JPWO2019107113A1 - エミッタ、それを用いた電子銃、それを用いた電子機器、および、その製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明によるナノワイヤを備えたエミッタは、前記ナノワイヤが、炭化ハフニウム(HfC)単結晶からなり、前記ナノワイヤの長手方向が、炭化ハフニウム単結晶の<100>の結晶方向に一致し、前記ナノワイヤの電子を放出すべき端部が、前記炭化ハフニウム単結晶の(200)面と{311}面とからなり、前記(200)面を中心とし、{311}面が前記(200)面を包囲しており、これにより上記課題を解決する。
前記ナノワイヤの短手方向の長さは、1nm以上100nm以下であり、前記ナノワイヤの長手方向の長さは、500nm以上30μm以下であってもよい。
前記電子を放出すべき端部は、先細りの形状を有してもよい。
前記電子を放出すべき端部は、前記炭化ハフニウム単結晶のハフニウム(Hf)で終端されていてもよい。
前記ハフニウムは、酸素および/または窒素と結合していてもよい。
前記電子を放出すべき端部は、前記ハフニウムの酸化物、窒化物または酸窒化物で被覆されていてもよい。
前記ハフニウムの酸化物、窒化物、または酸窒化物の厚さは、1nm以上5nm以下であってもよい。
本発明による少なくともエミッタを備えた電子銃は、前記エミッタが、上述のエミッタであり、これにより上記課題を解決する。
前記エミッタは、ニードルおよびフィラメントをさらに備え、前記ナノワイヤは、タングステン(W)、タンタル(Ta)、プラチナ(Pt)、レニウム(Re)およびカーボン(C)からなる群から選択された元素からなるニードルを介して前記フィラメントに取り付けられていてもよい。
前記電子銃は、冷陰極電界放出電子銃またはショットキー電子銃であってもよい。
本発明による電子銃を備えた電子機器は、前記電子銃が上述の電子銃であり、前記電子機器は、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡、走査型透過電子顕微鏡、オージェ電子分光器、電子エネルギー損失分光器、および、エネルギー分散型電子分光器からなる群から選択され、これにより上記課題を解決する。
本発明による上述のエミッタの製造方法は、炭化ハフニウム単結晶からなるナノワイヤを真空中で加熱するステップであって、前記ナノワイヤの長手方向は、炭化ハフニウム単結晶の<100>の結晶方向に一致し、前記ナノワイヤの端部を、1×10−10Pa以上1×10−6Pa以下の真空下で、300℃以上1000℃以下の温度範囲で、5秒以上30分以下の時間加熱する、ステップを包含し、これにより上記課題を解決する。
前記加熱するステップは、前記ナノワイヤの端部を、600℃より大きく1000℃以下の温度範囲で、1分以上5分以下の時間加熱してもよい。
前記加熱するステップは、前記ナノワイヤの端部を、650℃以上750℃以下の温度範囲で、1分以上5分以下の時間加熱してもよい。
前記加熱するステップは、前記ナノワイヤをフィラメントに取り付け、前記フィラメントに通電し、加熱してもよい。
前記加熱するステップに続いて、酸素および/または窒素を導入するステップをさらに包含してもよい。
前記酸素および/または窒素を導入するステップは、1×10−6Paより大きく1×10−4Pa以下となるまで酸素および/または窒素を導入してもよい。
前記酸素および/または窒素を導入するステップは、前記ナノワイヤの端部を650℃以上850℃以下の温度範囲で、3分以上10分以下の時間加熱してもよい。
また、本発明の炭化ハフニウム(HfC)単結晶からなるナノワイヤを備えたエミッタにおいては、上述のとおり、上記端部が上記面方位となるように表面改質することにより、電子を高効率に安定して放出できるうえ、Hfで終端されている端部を、更に酸素および/または窒素と結合させてハフニウムの酸化物、窒化物または酸窒化物で被覆することにより、電子をより一層高効率に安定して放出することができる。この場合、被覆される端部が上記面方位となるように表面改質されているため、従来の炭化ハフニウム単結晶からなるナノワイヤエミッタの端部をハフニウムの酸化物、窒化物または酸窒化物で被膜したものよりも電子を高効率に安定して放出することが可能である。
このように、本発明では、HfC単結晶からなるナノワイヤ端部を、電解蒸発処理を行うことなく、真空中で所定の条件下で加熱することによって上記面方位となるように上記端部が表面改質されたエミッタを得ることができる。そのため、本発明では、電解蒸発処理により表面改質を行う場合に比べ、簡便に表面改質が行える。
実施の形態1は、本発明のエミッタおよびその製造方法を説明する。
なお、本発明の炭化ハフニウム(HfC)単結晶からなるナノワイヤを備えたエミッタにおいては、上述のとおり、そのエミッタの端部120が上記面方位となるように表面改質されているので、従来の炭化ハフニウム単結晶からなるナノワイヤエミッタ(具体的には、特許文献1における、酸化ハフニウムで被覆する前の炭化ハフニウム単結晶からなるナノワイヤエミッタ)よりも先細りの形状が得られる。そのため、電子がより効率的に放出される。
図2は、実施の形態1のエミッタの製造方法を示すフローチャートである。
図3は、実施の形態1のエミッタの製造方法を実施する様子を示す模式図である。
実施の形態2は、本発明のエミッタを備えた電子銃を説明する。
実施例1では、HfC単結晶からなるナノワイヤを、加熱温度650℃〜750℃(650℃以上750℃以下)の温度範囲で表面改質し、エミッタを製造した。
実施例2では、実施例1と同様にCVD法で製造したHfC単結晶からなるナノワイヤを、加熱温度500℃〜600℃(500℃以上600℃以下)の温度範囲で表面改質し、エミッタを製造した。ナノワイヤの加熱の条件を、2.1A(放射温度計によると500℃〜600℃(500℃以上600℃以下))の電流を印加し、その状態で1分間保持した以外は、実施例1と同様であった。
比較例3では、実施例1と同様にCVD法で製造したHfC単結晶からなるナノワイヤを、加熱による表面改質をすることなく、エミッタに用いた。実施例1と同様に、FIMを用いて、室温、引出電圧1330Vにおけるエミッタの電界放出電流の時間依存性を測定した。結果を図9に示す。実施例1と同様に、電界放出パターンを観察した。結果を図10に示す。
図8は、実施例2のナノワイヤを用いたエミッタの電界放出電流の時間依存性を示す図である。
図9は、比較例3のナノワイヤを用いたエミッタの電界放出電流の時間依存性を示す図である。
また、図10の実施例1と2のナノワイヤエミッタの電界放出パターン(即ち、図10の(A)と(B))を、従来の炭化ハフニウム単結晶からなるエミッタ(具体的には、特許文献1における、酸化ハフニウムで被覆する前の炭化ハフニウム単結晶からなるナノワイヤエミッタ)の電界放出パターン(特許文献1の図12の(A)と(B)を参照)と比較すると、グレースケールにおいて明るく示される領域(即ち、電界放出する領域)がエミッタ端部の中心(先端)部分に集中しているのは、明らかに図10(本発明のナノワイヤエミッタ)の方である。従って、本発明のエミッタ(具体的には、炭化ハフニウム(HfC)単結晶からなるナノワイヤを備えたエミッタであって、ナノワイヤの長手方向が炭化ハフニウム単結晶の<100>の結晶方向に一致し、ナノワイヤの電子を放出すべき端部が、(200)面と{311}面とからなり、(200)面を中心とし、{311}面が(200)面を包囲するように構成されているエミッタ)によれば、従来の炭化ハフニウム単結晶からなるナノワイヤエミッタよりも電子を高効率に安定して放出できることも確認された。
図12は、実施例2のナノワイヤを用いたエミッタの加熱前後の電界放出電流の時間依存性を示す図である。
実施例4では、実施例1と同様に、表面改質したHfC単結晶からなるナノワイヤを、さらに酸素で処理し、エミッタを製造した。酸素処理の条件は、実施例1と同様の条件で表面改質した後、酸素を導入し、酸素導入後の真空度を5×10−5Paに維持し、2.5A(放射温度系によると800℃)の電流を印加し、その状態で5分間保持した。
110 炭化ハフニウム(HfC)単結晶
120 電子を放出すべき端部
320 フィラメント
330 ニードル
340 電源
400 電子銃
410 エミッタ
440 電極
450 引出電源
460 引出電極
470 加速電源
480 加速電極
Claims (18)
- ナノワイヤを備えたエミッタであって、
前記ナノワイヤは、炭化ハフニウム(HfC)単結晶からなり、
前記ナノワイヤの長手方向は、炭化ハフニウム単結晶の<100>の結晶方向に一致し、
前記ナノワイヤの電子を放出すべき端部は、前記炭化ハフニウム単結晶の(200)面と{311}面とからなり、前記(200)面を中心とし、{311}面が前記(200)面を包囲している、エミッタ。 - 前記ナノワイヤの短手方向の長さは、1nm以上100nm以下であり、前記ナノワイヤの長手方向の長さは、500nm以上30μm以下である、請求項1に記載のエミッタ。
- 前記電子を放出すべき端部は、先細りの形状を有する、請求項1または2のいずれかに記載のエミッタ。
- 前記電子を放出すべき端部は、前記炭化ハフニウム単結晶のハフニウム(Hf)で終端されている、請求項1〜3のいずれかに記載のエミッタ。
- 前記ハフニウムは、酸素および/または窒素と結合している、請求項4に記載のエミッタ。
- 前記電子を放出すべき端部は、前記ハフニウムの酸化物、窒化物または酸窒化物で被覆されている、請求項5に記載のエミッタ。
- 前記ハフニウムの酸化物、窒化物、または酸窒化物の厚さは、1nm以上5nm以下である、請求項6に記載のエミッタ。
- 少なくともエミッタを備えた電子銃であって、
前記エミッタは、請求項1〜7のいずれかに記載のエミッタである、電子銃。 - 前記エミッタは、ニードルおよびフィラメントをさらに備え、
前記ナノワイヤは、タングステン(W)、タンタル(Ta)、プラチナ(Pt)、レニウム(Re)およびカーボン(C)からなる群から選択された元素からなるニードルを介して前記フィラメントに取り付けられている、請求項8に記載の電子銃。 - 前記電子銃は、冷陰極電界放出電子銃またはショットキー電子銃である、請求項8または9に記載の電子銃。
- 電子銃を備えた電子機器であって、
前記電子銃は、請求項8〜10のいずれかに記載の電子銃であり、
前記電子機器は、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡、走査型透過電子顕微鏡、オージェ電子分光器、電子エネルギー損失分光器、および、エネルギー分散型電子分光器からなる群から選択される、電子機器。 - 請求項1〜7のいずれかに記載のエミッタの製造方法であって、
炭化ハフニウム単結晶からなるナノワイヤを真空中で加熱するステップであって、前記ナノワイヤの長手方向は、炭化ハフニウム単結晶の<100>の結晶方向に一致し、前記ナノワイヤの端部を、1×10−10Pa以上1×10−6Pa以下の真空下で、300℃以上1000℃以下の温度範囲で、5秒以上30分以下の時間加熱する、ステップを包含する、方法。 - 前記加熱するステップは、前記ナノワイヤの端部を、600℃より大きく1000℃以下の温度範囲で、1分以上5分以下の時間加熱する、請求項12に記載の方法。
- 前記加熱するステップは、前記ナノワイヤの端部を、650℃以上750℃以下の温度範囲で、1分以上5分以下の時間加熱する、請求項13に記載の方法。
- 前記加熱するステップは、前記ナノワイヤをフィラメントに取り付け、前記フィラメントに通電し、加熱する、請求項12〜14のいずれかに記載の方法。
- 前記加熱するステップに続いて、酸素および/または窒素を導入するステップをさらに包含する、請求項12〜15のいずれかに記載の方法。
- 前記酸素および/または窒素を導入するステップは、1×10−6Paより大きく1×10−4Pa以下となるまで酸素および/または窒素を導入する、請求項16に記載の方法。
- 前記酸素および/または窒素を導入するステップは、前記ナノワイヤの端部を650℃以上850℃以下の温度範囲で、3分以上10分以下の時間加熱する、請求項16または17のいずれかに記載の方法。
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