JPWO2019004059A1 - 含フッ素弾性共重合体およびその製造方法、含フッ素弾性共重合体組成物ならびに架橋ゴム物品 - Google Patents
含フッ素弾性共重合体およびその製造方法、含フッ素弾性共重合体組成物ならびに架橋ゴム物品 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2019004059A1 JPWO2019004059A1 JP2019526849A JP2019526849A JPWO2019004059A1 JP WO2019004059 A1 JPWO2019004059 A1 JP WO2019004059A1 JP 2019526849 A JP2019526849 A JP 2019526849A JP 2019526849 A JP2019526849 A JP 2019526849A JP WO2019004059 A1 JPWO2019004059 A1 JP WO2019004059A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorine
- elastic copolymer
- ocf
- unit
- containing elastic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F214/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen
- C08F214/18—Monomers containing fluorine
- C08F214/26—Tetrafluoroethene
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/38—Polymerisation using regulators, e.g. chain terminating agents, e.g. telomerisation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F16/00—Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an alcohol, ether, aldehydo, ketonic, acetal or ketal radical
- C08F16/12—Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an alcohol, ether, aldehydo, ketonic, acetal or ketal radical by an ether radical
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/12—Polymerisation in non-solvents
- C08F2/16—Aqueous medium
- C08F2/22—Emulsion polymerisation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F214/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen
- C08F214/18—Monomers containing fluorine
- C08F214/22—Vinylidene fluoride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F214/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen
- C08F214/18—Monomers containing fluorine
- C08F214/26—Tetrafluoroethene
- C08F214/262—Tetrafluoroethene with fluorinated vinyl ethers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F214/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen
- C08F214/18—Monomers containing fluorine
- C08F214/26—Tetrafluoroethene
- C08F214/265—Tetrafluoroethene with non-fluorinated comonomers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F216/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an alcohol, ether, aldehydo, ketonic, acetal or ketal radical
- C08F216/12—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an alcohol, ether, aldehydo, ketonic, acetal or ketal radical by an ether radical
- C08F216/125—Monomers containing two or more unsaturated aliphatic radicals, e.g. trimethylolpropane triallyl ether or pentaerythritol triallyl ether
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F236/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, at least one having two or more carbon-to-carbon double bonds
- C08F236/02—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, at least one having two or more carbon-to-carbon double bonds the radical having only two carbon-to-carbon double bonds
- C08F236/20—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, at least one having two or more carbon-to-carbon double bonds the radical having only two carbon-to-carbon double bonds unconjugated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F236/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, at least one having two or more carbon-to-carbon double bonds
- C08F236/22—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, at least one having two or more carbon-to-carbon double bonds the radical having three or more carbon-to-carbon double bonds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F6/00—Post-polymerisation treatments
- C08F6/14—Treatment of polymer emulsions
- C08F6/16—Purification
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F6/00—Post-polymerisation treatments
- C08F6/14—Treatment of polymer emulsions
- C08F6/18—Increasing the size of the dispersed particles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F6/00—Post-polymerisation treatments
- C08F6/14—Treatment of polymer emulsions
- C08F6/22—Coagulation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J3/00—Processes of treating or compounding macromolecular substances
- C08J3/24—Crosslinking, e.g. vulcanising, of macromolecules
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/0008—Organic ingredients according to more than one of the "one dot" groups of C08K5/01 - C08K5/59
- C08K5/0025—Crosslinking or vulcanising agents; including accelerators
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L27/00—Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Compositions of derivatives of such polymers
- C08L27/02—Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Compositions of derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment
- C08L27/12—Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Compositions of derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment containing fluorine atoms
- C08L27/18—Homopolymers or copolymers or tetrafluoroethene
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
Description
金属化合物を用いない乳化重合法によって含フッ素弾性共重合体を含むラテックスを得て、ラテックス中の含フッ素弾性共重合体を、金属元素を含まない酸を用いて凝集させ、凝集した含フッ素弾性共重合体を非水溶性溶媒で洗浄して得られた含フッ素弾性共重合体(特許文献1)。
特許文献1には、TFE(テトラフルオロエチレン)と、CF3CF2CF2O(CF(CF3)CF2O)2CF=CF2で示されるPNVEと、ICH2CF2CF2OCF=CF2で示されるIMとの共重合体(実施例1、3)、TFEと、PMVE(パーフルオロメチルビニル)との共重合体(実施例2)、TFEと、PMVEと、IMとの共重合体(実施例4、5)、またはTFEと、PMVEと、CF2=CFOCF2CF(CF3)OCF2CF2CNで示されるCNVEとの共重合体(実施例6)において、金属元素の含有量を低減した実施例が記載されている。
本発明は、金属元素の含有量が少なく、架橋性に優れる含フッ素弾性共重合体およびその製造方法、金属元素の含有量が少なく、架橋性に優れる含フッ素弾性共重合体を用いた含フッ素弾性共重合体組成物ならびに架橋ゴム物品を提供する。
<1>ヨウ素原子を有すると共に、テトラフルオロエチレンに基づく単位である単位a、重合性不飽和結合を1個有する単量体(ただしテトラフルオロエチレンを除く。)に基づく単位である単位bおよび重合性不飽和結合を2個以上有する含フッ素単量体に基づく単位である単位cを有し、金属含有量が0.3質量ppm以上20.0ppm以下である、含フッ素弾性共重合体。
<2>前記単位bが、下記式(1)で表される化合物に基づく単位、下記式(2)で表される化合物に基づく単位、エチレンに基づく単位およびプロピレンに基づく単位から選ばれる少なくとも一種である、<1>に記載の含フッ素弾性共重合体。
CF2=CFORf1 (1)
(ただし、Rf1は、炭素数1〜10のペルフルオロアルキル基である。)
CF2=CF(OCF2CF2)n−(OCF2)m−ORf2 (2)
(ただし、Rf2は、炭素数1〜4のペルフルオロアルキル基であり、nは、0〜3の整数であり、mは、0〜4の整数であり、n+mは、1〜7の整数である。)
<3>前記単位bが、Rf1の炭素数が1〜3である前記式(1)で表される化合物に基づく単位、下記式で表されるいずれかの化合物である前記式(2)で表される化合物に基づく単位およびプロピレンに基づく単位から選ばれる少なくとも一種である、<2>に記載の含フッ素弾性共重合体。
CF2=CF−OCF2CF2−OCF2−OCF2−OCF2−OCF2−OCF3
CF2=CF−OCF2CF2−OCF2−OCF2−OCF3
CF2=CF−OCF2CF2−OCF2CF2−OCF2CF3
<4>前記単位cが、下記式(3)で表される化合物に基づく単位である、<1>〜<3>のいずれかに記載の含フッ素弾性共重合体。
CF2=CFORf3OCF=CF2 (3)
(ただし、Rf3は、炭素数1〜25のペルフルオロアルキレン基、または炭素数2〜25のペルフルオロアルキレン基の炭素原子−炭素原子間に1個以上のエーテル性酸素原子を有する基である。)
<5>前記単位cが、下記式で表されるいずれかの化合物に基づく単位である、<4>に記載の含フッ素弾性共重合体。
CF2=CFO(CF2)3OCF=CF2
CF2=CFO(CF2)4OCF=CF2
<7>前記<1>〜<5>のいずれかに記載の含フッ素弾性共重合体または<6>に記載の含フッ素弾性共重合体組成物を架橋してなる、架橋ゴム物品。
<8>ラジカル重合開始剤および下式(4)で表される化合物の存在下で、テトラフルオロエチレンと、重合性不飽和結合を1個有する単量体(ただしテトラフルオロエチレンを除く。)と、重合性不飽和結合を2個以上有する含フッ素単量体とを乳化重合させて含フッ素弾性共重合体を含むラテックスを得て、前記ラテックス中の含フッ素弾性共重合体を、金属元素を含有しない酸を用いて凝集させる、<1>〜<5>のいずれかに記載の含フッ素弾性共重合体を製造する方法。
Rf4I2 (4)
ただし、Rf4は、炭素数1〜16のポリフルオロアルキレン基である。
<9>前記凝集の後に、金属元素の含有量が2質量ppm以下である液状媒体を用いて洗浄する、<8>に記載の含フッ素弾性共重合体の製造方法。
本発明の含フッ素弾性共重合体組成物は、金属元素の含有量が少なく、架橋性に優れる。
本発明の架橋ゴム物品は、金属元素の含有量が少なく、物性に優れる。
本明細書における以下の用語の意味は、以下の通りである。
「単量体に基づく単位」は、単量体1分子が重合して直接形成される原子団と、該原子団の一部を化学変換して得られる原子団との総称である。本明細書において、単量体に基づく単位を、単に、単量体単位とも記す。
液状媒体における金属元素の含有量は、誘導結合プラズマ質量分析装置を用いて、絶対検量線法により測定した29種類の金属元素(Fe、Na、K、Li、Be、Mg,Al,Ca,Ti,V,Cr,Mn、Co、Ni,Cu,Zn,Ga,Rb,Sr,Zr,Mo,Ag,Cd,In,Sn,Cs,Ba,Pb,Bi)の含有量の合計値である。
含フッ素弾性共重合体における金属元素の含有量は、測定対象の含フッ素弾性共重合体を白金ルツボに入れて高温電気加熱炉で灰化した後、硫酸白煙処理を行い希硝酸に溶解した液について、誘導結合プラズマ質量分析装置を用いて、絶対検量線法により測定した29種類の金属元素(Fe、Na、K、Li、Be、Mg,Al,Ca,Ti,V,Cr,Mn、Co、Ni,Cu,Zn,Ga,Rb,Sr,Zr,Mo,Ag,Cd,In,Sn,Cs,Ba,Pb,Bi)の含有量の合計値である。
本発明の含フッ素弾性共重合体における金属元素の含有量は、20.0質量ppm以下であり、10.0質量ppm以下が好ましく、5.0質量ppm以下がより好ましい。金属元素の含有量が前記範囲の上限値以下であれば、含フッ素弾性共重合体からなる架橋ゴム物品を半導体製造装置用シール材としたときに、半導体製品に影響を与える金属成分の放出を充分に抑制できる。金属元素の含有量の下限値は0.3質量ppmである。金属元素の含有量が前記範囲の下限値以上であれば、架橋剤を添加して含フッ素弾性共重合体組成物としたときに、架橋性がより優れるとともに、充填剤や補強材の分散性も向上する。
単位aは、テトラフルオロエチレン(以下、TFEとも記す。)に基づく単位(以下、TFE単位とも記す。)である。
単位aの割合は、含フッ素弾性共重合体を構成するすべての単位のうち、35〜75モル%が好ましく、40〜75モル%がより好ましく、50〜75モル%がさらに好ましい。
単位bの具体例としては、後述の化合物(1)に基づく単位(以下、PAVE単位とも記す。)、後述の化合物(2)に基づく単位(以下、POAVE単位とも記す。)、エチレンに基づく単位、プロピレンに基づく単位、フッ素原子およびフッ素原子以外のハロゲン原子を有する単量体(ブロモトリフルオロエチレン、ヨードトリフルオロエチレン等)に基づく単位、フッ素原子およびニトリル基を有する単量体(CF2=CFO(CF2)5CN、ペルフルオロ(8−シアノ−5−メチル−3,6−ジオキサ−1−オクテン)等)に基づく単位が挙げられる。
CF2=CFORf1 (1)
ただし、Rf1は、炭素数1〜10のペルフルオロアルキル基である。
CF2=CF(OCF2CF2)n−(OCF2)m−ORf2 (2)
ただし、Rf2は、炭素数1〜4のペルフルオロアルキル基であり、nは、0〜3の整数であり、mは、0〜4の整数であり、n+mは、1〜7の整数である。
化合物(1)の具体例としては、下記のものが挙げられる。なお、式の後の記載は、その化合物の略称である。
CF2=CFOCF3 :PMVE
CF2=CFOCF2CF3 :PEVE
CF2=CFOCF2CF2CF3 :PPVE
CF2=CFOCF2CF2CF2CF3
化合物(1)としては、含フッ素弾性共重合体の生産性が向上する点から、PMVE、PEVE、PPVEが好ましい。
nが0のとき、mは3または4が好ましい。
nが1のとき、mは2〜4の整数が好ましい。
nが2または3のとき、mは0が好ましい。
nは、1〜3の整数が好ましい。
Rf2の炭素数、nおよびmが前記範囲内であれば、含フッ素弾性共重合体を架橋ゴム物品としたときの低温特性がさらに優れ、また、含フッ素弾性共重合体の生産性が向上する。
CF2=CF−OCF2CF2−OCF2−OCF2−OCF2−OCF2−OCF3 :C9PEVE
CF2=CF−OCF2CF2−OCF2−OCF2−OCF3 :C7PEVE
CF2=CF−OCF2CF2−OCF2CF2−OCF2CF3 :EEAVE
CF2=CF−OCF2−OCF3
CF2=CF−OCF2−OCF2CF3
CF2=CF−O(CF2CF(CF3)O)2CF2CF2CF3
CF2=CF−OCF2−OCF2−OCF3
化合物(2)としては、含フッ素弾性共重合体を架橋ゴム物品としたときの低温特性がさらに優れ、また、含フッ素弾性共重合体の生産性が向上する点から、C9PEVE、C7PEVE、EEAVEが好ましい。
単位bがPAVE単位を含む場合、PAVE単位の割合は、含フッ素弾性共重合体を構成するすべての単位のうち、3〜57モル%が好ましく、5〜50モル%がより好ましく、10〜40モル%がさらに好ましい。
単位bがPOAVE単位を含む場合、POAVE単位の割合は、含フッ素弾性共重合体を構成するすべての単位のうち、3〜57モル%が好ましく、5〜40モル%がより好ましく、8〜30モル%がさらに好ましい。
単位bがエチレンに基づく単位およびプロピレンに基づく単位の少なくとも一方を含む場合、これらの単位の合計の割合は含フッ素弾性共重合体を構成するすべての単位のうち、3〜57モル%が好ましく、5〜50モル%がより好ましく、10〜45モル%がさらに好ましい。
単位bがフッ素原子およびフッ素原子以外のハロゲン原子を有する単量体に基づく単位、ならびにフッ素原子およびニトリル基を有する単量体に基づく単位の少なくとも一方を含む場合、これらの単位の合計の割合は含フッ素弾性共重合体を構成するすべての単位のうち、0.001〜5モル%が好ましく、0.001〜3モル%がより好ましく、0.001〜2モル%がさらに好ましい。
重合性不飽和結合としては、炭素原子−炭素原子間の二重結合(C=C)、三重結合(C≡C)等が挙げられ、二重結合が好ましい。重合性不飽和結合の数は、2〜6個が好ましく、2または3個がより好ましく、2個が特に好ましい。
重合性不飽和結合を2個以上有する含フッ素単量体は、ぺルフルオロ化合物であることが好ましい。
CF2=CFORf3OCF=CF2 (3)
ただし、Rf3は、炭素数1〜25のペルフルオロアルキレン基、または炭素数2〜25のペルフルオロアルキレン基の炭素原子−炭素原子間に1個以上のエーテル性酸素原子を有する基である。
Rf3において、ペルフルオロアルキレン基は、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよい。Rf3の炭素数は、含フッ素弾性共重合体を架橋ゴム物品としたときのゴム物性を維持しつつ低温特性がさらに優れる点から、3または4が好ましい。
CF2=CFO(CF2)2OCF=CF2
CF2=CFO(CF2)3OCF=CF2 :C3DVE
CF2=CFO(CF2)4OCF=CF2 :C4DVE
CF2=CFO(CF2)6OCF=CF2
CF2=CFO(CF2)8OCF=CF2
CF2=CFO(CF2)2OCF(CF3)CF2OCF=CF2
CF2=CFO(CF2)2O(CF(CF3)CF2O)2CF=CF2
CF2=CFOCF2O(CF2CF2O)2CF=CF2
CF2=CFO(CF2O)3O(CF(CF3)CF2O)2CF=CF2
CF2=CFOCF2CF(CF3)O(CF2)2OCF(CF3)CF2OCF=CF2
CF2=CFOCF2CF2O(CF2O)2CF2CF2OCF=CF2
化合物(3)としては、含フッ素弾性共重合体を架橋ゴム物品としたときのゴム物性を維持しつつ低温特性がさらに優れる点から、C3DVE、C4DVEが特に好ましい。
単位cの割合が前記範囲の下限値以上であれば、架橋反応性が優れ、架橋後の架橋ゴムは引張り強度および高温下での圧縮永久歪がより優れる。前記範囲の上限値以下であれば、架橋後の架橋ゴムとしての優れた物性を維持しつつ、高温下で折り曲げ等の応力が加えられた場合の割れをより低減できる。
含フッ素弾性共重合体中のヨウ素原子は、後述の化合物(4)に由来するヨウ素原子を含むことが好ましい。化合物(4)に由来するヨウ素原子は高分子鎖の末端に導入される。さらに、単位bである、フッ素原子およびヨウ素原子を有する単量体に基づく単位中のヨウ素原子を含んでもよい。
ヨウ素原子の含有量は、含フッ素弾性共重合体のうち、0.01〜1.5質量%が好ましく、0.01〜1.0質量%がより好ましい。ヨウ素原子の含有量が前記範囲内であれば、含フッ素弾性共重合体の架橋性がさらに優れ、また、架橋ゴム物品のゴム物性がさらに優れる。
以上説明した本発明の含フッ素弾性共重合体にあっては、単位cに由来する分岐鎖を有し、金属元素の含有量が20質量ppm以下であるため、金属元素の含有量が少なく、架橋性に優れる。そのため、本発明の含フッ素弾性共重合体を架橋して得られる架橋ゴム物品は、半導体製造装置用シール材として好適である。
本発明の含フッ素弾性共重合体の製造方法は、ラジカル重合開始剤および化合物(4)の存在下で、単量体成分を乳化重合させて含フッ素弾性共重合体を含むラテックスを得て、該ラテックス中の含フッ素弾性共重合体を、金属元素を含有しない酸を用いて凝集させる方法である。前記単量体成分は、TFEと、前記重合性不飽和結合を1個有する単量体(TFEを除く。)と、前記重合性不飽和結合を2個以上有する含フッ素単量体である。
Rf4I2 (4)
ただし、Rf4は、炭素数1〜16のポリフルオロアルキレン基である。
化合物(4)としては、1,4−ジヨードペルフルオロブタン、1,6−ジヨードペルフルオロヘキサン、1,8−ジヨードペルフルオロオクタン等が挙げられ、重合反応性に優れる点から、1,4−ジヨードペルフルオロブタンが好ましい。
化合物(4)は、単量体成分100質量部に対して、0.005〜10質量部が好ましく、0.02〜5質量部が好ましく、0.05〜2質量部がより好ましい。
乳化重合法においては、例えば、ラジカル重合開始剤、乳化剤および化合物(4)を含む水性媒体中で、単量体成分を重合させる。
ラジカル重合開始剤の量は、単量体成分の100質量部に対して、0.0001〜5質量部が好ましく、0.001〜2質量部がより好ましい。
水溶性有機溶媒としては、tert−ブタノール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコール等が挙げられ、単量体の重合速度が低下しない点から、tert−ブタノール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルが好ましい。
水性媒体が水溶性有機溶媒を含むと、単量体の分散性および含フッ素弾性共重合体の分散性に優れ、また、含フッ素弾性共重合体の生産性に優れる。
水溶性有機溶媒の含有量は、水の100質量部に対して、1〜40質量部が好ましく、3〜30質量部がより好ましい。
アニオン性乳化剤としては、炭化水素系乳化剤(ラウリル硫酸ナトリウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム等)、含フッ素系乳化剤(ペルフルオロオクタン酸アンモニウム、ペルフルオロオクタン酸ナトリウム、ペルフルオロヘキサン酸アンモニウム、化合物(5)等)等が挙げられる。
F(CF2)pO(CF(X)CF2O)qCF(Y)COOA (5)
ただし、XおよびYは、それぞれフッ素原子または炭素数1〜3の直鎖状または分岐状のペルフルオロアルキル基であり、Aは、水素原子、アルカリ金属またはNH4であり、pは、2〜10の整数であり、qは、0〜3の整数である。
C2F5OCF2CF2OCF2COONH4
F(CF2)3O(CF(CF3)CF2O)2CF(CF3)COONH4
F(CF2)3OCF2CF2OCF2COONH4
F(CF2)3O(CF2CF2O)2CF2COONH4
F(CF2)4OCF2CF2OCF2COONH4、
F(CF2)4O(CF2CF2O)2CF2COONH4
F(CF2)3OCF2CF2OCF2COONa、
F(CF2)3O(CF2CF2O)2CF2COONa
F(CF2)4OCF2CF2OCF2COONa
F(CF2)4O(CF2CF2O)2CF2COONa
F(CF2)2OCF2CF2OCF2COONH4
F(CF2)2O(CF2CF2O)2CF2COONH4
F(CF2)2OCF2CF2OCF2COONa
F(CF2)2O(CF2CF2O)2CF2COONa
乳化剤の量は、水性媒体の100質量部に対して、0.01〜15質量部が好ましく、0.1〜10質量部がより好ましい。
重合圧力は、0.1〜20MPa[gauge]が好ましく、0.3〜10MPa[gauge]がより好ましく、0.3〜5MPa[gauge]がさらに好ましい。
重合温度は、0〜100℃が好ましく、10〜90℃がより好ましく、20〜80℃がさらに好ましい。
重合時間は、1〜72時間が好ましく、1〜24時間がより好ましく、1〜12時間がさらに好ましい。
凝集処理に用いる酸としては、金属元素の含有量が少ない含フッ素弾性共重合体を得る点から、金属元素を有しない酸を用いる。
金属元素を有しない酸としては、硝酸、硫酸、シュウ酸、塩酸、フッ酸、トリフルオロ酢酸、臭化水素酸、ヨウ化水素酸、ホウ酸、ギ酸、酢酸、クエン酸、グルコン酸、乳酸等が挙げられる。金属元素を有しない酸としては、金属に対する腐食性がより低い点から、硝酸および硫酸が好ましく、最終的に得られる含フッ素弾性共重合体に残留する、酸に由来する陰イオンの量が少なく、架橋ゴム物品のゴム物性を低下させにくい点から、硝酸が特に好ましい。
酸水溶液中の酸の濃度は、0.1〜50質量%が好ましく、1〜30質量%がより好ましく、1〜10質量%がさらに好ましい。酸の濃度が前記範囲の下限値以上であれば、含フッ素弾性共重合体が凝集しやすい。酸の濃度が前記範囲の上限値以下であれば、含フッ素弾性共重合体の製造に用いる金属製機器(凝集槽、洗浄槽、乾燥機等)の腐食が抑えられ、また、最終的に得られる含フッ素弾性共重合体に残留する、酸に由来する陰イオンの量が少なく、架橋ゴム物品のゴム物性を低下させにくい。
洗浄に用いる液状媒体としては、金属元素の含有量が少ない含フッ素弾性共重合体を得る点から、金属元素の含有量が2.0質量ppm以下であるものを用いる。金属元素の含有量は、1.0質量ppm以下がより好ましく、0.5質量ppm以下がさらに好ましい。金属元素の含有量の下限値は0質量ppbである。
洗浄に用いる液状媒体としては、水、金属元素を有しない酸水溶液が挙げられる。金属元素を有しない酸水溶液としては、硝酸水溶液等が挙げられる。酸水溶液中の酸の濃度は、0.1〜50質量%が好ましく、1〜30質量%がより好ましく、1〜10質量%がさらに好ましい。
金属元素の含有量が0.3〜20.0質量ppmである含フッ素弾性共重合体が得られやすい点からは、水が好ましく、超純水がより好ましい。
洗浄に用いる液状媒体の合計量は、含フッ素弾性共重合体の100質量部に対して10質量部以上が好ましく、50〜1000質量部がより好ましく、100〜500質量部がさらに好ましい。液状媒体の合計量が前記範囲の下限値以上であれば、含フッ素弾性共重合体に残留する、酸に由来する陰イオンの量が少なくなり、後段の乾燥機等の腐食が抑えられ、また、架橋ゴム物品のゴム物性を低下させにくい。液状媒体の合計量が前記範囲の上限値以下であれば、洗浄によって発生する排水の量が抑えられる。
乾燥温度は、80℃以下が好ましく、70℃以下がより好ましく、60℃以下がさらに好ましい。乾燥温度は、乾燥機内の雰囲気の温度である。
乾燥時の圧力は、50kPa以下が好ましく、30kPa以下がより好ましく、10kPa以下がさらに好ましい。乾燥時の圧力を前記範囲の上限値以下とすることによって、乾燥温度を低くしても含フッ素弾性共重合体を充分に乾燥できる。
以上説明した本発明の含フッ素弾性共重合体の製造方法にあっては、重合性不飽和結合を2個以上有する含フッ素単量体を含む単量体成分を乳化重合させ、得られたラテックス中の含フッ素弾性共重合体を、金属元素を有しない酸を用いて凝集させるため、金属元素の含有量が少なく、架橋性に優れる含フッ素弾性共重合体が得られる。
含フッ素弾性共重合体組成物は、本発明の含フッ素弾性共重合体と、架橋剤とを含む。含フッ素弾性共重合体組成物は、本発明の効果を損なわない範囲内において、必要に応じて架橋助剤、他の添加剤等を含んでいてもよい。
架橋助剤としては、トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート、トリメタリルイソシアヌレート、1,3,5−トリアクリロイルヘキサヒドロ−1,3,5−トリアジン、トリアリルトリメリテート、m−フェニレンジアミンビスマレイミド、p−キノンジオキシム、p,p’−ジベンゾイルキノンジオキシム、ジプロパルギルテレフタレート、ジアリルフタレート、N,N’,N’’,N’’’−テトラアリルテレフタールアミド、ビニル基含有シロキサンオリゴマー(ポリメチルビニルシロキサン、ポリメチルフェニルビニルシロキサン等)等が挙げられる。架橋助剤としては、トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート、トリメタリルイソシアヌレートが好ましく、トリアリルイソシアヌレートが特に好ましい。
金属酸化物としては、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化亜鉛、酸化鉛等の2価金属の酸化物が挙げられる。
金属酸化物の配合量は、含フッ素弾性共重合体の100質量部に対して0.1〜10質量部が好ましく、0.5〜5質量部がより好ましい。金属酸化物の配合量が前記範囲内であれば、架橋ゴム物品の強度と伸びのバランスに優れる。
架橋ゴム物品は、本発明の含フッ素弾性共重合体または含フッ素弾性共重合体組成物を架橋したものである。
架橋ゴム物品としては、架橋ゴムシート、Oリング、シートガスケット、オイルシール、ダイヤフラム、V−リング、半導体製造装置用部品、耐薬品性シール材、塗料、電線被覆材等が挙げられる。
架橋ゴム物品からなる半導体製造装置用部品としては、シール材(Oリング、角リング、ガスケット、パッキン、オイルシール、ベアリングシール、リップシール等)、チューブ、ホース、各種ゴムロール、ダイアフラム、ライニング等が挙げられる。
半導体製造装置としては、エッチング装置(ドライエッチング装置、プラズマエッチング装置、反応性イオンエッチング装置、反応性イオンビームエッチング装置、スパッタエッチング装置、イオンビームエッチング装置、ウェットエッチング装置、アッシング装置等)、洗浄装置(乾式エッチング洗浄装置、UV/O3洗浄装置、イオンビーム洗浄装置、レーザービーム洗浄装置、プラズマ洗浄装置、ガスエッチング洗浄装置、抽出洗浄装置、ソックスレー抽出洗浄装置、高温高圧抽出洗浄装置、マイクロウェーブ抽出洗浄装置、超臨界抽出洗浄装置等)、露光装置(ステッパー、コータ・デベロッパー等)、研磨装置(CMP装置等)、成膜装置(CVD装置、スパッタリング装置等)、拡散・イオン注入装置(酸化拡散装置、イオン注入装置等)等が挙げられる。
成形方法としては、射出成形法、押出成形法、共押出成形法、ブロー成形法、圧縮成形法、インフレーション成形法、トランスファー成形法、カレンダー成形法等が挙げられる。
加熱架橋による架橋ゴム物品の具体的な製造方法としては、例えば、熱プレス成形法が挙げられる。熱プレス成形法では、加熱した金型を用い、目的の形状を有する金型のキャビティに含フッ素弾性共重合体組成物を充填して、加熱することによって成形と同時に架橋(熱プレス架橋)することで架橋ゴム物品が得られる。加熱温度は、130〜220℃が好ましく、140〜200℃がより好ましく、150〜180℃がさらに好ましい。
例1、2は実施例であり、例3〜5は比較例である。
含フッ素弾性共重合体における各単位の割合は、19F−NMR分析、フッ素含有量分析、赤外吸収スペクトル分析から求めた。
以下の例において、超純水としては、金属元素の含有量が0.1質量ppmのものを使用した。
(例1)
アンカー翼を備えた内容積2100mLのステンレス製耐圧反応器を脱気した後、超純水の804g、C2F5OCF2CF2OCF2COONH4の30質量%溶液の80.1g、C3DVEの0.72g、リン酸水素二ナトリウム・12水和物の5質量%水溶液の1.8g、1,4−ジヨードペルフルオロブタンの0.87gを仕込み、気相を窒素置換した。アンカー翼を用いて600rpmの速度で撹拌しながら、内温が80℃になってからTFEの13g、PMVEの65gを容器内に圧入した。反応器内圧は0.90MPa[gauge]であった。過硫酸アンモニウムの1質量%水溶液の20mLを添加し、重合を開始した。重合開始前に圧入する単量体(以下、初期単量体と記す。)の添加比をモル比で表すと、TFE:PMVE:C3DVE=25:75:0.19であった。
TFEの総添加質量が80gとなった時点で、重合開始後に圧入する単量体(以下、「後添加単量体」と記す。)の添加を停止し、反応器内温を10℃に冷却させ、重合反応を停止させ、含フッ素弾性共重合体を含むラテックスを得た。重合時間は185分間であった。また、後添加単量体の総添加質量は、TFEが80g、PMVEが63gであり、これをモル比に換算すると、TFE:PMVE=65:35であった。
含フッ素弾性共重合体における金属元素の含有量は1.0ppmであった。
アンカー翼を備えた内容積3200mLのステンレス製耐圧反応器を脱気した後、超純水の1500g、リン酸水素二ナトリウム・12水和物の59g、水酸化ナトリウムの0.7g、tert−ブタノールの197g、ラウリル硫酸ナトリウムの9g、1,4−ジヨードペルフルオロブタンの9g、C3DVEの9.8gおよび過硫酸アンモニウムの6gを加えた。さらに、100gの超純水に0.4gのエチレンジアミン四酢酸二ナトリウム塩二水和物(以下、EDTAと記す。)および0.3gの硫酸第一鉄7水和物を溶解させた水溶液を、反応器に加えた。反応器内の水性媒体のpHは9.5であった。
ついで、25℃で、TFEとプロピレン(以下、Pとも記す。)の混合ガス(TFE/P=88/12(モル比))を、反応器の内圧が2.50MPa[gauge]になるように圧入した。アンカー翼を300rpmで回転させ、水酸化ナトリウムでpHを10.0に調整したヒドロキシメタンスルフィン酸ナトリウム2水和物(以下、ロンガリットと記す。)の2.5質量%水溶液(以下、ロンガリット2.5質量%水溶液と記す。)を反応器に加え、重合反応を開始させた。以降、ロンガリット2.5質量%水溶液を連続的に反応器に加えた。
含フッ素弾性共重合体における金属元素の含有量は15.0ppmであった。
例1において、凝集した含フッ素弾性共重合体をろ過によって回収し、以下の方法で酸水溶液による洗浄と超純水による洗浄を行った。
回収した含フッ素弾性共重合体を、予め調製した酸水溶液(硝酸の0.5質量%水溶液)に投入し、200rpmで30分間撹拌して洗浄した。含フッ素弾性共重合体100質量部に対して酸水溶液の量は150質量部であった。この洗浄を3回繰り返した。
この後、PFA製容器内の超純水に投入し、200rpmで30分間撹拌して洗浄した。含フッ素弾性共重合体100質量部に対して超純水の量は100質量部であった。この洗浄を7回繰り返した。
洗浄した含フッ素弾性共重合体をろ過によって回収し、50℃、10kPaで減圧乾燥させ、白色の含フッ素弾性共重合体を得た。含フッ素弾性共重合体の組成は、例1と同じであった。含フッ素弾性共重合体における金属元素の含有量は0.2ppmであった。
例1において、ラテックスを凝集させる際に、硝酸水溶液に代えて硫酸アルミニウムカリウムの5質量%水溶液を用いた。ラテックス中の含フッ素弾性共重合体100質量部に対して硫酸アルミニウムカリウム水溶液の量は150質量部であった。
凝集した含フッ素弾性共重合体をろ過によって回収し、例1と同様にして洗浄した。
洗浄した含フッ素弾性共重合体をろ過によって回収し、例1と同様にして乾燥させ、白色の含フッ素弾性共重合体を得た。含フッ素弾性共重合体の組成は、例1と同じであった。含フッ素弾性共重合体における金属元素の含有量は120.0ppmであった。
本例では単位cを含まない含フッ素弾性共重合体を製造した。
アンカー翼を備えた内容積2100mLのステンレス製耐圧反応器を脱気した後、超純水の804g、C2F5OCF2CF2OCF2COONH4の30質量%溶液の80.1g、リン酸水素二ナトリウム・12水和物の5質量%水溶液の1.8g、1,4−ジヨードペルフルオロブタンの0.87gを仕込み、気相を窒素置換した。アンカー翼を用いて600rpmの速度で撹拌しながら、内温が80℃になってからTFEの13g、PMVEの65gを容器内に圧入した。反応器内圧は0.90MPa[gauge]であった。過硫酸アンモニウムの1質量%水溶液の20mLを添加し、重合を開始した。重合開始前に圧入する単量体(以下、初期単量体と記す。)の添加比をモル比で表すと、TFE:PMVE=25:75であった。
TFEの総添加質量が80gとなった時点で、重合開始後に圧入する単量体(以下、「後添加単量体」と記す。)の添加を停止し、反応器内温を10℃に冷却させ、重合反応を停止させ、含フッ素弾性共重合体を含むラテックスを得た。重合時間は180分間であった。また、後添加単量体の総添加質量は、TFEが80g、PMVEが63gであり、これをモル比に換算すると、TFE:PMVE=65:35であった。
例1の含フッ素弾性共重合体の100質量部、カーボンブラックの15質量部、トリアリルイソシアヌレートの3質量部、2,5−ジメチル−2,5−ジ(tert−ブチルペルオキシ)ヘキサン(日油社製、パーヘキサ(登録商標)25B)の1質量部、ステアリン酸カルシウムの1質量部の割合で、2本ロールで混練し、例1の含フッ素弾性共重合体組成物を得た。例2〜5の含フッ素弾性共重合体についても、同様にして例2〜5の含フッ素弾性共重合体組成物を得た。
例1の含フッ素弾性共重合体の100質量部、トリアリルイソシアヌレートの0.5質量部、2,5−ジメチル−2,5−ジ(tert−ブチルペルオキシ)ヘキサン(日油社製、パーヘキサ(登録商標)25B)の0.5質量部の割合で、2本ロールで混練し、例1の含フッ素弾性共重合体組成物を得た。例1の含フッ素弾性共重合体組成物について、150℃で20分間の熱プレス(一次架橋)を行った後、250℃のオーブン内で4時間の二次架橋を行い、例1の含フッ素弾性共重合体組成物の架橋ゴムО―リング(P−26)を得た。
また、特に、金属元素の含有量が少なく、架橋性に優れることから、半導体製造装置用シール材に好適に用いることができる。
なお、2017年06月27日に出願された日本特許出願2017−124890号の明細書、特許請求の範囲および要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
Claims (9)
- ヨウ素原子を有すると共に、テトラフルオロエチレンに基づく単位である単位a、重合性不飽和結合を1個有する単量体(ただしテトラフルオロエチレンを除く。)に基づく単位である単位bおよび重合性不飽和結合を2個以上有する含フッ素単量体に基づく単位である単位cを有し、金属含有量が0.3質量ppm以上20.0ppm以下である、含フッ素弾性共重合体。
- 前記単位bが、下記式(1)で表される化合物に基づく単位、下記式(2)で表される化合物に基づく単位、エチレンに基づく単位およびプロピレンに基づく単位から選ばれる少なくとも一種である、請求項1に記載の含フッ素弾性共重合体。
CF2=CFORf1 (1)
(ただし、Rf1は、炭素数1〜10のペルフルオロアルキル基である。)
CF2=CF(OCF2CF2)n−(OCF2)m−ORf2 (2)
(ただし、Rf2は、炭素数1〜4のペルフルオロアルキル基であり、nは、0〜3の整数であり、mは、0〜4の整数であり、n+mは、1〜7の整数である。) - 前記単位bが、Rf1の炭素数が1〜3である前記式(1)で表される化合物に基づく単位、下記式で表されるいずれかの化合物である前記式(2)で表される化合物に基づく単位およびプロピレンに基づく単位から選ばれる少なくとも一種である、請求項2に記載の含フッ素弾性共重合体。
CF2=CF−OCF2CF2−OCF2−OCF2−OCF2−OCF2−OCF3
CF2=CF−OCF2CF2−OCF2−OCF2−OCF3
CF2=CF−OCF2CF2−OCF2CF2−OCF2CF3 - 前記単位cが、下記式(3)で表される化合物に基づく単位である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の含フッ素弾性共重合体。
CF2=CFORf3OCF=CF2 (3)
(ただし、Rf3は、炭素数1〜25のペルフルオロアルキレン基、または炭素数2〜25のペルフルオロアルキレン基の炭素原子−炭素原子間に1個以上のエーテル性酸素原子を有する基である。) - 前記単位cが、下記式で表されるいずれかの化合物に基づく単位である、請求項4に記載の含フッ素弾性共重合体。
CF2=CFO(CF2)3OCF=CF2
CF2=CFO(CF2)4OCF=CF2 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の含フッ素弾性共重合体と、架橋剤とを含む、含フッ素弾性共重合体組成物。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の含フッ素弾性共重合体または請求項6に記載の含フッ素弾性共重合体組成物を架橋してなる、架橋ゴム物品。
- ラジカル重合開始剤および下式(4)で表される化合物の存在下で、テトラフルオロエチレンと、重合性不飽和結合を1個有する単量体(ただしテトラフルオロエチレンを除く。)と、重合性不飽和結合を2個以上有する含フッ素単量体とを乳化重合させて含フッ素弾性共重合体を含むラテックスを得て、前記ラテックス中の含フッ素弾性共重合体を、金属元素を含有しない酸を用いて凝集させる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の含フッ素弾性共重合体を製造する方法。
Rf4I2 (4)
ただし、Rf4は、炭素数1〜16のポリフルオロアルキレン基である。 - 前記凝集の後に、金属元素の含有量が2質量ppm以下である液状媒体を用いて洗浄する、請求項8に記載の含フッ素弾性共重合体の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017124890 | 2017-06-27 | ||
JP2017124890 | 2017-06-27 | ||
PCT/JP2018/023666 WO2019004059A1 (ja) | 2017-06-27 | 2018-06-21 | 含フッ素弾性共重合体およびその製造方法、含フッ素弾性共重合体組成物ならびに架橋ゴム物品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019004059A1 true JPWO2019004059A1 (ja) | 2020-04-23 |
JP7140118B2 JP7140118B2 (ja) | 2022-09-21 |
Family
ID=64741705
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019526849A Active JP7140118B2 (ja) | 2017-06-27 | 2018-06-21 | 含フッ素弾性共重合体およびその製造方法、含フッ素弾性共重合体組成物ならびに架橋ゴム物品 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11117993B2 (ja) |
EP (1) | EP3647332A4 (ja) |
JP (1) | JP7140118B2 (ja) |
KR (1) | KR20200021921A (ja) |
CN (1) | CN110799554B (ja) |
TW (1) | TWI751348B (ja) |
WO (1) | WO2019004059A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110809587B (zh) * | 2017-06-30 | 2022-12-23 | 索尔维特殊聚合物意大利有限公司 | 用于制造部分氟化的聚合物的方法 |
WO2020067492A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | Agc株式会社 | 含フッ素共重合体及びその製造方法 |
WO2023210819A1 (ja) * | 2022-04-28 | 2023-11-02 | ダイキン工業株式会社 | フルオロポリマーの製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11240918A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-09-07 | Asahi Glass Co Ltd | テトラフルオロエチレン系共重合体、その製造方法およびその用途 |
WO1999050319A1 (fr) * | 1998-03-25 | 1999-10-07 | Daikin Industries, Ltd. | Procede de reduction de la teneur en metal d'un fluoroelastomere |
WO2010082633A1 (ja) * | 2009-01-16 | 2010-07-22 | 旭硝子株式会社 | 含フッ素弾性共重合体およびその製造方法、架橋ゴム物品 |
JP2013532766A (ja) * | 2010-08-02 | 2013-08-19 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 改質剤及びヨウ素又は臭素末端基を含有する過酸化物硬化性フルオロエラストマー |
CN106317290A (zh) * | 2015-07-08 | 2017-01-11 | 中昊晨光化工研究院有限公司 | 一种全氟醚弹性体的制备方法及所得全氟醚弹性体 |
WO2017057512A1 (ja) * | 2015-10-01 | 2017-04-06 | 旭硝子株式会社 | 含フッ素弾性共重合体、その製造方法、架橋ゴムおよびその製造方法 |
WO2017086323A1 (ja) * | 2015-11-19 | 2017-05-26 | 旭硝子株式会社 | 含フッ素共重合体を含む架橋性組成物、架橋物および半導体製造装置用シール材 |
WO2018089256A1 (en) * | 2016-11-09 | 2018-05-17 | 3M Innovative Properties Company | Peroxide curable partially fluorinated polymers |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE602005018228D1 (de) * | 2004-08-04 | 2010-01-21 | Asahi Glass Co Ltd | Elastomeres fluorcopolymer, dieses enthaltende zusammensetzung und vernetzte kautschuke |
US20060270780A1 (en) * | 2005-05-25 | 2006-11-30 | Ping Xu | High purity perfluoroelastomer composites and a processes to produce the same |
WO2015080002A1 (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 旭硝子株式会社 | ペルフルオロエラストマー、ペルフルオロエラストマー組成物、架橋ゴム物品、及びペルフルオロエラストマーの製造方法 |
JP2017124890A (ja) | 2016-01-12 | 2017-07-20 | 富士フイルム株式会社 | 画像形成システム、及び媒体仕分け方法 |
-
2018
- 2018-06-21 CN CN201880043412.XA patent/CN110799554B/zh active Active
- 2018-06-21 EP EP18823296.1A patent/EP3647332A4/en active Pending
- 2018-06-21 WO PCT/JP2018/023666 patent/WO2019004059A1/ja unknown
- 2018-06-21 KR KR1020197032942A patent/KR20200021921A/ko not_active Application Discontinuation
- 2018-06-21 JP JP2019526849A patent/JP7140118B2/ja active Active
- 2018-06-25 TW TW107121651A patent/TWI751348B/zh active
-
2019
- 2019-12-02 US US16/699,885 patent/US11117993B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11240918A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-09-07 | Asahi Glass Co Ltd | テトラフルオロエチレン系共重合体、その製造方法およびその用途 |
WO1999050319A1 (fr) * | 1998-03-25 | 1999-10-07 | Daikin Industries, Ltd. | Procede de reduction de la teneur en metal d'un fluoroelastomere |
WO2010082633A1 (ja) * | 2009-01-16 | 2010-07-22 | 旭硝子株式会社 | 含フッ素弾性共重合体およびその製造方法、架橋ゴム物品 |
JP2013532766A (ja) * | 2010-08-02 | 2013-08-19 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 改質剤及びヨウ素又は臭素末端基を含有する過酸化物硬化性フルオロエラストマー |
CN106317290A (zh) * | 2015-07-08 | 2017-01-11 | 中昊晨光化工研究院有限公司 | 一种全氟醚弹性体的制备方法及所得全氟醚弹性体 |
WO2017057512A1 (ja) * | 2015-10-01 | 2017-04-06 | 旭硝子株式会社 | 含フッ素弾性共重合体、その製造方法、架橋ゴムおよびその製造方法 |
WO2017086323A1 (ja) * | 2015-11-19 | 2017-05-26 | 旭硝子株式会社 | 含フッ素共重合体を含む架橋性組成物、架橋物および半導体製造装置用シール材 |
WO2018089256A1 (en) * | 2016-11-09 | 2018-05-17 | 3M Innovative Properties Company | Peroxide curable partially fluorinated polymers |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20200102411A1 (en) | 2020-04-02 |
EP3647332A4 (en) | 2021-03-03 |
CN110799554B (zh) | 2022-03-08 |
KR20200021921A (ko) | 2020-03-02 |
WO2019004059A1 (ja) | 2019-01-03 |
TW201905010A (zh) | 2019-02-01 |
TWI751348B (zh) | 2022-01-01 |
JP7140118B2 (ja) | 2022-09-21 |
EP3647332A1 (en) | 2020-05-06 |
US11117993B2 (en) | 2021-09-14 |
CN110799554A (zh) | 2020-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6582991B2 (ja) | ペルフルオロエラストマー、ペルフルオロエラストマー組成物、及び架橋ゴム物品 | |
JP7160035B2 (ja) | 含フッ素弾性共重合体、その組成物および架橋ゴム物品 | |
JP6908604B2 (ja) | 非晶質フルオロポリマーとフルオロプラスチック粒子とを含む組成物及びその製造方法 | |
JP5061510B2 (ja) | 含フッ素弾性共重合体組成物および架橋ゴム | |
JP7283383B2 (ja) | 架橋性含フッ素弾性共重合体の製造方法 | |
US11117993B2 (en) | Fluorinated elastic copolymer and method for its production, fluorinated elastic copolymer composition, and crosslinked rubber article | |
WO2006013894A1 (ja) | 含フッ素弾性共重合体、その組成物および架橋ゴム | |
JP5055718B2 (ja) | 架橋可能な含フッ素弾性共重合体組成物および架橋ゴム | |
WO2019009250A1 (ja) | 含フッ素弾性共重合体組成物および架橋ゴム物品 | |
JP2018203924A (ja) | 含フッ素弾性共重合体の製造方法 | |
JP2018044078A (ja) | 含フッ素弾性共重合体組成物および架橋ゴム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210209 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210209 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20211104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220111 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20220311 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220414 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220809 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220822 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7140118 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |