JPWO2019181569A1 - 放射線検出器、放射線画像撮影装置、及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、図20〜図41を参照して補強基板40の他の例示的実施形態について説明する。
Claims (27)
- 可撓性かつ樹脂製であり、平均粒子径が0.05μm以上、2.5μm以下の無機の微粒子を含む微粒子層を有する基材の前記微粒子層を有する面と反対側の面の画素領域に、放射線から変換された光に応じて発生した電荷を蓄積する複数の画素が形成された基板と、
前記基材の前記画素領域が設けられた面に設けられ、前記放射線を光に変換する変換層と、
前記基板、及び前記変換層が積層された積層体の前記基板側の面、及び前記変換層側の面の少なくとも一方に設けられた補強基板と、
を備えた放射線検出器。 - 前記基材は、300℃〜400℃における熱膨張率が20ppm/K以下である、
請求項1に記載の放射線検出器。 - 前記基材は、厚みが25μmの状態において400℃におけるMD(Machine Direction)方向の熱収縮率が0.5%以下、及び500℃における弾性率が1GPa以上の少なくとも一方を満たす、
請求項1または請求項2に記載の放射線検出器。 - 前記微粒子は、前記基材を構成する元素よりも原子番号が大きく且つ原子番号が30以下の元素を含む
請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記補強基板は、曲げ弾性率が150MPa以上、2500MPa以下である、
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記変換層の熱膨張率に対する前記補強基板の熱膨張率の比が0.5以上、2以下である、
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記補強基板は、熱膨張率が30ppm/K以上、80ppm/K以下である、
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記補強基板は、降伏点を有する材料を含む、
請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記補強基板は、前記基材よりも剛性が高い、
請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記補強基板の厚みは、前記基材の厚みよりも厚い、
請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記変換層は、前記画素領域を覆い、かつ前記基材の前記画素領域が設けられた面の一部の領域に設けられており、
前記補強基板は、前記変換層が設けられた領域よりも広い領域に設けられている、
請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記補強基板が、前記基板、及び前記変換層が積層された積層体の前記基板側の面、及び前記変換層側の面に設けられており、
前記変換層側の面に設けられた補強基板の厚みは、前記基板側の面に設けられた補強基板の厚みよりも厚い、
請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記補強基板は、プラスチックを材料とした基板である、
請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記プラスチックは、ポリカーボネート及びポリエチレンテレフタレートの少なくとも一つである、
請求項13に記載の放射線検出器。 - 前記プラスチックは、スチロール、アクリル、ポリアセターゼ、及びナイロンの少なくとも一つである、
請求項13または請求項14に記載の放射線検出器。 - 前記プラスチックは、ポリプロピレン、ABS、エンプラ、ポリエチレンテレフタレート、及びポリフェニレンエーテルの少なくとも一つである、
請求項13から請求項15のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記プラスチックは、熱可塑性の樹脂である、
請求項13に記載の放射線検出器。 - 前記基板と、前記変換層との間に設けられ、前記変換層の熱膨張率と前記基板の熱膨張率との差を緩衝する緩衝層をさらに備えた、
請求項1から請求項17のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記画素は、照射された放射線の線量に応じた電荷を発生して、発生した電荷を蓄積するセンサ部、及び前記センサ部に蓄積された電荷を読み出すスイッチング素子を有する、
請求項1から請求項18のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記スイッチング素子は、ゲート電極を有するトランジスタであり、
前記基板は、前記基材と前記ゲート電極との間に、無機材料による層が設けられている、
請求項19に記載の放射線検出器。 - 前記補強基板が、前記変換層が積層された積層体の前記基板側の面に設けられており、
前記補強基板と前記基板変換層側の面との間に、前記変換層の側面を封止する封止部材をさらに備えた、
請求項1から請求項20のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記積層体は、
前記変換層で変換された光を反射する反射性の粘着層と、
前記粘着層の端部から前記基板の表面に至る領域を含む領域を覆う接着層と、
前記粘着層及び前記接着層を覆う保護層と、がこの順で積層された部分を前記変換層側にさらに有し、
前記補強基板は、前記積層体の前記基板側の面、及び前記保護層側の面の少なくとも一方に設けられている、
請求項1から請求項21のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記積層体は、
前記変換層で変換された光を反射し、前記変換層全体及び前記基板の表面に至る領域を含む領域を覆う反射性の粘着層と、前記粘着層を覆う保護層とがこの順で積層された部分を前記変換層側にさらに有し、
前記補強基板は、前記積層体の前記基板側の面、及び前記保護層側の面の少なくとも一方に設けられている、
請求項1から請求項21のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 前記変換層は、CsIの柱状結晶を含む、
請求項1から請求項23のいずれか1項に記載の放射線検出器。 - 請求項1から請求項24のいずれか1項に記載の放射線検出器と、
前記複数の画素に蓄積された電荷を読み出すための制御信号を出力する制御部と、
前記制御信号に応じて前記複数の画素から電荷を読み出させる駆動部と、
前記複数の画素から読み出された電荷に応じた電気信号が入力され、入力された電気信号に応じた画像データを生成して前記制御部に出力する信号処理部と、
を備えた放射線画像撮影装置。 - 放射線が照射される照射面を有し、前記放射線検出器におけるセンサ基板及び変換層のうち、前記センサ基板が前記照射面と対向する状態に前記放射線検出器を収納する筐体をさらに備えた、
請求項25に記載の放射線画像撮影装置。 - 放射線検出器に応じた大きさの補強基板に、粘着層を塗布する工程と、
支持体に、剥離層を介して、可撓性かつ樹脂製であり、平均粒子径が0.05μm以上、2.5μm以下の無機の微粒子を含む微粒子層を有する基材の前記微粒子層を有する面と反対側の面の画素領域に、放射線から変換された光に応じて発生した電荷を蓄積する複数の画素が設けられた基板を形成する工程と、
前記基材の前記画素領域が設けられた面に、前記放射線を光に変換する変換層を形成する工程と、
前記基板に、前記画素を回路部と接続するための配線を接続する工程と、
前記変換層の、前記基板と対抗する面と反対側の面に前記補強基板を貼り合わせる工程と、
前記配線が接続され、かつ前記変換層及び前記補強基板が設けられた前記基板を、前記支持体から剥離する工程と、
を備えた放射線検出器の製造方法。
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