JPWO2018216443A1 - 固体シリコーン材料、それを用いてなる積層体および発光デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
(B)分子内にRASiO3/2(式中、RAは炭素原子数6〜14のアリール基)で表されるアリールシロキサン単位および(R2SiO2/2)n(式中、Rはハロゲン原子で置換されても良い炭素原子数1〜20のアルキル基または炭素原子数6〜14のアリール基、nは3〜1000の範囲の数)で表されるポリジオルガノシロキサン構造を有するオルガノポリシロキサン
を含有してなり、成分(A)の含有量が10〜95質量%の範囲である、固体シリコーン材料を用いることで、上記課題を解決できる事を見出し、本発明に到達した。当該固体シリコーン材料は、ホットメルト性を有し、特にナノメートルスケールの薄膜化が容易であり、光学部材として、発光デバイスに適用することで、その光取り出し効率を改善できる。
まず、本発明の固体シリコーン材料について説明する。当該固体シリコーン材料は、内部または細孔内に空気を含有する構造を有し、小粒子径(ナノメートルスケール)の中空若しくは多孔質の無機微粒子を、分子内にRASiO3/2で表されるアリールシロキサン単位(T分岐単位または樹脂構造)および(R2SiO2/2)nで表されるポリジオルガノシロキサン構造(シロキサン直鎖構造)を併せ持つレジン−リニアブロックコポリマー型のオルガノポリシロキサンからなるポリマーマトリックス中に一定量分散させてなることを特徴とする。
(A)数平均粒子径1〜100nmの中空若しくは多孔質の無機微粒子、および
(B)分子内にRASiO3/2(式中、RAは炭素原子数6〜14のアリール基)で表されるアリールシロキサン単位および(R2SiO2/2)n(式中、Rはハロゲン原子で置換されても良い炭素原子数1〜20のアルキル基または炭素原子数6〜14のアリール基、nは3〜1000の範囲の数)で表されるポリジオルガノシロキサン構造を有するオルガノポリシロキサンを含有してなり、成分(A)の含有量が10〜95質量%の範囲である、固体シリコーン材料であり、以下、詳細を説明する。
(A)成分は、平均粒子径1〜100nmの中空若しくは多孔質の無機微粒子であり、内部または細孔内に空気を含有する構造を有し、ポリマーマトリックスの屈折率を低下させて、低屈折率の固体層を実現することができる。このような小粒子径の中空若しくは多孔質の無機微粒子はナノメータースケールの薄膜状にした場合に、薄膜の低屈折率性を実現し、かつ、光源/蛍光体層を介して光取り出し効率を向上させる成分である。
(B)成分は、上記の(A)成分のバインダーとなる、アリール基を有するT単位を含むレジン−リニアポリマー型のオルガノポリシロキサンであり、屈折率が高く、かつ、ホットメルト性を有することから、容易に均一かつ膜厚がナノメータースケールの薄膜状の固体層を形成することができる。
{(R2SiO2/2)}a{RASiO3/2}1−a
で表されるオルガノポリシロキサンであることが好ましい。式中、R,RAは前記同様の基であり、aは0.8〜0.2の範囲の数であり、より好適には、0.80〜0.40の範囲の数である。
(B)成分は、好ましくはホットメルト性を示し、具体的には、25℃において非流動性であり、100℃の溶融粘度が200,000Pa・s以下であることが好ましい。非流動性とは、無負荷の状態で流動しないことを意味し、例えば、JIS K 6863−1994「ホットメルト接着剤の軟化点試験方法」で規定されるホットメルト接着剤の環球法による軟化点試験方法で測定される軟化点未満での状態を示す。すなわち、25℃において非流動性であるためには、軟化点が25℃よりも高い必要がある。好適には、(B)成分は、100℃の溶融粘度が200,000Pa・s以下、100,000Pa・s以下、50,000Pa・s以下、20,000Pa・s以下、あるいは10〜20,000Pa・sの範囲内である。100℃の溶融粘度が上記の範囲内であると、ホットメルト後、25℃に冷却した後の薄膜等の密着性が良好である。また、上記の溶融粘度が100〜15,000Pa・sである(B)成分を用いることで、成型加工後の薄膜等の変形や剥離を抑制できる場合がある。
本発明の固体シリコーン材料は、(A)成分の含有量が10〜95質量%の範囲であり、(B)成分が上記の好適な中空シリカ微粒子を主成分とする無機微粒子である場合、(A)成分の含有量が40〜95質量%の範囲であることが特に好ましい。
本発明の固体シリコーン材料は、本発明の目的を妨げない限り、ビニルトリエトキシシラン、アリルトリメトキシシラン、アリルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の有機官能性アルコキシシラン化合物等の接着性向上剤等の任意の添加剤さらに、その他の任意成分として、本発明の技術的効果を損なわない限り、フェノール系、キノン系、アミン系、リン系、ホスファイト系、イオウ系、チオエーテル系などの酸化防止剤;トリアゾール系、ベンゾフェノン系などの光安定剤;リン酸エステル系、ハロゲン系、リン系、アンチモン系などの難燃剤;カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、非イオン系界面活性剤などからなる1種類以上の帯電防止剤;染料、顔料などを添加しても良い。ただし、薄膜化する場合、(A)成分以外の固体粒子、特に平均一次粒子径が100nmを超えるような粒子成分は添加しないことが好ましい。
本発明の固体シリコーン材料は、所望の形態の部材として利用可能であるが、光源/蛍光体層を介して光取り出し効率を向上する目的で利用する場合には、フィルム状または薄膜状であることが好ましい。特に、本発明の固体シリコーン材料は、ナノメータースケールの膜厚を有する、均一な薄膜状に設計することが可能であり、好適には、膜厚が50〜300nmの範囲であるフィルム状または薄膜状の固体シリコーン材料を提供することができる。
本発明にかかる固体シリコーン材料をフィルム状または薄膜状に成膜する方法は特に制限されるものではなく、以下のような方法で成膜することができる。
本発明にかかる固体シリコーン材料はホットメルト性を有するので、一体成型等の公知の成型手法により、所望とする基材上に成膜することができる。一般的な成型手法としてはトランスファー成型、インジェクション成型、コンプレッション成型が挙げられる。例えば、トランスファー成型においては、本発明にかかる固体シリコーン材料を成型機のプランジャーに充填し、自動成型を行うことで成型物としてのフィルム状または薄膜状部材を得ることができる。成型機としては、補助ラム式成型機、スライド式成型機、二重ラム式成型機、低圧封入用成型機のいずれをも用いることができる。
本発明にかかる固体シリコーン材料はi−プロピルアルコール、メチルイソブチルケトン等の有機溶媒に均一に分散することが可能であるので、所望とする基材上に薄膜状に塗工し、乾燥等の手段により有機溶媒を除去することによってフィルム状または薄膜状部材を得ることができる。フィルム状に塗工する場合、全体粘度が100〜10,000mPa・sとなる範囲に、溶媒を用いて粘度調整をすることが好ましく、溶媒で希釈する場合、上記の固形分の和(100質量部)に対して、0〜2000質量部の範囲で用いることができる。塗工方法としては、グラビアコート、オフセットコート、オフセットグラビア、オフセット転写ロールコーター等を用いたロールコート、リバースロールコート、エアナイフコート、カーテンフローコーター等を用いたカーテンコート、コンマコート、マイヤーバー、スピンコートその他公知の硬化層を形成する目的で使用される方法が制限なく使用できる。また、塗工量は任意であるが、有機溶媒除去後の固形分として、上記の膜厚となるように塗工することが好ましい。なお、後述するように、剥離コーティング層上に本発明にかかる固体シリコーン材料のフィルム状または薄膜状部材を形成させた積層体を用いることにより、当該フィルム状または薄膜状部材、またはそれを含む積層部材を剥離層から分離して他の基材上に配置することができる。
本発明の固体シリコーン材料は、特許文献1等で本件出願人が提案したような光学アセンブリ等の積層体構造を構成する固体層として、特に好適に用いることができ、特に、発光デバイスまたは発光デバイスに用いる積層部材を構成する固体層として、空気との界面に配置されることが好ましい。その際、積層体が発光デバイスであれば、光源と本発明の固体シリコーン材料との間に少なくとも1種の蛍光体を含む層(以下、「蛍光体層」)を有していることが、本発明の技術的効果の見地から特に好ましい。
まず、剥離層上に本発明にかかる固体シリコーン材料のフィルム状または薄膜状部材が配置された積層体について説明する。本発明の固体シリコーン材料からなるフィルム状または薄膜状部材、それを含む積層部材(例えば、さらに蛍光体層を備えた積層シート)は、所望により、部材単独で取り扱うことが求められる。剥離層上に本発明にかかる固体シリコーン材料からなる固体層が配置されている場合、積層体を構成する剥離層から本発明の固体シリコーン材料からなるフィルム状または薄膜状部材、それを含む積層部材を容易に分離して取り扱うことができる。このような積層体は、本発明の固体シリコーン材料からなる固体層と対向する剥離層を有し、任意で、さらに、他の剥離層を備えていてもよく、以下の積層体の構成が例示できる。なお、以下の例において「/」は積層体の積層方向(一般に基材に対して垂直な厚み方向)について、各層が対向していることを意味する。また、基材と剥離層は一体または同一層(材質または物理的な凹凸を設けたりして剥離性を持たせた基材)であってもよい。
例1: 基材/剥離層/本発明の固体シリコーン材料からなる固体層/その他の任意の層(1層または2層以上であってよい)
例2: 基材/剥離層/本発明の固体シリコーン材料からなる固体層/その他の任意の層(1層または2層以上であってよい)/剥離層/基材
特に、例2のように、二つの剥離層で本発明の固体シリコーン材料からなるフィルム状または薄膜状部材、それを含む積層部材がサンドイッチされた構成を有する場合、本発明の固体シリコーン材料からなる固体層を備えた部材を、基材で保護した状態で輸送(国外への輸出を含む)することができ、所望のタイミングと場所で、積層体の両面から剥離層を備えた基材を分離して、本発明の固体シリコーン材料からなるフィルム状または薄膜状部材、それを含む積層部材のみを所望の構造体、例えば発光デバイスの光源上等に配置ないし積層することができる。特に、かかる積層体は、積層部材が本発明の固体シリコーン材料からなる固体層と蛍光体層を備えた積層シート等である場合、その取り扱い作業性を改善することができる点で有用である。
本発明の固体シリコーン材料からなる固体層は、空気との界面に配置することが可能であり、発光ダイオード(LED)または有機電界発光素子(OLED)の光源上に配置する場合、本発明の固体シリコーン材料からなる固体層は、空気との界面に配置して、光源を含む積層体全体の光取り出し効率を改善することができる。かかる積層体は、光源の波長変換材料として上記同様の蛍光体を含む蛍光体層、特に、蛍光体を含有するシリコーン層を有することが特に好ましい。ここで、光源から発した光は蛍光体層により波長変換され、空気との界面に配置された本発明の固体シリコーン材料からなる固体層に到達する配置であることが好ましく、本発明の固体シリコーン材料からなる固体層は蛍光体層の一部又は全体を覆うように形成されていてもよく、他の積層体の機能層を介して蛍光体層の外側に配置されていてもよい。これらの積層体全体の厚さは特に限定されるものではないが、1μm以上であることが好ましく、発光デバイス等の場合、光源部分の厚さを除いて、50〜10,000μmであってよく、100〜1,000μmの範囲が特に好ましい。
かかる光源および蛍光体層を備えた積層体は、発光ダイオード(LED)または有機電界発光素子(OLED)等の発光デバイスであり、上記の光源、蛍光体層および本発明の固体シリコーン材料からなる固体層の配置を取ることにより、発光デバイスの光取り出し効率を改善可能である。さらに、固体シリコーン材料からなる固体層を選択することにより、発光デバイスの発熱に伴う着色等を防止できる場合があり、特に、発光デバイスの耐熱性を改善できる場合がある。
本発明にかかる積層体の製造方法は特に制限されるものではないが、本発明の固体シリコーン材料を薄膜状またはフィルム状に成膜して配置する見地から、以下の工程(i)〜(iii)のいずれかの工程を備えた、積層体の製造方法であることが好ましい。なお、当該工程にかかる塗工方法等は上記同様の方法が例示される。
(i)本発明の固体シリコーン材料を、他の構造体上でフィルム状または薄膜状に成型する工程
(ii)本発明の固体シリコーン材料を有機溶媒に分散させ、他の構造体上にフィルム状または薄膜状に塗工した後、有機溶媒を除去する工程
(iii)本発明の固体シリコーン材料からなるフィルム状または薄膜状部材上に、他の構造体を積層する工程
剥離性の積層体/本発明の固体シリコーン材料(薄層)を含む積層部材(シリコーン層)を用いることを特徴とする、積層体の製造方法の工程:
(イ):剥離層上に、本発明の固体シリコーン材料を有機溶媒に分散させ、他の構造体上にフィルム状または薄膜状に塗工した後、有機溶媒を除去する工程、
(ロ):前記工程(イ)で得られたフィルム状または薄膜状の固体シリコーン材料上に、同一または異なるシリコーン層を積層する工程、
(ハ):前記工程(ロ)で得られた、フィルム状または薄膜状の固体シリコーン材料が積層されたシリコーン層を一体として、剥離層から分離する工程
(ニ):前記工程(ハ)で得られた積層体を、他の構造体上に積層する工程
1L四ツ口丸底フラスコにフェニルシルセスキオキサン加水分解物(135.00 g、0.99 molのSi)とトルエン(135.00g)を充填した。窒素雰囲気下、当該混合物を還流させながら30分にわたって加熱した。反応混合物を100℃に冷却した後、ジアセトキシ末端ポリフェニルメチルシロキサン(シロキサン重合度186)の溶液を添加した。反応混合物を還流させながら2時間にわたって加熱した。その後、メチルトリアセトキシシラン(20.23 g、0.09 molのSi)を添加し、混合物を1時間にわたって還流させた。水(30mL)を添加し、共沸蒸留により水相を除去した。この手順を更に2回繰り返して酢酸濃度を低下させ、さらにトルエンを一部留去することにより、透明なレジン−リニアポリマー構造を有するオルガノポリシロキサンのトルエン溶液(重量平均分子量=70300、固形分濃度 79.12%)を得た。
1L四ツ口丸底フラスコにフェニルシルセスキオキサン加水分解物(80.00 g、0.59 molのSi)とトルエン(235.00g)を充填した。こ窒素雰囲気下、当該混合物を還流させながら30分にわたって加熱した。反応混合物を100℃に冷却した後、ジアセトキシ末端ポリジメチルシロキサン(シロキサン重合度105)の溶液を添加した。反応混合物を還流させながら2時間にわたって加熱したその後、メチルトリアセトキシシラン(5.35 g、0.02 molのSi)を添加し、混合物を1時間にわたって還流させた。水(45mL)を添加し、共沸蒸留により水相を除去した。この手順を更に4回繰り返して酢酸濃度を低下させ、さらにトルエンを一部留去することにより、透明なレジン−リニアポリマー構造を有するオルガノポリシロキサンのトルエン溶液(重量平均分子量=93500、固形分濃度 66.73%)を得た。
1L四ツ口丸底フラスコにフェニルシルセスキオキサン加水分解物(135.00 g、0.99 molのSi)とトルエン(360.00g)を充填した。窒素雰囲気下、当該混合物を還流させながら30分にわたって加熱した。反応混合物を100℃に冷却した後、ジアセトキシ末端ポリジメチルシロキサン(シロキサン重合度105)の溶液を添加した。反応混合物を還流させながら2時間にわたって加熱したその後、メチルトリアセトキシシラン(13.48 g、0.06 molのSi)を添加し、混合物を2.5時間にわたって還流させた。ビニルメチルジアセトキシシラン(12.65 g、0.07 molのSi)を添加し、混合物を2時間にわたって還流させたのち水(76mL)を添加し、30分共沸させ、有機層が分離するのを待ってから水層を下から除去した。次に水を
飽和食塩水に置き換え、これと同様の手順を更に2回繰り返して酢酸濃度を低下させたのち、水でさらに2回繰り返した。トルエンを一部留去することにより、透明なレジン−リニアポリマー構造を有するオルガノポリシロキサンのトルエン溶液(重量平均分子量=72000、固形分濃度 61.23%)を得た。
(実施例1)
中空シリカ微粒子(日揮触媒化成(株)社製 スルーリア4320、シリカ固形分 20.5重量%、中空シリカ微粒子、数平均粒子径60nm、0.258 g)とメチルイソブチルケトン(6.30 g)を容器に入れ、撹拌し、合成例2で得られた66.73 重量%のオルガノポリシロキサン−トルエン溶液(0.020 g)を加えて1重量%の調整溶液1Aを得た。塗工機(PI-1210 FILM COATER)とバー(R.D.S. Webster, N.Y. No.3)を用いて、剥離シート(ダイセル社製 T788)上に調整溶液1Aをコートした。室温で30分ほど放置した後、40度のオーブン中で1時間乾燥させフィルム1を得た。コート層の厚みを膜厚測定機(フィルメトリックス社製 F20 thin film analyzer)で測定したところ、188.2 nmであった。
中空シリカ微粒子(日揮触媒化成(株)社製 スルーリア4320、シリカ固形分 20.5重量%、中空シリカ微粒子、数平均粒子径60nm、0.068 g)とメチルイソブチルケトン(3.46 g)を容器に入れ、撹拌し、合成例2で得られた66.73 重量%のオルガノポリシロキサン−トルエン溶液(0.005 g)を加えて0.5重量%の調整溶液2Aを得た。塗工機(PI-1210 FILM COATER)とバー(R.D.S. Webster, N.Y. No.3)を用いて、剥離シート(ダイセル社製 T788)上に調整溶液2Aをコートした。室温で30分ほど放置した後、40度のオーブン中で1時間乾燥させフィルム2を得た。コート層の厚みを膜厚測定機(フィルメトリックス社製 F20 thin film analyzer)で測定したところ、113.1 nmであった。
実施例1の調整溶液1A(0.30 g)にメチルイソブチルケトン(2.75 g)を加えて希釈し、0.1重量%の調整溶液3Aを調整した。塗工機(PI-1210 FILM COATER)とバー(R.D.S. Webster, N.Y. No.3)を用いて、剥離シート(ダイセル社製 T788)上に調整溶液3をコートした。室温で30分ほど放置した後、40度のオーブン中で1時間乾燥させフィルム3を得た。コート層の厚みを膜厚測定機(フィルメトリックス社製 F20 thin film analyzer)で測定したところ、213 nmであった。
実施例1と同様の調整液1Bを剥離シート(ダイセル社製 T788)上に塗工機(PI-1210 FILM COATER)を用いて、925μmのギャップでコートした。このシートをオーブン中40Cで一晩乾燥させたのち、50Cの真空オーブン中でさらに2時間乾燥させ蛍光体シート4を得た。得られた蛍光体シート4について、実施例1と同様の方法で、LEDチップ上に設置し、真空ラミネーターを用いて封止した。
合成例2で得られた66.73 重量%のオルガノシロキサン−トルエン溶液(3.29 g)に補強性シリカ (アエロジル200S、0.107 g)とメチルイソブチルケトン(1.00 g)を加え、デンタルミキサーを用いて20秒間撹拌し混合溶液1を得た。得られた混合溶液(0.05 g)をメチルイソブチルケトン(2.56 g)で希釈することで1重量%の溶液4Aを調整した。
全放射束の測定
上記工程によりLEDチップを封止して得た発光半導体装置(実施例1〜3、比較例1〜2)について、全光束測定装置(大塚電子(株)製)を用いて、全放射束(mW)を測定した。結果を下表1に示す。
以下の実施例5〜6、比較例7は、以下の方法により得られた発光半導体装置を用いた。なお、実施例において、スピンコートにより得られた中空シリカ微粒子を含む薄膜層(コート層)の厚さは、別途同量の溶液を単独でスピンコートして測定した値を示している。
(光半導体パッケージの作製)
光半導体素子として、InGaNからなる発光層を有し主発光ピークが454.7-460 nmのLEDチップを装着した、MA5050パッケージ(W*N-045)の発光半導体装置を使用した。
中空シリカ微粒子(日揮触媒化成(株)社製 スルーリア4320、シリカ固形分 20.5重量%、中空シリカ微粒子、数平均粒子径60nm、0.378 g)とメチルイソブチルケトン(9.3 g)を容器に入れ、撹拌し、合成例2で得られた66.73 重量%のオルガノポリシロキサン−トルエン溶液(0.029 g)を加えて1重量%の溶液1を調整した。
中空シリカ微粒子(日揮触媒化成(株)社製 スルーリア4320、シリカ固形分 20.5重量%、中空シリカ微粒子、数平均粒子径60nm、0.2084 g)とメチルイソブチルケトン(5.00 g)を容器に入れ、撹拌し、合成例3で得られた61.23 重量%のオルガノポリシロキサン−トルエン溶液(0.017 g)とヒドロシリル基末端ポリオルガノシロキサン(0.0004 g)と0.1重量%の白金錯体−トルエン溶液(0.0003 g)をさらに加えて1重量%の溶液2を調整した。
合成例2で得られた66.73 重量%のオルガノポリシロキサン−トルエン溶液(3.29 g)にアエロジル(200S、0.107 g)とメチルイソブチルケトン(1.00 g)を加え、デンタルミキサーを用いて20秒間撹拌し混合溶液1を得た。得られた混合溶液1(0.05 g)をメチルイソブチルケトン(2.56 g)で希釈することで1重量%の溶液3を調整した。
Claims (17)
- (A)数平均粒子径1〜100nmの中空若しくは多孔質の無機微粒子、および
(B)分子内にRASiO3/2(式中、RAは炭素原子数6〜14のアリール基)で表されるアリールシロキサン単位および(R2SiO2/2)n(式中、Rはハロゲン原子で置換されても良い炭素原子数1〜20のアルキル基または炭素原子数6〜14のアリール基、nは3〜1000の範囲の数)で表されるポリジオルガノシロキサン構造を有するオルガノポリシロキサン
を含有してなり、成分(A)の含有量が10〜95質量%の範囲である、固体シリコーン材料。 - 成分(A)が数平均粒子径40〜70nmの中空シリカ微粒子を主成分とする無機微粒子であり、成分(A)の含有量が40〜95質量%の範囲である、請求項1に記載の固体シリコーン材料。
- 成分(B)が、RASiO3/2(式中、RAは前記同様の基)で表されるアリールシロキサン単位をオルガノポリシロキサン全体の20〜80質量%含有するオルガノポリシロキサンである、請求項1に記載の固体シリコーン材料。
- 成分(B)が、{(R2SiO2/2)}a{RASiO3/2}1−a(式中、R,RAは前記同様の基でありaは0.8〜0.2の範囲の数)で表されるオルガノポリシロキサンである、請求項1または請求項3に記載の固体シリコーン材料。
- 成分(B)が、ホットメルト性を有するオルガノポリシロキサンである、請求項1、請求項3、または請求項4に記載の固体シリコーン材料。
- フィルム状または薄膜状である、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の固体シリコーン材料。
- 膜厚が50〜300nmの範囲である、請求項6に記載の固体シリコーン材料。
- 成分(A)の平均粒子径L(nm)に対して、膜厚がL〜4L(nm)の範囲内にあることを特徴とする、請求項6または請求項7に記載の固体シリコーン材料。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の固体シリコーン材料からなる、光学部材。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の固体シリコーン材料からなる固体層を備えた、積層体。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の固体シリコーン材料からなる固体層が、剥離層上に配置された構造を有する、請求項9に記載の積層体。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の固体シリコーン材料からなる固体層、および、少なくとも1種の蛍光体を含む層を有する、請求項10に記載の積層体。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の固体シリコーン材料からなる固体層、および、少なくとも1種の蛍光体を含む層を有し、かつ、上記の固体シリコーン材料からなる固体層が空気との界面に配置された構造を有する、請求項10または請求項12に記載の積層体。
- 少なくとも1の光源、その上に形成された少なくとも1種の蛍光体を含む層、および空気との界面に配置された請求項1〜8のいずれか1項に記載の固体シリコーン材料からなる固体層を備えた、発光デバイス。
- 以下の工程(i)〜(iii)のいずれかの工程を備えた、請求項10〜請求項13のいずれか1項に記載の積層体の製造方法。
(i)請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の固体シリコーン材料を、他の構造体上でフィルム状または薄膜状に成型する工程
(ii)請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の固体シリコーン材料を有機溶媒に分散させ、他の構造体上にフィルム状または薄膜状に塗工した後、有機溶媒を除去する工程
(iii)請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の固体シリコーン材料からなるフィルム状または薄膜状部材上に、他の構造体を積層する工程 - 以下の工程を備えた、請求項10、請求項12または請求項13に記載の積層体の製造方法。
(イ):剥離層上に、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の固体シリコーン材料を有機溶媒に分散させ、他の構造体上にフィルム状または薄膜状に塗工した後、有機溶媒を除去する工程、
(ロ):前記工程(イ)で得られたフィルム状または薄膜状の固体シリコーン材料上に、同一または異なるシリコーン層を積層する工程、
(ハ):前記工程(ロ)で得られた、フィルム状または薄膜状の固体シリコーン材料が積層されたシリコーン層を一体として、剥離層から分離する工程
(ニ):前記工程(ハ)で得られた積層体を、他の構造体上に積層する工程 - 積層体が発光デバイスであり、固体シリコーン材料からなるフィルム状または薄膜状部材を、空気との界面に配置することを特徴とする、請求項15または請求項16に記載の積層体の製造方法。
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