882A (ko) * 2011-12-28 2013-07-08 주식회사 포스코 대기압 플라즈마 탈지 장치
WO2018029845A1 (ja) * 2016-08-11 2018-02-15 富士機械製造株式会社 プラズマ発生装置、およびプラズマ照射方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020026399A1 (ja) 2020-02-06
US20210276054A1 (en) 2021-09-09
CN112512707A (zh) 2021-03-16
DE112018007882T5 (de) 2021-04-22
CN112512707B (zh) 2023-03-28
JP7198282B2 (ja) 2022-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20200290096A1 (en) System and method for surface cleaning
US7293570B2 (en) Carbon dioxide snow apparatus
JP4151796B1 (ja) バリ取り洗浄装置およびバリ取り洗浄方法
WO2018029845A1 (ja) プラズマ発生装置、およびプラズマ照射方法
JPWO2020026399A1 (ja) 油除去方法、接着方法、組立装置、および大気圧プラズマ装置
JP2017506156A (ja) 表面洗浄のためのシステム及び方法
CN106024669B (zh) 基板处理方法以及基板处理装置
KR20140104451A (ko) 와이어 본딩 장치
JP2008522813A (ja) 二酸化炭素雪装置
WO2009075956A3 (en) System for removing material from components
JP2005509280A5 (ja)
TW200505585A (en) Coating device and method of liquid body, liquid crystal device fabrication method, liquid crystal device, and electric machine
JP5846956B2 (ja) エアガン装置
CN110355133B (zh) 清洁具有多个表面的物体的末端效应器
KR101633288B1 (ko) 페인트층 제거장치
JP2015090895A (ja) 切削装置及び切削方法
US20140231112A1 (en) Hand power tool device
JP4292329B2 (ja) 電子部品の切断装置
KR102130713B1 (ko) 미세입자 세정용 냉각입자 생성장치 및 그 구동방법
CN112543990B (zh) 大气压等离子体发生装置
KR101830929B1 (ko) 벽면 자동 청소장치
KR101327644B1 (ko) 레이저 가공장치
JP2015208796A (ja) バイト切削装置
JP3417086B2 (ja) インクジェット記録ヘッドの撥液膜形成装置
US20210178567A1 (en) Power tools with high-emissivity heat sinks

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200904

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211130

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220127

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20220614

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220914

C60 Trial request (containing other claim documents, opposition documents)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60

Effective date: 20220914

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20220927

C21 Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21

Effective date: 20221004

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20221206

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20221216

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7198282

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150