JPWO2019053856A1 - ヒ化ガリウム系化合物半導体結晶およびウエハ群 - Google Patents
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Abstract
Description
国際公開第99/27164号(特許文献1)に開示の方法では、密封容器内でGaAs単結晶に固体炭素を添加する方法であることから、GaAs単結晶の成長中も固体炭素からGaAs融液に炭素が取り込まれるため、GaAs単結晶の長手方向(結晶成長方向)の比抵抗を制御することが難しいという問題点がある。
本開示によれば、結晶の長さ(厚さ)方向(結晶成長方向)が大きい長尺のヒ化ガリウム系化合物半導体結晶であって、結晶の長さ(厚さ)方向の比抵抗が制御されたヒ化ガリウム系化合物半導体結晶およびそのウエハ群を提供できる。
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
<実施形態1:ヒ化ガリウム系化合物半導体結晶>
本実施形態のGaAs(ヒ化ガリウム)系化合物半導体結晶は、円柱状の直胴部を含み、直胴部は直径が110mm以上かつ長さが100mm以上400mm以下であり、直胴部における第1端面と第1端面に比べて比抵抗の高い第2端面とについて、第1端面側における比抵抗R10に対する第2端面側における比抵抗R20の比R20/R10が1以上2以下である。本実施形態のGaAs系化合物半導体結晶は、比抵抗のばらつきが小さい大きな直胴部を有するため、比抵抗のばらつきが小さい複数のウエハが得られる。
GaAs(ヒ化ガリウム)系化合物半導体結晶とは、13族元素としてGa(ガリウム)と15族元素としてAs(ヒ素)とを含む化合物半導体結晶をいう。具体的には、GaAs結晶、Al1-xGaxAs結晶(0<x<1)、GaAsyP1-y結晶(0<y<1)、In1-xGaxAsyP1-y結晶(0<x<1および0<y<1)などが該当する。
上記GaAs(ヒ化ガリウム)系化合物半導体結晶は、円柱状の直胴部を含み、直胴部は直径が110mm以上かつ長さが100mm以上400mm以下である。すなわち、直胴部は、785000mm3以上の大きな体積を有する。直胴部の直径は、比抵抗のばらつきを低減する効果が大きい観点から、110mm以上であり、128mm以上が好ましく、150mm以上がより好ましく、また、200mm以下が好ましく、154mm以下がより好ましい。ここで、直胴部の長さは、結晶成長方向の長さであり、100mmから400mmと大きくなるほど比抵抗のばらつきが大きくなる。長さが100mm未満の場合は、比抵抗のばらつきは小さい。長さが400mmを超える場合は、比抵抗のばらつきを低減することが困難となる。かかる観点から、直胴部の長さは、100mm以上であり、200mm以上が好ましく、250mm以上がより好ましく、また、400mm以下であり、380mm以下が好ましく、350mm以下がより好ましい。
上記GaAs(ヒ化ガリウム)系化合物半導体結晶は、直胴部における第1端面と第1端面に比べて比抵抗の高い第2端面とについて、第1端面側における比抵抗R10に対する第2端面側における比抵抗R20の比R20/R10が1以上2以下である。すなわち、上記GaAs系化合物半導体結晶は、直胴部の第1端部から第2端部にかけて比抵抗が大きくなるが、直胴部の直径および長さが大きくても、特に直胴部の長さが大きくても、比抵抗のばらつきは小さい。かかる観点から、比R20/R10が1以上2以下であり、1以上1.8以下が好ましく、1以上1.5以下がより好ましい。ここで、比抵抗は、東洋テクニカ社製ResiTest8300を用いて、van der Pauw法により測定する。
上記GaAs(ヒ化ガリウム)系化合物半導体結晶は、比抵抗のばらつきを小さくする観点から、第1端面側における炭素濃度C10に対する第2端面側における炭素濃度C20の比C20/C10が、1以上2以下であることが好ましく、1以上1.5以下であることがより好ましく、1以上1.2以下がさらに好ましい。ここで、炭素濃度は、FTIR(フーリエ変換赤外分光光度)法(具体的には、582cm-1の局所振動モードの吸収ピークの観察)により測定する。
上記GaAs(ヒ化ガリウム)系化合物半導体結晶は、結晶品質のばらつきを小さくする観点から、第1端面側におけるホウ素濃度B10に対する第2端面側におけるホウ素濃度B20の比B20/B10が、1以上2以下であることが好ましく、1以上1.5以下であることがより好ましく、1以上1.3以下がさらに好ましい。ここで、ホウ素濃度は、GDMS(グロー放電質量分析)法(VG Elemental社製VG9000システム)により測定する。
上記GaAs(ヒ化ガリウム)系化合物半導体結晶は、結晶品質のばらつきが小さい観点から、第1端面側におけるエッチングピット密度E10に対する第2端面側におけるエッチングピット密度E20の比E20/E10が、0.8以上1.3以下であることが好ましく、0.85以上1.25以下であることがより好ましく、0.9以上1.2以下であることがさらに好ましい。ここで、EPD(エッチングピット密度)は、結晶表面を化学薬品で処理することにより表面に発生する腐食孔(エッチングピット)の単位面積当たりの個数をいう。上記GaAs系化合物半導体結晶のEPDは、具体的には、純度85質量%以上の水酸化カリウム(KOH)の熔融液により、500℃で20分間処理したときに、表面に発生する腐食孔の単位面積当たりの個数をいい、微分干渉顕微鏡を用いて測定する。
図1を参照して、本実施形態のGaAs(ヒ化ガリウム)系化合物半導体結晶の製造装置20は、製造装置が安価になる観点から、密封容器21を有することが好ましい。上記GaAs系化合物半導体結晶の製造装置20は、具体的には、密封容器21と、密封容器21の内部に配置されるるつぼ22および通気性るつぼ蓋22pと、密封容器21を保持する保持台25と、密封容器21の外部の周囲に配置されるヒータ26と、を含むことが好ましい。
図1を参照して、本実施形態のGaAs(ヒ化ガリウム)系化合物半導体結晶の製造方法は、密封容器を含む安価な製造装置を用いて低コストで効率よく直胴部が大きくかつ比抵抗のばらつきが小さいGaAs系化合物半導体結晶を製造する観点から、密封容器を含む縦型ボート法によるGaAs系化合物半導体結晶の製造方法であって、密封容器に、種結晶およびGaAs系化合物半導体原料と、GaAs系化合物半導体原料よりも下部に位置する下部固体炭素と、GaAs系化合物半導体原料よりも上部に位置する上部固体炭素と、を配置する工程と、GaAs系化合物半導体原料を溶融してGaAs系化合物半導体原料の種結晶側から凝固させることによりGaAs系化合物半導体結晶を成長させる工程と、を含む。具体的には、上記の密封容器21を含む製造装置20を用いて、縦型ボート法であるVB(垂直ボート)法などが好ましい。具体的には、本実施形態のGaAs系化合物半導体結晶の製造方法は、好ましくは、下部固体炭素装入工程、種結晶装入工程、GaAs系化合物半導体原料装入工程、上部固体炭素装入工程、および結晶成長工程を含む。
本実施形態のウエハ群は、円柱状の直胴部を含むGaAs系化合物半導体結晶の直胴部で形成されている直径が110mm以上かつ厚さが500μm以上800μm以下の複数のウエハからなるウエハ群であって、ウエハ群において、比抵抗が最も低い第1ウエハと比抵抗が最も高い第2ウエハとについて、第1ウエハにおける比抵抗R1に対する第2ウエハにおける比抵抗R2の比R2/R1が1以上2以下である。本実施形態のウエハ群は、ウエハ間の比抵抗のばらつきが小さい。
上記ウエハは、特に制限はないが、実施形態1で製造されるGaAs系化合物半導体結晶の直胴部で形成されるウエハである観点から、GaAs系化合物半導体ウエハである。GaAs系化合物半導体ウエハとは、13族元素としてGa(ガリウム)と15族元素としてAs(ヒ素)とを含む化合物半導体ウエハをいう。具体的には、GaAsウエハ、Al1-xGaxAsウエハ(0<x<1)、GaAsyP1-yウエハ(0<y<1)、In1-xGaxAsyP1-yウエハ(0<x<1および0<y<1)などが該当する。
上記ウエハの大きさは、比抵抗のばらつきの低減効果が大きい観点から、直径が110mm以上であり、128mm以上が好ましく、150mm以上がより好ましく、また、200mm以下が好ましく、154mm以下がより好ましい。また、上記ウエハは、各種半導体デバイスの基板として好適である観点から、厚さが500μm以上800μm以下であり、510μm以上780μm以下が好ましく、520μm以上685μm以下がより好ましい。
上記ウエハ群は、ウエハ間の比抵抗のばらつきが小さい観点から、比抵抗が最も低い第1ウエハと比抵抗が最も高い第2ウエハとについて、第1ウエハにおける比抵抗R1に対する第2ウエハにおける比抵抗R2の比R2/R1が、1以上2以下であり、1以上1.8以下が好ましく、1以上1.5以下がより好ましい。ここで、比抵抗は、東洋テクニカ社製ResiTest8300を用いて、van der Pauw法により測定する。
上記ウエハ群は、ウエハ間の比抵抗のばらつきを小さくする観点から、第1ウエハにおける炭素濃度C1に対する第2ウエハにおける炭素濃度C2の比C2/C1が1以上2以下であることが好ましく、1以上1.5以下であることがより好ましく、1以上1.2以下がさらに好ましい。ここで、炭素濃度は、FTIR(フーリエ変換赤外分光光度)法(具体的には、582cm-1の局所振動モードの吸収ピークの観察)により測定する。
上記ウエハ群は、ウエハ間の比抵抗のばらつきを小さくする観点から、第1ウエハにおけるホウ素濃度B1に対する第2ウエハにおけるホウ素濃度B2の比B2/B1が1以上2以下であることが好ましく、1以上1.5以下であることがより好ましく、1以上1.3以下がさらに好ましい。ここでホウ素濃度は、GDMS(グロー放電質量分析)法(VG Elemental社製VG9000システム)により測定する。
上記ウエハ群は、ウエハ間の結晶品質のばらつきが小さい観点から、第1ウエハにおけるエッチングピット密度E1に対する第2ウエハにおけるエッチングピット密度E2の比E2/E1が0.8以上1.3以下であることが好ましく、0.85以上1.25以下であることがより好ましく、0.9以上1.2以下であることがさらに好ましい。ここで、EPD(エッチングピット密度)は、ウエハ表面を化学薬品で処理することにより表面に発生する腐食孔(エッチングピット)の単位面積当たりの個数をいう。上記ウエハのEPDは、具体的には、純度85質量%以上の水酸化カリウム(KOH)の熔融液により、500℃で20分間処理したときに、表面に発生する腐食孔の単位面積当たりの個数をいい、微分干渉顕微鏡を用いて測定する。
本実施形態のウエハ群の製造方法は、GaAs系化合物半導体結晶から効率よく形成する観点から、実施形態1のGaAs系化合物半導体結晶から形成することが好ましい。具体的には、本実施形態のウエハ群の製造方法は、実施形態1のGaAs系化合物半導体結晶から複数のウエハを切り出す切り出し工程を含むことが好ましく、切り出したウエハを研磨する研磨工程を含むことがさらに好ましい。
1.GaAs系化合物半導体結晶の製造
種結晶保持部と結晶成長部を含み、表1に示す内径(結晶成長部の直胴部の内径)を有するPBN製のるつぼと、そのるつぼを収納できる種結晶対応部と結晶成長対応部とを含む石英製の未密封容器と、を準備した。次に、未密封容器の結晶成長対応部の内部に下部固体炭素として表1に示す質量の炭素源(純度99.92質量%以上)と、1gのB2O3と、を配置した。次に、上記未密封容器内に上記るつぼを配置し、上記るつぼの種結晶保持部の内部に種結晶として表1に示す質量のGaAs種結晶を配置した。次いで、るつぼの種結晶保持部の内部のGaAs種結晶上であって、るつぼの結晶成長部の内部にGaAs系化合物半導体原料として表1に示す質量のGaAs原料(純度99.999質量%のGaAs多結晶インゴット)を配置した。次いで、GaAs原料上に、封止材として融解時の厚さが10mm以上となる質量のB2O3を配置した。次に、るつぼの上部を通気性るつぼ蓋として通気孔付のPBN材で覆い、その上に上部固体炭素として表1に示す質量の炭素源(純度99.92質量%以上)を配置した。次に、未密封容器を密封用蓋として石英製の蓋で密封することにより、密封容器とした。次に、上記密封容器を、それがヒータに取り囲まれるように、保持台上に保持して、製造装置内に配置した。
上記のGaAs結晶の直胴部の外周部を研削した後、直胴部の軸方向に垂直な方向に、切り出し代を0.2mmとして厚さ0.8mm(800μm)のウエハを切り出し、切り出したウエハの両主面を研磨することにより、表2に示す枚数の厚さ750μmのウエハからなるウエハ群を作製した。得られたウエハ群において、各ウエハの比抵抗を測定し、比抵抗が最も低い第1ウエハと比抵抗が最も高い第2ウエハとについて、第1ウエハにおける比抵抗R1、第2ウエハにおける比抵抗R2およびそれらの比R2/R1、第1ウエハにおける炭素濃度C1、第2ウエハにおける炭素濃度C2およびそれらの比C2/C1、第1ウエハにおけるホウ素濃度B1、第2ウエハにおけるホウ素濃度B2およびそれらの比B2/B1、ならびに第1ウエハにおけるエッチングピット密度E1、第2ウエハにおけるエッチングピット密度E2およびそれらの比E2/E1を測定または算出した。比抵抗、炭素濃度、ホウ素濃度およびEPD(エッチングピット密度)は、上記のGaAs結晶の場合と同様の方法で測定した。
下部固体炭素を配置しなかったこと以外は、実施例3と同様にして、GaAs系化合物半導体結晶であるGaAs結晶およびそのウエハ群を作製した。また、GaAs結晶について、実施例3と同様にして、直胴部の第1端面側における比抵抗R10、第2端面側における比抵抗R20およびそれらの比R20/R10、直胴部の第1端面側における炭素濃度C10、第2端面側における炭素濃度C20およびそれらの比C20/C10、直胴部の第1端面側におけるホウ素濃度B10、第2端面側におけるホウ素濃度B20およびそれらの比B20/B10、ならびに直胴部の第1端面側におけるエッチングピット密度E10、第2端面側におけるエッチングピット密度E20およびそれらの比E20/E10を測定または算出した。また、ウエハ群の各ウエハの比抵抗を測定し、比抵抗が最も低い第1ウエハと比抵抗が最も高い第2ウエハとについて、実施例3と同様にして、第1ウエハにおける比抵抗R1、第2ウエハにおける比抵抗R2およびそれらの比R2/R1、第1ウエハにおける炭素濃度C1、第2ウエハにおける炭素濃度C2およびそれらの比C2/C1、第1ウエハにおけるホウ素濃度B1、第2ウエハにおけるホウ素濃度B2およびそれらの比B2/B1、ならびに第1ウエハにおけるエッチングピット密度E1、第2ウエハにおけるエッチングピット密度E2およびそれらの比E2/E1を測定または算出した。結果を表1および表2にまとめた。
上部固体炭素を配置しなかったこと以外は、実施例3と同様にして、GaAs系化合物半導体結晶であるGaAs結晶およびそのウエハ群を作製した。また、GaAs結晶について、実施例3と同様にして、直胴部の第1端面側における比抵抗R10、第2端面側における比抵抗R20およびそれらの比R20/R10、直胴部の第1端面側における炭素濃度C10、第2端面側における炭素濃度C20およびそれらの比C20/C10、直胴部の第1端面側におけるホウ素濃度B10、第2端面側におけるホウ素濃度B20およびそれらの比B20/B10、ならびに直胴部の第1端面側におけるエッチングピット密度E10、第2端面側におけるエッチングピット密度E20およびそれらの比E20/E10を測定または算出した。また、ウエハ群の各ウエハの比抵抗を測定し、比抵抗が最も低い第1ウエハと比抵抗が最も高い第2ウエハとについて、実施例3と同様にして、第1ウエハにおける比抵抗R1、第2ウエハにおける比抵抗R2およびそれらの比R2/R1、第1ウエハにおける炭素濃度C1、第2ウエハにおける炭素濃度C2およびそれらの比C2/C1、第1ウエハにおけるホウ素濃度B1、第2ウエハにおけるホウ素濃度B2およびそれらの比B2/B1、ならびに第1ウエハにおけるエッチングピット密度E1、第2ウエハにおけるエッチングピット密度E2およびそれらの比E2/E1を測定または算出した。結果を表1および表2にまとめた。
上記GaAs(ヒ化ガリウム)系化合物半導体結晶は、円柱状の直胴部を含み、直胴部は直径が110mm以上かつ長さが100mm以上400mm以下である。すなわち、直胴部は、949850mm3以上の大きな体積を有する。直胴部の直径は、比抵抗のばらつきを低減する効果が大きい観点から、110mm以上であり、128mm以上が好ましく、150mm以上がより好ましく、また、200mm以下が好ましく、154mm以下がより好ましい。ここで、直胴部の長さは、結晶成長方向の長さであり、100mmから400mmと大きくなるほど比抵抗のばらつきが大きくなる。長さが100mm未満の場合は、比抵抗のばらつきは小さい。長さが400mmを超える場合は、比抵抗のばらつきを低減することが困難となる。かかる観点から、直胴部の長さは、100mm以上であり、200mm以上が好ましく、250mm以上がより好ましく、また、400mm以下であり、380mm以下が好ましく、350mm以下がより好ましい。
Claims (8)
- 円柱状の直胴部を含み、
前記直胴部は、直径が110mm以上かつ長さが100mm以上400mm以下であり、
前記直胴部における第1端面と前記第1端面に比べて比抵抗の高い第2端面とについて、前記第1端面側における比抵抗R10に対する前記第2端面側における比抵抗R20の比R20/R10が1以上2以下である、ヒ化ガリウム系化合物半導体結晶。 - 前記第1端面側における炭素濃度C10に対する前記第2端面側における炭素濃度C20の比C20/C10が1以上2以下である、請求項1に記載のヒ化ガリウム系化合物半導体結晶。
- 前記第1端面側におけるホウ素濃度B10に対する前記第2端面側におけるホウ素濃度B20の比B20/B10が1以上2以下である、請求項1または請求項2に記載のヒ化ガリウム系化合物半導体結晶。
- 前記第1端面側におけるエッチングピット密度E10に対する前記第2端面側におけるエッチングピット密度E20の比E20/E10が0.8以上1.2以下である、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のヒ化ガリウム系化合物半導体結晶。
- 円柱状の直胴部を含むヒ化ガリウム系化合物半導体結晶の前記直胴部で形成されている直径が110mm以上かつ厚さが500μm以上800μm以下の複数のウエハからなるウエハ群であって、
前記ウエハ群において、比抵抗が最も低い第1ウエハと比抵抗が最も高い第2ウエハとについて、前記第1ウエハにおける比抵抗R1に対する前記第2ウエハにおける比抵抗R2の比R2/R1が1以上2以下である、ウエハ群。 - 前記第1ウエハにおける炭素濃度C1に対する前記第2ウエハにおける炭素濃度C2の比C2/C1が1以上2以下である、請求項5に記載のウエハ群。
- 前記第1ウエハにおけるホウ素濃度B1に対する前記第2ウエハにおけるホウ素濃度B2の比B2/B1が1以上2以下である、請求項5または請求項6に記載のウエハ群。
- 前記第1ウエハにおけるエッチングピット密度E1に対する前記第2ウエハにおけるエッチングピット密度E2の比E2/E1が0.8以上1.2以下である、請求項5から請求項7のいずれか1項に記載のウエハ群。
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