JPWO2019031533A1 - 加工検査対象物の加熱剥離方法 - Google Patents
加工検査対象物の加熱剥離方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2019031533A1 JPWO2019031533A1 JP2019509574A JP2019509574A JPWO2019031533A1 JP WO2019031533 A1 JPWO2019031533 A1 JP WO2019031533A1 JP 2019509574 A JP2019509574 A JP 2019509574A JP 2019509574 A JP2019509574 A JP 2019509574A JP WO2019031533 A1 JPWO2019031533 A1 JP WO2019031533A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensitive adhesive
- heat
- adhesive layer
- adhesive sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 189
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 174
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 132
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 207
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 206
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 150
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 142
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 72
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 72
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 60
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 claims description 336
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 175
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 171
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 98
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 60
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 35
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 32
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 26
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 97
- -1 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 72
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 59
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 40
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 40
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 35
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 33
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 33
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 32
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 27
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 26
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 239000000047 product Substances 0.000 description 23
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 21
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 20
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 20
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 20
- 150000002009 diols Chemical group 0.000 description 20
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 19
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 19
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 18
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 18
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 17
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 17
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 16
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 15
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 14
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 14
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 14
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 description 12
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 12
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 12
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 11
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 11
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 10
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 10
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 10
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 10
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 10
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 10
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 10
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 10
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 10
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 8
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 8
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 8
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 8
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 7
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 7
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 7
- SGVYKUFIHHTIFL-UHFFFAOYSA-N 2-methylnonane Chemical compound CCCCCCCC(C)C SGVYKUFIHHTIFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- AFABGHUZZDYHJO-UHFFFAOYSA-N dimethyl butane Natural products CCCC(C)C AFABGHUZZDYHJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 6
- DMEGYFMYUHOHGS-UHFFFAOYSA-N heptamethylene Natural products C1CCCCCC1 DMEGYFMYUHOHGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KUVMKLCGXIYSNH-UHFFFAOYSA-N isopentadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCC(C)C KUVMKLCGXIYSNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N isophorone diisocyanate Chemical compound CC1(C)CC(N=C=O)CC(C)(CN=C=O)C1 NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 6
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N n-pentane Natural products CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 5
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000012956 1-hydroxycyclohexylphenyl-ketone Substances 0.000 description 4
- 229940043268 2,2,4,4,6,8,8-heptamethylnonane Drugs 0.000 description 4
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BANXPJUEBPWEOT-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-Pentadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC(C)C BANXPJUEBPWEOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RJWUMFHQJJBBOD-UHFFFAOYSA-N 2-methylheptadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(C)C RJWUMFHQJJBBOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GXDHCNNESPLIKD-UHFFFAOYSA-N 2-methylhexane Natural products CCCCC(C)C GXDHCNNESPLIKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RGSFGYAAUTVSQA-UHFFFAOYSA-N Cyclopentane Chemical compound C1CCCC1 RGSFGYAAUTVSQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 4
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 4
- UEVXKGPJXXDGCX-UHFFFAOYSA-N cyclotridecane Chemical compound C1CCCCCCCCCCCC1 UEVXKGPJXXDGCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 4
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 4
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N dodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 4
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- NDJKXXJCMXVBJW-UHFFFAOYSA-N heptadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCC NDJKXXJCMXVBJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DCAYPVUWAIABOU-UHFFFAOYSA-N hexadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC DCAYPVUWAIABOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N isobutane Chemical compound CC(C)C NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- FNWWOHKUXFTKGN-UHFFFAOYSA-N isoheptadecane Natural products CCCCCCCCCCCCCCC(C)C FNWWOHKUXFTKGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZUBZATZOEPUUQF-UHFFFAOYSA-N isononane Chemical compound CCCCCCC(C)C ZUBZATZOEPUUQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QWTDNUCVQCZILF-UHFFFAOYSA-N isopentane Chemical compound CCC(C)C QWTDNUCVQCZILF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CJBFZKZYIPBBTO-UHFFFAOYSA-N isotetradecane Natural products CCCCCCCCCCCC(C)C CJBFZKZYIPBBTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HGEMCUOAMCILCP-UHFFFAOYSA-N isotridecane Natural products CCCCCCCCCCC(C)C HGEMCUOAMCILCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 4
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 4
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CRSOQBOWXPBRES-UHFFFAOYSA-N neopentane Chemical compound CC(C)(C)C CRSOQBOWXPBRES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RZJRJXONCZWCBN-UHFFFAOYSA-N octadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC RZJRJXONCZWCBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- YCOZIPAWZNQLMR-UHFFFAOYSA-N pentadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCC YCOZIPAWZNQLMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- XOJVVFBFDXDTEG-UHFFFAOYSA-N pristane Chemical compound CC(C)CCCC(C)CCCC(C)CCCC(C)C XOJVVFBFDXDTEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 4
- BGHCVCJVXZWKCC-UHFFFAOYSA-N tetradecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC BGHCVCJVXZWKCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IIYFAKIEWZDVMP-UHFFFAOYSA-N tridecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCC IIYFAKIEWZDVMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 4
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 239000005058 Isophorone diisocyanate Substances 0.000 description 3
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 3
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 3
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 3
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 3
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 3
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 3
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 3
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 3
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 3
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 3
- HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N prop-2-enylbenzene Chemical compound C=CCC1=CC=CC=C1 HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 2
- DNIAPMSPPWPWGF-VKHMYHEASA-N (+)-propylene glycol Chemical compound C[C@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-VKHMYHEASA-N 0.000 description 2
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PHONXVMOPDJLEY-UHFFFAOYSA-N (3-hydroxy-3-phenylpropyl) prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCC(O)C1=CC=CC=C1 PHONXVMOPDJLEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QWUWMCYKGHVNAV-UHFFFAOYSA-N 1,2-dihydrostilbene Chemical group C=1C=CC=CC=1CCC1=CC=CC=C1 QWUWMCYKGHVNAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QWQFVUQPHUKAMY-UHFFFAOYSA-N 1,2-diphenyl-2-propoxyethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 QWQFVUQPHUKAMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 1,3-propanediol Substances OCCCO YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXGZQGDTEZPERC-UHFFFAOYSA-N 1,4-cyclohexanedicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCC(C(O)=O)CC1 PXGZQGDTEZPERC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BOCJQSFSGAZAPQ-UHFFFAOYSA-N 1-chloroanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2Cl BOCJQSFSGAZAPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N 1-hexene Chemical compound CCCCC=C LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YBYIRNPNPLQARY-UHFFFAOYSA-N 1H-indene Chemical compound C1=CC=C2CC=CC2=C1 YBYIRNPNPLQARY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VCLJODPNBNEBKW-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,8,8-heptamethylnonane Chemical compound CC(C)(C)CC(C)CC(C)(C)CC(C)(C)C VCLJODPNBNEBKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 2
- BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GTJOHISYCKPIMT-UHFFFAOYSA-N 2-methylundecane Chemical compound CCCCCCCCCC(C)C GTJOHISYCKPIMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BUZICZZQJDLXJN-UHFFFAOYSA-N 3-azaniumyl-4-hydroxybutanoate Chemical compound OCC(N)CC(O)=O BUZICZZQJDLXJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl Chemical group [CH2]CCO QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Diphenylmethane Diisocyanate Chemical compound C1=CC(N=C=O)=CC=C1CC1=CC=C(N=C=O)C=C1 UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxy-butyl Chemical group [CH2]CCCO SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UZTXSMATBUWDDZ-UHFFFAOYSA-N 4-methyldodecane Chemical compound CCCCCCCCC(C)CCC UZTXSMATBUWDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PMPVIKIVABFJJI-UHFFFAOYSA-N Cyclobutane Chemical compound C1CCC1 PMPVIKIVABFJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LVZWSLJZHVFIQJ-UHFFFAOYSA-N Cyclopropane Chemical compound C1CC1 LVZWSLJZHVFIQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QSJXEFYPDANLFS-UHFFFAOYSA-N Diacetyl Chemical group CC(=O)C(C)=O QSJXEFYPDANLFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241001050985 Disco Species 0.000 description 2
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000219 Ethylene vinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005057 Hexamethylene diisocyanate Substances 0.000 description 2
- NHTMVDHEPJAVLT-UHFFFAOYSA-N Isooctane Chemical compound CC(C)CC(C)(C)C NHTMVDHEPJAVLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ALQSHHUCVQOPAS-UHFFFAOYSA-N Pentane-1,5-diol Chemical compound OCCCCCO ALQSHHUCVQOPAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 2
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 2
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 2
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N Terephthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N adamantane Chemical compound C1C(C2)CC3CC1CC2C3 ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 2
- XXROGKLTLUQVRX-UHFFFAOYSA-N allyl alcohol Chemical compound OCC=C XXROGKLTLUQVRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 2
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 2
- 229940067597 azelate Drugs 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 2
- LKMCJXXOBRCATQ-UHFFFAOYSA-N benzylsulfanylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1CSC1=CC=CC=C1 LKMCJXXOBRCATQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000001273 butane Substances 0.000 description 2
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- HNEGQIOMVPPMNR-IHWYPQMZSA-N citraconic acid Chemical compound OC(=O)C(/C)=C\C(O)=O HNEGQIOMVPPMNR-IHWYPQMZSA-N 0.000 description 2
- 229940018557 citraconic acid Drugs 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- XBZSBBLNHFMTEB-UHFFFAOYSA-N cyclohexane-1,3-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCC(C(O)=O)C1 XBZSBBLNHFMTEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 2
- WJTCGQSWYFHTAC-UHFFFAOYSA-N cyclooctane Chemical compound C1CCCCCCC1 WJTCGQSWYFHTAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004914 cyclooctane Substances 0.000 description 2
- SRONXYPFSAKOGH-UHFFFAOYSA-N cyclopentadecane Chemical compound C1CCCCCCCCCCCCCC1 SRONXYPFSAKOGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- STWFZICHPLEOIC-UHFFFAOYSA-N decylcyclohexane Chemical compound CCCCCCCCCCC1CCCCC1 STWFZICHPLEOIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 description 2
- JVSWJIKNEAIKJW-UHFFFAOYSA-N dimethyl-hexane Natural products CCCCCC(C)C JVSWJIKNEAIKJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N dipropylene glycol Chemical compound OCCCOCCCO SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 2
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 2
- FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N ethenoxyethane Chemical compound CCOC=C FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004088 foaming agent Substances 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 2
- VLHZQNGNJQYAIZ-UHFFFAOYSA-N heptadecylcyclohexane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC1CCCCC1 VLHZQNGNJQYAIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MSTLSCNJAHAQNU-UHFFFAOYSA-N heptylcyclohexane Chemical compound CCCCCCCC1CCCCC1 MSTLSCNJAHAQNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NRHBFNBZAZZTAU-UHFFFAOYSA-N hexadecylcyclohexane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCC1CCCCC1 NRHBFNBZAZZTAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N hexamethylene diisocyanate Chemical compound O=C=NCCCCCCN=C=O RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QHWAQXOSHHKCFK-UHFFFAOYSA-N hexylcyclohexane Chemical compound CCCCCCC1CCCCC1 QHWAQXOSHHKCFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001903 high density polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004700 high-density polyethylene Substances 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000001282 iso-butane Substances 0.000 description 2
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VKPSKYDESGTTFR-UHFFFAOYSA-N isododecane Natural products CC(C)(C)CC(C)CC(C)(C)C VKPSKYDESGTTFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KVQVGSDBGJXNGV-UHFFFAOYSA-N isononadecane Natural products CCCCCCCCCCCCCCCCC(C)C KVQVGSDBGJXNGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N isophthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(C(O)=O)=C1 QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001684 low density polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004702 low-density polyethylene Substances 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 229920001179 medium density polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004701 medium-density polyethylene Substances 0.000 description 2
- IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N n-butane Chemical compound CCCC IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 2
- LQERIDTXQFOHKA-UHFFFAOYSA-N nonadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCC LQERIDTXQFOHKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZCYXXKJEDCHMGH-UHFFFAOYSA-N nonane Chemical compound CCCC[CH]CCCC ZCYXXKJEDCHMGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-N nonanedioic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCCC(O)=O BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CLMFECCMAVQYQA-UHFFFAOYSA-N nonylcyclohexane Chemical compound CCCCCCCCCC1CCCCC1 CLMFECCMAVQYQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BKIMMITUMNQMOS-UHFFFAOYSA-N normal nonane Natural products CCCCCCCCC BKIMMITUMNQMOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940038384 octadecane Drugs 0.000 description 2
- MWWVNZNVTGBKQO-UHFFFAOYSA-N octadecylcyclohexane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCC1CCCCC1 MWWVNZNVTGBKQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FBXWCEKQCVOOLT-UHFFFAOYSA-N octylcyclohexane Chemical compound CCCCCCCCC1CCCCC1 FBXWCEKQCVOOLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 2
- ZNUABQHWFGTOCO-UHFFFAOYSA-N pentadecylcyclohexane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC1CCCCC1 ZNUABQHWFGTOCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 2
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 2
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001748 polybutylene Polymers 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 2
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 2
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000166 polytrimethylene carbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 2
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 2
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 2
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 2
- CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-N sebacic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCCCC(O)=O CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C=CC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N 0.000 description 1
- PSGCQDPCAWOCSH-UHFFFAOYSA-N (4,7,7-trimethyl-3-bicyclo[2.2.1]heptanyl) prop-2-enoate Chemical compound C1CC2(C)C(OC(=O)C=C)CC1C2(C)C PSGCQDPCAWOCSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMJHHCWVYXUKFD-SNAWJCMRSA-N (E)-1,3-pentadiene Chemical compound C\C=C\C=C PMJHHCWVYXUKFD-SNAWJCMRSA-N 0.000 description 1
- XVOUMQNXTGKGMA-OWOJBTEDSA-N (E)-glutaconic acid Chemical compound OC(=O)C\C=C\C(O)=O XVOUMQNXTGKGMA-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 1
- 239000001124 (E)-prop-1-ene-1,2,3-tricarboxylic acid Substances 0.000 description 1
- AZUYLZMQTIKGSC-UHFFFAOYSA-N 1-[6-[4-(5-chloro-6-methyl-1H-indazol-4-yl)-5-methyl-3-(1-methylindazol-5-yl)pyrazol-1-yl]-2-azaspiro[3.3]heptan-2-yl]prop-2-en-1-one Chemical class ClC=1C(=C2C=NNC2=CC=1C)C=1C(=NN(C=1C)C1CC2(CN(C2)C(C=C)=O)C1)C=1C=C2C=NN(C2=CC=1)C AZUYLZMQTIKGSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JWYVGKFDLWWQJX-UHFFFAOYSA-N 1-ethenylazepan-2-one Chemical compound C=CN1CCCCCC1=O JWYVGKFDLWWQJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMUPSYZVABJEKC-UHFFFAOYSA-N 1-methylcyclohexane-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1(C)CCCCC1C(O)=O PMUPSYZVABJEKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLPJNCYCZORXHG-UHFFFAOYSA-N 1-morpholin-4-ylprop-2-en-1-one Chemical compound C=CC(=O)N1CCOCC1 XLPJNCYCZORXHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GVJRTUUUJYMTNQ-UHFFFAOYSA-N 2-(2,5-dioxofuran-3-yl)acetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC(=O)OC1=O GVJRTUUUJYMTNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 2-(3-phenylmethoxyphenyl)-1,3-thiazole-4-carbaldehyde Chemical compound O=CC1=CSC(C=2C=C(OCC=3C=CC=CC=3)C=CC=2)=N1 OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLDFSDCBQJUWFG-UHFFFAOYSA-N 2-(methylamino)-1,2-diphenylethanol Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(NC)C(O)C1=CC=CC=C1 BLDFSDCBQJUWFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000143 2-carboxyethyl group Chemical group [H]OC(=O)C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- DPNXHTDWGGVXID-UHFFFAOYSA-N 2-isocyanatoethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCN=C=O DPNXHTDWGGVXID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SYIUWAVTBADRJG-UHFFFAOYSA-N 2H-pyran-2,6(3H)-dione Chemical compound O=C1CC=CC(=O)O1 SYIUWAVTBADRJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AYKYXWQEBUNJCN-UHFFFAOYSA-N 3-methylfuran-2,5-dione Chemical compound CC1=CC(=O)OC1=O AYKYXWQEBUNJCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 3-methylideneoxolane-2,5-dione Chemical compound C=C1CC(=O)OC1=O OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTDMBRAUHKUOON-UHFFFAOYSA-N 4-[(4-carboxyphenyl)methyl]benzoic acid Chemical compound C1=CC(C(=O)O)=CC=C1CC1=CC=C(C(O)=O)C=C1 VTDMBRAUHKUOON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UZDMJPAQQFSMMV-UHFFFAOYSA-N 4-oxo-4-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)butanoic acid Chemical compound OC(=O)CCC(=O)OCCOC(=O)C=C UZDMJPAQQFSMMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NOWKCMXCCJGMRR-UHFFFAOYSA-N Aziridine Chemical compound C1CN1 NOWKCMXCCJGMRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- 239000004970 Chain extender Substances 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical group CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 229920002367 Polyisobutene Polymers 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 description 1
- 239000004902 Softening Agent Substances 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004708 Very-low-density polyethylene Substances 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical class C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- QHZLCTYHMCNIMS-UHFFFAOYSA-L [2-ethylhexanoyloxy(dioctyl)stannyl] 2-ethylhexanoate Chemical compound CCCCCCCC[Sn](OC(=O)C(CC)CCCC)(OC(=O)C(CC)CCCC)CCCCCCCC QHZLCTYHMCNIMS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 229940091181 aconitic acid Drugs 0.000 description 1
- XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N acrylonitrile butadiene styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- GCTPMLUUWLLESL-UHFFFAOYSA-N benzyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1=CC=CC=C1 GCTPMLUUWLLESL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IHWUGQBRUYYZNM-UHFFFAOYSA-N bicyclo[2.2.1]hept-2-ene-3,4-dicarboxylic acid Chemical compound C1CC2(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC1C2 IHWUGQBRUYYZNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 1
- 239000004566 building material Substances 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 1
- YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N chloroprene Chemical compound ClC(=C)C=C YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GTZCVFVGUGFEME-IWQZZHSRSA-N cis-aconitic acid Chemical compound OC(=O)C\C(C(O)=O)=C\C(O)=O GTZCVFVGUGFEME-IWQZZHSRSA-N 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M cyanate Chemical compound [O-]C#N XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N cyclohex-3-ene-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCC=CC1C(O)=O IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCCC1C(O)=O QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001993 dienes Chemical class 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- GFJVXXWOPWLRNU-UHFFFAOYSA-N ethenyl formate Chemical compound C=COC=O GFJVXXWOPWLRNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJLZSKYNYLYCNY-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;isocyanic acid Chemical group N=C=O.CCOC(N)=O RJLZSKYNYLYCNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000004715 ethylene vinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000008570 general process Effects 0.000 description 1
- 239000011086 glassine Substances 0.000 description 1
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 229920006130 high-performance polyamide Polymers 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002655 kraft paper Substances 0.000 description 1
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 1
- 229920000092 linear low density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004707 linear low-density polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- MYWUZJCMWCOHBA-VIFPVBQESA-N methamphetamine Chemical compound CN[C@@H](C)CC1=CC=CC=C1 MYWUZJCMWCOHBA-VIFPVBQESA-N 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N methyl vinyl ether Chemical compound COC=C XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002557 mineral fiber Substances 0.000 description 1
- 150000002763 monocarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- PJUIMOJAAPLTRJ-UHFFFAOYSA-N monothioglycerol Chemical compound OCC(O)CS PJUIMOJAAPLTRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QKQSRIKBWKJGHW-UHFFFAOYSA-N morpholine;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.C1COCCN1 QKQSRIKBWKJGHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- KYTZHLUVELPASH-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound C1=CC=CC2=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C21 KYTZHLUVELPASH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- YWAKXRMUMFPDSH-UHFFFAOYSA-N pentene Chemical compound CCCC=C YWAKXRMUMFPDSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- MXXWOMGUGJBKIW-YPCIICBESA-N piperine Chemical compound C=1C=C2OCOC2=CC=1/C=C/C=C/C(=O)N1CCCCC1 MXXWOMGUGJBKIW-YPCIICBESA-N 0.000 description 1
- 229940075559 piperine Drugs 0.000 description 1
- WVWHRXVVAYXKDE-UHFFFAOYSA-N piperine Natural products O=C(C=CC=Cc1ccc2OCOc2c1)C3CCCCN3 WVWHRXVVAYXKDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019100 piperine Nutrition 0.000 description 1
- PMJHHCWVYXUKFD-UHFFFAOYSA-N piperylene Natural products CC=CC=C PMJHHCWVYXUKFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 1
- 229920001515 polyalkylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920001083 polybutene Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000921 polyethylene adipate Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920006124 polyolefin elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920001289 polyvinyl ether Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- YOSXAXYCARLZTR-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoyl isocyanate Chemical compound C=CC(=O)N=C=O YOSXAXYCARLZTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000012748 slip agent Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 125000004079 stearyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 150000003505 terpenes Chemical class 0.000 description 1
- 235000007586 terpenes Nutrition 0.000 description 1
- 229920001897 terpolymer Polymers 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N tetrahydrophthalic acid Natural products OC(=O)C1=C(C(O)=O)CCCC1 UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUELTTOHQODFPA-UHFFFAOYSA-N toluene 2,6-diisocyanate Chemical compound CC1=C(N=C=O)C=CC=C1N=C=O RUELTTOHQODFPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GTZCVFVGUGFEME-UHFFFAOYSA-N trans-aconitic acid Natural products OC(=O)CC(C(O)=O)=CC(O)=O GTZCVFVGUGFEME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
- 125000002889 tridecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229920001862 ultra low molecular weight polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 1
- 229920001866 very low density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004711 α-olefin Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J5/00—Adhesive processes in general; Adhesive processes not provided for elsewhere, e.g. relating to primers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J7/00—Adhesives in the form of films or foils
- C09J7/20—Adhesives in the form of films or foils characterised by their carriers
- C09J7/22—Plastics; Metallised plastics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/561—Batch processing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L21/6836—Wafer tapes, e.g. grinding or dicing support tapes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
- C09J2301/10—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive tape or sheet
- C09J2301/12—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive tape or sheet by the arrangement of layers
- C09J2301/124—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive tape or sheet by the arrangement of layers the adhesive layer being present on both sides of the carrier, e.g. double-sided adhesive tape
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Dicing (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
Abstract
Description
このような仮固定用途の粘着シートには、使用時(仮固定時)における被着物との接着性と、使用後における被着物の剥離性との両立が要求される。
特許文献1には、当該粘着シートは、電子部品切断時(仮固定時)には、被着物との接触面積を確保して、チップ飛び等の接着不具合を防止し得る接着性を発揮できる旨が記載されている。また、使用後(電子部品切断後)には、加熱により熱膨張性粒子を膨張させて、被着物との接触面積を減少させることで、容易に剥離できる旨が記載されている。
具体的には、例えば、薄層の銅箔とポリイミドフィルムをラミネートしたFPC(Flexible Printed Circuit)部品の加工工程は、加熱剥離型の粘着シートに部品を貼着して固定し切断加工を施した後、該粘着シートの全面を加熱処理して部品すべてを剥離させてから、部品の一部の切断片を移動及び分離させる工程を含んでいる。当該工程において、一部の切断片を移動及び分離させるときに生じる振動が、他の切断片の変形や脱落を引き起こすことがある。
また、半導体ウエハや積層コンデンサーのダイシング工程においては、ダイシング加工後、被着物を保持している加熱剥離型の粘着シートを加熱して被着物を剥離させる際、保持させておきたい被着物を含めた被着物全体が当該粘着シートから分離してしまう問題がある。加えて、加工後の被着物の移動時及び分離時に生じる振動によって、当該粘着シート上に残っている被着物の位置ズレや脱落が起きるなどの問題がある。
さらに、複数個の被着物に対する検査結果に応じて一部の被着物のみを剥離し、残りは粘着シートに貼着した状態を保持しておきたいという要望もある。そこで、加工及び検査の少なくともいずれかを実施する必要のある被着物(以下、「加工検査対象物」と呼ぶ)について、特許文献1に開示される加熱剥離型の粘着シートを使用して仮固定し、加工及び検査の少なくともいずれかを実施した後、当該粘着シートを部分的に加熱することで、当該粘着シートに貼着している複数個の加工検査対象物のうちの一部を選択的に剥離し、残りの加工検査対象物は粘着シートに貼着した状態を保持しておくことが考えられる。これにより、加工検査対象物の移動時及び分離時に生じる振動によって、当該粘着シート上に残っている加工検査対象物の変形、位置ズレ、及び脱落を防ぐことができると考えられる。また、検査結果に応じて一部の加工検査対象物のみを剥離し、残りの加工検査対象物は粘着シートに貼着した状態を保持しておきたいという要望にも応えることができると考えられる。
[1]以下の工程(I)及び(II)を有する、加工検査対象物の加熱剥離方法。
工程(I):樹脂及び熱膨張性粒子を含む非粘着性の熱膨張性基材と、粘着剤層(X1)と、を有する粘着シートの粘着剤層(X1)の粘着表面に複数個の加工検査対象物を貼着する工程
工程(II):前記熱膨張性基材の一部を前記熱膨張性粒子が膨張する温度以上に加熱して、前記複数個の加工検査対象物のうちの一部を選択的に剥離する工程
[2]前記工程(I)が、以下の工程(I−1)〜(I−2)を有する、[1]に記載の方法。
工程(I−1):前記粘着シートの粘着剤層(X1)の粘着表面に個片化前の加工検査対象物を貼着する工程
工程(I−2):前記粘着表面に貼着している前記個片化前の加工検査対象物を個片化する工程
[3]前記粘着シートが、前記熱膨張性基材の粘着剤層(X1)が積層している側とは反対側に粘着剤層(X2)を有する両面粘着シートであり、前記両面粘着シートの粘着剤層(X2)の粘着表面に、硬質支持体を貼着して用いられる、[1]又は[2]に記載の方法。
[4]工程(I)が、以下の工程(I−A1)〜(I−A3)を有する、[3]に記載の方法。
工程(I−A1):粘着剤層(X1)の粘着表面に、複数個の半導体チップを、隣接する前記半導体チップ間に隙間を設けながら載置する工程
工程(I−A2):前記複数個の半導体チップ、及び、前記複数個の半導体チップの周辺部の粘着表面を、封止材で被覆し、前記封止材を硬化させて、前記複数個の半導体チップが硬化封止材に封止されてなる封止体を得る工程
工程(I−A3):前記封止体を前記半導体チップ単位で個片化する工程
[5]前記粘着シートが、粘着剤層(X1)の粘着表面に、開口部が形成された枠部材を貼着して用いられる、[1]又は[2]に記載の方法。
[6]工程(I)が、以下の工程(I−B1)〜(I−B3)を有する、[5]に記載の方法。
工程(I−B1):前記枠部材の前記開口部にて露出する粘着剤層(X1)の粘着表面に、複数個の半導体チップを、隣接する前記半導体チップ間に隙間を設けながら載置する工程
工程(I−B2):前記複数個の半導体チップ、及び、前記複数個の半導体チップの周辺部の粘着表面を、封止材で被覆し、前記封止材を硬化させて、前記複数個の半導体チップが硬化封止材に封止されてなる封止体を得る工程
工程(I−B3):前記封止体を前記半導体チップ単位で個片化する工程
[7]工程(II)における加熱を、前記熱膨張性基材の粘着剤層(X1)が積層している側とは反対側から行う、[1]〜[6]のいずれか1つに記載の方法。
[8]前記熱膨張性基材が、下記要件(1)を満たす、[1]〜[7]のいずれか1つに記載の方法。
・要件(1)23℃における貯蔵弾性率E’(23)が、1.0×106Pa以上である
[9]前記熱膨張性基材が、下記要件(2)を満たす、[1]〜[8]のいずれか1つに記載の方法。
・要件(2):100℃における貯蔵弾性率E’(100)が、2.0×105Pa以上である
[10]前記熱膨張性粒子の膨張開始温度(t)が、120〜250℃であり、前記熱膨張性基材が、下記要件(3)を満たす、[1]〜[9]のいずれか1つに記載の方法。
・要件(3):膨張開始温度(t)における貯蔵弾性率E’(t)が、1.0×107Pa以下である
[11]23℃における、粘着剤層(X1)の貯蔵せん断弾性率G’(23)が、1.0×104〜1.0×108Paである、[1]〜[10]のいずれか1つに記載の方法。
[12]23℃における、前記熱膨張性基材の厚さと、粘着剤層(X1)の厚さとの比(熱膨張性基材/粘着剤層(X1))が0.2以上である、[1]〜[11]のいずれか1つに記載の方法。
[13]23℃における、前記熱膨張性基材の厚さが10〜1000μmであり、粘着剤層(X1)の厚さが1〜60μmである、[1]〜[12]のいずれか1つに記載の方法。
[14]前記熱膨張性基材の表面におけるプローブタック値が、50mN/5mmφ未満である、[1]〜[13]のいずれか1つに記載の方法。
[15]前記熱膨張性粒子の23℃における膨張前の平均粒子径が、3〜100μmである、上記[1]〜[14]のいずれか1つに記載の方法。
また、質量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法で測定される標準ポリスチレン換算の値であり、具体的には実施例に記載の方法に基づいて測定した値である。
また、好ましい数値範囲(例えば、含有量等の範囲)について、段階的に記載された下限値及び上限値は、それぞれ独立して組み合わせることができる。例えば、「好ましくは10〜90、より好ましくは30〜60」という記載から、「好ましい下限値(10)」と「より好ましい上限値(60)」とを組み合わせて、「10〜60」とすることもできる。
本実施形態に係る加工検査対象物の加熱剥離方法は、以下の工程(I)及び(II)を有する。
工程(I):樹脂及び熱膨張性粒子を含む非粘着性の熱膨張性基材と、粘着剤層(X1)と、を有する粘着シートの粘着剤層(X1)の粘着表面に複数個の加工検査対象物を貼着する工程
工程(II):前記熱膨張性基材の一部を前記熱膨張性粒子が膨張する温度以上に加熱して、前記複数個の加工検査対象物のうちの一部を選択的に剥離する工程
以下、はじめに本実施形態に係る加工検査対象物の加熱剥離方法に用いる粘着シートの構成の概略を説明した後、工程(I)及び(II)を含む各工程について説明する。なお、粘着シートの構成材料等の詳細については後述する。
本実施形態に係る粘着シートは、樹脂及び熱膨張性粒子を含む非粘着性の熱膨張性基材と、粘着剤層とを有するものであれば、特に限定されない。
図1及び2は、本実施形態に係る粘着シートの構成を示す、粘着シートの断面模式図である。
なお、本実施形態に係る粘着シートは、図1(b)に示す粘着シート1bのように、粘着剤層(X1)121の粘着表面上に、さらに剥離材131を有する構成としてもよい。
また、図2(b)に示す両面粘着シート2bのように、粘着剤層(X1)121の粘着表面上にさらに剥離材131を有し、粘着剤層(X2)122の粘着表面上にさらに剥離材132を有する構成としてもよい。
このような現象を抑制する観点から、2つの剥離材131、132は、互いに貼付される粘着剤層からの剥離力が異なるように設計された2種の剥離材を用いることが好ましい。
工程(I)では、樹脂及び熱膨張性粒子を含む非粘着性の熱膨張性基材と、粘着剤層(X1)と、を有する粘着シートの粘着剤層(X1)の粘着表面に複数個の加工検査対象物を貼着する。
粘着シートは、上述した粘着シートであり、例えば、図1に示す片面粘着シート1a及び図2に示す両面粘着シート2aを用いることができる。
図3(a)は、片面粘着シート1aを用いた本実施形態に係る加工検査対象物の加熱剥離方法の工程(I)を説明する概略断面図であり、図3(b)は概略平面図である。
また、図4(a)は、両面粘着シート2aを用いた本実施形態に係る加工検査対象物の加熱剥離方法の工程(I)を説明する概略断面図であり、図4(b)は概略平面図である。
枠部材20は、枠部材20の表裏面を貫通する孔である開口部21を1つ以上備える。開口部21の形状は、加工検査対象物7、7aを枠内に収容可能であれば、特に限定されない。また、開口部21の孔の深さも、加工検査対象物7、7aを枠内に収容可能であれば、特に限定されない。なお、枠部材20による片面粘着シート1aの支持機能をより向上させる観点から、枠部材20は、開口部21を複数備えることが好ましい。また、枠部材20が開口部21を複数備える場合、開口部21の形状は、例えば格子状に形成されることが好ましい。
なお、本実施形態において、「複数個の加工検査対象物を貼着する」とは、枠部材20が複数の開口部21を備える場合には、当該複数の開口部21から露出する粘着表面のそれぞれに1以上の加工検査対象物を貼着することを意味している。あるいは、枠部材20が1つの開口部21を備える場合には、当該1つの開口部21から露出する粘着表面に複数個の加工検査対象物を貼着することを意味している。なお、枠部材20が複数の開口部21を備える場合、粘着シート上に貼着されている加工検査対象物の位置を、当該複数の開口部21のアドレスによって把握することができ、後述する加熱手段やピックアップ手段を当該アドレスに基づいて制御しやすい利点もある。
枠部材20は、耐熱性を有する材質で形成されていることが好ましい。枠部材20の材質としては、銅、ステンレス、42アロイ等の金属;ポリイミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、変性ポリフェニレンエーテル樹脂、及びポリブチレンテレフタレート樹脂等のエンジニアリングプラスチックと称される樹脂;ガラスエポキシ樹脂等の複合材料等が挙げられる。
枠部材20の厚さ(粘着剤層(X1)の粘着表面に対して垂直方向の厚さ)は、機械的強度、及び取扱性等を考慮して適宜決定すればよく、例えば、100μm〜3mmである。
硬質支持体14は、上記目的を果たす観点から、粘着剤層(X2)122の粘着表面122aの全面に貼着されていることが好ましい。したがって、硬質支持体14は、板状であることが好ましい。また、硬質支持体14の、粘着剤層(X2)122の粘着表面122aに貼着される面の面積は、粘着剤層(X2)122の粘着表面122aの面積以上であることが好ましい。
硬質支持体14の材質は、機械的強度、耐熱性等を考慮して適宜決定すればよく、例えば、SUS等の金属材料;ガラス及びシリコンウエハ等の非金属無機材料;ポリイミド及びポリアミドイミド等の樹脂材料;ガラスエポキシ樹脂等の複合材料等が挙げられ、これらの中でも、SUS、ガラス、及びシリコンウエハ等が好ましい。
硬質支持体14の厚さは、機械的強度、及び取扱性等を考慮して適宜決定すればよく、例えば、100μm〜50mmである。
また、加工検査対象物に対して行われる加工は、特に限定されないが、例えば、配線形成、後述する樹脂封止等が挙げられる。
加工検査対象物に対して行われる検査も、特に限定されないが、光学顕微鏡やレーザーを利用した欠陥検査(例えば、ごみ検査、表面傷検査、配線パターン検査等)、目視による表面検査等が挙げられる。
工程(II)では、前記熱膨張性基材の一部を前記熱膨張性粒子が膨張する温度以上に加熱して、前記複数個の加工検査対象物のうちの一部を選択的に剥離する。前記複数個の加工検査対象物は、例えば、上記の加工及び検査の少なくともいずれかが実施された後、選択的に剥離される。
図5は、片面粘着シート1aを用いた本実施形態に係る加工検査対象物の加熱剥離方法の工程(II)を説明する概略断面図であり、図5(a)は剥離すべき加工検査対象物7aを剥離する前の状態を示し、図5(b)は剥離すべき加工検査対象物7aを剥離して回収する状態を示す。
また、図6は、両面粘着シート2aを用いた本実施形態に係る加工検査対象物の加熱剥離方法の工程(II)を説明する概略断面図であり、図6(a)は剥離すべき加工検査対象物7aを剥離する前の状態を示し、図6(b)は剥離すべき加工検査対象物7aを剥離して回収する状態を示す。
なお、粘着シート上の所望の位置に貼着している加工検査対象物を選択的に剥離する観点から、加熱手段80は、粘着シートのXY平面のX軸方向及びY軸方向に移動可能であることが好ましい。また、吸着ノズル15等のピックアップ手段についても、粘着シートのXY平面のX軸方向及びY軸方向に移動可能であることが好ましい。また、加熱手段80と吸着ノズル15等のピックアップ手段は、Z軸方向に移動可能であってもよい。
本明細書において、「XY平面」とは、粘着シートの積層方向(厚み方向)と直交する平面を意味する。X軸及びY軸は、それぞれ直交する関係にあり、XY平面内の軸とする。Z軸は、X軸及びY軸と直交する関係にある、粘着シートの積層方向(厚み方向)と平行な軸である。 なお、加熱手段及びピックアップ手段は、複数個備えられていてもよい。この場合、例えば、n個(nは3以上の整数)の加工検査対象物のうちm個(mは、1<m<nを満たす整数)の加工検査対象物を同時に加熱し剥離して、回収することが可能となる。
また、加熱手段及びピックアップ手段は、隣接する2個以上の加工検査対象物を同時に加熱し剥離することが可能な大きさを有していてもよい。この場合にも、複数個の加工検査対象物を同時に加熱し剥離して、回収することが可能となる。また、隣接する2個以上の加工検査対象物を同時に加熱し剥離することが可能な大きさの加熱手段及びピックアップ手段を、複数個備えるようにしてもよい。
ここで、本発明の一態様においては、加熱手段80を、加工検査対象物側とは反対側に設けることが好ましい。本発明で用いる粘着シートのように、基材に熱膨張性粒子が含まれる場合、粘着剤層(加工検査対象物が貼着される粘着剤層)に熱膨張性粒子が含まれる場合と比較して、熱膨張性粒子が加熱手段80からより近い距離に存在する。したがって、熱膨張性粒子を加熱し易いものとでき、加熱時間の短時間化を図ることができる。
また、加熱手段80からの熱は、加熱手段80からの距離が遠ざかるほど熱の進行方向とは水平な方向に拡散しやすくなる。したがって、加熱手段80が、加工検査対象物側とは反対側に設けられている場合、粘着剤層(加工検査対象物が貼着される粘着剤層)に熱膨張性粒子が含まれると、当該粘着剤層が所望の領域よりも広範囲に加熱されて熱膨張性粒子が膨張してしまい、剥離を望まない領域に貼着されている加工検査対象物までもが剥離される恐れがある。
これに対し、本発明で用いる粘着シートによれば、当該粘着剤層よりも加熱手段80からの距離が近い熱膨張性基材中の熱膨張性粒子を膨張させて加工検査対象物を剥離させるので、加熱手段80からの熱は、粘着剤層(X1)中よりも熱膨張性基材中の方がより拡散が抑えられた状態で照射される。したがって、所望の領域のみを選択的に加熱して、所望の加工検査対象物のみを選択的に剥離させ易いものとできる。
したがって、加熱手段80を加工検査対象物側に設けることで、加工検査対象物の種類に依存することなく、所望の加工検査対象物のみを選択的に剥離させることができる利点もある。
加工検査対象物を貼着する粘着剤中に熱膨張性粒子が含まれている場合、熱膨張性粒子に由来する残渣が加工検査対象物表面に付着し、加工検査対象物表面の清浄性を確保できない問題がある。また、加熱により熱膨張性粒子が発泡又は膨張した際に、粘着剤層が大きく変形するため、加熱剥離後の加工検査対象物表面に糊残りが生じる問題が懸念され得る。
これに対し、本実施形態に係る粘着シートにおいて、熱膨張性粒子は熱膨張性基材に含まれるので、粘着剤層の粘着表面に貼着される加工検査対象物と熱膨張性粒子とが直に接することがない。したがって、熱膨張性粒子に由来する残渣及び大きく変形した粘着剤層の一部が加工検査対象物表面に付着することが抑制され、加熱剥離後の加工検査対象物表面の清浄性の確保及び糊残りの抑制を図りながらも、粘着シートに貼着している複数個の加工検査対象物のうち所望の一部を選択的に加熱剥離することが可能となる。
以下、本実施形態に係る加工検査対象物の加熱剥離方法について、熱膨張性基材の貯蔵弾性率及び厚さ、粘着剤層(X1)の貯蔵せん断弾性率及び厚さ、並びに、熱膨張性基材の厚さと粘着剤層(X1)の厚さとの関係の好ましい範囲について、詳細に説明する。
本実施形態に係る粘着シートが有する熱膨張性基材は、23℃における貯蔵弾性率E’(23)が、1.0×106Pa以上であることが好ましく、より好ましくは5.0×106〜5.0×1012Pa、更に好ましくは1.0×107〜1.0×1012Pa、より更に好ましくは5.0×107〜1.0×1011Pa、更になお好ましくは1.0×108〜1.0×1010Paである。以下、23℃における貯蔵弾性率E’(23)の上記範囲を、要件(1)と呼ぶ。
上記要件(1)を満たす熱膨張性基材を用いることで、加工検査対象物を粘着シートに載置し貼着する際の加工検査対象物の位置ズレを抑制し得る。また、加工検査対象物を粘着シートに載置し貼着する際の加工検査対象物の粘着剤層(X1)への沈み込みを抑制して、良好な剥離性を確保し得る。
例えば、粘着シートの粘着剤層(X1)への加工検査対象物の載置には、フリップチップボンダー、ダイボンダー等の公知の装置が用いられることがある。このような装置を用いて加工検査対象物を粘着シートの粘着剤層(X1)に載置する際、加工検査対象物を粘着シートの厚み方向に押し込む力が加わる。そのため、加工検査対象物が粘着剤層(X1)の厚み方向に過度に沈み込む恐れがある。また、このような装置を用いて、加工検査対象物を粘着シート上に載置する際に、加工検査対象物を粘着シートの水平方向に移動させる力も加わるため、加工検査対象物が粘着剤層の水平方向に位置ズレが生じる恐れもある。なお、加工検査対象物の自重によって、加工検査対象物が粘着剤層(X1)の厚み方向側に過度に沈み込む恐れがある。
これらの問題は、上記要件(1)を満たす熱膨張性基材を用いることで、解決し得る。
なお、本明細書において、所定の温度における熱膨張性基材の貯蔵弾性率E’は、実施例に記載の方法により測定された値を意味する。
上記要件(2)を満たす熱膨張性基材を用いることで、粘着シートの一部を、熱膨張性粒子が膨張する温度以上に加熱する際の昇温過程において、粘着シートの位置ズレを抑制し得る。また、粘着シートの一部を、熱膨張性粒子が膨張する温度以上に加熱する際の昇温過程において、加工検査対象物の粘着剤層(X1)への沈み込みを抑制して、良好な剥離性を確保し得る。
一般的に、特許文献1に記載の粘着シートが有するような熱膨張性粘着剤層は、粘着性樹脂を含むため、温度の上昇と共に、貯蔵弾性率E’の低下の度合いが非常に大きくなる傾向がある。
ここで、熱膨張性粘着剤層の貯蔵弾性率E’の低下の度合いが非常に大きくなると、熱膨張性粘着剤層に含まれる熱膨張性粒子及び粘着性樹脂が流動し易くなり、それに伴い、熱膨張性粘着剤層の粘着表面が変形し易くなる。
その結果、粘着シートの一部を、熱膨張性粒子が膨張する温度以上に加熱する際の昇温過程において、加工検査対象物の位置ズレが生じ得る。また、加工検査対象物が粘着シート側に沈み込んでしまい、加工検査対象物が剥離し難くなるという問題が生じ得る。
これらの問題は、上記要件(2)を満たす熱膨張性基材を用いることで、解決し得る。
要件(3)を満たす熱膨張性基材を有することで、熱膨張性粒子を膨張させる温度において、熱膨張性基材が熱膨張性粒子の体積膨張に追随して変形し易くなり、粘着剤層(X1)のし易くなる。これにより、粘着シートからの加工検査対象物の剥離性をより優れたものとできる。
また、膨張した熱膨張性粒子の流動を抑制し、粘着剤層(X1)の粘着表面に形成される凹凸の形状維持性を向上させ、剥離性をより向上させる観点から、熱膨張性基材の貯蔵弾性率E’(t)は、好ましくは1.0×103Pa以上、より好ましくは1.0×104Pa以上、更に好ましくは1.0×105Pa以上である。
なお、本明細書において、熱膨張性基材の厚さは、実施例に記載の方法により測定された値を意味する。
本実施形態に係る粘着シートにおいて、23℃における粘着剤層(X1)の貯蔵せん断弾性率G’(23)は、好ましくは1.0×104〜1.0×108Pa、より好ましくは5.0×104〜5.0×107Pa、更に好ましくは1.0×105〜1.0×107Paである。
粘着剤層(X1)の貯蔵せん断弾性率G’(23)が1.0×104Pa以上であれば、加工検査対象物の位置ズレを防止することができると共に、加工検査対象物の粘着剤層(X1)への沈み込みを防止することもできる。
一方、粘着剤層(X1)の貯蔵せん断弾性率G’(23)が1.0×108Pa以下であれば、膨張した熱膨張性粒子による凹凸が粘着表面に形成され易く、その結果、加工検査対象物を容易に剥離することができる。
なお、本明細書において、粘着剤層(X1)の貯蔵せん断弾性率G’(23)は、実施例に記載の方法により測定された値を意味する。
これらに対し、本実施形態に係る粘着シートは、熱膨張性粒子が、弾性率の高い非粘着性の基材に含まれるため、半導体チップを載置する粘着剤層(X1)の厚さの調整、粘着力、及び粘弾性率等の制御等の自由度が向上する。これにより、半導体チップの位置ズレの発生を抑制できると共に、半導体チップが粘着シートに沈み込むことを抑制することができる。
本実施形態に係る粘着シートにおいて、より良好な剥離性を発現させる観点から、23℃における、熱膨張性基材の厚さと、粘着剤層の厚さとの比(熱膨張性基材/粘着剤層)は、好ましくは0.2以上、より好ましくは0.5以上、更に好ましくは1.0以上、より更に好ましくは5.0以上である。また、好ましくは1000以下、より好ましくは200以下、更に好ましくは60以下、より更に好ましくは30以下である。
本実施形態に係る加工検査対象物の加熱剥離方法において、複数個の加工検査対象物は、個片化前の加工検査対象物を粘着シートに貼着して仮固定し、切断加工を施して個片化したものであってもよい。
すなわち、工程(I)は、以下の工程(I−1)〜(I−2)を有していてもよい。
工程(I−1):前記粘着シートの粘着剤層(X1)の粘着表面に個片化前の加工検査対象物を貼着する工程
工程(I−2):前記粘着表面に貼着している前記個片化前の加工検査対象物を個片化する工程
工程(I−1)において、粘着シートに貼着する個片化前の加工検査対象物は、例えばシリコンウエハやFPC部品等である。
また、工程(I−2)において、個片化前の加工検査対象物を個片化する方法は、特に限定されないが、例えば、ダイシングソー等の切断手段等により実施される。あるいは、分割予定のラインに沿って加工検査対象物の表側に溝を形成した加工検査対象物を、表側が粘着シートの粘着表面に接するように貼着し、加工検査対象物の裏面側から少なくとも当該溝に到達するまで、加工検査対象物の研削等の薄化処理を行う、いわゆる「先ダイシング法」により、加工検査対象物を個片化するようにしてもよい。また、ステルスダイシング(登録商標)を利用し、加工検査対象物の内部に改質領域を形成した後、加工検査対象物の表側が粘着シートの粘着表面に接するように貼着し、加工検査対象物の裏面から研削を行って、加工検査対象物を薄化処理し、これを加圧等の外力を付与することにより加工検査対象物を個片化するようにしてもよい。
なお、個片化された加工検査対象物を貼着している粘着シートをエキスパンド処理し、個片化された加工検査対象物間の間隔を任意に拡張するようにしてもよい。また、加工検査対象物の個片化とエキスパンド処理を同時に行うようにしてもよい。
また、工程(I−1)〜(I−2)により個片化された加工検査対象物やさらにエキスパンド処理された加工検査対象物は、そのまま工程(II)に供してもよいし、さらなる加工及び検査の少なくともいずれかを経た後、工程(II)に供するようにしてもよい。
本実施形態に係る加工検査対象物の加熱剥離方法において、複数個の加工検査対象物は、半導体パッケージの製造工程において得られる、複数個の半導体チップを封止材により封止した封止体を、半導体チップ単位で個片化した封止体であることが好ましい。
すなわち、本実施形態に係る加工検査対象物の加熱剥離方法においては、封止材による複数個の半導体チップの封止、封止体の半導体チップ単位での個片化、及び半導体チップ単位で個片化した封止体の選択的な加熱剥離を、同一の上記粘着シート上で連続して処理することが好ましい。
FOWLP及びFOPLPの製造過程においては、半導体チップを、チップサイズよりも大きな領域となるように封止材で覆って半導体チップの封止体(以下、単に「封止体」ともいう)を形成し、再配線層及び外部電極を、半導体チップの回路面だけでなく封止体の表面領域においても形成する。
半導体パッケージの製造において使用される仮固定用シートには、前記被覆工程及び硬化工程(以下、これらを「封止工程」ともいう)の間に、半導体チップの位置ズレが発生せず、かつ半導体チップと仮固定用シートとの接着界面に封止材が進入しない程度の接着性が求められる。また、封止工程後には、糊残り無く容易に除去し得る剥離性が求められる。すなわち、半導体パッケージの製造に使用される仮固定用シートは、使用時(仮固定時)の接着性と、使用後の剥離性との両立が要求される。
しかしながら、FOWLP及びFOPLPの製造工程においては、上記一般的な工程からの変形例も考えられる。例えば、封止工程後、封止体を仮固定用シートから剥離して分離することなく、半導体チップ単位で切断して個片化し(以下、「封止体個片化工程」ともいう)、個片化した封止体のうちの一部のみを仮固定用シートから選択的に剥離して分離することも考えられる(変形例1)。変形例1において、再配線層形成工程は、例えば、封止工程後、封止体個片化工程前に行われる(変形例1a)。また、再配線層形成工程は、例えば、封止体個片化工程後、個片化した封止体を仮固定用シートから選択的に剥離する前に行われる(変形例1b)。あるいは、再配線層形成工程は、例えば、個片化した封止体を仮固定用シートから選択的に剥離した後に行われる(変形例1c)。これら変形例1a〜1cにより、個片化した封止体のうち、必要な半導体チップを含む封止体のみを仮固定用シートから選択的に剥離して回収することが可能になる。また、必要な半導体チップを含む封止体のみを仮固定シートに貼着した状態で残し、他の封止体は剥離して回収することも可能になる。例えば、配線パターンの異なる複数の半導体チップを含む封止体が混在している場合、ある特定の配線パターンの半導体チップを含む封止体のみを選択的に粘着シートから取り除いたり、粘着シートに残したりすることも可能になる。また、変形例1a及び1bの場合には、再配線層形成工程において、配線に不具合が生じたものを選択的に粘着シートから取り除いたり、粘着シートに残したりすることが可能になる。
そしてこれらのことは、FOWLP及びFOPLPの製造工程のみならず、他の半導体パッケージの製造工程においても当て嵌まり得る。
しかしながら、本発明者らの検討によれば、特許文献1に記載の粘着シートを仮固定用シートとして用いた場合、封止工程における加熱によって、熱膨張性粘着層の弾性率が低下し、載置している半導体チップが粘着シート側に沈み込むことが分かった。また、前記載置工程及び封止工程中に、半導体チップの位置ズレが発生してしまうことが分かった。これらにより、封止体の半導体チップ側の表面には、半導体チップの表面と封止材表面との間で段差が発生してしまうため、平坦性に劣ったり、半導体チップの位置精度が低下したりしてしまう結果となる。このような封止体の半導体チップ側の表面の平坦性の低下及び半導体チップの位置精度の低下は、後工程における不具合に繋がり得る。例えば、封止体の半導体チップ側の表面に、再配線層を形成する場合には、再配線精度の低下等が生じ得る。したがって、封止体の半導体チップ側の表面の平坦性の低下及び半導体チップの位置精度の低下は、抑制されることが望ましい。
また、粘着シートから封止体を剥離する際に、加熱をして熱膨張性粘着層を膨張させても、半導体チップが粘着シート側に沈み込んでしまっていることにより、ある程度の大きさの外力無しでは個片化した封止体の剥離が困難になることも考えられる。
さらに、上記の通り、特許文献1に記載の粘着シートを仮固定用シートとして用いる場合には、粘着剤層中に熱膨張性粒子が含まれているため、熱膨張性粒子及び/又は粘着剤層に由来する残渣によって、加熱剥離後の加工検査対象物表面が汚染されることが懸念される。また、熱膨張性粒子により形成された粘着剤層表面の凹凸形状が封止体の半導体チップ側の表面に転写されてしまい平滑性が低下してしまうことも懸念され得る。
以下、個片化した封止体を粘着シートに貼着する態様である工程(I−A1)〜(I−A3)及び工程(I−B1)〜(I−B3)について、詳細に説明する。
個片化した封止体を両面粘着シートに貼着する場合、工程(I)は、例えば、以下の工程(I−A1)〜(I−A3)を有する。
工程(I−A1):粘着剤層(X1)の粘着表面に、複数個の半導体チップを、隣接する前記半導体チップ間に隙間を設けながら載置する工程
工程(I−A2):前記複数個の半導体チップ、及び、前記複数個の半導体チップの周辺部の粘着表面を、封止材で被覆し、前記封止材を硬化させて、前記複数個の半導体チップが硬化封止材に封止されてなる封止体を得る工程
工程(I−A3):前記封止体を前記半導体チップ単位で個片化する工程
以下、図面を参照しながら各工程を説明する。
なお、両面粘着シート2aが剥離材131を有する場合は、予め剥離材131を剥離する。
半導体チップCPは、従来公知のものを使用することができる。半導体チップCPは、その回路面W1に、トランジスタ、抵抗、コンデンサー等の回路素子から構成される集積回路が形成されている。なお、半導体チップCPは、単層構造には限定されず、半導体チップを二層以上積層した積層体としてチップ多段積層パッケージを製造するようにしてもよい。
半導体チップCPは、例えば、その回路面W1が、粘着表面121aで覆われるように載置される。半導体チップCPの載置には、フリップチップボンダー、ダイボンダー等の公知の装置を用いることができる。
ここで、複数個の半導体チップCPは、一定の間隔を空けて整列された状態で粘着剤層(X1)121の粘着表面121aに載置されることが好ましく、複数の半導体チップCPが、一定の間隔を空けて、複数行かつ複数列のマトリックス状に整列された状態で粘着表面121aに載置されることがより好ましい。半導体チップCP同士の間隔は、目的とするパッケージの形態等に応じて適宜決定される。
なお、以下、複数個の半導体チップCPと、複数個の半導体チップCPの周辺部の粘着表面30と、を封止材40で被覆する工程を「被覆工程」と称する場合があり、該封止材40を硬化させて、半導体チップCPが硬化封止材41に封止されてなる封止体50を得る工程を「硬化工程」と称する場合がある。
封止材40としては特に制限はなく、従来、半導体封止材料として使用されているものの中から、任意のものを適宜選択して用いることができる。
封止材40は、機械的強度、耐熱性、絶縁性等の観点から、硬化性を有するものであり、例えば、熱硬化性樹脂組成物、エネルギー線硬化性樹脂組成物等が挙げられる。
以下、本実施形態においては、封止材40を熱硬化性樹脂組成物であるものとして説明をする。
前記熱硬化性樹脂組成物は、前記熱硬化性樹脂の他にも、必要に応じて、フェノール樹脂系硬化剤、アミン系硬化剤等の硬化剤、硬化促進剤、シリカ等の無機充填材、エラストマー等の添加剤を含有していてもよい。
封止材40は、室温で固形であっても、液状であってもよい。また、室温で固形である封止材40の形態は、特に限定されず、例えば、顆粒状、シート状等であってもよい。
これらの方法においては、通常、封止材40の充填性を高めるために、被覆時に封止材40を加熱して流動性を付与する。
ここで、上記したように、本実施形態に用いられる両面粘着シート2aは、熱膨張性粒子を含有する熱膨張性基材11を有しており、工程(II)において、熱膨張性粒子を膨張させることで、粘着剤層(X1)121の粘着表面121aと封止体50との接触面積を低下させて粘着力を低下させ、両面粘着シート2aから封止体50を剥離して分離させるものである。したがって、被覆工程及び硬化工程においては、熱膨張性粒子が膨張しない条件を適宜選択して、封止材40を被覆及び硬化させることが好ましい。例えば、被覆工程及び硬化工程における加熱条件(加熱温度及び加熱時間)は、熱膨張性粒子の膨張に起因する両面粘着シート2aの厚さの増加率が10%以下である加熱条件が好ましく、前記増加率が5%以下である加熱条件がより好ましく、前記増加率が0%である加熱条件(すなわち、熱膨張性粒子が膨張しない加熱条件)がさらに好ましい。なお、両面粘着シート2aの厚さの増加率は、例えば、所定条件での加熱前後の両面粘着シート2aの厚さを、JIS K6783、Z1702、Z1709に準じて、定圧厚さ測定器(株式会社テクロック製、製品名「PG−02」)を用いて測定し、下記式に基づいて計算することができる。
厚さの増加率(%)=(加熱後の厚さ−加熱前の厚さ)×100/加熱前の厚さ
なお、被覆工程と硬化工程は別々に実施してもよいが、被覆工程において封止材40を加熱する場合、当該加熱によって、そのまま封止材40を硬化させてもよい。つまり、その場合、被覆工程と硬化工程とを同時に実施してもよい。
前記硬化工程において、封止材40を硬化させる温度の具体例は、使用する封止材40の種類、熱膨張性粒子の種類等によっても異なるが、例えば、80〜240℃であり、90〜200℃が好ましく、100〜170℃がより好ましい。また、加熱時間は、例えば、10〜180分間であり、20〜150分間が好ましく、30〜120分間がより好ましい。
シート状封止材を用いる方法では、複数個の半導体チップCPと、複数個の半導体チップCPの周辺部の粘着表面30とを、シート状封止材で覆うように載置することで封止材40によって被覆する。その際、半導体チップCP同士の間隙に、封止材40が充填されない部分が生じないように、真空ラミネート法等によって、適宜減圧しながら、加熱及び圧着させることが好ましい。その後、ラミネートした封止材40を加熱して硬化させる。硬化させる温度の好ましい態様は上記の通りである。
シート状封止材は、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂シートに支持された積層シートであってもよい。この場合、複数個の半導体チップCPと、複数個の半導体チップCPの周辺部の粘着表面30とを、シート状封止材で覆うように載置することで封止材40によって被覆した後、樹脂シートを封止材40から剥離してもよい。
工程(I−A3)では、封止体50を半導体チップCP単位で個片化する。封止体50を個片化させる方法は、特に限定されず、ダイシングソー等の切断手段等によって実施することができる。
封止体50を個片化することで、半導体チップCP単位の封止体50aが得られる。これにより、両面粘着シート2aには、複数個の封止体50aが加工検査対象物として貼着された状態となる。
封止体を粘着シートから剥離することなく再配線を形成する場合、再配線層は、半導体チップの粘着シートとの貼着面とは反対側(以下、「封止体表側」ともいう)に形成される。封止体表側に再配線層を形成する場合、半導体チップの回路面W1上の金属端子電極を、回路面W1から半導体チップの周囲を介して封止体表側に向けて引き回した状態で封止体を作製する。そして、封止体形成後に封止体表側から封止体を研削して当該金属端子電極を露出させた後、当該露出した金属端子電極と接触するように再配線層を形成する。但し、このような方法には必ずしも限定されない。例えば、工程(I−A1)において、半導体チップを、半導体チップの回路面W1とは反対側の面が粘着シートの粘着表面と接するように載置し、且つ、半導体チップの回路面W1上の金属端子電極は、ある程度の厚み(半導体チップ表面に対して垂直方向の厚み)を持たせておく。そして、上記と同様に、封止体形成後に封止体表側から封止体を研削して当該金属端子電極を露出させた後、当該露出した金属端子電極と接触するように再配線層を形成するようにしてもよい。
個片化した封止体を片面粘着シートに貼着する場合、工程(I)は、例えば、以下の工程(I−B1)〜(I−B3)を有する。なお、工程(I−B1)において用いられる枠部材は、前述の[工程(I)]において説明した「枠部材20」と同様、表裏面を貫通する孔である開口部21を1つ以上備えるものである。
工程(I−B1):前記枠部材の前記開口部にて露出する粘着剤層(X1)の粘着表面に、複数個の半導体チップを、隣接する前記半導体チップ間に隙間を設けながら載置する工程
工程(I−B2):前記複数個の半導体チップ、並びに、前記複数個の半導体チップの周辺部の粘着表面及び前記隙間の粘着表面を、封止材で被覆し、前記封止材を硬化させて、前記複数個の半導体チップが硬化封止材に封止されてなる封止体を得る工程
工程(I−B3):前記封止体を前記半導体チップ単位で個片化する工程
以下、図面を参照しながら各工程を説明する。
なお、工程(I−B1)〜(I−B3)において用いられる枠部材の厚さは、前述の通り、例えば、100μm〜3mmであるが、100μm〜1mmが好ましく、100〜500μmがより好ましい。枠部材の厚さが100μm以上であれば、比較的広い面積を封止する際にも封止体の反りを抑制できる。枠部材の厚さが3mm以下であれば、封止体の生産性低下を防止できる。
工程(I−B1)〜(I−B3)の、工程(I−A1)〜(I−A3)との相違点は、工程(I−B1)において、枠部材の開口部にて露出する粘着剤層(X1)の粘着表面に、複数個の半導体チップを、隣接する前記半導体チップ間に隙間を設けながら載置することであり、その他は共通している。したがって、当該共通部分については、工程(I−A1)〜(I−A3)で説明した態様と同様の態様にて実施することが可能である。
また、工程(I−A1)〜(I−A3)にかかる上述の実施形態と同様、再配線層を形成する場合、再配線層形成工程は、例えば、工程(I−B2)と(I−B3)の間、または、工程(I−B3)の後に実施される。あるいは、工程(II)により選択的に剥離された封止体に対して実施される。
すなわち、本実施形態に係る粘着シートは、熱膨張性粒子が、弾性率の高い非粘着性の基材に含まれるため、半導体チップを載置する粘着剤層(X1)の厚さの調整、粘着力、及び粘弾性率等の制御等の自由度が向上する。これにより、半導体チップの位置ズレの発生を抑制できると共に、半導体チップが粘着シートに沈み込むことを抑制し、半導体チップ側の表面の平坦性に優れる封止体を形成することができる。
加えて、本実施形態に係る粘着シートにおいて、半導体チップは、粘着剤層(X1)の粘着表面に載置されるため、熱膨張性基材と封止体の半導体チップ側の表面とが直に接することがない。これにより、熱膨張性粒子に由来する残渣及び大きく変形した粘着剤層の一部が封止体の半導体チップ側の表面に付着したり、熱膨張性粘着層に形成された凹凸形状が封止体の半導体チップ側の表面に転写されてしまい平滑性が低下したりすることが抑制され、封止体の半導体チップ側の表面の清浄性及び平滑性を優れたものとできる。
また、上記要件(2)を満たす熱膨張性基材を用いることで、半導体パッケージの製造過程、例えばFOWLP及びFOPLP等のファンアウト型のパッケージの製造過程における封止工程の温度環境においても、熱膨張性粒子の流動を程よく抑制し得るため、熱膨張性基材上に設けた粘着剤層(X1)の粘着表面が変形し難くなる。その結果、封止工程における半導体チップの位置ズレをより確実に防止することができると共に、半導体チップの粘着剤層(X1)への沈み込みをより確実に防止することもできる。
さらに、23℃における、熱膨張性基材の厚さと、粘着剤層(X1)の厚さとの比(熱膨張性基材/粘着剤層(X1))を上記範囲とすることで、封止体の半導体チップ側の表面をより平坦にすると共に、半導体チップの位置ズレをより確実に防止することができる。
この場合にも、封止工程の際に上記粘着シートを用いることにより、半導体チップの位置ズレの発生を抑制できると共に、半導体チップが粘着シートに沈み込むことを抑制し、半導体チップ側表面の平坦性に優れる封止体を形成しながらも、封止体の選択的な剥離を行うことが可能となる。
熱膨張性基材は、樹脂及び熱膨張性粒子を含む非粘着性の基材である。
ここで、熱膨張性基材の表面におけるプローブタック値は、通常は50mN/5mmφ未満であるが、好ましくは30mN/5mmφ未満、より好ましくは10mN/5mmφ未満、更に好ましくは5mN/5mmφ未満である。
なお、本明細書において、熱膨張性基材の表面におけるプローブタック値の具体的な測定方法は、実施例に記載の方法による。
また、熱膨張性基材は、樹脂及び熱膨張性粒子を含む樹脂組成物(y)から形成することができる。
以下、熱膨張性基材の形成材料である樹脂組成物(y)に含まれる各成分について説明する。
樹脂組成物(y)に含まれる樹脂としては、熱膨張性基材が非粘着性となる樹脂であれば特に限定されず、非粘着性樹脂であってもよく、粘着性樹脂であってもよい。
つまり、樹脂組成物(y)に含まれる樹脂が粘着性樹脂であっても、樹脂組成物(y)から熱膨張性基材を形成する過程において、当該粘着性樹脂が重合性化合物と重合反応し、得られる樹脂が非粘着性樹脂となり、当該樹脂を含む熱膨張性基材が非粘着性となればよい。
また、当該樹脂が2種以上の構成単位を有する共重合体である場合、当該共重合体の形態は、特に限定されず、ブロック共重合体、ランダム共重合体、及びグラフト共重合体のいずれであってもよい。
また、上記アクリルウレタン系樹脂としては、以下の樹脂(U1)が好ましい。
・ウレタンプレポリマー(UP)と、(メタ)アクリル酸エステルを含むビニル化合物とを重合してなるアクリルウレタン系樹脂(U1)。
アクリルウレタン系樹脂(U1)の主鎖となるウレタンプレポリマー(UP)としては、ポリオールと多価イソシアネートとの反応物が挙げられる。
なお、ウレタンプレポリマー(UP)は、更に鎖延長剤を用いた鎖延長反応を施して得られたものであることが好ましい。
これらのポリオールは、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本実施形態で用いるポリオールとしては、ジオールが好ましく、エステル型ジオール、アルキレン型ジオール、及びカーボネート型ジオールがより好ましく、エステル型ジオール及びカーボネート型ジオールが更に好ましい。
具体的には、ポリエチレンアジペートジオール、ポリブチレンアジペートジオール、ポリヘキサメチレンアジペートジオール、ポリヘキサメチレンイソフタレートジオール、ポリネオペンチルアジペートジオール、ポリエチレンプロピレンアジペートジオール、ポリエチレンブチレンアジペートジオール、ポリブチレンヘキサメチレンアジペートジオール、ポリジエチレンアジペートジオール、ポリ(ポリテトラメチレンエーテル)アジペートジオール、ポリ(3−メチルペンチレンアジペート)ジオール、ポリエチレンアゼレートジオール、ポリエチレンセバケートジオール、ポリブチレンアゼレートジオール、ポリブチレンセバケートジオール、及びポリネオペンチルテレフタレートジオール等が挙げられる。
これらの多価イソシアネートは、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
また、これらの多価イソシアネートは、トリメチロールプロパンアダクト型変性体、水と反応させたビュウレット型変性体、及びイソシアヌレート環を含有させたイソシアヌレート型変性体であってもよい。
当該直鎖ウレタンプレポリマーの両末端にエチレン性不飽和基を導入する方法としては、ジオールとジイソシアネート化合物とを反応してなる直鎖ウレタンプレポリマーの末端のNCO基と、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートとを反応させる方法が挙げられる。
(メタ)アクリル酸エステルとしては、アルキル(メタ)アクリレート及びヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートから選ばれる1種以上が好ましく、アルキル(メタ)アクリレート及びヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートを併用することがより好ましい。
これらは単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
当該重合は、さらにラジカル開始剤を加えて行うことが好ましい。
樹脂組成物(y)に含まれる樹脂として好適な、オレフィン系樹脂としては、オレフィンモノマーに由来の構成単位を少なくとも有する重合体である。
上記オレフィンモノマーとしては、炭素数2〜8のα−オレフィンが好ましく、具体的には、エチレン、プロピレン、ブチレン、イソブチレン、及び1−ヘキセン等が挙げられる。
これらの中でも、エチレン及びプロピレンが好ましい。
上記の不飽和カルボン酸又はその無水物としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、グルタコン酸、テトラヒドロフタル酸、アコニット酸、(メタ)アクリル酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水グルタコン酸、無水シトラコン酸、無水アコニット酸、ノルボルネンジカルボン酸無水物、及びテトラヒドロフタル酸無水物等が挙げられる。
なお、不飽和カルボン酸又はその無水物は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
上記のアルキル(メタ)アクリレートが有するアルキル基の炭素数としては、好ましくは1〜20、より好ましくは1〜16、更に好ましくは1〜12である。
上記のアルキル(メタ)アクリレートとしては、例えば、後述のモノマー(a1’)として選択可能な化合物と同じものが挙げられる。
上記の水酸基含有化合物としては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、及び4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類;ビニルアルコール及びアリルアルコール等の不飽和アルコール類等が挙げられる。
本実施形態において、樹脂組成物(y)には、本発明の効果を損なわない範囲で、アクリルウレタン系樹脂及びオレフィン系樹脂以外の樹脂を含有してもよい。
そのような樹脂としては、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、及びポリビニルアルコール等のビニル系樹脂;ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂;ポリスチレン;アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体;三酢酸セルロース;ポリカーボネート;アクリルウレタン系樹脂には該当しないポリウレタン;ポリスルホン;ポリエーテルエーテルケトン;ポリエーテルスルホン;ポリフェニレンスルフィド;ポリエーテルイミド、ポリイミド等のポリイミド系樹脂;ポリアミド系樹脂;アクリル樹脂;フッ素系樹脂等が挙げられる。
アクリルウレタン系樹脂及びオレフィン系樹脂以外の樹脂の含有割合としては、樹脂組成物(y)中に含まれる樹脂の全量100質量部に対して、好ましくは30質量部未満、より好ましくは20質量部未満、より好ましくは10質量部未満、更に好ましくは5質量部未満、より更に好ましくは1質量部未満である。
熱膨張性粒子は、加熱によって膨張する粒子であればよいが、膨張開始温度(t)が120〜250℃に調整された粒子を用いることが好ましい。膨張開始温度(t)は用途に応じて適宜選択される。
なお、本明細書において、熱膨張性粒子の膨張開始温度(t)は、以下の方法に基づき測定された値を意味する。
(熱膨張性粒子の膨張開始温度(t)の測定法)
直径6.0mm(内径5.65mm)、深さ4.8mmのアルミカップに、測定対象となる熱膨張性粒子0.5mgを加え、その上からアルミ蓋(直径5.6mm、厚さ0.1mm)をのせた試料を作製する。
動的粘弾性測定装置を用いて、その試料にアルミ蓋上部から、加圧子により0.01Nの力を加えた状態で、試料の高さを測定する。そして、加圧子により0.01Nの力を加えた状態で、20℃から300℃まで10℃/minの昇温速度で加熱し、加圧子の垂直方向における変位量を測定し、正方向への変位開始温度を膨張開始温度(t)とする。
マイクロカプセル化発泡剤の外殻を構成する熱可塑性樹脂としては、例えば、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、及びポリスルホン等が挙げられる。
これらの内包成分は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
熱膨張性粒子の膨張開始温度(t)は、内包成分の種類を適宜選択することで調整可能である。
なお、熱膨張性粒子の膨張前の平均粒子径とは、体積中位粒子径(D50)であり、レーザ回折式粒度分布測定装置(例えば、Malvern社製、製品名「マスターサイザー3000」)を用いて測定した、膨張前の熱膨張性粒子の粒子分布において、膨張前の熱膨張性粒子の粒子径の小さい方から計算した累積体積頻度が50%に相当する粒子径を意味する。
なお、熱膨張性粒子の膨張前の90%粒子径(D90)とは、レーザ回折式粒度分布測定装置(例えば、Malvern社製、製品名「マスターサイザー3000」)を用いて測定した、膨張前の熱膨張性粒子の粒子分布において、熱膨張性粒子の粒子径の小さい方から計算した累積体積頻度が90%に相当する粒径を意味する。
本実施形態で用いる樹脂組成物(y)は、本発明の効果を損なわない範囲で、一般的な粘着シートが有する基材に含まれる基材用添加剤を含有してもよい。
そのような基材用添加剤としては、例えば、紫外線吸収剤、光安定剤、酸化防止剤、帯電防止剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤、及び着色剤等が挙げられる。
なお、これらの基材用添加剤は、それぞれ単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
これらの基材用添加剤を含有する場合、それぞれの基材用添加剤の含有量は、樹脂組成物(y)中の前記樹脂100質量部に対して、好ましくは0.0001〜20質量部、より好ましくは0.001〜10質量部である。
本実施形態で用いる樹脂組成物(y)としては、質量平均分子量(Mw)が50000以下のエチレン性不飽和基を有するオリゴマーと、エネルギー線重合性モノマーと、上述の膨張性粒子を配合してなり、溶剤を配合しない、無溶剤型樹脂組成物(y1)が挙げられる。
無溶剤型樹脂組成物(y1)では、溶剤を配合しないが、エネルギー線重合性モノマーが、前記オリゴマーの可塑性の向上に寄与するものである。
無溶剤型樹脂組成物(y1)から形成した塗膜に対して、エネルギー線を照射することで、熱膨張性基材を形成することができる。
なお、当該オリゴマーとしては、エチレン性不飽和基を有する変性オレフィン系樹脂等も使用し得る。
これらのエネルギー線重合性モノマーは、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
光重合開始剤を含有することで、比較的低エネルギーのエネルギー線の照射によっても、十分に硬化反応を進行させることができる。
これらの光重合開始剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本実施形態の粘着シートが有する粘着剤層(X1)は、粘着性樹脂を含むものであればよく、必要に応じて、架橋剤、粘着付与剤、重合性化合物、重合開始剤等の粘着剤用添加剤を含有してもよい。
当該粘着力が0.1N/25mm以上であれば、被着物の位置ズレを防止し得る程度に、十分に固定することができる。また、上記封止工程における半導体チップの位置ズレを防止し得る程度に、十分に固定することもできる。
一方、当該粘着力が10.0N/25mm以下であれば、被着物を剥離して分離する際に、容易に分離することができる。
なお、上記の粘着力は、実施例に記載の方法により測定された値を意味する。
以下、粘着剤層(X1)の形成材料である粘着剤組成物に含まれる各成分について説明する。
本実施形態で用いる粘着性樹脂としては、当該樹脂単独で粘着性を有し、質量平均分子量(Mw)が1万以上の重合体であることが好ましい。
本実施形態で用いる粘着性樹脂の質量平均分子量(Mw)としては、粘着力の向上の観点から、より好ましくは1万〜200万、更に好ましくは2万〜150万、より更に好ましくは3万〜100万である。
これらの粘着性樹脂は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
また、これらの粘着性樹脂が、2種以上の構成単位を有する共重合体である場合、当該共重合体の形態は、特に限定されず、ブロック共重合体、ランダム共重合体、及びグラフト共重合体のいずれであってもよい。
当該重合性官能基としては、(メタ)アクリロイル基及びビニル基等が挙げられる。
また、エネルギー線としては、紫外線及び電子線等が挙げられるが、紫外線が好ましい。
なお、本明細書の以下の記載において、「粘着剤組成物の有効成分の全量に対する各成分の含有量」は、「当該粘着剤組成物から形成される粘着剤層中の各成分の含有量」と同義である。
粘着性樹脂中のアクリル系樹脂の含有割合としては、粘着剤組成物に含まれる粘着性樹脂の全量(100質量%)に対して、好ましくは30〜100質量%、より好ましくは50〜100質量%、更に好ましくは70〜100質量%、より更に好ましくは85〜100質量%である。
本実施形態において、粘着性樹脂として使用し得る、アクリル系樹脂としては、例えば、直鎖又は分岐鎖のアルキル基を有するアルキル(メタ)アクリレートに由来する構成単位を含む重合体、環状構造を有する(メタ)アクリレートに由来する構成単位を含む重合体等が挙げられる。
なお、モノマー(a1’)が有するアルキル基は、直鎖アルキル基であってもよく、分岐鎖アルキル基であってもよい。
これらのモノマー(a1’)は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
モノマー(a1’)としては、ブチル(メタ)アクリレート及び2−エチルヘキシル(メタ)アクリレートが好ましい。
つまり、モノマー(a2’)としては、例えば、水酸基含有モノマー、カルボキシ基含有モノマー、アミノ基含有モノマー、及びエポキシ基含有モノマー等が挙げられる。
これらのモノマー(a2’)は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
これらの中でも、モノマー(a2’)としては、水酸基含有モノマー及びカルボキシ基含有モノマーが好ましい。
なお、アクリル系共重合体(A1)において、構成単位(a1)及び(a2)の含有量は、アクリル系共重合体(A1)の全構成単位(100質量%)に対して、好ましくは70〜100質量%、より好ましくは80〜100質量%、更に好ましくは90〜100質量%、より更に好ましくは95〜100質量%である。
当該重合性官能基及び当該エネルギー線としては、上記の通りである。
なお、重合性官能基は、上述の構成単位(a1)及び(a2)を有するアクリル系共重合体と、当該アクリル系共重合体の構成単位(a2)が有する官能基と結合可能な置換基と重合性官能基とを有する化合物とを反応させることで導入することができる。
前記化合物としては、例えば、(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、(メタ)アクリロイルイソシアネート、及びグリシジル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
本実施形態において、粘着剤組成物は、上述のアクリル系共重合体(A1)のような官能基を含有する粘着性樹脂を含有する場合、さらに架橋剤を含有することが好ましい。
当該架橋剤は、官能基を有する粘着性樹脂と反応して、当該官能基を架橋起点として、粘着性樹脂同士を架橋するものである。
これらの架橋剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
これらの架橋剤の中でも、凝集力を高めて粘着力を向上させる観点、及び入手し易さ等の観点から、イソシアネート系架橋剤が好ましい。
本実施形態において、粘着剤組成物は、粘着力をより向上させる観点から、さらに粘着付与剤を含有してもよい。
本明細書において、「粘着付与剤」とは、上述の粘着性樹脂の粘着力を補助的に向上させる成分であって、質量平均分子量(Mw)が1万未満のオリゴマーを指し、上述の粘着性樹脂とは区別されるものである。
粘着付与剤の質量平均分子量(Mw)は、好ましくは400〜10000未満、より好ましくは500〜8000、更に好ましくは800〜5000である。
なお、本明細書において、粘着付与剤の「軟化点」は、JIS K 2531に準拠して測定した値を意味する。
粘着付与剤は、単独で用いてもよく、軟化点、構造等が異なる2種以上を併用してもよい。
そして、2種以上の複数の粘着付与剤を用いる場合、それら複数の粘着付与剤の軟化点の加重平均が、上記範囲に属することが好ましい。
本実施形態において、粘着剤組成物が、粘着性樹脂として、エネルギー線硬化型の粘着性樹脂を含む場合、さらに光重合開始剤を含有することが好ましい。
エネルギー線硬化型の粘着性樹脂及び光重合開始剤を含有する粘着剤組成物とすることで、当該粘着剤組成物から形成される粘着剤層(X1)は、比較的低エネルギーのエネルギー線の照射によっても、十分に硬化反応を進行させ、粘着力を所望の範囲に調整することが可能となる。
なお、本実施形態で用いる光重合開始剤としては、上述の無溶剤型樹脂組成物(y1)に配合されるものと同じものが挙げられる。
本実施形態において、粘着剤層(X1)の形成材料である粘着剤組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で、上述の添加剤以外にも、一般的な粘着剤に使用される粘着剤用添加剤を含有していてもよい。
このような粘着剤用添加剤としては、例えば、酸化防止剤、軟化剤(可塑剤)、防錆剤、顔料、染料、遅延剤、反応促進剤(触媒)、及び紫外線吸収剤等が挙げられる。
なお、これらの粘着剤用添加剤は、それぞれ単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本実施形態に係る粘着シートが両面粘着シートである場合に、当該両面粘着シートが有する粘着剤層(X2)は、粘着性樹脂を含むものであればよく、必要に応じて、架橋剤、粘着付与剤、重合性化合物、重合開始剤等の粘着剤用添加剤を含有してもよい。
粘着剤層(X2)の組成及び形態の好ましい態様は、粘着剤層(X1)と同様である。但し、粘着剤層(X1)と粘着剤層(X2)の組成は、同一であっても異なっていてもよい。また、粘着剤層(X1)と粘着剤層(X2)の形態は、同一であっても異なっていてもよい。
なお、本実施形態の粘着シートが有する粘着剤層(X2)は、加熱時に硬質支持体との接着力を低下させることなく維持する観点から、粘着剤層(X1)と同様、非膨張性粘着剤層であることが好ましい。粘着剤層(X2)における熱膨張性粒子の含有量としては、粘着剤組成物の有効成分の全量(100質量%)、もしくは、粘着剤層(X2)の全質量(100質量%)に対して、好ましくは1質量%未満、より好ましくは0.1質量%未満、更に好ましくは0.01質量%未満、より更に好ましくは0.001質量%未満である。
本実施形態の両面粘着シートは、図1(b)に示す粘着シート1b及び図2(b)に示す粘着シート2bのように、粘着剤層(X1)及び/又は粘着剤層(X2)の粘着表面に、さらに剥離材を有していてもよい。
なお、図2(b)に示す粘着シート2bのように、粘着剤層(X1)及び粘着剤層(X2)を有する両面粘着シートでは、粘着剤層(X1)及び粘着剤層(X2)のそれぞれの粘着表面上に設ける2枚の剥離材は、剥離力の差が異なるように調整されたものであることが好ましい。
剥離材としては、両面剥離処理をされた剥離シート、片面剥離処理された剥離シート等が用いられ、剥離材用の基材上に剥離剤を塗布したもの等が挙げられる。
ゲル浸透クロマトグラフ装置(東ソー株式会社製、製品名「HLC−8020」)を用いて、下記の条件下で測定し、標準ポリスチレン換算にて測定した値を用いた。
(測定条件)
・カラム:「TSK guard column HXL−L」「TSK gel G2500HXL」「TSK gel G2000HXL」「TSK gel G1000HXL」(いずれも東ソー株式会社製)を順次連結したもの
・カラム温度:40℃
・展開溶媒:テトラヒドロフラン
・流速:1.0mL/min
株式会社テクロック製の定圧厚さ測定器(型番:「PG−02J」、標準規格:JIS K6783、Z1702、Z1709に準拠)を用いて測定した。
レーザ回折式粒度分布測定装置(例えば、Malvern社製、製品名「マスターサイザー3000」)を用いて、23℃における膨張前の熱膨張性粒子の粒子分布を測定した。
そして、粒子分布の粒子径の小さい方から計算した累積体積頻度が50%及び90%に相当する粒子径を、それぞれ「熱膨張性微粒子の平均粒子径(D50)」及び「熱膨張性粒子の90%粒子径(D90)」とした。
測定対象が非粘着性の熱膨張性基材である場合、当該熱膨張性基材を縦5mm×横30mm×厚さ200μmの大きさとし、剥離材を除去したものを試験サンプルとした。
動的粘弾性測定装置(TAインスツルメント社製、製品名「DMAQ800」)を用いて、試験開始温度0℃、試験終了温度300℃、昇温速度3℃/分、振動数1Hz、振幅20μmの条件で、所定の温度における、当該試験サンプルの貯蔵弾性率E’を測定した。
粘着剤層(X1)及び粘着剤層(X2)を、直径8mmの円形に切断し、剥離材を除去し、重ね合わせて、厚さ3mmとしたものを試験サンプルとした。
粘弾性測定装置(Anton Paar社製、装置名「MCR300」)を用いて、試験開始温度0℃、試験終了温度300℃、昇温速度3℃/分、振動数1Hzの条件で、ねじりせん断法によって、所定の温度における、試験サンプルの貯蔵せん断弾性率G’を測定した。
測定対象となる熱膨張性基材又は膨張性粘着剤層を一辺10mmの正方形に切断した後、23℃、50%RH(相対湿度)の環境下で24時間静置し、軽剥離フィルムを除去したものを試験サンプルとした。
23℃、50%RH(相対湿度)の環境下で、タッキング試験機(日本特殊測器株式会社製、製品名「NTS−4800」)を用いて、軽剥離フィルムを除去して表出した、前記試験サンプルの表面におけるプローブタック値を、JIS Z0237:1991に準拠して測定した。
具体的には、直径5mmのステンレス鋼製のプローブを、1秒間、接触荷重0.98N/cm2で、試験サンプルの表面に接触させた後、当該プローブを10mm/秒の速度で、試験サンプルの表面から離すのに必要な力を測定した。そして、その測定した値を、その試験サンプルのプローブタック値とした。
<粘着性樹脂>
・アクリル系共重合体(i):2−エチルヘキシルアクリレート(2EHA)/2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)=80.0/20.0(質量比)からなる原料モノマーに由来の構成単位を有する、質量平均分子量(Mw)60万のアクリル系共重合体を含む溶液。希釈溶媒:酢酸エチル、固形分濃度:40質量%。
・アクリル系共重合体(ii):n−ブチルアクリレート(BA)/メチルメタクリレート(MMA)/2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)/アクリル酸=86.0/8.0/5.0/1.0(質量比)からなる原料モノマーに由来の構成単位を有する、質量平均分子量(Mw)60万のアクリル系共重合体を含む溶液。希釈溶媒:酢酸エチル、固形分濃度:40質量%。
<添加剤>
・イソシアネート架橋剤(i):東ソー株式会社製、製品名「コロネートL」、固形分濃度:75質量%。
・光重合開始剤(i):BASF社製、製品名「イルガキュア184」、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン。
<熱膨張性粒子>
・熱膨張性粒子(i):株式会社クレハ製、製品名「S2640」、膨張開始温度(t)=208℃、平均粒子径(D50)=24μm、90%粒子径(D90)=49μm。
<剥離材>
・重剥離フィルム:リンテック株式会社製、製品名「SP−PET382150」、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの片面に、シリコーン系剥離剤から形成した剥離剤層を設けたもの、厚さ:38μm。
・軽剥離フィルム:リンテック株式会社製、製品名「SP−PET381031」、PETフィルムの片面に、シリコーン系剥離剤から形成した剥離剤層を設けたもの、厚さ:38μm。
粘着性樹脂である、上記アクリル系共重合体(i)の固形分100質量部に、上記イソシアネート系架橋剤(i)5.0質量部(固形分比)を配合し、トルエンで希釈し、均一に撹拌して、固形分濃度(有効成分濃度)25質量%の組成物(x−1)を調製した。
そして、上記重剥離フィルムの剥離剤層の表面上に、調製した組成物(x−1)を塗布して塗膜を形成し、当該塗膜を100℃で60秒間乾燥して、厚さ10μmの粘着剤層(X1)を形成した。
なお、23℃における、粘着剤層(X1)の貯蔵せん断弾性率G’(23)は、2.5×105Paであった。
粘着性樹脂である、上記アクリル系共重合体(ii)の固形分100質量部に、上記イソシアネート系架橋剤(i)0.8質量部(固形分比)を配合し、トルエンで希釈し、均一に撹拌して、固形分濃度(有効成分濃度)25質量%の組成物(x−2)を調製した。
そして、上記軽剥離フィルムの剥離剤層の表面上に、調製した組成物(x−2)を塗布して塗膜を形成し、当該塗膜を100℃で60秒間乾燥して、厚さ10μmの粘着剤層(X2)を形成した。
なお、23℃における、粘着剤層(X2)の貯蔵せん断弾性率G’(23)は、9.0×104Paであった。
(1)組成物(y−1)の調製
エステル型ジオールと、イソホロンジイソシアネート(IPDI)を反応させて得られた末端イソシアネートウレタンプレポリマーに、2−ヒドロキシエチルアクリレートを反応させて、質量平均分子量(Mw)5000の2官能のアクリルウレタン系オリゴマーを得た。
そして、上記で合成したアクリルウレタン系オリゴマー40質量%(固形分比)に、エネルギー線重合性モノマーとして、イソボルニルアクリレート(IBXA)40質量%(固形分比)、及びフェニルヒドロキシプロピルアクリレート(HPPA)20質量%(固形分比)を配合し、アクリルウレタン系オリゴマー及びエネルギー線重合性モノマーの全量(100質量部)に対して、さらに光重合開始剤として、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン(BASF社製、製品名「イルガキュア184」)2.0質量部(固形分比)、及び、添加剤として、フタロシアニン系顔料0.2質量部(固形分比)を配合し、エネルギー線硬化性組成物を調製した。
そして、当該エネルギー線硬化性組成物に、上記熱膨張性粒子(i)を配合し、溶媒を含有しない、無溶剤型の組成物(y−1)を調製した。
なお、組成物(y−1)の全量(100質量%)に対する、熱膨張性粒子(i)の含有量は20質量%であった。
上記軽剥離フィルムの剥離剤層の表面上に、調製した組成物(y−1)を塗布して塗膜を形成した。
そして、紫外線照射装置(アイグラフィクス社製、製品名「ECS−401GX」)及び高圧水銀ランプ(アイグラフィクス社製、製品名「H04−L41」)を用いて、照度160mW/cm2、光量500mJ/cm2の条件で紫外線を照射し、当該塗膜を硬化させ、厚さ50μmの熱膨張性基材(Y−1)を形成した。なお、紫外線照射時の上記の照度及び光量は、照度・光量計(EIT社製、製品名「UV Power Puck II」)を用いて測定した値である。
(1)ウレタンプレポリマーの合成
窒素雰囲気下の反応容器内に、質量平均分子量(Mw)1,000のカーボネート型ジオール100質量部(固形分比)に対して、イソホロンジイソシアネート(IPDI)を、カーボネート型ジオールの水酸基とイソホロンジイソシアネートのイソシアネート基との当量比が1/1となるように配合し、さらにトルエン160質量部を加え、窒素雰囲気下にて、撹拌しながら、イソシアネート基濃度が理論量に到達するまで、80℃で6時間以上反応させた。
次いで、2−ヒドロキシエチルメタクリレート(2−HEMA)1.44質量部(固形分比)をトルエン30質量部に希釈した溶液を添加して、両末端のイソシアネート基が消滅するまで、更に80℃で6時間反応させ、質量平均分子量(Mw)2.9万のウレタンプレポリマーを得た。
窒素雰囲気下の反応容器内に、上記(1)で得たウレタンプレポリマー100質量部(固形分比)、メチルメタクリレート(MMA)117質量部(固形分比)、2−ヒドロキシエチルメタクリレート(2−HEMA)5.1質量部(固形分比)、1−チオグリセロール1.1質量部(固形分比)、及びトルエン50質量部を加え、撹拌しながら、105℃まで昇温した。
そして、反応容器内に、さらにラジカル開始剤(株式会社日本ファインケム製、製品名「ABN−E」)2.2質量部(固形分比)をトルエン210質量部で希釈した溶液を、105℃に維持したまま4時間かけて滴下した。
滴下終了後、105℃で6時間反応させ、質量平均分子量(Mw)10.5万のアクリルウレタン系樹脂の溶液を得た。
上記(2)で得たアクリルウレタン系樹脂の溶液の固形分100質量部に対して、上記イソシアネート系架橋剤(i)6.3質量部(固形分比)、触媒としてジオクチルスズビス(2−エチルヘキサノエート)1.4質量部(固形分比)、及び上記熱膨張性粒子(i)を配合し、トルエンで希釈し、均一に撹拌して、固形分濃度(有効成分濃度)30質量%の組成物(y−2)を調製した。
なお、得られた組成物(y−2)中の有効成分の全量(100質量%)に対する、熱膨張性粒子(i)の含有量は20質量%であった。
そして、上記軽剥離フィルムの剥離剤層の表面上に、調製した組成物(y−2)を塗布して塗膜を形成し、当該塗膜を100℃で120秒間乾燥して、厚さ50μmの熱膨張性基材(Y−2)を形成した。
製造例1で形成した粘着剤層(X1)と、製造例3で形成した熱膨張性基材(Y−1)との表面同士を貼り合わせ、熱膨張性基材(Y−1)側の軽剥離フィルムを除去し、表出した熱膨張性基材(Y−1)の表面上に、製造例2で形成した粘着剤層(X2)を貼り合わせた。
これにより、軽剥離フィルム/粘着剤層(X2)/熱膨張性基材(Y−1)/粘着剤層(X1)/重剥離フィルムをこの順で積層した粘着シート(1)を作製した。
熱膨張性基材(Y−1)を、製造例4で形成した熱膨張性基材(Y−2)に置き換えた以外は、実施例1と同様にして、軽剥離フィルム/粘着剤層(X2)/熱膨張性基材(Y−2)/粘着剤層(X1)/重剥離フィルムをこの順で積層した粘着シート(2)を作製した。
作製した粘着シート(1)〜(2)が有する軽剥離フィルムを除去し、表出した粘着剤層(X2)の粘着表面に硬質支持体であるSUS板(厚さ1mm、サイズ:200mmφ)を貼付した。
そして、粘着シート(1)〜(2)の重剥離フィルムを除去し、表出した粘着剤層(X1)の粘着表面上に、半導体チップ(チップサイズ6.4mm×6.4mm、チップ厚み200μm(♯2000))を9個、当該粘着表面と半導体チップの回路面とが接するように、必要な間隔であけて、載置した。
その後、封止用樹脂フィルム(封止材)を、粘着表面及び半導体チップの上に積層し、真空加熱加圧ラミネーター(ROHM and HAAS社製の「7024HP5」)を用いて、粘着剤層(X1)の粘着表面及び半導体チップを封止材で被覆すると共に、封止材を硬化させて硬化封止体を作製した。なお、封止条件は、下記の通りである。
・予熱温度:テーブル及びダイアフラムとも100℃
・真空引き:60秒間
・ダイナミックプレスモード:30秒間
・スタティックプレスモード:10秒間
・封止温度:180℃(熱膨張性粒子の膨張開始温度である208℃よりも低い温度)
・封止時間:60分間
・A:封止前より25μm以上の位置ズレが生じた半導体チップは確認されなかった。
・F:封止前より25μm以上の位置ズレが生じた半導体チップが確認された。
粘着シート(1)〜(2)を用いて、上述の「封止工程時の半導体チップの位置ズレ評価」と同様の手順で、硬化封止体を作製し、粘着シートから剥離して分離した。
作製した硬化封止体のそれぞれの半導体チップ側の表面を、接触式表面粗さ計(ミツトヨ社製「SV3000」)を用いて段差を測定し、以下の基準により評価した。
・A:2μm以上の段差が生じている箇所は確認されなかった。
・F:2μm以上の段差が生じている箇所が確認された。
作製した粘着シート(1)〜(2)が有する粘着剤層(X2)側の軽剥離フィルムを除去し、表出した粘着剤層(X2)の粘着表面上に、厚さ50μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東洋紡株式会社製、製品名「コスモシャインA4100」)を積層し、基材付き粘着シートとした。
そして、粘着シート(1)〜(2)が有する粘着剤層(X1)側の重剥離フィルムも除去し、表出した粘着剤層(X1)の粘着表面を、被着体であるステンレス鋼板(SUS304 360番研磨)に貼付し、23℃、50%RH(相対湿度)の環境下で、24時間静置したものを試験サンプルとした。
そして、上記の試験サンプルを用いて、23℃、50%RH(相対湿度)の環境下で、JIS Z0237:2000に基づき、180°引き剥がし法により、引っ張り速度300mm/分にて、23℃における粘着力を測定した。
また、上記の試験サンプルをホットプレート上にて、熱膨張性粒子の膨張開始温度(208℃)以上となる240℃で3分間加熱し、標準環境(23℃、50%RH(相対湿度))にて60分間静置した後、JIS Z0237:2000に基づき、180°引き剥がし法により、引っ張り速度300mm/分にて、膨張開始温度以上での加熱後の粘着力も測定した。
なお、被着体であるステンレス鋼板に貼付することができないほどに粘着力の測定が困難である場合には、「測定不能」とし、その粘着力は0(N/25mm)であるとした。
作製した粘着シート(1)〜(2)が有する粘着剤層(X2)側の軽剥離フィルムを除去し、表出した粘着剤層(X2)の粘着表面上に、厚さ60μmの塩化ビニル(PVC)フィルムを積層し、基材付き粘着シートとした。
そして、粘着シート(1)〜(2)が有する粘着剤層(X1)側の重剥離フィルムも除去し、表出した粘着剤層(X1)の粘着表面にシリコンウェハ(6インチ径、厚さ350μm)を貼付した後、当該粘着シート(1)〜(2)をリングフレーム(SUS製)に装着し、ダイシング装置(DISCO株式会社製、製品名「DFD651」)にセットし、以下の条件でダイシングを行い、複数個の加工検査対象物として個片化ウエハを得た。
・ダイシングブレード:ディスコ社製 27HEEE
・ブレード回転数:50,000rpm
・ダイシングスピード:10mm/秒
・切り込み深さ:基材フィルムを粘着剤層の界面より20μmの深さまで切り込み
・ダイシングサイズ:2.5mm×2.5mm
次に、エキスパンディング冶具(NECマシナリー株式会社製、製品名「CSP−100VX」)を用いて、個片化ウエハが粘着剤層(X1)の粘着表面に貼付した状態の粘着シートを速度300mm/分で5mm引き落とした。
その後、加熱部として、電熱ヒーターの先端に、2.5mm角で厚さ1mmの金属板(SUS製)と、熱伝導性のゴムシート(2.5mm角、厚さ1mm)とを設けた加熱手段を準備し、前記ゴムシート部(最先端部)の温度が240℃になるように電熱ヒーターで加熱した。複数個の個片化ウエハのうち、剥離すべき個片化ウエハを任意に選択し、選択した個片化ウエハが貼付された粘着シートの部分を加熱して粘着力を低下させて、吸着ノズルで選択した個片化ウエハを粘着シートから剥離できるか確認した。またその後、粘着シートの非加熱部分に貼付されている個片化ウエハに強制的に衝撃を与えて、個片化ウエハの脱落の有無を確認した。評価基準は以下のとおりとした。
・A:吸着ノズルで選択した個片化ウエハを粘着シートから剥離でき、且つ、粘着シートの非加熱部分に貼付されている個片化ウエハの脱落が無かった。
・F:吸着ノズルで選択した個片化ウエハを粘着シートから剥離できなかった。もしくは、剥離出来たが、粘着シートの非加熱部分に貼付されている個片化ウエハの脱落が認められた。
また、粘着シート(1)及び(2)は、加熱前は良好な粘着力を有するものの、膨張開始温度以上での加熱後は測定不能となる程度まで粘着力が低下していることから、剥離時には、わずかな力で容易に剥離可能であることが裏付けられる結果となった。
2a、2b 両面粘着シート
7 加工検査対象物
7a 剥離すべき被着物
11 熱膨張性基材
121 粘着剤層(X1)
121a 粘着剤層(X1)の粘着表面
122 粘着剤層(X2)
122a 粘着剤層(X2)の粘着表面
131、132 剥離材
14 硬質支持体
15 吸着ノズル
20 枠部材
21 枠部材の開口部
30 粘着剤層(X1)の粘着表面のうち、半導体チップの周辺部及び隙間
40 封止材
41 硬化封止材
50 封止体
50a 個片化された封止体
60 固定手段
80 加熱手段
81 加熱部
CP 半導体チップ
W1 回路面
これらの内包成分は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
熱膨張性粒子の膨張開始温度(t)は、内包成分の種類を適宜選択することで調整可能である。
これらの光重合開始剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Claims (15)
- 以下の工程(I)及び(II)を有する、加工検査対象物の加熱剥離方法。
工程(I):樹脂及び熱膨張性粒子を含む非粘着性の熱膨張性基材と、粘着剤層(X1)と、を有する粘着シートの粘着剤層(X1)の粘着表面に複数個の加工検査対象物を貼着する工程
工程(II):前記熱膨張性基材の一部を前記熱膨張性粒子が膨張する温度以上に加熱して、前記複数個の加工検査対象物のうちの一部を選択的に剥離する工程 - 前記工程(I)が、以下の工程(I−1)〜(I−2)を有する、請求項1に記載の方法。
工程(I−1):前記粘着シートの粘着剤層(X1)の粘着表面に個片化前の加工検査対象物を貼着する工程
工程(I−2):前記粘着表面に貼着している前記個片化前の加工検査対象物を個片化する工程 - 前記粘着シートが、前記熱膨張性基材の粘着剤層(X1)が積層している側とは反対側に粘着剤層(X2)を有する両面粘着シートであり、前記両面粘着シートの粘着剤層(X2)の粘着表面に、硬質支持体を貼着して用いられる、請求項1又は2に記載の方法。
- 工程(I)が、以下の工程(I−A1)〜(I−A3)を有する、請求項3に記載の方法。
工程(I−A1):粘着剤層(X1)の粘着表面に、複数個の半導体チップを、隣接する前記半導体チップ間に隙間を設けながら載置する工程
工程(I−A2):前記複数個の半導体チップ、及び、前記複数個の半導体チップの周辺部の粘着表面を、封止材で被覆し、前記封止材を硬化させて、前記複数個の半導体チップが硬化封止材に封止されてなる封止体を得る工程
工程(I−A3):前記封止体を前記半導体チップ単位で個片化する工程 - 前記粘着シートが、粘着剤層(X1)の粘着表面に、開口部が形成された枠部材を貼着して用いられる、請求項1又は2に記載の方法。
- 工程(I)が、以下の工程(I−B1)〜(I−B3)を有する、請求項5に記載の方法。
工程(I−B1):前記枠部材の前記開口部にて露出する粘着剤層(X1)の粘着表面に、複数個の半導体チップを、隣接する前記半導体チップ間に隙間を設けながら載置する工程
工程(I−B2):前記複数個の半導体チップ、及び、前記複数個の半導体チップの周辺部の粘着表面を、封止材で被覆し、前記封止材を硬化させて、前記複数個の半導体チップが硬化封止材に封止されてなる封止体を得る工程
工程(I−B3):前記封止体を前記半導体チップ単位で個片化する工程 - 工程(II)における加熱を、前記熱膨張性基材の粘着剤層(X1)が積層している側とは反対側から行う、請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記熱膨張性基材が、下記要件(1)を満たす、請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法。
・要件(1)23℃における貯蔵弾性率E’(23)が、1.0×106Pa以上である - 前記熱膨張性基材が、下記要件(2)を満たす、請求項1〜8のいずれか1項に記載の方法。
・要件(2):100℃における貯蔵弾性率E’(100)が、2.0×105Pa以上である - 前記熱膨張性粒子の膨張開始温度(t)が、120〜250℃であり、前記熱膨張性基材が、下記要件(3)を満たす、請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法。
・要件(3):膨張開始温度(t)における貯蔵弾性率E’(t)が、1.0×107Pa以下である - 23℃における、粘着剤層(X1)の貯蔵せん断弾性率G’(23)が、1.0×104〜1.0×108Paである、請求項1〜10のいずれか1項に記載の方法。
- 23℃における、前記熱膨張性基材の厚さと、粘着剤層(X1)の厚さとの比(熱膨張性基材/粘着剤層(X1))が0.2以上である、請求項1〜11のいずれか1項に記載の方法。
- 23℃における、前記熱膨張性基材の厚さが10〜1000μmであり、粘着剤層(X1)の厚さが1〜60μmである、請求項1〜12のいずれか1項に記載の方法。
- 前記熱膨張性基材の表面におけるプローブタック値が、50mN/5mmφ未満である、請求項1〜13のいずれか1項に記載の方法。
- 前記熱膨張性粒子の23℃における膨張前の平均粒子径が、3〜100μmである、請求項1〜14のいずれか1項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017154372 | 2017-08-09 | ||
JP2017154372 | 2017-08-09 | ||
PCT/JP2018/029699 WO2019031533A1 (ja) | 2017-08-09 | 2018-08-08 | 加工検査対象物の加熱剥離方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019031533A1 true JPWO2019031533A1 (ja) | 2020-07-02 |
JP6792700B2 JP6792700B2 (ja) | 2020-11-25 |
Family
ID=65272126
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019509574A Active JP6792700B2 (ja) | 2017-08-09 | 2018-08-08 | 加工検査対象物の加熱剥離方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6792700B2 (ja) |
KR (1) | KR102526158B1 (ja) |
CN (1) | CN110998799A (ja) |
TW (1) | TWI783021B (ja) |
WO (1) | WO2019031533A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210141929A (ko) * | 2019-03-15 | 2021-11-23 | 린텍 가부시키가이샤 | 점착 시트 및 반도체 장치의 제조 방법 |
CN113966372A (zh) * | 2019-06-03 | 2022-01-21 | 三井化学东赛璐株式会社 | 电子装置的制造方法 |
CN112864027A (zh) * | 2021-01-12 | 2021-05-28 | 浙江荷清柔性电子技术有限公司 | 一种扇出型板级封装方法及其结构 |
CN117795027A (zh) * | 2021-08-13 | 2024-03-29 | 琳得科株式会社 | 粘合片的膨胀方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11354556A (ja) * | 1998-06-12 | 1999-12-24 | Lintec Corp | 樹脂封止チップ体の製造方法 |
JP2000248240A (ja) * | 1999-03-01 | 2000-09-12 | Nitto Denko Corp | 加熱剥離型粘着シート |
JP2002064131A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-02-28 | Lintec Corp | チップ状部品の剥離方法 |
JP2003064329A (ja) * | 2001-08-30 | 2003-03-05 | Nitto Denko Corp | エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、これを用いた切断片の製造方法、及びその切断片 |
WO2011049116A1 (ja) * | 2009-10-20 | 2011-04-28 | 日東電工株式会社 | 加熱剥離型粘着シート |
JP2013125756A (ja) * | 2011-12-13 | 2013-06-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 発光素子パッケージ基板の加工方法 |
WO2016076131A1 (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-19 | Dic株式会社 | 両面粘着テープ、物品及び分離方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS594853B2 (ja) | 1981-02-23 | 1984-02-01 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
JP3594853B2 (ja) | 1999-11-08 | 2004-12-02 | 日東電工株式会社 | 加熱剥離型粘着シート |
JP2002322436A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Nitto Denko Corp | 被着物の加熱剥離方法及び被着物加熱剥離装置 |
JP4704017B2 (ja) * | 2004-12-09 | 2011-06-15 | 日東電工株式会社 | 被着物の加熱剥離方法及び被着物加熱剥離装置 |
TWI402325B (zh) * | 2005-05-12 | 2013-07-21 | Nitto Denko Corp | 切割用黏著片以及使用此黏著片的切割方法 |
JP5283838B2 (ja) * | 2006-11-04 | 2013-09-04 | 日東電工株式会社 | 熱剥離性粘着シート及び被着体回収方法 |
-
2018
- 2018-08-08 CN CN201880051111.1A patent/CN110998799A/zh active Pending
- 2018-08-08 JP JP2019509574A patent/JP6792700B2/ja active Active
- 2018-08-08 WO PCT/JP2018/029699 patent/WO2019031533A1/ja active Application Filing
- 2018-08-08 KR KR1020207003667A patent/KR102526158B1/ko active IP Right Grant
- 2018-08-09 TW TW107127724A patent/TWI783021B/zh active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11354556A (ja) * | 1998-06-12 | 1999-12-24 | Lintec Corp | 樹脂封止チップ体の製造方法 |
JP2000248240A (ja) * | 1999-03-01 | 2000-09-12 | Nitto Denko Corp | 加熱剥離型粘着シート |
JP2002064131A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-02-28 | Lintec Corp | チップ状部品の剥離方法 |
JP2003064329A (ja) * | 2001-08-30 | 2003-03-05 | Nitto Denko Corp | エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、これを用いた切断片の製造方法、及びその切断片 |
WO2011049116A1 (ja) * | 2009-10-20 | 2011-04-28 | 日東電工株式会社 | 加熱剥離型粘着シート |
JP2013125756A (ja) * | 2011-12-13 | 2013-06-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 発光素子パッケージ基板の加工方法 |
WO2016076131A1 (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-19 | Dic株式会社 | 両面粘着テープ、物品及び分離方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201923861A (zh) | 2019-06-16 |
CN110998799A (zh) | 2020-04-10 |
KR102526158B1 (ko) | 2023-04-26 |
WO2019031533A1 (ja) | 2019-02-14 |
JP6792700B2 (ja) | 2020-11-25 |
KR20200035962A (ko) | 2020-04-06 |
TWI783021B (zh) | 2022-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7185638B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6792700B2 (ja) | 加工検査対象物の加熱剥離方法 | |
JP6761115B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び両面粘着シート | |
TWI773746B (zh) | 黏著薄片 | |
CN114829529A (zh) | 粘合片及半导体装置的制造方法 | |
JPWO2019131408A1 (ja) | 粘着性積層体、樹脂膜付き加工対象物の製造方法、及び硬化樹脂膜付き硬化封止体の製造方法 | |
WO2018181767A1 (ja) | 半導体装置の製造方法及び粘着シート | |
CN110494524B (zh) | 粘合片 | |
CN112203840B (zh) | 粘合性层叠体、粘合性层叠体的使用方法、以及半导体装置的制造方法 | |
JP7267272B2 (ja) | 硬化封止体の製造方法 | |
JP7185637B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
TW202301426A (zh) | 半導體裝置之製造方法及半導體裝置之製造裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200522 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200522 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20200522 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20200527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200623 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200722 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201013 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201106 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6792700 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |