JPWO2018230567A1 - 光学フィルタシステム - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本開示の一実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。
[ファブリペロー干渉フィルタの構成]
[光学フィルタシステムの構成]
[作用効果]
[変形例]
[第2の開示]
[背景]
・構造体は、近接していてコンデンサを形成する2つの電極から成り、少なくとも一方の電極にはばねが取り付けられており、その電極が反対側の電極に向かって動くことが可能になっている。
・電極間の間隔dは、力Fが加えられたときに変化する。説明の目的で、ばねはフックの法則F=D×Δxに従うと仮定する。実際にはシステムの非線形性があり得るが、この非線形性は、ここで論じられる基本的な挙動を変えることがない。
・説明の目的で、2つの電極はコンデンサの極板を形成しており、これらの極板には、そのコンデンサへ外部から電気的にアクセスするための配線がされている。
・コンデンサは空気、保護ガスで充填されるか、又は真空中に配置される。
2×n×d=M×λ (式1)
ただし、
d:極板間の間隔
M:ファブリペロー干渉計の次数と呼ばれる整数
n:空洞内部の屈折率
(1)各デバイスは、それ自体の個々の波長較正が必要であり、これには費用がかかる。各デバイスには波長較正測定が行われ、最大伝送波長が多くの異なる制御電圧レベルに対して測定される。この測定は通常、1つの温度T0で行われる。
(2)長期的に安定した解決法を得るためには較正の安定性が調査される必要がある。応用例によっては、再較正が時折必要になり得る。
(3)ばね定数は温度と共に変化する。デバイスがシリコンで製造される場合、シリコン微小構造体の弾性は、温度依存性を有することが知られているヤング率と関連付けられる。異なる温度でのこのデバイスの使用法には次の2つの選択肢がある。
・各デバイスをそれぞれ異なる温度で較正する。この手順は極端に労力を要すると共に費用がかかり、数量の多い応用例ではそれらが顕著となり得る。
・一般的な温度モデルで動作させ、温度T1における較正を温度T0における測定波長較正から予測する。この場合、達成可能な精度は、一連の製造の再現性及び温度変動モデルの特性に強く依存する。自動車領域などの多くの応用例では、−40℃〜105℃という非常に大きな動作温度範囲が必要とされ、他ではデバイスが、例えば、スペクトル測定デバイスを含むセンサの殺菌が必要である場合、大きな温度サイクルにさらされることさえあり得る。
(4)間隔がさまざまである微小機械加工MEMS/MOEMS平行極板コンデンサは、「引き込み」現象と呼ばれる現象を示す。制御電圧が特定のレベルを超えて増加すると、システムが突然不安定になり、可動極板が固定極板に向かって加速し、極板間の間隔が急速に減少し、極板が互いに衝突する。デバイスによっては、このタイプのいわゆる「引き込み」事故は、デバイス寿命の終わり若しくは性能劣化、又は少なくともデバイスの個々の較正特性の損失をもたらし得る。この暴走現象を確実に回避することは非常に重要である。
(5)その電圧を超えると「引き込み」現象が発生する制御電圧は、波長較正自体と同様に温度に依存する。このことは、印加制御電圧の許容動作範囲が温度依存性を有することを意味する。実際の応用例では、このことは、どの範囲の制御電圧であれば安全に印加され得るかを把握する前に、温度測定がまず行われなければならないことを意味する。
(6)サンプルごとに、「引き込み」電圧は製造系列でわずかに異なり得る。したがって、各個別のデバイスは、参照温度T0における許容制御電圧についてのそのデバイス自体の最大値、並びにこれらの最大値を他の温度に変換する規則を必要とする。すなわち、波長較正(波長多項式の係数)に加えて、個別のFPIデバイスごとに、処理する必要がある追加パラメータがある。
(7)製造において、初めて個々のFPIサンプルの特徴づけを実行するとき、個々の「引き込み」点はあらかじめ知られていない。何パーセントかのデバイスは単に「引き込み」現象によって欠陥品になり、それによって製造歩留まりが低下することになる。加えて、許容できる安全制御電圧動作範囲は、デバイスごとの良/不良の選択パラメータである。したがって、引き込み現象は、製造選択過程によってもまた、製造歩留まりを低下させる。
[開示の概要]
・静電アクチュエータを電気的に制御して、新規のコントローラ電子回路が結果として得られる新しい方法
・一方が準静的な、他方が高周波測定に基づいた、2つの新しい独立した間隔測定方法
・他の異なる動作の方法のためにコントローラを拡張すること、例えばリセットを導入すること、及び安定した共振励起のためにフィードバックを利用すること
(1)電圧ではなく電荷を制御する(DC電流及び時間の制御を含む)ことによって、アクチュエータシステムの電気制御を実現すること。可能な実施態様については、以下の別の項で説明する。電荷制御がDC電流を使用してなされる場合、第2の開示の1つの要点は、電気制御接続を切り換え可能にして、電荷源又は電流源をMEMS/MOEMS静電容量から、正確に制御可能な時間に接続又は切断することが可能になることである。こうすることにより、正確に規定された電荷量をMEMS/MOEMSコンデンサに、適切に規定された方法で付加することが可能になり、またコンデンサに生じる電荷量を、スイッチによって電気制御接続をただ切断することによって一定に(「凍結」、最大で漏洩電流までに)保持できるようになる。最後に、異なる応用例ニーズを対象とする複数の電荷供給回路があるので、これらの電流源ユニットは、電気的に切り換えることによって選択できることが好ましい。
[開示の詳細な説明]
<状況についての簡略説明>
F=D×Δx (式2)
ただし、Dはばね定数であり、
Δxはゼロ力の点からのばね102の伸びである。
|F|=(2ε0A)−1×Q2 (式3)
ただし、
ε0:誘電率定数
A:コンデンサの実効面積
Q:コンデンサの電荷
|F|:力Fの絶対値
コンデンサの静電容量は、単に次式で与えられる。
C=ε0A/d (式4)
静電容量が実際の間隔dに依存することに注意することが重要である。
C=Q/V及び式4を用いると、力Fは次式のように書き直すことができる。
|F|=0.5ε0A×V2/D2 (式5)
ただし、Vは制御電圧である。
制御電圧Vを使用すると、間隔dを次式のように制御電圧の関数として容易に記述することができる。
d=dM−D−1(ε0A/2)×V2/d2 (式6)
ただし、Dはばね定数である。
d=dM−D−1(2ε0A)−1×Q2 (式7)
Q(d)=(2ε0AD)1/2×(dM−d)1/2 (式8)
この状態は図14に示されている。
式8のQ(d)は、すべての間隔d<dMに対し適切に定義される。
(2)静電容量Cは、式4による新しい値に変わる。
(3)この所与の間隔でコンデンサの両端間に生じる電圧Vは次式で得られる。
V(d)=Q/C(d)=[2D/(ε0A)]1/2×(dM−d)1/2×d (式9)
d(V=Vmax)=2/3×dM (式10)
(1)単一の解はないが、電圧が特定の最大電圧値Vmax未満である限り、1つの所与の値における間隔dに対して、より安定した解がある(図15)。この発見は、式6がdに関して3次であり、3つの解に対してゼロとなり得ることに対応する。数学的に言えば、得られた従属d(V)は関数ではなく、関係である。間隔dの関数としての電圧は、勾配∂(d)/∂Vが無限大に発散する最大値を有する。同じ値のVを有する式6の2つの解(2つの可能なdの値を意味する)が互いに接近する場合、システムは不安定になり、システムは両状態の間で任意に振動し得る。制御電圧が最終的にVmaxを超える場合、このシステムには安定解がなく、結果として「引き込み」現象が発生する(詳細については図17〜図20の図の描写を参照)。これらの理由のために、電圧Vは、アクチュエータシステムの制御パラメータとしては明らかに適していない。その結果、電圧制御は、非常に制限され部分的な範囲201の間隔dに対してだけ、適切な制御パラメータになる(今日の現状技術に対応して)。
電圧Vの代わりに電荷Qでシステムを制御すると、電圧は、MEMS/MOEMSアクチュエータの容量性構造体の電荷量Qにより生じる電圧V(Q)の意味を持つ。したがって、生じる電圧は、追加の情報を与える追加の測定量として役立ち得る。容量性構造体を有するMEMS/MOEMSシステムでは、MEMS/MOEMS平行極板コンデンサの生じる電圧を測定しながら、電荷量Qを定量的に制御することは、既知の式C=Q/Vに基づいた静的静電容量測定の単なる新しい方法であり、上式はここでよりよく次式のように書かれて、
C=Q/V(Q) (式11)
Qが動的に設定される制御値であること、及び
V(Q)が、電極の間隔を目標値dに設定するために必要な電荷Q(d)により生じる依存値であること
が示されるべきである。
・静電アクチュエータを所望の間隔dまで変位させるように電荷量Q(d)を設定する。
・電荷供給回路をコンデンサからスイッチによって切り離す。
・小信号AC電流源I(t)の供給源に接続する。
・印加AC電流レベルの関数としての、生じるAC電圧変調V(t)を測定する。
・角周波数ωの関数としての複素インピーダンスZ(ω)がZ(ω)=V(ω)/I(ω)によって得られ、求める静電容量CがC=(ω×|Z(ω)|)−1によって得られる。
・使用されるMEMS/MOEMS静電アクチュエータの容量の、間隔dに対する大まかな依存性が分かっていると、すべての瞬時の間隔値dを瞬時の電荷制御値Q、及び生じる電圧V(Q)から計算することができる。
・間隔dに対する依存性が分かっているMEMS/MOEMS平行極板コンデンサ(式4)では、ベストケース非個別完全波長較正多項式は、デバイスごとに測定され計算される必要がある。1つの間隔dを1つの既知の電荷量及び1つの温度において測定することが、主として実効コンデンサ面積Aの精密な把握のためには十分である。他のすべての従属要素は、動作中に、提案の方法によって間隔を算出することによって、つまり電圧を制御パラメータとして使用するのではなく電圧を測定量として利用可能にすることによって、測定することができる。
・実際の間隔dを変化させる温度変動は、実際の間隔dが再度測定されるときに顕著になる。
・長期のドリフト又はヒステリシスの影響は、実際の間隔dの新たな測定を例えばデバイスの走査制御の間に実行することによって除去される。
・アクチュエータ静電容量を所望の間隔dに調整するために電荷量Q(d)を設定する。
・実際の間隔dを、生じる電圧を測定することによって(すなわち、静的静電容量測定)、及び/又は電荷注入HF静電容量測定によって決定する。
・電荷供給回路をコンデンサからスイッチによって切り離す、或いは、電流源回路の振幅をゼロまで低減させる。
・振幅及び周波数が調整可能である小信号AC電流源を接続する。
・印加されたAC電流の関数としての、生じるAC電圧変調の振幅及び位相遅れを測定する。
・d=0からゼロ力状態d=dMまでのすべての間隔値に対処することができる。励起力及び周波数は任意に選ぶことができる。
・振動性MEMS/MOEMS静電アクチュエータシステムについて、生じる振幅及び位相遅れを決定することができ、それにより、動き状態の完全な制御を実現することができる。
・提案の方法は、すべての間隔dに対処し利用することができ、不安定さが全くなく、また「引き込み」現象の危険が全くない。
・システムの駆動力はQ2について線形である(式3)。これは次のことを示唆する。すなわち、電荷Qの正弦波変動によって生じる駆動力は、実際の間隔dと無関係であり、またこの力による影響を受けるシステムの実際の動きと無関係である。電圧制御を代わりに使用する場合、正弦波制御変調電圧を印加することは、力FがV2/d2に関係がある(式5)ことを意味する。励起力自体は、振動中の実際の間隔dに依存し、この間隔dは、次いでその力による影響を再現可能なように受ける。この循環依存性は、予測不可能且つ望ましくない影響をもたらし得る。
・第2の開示による方法は、振動周波数、振幅及び位相遅れの検出システムを提供し、この検出システムはパラメータdの機械的動きを直接検出する。生じる電圧V(AC変調を含む)は、式C=Q/Vと、間隔dを電圧Vから直接計算できるようにするV=Q/C=(Q/εoA)×d(式12)とした、式4とによって得られる。
[好ましい実施形態の詳細な説明]
Current Source for Use in Switching Regulators」に記載されている。スイッチトキャパシタ電流源は、例えば、B.R.Gregoire及びU−K.MoonのIEE Trans. Circ. Sys. II: Express Briefs, Vol.54, No.3 March 2007("A Sub 1-v Constant G m-C Switched-Capacitor Current Source")に記載されているように、標準的な半導体技術を使用して、集積回路として非常に効率的に実装することができる。
[特徴1]
容量性構造体及び少なくとも1つのばね付き可動電極を備え、それによって、電気的手段によりコンデンサに印加された力によって前記電極間の機械的間隔dを変えることが可能になる微小機械加工MEMS/MOEMS静電アクチュエータシステム用の電気アクチュエータコントローラであって、
電荷Qにより前記コンデンサに生じる電圧Vが、電荷量Qの関数として少なくとも1つの最大値を示すことを特徴とする、少なくとも1つの可動電極を持つコンデンサシステムを備え、
前記電気アクチュエータコントローラが、
静電容量電極間における引き寄せる機械力の供給源の直接制御として、前記システムを前記電荷量Qによって直接駆動することを特徴とし、
前記電気アクチュエータコントローラが、
(1)原理的に繰り返し切り換え可能な外部負荷コンデンサなどの、既知の電荷量を正確に供給する、又は好ましくは、電荷供給回路のみによるとは限らない、1つ又は複数の電荷供給回路、
及び
(2)前記電荷供給回路を非常に高速に、且つ任意の時間において、且つ任意選択では繰り返し、前記アクチュエータのコンデンサからそれぞれ接続又は切断することを可能にする電子スイッチであり、それによって、前記アクチュエータのコンデンサの総電荷量を定量レベルに、前記1つ又は複数の使用される電荷供給回路の特性と共に、規定することが可能になると共に、特定の電荷量を、例えば(それだけには限らないが)、可動電極コンデンサシステムに基づいて実施される測定を実行する目的のために長期にわたり一定に保つことが可能になる、電子スイッチ
によって実現される、電気アクチュエータコントローラ。
[特徴2]
特徴1に記載の、前記電荷量Qを直接制御する前記電気アクチュエータコントローラを使用する場合の、特徴1に記載の前記微小機械加工MEMS/MOEMS静電アクチュエータシステムの前記電極間の間隔dによって形成される前記容量性構造体の瞬時の静電容量の測定システムであって、
本特徴の前記瞬時の静電容量の前記測定システムが、
コントローラシステムが、前記アクチュエータの静電容量への印加電荷量を制御すること、及び、この電荷量が既知であるか、又は前記電荷供給回路の特性及び前記スイッチのタイミングによって決定できること、
並びに、
前記電気アクチュエータコントローラが、前記コンデンサの両端間に生じる電圧を測定するための回路を含み、それにより、電荷量Q及び生じる電圧Vを知ることによって、前記静電アクチュエータシステムの前記電極間の瞬時の間隔dによって形成される前記容量性構造体の容量を決定できること
を特徴とする、測定システム。
[特徴3]
特徴1に記載の、前記電荷量Qを直接制御する前記電気アクチュエータコントローラを使用する場合の、特徴1に記載の前記微小機械加工MEMS/MOEMS静電アクチュエータシステムの前記電極間の間隔dによって形成される前記容量性構造体の瞬時の静電容量の測定システムであって、
本特徴の前記瞬時の静電容量の前記測定システムが、
まず、前記コントローラが一定の電荷量を前記静電容量に付加し、その結果、前記極板間の前記間隔が所望の間隔に近くなるように調整され、次に、前記電荷供給回路が可動極板コンデンサから切り離され、
次に、追加のスイッチを介して、振動平行極板コンデンサの共振周波数よりもずっと高い周波数のAC電流がそのコンデンサに注入され、
前記電気アクチュエータコントローラが、前記コンデンサから生じるAC電圧変調を測定するための回路を含み、それにより、電荷量変調ΔQ及び生じる被測定変調電圧ΔVを知ることによって、前記静電アクチュエータシステムの前記電極間の瞬時の間隔dによって形成される前記容量性構造体の高周波静電容量を決定する
ことを特徴とする、測定システム。
[特徴4]
特徴4に記載の、前記電荷量Qを直接制御する前記電気アクチュエータコントローラを使用する場合の、特徴1に記載の容量性構造体及び少なくとも1つのばね付き可動電極を備えた前記微小機械加工MEMS/MOEMS静電アクチュエータシステム用の、強制振動を励起し振動状態を測定するためのシステムであって、
本特徴の静電アクチュエータ用の、強制振動を励起し振動状態を測定するための前記システムが、
まず、前記コントローラが一定の電荷量を前記コンデンサに付加し、その結果、前記コンデンサの電極間の間隔が所望の間隔に近くなるように調整され、次に、前記電荷供給回路が前記コンデンサから切り離され、
次に、追加のスイッチを介して、調整可能な振幅、及び振動アクチュエータコンデンサの共振周波数よりも低いか、等しいか、又は高い周波数を有するAC電流がそのコンデンサに接続され、
前記AC電流が、前記振動アクチュエータコンデンサの強制機械振動を駆動し、
前記電気アクチュエータコントローラが、前記コンデンサから生じるAC電圧変調を測定するための、変調電圧振幅と印加AC電流の位相に対するその位相遅れとを検出できる回路を含み、それにより、少なくとも過渡振動位相の後に、前記静電アクチュエータの前記強制振動の振動状態を完全に決定することができる
ことを特徴とする、システム。
[特徴5]
特徴1〜4による電気作動コントローラであって、前記電気作動コントローラの好ましい実施形態が、少なくとも1つのばね付き可動極板を備えた前記微小機械加工静電アクチュエータの近傍に好ましくは配置された特定用途向け集積回路(ASIC)によって実現されることを特徴とする、電気作動コントローラ。
[特徴6]
並列に接続された3つの電気構成要素、すなわち、切り換え可能バイポーラ電流源、切り換え可能高インピーダンス電圧計、及びリセットスイッチから成る静電アクチュエータの全部の機械的変位範囲を利用するための静電アクチュエータ制御システム。リセットスイッチは、静電アクチュエータを放電するために、且つアクチュエータをその機械的ゼロ位置まで動かすために使用される。バイポーラ電流源は、既知の電荷パケットを静電アクチュエータの電極に連続して堆積させるのに使用され、総堆積電荷Qの単調関数である機械的変位がもたらされる。電圧計は、静電アクチュエータの電極間の実際の電圧V(Q)を決定するのに使用される。この情報を用いて、アクチュエータの実効静電容量である1次導関数dQ/dV=(dV/dQ)−1が計算され、この実効静電容量を使用してアクチュエータの機械的位置を決定することができる。一動作周期が終了した後、バイポーラ電流源を能動的に使用して静電アクチュエータを放電する。この動作シーケンスは、デジタルコントローラシステムの制御のもとで実行される。
[第3の開示]
[背景]
C=εoA/d (式13)
ここで、
εo:誘電率定数
A:コンデンサの実効面積
d:電極間の間隔
・ゼロ電荷では、コンデンサの電圧もまたゼロである。
・電極の電荷量が増加すると電極間に引力が生じる。結果として、電極間の間隔dが縮小し、容量性構造体の容量が増加している。最初のうち、dが大きいときには、容量はdと共に徐々に変化している。したがって、コンデンサの電圧も増加している。
・堆積電荷量がさらに増加すると、電極間の間隔は減少するが、容量の増加は次第に速くなり、電極は互いに近づく(例えば、式13に見られるように)。その結果、電圧V(Q)は最大値Vmaxを有することになる。より大きい電荷量では、電荷量Qの増加にもかかわらずコンデンサの電圧は再び減少する。
・電圧制御を電荷量による制御領域に置き換えると、安全で「引き込み」のない動作が可能になる。
・電荷制御を用いると、V(Q)に最大値が存在すること、及び生じる「引き込み」現象の故に電圧制御によってはアクセス可能ではない電極間の間隔の調整範囲がアクセス可能になる。
・1つ又は複数の電流源とスイッチを組み合わせると、いかなる任意の電荷量Qcもアクチュエータの容量性構造体の電極に付加することができる。
・加えて、正確に制御された電荷量Qを有するコンデンサで生じる電圧V(Q)の測定を行うことは、アクチュエータの容量性システムの実際の静電容量を算出するための準静的な方法である。電極間の実際の間隔dは、静電容量と電極間の間隔との間の関係が例えば較正測定によって分かっている場合には、そのような実際の静電容量値から算出することができる。
・容量性構造体及び少なくとも1つのばね付き可動電極を備えた振動MEMS/MOEMSシステムの共振周波数よりも上の周波数を有するAC電流を注入し、さらにコンデンサの電圧のAC振幅を測定するのは、HF静電容量測定であり、この測定は、静電アクチュエータコントローラの電荷/電流制御との適合性がある。
[開示の概要]
[開示の詳細な説明]
Iはスイッチ312が閉じている間の時間の関数としての電流源311の電流であり、
V(Qc(t))は、電圧計313を用いて測定される、電荷Qcによるコンデンサの、スイッチ314が閉じているときの時間にわたる被測定「生じる電圧」であり、
toは開始時間であり、
t1は、実際の電荷量Qc(t)が考慮される又は制御されるべき実際の時間である。
・コンデンサは、ゼロ電荷(すなわち、リセットスイッチ315によるコンデンサのリセット後)から開始して、電流源311によって印加される同じ定電流Iを用いて、定電流I>Vmax×(Rleak −1+Rref −1)という条件で、2回充電される。
・充電サイクル中、電圧Vは時間の関数として測定される。
・一方の充電サイクル(時間t1によって特徴付けられる)が、参照抵抗350のいずれかが関連スイッチ351によって切り離されている間に実行される。
・他方の充電サイクル(時間t2によって特徴付けられる)が、少なくとも1つの参照抵抗350が少なくとも1つのスイッチ351を閉じることによって接続されている間に実行される。
Rleak −1=I/V(Q)−s1/(s1−s2)×Rref −1 (式15)
ここで、
Iは一定負荷電流、
V(Q)は、両方の充電シーケンスの被測定等電圧レベル、すなわち、V(t1)=V(t2)=V(Q)であり、
Rrefは参照精密抵抗器350である。
203を超えるとすぐに、「引き込み」現象と呼ばれる即時の暴走現象をまねく。「引き込み」現象は、アクチュエータデバイス、又は少なくともその較正特性を損傷する。例えば制御電圧の安全範囲が温度依存性を有するために、このような暴走現象を開始させるリスクはかなり高い。この第3の開示のステップはここでは、無視できない漏洩電流があるアクチュエータを考慮して、電荷量Qcによって規定される動作点を安定にするための簡単な定電流源を使用することである。この方法は次のように機能する。すなわち、
・まず、目標動作点が、電流源311及びスイッチ312により、その電荷量をコンデンサに付加することによって設定される。
・生じる電圧V(Qc)が、スイッチ314が閉じたままである間に、電圧計313によって測定される。
・値V(Qc)/Rleakの制御電流が設定される。
・デバイスが一旦電圧制御による動作の不安定範囲の中に入ると、暴走が極めて速く加速している。この過程は制御することができない。加えて、暴走現象の始まりを検出するための監視値がない。
・対照的に、上述の電流制御方法では、コンデンサをゆっくりと充電し、また監視値、すなわち電圧計313によって継続的に測定される生じる電圧V/(Qc)がある。
・したがって、引き込み現象の始まりは、生じる電圧V/(Qc)が、制御電流が一定である間は単調に降下することを基準にして検出することができる。この条件を検出すると、充電過程は停止させることができ、「引き込み」現象が起きない。
[特徴1]
無視できない漏洩電流があり、少なくとも1つのばね付き可動電極を持つ容量性構造体を備え、電気的手段によりコンデンサに印加された力によって前記電極間の機械的間隔dを変えることが可能な微小機械加工MEMS/MOEMS静電アクチュエータシステム用の電気アクチュエータコントローラの前記コンデンサの分離抵抗を算出するための、(第2の開示の特徴1に記載の)静電アクチュエータコントローラの拡張部及び方法であって、
無視できない漏洩電流があり、少なくとも1つの可動電極を備えたコンデンサシステムが、電荷Qにより前記コンデンサに生じる電圧Vが電荷量Qの関数として少なくとも1つの最大値を示すことを特徴とし、
前記電気アクチュエータコントローラが、
静電容量電極間における引き合う機械力の供給源の直接制御として、前記システムを前記電荷量Qによって直接駆動することを特徴とし、
前記静電アクチュエータコントローラの前記拡張部が、
少なくとも1つの追加の精密抵抗器、及び各抵抗器の少なくとも1つの関連スイッチが、前記精密抵抗器のいずれかが前記アクチュエータシステムの前記コンデンサにその分離抵抗Rleakと共に並列に電気的に接続されるように、導入されること、
及び
各抵抗器をそれ自体のスイッチによって前記コンデンサから接続又は切断できることを特徴とし、
前記アクチュエータシステムにおける前記コンデンサの前記分離抵抗Rleakの絶対値を算出する方法は、
前記方法が、前記コンデンサを電荷ゼロから既知の一定電流で、それぞれの精密抵抗器に関連したスイッチのうちの少なくとも1つを閉じずに、さらには閉じて充電することによって、及びこれらの充電過程中の前記生じる電圧の時間展開を測定及び記録することによって、実施されること、並びに、これらの時間展開の比較から、特に、それだけには限らないが、同じレベルの電圧Vにおける異なる勾配dV/dtから、前記分離抵抗の前記絶対値を算出することができ、それによって、このコンデンサの無視できない漏洩電流の存在下でアクチュエータのコンデンサQcにおける絶対電荷量を算出することが可能になること
を特徴とする、静電アクチュエータコントローラの拡張部及び方法。
[特徴2]
無視できない漏洩電流があり、少なくとも1つのばね付き可動電極を持つ容量性構造体を備え、電気的手段によりコンデンサに印加された力によって前記電極間の機械的間隔dを変えることが可能な微小機械加工MEMS/MOEMS静電アクチュエータシステム用の閉フィードバックループによる、(第2の開示の特徴1及び2に記載の)適合性のある一体化HF静電容量測定システムを備えた静電アクチュエータコントローラの拡張部であって、
無視できない漏洩電流があり、少なくとも1つの可動電極を備えた前記コンデンサシステムが、電荷Qにより前記コンデンサに生じる電圧Vが前記電荷量Qの関数として少なくとも1つの最大値を示すことを特徴とし、
電気アクチュエータコントローラが、
前記静電容量電極間の引き合う機械力の供給源の直接制御として、前記システムを前記電荷量Qによって直接駆動することを特徴とし、
前記適合性のある一体化HF静電容量測定システムは、
まず、前記コントローラが一定の電荷量を前記静電容量に付加し、その結果、極板間の間隔が所望の間隔に近くなるように調整され、次に、電荷供給回路が可動極板コンデンサから切り離され、
次に、追加のスイッチを介して、振動平行極板コンデンサの共振周波数よりもずっと高い周波数のAC電流が前記コンデンサに注入され、
前記電気アクチュエータコントローラが、前記コンデンサから生じるAC電圧変調を測定するための回路を含み、それにより、電荷量変調ΔQ及び生じる被測定変調電圧ΔVを知ることによって、前記静電アクチュエータシステムの前記電極間の瞬時の間隔dによって形成される前記容量性構造体の高周波静電容量を算出できることを特徴とし、
前記拡張部は、
前記アクチュエータが被制御システムであり、前記供給源からの電流が制御値であり、上述の「電流注入に基づくHF静電容量測定」によって測定される静電容量が一定に保持されるべき検知値である、閉ループ制御が導入され、
それによって、前記コンデンサの電荷量Qcによって制御される任意の規定動作点に前記アクチュエータを、このコンデンサに無視できない漏洩電流が存在するにもかかわらず、安定して保持することが可能になることを特徴とする、静電アクチュエータコントローラの拡張部。
[特徴3]
特徴2に記載の静電アクチュエータコントローラの拡張部を使用するときの、前記コンデンサの前記分離抵抗を算出するための追加の方法であって、
前記追加の方法が、
前記閉フィードバックループが、前記アクチュエータの静電容量の制御電荷量Qcを一定に保持するためにアクティブにされた後の過渡時間後に、
ここでは特に閉ループ動作のもとで前記電流源によって供給される制御電流Iである制御値の、ある時間にわたる平均値が算出されると共に、前記コンデンサの電荷量Qcによって生成され、測定された生じる電圧Vの同じ時間にわたる平均値もまた算出されること、
及び
前記コンデンサの分離抵抗Rleakを両方の値の比、すなわち生じる電圧の平均値を閉ループ制御下の電流の平均値で割ったもの、によって計算することが、閉ループ動作下の前記電流の平均値が制御電荷Qc及び前記生じる電圧V(Qc)によって特徴付けられる動作点の漏洩電流と等しいので、可能であることを特徴とする、追加の方法。
[特徴4]
特徴1及び2に記載の静電アクチュエータコントローラの拡張部、及び自己較正のための関連方法であって、
前記拡張部は、
前記アクチュエータの静電容量を前記静電アクチュエータコントローラ回路から接続又は切断できる追加スイッチが導入されることを特徴とし、
前記関連方法は、
前記アクチュエータの静電容量が切り離され、精密抵抗器と関連した前記スイッチによって、前記精密抵抗器のうちの少なくとも1つが前記コンデンサの代わりに前記様々な電流源、及び電圧測定システムに、前記抵抗器用の前記関連スイッチを閉じることによって接続され、それにより、前記静電アクチュエータコントローラに取り付けられた任意の電流源のDC又はACの電流によって生じる前記抵抗器の電圧降下を測定することができ、電流出力を内部電圧測定システムに基づいて再較正できることを特徴とする、静電アクチュエータコントローラの拡張部、及び自己較正のための関連方法。
[特徴5]
無視できない漏洩電流があり、少なくとも1つのばね付き可動電極を持つ容量性構造体を備え、電気的手段によりコンデンサに印加された力によって前記電極間の機械的間隔dを変えることが可能な微小機械加工MEMS/MOEMS静電アクチュエータシステム用の(第2の開示の特徴1に記載の)静電アクチュエータコントローラの簡略化動作モードであって、
無視できない漏洩電流があり、少なくとも1つの可動電極を備えたコンデンサシステムが、電荷Qにより前記コンデンサに生じる電圧Vが前記電荷量Qの関数として少なくとも1つの最大値を示すことを特徴とし、
電気アクチュエータコントローラが、
静電容量電極間における引き合う機械力の供給源の直接制御として、前記システムを前記電荷量Qによって直接駆動することを特徴とし、
前記簡略化動作モードのための方法は、
ゼロとQcの間の制御電荷量に対してのみ応用可能であり、Qcが、前記コンデンサの電圧V(QVmax)が第1の最大値Vmaxを示す電荷量QVmaxよりも少ないこと、
及び
所望の動作点が、前記コンデンサの無視できない漏洩電流の存在下で、前記コンデンサの実際の測定電圧と、例えば、それだけには限らないが、前の特徴1又は2に従って算出されるその分離抵抗Rleakとから計算できる、電荷量Qcの対応する値まで前記コンデンサを充電することによって設定され、
次に、前記制御電流を、この動作点における漏洩電流V/Rleakに等しい値まで低減させ、それにより前記アクチュエータが前記動作点に保持され、
前記測定電圧が継続して監視され、
前記電荷Qcが何らかの理由で、前記コンデンサの電圧が前記第1の最大値Vmaxを示す値QVmaxを超えるとすぐに、前記制御電流が即座にスイッチオフされて、前記電極が互いに接触することによる前記コンデンサの破壊が回避され、
前記制御電流をスイッチオフする条件が、それだけには限らないが、前記制御電流が一定である間に電圧が単調に低下することによって好ましくは検出されることを特徴とする、静電アクチュエータコントローラの簡略化動作モード。
[特徴6]
第2の開示による電荷制御に基づく、少なくとも1つの可動ばね付き電極を持つ容量性構造体を備えたアクチュエータ用の静電アクチュエータ制御システムの拡張が、アクチュエータのコンデンサが無視できない漏洩電流を示す場合について開示される。この拡張は、
(1)精密抵抗器と、ある時間にわたる注入電流、及び生じる電圧のある時間にわたる測定値からコンデンサの電荷量Qcを計算することを可能にする、コンデンサの分離抵抗R leakを定量化する関連方法と、
(2)検知値としてHF静電容量測定システムの電流注入バージョン、及び制御値として電流を使用する閉フィードバックループと、
(3)項目(2)の閉フィードバックループを使用して漏洩電流を定量化するための追加測定システムと、
(4)一体化電圧測定システムを用いてすべてのAC及びDC電流源を較正できるようにする自己較正システム及び方法と、
(5)フィードバックを備えず、実施するのが容易であるが、電圧制御を用いてもアクセスできる動作範囲にしか対処できない、しかし、電極が間隔ゼロに向けて加速して電極が互いに衝突する前に「引き込み」現象を監視し止める手段を備える、電流による簡略化制御装置と
から成る。
Claims (8)
- ファブリペロー干渉フィルタと、
前記ファブリペロー干渉フィルタを制御するコントローラと、を備え、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、
第1ミラー部と、
空隙を介して前記第1ミラー部と向かい合うように配置され、光透過領域における前記第1ミラー部との間の距離が静電気力により調整される第2ミラー部と、
前記第1ミラー部と前記第2ミラー部とが互いに向かい合う方向から見た場合に、前記光透過領域を囲むように前記第1ミラー部に設けられた第1駆動電極と、
前記第1駆動電極と向かい合うように前記第2ミラー部に設けられた第2駆動電極と、
前記方向から見た場合に少なくとも一部が前記光透過領域と重なるように前記第1ミラー部に設けられ、前記第1駆動電極から電気的に絶縁された第1モニタ電極と、
前記第1モニタ電極と向かい合うように前記第2ミラー部に設けられ、前記第2駆動電極から電気的に絶縁された第2モニタ電極と、を備え、
前記コントローラは、
前記第1駆動電極と前記第2駆動電極との間に駆動電流を印加することにより前記静電気力を発生させる第1電流源と、
前記第1ミラー部及び前記第2ミラー部の共振周波数よりも高い周波数を有する交流電流を前記第1モニタ電極と前記第2モニタ電極との間に印加する第2電流源と、
前記交流電流の印加中に前記第1モニタ電極と前記第2モニタ電極との間に発生する交流電圧を検出する検出部と、
前記第1ミラー部と前記第2ミラー部との間に蓄えられる電荷量に基づいて前記第1電流源を制御すると共に、前記検出部の検出結果に基づいて前記第1ミラー部と前記第2ミラー部との間の静電容量を算出する制御部と、を備える、光学フィルタシステム。 - 前記第1駆動電極は、前記空隙に露出している、請求項1に記載の光学フィルタシステム。
- 前記第2駆動電極は、前記第2ミラー部の前記空隙とは反対側の表面に配置されている、請求項1又は2に記載の光学フィルタシステム。
- 前記第2駆動電極は、前記空隙に露出している、請求項1又は2に記載の光学フィルタシステム。
- 前記第1モニタ電極は、前記空隙に露出している、請求項1〜4のいずれか一項に記載の光学フィルタシステム。
- 前記第2モニタ電極は、前記空隙に露出している、請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学フィルタシステム。
- 前記第2モニタ電極は、前記第2ミラー部の前記空隙とは反対側の表面に配置されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学フィルタシステム。
- 前記第2駆動電極と前記第2モニタ電極とは、前記方向において互いに離間している、請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学フィルタシステム。
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