JPWO2019186332A1 - 表示装置の動作方法 - Google Patents

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Abstract

表示素子に高電圧を印加することができる表示装置を提供する。表示素子は、画素電極及び共通電極を有する表示素子が設けられた画素を有し、画素は第1のデータ線、及び第2のデータ線と電気的に接続されている。第1のデータ線を介した画素への第1の電位の供給と、第2のデータ線を介した画素への第2の電位の供給と、を並行して行った後、第2のデータ線を介して画素に第3の電位を供給することにより、画素に保持された第1の電位を第4の電位に変化させ、第4の電位を画素電極に印加する。ここで、第2の電位は、第1の電位を基に算出される電位である。第2の電位の値が、共通電極に印加される電位以下である場合は、第3の電位は、共通電極に印加される電位より高い。一方、第2の電位の値が、共通電極に印加される電位以上である場合は、第3の電位は、共通電極に印加される電位より低い。

Description

本発明の一態様は、表示装置及びその動作方法に関する。
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の一態様の技術分野は、物、方法、又は、製造方法に関するものである。又は、本発明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、又は、組成物(コンポジション・オブ・マター)に関するものである。そのため、より具体的に本明細書で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、液晶表示装置、発光装置、照明装置、蓄電装置、記憶装置、撮像装置、それらの駆動方法、又は、それらの製造方法、を一例として挙げることができる。
なお、本明細書等において、半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指す。表示装置(液晶表示装置、発光表示装置等)、投影装置、照明装置、電気光学装置、蓄電装置、記憶装置、半導体回路、撮像装置、及び電子機器等は、半導体装置といえる場合がある。もしくは、これらは半導体装置を有するといえる場合がある。
表示素子を高い電圧によって駆動することができる、高い耐圧性を備える表示装置が特許文献1に開示されている。
特開2011−227479号公報
液晶素子等の表示素子を高い電圧によって駆動するためには、高い電位を生成することができるソースドライバ回路が必要となる。しかし、このようなソースドライバ回路は、占有面積が大きく高コストである。
本発明の一態様は、ソースドライバ回路が生成可能な電位の最大値より高い電位、及びソースドライバ回路が生成可能な電位の最小値より低い電位を、表示素子の一方の電極に印加することができる表示装置を提供することを課題の1つとする。又は、表示素子に高電圧を印加することができる表示装置を提供することを課題の1つとする。又は、小型の表示装置を提供することを課題の1つとする。又は、低価格な表示装置を提供することを課題の1つとする。又は、高輝度の画像を表示することができる表示装置を提供することを課題の1つとする。又は、低消費電力の表示装置を提供することを課題の1つとする。又は、信頼性の高い表示装置を提供することを課題の1つとする。又は、高速に動作する表示装置を提供することを課題の1つとする。又は、高品位の画像を表示することができる表示装置を提供することを課題の1つとする。又は、新規な表示装置を提供することを課題の1つとする。
又は、ソースドライバ回路が生成可能な電位の最大値より高い電位、及びソースドライバ回路が生成可能な電位の最小値より低い電位を、表示素子の一方の電極に印加することができる表示装置の動作方法を提供することを課題の1つとする。又は、表示素子に高電圧を印加することができる表示装置の動作方法を提供することを課題の1つとする。又は、小型の表示装置の動作方法を提供することを課題の1つとする。又は、低価格な表示装置の動作方法を提供することを課題の1つとする。又は、高輝度の画像を表示することができる表示装置の動作方法を提供することを課題の1つとする。又は、低消費電力の表示装置の動作方法を提供することを課題の1つとする。又は、信頼性の高い表示装置の動作方法を提供することを課題の1つとする。又は、高速に動作する表示装置の動作方法を提供することを課題の1つとする。又は、高品位の画像を表示することができる表示装置の動作方法を提供することを課題の1つとする。又は、新規な表示装置の動作方法を提供することを課題の1つとする。
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項等の記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項等の記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
本発明の一態様は、画素電極及び共通電極を有する表示素子が設けられた画素を有し、画素は第1のデータ線、及び第2のデータ線と電気的に接続された表示装置の動作方法であって、第1のデータ線を介した画素への第1の電位の供給と、第2のデータ線を介した画素への第2の電位の供給と、を並行して行った後、第2のデータ線を介して画素に第3の電位を供給することにより、画素に保持された第1の電位を第4の電位に変化させ、第4の電位を画素電極に印加し、第2の電位は、第1の電位を基に算出される電位であり、第2の電位の値が、共通電極に印加される電位以下である場合は、第3の電位は、共通電極に印加される電位より高く、第2の電位の値が、共通電極に印加される電位以上である場合は、第3の電位は、共通電極に印加される電位より低い表示装置の動作方法である。
又は、上記態様において、第3の電位は、第1の電位が取り得る最大値以上の電位、又は第1の電位が取り得る最小値以下の電位であってもよい。
又は、上記態様において、表示装置は、ソースドライバ回路を有し、ソースドライバ回路は、第1のデータ線と電気的に接続され、ソースドライバ回路は、第2のデータ線と電気的に接続され、ソースドライバ回路は、第1の電位、及び第2の電位を生成する機能を有してもよい。
本発明の一態様は、画素電極及び共通電極を有する表示素子が設けられた画素を有し、画素は第1のデータ線、及び第2のデータ線と電気的に接続された表示装置の動作方法であって、表示装置は、第1の動作及び第2の動作によって動作し、第1の動作では、第1のデータ線を介した画素への第1の電位の供給と、第2のデータ線を介した画素への第2の電位の供給と、を並行して行った後、第2のデータ線を介して画素に第3の電位を供給することにより、画素に保持された第1の電位を第4の電位に変化させ、第4の電位を画素電極に印加し、第2の電位は、第1の電位を基に算出される、共通電極に印加される電位以下の値の電位であり、第3の電位は、共通電極に印加される電位より高い値の電位であり、第4の電位は、共通電極に印加される電位以上の値の電位であり、第2の動作では、第1のデータ線を介した画素への第5の電位の供給と、第2のデータ線を介した画素への第6の電位の供給と、を並行して行った後、第2のデータ線を介して画素に第7の電位を供給することにより、画素に保持された第5の電位を第8の電位に変化させ、第8の電位を画素電極に印加し、第6の電位は、第5の電位を基に算出される、共通電極に印加される電位以上の値の電位であり、第7の電位は、共通電極に印加される電位より低い値の電位であり、第8の電位は、共通電極に印加される電位以下の値の電位である表示装置の動作方法である。
又は、上記態様において、第3の電位は、第1の電位が取り得る最大値以上の電位であり、第7の電位は、第5の電位が取り得る最小値以上の電位であってもよい。
又は、上記態様において、第1の電位が取り得る値の範囲と、第5の電位が取り得る値の範囲と、は等しくてもよい。
又は、上記態様において、第1の動作による動作と、第2の動作による動作と、を1フレーム期間毎に交互に行ってもよい。
又は、上記態様において、表示装置は、ソースドライバ回路を有し、ソースドライバ回路は、第1のデータ線と電気的に接続され、ソースドライバ回路は、第2のデータ線と電気的に接続され、ソースドライバ回路は、第1の電位及び第2の電位、並びに第5の電位及び第6の電位を生成する機能を有してもよい。
又は、上記態様において、画素は、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、容量素子と、を有し、第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、容量素子の一方の電極と電気的に接続され、第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第1のデータ線と電気的に接続され、第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、容量素子の他方の電極と電気的に接続され、第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第2のデータ線と電気的に接続されていてもよい。
又は、上記態様において、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、は、チャネル形成領域に金属酸化物を有し、金属酸化物は、Inと、Znと、M(MはAl、Ti、Ga、Sn、Y、Zr、La、Ce、Nd又はHf)と、を有してもよい。
又は、上記態様において、表示素子は、液晶素子であってもよい。
本発明の一態様により、ソースドライバ回路が生成可能な電位の最大値より高い電位、及びソースドライバ回路が生成可能な電位の最小値より低い電位を、表示素子の一方の電極に印加することができる表示装置を提供することができる。又は、表示素子に高電圧を印加することができる表示装置を提供することができる。又は、小型の表示装置を提供することができる。又は、低価格な表示装置を提供することができる。又は、高輝度の画像を表示することができる表示装置を提供することができる。又は、低消費電力の表示装置を提供することができる。又は、信頼性の高い表示装置を提供することができる。又は、高速に動作する表示装置を提供することができる。又は、高品位の画像を表示することができる表示装置を提供することができる。又は、新規な表示装置を提供することができる。
又は、ソースドライバ回路が生成可能な電位の最大値より高い電位、及びソースドライバ回路が生成可能な電位の最小値より低い電位を、表示素子の一方の電極に印加することができる表示装置の動作方法を提供することができる。又は、表示素子に高電圧を印加することができる表示装置の動作方法を提供することができる。又は、小型の表示装置の動作方法を提供することができる。又は、低価格な表示装置の動作方法を提供することができる。又は、高輝度の画像を表示することができる表示装置の動作方法を提供することができる。又は、低消費電力の表示装置の動作方法を提供することができる。又は、信頼性の高い表示装置の動作方法を提供することができる。又は、高速に動作する表示装置の動作方法を提供することができる。又は、高品位の画像を表示することができる表示装置の動作方法を提供することができる。又は、新規な表示装置の動作方法を提供することができる。
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
表示装置の一例を示す図、及び画素の一例を示す図。 画素の動作の一例を示す図。 画素に供給される電位と、画素が表示する画像の階調との関係の一例を示す図。 画素の動作の一例を示す図。 画素に供給される電位と、画素が表示する画像の階調との関係の一例を示す図。 表示装置の一例を示す図。 画素の動作の一例を示す図。 画素の動作の一例を示す図。 表示装置の一例を示す図。 画素の動作の一例を示す図。 画素の一例を示す図。 表示装置の構成例を示す断面図。 画素の構成例を示す上面図。 表示装置の構成例を示す断面図。 表示装置の構成例を示す断面図。 表示装置の構成例を示す断面図。 表示装置の構成例を示す断面図。 電子機器の一例を示す図。 電子機器の一例を示す図。 実施例における、画素に供給される電位と、画素が表示する画像の階調との関係を示す図。 実施例における、表示素子に印加される電圧と、画素が表示する画像の階調との関係を示す図。
実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
また、図面において示す各構成の、位置、大きさ、範囲等は、理解の簡単のため、実際の位置、大きさ、範囲等を表していない場合がある。このため、開示する発明は、必ずしも、図面に開示された位置、大きさ、範囲等に限定されない。
なお、「膜」という言葉と、「層」という言葉とは、場合によっては、又は、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更することが可能である。又は、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能である。
本明細書等において、金属酸化物(metal oxide)とは、広い意味での金属の酸化物である。金属酸化物は、酸化物絶縁体、酸化物導電体(透明酸化物導電体を含む)、酸化物半導体(Oxide Semiconductor又は単にOSともいう)等に分類される。例えば、トランジスタの半導体層に金属酸化物を用いた場合、当該金属酸化物を酸化物半導体と呼称する場合がある。つまり、OS FETと記載する場合においては、金属酸化物又は酸化物半導体を有するトランジスタと換言することができる。
また、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物(metal oxide)と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物(metal oxynitride)と呼称してもよい。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置、及びその動作方法について図面を用いて説明する。
本発明の一態様は、画素電極及び共通電極を有する表示素子が設けられた画素を有する表示装置の動作方法に関する。ここで、表示素子として、液晶素子を用いることができる。また、本発明の一態様の表示装置は、ソースドライバ回路を有する。画素は、第1のデータ線を介してソースドライバ回路と電気的に接続され、第2のデータ線を介してソースドライバ回路と電気的に接続されている。
共通電極には、例えば定電位を印加することができる。例えば、ソースドライバ回路が生成可能な電位の最大値と、ソースドライバ回路が生成可能な電位の最小値と、の平均値である電位を、共通電極に印加することができる。
本発明の一態様の表示装置では、まず、画像データに対応する電位である第1の電位を、第1のデータ線を介して、画素に供給する。具体的には、例えば画素電極に第1の電位を供給する。これと並行して、第1の電位を基にして算出された電位である第2の電位を、第2のデータ線を介して画素に供給する。供給された第1の電位及び第2の電位は、画素内部に保持される。
次に、第3の電位を、第2の電位と同様に第2のデータ線を介して画素に供給する。これにより、画素に保持された第2の電位が第3の電位に書き換わる。また、第2の電位が第3の電位に書き換わることにより、画素に保持された第1の電位が、第4の電位に変化する。以上により、画素電極に第4の電位を印加することができる。
第1乃至第3の電位は、例えばソースドライバ回路によって生成される電位である。よって、第1乃至第3の電位は、ソースドライバ回路が生成可能な電位の最大値より高い電位とすることはできず、ソースドライバ回路が生成可能な電位の最小値より低い電位とすることはできない。一方、第4の電位は、第1乃至第3の電位を基にして、画素内部で生成される電位である。
ここで、第4の電位と第1の電位との差の大きさは、第3の電位と第2の電位との差の大きさに対応する。つまり、例えば第1の電位が高いほど、また第3の電位と第2の電位との差が大きいほど、第4の電位は高くなる。本発明の一態様では、第4の電位を、ソースドライバ回路が生成可能な電位の最大値より高い電位とすることができ、ソースドライバ回路が生成可能な電位の最小値より低い電位とすることができる。例えば、表示素子に印加される電圧を、ソースドライバ回路の出力電圧振幅の2倍より大きくすることができる。例えば、ソースドライバ回路が−5V以上5V以下の電位を生成可能であり、共通電極に印加される電位が接地電位(0V)である場合、第4の電位は、10V以上の電位とすることができ、また−10V以下の電位とすることができる。
本明細書等において、表示素子に印加される電圧とは、表示素子の一方の電極に印加される電位と、表示素子の他方の電極に印加される電位と、の差の絶対値を示す。例えば、画素電極に印加される電位と、共通電極に印加される電位と、の差の絶対値を示す。
ここで、第3の電位と第2の電位との差を大きくするために、第3の電位は例えば第2の電位と極性が異なる電位とすることができる。また、第3の電位は、例えばソースドライバ回路が生成可能な電位の最大値又は最小値とすることができる。例えばソースドライバ回路が−5V以上5V以下の電位を生成可能である場合、第2の電位が正電位である場合は第3の電位を−5Vとし、第2の電位が負電位である場合は第3の電位を5Vとすることができる。なお、例えばソースドライバ回路が−5V以上5V以下の電位を生成可能である場合、共通電極に印加する電位は、−5Vと5Vの平均値である接地電位とすることができる。
本明細書等において、電位の極性は、例えば共通電極に印加される電位を基準として判断することができる。例えば、共通電極に印加される電位より高い電位と、共通電極に印加される電位より低い電位と、は互いに極性が異なる電位であるということができる。
なお、第3の電位はソースドライバ回路により生成しなくてもよい。例えば、ソースドライバ回路の外部に設けられた電源回路が第3の電位を生成してもよい。第3の電位をソースドライバ回路以外の回路が生成することにより、第3の電位を、ソースドライバ回路が生成可能な電位の最大値以上の電位、又はソースドライバ回路が生成可能な電位の最小値以下の電位とすることができる。これにより、第3の電位と第2の電位の差を、さらに大きくすることができる。
本発明の一態様の表示装置では、前述のように、ソースドライバ回路が生成可能な電位の最大値より高い電位、及びソースドライバ回路が生成可能な電位の最小値より低い電位を、第4の電位として画素電極に印加することができる。これにより、表示素子に高電圧を印加することができるので、動作の際に高電圧を印加することが好ましい表示素子を用いることができる。例えば、表示素子として、ブルー相を示す液晶、又は高分子分散型液晶(PDLC:Polymer Dispersed Liquid Crystal)を用いることができる。また、ソースドライバ回路の出力電圧振幅が小さくても、表示素子に高電圧を印加することができるので、本発明の一態様の表示装置の消費電力を小さくすることができる。さらに、ソースドライバ回路を高耐圧なものとしなくても、表示素子に高電圧を印加することができるので、本発明の一態様の表示装置を小型化し、また低価格なものとすることができる。
図1(A)は、本発明の一態様の表示装置である表示装置10の構成例を説明する図である。表示装置10は、画素11がm行n列のマトリクス状に配列された表示部12と、画像データ生成回路13と、ゲートドライバ回路14と、ソースドライバ回路15と、を有する。
本明細書等において、i行j列目(iは1以上m以下の整数、jは1以上n以下の整数)の画素11を、画素11[i,j]と記載して示す。
画像データ生成回路13は、ソースドライバ回路15と電気的に接続されている。同一行の画素11は、1本の配線21を介してゲートドライバ回路14と電気的に接続され、1本の配線22を介してゲートドライバ回路14と電気的に接続されている。同一列の画素11は、1本の配線41を介してソースドライバ回路15と電気的に接続され、1本の配線42を介してソースドライバ回路15と電気的に接続されている。
画像データ生成回路13は、表示部12に表示する画像に対応する画像データを生成する機能を有する。ゲートドライバ回路14は、画素11の動作を制御するための電位を生成する機能を有する。ソースドライバ回路15は、画像データに対応する電位等を生成する機能を有する。
本明細書等において、画素11[i,1]乃至画素11[i,n]と電気的に接続されている配線21、配線22を、それぞれ配線21[i]、配線22[i]と記載して示す。また、画素11[1,j]乃至画素11[m,j]と電気的に接続されている配線41、配線42を、それぞれ配線41[j]、配線42[j]と記載して示す。
配線21及び配線22は、走査線としての機能を有する。配線41及び配線42は、データ線としての機能を有する。
図1(B)は、画素11の構成例を説明する図である。画素11は、トランジスタ101と、トランジスタ102と、容量素子104と、容量素子105と、表示素子106と、を有する。表示素子106として、例えば液晶素子を用いることができる。
トランジスタ101のソース又はドレインの一方は、容量素子104の一方の電極と電気的に接続されている。トランジスタ102のソース又はドレインの一方は、容量素子104の他方の電極と電気的に接続されている。容量素子104の一方の電極は、容量素子105の一方の電極と電気的に接続されている。容量素子105の一方の電極は、表示素子106の一方の電極と電気的に接続されている。
ここで、表示素子106の一方の電極は、例えば画素電極とすることができる。また、表示素子106の他方の電極は、例えば共通電極とすることができる。
トランジスタ101のソース又はドレインの一方、容量素子104の一方の電極、容量素子105の一方の電極、及び表示素子106の一方の電極が電気的に接続されるノードをノードNMとする。また、トランジスタ102のソース又はドレインの一方、及び容量素子104の他方の電極が電気的に接続されるノードをノードNAとする。
トランジスタ101のゲートは、配線21と電気的に接続されている。トランジスタ102のゲートは、配線22と電気的に接続されている。トランジスタ101のソース又はドレインの他方は、配線41と電気的に接続されている。トランジスタ102のソース又はドレインの他方は、配線42と電気的に接続されている。
容量素子105の他方の電極は、共通配線32と電気的に接続されている。表示素子106の他方の電極は、共通配線33と電気的に接続されている。共通配線33には、電位VCOMを供給することができる。電位VCOMは、例えば定電位とすることができる。電位VCOMは、例えばソースドライバ回路15が生成可能な電位の最大値と、ソースドライバ回路15が生成可能な電位の最小値と、の平均値である電位とすることができる。電位VCOMは、例えば接地電位とすることができる。なお、共通配線32に供給される電位も、電位VCOMと同一の値の電位とすることができる。
トランジスタ101の導通又は非導通を制御するための電位は、配線21を介して、トランジスタ101のゲートに供給される。トランジスタ102の導通又は非導通を制御するための電位は、配線22を介して、トランジスタ102のゲートに供給される。
ノードNMには、配線41を介して電位が供給される。ノードNAには、配線42を介して電位が供給される。
ここで、トランジスタ101に極めてオフ電流の低いトランジスタを用いることで、ノードNMに供給された電位を長時間保持することができる。また、トランジスタ102に極めてオフ電流の低いトランジスタを用いることで、ノードNAに供給された電位を長時間保持することができる。極めてオフ電流の低いトランジスタとして、例えば、金属酸化物をチャネル形成領域に有するトランジスタ(以下、OSトランジスタ)が挙げられる。
OSトランジスタに用いる半導体材料としては、エネルギーギャップが2eV以上、好ましくは2.5eV以上、より好ましくは3eV以上である金属酸化物を用いることができる。代表的には、インジウムを含む酸化物半導体等であり、例えば、後述するCAAC−OS又はCAC−OS等を用いることができる。CAAC−OSは、結晶性の酸化物半導体である。また、当該結晶性の酸化物半導体を用いたトランジスタは、信頼性を向上させることができるため、本発明の一態様の表示装置に用いると好適である。また、CAC−OSは、高移動度特性を示すため、高速駆動を行うトランジスタ等に適する。
OSトランジスタはエネルギーギャップが大きいため、極めて低いオフ電流特性を示す。また、OSトランジスタは、インパクトイオン化、アバランシェ降伏、及び短チャネル効果等が生じない等、Siをチャネル形成領域に有するトランジスタ(以下、Siトランジスタ)とは異なる特徴を有し、信頼性の高い回路を形成することができる。
なお、トランジスタ101及びトランジスタ102には、OSトランジスタ以外のトランジスタを用いてもよい。ここで、Siトランジスタとしては、アモルファスシリコンを有するトランジスタ、結晶性のシリコン(代表的には、低温ポリシリコン)を有するトランジスタ、単結晶シリコンを有するトランジスタ等が挙げられる。
次に、画素11の動作方法の一例を説明する。具体的には、表示装置10が有する画素11[i,j]の動作方法の一例を説明する。なお、トランジスタ101及びトランジスタ102は、nチャネル型トランジスタとしているが、適宜電位の大小関係を反転させること等により、トランジスタ101及びトランジスタ102の一方又は両方がpチャネル型トランジスタであったとしても、以下の説明を適用することができる。
図2は、画素11[i,j]の動作方法の一例を説明するタイミングチャートである。ここで、画素11[i,j]を含む表示装置10は、時刻T01から時刻T04までの動作により1フレームの画像を表示し、時刻T11から時刻T14までの動作により次の1フレームの画像を表示する。
本明細書等において、例えば時刻T01から時刻T04までの間における動作を第1の動作といい、時刻T11から時刻T14までの間における動作を第2の動作という。詳細は後述するが、第1の動作と第2の動作を交互に行うことにより、画素11はフレーム反転駆動を行うことができる。
図2等において、電位VSDMAXは、ソースドライバ回路15が生成可能な電位の最大値を示す。電位VSDMINは、ソースドライバ回路15が生成可能な電位の最小値を示す。
本実施の形態では、表示素子106の他方の電極に印加される電位である電位VCOM=(VSDMAX+VSDMIN)/2であるとして、画素11の動作方法の一例を説明する。また、ノードNMの容量結合係数は1とする。さらに、トランジスタのしきい値電圧、及びフィードスルー等による電位の変動は考慮しないものとする。
本明細書等において、画素11[i,j]に設けられたノードNM、ノードNAを、それぞれノードNM[i,j]、ノードNA[i,j]と記載して示す。
時刻T01から時刻T02までの間に、配線21[i]の電位、及び配線22[i]の電位を高電位とする。また、配線41[j]の電位を画像データに対応する電位である電位VS1[i,j]とし、配線42[j]の電位を電位VS2[i,j]とする。以上により、画素11[i,j]が有するトランジスタ101及びトランジスタ102が導通し、ノードNM[i,j]の電位が電位VS1[i,j]となり、ノードNA[i,j]の電位が電位VS2[i,j]となる。ここで、電位VS1[i,j]はソースドライバ回路15により生成することができるので、電位VS1[i,j]の値は、電位VSDMIN以上電位VSDMAX以下とすることができる。また、電位VS2[i,j]は、例えば以下の式により算出することができる。
Figure 2019186332
よって、電位VS2[i,j]の値は電位VSDMIN以上、かつ電位VCOM以下とすることができる。なお、電位VS2[i,j]はソースドライバ回路15によって生成することができる。
時刻T02から時刻T03までの間に、配線21[i]の電位、及び配線22[i]の電位を低電位とする。これにより、画素11[i,j]が有するトランジスタ101及びトランジスタ102が非導通となり、ノードNM[i,j]に電位VS1[i,j]が保持され、ノードNA[i,j]に電位VS2[i,j]が保持される。
本明細書等において、低電位は、例えば接地電位、又は負電位とすることができる。また、高電位は、低電位より高い電位とすることができる。
時刻T03から時刻T04までの間に、配線21[i]の電位を低電位とし、配線22[i]の電位を高電位とする。また、配線42[j]の電位を電位VRPとする。以上により、画素11[i,j]が有するトランジスタ102が導通し、ノードNA[i,j]の電位が電位VRPとなる。一方、トランジスタ101は非導通のままであるので、ノードNM[i,j]はフローティング状態である。よって、ノードNM[i,j]の電位は、以下の式で表される電位VDE[i,j]となる。
Figure 2019186332
上記数式に示すように、電位VDE[i,j]は、電位VS1[i,j]、電位VS2[i,j]、及び電位VRPから算出することができる。よって、電位VDE[i,j]は、電位VS1[i,j]、電位VS2[i,j]、及び電位VRPを基にして、画素11[i,j]の内部で生成される電位であるということができる。
電位VRPが電位VCOMより高い場合、電位VDE[i,j]を電位“VS1[i,j]−VS2[i,j]”より高くすることができる。前述のように、電位VS2[i,j]は電位VCOMより低くすることができるので、電位VRPが電位VCOMより高い場合、電位VRPは電位VS2[i,j]と極性が異なるということができる。
また、電位VRPが高いほど、電位VDE[i,j]が高くなる。詳細は後述するが、電位VDE[i,j]の値は電位VCOM以上となるので、電位VDE[i,j]が高いほど、電位“VDE[i,j]−VCOM”が高くなる。よって、電位VDE[i,j]が高いほど、表示素子106に印加される電圧も高くなる。なお、電位VRPは、ソースドライバ回路15により生成することができるので、電位VRPの値は電位VSDMIN以上電位VSDMAX以下とすることができる。図2では、電位VRPの値を電位VSDMAXとしている。
また、電位VS1[i,j]及び電位VRPを高くし、電位VS2[i,j]を低くすることにより、電位VDE[i,j]の値を電位VSDMAXより高くすることができる。また、表示素子106に印加される電圧“VDE[i,j]−VCOM”の値を電圧“VSDMAX−VCOM”の2倍以上とすることができる。つまり、電位VDE[i,j]の値を電位“2VSDMAX−VCOM”以上とすることができる。図2では、電位VDE[i,j]の値が電位“2VSDMAX−VCOM”より高い場合を示している。
本明細書等において、ソースドライバ回路15の出力電圧振幅とは、電圧“VSDMAX−VCOM”又は電圧“VCOM−VSDMIN”を示す。
また、時刻T03から時刻T04までの間に、画像を表示する。例えば、表示素子106が透過型の液晶素子であり、画素11を有する表示装置にバックライトが設けられている場合、当該バックライトを点灯させることにより、画素11[i,j]を用いて電位VDE[i,j]に対応する画像を表示することができる。
時刻T04から時刻T11までの間に、配線21の電位、及び配線22の電位を低電位とする。これにより、トランジスタ101及びトランジスタ102が非導通となる。
時刻T11から時刻T12までの間に、配線21[i]の電位、及び配線22[i]の電位を高電位とする。また、配線41[j]の電位を画像データに対応する電位である電位V’S1[i,j]とし、配線42[j]の電位を電位V’S2[i,j]とする。以上により、画素11[i,j]が有するトランジスタ101及びトランジスタ102が導通し、ノードNM[i,j]の電位が電位V’S1[i,j]となり、ノードNA[i,j]の電位が電位V’S2[i,j]となる。ここで、電位V’S1[i,j]はソースドライバ回路15により生成することができるので、電位V’S1[i,j]の値を、電位VSDMIN以上電位VSDMAX以下とすることができる。また、電位V’S2[i,j]は、例えば以下の式により算出することができる。
Figure 2019186332
よって、電位V’S2[i,j]の値は電位VCOM以上、かつ電位VSDMAX以下とすることができる。なお、電位V’S2[i,j]はソースドライバ回路15によって生成することができる。
時刻T12から時刻T13までの間に、配線21[i]の電位、及び配線22[i]の電位を低電位とする。これにより、画素11[i,j]が有するトランジスタ101及びトランジスタ102が非導通となり、ノードNM[i,j]に電位V’S1[i,j]が保持され、ノードNA[i,j]に電位V’S2[i,j]が保持される。
時刻T13から時刻T14までの間に、配線21[i]の電位を低電位とし、配線22[i]の電位を高電位とする。また、配線42[j]の電位を電位V’RPとする。以上により、画素11[i,j]が有するトランジスタ102が導通し、ノードNA[i,j]の電位が電位V’RPとなる。一方、トランジスタ101は非導通のままであるので、ノードNM[i,j]はフローティング状態である。よって、ノードNM[i,j]の電位は、以下の式で表される電位V’DE[i,j]となる。
Figure 2019186332
上記数式に示すように、電位V’DE[i,j]は、電位V’S1[i,j]、電位V’S2[i,j]、及び電位V’RPから算出することができる。よって、電位V’DE[i,j]は、電位V’S1[i,j]、電位V’S2[i,j]、及び電位V’RPを基にして、画素11[i,j]の内部で生成される電位であるということができる。
電位V’RPが電位VCOMより低い場合、電位V’DE[i,j]を電位“V’S1[i,j]−V’S2[i,j]”より低くすることができる。前述のように、電位V’S2[i,j]は電位VCOMより高くすることができるので、電位V’RPが電位VCOMより低い場合、電位V’RPは電位V’S2[i,j]と極性が異なるということができる。
また、電位V’RPが低いほど、電位V’DE[i,j]が低くなる。詳細は後述するが、電位V’DE[i,j]の値は電位VCOM以下となるので、電位V’DE[i,j]が低いほど、電位“VCOM−V’DE[i,j]”が高くなる。よって、電位V’DE[i,j]が低いほど、表示素子106に印加される電圧は高くなる。なお、電位V’RPは、ソースドライバ回路15により生成することができるので、電位V’RPの値は電位VSDMIN以上電位VSDMAX以下とすることができる。図2では、電位V’RPの値を電位VSDMINとしている。
また、電位V’S1[i,j]及び電位V’RPを低くし、電位V’S2[i,j]を高くすることにより、電位V’DE[i,j]の値を電位VSDMINより低くすることができる。また、表示素子106に印加される電圧“VCOM−V’DE[i,j]”の値を電圧“VCOM−VSDMIN”の2倍以上とすることができる。つまり、電位V’DE[i,j]の値を“2VSDMIN−VCOM”以下とすることができる。図2では、電位V’DE[i,j]の値が電位“2VSDMIN−VCOM”より低い場合を示している。
また、時刻T13から時刻T14までの間に、画像を表示する。例えば、表示素子106が透過型の液晶素子であり、画素11を有する表示装置にバックライトが設けられている場合、当該バックライトを点灯させることにより、画素11[i,j]を用いて電位V’DE[i,j]に対応する画像を表示することができる。
前述のように、電位VDE[i,j]の値は電位VCOM以上となり、電位V’DE[i,j]の値は電位VCOM以下となる。よって、時刻T11以降の動作によりフレーム反転駆動が行われることになる。以上より、第1の動作と第2の動作を、例えば1フレーム期間毎に交互に行うことにより、画素11はフレーム反転駆動を行うことができる。
フレーム反転駆動を行う場合、表示素子106を液晶素子とすると、フレーム反転駆動を行わない場合より表示素子106の劣化を抑制することができる。よって、画素11を有する表示装置の信頼性を高めることができる。
時刻T14以降に、配線21[i]の電位、及び配線22[i]の電位を低電位とする。これにより、画素11[i,j]が有するトランジスタ101及びトランジスタ102が非導通となる。以上が画素11[i,j]の動作方法の一例である。なお、図2において、時刻T01以前、時刻T02から時刻T11までの間、及び時刻T12以降における配線41の電位を電位VCOMとしたが、当該期間における配線41[j]の電位は、電位VCOMに限らず任意の電位とすることができる。また、時刻T01以前、時刻T04から時刻T11までの間、及び時刻T14以降における配線42の電位を電位VCOMとしたが、当該期間における配線42[j]の電位は、電位VCOMに限らず任意の電位とすることができる。
なお、電位VS1、電位VS2、及び電位VDEの値、並びに電位V’S1、電位V’S2、及び電位V’DEの値は、画素11毎に異なる。よって、画素11[i,j]に供給されるこれらの電位を、[i,j]という符号を記載して示している。一方、電位VRPの値、及び電位V’RPの値については、例えば全ての画素11について等しくすることができる。よって、画素11に供給される電位VRP、及び電位V’RPについては、[i,j]という符号を記載していない。
表示装置10では、電位VS1及び電位VS2の画素11への供給、並びに電位V’S1及び電位V’S2の画素11への供給は、1行分の画素11毎に、つまり線順次で行うことができる。一方、電位VRP及び電位V’RPは、例えば全ての画素11に対して同時に供給することができる。つまり、表示装置10では、電位VRP及び電位V’RPを、面順次で画素11に供給することができる。
以上より、表示装置10では、図2に示す時刻T01から時刻T03までの間における動作を、線順次で全ての画素11に対して行った後、時刻T03から時刻T11までの間における動作を、面順次で行うことができる。その後、時刻T11から時刻T13までの間における動作を、線順次で全ての画素11に対して行った後、時刻T13以降における動作を、面順次で行うことができる。
画素11への電位VRPの供給、及び電位V’RPの供給を面順次で行うことにより、当該電位の供給を線順次等で行う場合より、表示装置10を高速に動作させることができる。
図3(A)は、電位VS1、電位VS2、電位VRP、及び電位VDEの値と、画像データが表す階調と、の関係を示すグラフである。ここで、画素11が画像を表示する場合において、例えば階調が高いほど、画素11から射出される光の輝度を高くすることができる。例えば、1個の画素11あたり8ビットの画像データにより階調を表す場合、画素11から射出される光の輝度は、256種類とすることができる。
図3(A)において、グラフ枠内の点線は電位VS1を表し、二点鎖線は電位VS2を表し、破線は電位VRPを表し、実線は電位VDEを表す。また、グラフ枠内の、電位VSDMAXより高い電位を表す部分、及び電位VSDMINより低い電位を表す部分には、ハッチングを付している。なお、図2等においても、電位VSDMAXより高い電位を表す部分、及び電位VSDMINより低い電位を表す部分には、図3(A)と同様のハッチングを付している。
図3(A)に示すように、電位VS1の値は、最低階調の場合は電位VSDMINとすることができ、最高階調の場合は電位VSDMAXとすることができる。また、電位VS2の値は、最低階調の場合は電位VCOMとすることができ、最高階調の場合は電位VSDMINとすることができる。ここで、階調によらずに電位VRPの値を電位VSDMAXとすることにより、電位VDEの値は、最低階調の場合は電位VCOMとすることができ、最高階調の場合は電位“3VSDMAX−2VCOM”とすることができる。つまり、最高階調の場合は、表示素子106に印加される電圧“VDE−VCOM”を、ソースドライバ回路15の出力電圧振幅“VSDMAX−VCOM”の3倍とすることができる。
図3(B)は、電位V’S1、電位V’S2、電位V’RP、及び電位V’DEの値と、画像データが表す階調と、の関係を示すグラフである。
図3(B)に示すように、電位V’S1の値は、最低階調の場合は電位VSDMAXとすることができ、最高階調の場合は電位VSDMINとすることができる。また、電位V’S2の値は、最低階調の場合は電位VCOMとすることができ、最高階調の場合は電位VSDMAXとすることができる。ここで、階調によらずに電位V’RPの値を電位VSDMINとすることにより、電位V’DEの値は、最低階調の場合は電位VCOMとすることができ、最高階調の場合は電位“3VSDMIN−2VCOM”とすることができる。つまり、最高階調の場合は、表示素子106に印加される電圧“VCOM−V’DE”は、ソースドライバ回路15の出力電圧振幅“VCOM−VSDMIN”の3倍とすることができる。
図2及び図3(A)、(B)に示すように、表示装置10では、ソースドライバ回路15が生成可能な電位の最大値より高い電位、及びソースドライバ回路15が生成可能な電位の最小値より低い電位を、表示素子106の一方の電極に印加することができる。例えば、階調が高い場合、表示素子106に印加される電圧を、ソースドライバ回路15の出力電圧振幅の2倍より高くすることができる。以上、表示装置10では、表示素子106に高電圧を印加することができるので、表示素子106として、動作の際に高電圧を印加することが好ましい表示素子を用いることができる。例えば、表示素子106として、ブルー相を示す液晶を有する液晶素子、又は高分子分散型液晶を有する液晶素子を用いることができる。また、ソースドライバ回路15の出力電圧振幅が小さくても、表示素子106に高電圧を印加することができるので、表示装置10の消費電力を小さくすることができる。さらに、ソースドライバ回路15を高耐圧なものとしなくても、表示素子106に高電圧を印加することができるので、表示装置10を小型化し、また低価格なものとすることができる。
図2では、時刻T01から時刻T02までの間に配線42[j]の電位を電位VS2[i,j]とし、時刻T03から時刻T04までの間に配線42[j]の電位を電位VRPとした。また、時刻T11から時刻T12までの間に配線42[j]の電位を電位V’S2[i,j]とし、時刻T13から時刻T14までの間に配線42[j]の電位を電位V’RPとした。しかしながら、本発明の一態様はこれに限らない。例えば、時刻T01から時刻T02までの間に配線42[j]の電位を電位VRPとし、時刻T03から時刻T04までの間に配線42[j]の電位を電位VS2[i,j]としてもよい。また、時刻T11から時刻T12までの間に配線42[j]の電位を電位V’RPとし、時刻T13から時刻T14までの間に配線42[j]の電位を電位V’S2[i,j]としてもよい。以上の場合における、表示装置10が有する画素11[i,j]の動作方法の一例を図4に示す。
図5(A)は、画素11が図4に示す方法で動作する場合における、電位VS1、電位VS2、電位VRP、及び電位VDEの値と、画像データが表す階調と、の関係を示すグラフである。
電位VS1の値は、図3(A)に示す場合と同様に、最低階調の場合は電位VSDMINとすることができ、最高階調の場合は電位VSDMAXとすることができる。一方、電位VS2の値は、最低階調の場合は電位VCOMとすることができる点は図3(A)に示す場合と同様であるが、最高階調の場合は電位VSDMAXとすることができる点が図3(A)に示す場合と異なる。つまり、例えば電位VS2[i,j]は、以下の式により算出することができる。
Figure 2019186332
また、電位VRPの値は、図3(A)に示す場合と異なり、電位VSDMINとすることができる。さらに、例えば電位VDE[i,j]の値は、以下の式により算出することができ、図3(A)に示す場合と同様に、最低階調の場合は電位VCOMとすることができ、最高階調の場合は電位“3VSDMAX−2VCOM”とすることができる。つまり、最高階調の場合は、表示素子106に印加される電圧(“VDE−VCOM”は、ソースドライバ回路15の出力電圧振幅“VSDMAX−VCOM”の3倍とすることができる。
Figure 2019186332
図5(B)は、画素11が図4に示す方法で動作する場合における、電位V’S1、電位V’S2、電位V’RP、及び電位V’DEの値と、画像データが表す階調と、の関係を示すグラフである。
電位V’S1の値は、図3(B)に示す場合と同様に、最低階調の場合は電位VSDMAXとすることができ、最高階調の場合は電位VSDMINとすることができる。一方、電位V’S2の値は、最低階調の場合は電位VCOMとすることができる点は図3(B)に示す場合と同様であるが、最高階調の場合は電位VSDMINとすることができる点が図3(B)に示す場合と異なる。つまり、例えば電位V’S2[i,j]は、以下の式により算出することができる。
Figure 2019186332
また、電位V’RPの値は、図3(B)に示す場合と異なり、電位VSDMAXとすることができる。さらに、例えば電位V’DE[i,j]の値は、以下の式により算出することができ、図3(B)に示す場合と同様に、最低階調の場合は電位VCOMとすることができ、最高階調の場合は電位“3VSDMIN−2VCOM”とすることができる。つまり、最高階調の場合は、表示素子106に印加される電圧“VCOM−V’DE”は、ソースドライバ回路15の出力電圧振幅“VCOM−VSDMIN”の3倍とすることができる。
Figure 2019186332
図6は、表示装置10の変形例である、表示装置50の構成例を示すブロック図である。表示装置50は、表示装置10と同様に、画素11がm行n列のマトリクス状に配列された表示部12と、画像データ生成回路13と、ゲートドライバ回路14と、ソースドライバ回路15と、を有する。なお、図6では、画素11のうち、画素11[1,j]、画素11[1,j+1]、画素11[1,j+2]、画素11[1,j+3]、画素11[m,j]、画素11[m,j+1]、画素11[m,j+2]、及び画素11[m,j+3]を図示している。また、図6では、ゲートドライバ回路14は図示していない。
表示装置50は、トランジスタ16が設けられている点が、表示装置10と異なる。トランジスタ16は、例えば画素11の列ごとに設けることができる。トランジスタ16を画素11の列ごとに設ける場合、表示装置50にはトランジスタ16をn個設けることができる。
トランジスタ16のソース又はドレインの一方は、配線42と電気的に接続されている。本明細書等において、例えば配線42[j]と電気的に接続されたトランジスタ16を、トランジスタ16[j]と記載して示す。
トランジスタ16[1]乃至トランジスタ16[n]のソース又はドレインの他方は、例えば1本の配線26と電気的に接続されている。トランジスタ16[1]乃至トランジスタ16[n]のゲートは、例えば1本の配線23と電気的に接続されている。
配線26は、電源線としての機能を有する。配線26の電位は、電位VRP又は電位V’RPとすることができる。なお、配線26は、図示しない電源回路と電気的に接続され、電源回路が電位VRP及び電位V’RPを生成する。
トランジスタ16を導通させることにより、配線26の電位を配線42に供給することができる。つまり、トランジスタ16は、配線26と配線42との間の導通・非導通を制御する、スイッチとしての機能を有する。なお、トランジスタ16は、スイッチとしての機能を有していれば、トランジスタでなくてもよい。
表示装置50は、配線26を介して配線42に電位VRP又は電位V’RPを供給することができるので、ソースドライバ回路15は電位VRP及び電位V’RPを生成する機能を有していなくてもよい。
図7は、表示装置50が有する画素11[i,j]の動作方法の一例を説明するタイミングチャートであり、図2の変形例である。なお、トランジスタ16は、nチャネル型トランジスタとしているが、適宜電位の大小関係を反転させること等により、トランジスタ16がpチャネル型トランジスタ等であったとしても、以下の説明を適用することができる。
図7に示す動作方法では、時刻T01から時刻T03までの間は、配線23の電位を低電位とする。その後、時刻T03から時刻T04までの間に、配線23の電位を高電位とし、配線26の電位を電位VRPとする。これにより、トランジスタ16[1]乃至トランジスタ16[n]が導通し、配線42[1]乃至配線42[n]の電位が電位VRPとなる。また、時刻T04から時刻T11までの間に、配線23の電位を低電位とする。これにより、トランジスタ16[1]乃至トランジスタ16[n]が非導通となる。
また、時刻T13から時刻T14までの間に、配線23の電位を高電位とし、配線26の電位を電位V’RPとする。これにより、トランジスタ16[1]乃至トランジスタ16[n]が導通し、配線42[1]乃至配線42[n]の電位が電位V’RPとなる。また、時刻T14以降に、配線23の電位を低電位とする。これにより、トランジスタ16[1]乃至トランジスタ16[n]が非導通となる。
以上が図2に示す動作方法との相違点である。なお、図7において、時刻T03以前、及び時刻T04から時刻T13までの間において、配線26の電位を電位VRPとし、時刻T14以降において、配線26の電位を電位V’RPとしたが、これらの期間における配線26の電位は、任意の電位とすることができる。
表示装置50が図7に示す方法で動作する場合において、電位VS1[i,j]、電位VS2[i,j]、電位VRP、及び電位VDE[i,j]の値については、電位VRPの値を電位VSDMAXより高い値に置き換えること等により、図3(A)を参照することができる。また、電位V’S1[i,j]、電位V’S2[i,j]、電位V’RP、及び電位V’DE[i,j]の値については、電位V’RPの値を電位VSDMINより低い値に置き換えること等により、図3(B)を参照することができる。
図7では、図2に示す場合と同様に、時刻T01から時刻T02までの間に配線42[j]の電位を電位VS2[i,j]とし、時刻T03から時刻T04までの間に配線42[j]の電位を電位VRPとした。また、時刻T11から時刻T12までの間に配線42[j]の電位を電位V’S2[i,j]とし、時刻T13から時刻T14までの間に配線42[j]の電位を電位V’RPとした。しかしながら、本発明の一態様はこれに限らない。例えば、図4に示す場合と同様に、時刻T01から時刻T02までの間に配線42[j]の電位を電位VRPとし、時刻T03から時刻T04までの間に配線42[j]の電位を電位VS2[i,j]としてもよい。また、時刻T11から時刻T12までの間に配線42[j]の電位を電位V’RPとし、時刻T13から時刻T14までの間に配線42[j]の電位を電位V’S2[i,j]としてもよい。以上の場合における、表示装置50が有する画素11[i,j]の動作方法の一例を図8に示す。
図8に示す動作方法では、時刻T01から時刻T02までの間に、配線23の電位を高電位とし、配線26の電位を電位VRPとする。また、時刻T02から時刻T03までの間に、配線23の電位を低電位とする。さらに、時刻T11から時刻T12までの間に、配線23の電位を高電位とし、配線26の電位を電位V’RPとする。また、時刻T12から時刻T13までの間に、配線23の電位を低電位とする。
以上が図7に示す動作方法との相違点である。なお、図8において、時刻T01以前、及び時刻T02から時刻T11までの間において、配線26の電位を電位VRPとし、時刻T12以降において、配線26の電位を電位V’RPとしたが、これらの期間における配線26の電位は、任意の電位とすることができる。
表示装置50が図8に示す方法で動作する場合において、電位VS1[i,j]、電位VS2[i,j]、電位VRP、及び電位VDE[i,j]の値については、電位VRPの値を電位VSDMINより低い値に置き換えること等により、図5(A)を参照することができる。また、電位V’S1[i,j]、電位V’S2[i,j]、電位V’RP、及び電位V’DE[i,j]の値については、電位V’RPの値を電位VSDMAXより高い値に置き換えること等により、図5(B)を参照することができる。
表示装置50では、電位VRP及び電位V’RPを、ソースドライバ回路15が生成可能な電位の最大値である電位VSDMAXより高い電位、又はソースドライバ回路15が生成可能な電位の最小値である電位VSDMINより低い電位とすることができる。したがって、表示装置10が有する表示素子106に印加できる電圧よりさらに高い電圧を、表示装置50が有する表示素子106に印加することができる。なお、画素11を用いて表示される画像が最低階調の画像である場合に当該画素11が有する表示素子106に印加される電圧が、表示素子106のしきい値電圧以下となるように、電位VRPの値、及び電位V’RPの値を設定することが好ましい。ここで、表示素子106のしきい値電圧とは、例えば表示素子106の可視光の透過率が特定の値となる場合に、表示素子106に印加される電圧を示す。
また、表示装置50では、表示装置10と同様に、電位VRP及び電位V’RPを、面順次で画素11に供給することができる。
図9は、表示装置50の変形例である、表示装置60の構成例を示すブロック図である。図9では、図6と同様に、画素11のうち、画素11[1,j]、画素11[1,j+1]、画素11[1,j+2]、画素11[1,j+3]、画素11[m,j]、画素11[m,j+1]、画素11[m,j+2]、及び画素11[m,j+3]を図示している。また、図9では、図6と同様に、ゲートドライバ回路14は図示していない。
表示装置60は、トランジスタ16がトランジスタ16a又はトランジスタ16bに、配線42が配線42a又は配線42bに置き換わっている点が、表示装置50と異なる。また、表示装置60は、配線26を有さず、配線26a及び配線26bを有する点が、表示装置50と異なる。表示装置60に設けられるトランジスタ16aの個数と、トランジスタ16bの個数と、は等しくすることができる。つまり、表示装置60は、例えばトランジスタ16aがn/2個、トランジスタ16bがn/2個設けられた構成とすることができる。また、配線42aの本数は、トランジスタ16aの個数と等しくすることができ、配線42bの本数は、トランジスタ16bの個数と等しくすることができる。つまり、表示装置60は、例えば配線42aがn/2本、配線42bがn/2本設けられた構成とすることができる。
なお、トランジスタ16a及びトランジスタ16bは、トランジスタ16と同様のトランジスタ等を用いることができ、スイッチとしての機能を有していれば、トランジスタでなくてもよい。また、配線42a及び配線42bは、配線42と同様にデータ線としての機能を有し、配線26a及び配線26bは、配線26と同様に電源線としての機能を有する。
図9では、画素11[1,j]乃至画素11[m,j]が1本の配線42aと電気的に接続され、画素11[1,j+1]乃至画素11[m,j+1]が1本の配線42bと電気的に接続され、画素11[1,j+2]乃至画素11[m,j+2]が1本の配線42aと電気的に接続され、画素11[1,j+3]乃至画素11[m,j+3]が1本の配線42bと電気的に接続されている場合を示している。つまり、配線42aは、例えば奇数列の画素11又は偶数列の画素11の一方と電気的に接続され、配線42bは、奇数列の画素11又は偶数列の画素11の他方と電気的に接続されている。
トランジスタ16aのソース又はドレインの一方は、配線42aと電気的に接続されている。トランジスタ16bのソース又はドレインの一方は、配線42bと電気的に接続されている。トランジスタ16aのソース又はドレインの他方は、配線26aと電気的に接続されている。トランジスタ16bのソース又はドレインの他方は、配線26bと電気的に接続されている。トランジスタ16aのゲート、及びトランジスタ16bのゲートは、配線23と電気的に接続されている。
本明細書等において、例えば画素11[1,j]乃至画素11[m,j]と電気的に接続されている配線42aを、配線42a[j]と記載して示す。また、例えば画素11[1,j+1]乃至画素11[m,j+1]と電気的に接続されている配線42bを、配線42b[j+1]と記載して示す。さらに、例えば配線42a[j]と電気的に接続されたトランジスタをトランジスタ16a[j]と記載して示し、配線42b[j+1]と電気的に接続されたトランジスタをトランジスタ16b[j+1]と記載して示す。
配線26aの電位、及び配線26bの電位は、電位VRP又は電位V’RPとすることができる。ここで、例えば配線26aの電位が電位VRPである場合は配線26bの電位を電位V’RPとすることができ、配線26aの電位が電位V’RPである場合は配線26bの電位を電位VRPとすることができる。なお、前述のように、電位VRP及び電位V’RPは、電源回路により生成することができる。
図10は、表示装置60が有する画素11[i,j]及び画素11[i,j+1]の動作方法の一例を説明するタイミングチャートである。なお、トランジスタ16a及びトランジスタ16bは、nチャネル型トランジスタとしているが、適宜電位の大小関係を反転させること等により、トランジスタ16a及びトランジスタ16bがpチャネル型トランジスタ等であったとしても、以下の説明を適用することができる。
図10に示す動作方法では、配線21[i]、配線22[i]、配線23、配線41[j]、ノードNM[i,j]、及びノードNA[i,j]の電位は、図7に示す動作方法と同様である。また、図10に示す動作方法において、配線26aの電位は、図7に示す配線26の電位と同様であり、配線42a[j]の電位は、図7に示す配線42[j]の電位と同様である。
図10に示す動作方法において、配線26bの電位は、電位VRPを電位V’RPに、電位V’RPを電位VRPにそれぞれ置き換えている点が、配線26aの電位と異なる。また、配線41[j+1]の電位は、電位VS1[i,j]を電位V’S1[i,j+1]に、電位V’S1[i,j]を電位VS1[i,j+1]にそれぞれ置き換えている点が、配線41[j]の電位と異なる。また、配線42b[j+1]の電位は、電位VS2[i,j]を電位V’S2[i,j+1]に、電位VRPを電位V’RPに、電位V’S2[i,j]を電位VS2[i,j+1]に、電位V’RPを電位VRPにそれぞれ置き換えている点が、配線42a[j]の電位と異なる。
また、ノードNM[i,j+1]の電位は、電位VS1[i,j]を電位V’S1[i,j+1]に、電位VDE[i,j]を電位V’DE[i,j+1]に、電位V’S1[i,j]を電位VS1[i,j+1]に、電位V’DE[i,j]を電位VDE[i,j+1]にそれぞれ置き換えている点が、ノードNM[i,j]の電位と異なる。また、ノードNA[i,j+1]の電位は、電位VS2[i,j]を電位V’S2[i,j+1]に、電位VRPを電位V’RPに、電位V’S2[i,j]を電位VS2[i,j+1]に、電位V’RP電位VRPにそれぞれ置き換えている点が、ノードNA[i,j]の電位と異なる。
図10に示す動作方法において、時刻T03から時刻T04までの間におけるノードNM[i,j]の電位である電位VDE[i,j]の値は電位VCOM以上とすることができ、ノードNM[i,j+1]の電位である電位V’DE[i,j+1]の値は電位VCOM以下とすることができる。一方、時刻T13から時刻T14までの間におけるノードNM[i,j]の電位である電位V’DE[i,j]の値は電位VCOM以下とすることができ、ノードNM[i,j+1]の電位である電位VDE[i,j+1]の値は電位VCOM以上とすることができる。以上より、表示装置60では、列ライン反転駆動方式によりフレーム反転駆動を行うことができるので、フリッカの発生を抑制することができ、高品位の画像を表示することができる。なお、表示装置10のように電位VRP及び電位V’RPをソースドライバ回路15が生成する場合であっても、表示装置60と同様に列ライン反転駆動方式により駆動を行うことができる。
以上が表示装置60に設けられた画素11[i,j]及び画素11[i,j+1]の動作方法の一例である。なお、表示装置60は、表示装置50等と同様に、電位VRP及び電位V’RPを、面順次で画素11に供給することができる。
なお、電位VS1[i,j]、電位VS1[i,j+1]、電位VS2[i,j]、電位VS2[i,j+1]、電位VRP、電位VDE[i,j]、及び電位VDE[i,j+1]の値については、電位VRPを電位VSDMAXより高い値に置き換えることにより、図3(A)を参照することができる。また、電位V’S1[i,j]、電位V’S1[i,j+1]、電位V’S2[i,j]、電位V’S2[i,j+1]、電位V’RP、電位V’DE[i,j]、及び電位V’DE[i,j+1]の値については、電位V’RPを電位VSDMINより高い値に置き換えることにより、図3(B)を参照することができる。
また、図10に示す動作方法において、配線21[i]、配線22[i]、配線23、配線41[j]、ノードNM[i,j]、及びノードNA[i,j]の電位は、図8に示す動作方法と同様としてもよい。また、図10に示す動作方法において、配線26aの電位は、図8に示す配線26の電位と同様としてもよく、配線42a[j]の電位は、図8に示す配線42[j]の電位と同様としてもよい。この場合、画素11に供給される各電位は、図5(A)、(B)を参照することができる。
本発明の一態様において、画素11の構成は図1(B)に示す構成に限られない。図11(A)は、画素11の、図1(B)とは異なる構成例を説明する図である。
図11(A)に示す構成の画素11において、表示素子106は発光素子とすることができる。発光素子として、有機EL素子、無機EL素子、LED(Light Emitting Diode)素子等を用いることができる。
また、図11(A)に示す構成の画素11では、トランジスタ103が設けられている。さらに、容量素子105が設けられておらず、容量素子107が設けられている。
トランジスタ101のソース又はドレインの一方は、容量素子104の一方の電極と電気的に接続されている。容量素子104の一方の電極は、トランジスタ103のゲートと電気的に接続されている。トランジスタ103のゲートは、容量素子107の一方の電極と電気的に接続されている。
容量素子107の他方の電極は、表示素子106の一方の電極と電気的に接続されている。表示素子106の一方の電極は、トランジスタ103のソース又はドレインの一方と電気的に接続されている。トランジスタ103のソース又はドレインの他方は、共通配線34と電気的に接続されている。共通配線34には、例えば定電位を供給することができる。例えば、電位VCOM以上の電位を供給することができる。
ここで、トランジスタ101のソース又はドレインの一方、トランジスタ103のゲート、容量素子104の一方の電極、及び容量素子107の一方の電極が電気的に接続されたノードを、ノードNMとする。
以上が図11(A)に示す構成の画素11の、図1(B)に示す構成の画素11との相違点である。図11(A)に示す構成の画素11の動作は、図2、図4、図7、又は図8に示す、時刻T01乃至時刻T04における動作を参照することができる。
前述のように、本発明の一態様の表示装置では、表示素子106に高電圧を印加することができる。よって、画素11を図11(A)に示す構成とすることで、発光素子である表示素子106に大電流を流すことができる。したがって、本発明の一態様の表示装置に高輝度の画像を表示することができる。
図11(B)、(C)は、画素11の構成例を説明する図である。図11(B)では、図1(B)に示す構成の画素11が有するトランジスタ101、及びトランジスタ102にバックゲートを設けており、図11(C)では、図11(A)に示す構成の画素11が有するトランジスタ101、トランジスタ102、及びトランジスタ103にバックゲートを設けている。当該バックゲートはフロントゲートと電気的に接続されており、オン電流を高める効果を有する。また、バックゲートにフロントゲートと異なる定電位を供給できる構成としてもよい。当該構成とすることで、トランジスタのしきい値電圧を制御することができる。なお、図11(B)、(C)においては、全てのトランジスタにバックゲートを設けた構成を図示しているが、バックゲートが設けられないトランジスタを有していてもよい。
本実施の形態は、他の実施の形態等に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
(実施の形態2)
<表示装置の構成例>
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置の構成例について図面を用いて説明する。
図12(A)に、本発明の一態様の表示装置の一例である、透過型の液晶表示装置の断面図を示す。図12(A)に示す液晶表示装置は、基板131、トランジスタ101、トランジスタ102、絶縁層215、導電層46、絶縁層44、画素電極121、絶縁層45、共通電極123、液晶層122、及び基板132を有する。
トランジスタ101及びトランジスタ102は、基板131上に位置する。絶縁層215は、トランジスタ101上、及びトランジスタ102上に位置する。導電層46は、絶縁層215上に位置する。絶縁層44は、トランジスタ101上、トランジスタ102上、絶縁層215上、及び導電層46上に位置する。画素電極121は、絶縁層44上に位置する。絶縁層45は、画素電極121上に位置する。共通電極123は、絶縁層45上に位置する。液晶層122は、共通電極123上に位置する。共通電極123は、画素電極121を介して、導電層46と重なる領域を有する。画素電極121はトランジスタ101のソース又はドレインと電気的に接続される。導電層46はトランジスタ102のソース又はドレインと電気的に接続される。導電層46、画素電極121、及び共通電極123は、それぞれ、可視光を透過する機能を有する。
本実施の形態の液晶表示装置は、画素電極121と共通電極123とが絶縁層45を介して積層され、FFS(Fringe Field Switching)モードで動作する。画素電極121、液晶層122、及び共通電極123は、表示素子106として機能することができる。
画素電極121、絶縁層45、及び共通電極123は、1つの容量素子105として機能することができる。また、導電層46、絶縁層44、及び画素電極121は、1つの容量素子104として機能することができる。このように、本実施の形態の液晶表示装置は、画素に2つの容量素子を有する。
また、2つの容量素子はいずれも可視光を透過する材料で形成され、且つ、互いに重なる領域を有する。これにより、画素は、高い開口率を有し、さらに複数の保持容量を有することができる。
透過型の液晶表示装置の開口率(画素の開口率ともいえる)を高めることで、液晶表示装置の高精細化が可能となる。また、開口率を高めることで、光取り出し効率を高めることができる。これにより、液晶表示装置の消費電力を低減させることができる。
容量素子104の容量は、容量素子105の容量よりも大きいことが好ましい。例えば、画素電極121と導電層46とが重なる領域の面積は、画素電極121と共通電極123とが重なる領域の面積より大きいことが好ましい。また、導電層46と画素電極121との間に位置する絶縁層44の厚さT1は、画素電極121と共通電極123との間に位置する絶縁層45の厚さT2よりも薄いことが好ましい。
本実施の形態の表示装置の構成は、タッチパネルに適用することもできる。図12(B)は、図12(A)に示す表示装置にタッチセンサTCを搭載した例である。タッチセンサTCを表示装置の表示面に近い位置に設けることで、タッチセンサTCの感度を高めることができる。
本発明の一態様のタッチパネルが有する検知素子(センサ素子ともいう)に限定は無い。指やスタイラス等の被検知体の近接又は接触を検知することのできる様々なセンサを、検知素子として適用することができる。
センサの方式としては、例えば、静電容量方式、抵抗膜方式、表面弾性波方式、赤外線方式、光学方式、感圧方式等様々な方式を用いることができる。
静電容量方式としては、表面型静電容量方式、投影型静電容量方式等がある。また、投影型静電容量方式としては、自己容量方式、相互容量方式等がある。相互容量方式を用いると、同時多点検知が可能となるため好ましい。
本発明の一態様のタッチパネルは、別々に作製された表示装置と検知素子とを貼り合わせる構成、表示素子を支持する基板及び対向基板の一方又は双方に検知素子を構成する電極等を設ける構成等、様々な構成を適用することができる。
≪画素の上面レイアウト≫
図13(A)乃至(C)に、画素の上面図を示す。図13(A)は、ゲート221a及びゲート221bから共通電極123aまでの積層構造を共通電極123a側から見た上面図である。図13(B)は、図13(A)の積層構造から共通電極123aを除いた上面図であり、図13(C)は、図13(A)の積層構造から共通電極123a及び画素電極121を除いた上面図である。
画素は、接続部73と接続部74を有する。接続部73では、画素電極121がトランジスタ101と電気的に接続されている。具体的には、トランジスタ101のソース又はドレインとして機能する導電層222aが導電層46bと接し、且つ、導電層46bが画素電極121と接している。接続部74では、導電層46aがトランジスタ102と電気的に接続されている。具体的には、導電層46aがトランジスタ102のソース又はドレインとして機能する導電層222cと接している。
≪表示装置の断面構造≫
図14に、表示装置の断面図を示す。なお、画素の断面構造については、図13(A)に示す一点鎖線B1−B2間の断面図に相当する。
図14に示す表示装置は、基板131、基板132、トランジスタ101、導電層46a、導電層46b、絶縁層44、絶縁層45、画素電極121、液晶層122、共通電極123a、導電層123b、導電層222e、配向膜133a、配向膜133b、接着層141、オーバーコート135、遮光層38、偏光板161、偏光板163、バックライトユニット30、FPC172等を有する。
ここで、バックライトユニット30には光源39が設けられ、例えば赤色の光を発する光源39、緑色の光を発する光源39、及び青色の光を発する光源39が設けられた構成とすることができる。この場合、例えば赤色の光を発する光源39、緑色の光を発する光源39、及び青色の光を発する光源39を順番に発光させることにより、本発明の一態様の表示装置をフィールドシーケンシャル方式で動作させることができる。本発明の一態様の表示装置をフィールドシーケンシャル方式で動作させる場合、図14に示すように、着色層(カラーフィルタ)を設ける必要がない。つまり、着色層における光吸収による光の損失がない。よって、本発明の一態様の表示装置における光の透過率を向上させることができる。また、光源39の発光照度を低くしても、本発明の一態様の表示装置に高輝度の画像を表示することができるため、本発明の一態様の表示装置の消費電力を低減することができる。なお、赤色の光源39、緑色の光源39、及び青色の光源39を同時に発光させた場合、本発明の一態様の表示装置は白色表示を行うことができる。
基板131上にトランジスタ101及びトランジスタ102が位置する。トランジスタ101は、ゲート221a、ゲート絶縁層211、半導体層231a、導電層222a、導電層222b、絶縁層212、絶縁層213、ゲート絶縁層225a、及びゲート223aを有する。トランジスタ102は、ゲート221b、ゲート絶縁層211、半導体層231b、導電層222c、導電層222d、絶縁層212、絶縁層213、ゲート絶縁層225b、及びゲート223bを有する。
図14に示すトランジスタ101及びトランジスタ102は、チャネルの上下にゲートを有する。2つのゲートは、電気的に接続されていることが好ましい。2つのゲートが電気的に接続されている構成のトランジスタは、他のトランジスタと比較して電界効果移動度を高めることが可能であり、オン電流を増大させることができる。その結果、高速動作が可能な回路を作製することができる。さらには回路部の占有面積を縮小することが可能となる。オン電流の大きなトランジスタを適用することで、表示装置を大型化、又は高精細化して配線数が増大したとしても、各配線における信号遅延を低減することが可能であり、表示ムラを抑制することが可能である。また、回路部の占有面積を縮小できるため、表示装置の狭額縁化が可能である。また、このような構成を適用することで、信頼性の高いトランジスタを実現することができる。
半導体層231は、一対の低抵抗領域231nと、一対の低抵抗領域231nの間に挟持されたチャネル形成領域231iと、を有する。
チャネル形成領域231iは、ゲート絶縁層211を介してゲート221と重なり、ゲート絶縁層225を介してゲート223と重なる。
本明細書等において、半導体層231は、半導体層231a又は半導体層231bの一方又は両方を示す。また、ゲート221は、ゲート221a又はゲート221bの一方又は両方を示し、ゲート223は、ゲート223a又はゲート223bの一方又は両方を示す。さらに、ゲート絶縁層225は、ゲート絶縁層225a又はゲート絶縁層225bの一方又は両方を示す。
ここでは、半導体層231に金属酸化物を用いる場合を例に挙げて説明する。
チャネル形成領域231iと接するゲート絶縁層211及びゲート絶縁層225は酸化物絶縁層であることが好ましい。なお、ゲート絶縁層211又はゲート絶縁層225が積層構造である場合、少なくともチャネル形成領域231iと接する層が酸化物絶縁層であることが好ましい。これにより、チャネル形成領域231iに酸素欠損が生じることを抑制でき、トランジスタの信頼性を高めることができる。
絶縁層213及び絶縁層214のうち一方又は双方は窒化物絶縁層であることが好ましい。これにより、半導体層231に不純物が入り込むことを抑制でき、トランジスタの信頼性を高めることができる。
絶縁層215は、平坦化機能を有することが好ましく、例えば、有機絶縁層であることが好ましい。なお、絶縁層214及び絶縁層215のうち一方又は双方は形成しなくてもよい。
低抵抗領域231nは、チャネル形成領域231iよりも抵抗率が低い。低抵抗領域231nは半導体層231のうち絶縁層212と接する領域である。ここで、絶縁層212が窒素又は水素を有することが好ましい。これにより、絶縁層212中の窒素又は水素が低抵抗領域231nに入り込み、低抵抗領域231nのキャリア濃度を高めることができる。又は、ゲート223をマスクとして、不純物を添加することで、低抵抗領域231nを形成してもよい。当該不純物としては、例えば、水素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、フッ素、窒素、リン、ヒ素、アンチモン、ホウ素、アルミニウム等が挙げられ、当該不純物は、イオン注入法又はイオンドーピング法を用いて添加することができる。また、上記不純物以外にも、半導体層231の構成元素の一つである、インジウム等を添加することで低抵抗領域231nを形成してもよい。インジウムを添加することで、チャネル形成領域231iよりも低抵抗領域231nの方が、インジウムの濃度が高くなる場合がある。
また、ゲート絶縁層225及びゲート223を形成した後に、半導体層231の一部の領域に接するように第1の層を形成し、加熱処理を施すことにより、当該領域を低抵抗化させ、低抵抗領域231nを形成することができる。
第1の層としては、アルミニウム、チタン、タンタル、タングステン、クロム、及びルテニウム等の金属元素の少なくとも一を含む膜を用いることができる。特に、アルミニウム、チタン、タンタル、及びタングステンの少なくとも一を含むことが好ましい。又は、これら金属元素の少なくとも一を含む窒化物、又はこれら金属元素の少なくとも一を含む酸化物を好適に用いることができる。特に、タングステン膜、チタン膜等の金属膜、窒化アルミニウムチタン膜、窒化チタン膜、窒化アルミニウム膜等の窒化物膜、酸化アルミニウムチタン膜等の酸化物膜等を好適に用いることができる。
第1の層の厚さは、例えば0.5nm以上20nm以下、好ましくは0.5nm以上15nm以下、より好ましくは0.5nm以上10nm以下、さらに好ましくは1nm以上6nm以下とすることができる。代表的には、5nm程度、又は2nm程度とすることができる。第1の層がこのように薄い場合であっても、十分に半導体層231を低抵抗化できる。
低抵抗領域231nは、チャネル形成領域231iよりもキャリア密度の高い領域とすることが重要である。例えば低抵抗領域231nは、チャネル形成領域231iよりも水素を多く含む領域、又は、チャネル形成領域231iよりも酸素欠損を多く含む領域とすることができる。酸化物半導体中の酸素欠損と水素原子とが結合すると、キャリアの発生源となる。
半導体層231の一部の領域に第1の層を接して設けた状態で、加熱処理を行うことで、当該領域中の酸素が第1の層に吸引され、当該領域中に酸素欠損を多く形成することができる。これにより、低抵抗領域231nを極めて低抵抗な領域とすることができる。
このように形成された低抵抗領域231nは、後の処理で高抵抗化しにくいといった特徴を有する。例えば、酸素を含む雰囲気下での加熱処理や、酸素を含む雰囲気下での成膜処理等を行っても、低抵抗領域231nの導電性が損なわれる恐れがないため、電気特性が良好で、且つ信頼性の高いトランジスタを実現できる。
加熱処理を経た後の第1の層が導電性を有する場合には、加熱処理後に第1の層を除去することが好ましい。一方、第1の層が絶縁性を有する場合には、これを残存させることで第1の層を保護絶縁膜として機能させることができる。
絶縁層215上に導電層46bが位置し、導電層46b上に絶縁層44が位置し、絶縁層44上に画素電極121が位置する。画素電極121は、導電層222aと電気的に接続されている。具体的には、導電層222aは導電層46bと接続し、導電層46bは画素電極121と接続する。
絶縁層215上に導電層46aが位置する。導電層46aは、導電層222cと電気的に接続されている。具体的には、導電層46aは、絶縁層214及び絶縁層215に設けられた開口を介して、導電層222cと接している。
基板131と基板132は接着層141によって貼り合わされている。
FPC172は、導電層222eと電気的に接続されている。具体的には、FPC172は接続体242と接し、接続体242は導電層123bと接し、導電層123bは導電層222eと接する。導電層123bは絶縁層45上に形成され、導電層222eは、絶縁層214上に形成されている。導電層123bは、共通電極123aと同一の工程、同一の材料で形成することができる。導電層222eは、導電層222a乃至導電層222dと同一の工程、同一の材料で形成することができる。
画素電極121、絶縁層45、及び共通電極123aは、1つの容量素子105として機能することができる。また、導電層46a、絶縁層44、及び画素電極121は、1つの容量素子104として機能することができる。このように、本発明の一態様の表示装置は、1つの画素に例えば2つの容量素子を有する。したがって、画素の保持容量を大きくすることができる。
また、2つの容量素子はいずれも可視光を透過する材料で形成され、且つ、互いに重なる領域を有する。これにより、画素は、高い開口率と、大きな保持容量と、を両立することができる。
容量素子104の容量は、容量素子105の容量よりも大きいことが好ましい。そのため、画素電極121と導電層46aとが重なる領域の面積は、画素電極121と共通電極123aとが重なる領域の面積より大きいことが好ましい。また、導電層46aと画素電極121との間に位置する絶縁層44の厚さは、画素電極121と共通電極123aとの間に位置する絶縁層45の厚さよりも薄いことが好ましい。
図14では、トランジスタ101及びトランジスタ102の双方がバックゲート(ゲート223)を有する例を示したが、トランジスタ101及びトランジスタ102の一方又は双方がバックゲートを有していなくてもよい。
また、図14では、ゲート絶縁層225がチャネル形成領域231i上にのみ形成され、低抵抗領域231nと重ならない例を示したが、ゲート絶縁層225は低抵抗領域231nの少なくとも一部と重なっていてもよい。図15では、ゲート絶縁層225が低抵抗領域231n、ゲート絶縁層211と接して形成される例を示す。図15に示すゲート絶縁層225は、ゲート223をマスクに用いてゲート絶縁層225を加工する工程を削減できる、絶縁層214の被形成面の段差を低くできる等のメリットを有する。
図16に示す表示装置は、トランジスタ101及びトランジスタ102の構造が図14及び図15とは異なる。
図16に示すトランジスタ101は、ゲート221a、ゲート絶縁層211、半導体層231a、導電層222a、導電層222b、絶縁層217、絶縁層218、絶縁層215、及びゲート223aを有する。トランジスタ102は、ゲート221b、ゲート絶縁層211、半導体層231b、導電層222c、導電層222d、絶縁層217、絶縁層218、絶縁層215、及びゲート223bを有する。導電層222a及び導電層222bのうち一方はソースとして機能し、他方はドレインとして機能する。絶縁層217、絶縁層218、及び絶縁層215はゲート絶縁層として機能する。
ここでは、半導体層231に金属酸化物を用いる場合を例に挙げて説明する。
半導体層231と接するゲート絶縁層211及び絶縁層217は酸化物絶縁層であることが好ましい。なお、ゲート絶縁層211又は絶縁層217が積層構造である場合、少なくとも半導体層231と接する層が酸化物絶縁層であることが好ましい。これにより、半導体層231に酸素欠損が生じることを抑制でき、トランジスタの信頼性を高めることができる。
絶縁層218は窒化物絶縁層であることが好ましい。これにより、半導体層231に不純物が入り込むことを抑制でき、トランジスタの信頼性を高めることができる。
絶縁層215は、平坦化機能を有することが好ましく、例えば、有機絶縁層であることが好ましい。なお、絶縁層215は形成しなくてもよく、絶縁層218上に接して導電層46aを形成してもよい。
絶縁層215上に導電層46bが位置し、導電層46b上に絶縁層44が位置し、絶縁層44上に画素電極121が位置する。画素電極121は、導電層222aと電気的に接続されている。具体的には、導電層222aは導電層46bと接続し、導電層46bは画素電極121と接続する。
絶縁層215上に導電層46aが位置する。導電層46a上に絶縁層44及び絶縁層45が位置する。絶縁層45上に共通電極123aが位置する。
図17に示す表示装置は、着色層331が設けられている点が図14乃至図16とは異なる。着色層331は、例えば赤色光、緑色光、又は青色光等、特定の波長域の光を透過する有色層である。着色層331に用いることのできる材料としては、金属材料、樹脂材料、及び顔料又は染料が含まれた樹脂材料等が挙げられる。図17に示す表示装置では、光源39を白色の光を発する光源とすることができる。
図17に示す表示装置は、例えば赤色の画像、緑色の画像、及び青色の画像を時分割で表示しなくても、カラーの画像を表示することができる。よって、本発明の一態様の表示装置の動作周波数が低くても、カラーブレイクの発生等が生じないため、高品位の画像を表示することができる。また、発光させる光源39を切り替えなくてよいため、本発明の一態様の表示装置の動作を簡易なものとすることができる。
≪構成要素の材料≫
次に、本実施の形態の表示装置の各構成要素に用いることができる材料等の詳細について、説明を行う。
表示装置が有する基板の材質等に大きな制限はなく、様々な基板を用いることができる。例えば、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、半導体基板、セラミック基板、金属基板、又はプラスチック基板等を用いることができる。
厚さの薄い基板を用いることで、表示装置の軽量化及び薄型化を図ることができる。さらに、可撓性を有する程度の厚さの基板を用いることで、可撓性を有する表示装置を実現できる。
液晶材料には、誘電率の異方性(Δε)が正であるポジ型の液晶材料と、負であるネガ型の液晶材料がある。本発明の一態様では、どちらの材料を用いることもでき、適用するモード及び設計に応じて最適な液晶材料を用いることができる。
本実施の形態の表示装置では、様々なモードが適用された液晶素子を用いることができる。上述したFFSモードのほかに、例えば、IPSモード、TNモード、ASM(Axially Symmetric aligned Micro−cell)モード、OCB(Optically Compensated Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Crystal)モード、ECB(Electrically Controlled Birefringence)モード、VA−IPSモード、ゲストホストモード等が適用された液晶素子を用いることができる。
なお、液晶素子は、液晶の光学変調作用によって光の透過又は非透過を制御する素子である。液晶の光学的変調作用は、液晶にかかる電界(横方向の電界、縦方向の電界又は斜め方向の電界を含む)によって制御される。液晶素子に用いる液晶としては、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。これらの液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す。
上述の通り、本実施の形態の表示装置は、高い電圧をかけて液晶素子を駆動させることができるため、ブルー相を示す液晶を用いてもよい。ブルー相は液晶相の一つであり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善するために5重量%以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を液晶層に用いる。ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が短く、光学的等方性を示す。また、ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。また配向膜を設けなくてもよいのでラビング処理も不要であり、ラビング処理によって引き起こされる静電破壊を防止することができ、作製工程中の表示パネルの不良又は破損を軽減することができる。
本実施の形態の表示装置は、透過型の液晶表示装置であるため、一対の電極(画素電極121及び共通電極123a)の双方に、可視光を透過する導電性材料を用いる。また、導電層46bも可視光を透過する導電性材料を用いて形成することで、容量素子104を設けても画素の開口率が低下することを抑制できる。なお、容量素子の誘電体として機能する絶縁層44及び絶縁層45には、窒化シリコン膜が好適である。
可視光を透過する導電性材料としては、例えば、インジウム(In)、亜鉛(Zn)、錫(Sn)の中から選ばれた一種以上を含む材料を用いるとよい。具体的には、酸化インジウム、インジウム錫酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、酸化シリコンを含むインジウム錫酸化物(ITSO)、酸化亜鉛、ガリウムを含む酸化亜鉛等が挙げられる。なお、グラフェンを含む膜を用いることもできる。グラフェンを含む膜は、例えば酸化グラフェンを含む膜を還元して形成することができる。
また、可視光を透過する導電膜は、酸化物半導体を用いて形成することができる(以下、酸化物導電層ともいう)。酸化物導電層は、例えば、インジウムを含むことが好ましく、In−M−Zn酸化物(MはAl、Ti、Ga、Y、Zr、La、Ce、Nd、Sn又はHf)を含むことがさらに好ましい。
酸化物半導体は、膜中の酸素欠損、及び膜中の水素、水等の不純物濃度のうち少なくとも一方によって、抵抗を制御することができる半導体材料である。そのため、酸化物半導体層へ酸素欠損及び不純物濃度の少なくとも一方が増加する処理、又は酸素欠損及び不純物濃度の少なくとも一方が低減する処理を選択することによって、酸化物導電層の有する抵抗率を制御することができる。
なお、このように、酸化物半導体を用いて形成された酸化物導電層は、キャリア密度が高く低抵抗な酸化物半導体層、導電性を有する酸化物半導体層、又は導電性の高い酸化物半導体層ということもできる。
本実施の形態の表示装置が有するトランジスタは、トップゲート型又はボトムゲート型のいずれの構造としてもよい。又は、チャネルの上下にゲート電極が設けられていてもよい。トランジスタに用いる半導体材料は特に限定されず、例えば、酸化物半導体、シリコン、ゲルマニウム等が挙げられる。
トランジスタに用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、結晶性を有する半導体(微結晶半導体、多結晶半導体、単結晶半導体、又は一部に結晶領域を有する半導体)のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
例えば、第14族の元素、化合物半導体又は酸化物半導体を半導体層に用いることができる。代表的には、シリコンを含む半導体、ガリウムヒ素を含む半導体又はインジウムを含む酸化物半導体等を半導体層に適用できる。
トランジスタのチャネルが形成される半導体に、酸化物半導体を適用することが好ましい。特にシリコンよりもバンドギャップの大きな酸化物半導体を適用することが好ましい。シリコンよりもバンドギャップが広く、且つキャリア密度の小さい半導体材料を用いると、トランジスタのオフ状態における電流を低減できるため好ましい。
酸化物半導体を用いることで、電気特性の変動が抑制され、信頼性の高いトランジスタを実現できる。
また、その低いオフ電流により、トランジスタを介して容量に蓄積した電荷を長期間に亘って保持することが可能である。このようなトランジスタを画素に適用することで、表示した画像の階調を維持しつつ、駆動回路を停止することも可能となる。その結果、極めて消費電力の低減された表示装置を実現できる。
トランジスタは、高純度化し、酸素欠損の形成を抑制した酸化物半導体層を有することが好ましい。これにより、トランジスタのオフ状態における電流値(オフ電流値)を低くすることができる。よって、画像信号等の電気信号の保持時間を長くすることができ、電源オン状態では書き込み間隔も長く設定できる。よって、リフレッシュ動作の頻度を少なくすることができるため、消費電力を抑制する効果を奏する。
また、酸化物半導体を用いたトランジスタは、比較的高い電界効果移動度が得られるため、高速駆動が可能である。このような高速駆動が可能なトランジスタを表示装置に用いることで、表示部のトランジスタと、駆動回路部のトランジスタを同一基板上に形成することができる。すなわち、駆動回路として、別途、シリコンウェハ等により形成された半導体装置を用いる必要がないため、表示装置の部品点数を削減することができる。また、表示部においても、高速駆動が可能なトランジスタを用いることで、高画質な画像を提供することができる。
表示装置が有する各絶縁層、オーバーコート等に用いることのできる絶縁材料としては、有機絶縁材料又は無機絶縁材料を用いることができる。有機絶縁材料としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、及びフェノール樹脂等が挙げられる。無機絶縁層としては、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜、及び酸化ネオジム膜等が挙げられる。
トランジスタのゲート、ソース、ドレインのほか、表示装置が有する各種配線及び電極等の導電層には、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、又はタングステン等の金属、又はこれを主成分とする合金を単層構造又は積層構造として用いることができる。例えば、アルミニウム膜上にチタン膜を積層する二層構造、タングステン膜上にチタン膜を積層する二層構造、モリブデン膜上に銅膜を積層した二層構造、モリブデンとタングステンを含む合金膜上に銅膜を積層した二層構造、銅−マグネシウム−アルミニウム合金膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜又は窒化チタン膜と、そのチタン膜又は窒化チタン膜上に重ねてアルミニウム膜又は銅膜を積層し、さらにその上にチタン膜又は窒化チタン膜を形成する三層構造、モリブデン膜又は窒化モリブデン膜と、そのモリブデン膜又は窒化モリブデン膜上に重ねてアルミニウム膜又は銅膜を積層し、さらにその上にモリブデン膜又は窒化モリブデン膜を形成する三層構造等がある。例えば、導電層を三層構造とする場合、一層目及び三層目には、チタン、窒化チタン、モリブデン、タングステン、モリブデンとタングステンを含む合金、モリブデンとジルコニウムを含む合金、又は窒化モリブデンでなる膜を形成し、二層目には、銅、アルミニウム、金又は銀、或いは銅とマンガンの合金等の低抵抗材料でなる膜を形成することが好ましい。なお、ITO、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、ITSO等の透光性を有する導電性材料を用いてもよい。なお、酸化物半導体の抵抗率を制御することで、酸化物導電層を形成してもよい。
接着層141としては、熱硬化樹脂、光硬化樹脂、又は2液混合型の硬化性樹脂等の硬化性樹脂を用いることができる。例えば、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、又はシロキサン樹脂等を用いることができる。
接続体242としては、例えば、異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)、又は異方性導電ペースト(ACP:Anisotropic Conductive Paste)等を用いることができる。
バックライトユニット30には、直下型のバックライト、エッジライト型のバックライト等を用いることができる。光源には、LED(Light Emitting Diode)、有機EL(Electroluminescence)素子等を用いることができる。
表示装置を構成する薄膜(絶縁膜、半導体膜、導電膜等)は、それぞれ、スパッタリング法、化学気相堆積(CVD:Chemical Vapor Deposition)法、真空蒸着法、パルスレーザー堆積(PLD:Pulsed Laser Deposition)法、原子層成膜(ALD:Atomic Layer Deposition)法等を用いて形成することができる。CVD法の例として、プラズマ化学気相堆積(PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)法及び熱CVD法等が挙げられる。熱CVD法の例として、有機金属化学気相堆積(MOCVD:Metal Organic CVD)法が挙げられる。
表示装置を構成する薄膜(絶縁膜、半導体膜、導電膜等)は、それぞれ、スピンコート、ディップ、スプレー塗布、インクジェット印刷、ディスペンス、スクリーン印刷、オフセット印刷、ドクターナイフ、スリットコート、ロールコート、カーテンコート、ナイフコート等の方法により形成することができる。
表示装置を構成する薄膜は、フォトリソグラフィ法等を用いて加工することができる。又は、遮蔽マスクを用いた成膜方法により、島状の薄膜を形成してもよい。又は、ナノインプリント法、サンドブラスト法、もしくはリフトオフ法等により薄膜を加工してもよい。フォトリソグラフィ法としては、加工したい薄膜上にレジストマスクを形成して、エッチング等により当該薄膜を加工し、レジストマスクを除去する方法と、感光性を有する薄膜を成膜した後に、露光、現像を行って、当該薄膜を所望の形状に加工する方法と、がある。
フォトリソグラフィ法において、露光に用いる光としては、例えばi線(波長365nm)、g線(波長436nm)、h線(波長405nm)、及びこれらを混合させた光が挙げられる。そのほか、紫外線、KrFレーザ光、又はArFレーザ光等を用いることもできる。また、液浸露光技術により露光を行ってもよい。露光に用いる光としては、極端紫外光(EUV:Extreme Ultra−violet)及びX線等が挙げられる。また、露光に用いる光に換えて、電子ビームを用いることもできる。極端紫外光、X線又は電子ビームを用いると、極めて微細な加工が可能となるため好ましい。なお、電子ビーム等のビームを走査することにより露光を行う場合には、フォトマスクは不要である。
薄膜のエッチングには、ドライエッチング法、ウエットエッチング法、サンドブラスト法等を用いることができる。
[金属酸化物]
本実施の形態の表示装置が有するトランジスタの半導体層には、酸化物半導体として機能する金属酸化物を用いることが好ましい。以下では、半導体層に適用可能な金属酸化物について説明する。
金属酸化物は、少なくともインジウム又は亜鉛を含むことが好ましい。特に、インジウム及び亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム又は錫等が含まれていることが好ましい。また、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、又はマグネシウム等から選ばれた一種、又は複数種が含まれていてもよい。
ここでは、金属酸化物が、インジウム、元素M、及び亜鉛を有するIn−M−Zn酸化物である場合を考える。なお、元素Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、又は錫等とする。そのほかの元素Mに適用可能な元素としては、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウム等がある。ただし、元素Mとして、前述の元素を複数組み合わせても構わない場合がある。
なお、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物(metal oxide)と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物(metal oxynitride)と呼称してもよい。例えば、亜鉛酸窒化物(ZnON)等の窒素を有する金属酸化物を、半導体層に用いてもよい。
酸化物半導体(金属酸化物)は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、CAAC−OS(c−axis aligned crystalline oxide semiconductor)、多結晶酸化物半導体、nc−OS(nanocrystalline oxide semiconductor)、擬似非晶質酸化物半導体(a−like OS:amorphous−like oxide semiconductor)、及び非晶質酸化物半導体等がある。
CAAC−OSは、c軸配向性を有し、且つa−b面方向において複数のナノ結晶が連結し、歪みを有した結晶構造となっている。なお、歪みとは、複数のナノ結晶が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。
ナノ結晶は、六角形を基本とするが、正六角形状とは限らず、非正六角形状である場合がある。また、歪みにおいて、五角形及び七角形等の格子配列を有する場合がある。なお、CAAC−OSにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界(グレインバウンダリーともいう。)を確認することは難しい。すなわち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、CAAC−OSが、a−b面方向において酸素原子の配列が稠密でないことや、金属元素が置換することで原子間の結合距離が変化すること等によって、歪みを許容することができるためである。
また、CAAC−OSは、インジウム、及び酸素を有する層(以下、In層)と、元素M、亜鉛、及び酸素を有する層(以下、(M,Zn)層)とが積層した、層状の結晶構造(層状構造ともいう)を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Mは、互いに置換可能であり、(M,Zn)層の元素Mがインジウムと置換した場合、(In,M,Zn)層と表すこともできる。また、In層のインジウムが元素Mと置換した場合、(In,M)層と表すこともできる。
CAAC−OSは結晶性の高い金属酸化物である。一方、CAAC−OSは、明確な結晶粒界を確認することが難しいため、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、金属酸化物の結晶性は不純物の混入や欠陥の生成等によって低下する場合があるため、CAAC−OSは不純物や欠陥(酸素欠損(V:oxygen vacancyともいう。)等)の少ない金属酸化物ともいえる。したがって、CAAC−OSを有する金属酸化物は、物理的性質が安定する。そのため、CAAC−OSを有する金属酸化物は熱に強く、信頼性が高い。
nc−OSは、微小な領域(例えば、1nm以上10nm以下の領域、特に1nm以上3nm以下の領域)において原子配列に周期性を有する。また、nc−OSは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。したがって、nc−OSは、分析方法によっては、a−like OSや非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。
なお、インジウムと、ガリウムと、亜鉛と、を有する金属酸化物の一種である、インジウム−ガリウム−亜鉛酸化物(以下、IGZO)は、上述のナノ結晶とすることで安定な構造をとる場合がある。特に、IGZOは、大気中では結晶成長がし難い傾向があるため、大きな結晶(ここでは、数mmの結晶、又は数cmの結晶)よりも小さな結晶(例えば、上述のナノ結晶)とする方が、構造的に安定となる場合がある。
a−like OSは、nc−OSと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する金属酸化物である。a−like OSは、鬆又は低密度領域を有する。すなわち、a−like OSは、nc−OS及びCAAC−OSと比べて、結晶性が低い。
酸化物半導体(金属酸化物)は、多様な構造をとり、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、a−like OS、nc−OS、CAAC−OSのうち、二種以上を有していてもよい。
半導体層として機能する金属酸化物膜は、不活性ガス及び酸素ガスのいずれか一方又は双方を用いて成膜することができる。なお、金属酸化物膜の成膜時における酸素の流量比(酸素分圧)に、特に限定はない。ただし、電界効果移動度が高いトランジスタを得る場合においては、金属酸化物膜の成膜時における酸素の流量比(酸素分圧)は、0%以上30%以下が好ましく、5%以上30%以下がより好ましく、7%以上15%以下がさらに好ましい。
金属酸化物は、エネルギーギャップが2eV以上であることが好ましく、2.5eV以上であることがより好ましく、3eV以上であることがさらに好ましい。このように、エネルギーギャップの広い金属酸化物を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。
金属酸化物膜は、スパッタリング法により形成することができる。そのほか、PLD法、PECVD法、熱CVD法、ALD法、真空蒸着法等を用いてもよい。
以上のように、本発明の一態様の表示装置は、画素に、可視光を透過する2つの容量素子を重ねて有するため、画素が、高い開口率と大きな保持容量とを両立することができる。
本実施の形態は、他の実施の形態等に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
(実施の形態3)
本実施の形態では、本発明の一態様で開示されるトランジスタに用いることができるCAC(Cloud−Aligned Composite)−OSの構成について説明する。
CAC−OSとは、例えば、酸化物半導体を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、又はその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、酸化物半導体において、一つあるいはそれ以上の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、又はその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、又はパッチ状ともいう。
なお、酸化物半導体は、少なくともインジウムを含むことが好ましい。特にインジウム及び亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、又はマグネシウム等から選ばれた一種、又は複数種が含まれていてもよい。
例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OS(CAC−OSの中でもIn−Ga−Zn酸化物を、特にCAC−IGZOと呼称してもよい。)とは、インジウム酸化物(以下、InOX1(X1は0よりも大きい実数)とする。)、又はインジウム亜鉛酸化物(以下、InX2ZnY2Z2(X2、Y2、及びZ2は0よりも大きい実数)とする。)等と、ガリウム酸化物(以下、GaOX3(X3は0よりも大きい実数)とする。)、又はガリウム亜鉛酸化物(以下、GaX4ZnY4Z4(X4、Y4、及びZ4は0よりも大きい実数)とする。)等と、に材料が分離することでモザイク状となり、モザイク状のInOX1、又はInX2ZnY2Z2が、膜中に均一に分布した構成(以下、クラウド状ともいう。)である。
つまり、CAC−OSは、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域とが、混合している構成を有する複合酸化物半導体である。なお、本明細書において、例えば、第1の領域の元素Mに対するInの原子数比が、第2の領域の元素Mに対するInの原子数比よりも大きいことを、第1の領域は、第2の領域と比較して、Inの濃度が高いとする。
なお、IGZOは通称であり、In、Ga、Zn、及びOによる1つの化合物をいう場合がある。代表例として、InGaO(ZnO)m1(m1は自然数)、又はIn(1+x0)Ga(1−x0)(ZnO)m0(−1≦x0≦1、m0は任意数)で表される結晶性の化合物が挙げられる。
上記結晶性の化合物は、単結晶構造、多結晶構造、又はCAAC構造を有する。なお、CAAC構造とは、複数のIGZOのナノ結晶がc軸配向を有し、且つa−b面においては配向せずに連結した結晶構造である。
一方、CAC−OSは、酸化物半導体の材料構成に関する。CAC−OSとは、In、Ga、Zn、及びOを含む材料構成において、一部にGaを主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。従って、CAC−OSにおいて、結晶構造は副次的な要素である。
なお、CAC−OSは、組成の異なる二種類以上の膜の積層構造は含まないものとする。例えば、Inを主成分とする膜と、Gaを主成分とする膜との2層からなる構造は、含まない。
なお、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
なお、ガリウムの代わりに、アルミニウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、又はマグネシウム等から選ばれた一種、又は複数種が含まれている場合、CAC−OSは、一部に該金属元素を主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。
CAC−OSは、例えば基板を意図的に加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、CAC−OSをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス(代表的にはアルゴン)、酸素ガス、及び窒素ガスの中から選ばれたいずれか一つ又は複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば酸素ガスの流量比を0%以上30%未満、好ましくは0%以上10%以下とすることが好ましい。
CAC−OSは、X線回折(XRD:X−ray diffraction)測定法のひとつであるOut−of−plane法によるθ/2θスキャンを用いて測定したときに、明確なピークが観察されないという特徴を有する。すなわち、X線回折測定から、測定領域のa−b面方向、及びc軸方向の配向は見られないことが分かる。
またCAC−OSは、プローブ径が1nmの電子線(ナノビーム電子線ともいう。)を照射することで得られる電子線回折パターンにおいて、リング状に輝度の高い領域(リング領域)と、該リング領域に複数の輝点が観測される。従って、電子線回折パターンから、CAC−OSの結晶構造が、平面方向、及び断面方向において、配向性を有さないnc(nano−crystal)構造を有することがわかる。
また例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSでは、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X−ray spectroscopy)を用いて取得したEDXマッピングにより、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
CAC−OSは、金属元素が均一に分布したIGZO化合物とは異なる構造であり、IGZO化合物と異なる性質を有する。つまり、CAC−OSは、GaOX3等が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域と、に互いに相分離し、各元素を主成分とする領域がモザイク状である構造を有する。
ここで、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域は、GaOX3等が主成分である領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域を、キャリアが流れることにより、酸化物半導体としての導電性が発現する。従って、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域が、酸化物半導体中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度(μ)が実現できる。
一方、GaOX3等が主成分である領域は、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、GaOX3等が主成分である領域が、酸化物半導体中に分布することで、リーク電流を抑制し、良好なスイッチング動作を実現できる。
従って、CAC−OSを半導体素子に用いた場合、GaOX3等に起因する絶縁性と、InX2ZnY2Z2、又はInOX1に起因する導電性とが、相補的に作用することにより、高いオン電流(Ion)、及び高い電界効果移動度(μ)を実現することができる。
また、CAC−OSを用いた半導体素子は、信頼性が高い。従って、CAC−OSは、ディスプレイをはじめとするさまざまな半導体装置に最適である。
本実施の形態は、他の実施の形態等に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
(実施の形態4)
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器について図面を用いて説明する。
本実施の形態の電子機器は、表示部に、本発明の一態様の表示装置を有する。これにより、電子機器を低価格なものとし、また電子機器の消費電力を低減させることができる。
本実施の形態の電子機器の表示部には、例えばフルハイビジョン、2K、4K、8K、16K、又はそれ以上の解像度を有する映像を表示させることができる。また、表示部の画面サイズは、対角20インチ以上、対角30インチ以上、対角50インチ以上、対角60インチ以上、又は対角70インチ以上とすることができる。
本発明の一態様の表示装置を用いることができる電子機器としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型もしくはノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用等のモニタ、デジタルサイネージ(Digital Signage:電子看板)、パチンコ機等の大型ゲーム機等の比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、等が挙げられる。また、本発明の一態様の表示装置は、携帯型の電子機器、装着型の電子機器(ウェアラブル機器)、VR(Virtual Reality)機器、AR(Augmented Reality)機器等にも好適に用いることができる。
本発明の一態様の電子機器は、二次電池を有していてもよく、非接触電力伝送を用いて、二次電池を充電することができると好ましい。
二次電池としては、例えば、ゲル状電解質を用いるリチウムポリマー電池(リチウムイオンポリマー電池)等のリチウムイオン二次電池、ニッケル水素電池、ニカド電池、有機ラジカル電池、鉛蓄電池、空気二次電池、ニッケル亜鉛電池、銀亜鉛電池等が挙げられる。
本発明の一態様の電子機器は、アンテナを有していてもよい。アンテナで信号を受信することで、表示部で映像や情報等の表示を行うことができる。また、電子機器がアンテナ及び二次電池を有する場合、アンテナを、非接触電力伝送に用いてもよい。
本発明の一態様の電子機器は、センサ(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、におい又は赤外線を測定する機能を含むもの)を有していてもよい。
本発明の一態様の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像等)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付又は時刻等を表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラム又はデータを読み出す機能等を有することができる。
さらに、複数の表示部を有する電子機器においては、一つの表示部を主として画像情報を表示し、別の一つの表示部を主として文字情報を表示する機能、又は複数の表示部に視差を考慮した画像を表示することで立体的な画像を表示する機能等を有することができる。さらに、受像部を有する電子機器においては、静止画又は動画を撮影する機能、撮影した画像を自動又は手動で補正する機能、撮影した画像を記録媒体(外部又は電子機器に内蔵)に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能等を有することができる。なお、本発明の一態様の電子機器が有する機能はこれらに限定されず、様々な機能を有することができる。
図18(A)に、テレビジョン装置1810を示す。テレビジョン装置1810は、表示部1811、筐体1812、スピーカ1813等を有する。さらに、LEDランプ、操作キー(電源スイッチ、又は操作スイッチを含む)、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。
テレビジョン装置1810は、リモコン操作機1814により、操作することができる。
テレビジョン装置1810が受信できる放送電波としては、地上波、又は衛星から送信される電波等が挙げられる。また放送電波として、アナログ放送、デジタル放送等があり、また映像及び音声、又は音声のみの放送等がある。例えばUHF帯(約300MHz乃至3GHz)又はVHF帯(30MHz乃至300MHz)のうちの特定の周波数帯域で送信される放送電波を受信することができる。また例えば、複数の周波数帯域で受信した複数のデータを用いることで、転送レートを高くすることができ、より多くの情報を得ることができる。これによりフルハイビジョンを超える解像度を有する映像を、表示部1811に表示させることができる。例えば、4K、8K、16K、又はそれ以上の解像度を有する映像を表示させることができる。
また、インターネットやLAN(Local Area Network)、Wi−Fi(登録商標)等のコンピュータネットワークを介したデータ伝送技術により送信された放送のデータを用いて、表示部1811に表示する画像を生成する構成としてもよい。このとき、テレビジョン装置1810にチューナーを有さなくてもよい。
図18(B)は円柱状の柱1822に取り付けられたデジタルサイネージ1820を示している。デジタルサイネージ1820は、表示部1821を有する。
表示部1821が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができる。また、表示部1821が広いほど、人の目につきやすく、例えば、広告の宣伝効果を高めることができる。
表示部1821にタッチパネルを適用することで、表示部1821に静止画又は動画を表示するだけでなく、使用者が直感的に操作することができ、好ましい。また、路線情報もしくは交通情報等の情報を提供するための用途に用いる場合には、直感的な操作によりユーザビリティを高めることができる。
図18(C)はノート型のパーソナルコンピュータ1830を示している。パーソナルコンピュータ1830は、表示部1831、筐体1832、タッチパッド1833、接続ポート1834等を有する。
タッチパッド1833は、ポインティングデバイスや、ペンタブレット等の入力手段として機能し、指やスタイラス等で操作することができる。
また、タッチパッド1833には表示素子が組み込まれている。図18(C)に示すように、タッチパッド1833の表面に入力キー1835を表示することで、タッチパッド1833をキーボードとして使用することができる。このとき、入力キー1835に触れた際に、振動により触感を実現するため、振動モジュールがタッチパッド1833に組み込まれていてもよい。
図19(A)、(B)に、携帯情報端末800を示す。携帯情報端末800は、筐体801、筐体802、表示部803、表示部804、及びヒンジ部805等を有する。
筐体801と筐体802は、ヒンジ部805で連結されている。携帯情報端末800は、図19(A)に示すように折り畳んだ状態から、図19(B)に示すように筐体801と筐体802を開くことができる。
例えば表示部803及び表示部804に、文書情報を表示することができ、電子書籍端末としても用いることができる。また、表示部803及び表示部804に静止画像や動画像を表示することもできる。
このように、携帯情報端末800は、持ち運ぶ際には折り畳んだ状態にできるため、汎用性に優れる。
なお、筐体801及び筐体802には、電源ボタン、操作ボタン、外部接続ポート、スピーカ、マイク等を有していてもよい。
図19(C)に携帯情報端末の一例を示す。図19(C)に示す携帯情報端末810は、筐体811、表示部812、操作ボタン813、外部接続ポート814、スピーカ815、マイク816、カメラ817等を有する。
携帯情報端末810は、表示部812にタッチセンサを備える。電話を掛ける、或いは文字を入力する等のあらゆる操作は、指やスタイラス等で表示部812に触れることで行うことができる。
また、操作ボタン813の操作により、電源のON、OFF動作や、表示部812に表示される画像の種類を切り替えることができる。例えば、メール作成画面から、メインメニュー画面に切り替えることができる。
また、携帯情報端末810の内部に、ジャイロセンサ又は加速度センサ等の検出装置を設けることで、携帯情報端末810の向き(縦か横か)を判断して、表示部812の画面表示の向きを自動的に切り替えるようにすることができる。また、画面表示の向きの切り替えは、表示部812を触れること、操作ボタン813の操作、又はマイク816を用いた音声入力等により行うこともできる。
携帯情報端末810は、例えば、電話機、手帳又は情報閲覧装置等から選ばれた一つ又は複数の機能を有する。具体的には、スマートフォンとして用いることができる。携帯情報端末810は、例えば、移動電話、電子メール、文章閲覧及び作成、音楽再生、動画再生、インターネット通信、ゲーム等の種々のアプリケーションを実行することができる。
図19(D)に、カメラの一例を示す。カメラ820は、筐体821、表示部822、操作ボタン823、シャッターボタン824等を有する。またカメラ820には、着脱可能なレンズ826が取り付けられている。
ここではカメラ820として、レンズ826を筐体821から取り外して交換することが可能な構成としたが、レンズ826と筐体が一体となっていてもよい。
カメラ820は、シャッターボタン824を押すことにより、静止画、又は動画を撮像することができる。また、表示部822はタッチパネルとしての機能を有し、表示部822をタッチすることにより撮像することも可能である。
なお、カメラ820は、ストロボ装置や、ビューファインダー等を別途装着することができる。又は、これらが筐体821に組み込まれていてもよい。
図19(E)に、本発明の一態様の表示装置を車載用ディスプレイとして搭載した一例を示す。表示部832及び表示部833はナビゲーション情報、スピードメーターやタコメーター、走行距離、燃料計、ギア状態、エアコンの設定等を表示することで、様々な情報を提供することができる。表示は使用者の好みに合わせて適宜その表示項目やレイアウトを変更することができる。
以上示したとおり、本発明の一態様の表示装置を適用して電子機器を得ることができる。表示装置の適用範囲は極めて広く、あらゆる分野の電子機器に適用できる。
本実施の形態は、他の実施の形態等に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
本実施例では、本発明の一態様の表示装置が有する画素に設けられた表示素子に印加された電位を測定した。
本実施例では、表示装置50を、以下で説明する条件1及び条件2によって動作させた。条件1では、画素11を図8の時刻T01乃至時刻T04に示す方法により動作させた。条件2では、画素11を図7の時刻T01乃至時刻T04に示す方法により動作させた。
条件1において画素11に供給した電位VS1、電位VS2、及び電位VRPを図20(A)に示し、条件2において画素11に供給した電位VS1、電位VS2、及び電位VRPを図20(B)に示す。条件1、2とも、最低階調を0、最高階調を255として画素11を動作させた。
なお、画素11において、表示素子106は透過型の液晶素子として、ラビング角度を20°とした。また、共通配線32及び共通配線33の電位VCOMを4.5V、容量素子104の容量値Cを30pF、容量素子105の容量値Cを3pF、表示素子106の容量値CLCを3pFとした。
さらに、ソースドライバ回路15が生成可能な電位の最小値である電位VSDMINを1V、ソースドライバ回路15が生成可能な電位の最大値である電位VSDMAXを8Vとした。前述のように、電位VCOMは4.5Vであるので、表示素子106の一方の電極に電位VSDMAXが印加された場合、表示素子106に印加される電圧は3.5Vとなる。
条件1では、電位VS1の値は、階調0の場合に電位VSDMINである1V、階調255の場合に電位VSDMAXである8Vとした。電位VS2は、実施の形態1で示した数式5によって算出された値とし、階調0の場合に電位VCOMである4.5V、階調255の場合に電位VSDMAXである8Vとした。電位VRPは、階調によらず0Vとし、電位VCOMより4.5V低い電位とした。
条件2では、電位VS1の値は、階調0の場合に電位VCOMである4.5V、階調255の場合に電位VSDMAXである8Vとした。電位VS2は、以下の式によって算出された値とし、階調0の場合に電位VCOMである4.5V、階調255の場合に電位VSDMINである1Vとした。電位VRPは、階調によらず4.5Vとし、電位VCOMと等しい電位とした。
Figure 2019186332
本実施例では、条件1、2のそれぞれについて、表示素子106に印加された電圧“VDE−VCOM”を測定した。具体的には、バックライトを点灯させ、表示素子106から射出された光の輝度を測定し、測定結果を基に電圧“VDE−VCOM”を算出した。
図21に、条件1及び条件2における電圧“VDE−VCOM”の測定結果を示す。また、電圧“VSDMAX−VCOM”を示す。
条件1では、条件2より高い電圧を表示素子106に印加できることが確認された。また、階調255の場合において、条件1における電圧“VDE−VCOM”は8.90Vとなり、条件1では電圧“VSDMAX−VCOM”の2倍を超える電圧が表示素子106に印加できることが確認された。
10:表示装置、11:画素、12:表示部、13:画像データ生成回路、14:ゲートドライバ回路、15:ソースドライバ回路、16:トランジスタ、16a:トランジスタ、16b:トランジスタ、21:配線、22:配線、23:配線、26:配線、26a:配線、26b:配線、30:バックライトユニット、32:共通配線、33:共通配線、34:共通配線、38:遮光層、39:光源、41:配線、42:配線、42a:配線、42b:配線、44:絶縁層、45:絶縁層、46:導電層、46a:導電層、46b:導電層、50:表示装置、60:表示装置、73:接続部、74:接続部、101:トランジスタ、102:トランジスタ、103:トランジスタ、104:容量素子、105:容量素子、106:表示素子、107:容量素子、121:画素電極、122:液晶層、123:共通電極、123a:共通電極、123b:導電層、131:基板、132:基板、133a:配向膜、133b:配向膜、135:オーバーコート、141:接着層、161:偏光板、163:偏光板、172:FPC、211:ゲート絶縁層、212:絶縁層、213:絶縁層、214:絶縁層、215:絶縁層、217:絶縁層、218:絶縁層、221:ゲート、221a:ゲート、221b:ゲート、222a:導電層、222b:導電層、222c:導電層、222d:導電層、222e:導電層、223:ゲート、223a:ゲート、223b:ゲート、225:ゲート絶縁層、225a:ゲート絶縁層、225b:ゲート絶縁層、231:半導体層、231a:半導体層、231b:半導体層、231i:チャネル形成領域、231n:低抵抗領域、242:接続体、331:着色層、800:携帯情報端末、801:筐体、802:筐体、803:表示部、804:表示部、805:ヒンジ部、810:携帯情報端末、811:筐体、812:表示部、813:操作ボタン、814:外部接続ポート、815:スピーカ、816:マイク、817:カメラ、820:カメラ、821:筐体、822:表示部、823:操作ボタン、824:シャッターボタン、826:レンズ、832:表示部、833:表示部、1810:テレビジョン装置、1811:表示部、1812:筐体、1813:スピーカ、1814:リモコン操作機、1820:デジタルサイネージ、1821:表示部、1822:柱、1830:パーソナルコンピュータ、1831:表示部、1832:筐体、1833:タッチパッド、1834:接続ポート、1835:入力キー

Claims (11)

  1. 画素電極及び共通電極を有する表示素子が設けられた画素を有し、前記画素は第1のデータ線、及び第2のデータ線と電気的に接続された表示装置の動作方法であって、
    前記第1のデータ線を介した前記画素への第1の電位の供給と、前記第2のデータ線を介した前記画素への第2の電位の供給と、を並行して行った後、前記第2のデータ線を介して前記画素に第3の電位を供給することにより、前記画素に保持された前記第1の電位を前記第4の電位に変化させ、前記第4の電位を前記画素電極に印加し、
    前記第2の電位は、前記第1の電位を基に算出される電位であり、
    前記第2の電位の値が、前記共通電極に印加される電位以下である場合は、前記第3の電位は、前記共通電極に印加される電位より高く、
    前記第2の電位の値が、前記共通電極に印加される前記電位以上である場合は、前記第3の電位は、前記共通電極に印加される前記電位より低い表示装置の動作方法。
  2. 請求項1において、
    前記第3の電位は、前記第1の電位が取り得る最大値以上の電位、又は前記第1の電位が取り得る最小値以下の電位である表示装置の動作方法。
  3. 請求項1又は2において、
    前記表示装置は、ソースドライバ回路を有し、
    前記ソースドライバ回路は、前記第1のデータ線と電気的に接続され、
    前記ソースドライバ回路は、前記第2のデータ線と電気的に接続され、
    前記ソースドライバ回路は、前記第1の電位、及び前記第2の電位を生成する機能を有する表示装置の動作方法。
  4. 画素電極及び共通電極を有する表示素子が設けられた画素を有し、前記画素は第1のデータ線、及び第2のデータ線と電気的に接続された表示装置の動作方法であって、
    前記表示装置は、第1の動作及び第2の動作によって動作し、
    前記第1の動作では、前記第1のデータ線を介した前記画素への第1の電位の供給と、前記第2のデータ線を介した前記画素への第2の電位の供給と、を並行して行った後、前記第2のデータ線を介して前記画素に第3の電位を供給することにより、前記画素に保持された前記第1の電位を前記第4の電位に変化させ、前記第4の電位を前記画素電極に印加し、
    前記第2の電位は、前記第1の電位を基に算出される、前記共通電極に印加される電位以下の値の電位であり、
    前記第3の電位は、前記共通電極に印加される前記電位より高い値の電位であり、
    前記第4の電位は、前記共通電極に印加される前記電位以上の値の電位であり、
    前記第2の動作では、前記第1のデータ線を介した前記画素への第5の電位の供給と、前記第2のデータ線を介した前記画素への第6の電位の供給と、を並行して行った後、前記第2のデータ線を介して前記画素に第7の電位を供給することにより、前記画素に保持された前記第5の電位を前記第8の電位に変化させ、前記第8の電位を前記画素電極に印加し、
    前記第6の電位は、前記第5の電位を基に算出される、前記共通電極に印加される前記電位以上の値の電位であり、
    前記第7の電位は、前記共通電極に印加される前記電位より低い値の電位であり、
    前記第8の電位は、前記共通電極に印加される前記電位以下の値の電位である表示装置の動作方法。
  5. 請求項4において、
    前記第3の電位は、前記第1の電位が取り得る最大値以上の電位であり、
    前記第7の電位は、前記第5の電位が取り得る最小値以上の電位である表示装置の動作方法。
  6. 請求項4又は5において、
    前記第1の電位が取り得る値の範囲と、前記第5の電位が取り得る値の範囲と、は等しい表示装置の動作方法。
  7. 請求項4乃至6のいずれか一項において、
    前記第1の動作による動作と、前記第2の動作による動作と、を1フレーム期間毎に交互に行う表示装置の動作方法。
  8. 請求項4乃至7のいずれか一項において、
    前記表示装置は、ソースドライバ回路を有し、
    前記ソースドライバ回路は、前記第1のデータ線と電気的に接続され、
    前記ソースドライバ回路は、前記第2のデータ線と電気的に接続され、
    前記ソースドライバ回路は、前記第1の電位及び前記第2の電位、並びに前記第5の電位及び前記第6の電位を生成する機能を有する表示装置の動作方法。
  9. 請求項1乃至8のいずれか一項において、
    前記画素は、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、容量素子と、を有し、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記容量素子の一方の電極と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第1のデータ線と電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記容量素子の他方の電極と電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2のデータ線と電気的に接続されている表示装置の動作方法。
  10. 請求項9において、
    前記第1のトランジスタと、前記第2のトランジスタと、は、チャネル形成領域に金属酸化物を有し、
    前記金属酸化物は、Inと、Znと、M(MはAl、Ti、Ga、Sn、Y、Zr、La、Ce、Nd又はHf)と、を有する表示装置の動作方法。
  11. 請求項1乃至10のいずれか一項において、
    前記表示素子は、液晶素子である表示装置の動作方法。
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