JPWO2018198417A1 - 振動装置 - Google Patents

振動装置 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2018198417A1
JPWO2018198417A1 JP2019515086A JP2019515086A JPWO2018198417A1 JP WO2018198417 A1 JPWO2018198417 A1 JP WO2018198417A1 JP 2019515086 A JP2019515086 A JP 2019515086A JP 2019515086 A JP2019515086 A JP 2019515086A JP WO2018198417 A1 JPWO2018198417 A1 JP WO2018198417A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cylindrical body
piezoelectric
piezoelectric element
vibration device
end portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019515086A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6610836B2 (ja
Inventor
藤本 克己
克己 藤本
睦弘 堀口
睦弘 堀口
西山 健次
健次 西山
倉谷 康浩
康浩 倉谷
真一郎 市口
真一郎 市口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Application granted granted Critical
Publication of JP6610836B2 publication Critical patent/JP6610836B2/ja
Publication of JPWO2018198417A1 publication Critical patent/JPWO2018198417A1/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B17/00Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor
    • G03B17/02Bodies
    • G03B17/08Waterproof bodies or housings
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0644Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
    • B06B1/0648Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element of rectangular shape
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
    • B06B1/0625Annular array
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0006Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means to keep optical surfaces clean, e.g. by preventing or removing dirt, stains, contamination, condensation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/50Constructional details
    • H04N23/52Elements optimising image sensor operation, e.g. for electromagnetic interference [EMI] protection or temperature control by heat transfer or cooling elements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/208Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using shear or torsion displacement, e.g. d15 type devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/04Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism
    • B06B1/045Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism using vibrating magnet, armature or coil system
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B2205/00Adjustment of optical system relative to image or object surface other than for focusing
    • G03B2205/0053Driving means for the movement of one or more optical element
    • G03B2205/0061Driving means for the movement of one or more optical element using piezoelectric actuators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Camera Bodies And Camera Details Or Accessories (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Studio Devices (AREA)
  • Structure And Mechanism Of Cameras (AREA)
  • Accessories Of Cameras (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

撮像素子の被写体側に配置された透光体表面に付着した、イメージングデバイスの視野内における水滴などを確実に除去することができる、振動装置を提供する。振動装置1は、撮像素子9の被写体側に配置される透光体2と、第1の端部3aと、第1の端部3aとは反対側の第2の端部3bと、第1の端部3a及び第2の端部3bを接続している外側面3d及び内側面3eとを有し、第1の端部3a側において、透光体2を保持するように、透光体2に連結されている筒状体3と、筒状体3をねじり振動させるように、筒状体3の周方向に沿って配置されている圧電素子4とを備える。

Description

本発明は、機械的振動によって水滴などを除去することが可能な振動装置に関する。
従来、監視装置として用いられるカメラ等のイメージングデバイスにおいては、その視野を常に明瞭にすることが求められている。特に、車載用途等の屋外で使用されるカメラにおいては、雨滴などの水滴を除去するための機構が種々提案されている。下記の特許文献1には、撮像ユニットと、撮像ユニットを振動させる振動部とを有する水滴除去機能付カメラが開示されている。撮像ユニットはレンズ及びレンズを透過した光を光電変換する撮像素子を有する。レンズに付着した水滴を除去するために、振動部は、レンズの光軸が揺動する方向や光軸に平行な方向に撮像ユニットを振動させる。
特開2013−080177号公報
特許文献1に記載されたような水滴除去機能付カメラでは、レンズに付着した、カメラの視野内における水滴を確実に除去することができないことがあった。
本発明の目的は、撮像素子の被写体側に配置された透光体表面に付着した、イメージングデバイスの視野内における水滴などを確実に除去することができる、振動装置を提供することにある。
本発明に係る振動装置は、撮像素子の被写体側に配置される透光体と、第1の端部と、前記第1の端部とは反対側の第2の端部と、前記第1の端部及び前記第2の端部を接続している外側面及び内側面と、を有し、前記第1の端部側において、前記透光体を保持するように、前記透光体に連結されている筒状体と、前記筒状体をねじり振動させるように、前記筒状体の周方向に沿って配置されている圧電素子とを備える。
本発明に係る振動装置のある特定の局面では、前記筒状体の前記第1の端部と前記第2の端部とを結ぶ方向における、前記圧電素子が配置された部分と前記第1の端部との間に位置する部分において、前記外側面及び前記内側面のうち少なくとも一方が段差部を有し、前記外側面と前記内側面との距離を前記筒状体の肉厚としたときに、前記圧電素子側から前記第1の端部側に向かい、前記段差部を経て前記肉厚が薄くなっている。この場合には、筒状体のねじり振動による透光体の変位をより一層大きくすることができる。従って、イメージングデバイスの視野内における、透光体表面に付着した水滴などをより一層確実に除去することができる。
本発明に係る振動装置の他の特定の局面では、前記筒状体の前記外側面が前記段差部を有し、前記外側面において、前記段差部に連なっており、かつ前記第1の端部側に延びる部分が、前記段差部に連なっており、かつ前記圧電素子側に延びる部分より内側に位置している。この場合には、振動装置を小型にすることができる。
本発明に係る振動装置のさらに他の特定の局面では、前記筒状体の前記第1の端部と前記第2の端部とを結ぶ方向における、前記圧電素子が配置された部分と前記第1の端部との間に位置する部分において、前記外側面及び前記内側面のうち少なくとも一方が、前記筒状体の前記第1の端部と前記第2の端部とを結ぶ方向に傾斜して延びている傾斜部を有し、前記外側面と前記内側面との距離を前記筒状体の肉厚としたときに、前記圧電素子側から前記第1の端部側に向かい、前記肉厚が薄くなるように前記傾斜部が設けられている。この場合には、イメージングデバイスの視野内における、透光体表面に付着した水滴などをより一層確実に除去することができる。
本発明に係る振動装置のさらに他の特定の局面では、前記筒状体の前記外側面が前記傾斜部を有し、前記傾斜部が、前記圧電素子側から前記第1の端部側に向かい、かつ前記筒状体の内側に向かい延びている。この場合には、振動装置を小型にすることができる。
本発明に係る振動装置のさらに他の特定の局面では、前記圧電素子が、前記筒状体の前記第1の端部と前記第2の端部との間に配置されている。
本発明に係る振動装置の別の特定の局面では、前記圧電素子が、前記筒状体のねじり振動のノードの位置に配置されている。この場合には、圧電素子が変形し難く、破損し難い。
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記圧電素子が複数設けられており、前記複数の圧電素子が、前記筒状体の周方向に沿い環状に、かつ互いに離間して配置されており、前記複数の圧電素子がそれぞれ圧電体を有し、前記複数の圧電体が前記筒状体の周方向に周回するように分極されている。
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記圧電素子がリング状圧電体を有し、前記リング状圧電体が、前記筒状体の前記第1の端部側に位置する第1の主面と、前記筒状体の前記第2の端部側に位置する第2の主面とを有し、前記リング状圧電体が、前記筒状体の周方向に沿って複数の領域に分割されており、かつ前記複数の領域において、前記筒状体の周方向に周回するように分極されており、前記第1の主面上及び前記第2の主面上に、前記複数の領域を覆うように、それぞれ励振電極が設けられている。
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記リング状圧電体が、6つ以上の前記領域に分割されている。
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記圧電素子とは別の圧電素子である圧電振動体をさらに備え、前記圧電振動体が、前記筒状体を前記内側面と前記外側面とを結ぶ方向に振動させる振動モード及び前記筒状体を前記第1の端部及び前記第2の端部とを結ぶ方向に振動させる振動モードのうち一方の振動モードを有する。この場合には、イメージングデバイスの視野内における、透光体表面に付着した水滴などをより一層確実に除去することができる。
本発明によれば、撮像素子の被写体側に配置された透光体表面に付着した、イメージングデバイスの視野内における水滴などを確実に除去することができる、振動装置を提供することができる。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る振動装置の斜視図である。 図2は、本発明の第1の実施形態に係る振動装置の正面断面図である。 図3は、本発明の第1の実施形態の振動装置を有するイメージングデバイスの正面断面図である。 図4は、本発明の第1の実施形態における圧電素子の配置を示す振動装置の平面断面図である。 図5は、本発明の第1の実施形態の第1の変形例に係る振動装置の正面断面図である。 図6は、本発明の第1の実施形態の第2の変形例に係る振動装置の正面断面図である。 図7は、本発明の第1の実施形態の第3の変形例に係る振動装置の正面断面図である。 図8は、本発明の第1の実施形態の第4の変形例に係る振動装置の正面断面図である。 図9は、本発明の第2の実施形態における圧電素子の平面図である。 図10(a)〜図10(c)は、本発明の第2の実施形態におけるリング状圧電体の製造方法を説明するための斜視図である。 図11は、本発明の第2の実施形態におけるリング状圧電体の製造方法を説明するための模式的正面断面図である。 図12は、本発明の第3の実施形態に係る振動装置の正面断面図である。 図13(a)〜図13(d)は、伝搬において生じる各振動モードを説明するための模式図である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る振動装置の斜視図である。図2は、第1の実施形態に係る振動装置の正面断面図である。図3は、第1の実施形態の振動装置を有するイメージングデバイスの正面断面図である。
図1及び図2に示すように、振動装置1は透光体2を有する。図3に示すように、イメージングデバイス10では、透光体2は、撮像素子9の被写体側、すなわち前方に配置されている。撮像素子9としては、例えば、可視領域から遠赤外領域のいずれかの波長の光を受光する、CMOS、CCD、ボロメーターやサーモパイルなどを挙げることができる。イメージングデバイス10としては、例えば、カメラ、RadarやLIDARデバイスなどを挙げることができる。
透光体2は透光性材料からなる。透光性材料としては、透光性のプラスチック、ガラスまたは透光性のセラミックスなどが用いられ得る。本実施形態では、透光体2は円盤状である。なお、透光体2の形状は上記に限定されず、例えば、ドーム状などであってもよい。
透光体2に筒状体3が連結されている。筒状体3は、第1の端部3aと、第1の端部3aとは反対側の第2の端部3bと、第1の端部3a及び第2の端部3bを接続している外側面3d及び内側面3eとを有する。本実施形態では、内側面3eは、円柱の側面に面する形状であり、内側面3eと外側面3dとを結ぶ方向は筒状体3の径方向となる。第1の端部3aと第2の端部3bとを結ぶ方向は筒状体3の軸方向である。
筒状体3の第1の端部3aと第2の端部3bとの間には、複数の圧電素子4が設けられている。より具体的には、筒状体3は、第1の端部3aを含む第1の筒状体部3X及び第2の端部3bを含む第2の筒状体部3Yを有し、第1の筒状体部3Xと第2の筒状体部3Yとの間に複数の圧電素子4が設けられている。筒状体3は、圧電素子4を介して第1の筒状体部3X及び第2の筒状体部3Yが一体とされた筒状体である。なお、筒状体3は1つの筒状体からなっていてもよい。この場合には、例えば、筒状体3に溝部が設けられており、該溝部に圧電素子4が配置されていてもよい。あるいは、筒状体3に設けられた段差部などに圧電素子4が配置されていてもよい。
第1の端部3aが透光体2に連結されている。より具体的には、筒状体3は第1の端部3aを含む支持部3Aを有する。透光体2により筒状体3の第1の端部3a側の開口を閉成されるように、筒状体3の支持部3Aが透光体2の筒状体3側の面における周縁部に固定されている。なお、支持部3Aは、透光体2の筒状体3側の面における、周縁部よりも内側の部分に固定されていてもよい。
筒状体3は、本実施形態ではステンレスからなる。もっとも、ステンレスにかえて、他の金属材料が用いられてもよい。好ましくは、ステンレスなどの剛性の高い弾性材料である金属が望ましい。あるいは、筒状体3は、樹脂と樹脂よりも剛性が高い材料を含んだコンポジット体やガラスなどからなっていてもよい。
筒状体3の外側面3dには、筒状体3の径方向外側に延ばされたヒンジ部3cが設けられている。ヒンジ部3cは、振動装置1を外部から支持するために用いられる。上記複数の圧電素子4は、筒状体3の軸方向において、ヒンジ部3c付近に設けられている。なお、ヒンジ部3cと圧電素子4との位置関係は上記に限定されない。
図4は、第1の実施形態における圧電素子の配置を示す振動装置の平面断面図である。
複数の圧電素子4は、筒状体3の周方向に沿い環状に配置されている。複数の圧電素子4はそれぞれ離間して配置されている。複数の圧電素子4はそれぞれ圧電体5を有する。圧電体5の形状は、特に限定されないが、本実施形態では直方体である。図4中の矢印Pは圧電体5の分極方向を示す。各圧電体5は上記周方向に沿い分極されている。より具体的には、複数の圧電体5は上記周方向に周回するように分極されている。
ここで、圧電体5は、筒状体3の第1の端部側及び第2の端部側に位置する、対向し合う第1の主面及び第2の主面を有する。第1の主面上及び第2の主面上には、励振電極がそれぞれ設けられている。これらの励振電極に交流電圧が印加される。本実施形態の圧電素子4は、電圧の印加により滑り変形するシェアモードの圧電素子である。筒状体3の周方向に沿い配置された複数の圧電素子4に交流電圧を印加すると、図1中の矢印Rにより示すように、筒状体3がねじり振動する。
図3に戻り、本実施形態では、複数の圧電素子4は筒状体3のねじり振動のノードの位置に配置されている。
筒状体3の外側面3dは、第1の段差部3f及び第2の段差部3gを有する。第1の段差部3f及び第2の段差部3gは、筒状体3の径方向に沿い延びており、かつ筒状体3の周方向に沿い延びている。第1の段差部3f及び第2の段差部3gは、筒状体3の軸方向において、圧電素子4が配置された部分と第1の端部3aとの間に位置する。第1の段差部3fは第2の段差部3gより圧電素子4側に位置する。
ここで、外側面3dと内側面3eとの距離を筒状体3の肉厚とする。筒状体3の肉厚は、第1の段差部3f及び第2の段差部3gを経て変化している。より具体的には、圧電素子4側から第1の端部3a側に向かい、第1の段差部3fを経て肉厚が薄くなっている。同様に、第1の段差部3f側から第1の端部3a側に向かい、第2の段差部3gを経て肉厚が薄くなっている。このように、筒状体3は、圧電素子4と第1の端部3aとの間において、2段階において肉厚が薄くなっている。なお、筒状体3において段差部が設けられた箇所の数は特に限定されない。あるいは、筒状体3には段差部は設けられていなくともよい。
本実施形態では、筒状体3において、支持部3Aにおける肉厚は、支持部3Aと第2の段差部3gとの間に位置する部分の肉厚より厚い。これにより、透光体2を好適に固定することができる。もっとも、支持部3Aの肉厚は、第2の段差部3gと支持部3Aとの間に位置する部分の肉厚と同じであってもよい。
本実施形態では、外側面3dにおいて、第1の段差部3fに連なっており、かつ第1の端部3a側に延びる部分が、第1の段差部3fに連なっており、かつ圧電素子4側に延びる部分より内側に位置している。同様に、外側面3dにおいて、第2の段差部3gに連なっており、かつ第1の端部3a側に延びる部分が、第2の段差部3gに連なっており、かつ圧電素子4側に延びる部分より内側に位置している。よって、振動装置1を小型にすることができる。
本実施形態の特徴は、振動装置1が、筒状体3をねじり振動させるように筒状体3の周方向に沿い配置された、複数の圧電素子4を有することにある。筒状体3がねじり振動することにより、筒状体3に接合された透光体2が回転する。このとき、透光体2表面に付着した水滴や異物に遠心力が加えられる。このように、上記水滴や異物に、イメージングデバイス10の視野外に向かう力が確実に加えられることとなる。それによって、イメージングデバイス10の視野内における上記水滴や異物を確実に除去することができる。
加えて、本実施形態では、筒状体3が第1の段差部3f及び第2の段差部3gを有することにより、第1の端部3aに向かうほど筒状体3の肉厚が薄くなっている。それによって、第1の端部3aにおけるねじり振動の変位をより一層大きくすることができ、透光体2における周方向の変位をより一層大きくすることができる。よって、透光体2表面に付着した水滴や異物に加えられる遠心力をより一層大きくすることができ、イメージングデバイス10の視野内における上記水滴や異物をより一層確実に除去することができる。
上述したように、筒状体3において段差部が設けられた箇所の数は特に限定されず、例えば、1箇所であってもよい。
図5は、第1の実施形態の第1の変形例に係る振動装置の正面断面図である。
本変形例では、筒状体103の外側面103dに1箇所の段差部103fが設けられている。筒状体103における段差部103fより第1の端部103a側の部分の肉厚は、図3に示す第1の実施形態の筒状体3における第1の段差部3fと第2の段差部3gとの間の部分の肉厚と同じである。
図6は、第1の実施形態の第2の変形例に係る振動装置の正面断面図である。
本変形例では、筒状体113の内側面113eに段差部113fが設けられている。本変形例においては、第1の実施形態及び第1の変形例よりも、圧電素子4は、第2の端部113b側に設けられている。
ここで、第1の実施形態、第1の変形例及び第2の変形例の振動装置におけるねじり振動の変位の評価を行った。筒状体の軸方向に沿う寸法を高さとする。透光体の周方向における変位を、筒状体の第2の端部の周方向における変位により割った値を、増幅比とする。
第1の実施形態の筒状体の条件は以下の通りである。
全体の高さ:15.6mm
第2の端部から圧電素子までの高さ:7.0mm
圧電素子と第1の段差部との間の部分における外径:22.0mm
圧電素子と第1の段差部との間の部分における肉厚:3.0mm
第1の段差部と第2の段差部との間の部分における肉厚:2.0mm
第2の段差部と支持部との間の部分における肉厚:1.0mm
第1の変形例の筒状体の条件は以下の通りである。
全体の高さ:15.6mm
第2の端部から圧電素子までの高さ:7.0mm
圧電素子と段差部との間の部分における外径:22.0mm
圧電素子と段差部との間の部分における肉厚:3.0mm
段差部と第1の端部との間の部分における肉厚:1.0mm
第2の変形例の筒状体の条件は以下の通りである。
全体の高さ:17.6mm
第2の端部から圧電素子までの高さ:4.0mm
圧電素子と段差部との間の部分における外径:22.0mm
圧電素子と段差部との間の部分における肉厚:3.0mm
段差部と第1の端部との間の部分における肉厚:1.0mm
第1の実施形態では、増幅比は1486nm/282nmであった。第1の変形例では、増幅比は960nm/288nmであった。第2の変形例では、増幅比は902nm/460nmであった。このように、第1の実施形態、第1の変形例及び第2の変形例において、筒状体のねじり振動による透光体の変位が拡大していることがわかる。第1の実施形態及び第1の変形例においては、第2の変形例よりも圧電素子が第1の端部側に配置されているため、増幅比を効果的に高めることができている。さらに第1の実施形態においては、第1の端部側に向かうほど筒状体の肉厚が薄くなっているため、増幅比をより一層高めることができている。
なお、図3に示す第1の実施形態においては、第1の段差部3f及び第2の段差部3gを経て筒状体3の肉厚が薄くなっていることにより、筒状体3の肉厚が薄い部分の軸方向に沿う寸法が小さい。従って、第1の実施形態においては、強度の低下を招き難く、かつ増幅比をより一層高めることができる。
図7は、第1の実施形態の第3の変形例に係る振動装置の正面断面図である。
本変形例では、筒状体123が一体で形成されており、複数の圧電素子4が第2の端部123bに配置されている。このように、筒状体123の軸方向における、複数の圧電素子4が配置されている位置は特に限定されない。
もっとも、図3に示す第1の実施形態のように、複数の圧電素子4は、筒状体3のねじり振動のノードの位置に配置されていることが好ましい。それによって、圧電素子4が変形し難く、破損し難い。なお、第1の実施形態においては、ヒンジ部3cが圧電素子4付近に位置しており、ノードの位置付近に設けられているため、振動装置1が外部から支持されている場合においても、ねじり振動は減衰し難い。
図8は、第1の実施形態の第4の変形例に係る振動装置の正面断面図である。
本変形例では、筒状体133の外側面133dは、筒状体133の軸方向に傾斜して延びている第1の傾斜部133f及び第2の傾斜部133gを有する。第1の傾斜部133fは、圧電素子4側から第1の端部133a側に向かい、肉厚が薄くなるように設けられている。第1の傾斜部133fは、圧電素子4側から第1の端部133a側に向かい、かつ筒状体133の内側に向かい延びている。さらに、第1の傾斜部133fは、筒状体133の周方向に沿い延びている。第2の傾斜部133gも同様である。これにより、第1の実施形態と同様に、透光体2における周方向の変位をより一層大きくすることができ、かつ小型にすることができる。
なお、筒状体133において傾斜部が設けられた箇所の数は特に限定されない。傾斜部は、内側面133eに設けられていてもよい。
図9は、第2の実施形態における圧電素子の平面図である。
本実施形態は、圧電素子24がリング状圧電体25を有する点において、第1の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の振動装置は第1の実施形態の振動装置1と同様の構成を有する。
リング状圧電体25は、互いに対向し合う第1の主面25a及び第2の主面25bとを有する。第1の主面25aは筒状体の第1の端部側に位置し、第2の主面25bは筒状体の第2の端部側に位置する。リング状圧電体25は、筒状体の周方向に沿って複数の領域に分割されている。図9中の一点鎖線は複数の領域の境界を示す。本実施形態では、リング状圧電体25は6つの領域に分割されている。リング状圧電体25は、複数の領域において、筒状体の周方向に周回するように分極されている。第1の主面25a上及び第2の主面25b上に、複数の領域を覆うように、それぞれ励振電極26が設けられている。
本実施形態においても、圧電素子24の励振電極26に交流電圧を印加することにより、筒状体がねじり振動する。従って、第1の実施形態と同様に、イメージングデバイスの視野内における、透光体表面に付着した水滴や異物をより一層確実に除去することができる。
図10(a)〜図10(c)は、第2の実施形態におけるリング状圧電体の製造方法を説明するための斜視図である。図11は、第2の実施形態におけるリング状圧電体の製造方法を説明するための模式的正面断面図である。なお、図10(a)〜図10(c)及び図11中の符号は、後述する分極用電極に印加する電場の符号を示す。
図10(a)に示すように、対向し合う第1の主面27a及び第2の主面27bを有するリング状圧電体27を用意する。次に、リング状圧電体27の第1の主面27a上に、複数の分極用電極28をリング状圧電体27の周方向において均等に設ける。同様に、第2の主面27b上に、第1の主面27a上の分極用電極28と対向するように、複数の分極用電極28を設ける。これにより、リング状圧電体27を複数の領域に分割する。
次に、リング状圧電体27の互いに最も離れた1対の領域において、分極用電極28を用いて同時に分極処理を行う。図11に示すように、リング状圧電体27の厚み方向に対向し合う分極用電極28を同符号とし、上記領域の周方向に電場を印加する。
次に図10(b)に示すように、図10(a)に示した工程において分極した領域とは異なる、最も離れた1対の領域において分極処理を行う。次に、図10(c)に示すように、図10(a)及び図10(b)に示した工程において分極した領域とは異なる、最も離れた1対の領域において分極処理を行う。これにより、図9に示したリング状圧電体25を得ることができる。
リング状圧電体25の製造に際し、1対の領域において同時に分極処理を行うことが好ましい。それによって、分極処理の総回数を削減することができ、生産性を高めることができる。
互いに最も離れた1対の領域において同時に分極処理を行うことがより好ましい。同時に分極処理を行っている領域同士が近い場合、同時に分極処理を行っている領域の間に挟まれた領域において、逆方向に分極するおそれがある。互いに最も離れた1対の領域において同時に分極処理を行うことにより、該1対の領域の間に挟まれた領域において、逆方向に分極することを抑制することができる。
図10(a)〜図10(c)に示すリング状圧電体27を6つ以上の領域に分割することが好ましい。それによって、同時に分極処理を行っている領域の間の距離を効果的に長くすることができる。従って、同時に分極処理を行っている領域の間に挟まれた領域において、逆方向に分極することをより一層確実に抑制することができる。
図12は、第3の実施形態に係る振動装置の正面断面図である。
本実施形態は、圧電素子4とは別の圧電素子である圧電振動体34を有する点において、第1の実施形態と異なる。上記の点以外においては、第3の実施形態の振動装置は第1の実施形態の振動装置1と同様の構成を有する。
圧電振動体34はリング状圧電体35を有する。リング状圧電体35は、筒状体3の軸方向に平行に分極されている。リング状圧電体35は、筒状体3の第1の端部3a側に位置する第1の主面と、筒状体3の第2の端部3b側に位置する第2の主面とを有する。図示しないが、第1の主面上及び第2の主面上には、それぞれ励振電極が設けられている。
圧電振動体34の励振電極に交流電圧を印加することにより、筒状体3を径方向に振動させる振動モードである呼吸振動が励振される。筒状体3が呼吸振動することにより、透光体2が屈曲振動する。このように、振動モードが変換される。なお、圧電振動体34は、励振電極に交流電圧を印加することにより、筒状体3を軸方向に振動させる振動モードである縦振動が励振される圧電振動体であってもよい。筒状体3が縦振動する場合においても、透光体2は屈曲振動する。
上記のように円盤状の透光体2が振動する場合、この振動モードは、(m,n)モードで表すことができる。ここで、m及びnは整数である。mは円盤の径方向に存在する振動のノードの数であり、nは円盤の周方向において、存在するノードの数である。図13(a)は、(0,0)モードの振動を示し、図13(b)は、(1,0)モードを示し、図13(c)は、(0,1)モードを示し、図13(d)は、(0,2)モードを示す。
図13(a)〜図13(d)において、ハッチングを付した点B1、B2、B3、B4及びB5〜B8は、最大変位点を示す。また、図13(b)〜図13(d)において、斜線のハッチングをした領域と、白抜きの部分とは、逆相で変動している部分を示す。従って、図13(b)において、円C1が、振動のノードであり、この円C1が、径方向に存在する唯一のノードであり、周方向にはノードが存在しない。従って、図13(b)の振動モードは、(1,0)モードで表され得る。
透光体2の被写体側の面に水滴が付着した場合、上記透光体2を(0,0)モードや、(1,0)モードで振動させる。そうすると、最大変位点付近において大きな変位が生じ、付着していた水滴を霧化させることができる。
図12に示すように、本実施形態では、圧電素子4及び圧電振動体34を有する。圧電素子4によるねじり振動と、圧電振動体34による振動モードとを切り替えることにより、イメージングデバイスの視野内における水滴や異物をより一層確実に除去することができる。
より具体的には、圧電素子4によるねじり振動により、透光体2における外側に水滴や異物を移動させ、さらに、圧電振動体34による振動モードにより移動した水滴や異物を除去することができる。
本実施形態においては、透光体2における外側に移動した水滴や異物をもより一層確実に除去することができる。よって、本実施形態は視野が広いイメージングデバイスに特に好適である。
1…振動装置
2…透光体
3…筒状体
3A…支持部
3a,3b…第1,第2の端部
3c…ヒンジ部
3d…外側面
3e…内側面
3f,3g…第1,第2の段差部
3X,3Y…第1,第2の筒状体部
4…圧電素子
5…圧電体
9…撮像素子
10…イメージングデバイス
24…圧電素子
25…リング状圧電体
25a,25b…第1,第2の主面
26…励振電極
27…リング状圧電体
27a,27b…第1,第2の主面
28…分極用電極
34…圧電振動体
35…リング状圧電体
103…筒状体
103a…第1の端部
103d…外側面
103f…段差部
113…筒状体
113b…第2の端部
113e…内側面
113f…段差部
123…筒状体
123b…第2の端部
133…筒状体
133a…第1の端部
133d…外側面
133e…内側面
133f,133g…第1,第2の傾斜部

Claims (11)

  1. 撮像素子の被写体側に配置される透光体と、
    第1の端部と、前記第1の端部とは反対側の第2の端部と、前記第1の端部及び前記第2の端部を接続している外側面及び内側面と、を有し、前記第1の端部側において、前記透光体を保持するように、前記透光体に連結されている筒状体と、
    前記筒状体をねじり振動させるように、前記筒状体の周方向に沿って配置されている圧電素子と、
    を備える、振動装置。
  2. 前記筒状体の前記第1の端部と前記第2の端部とを結ぶ方向における、前記圧電素子が配置された部分と前記第1の端部との間に位置する部分において、前記外側面及び前記内側面のうち少なくとも一方が段差部を有し、
    前記外側面と前記内側面との距離を前記筒状体の肉厚としたときに、前記圧電素子側から前記第1の端部側に向かい、前記段差部を経て前記肉厚が薄くなっている、請求項1に記載の振動装置。
  3. 前記筒状体の前記外側面が前記段差部を有し、
    前記外側面において、前記段差部に連なっており、かつ前記第1の端部側に延びる部分が、前記段差部に連なっており、かつ前記圧電素子側に延びる部分より内側に位置している、請求項2に記載の振動装置。
  4. 前記筒状体の前記第1の端部と前記第2の端部とを結ぶ方向における、前記圧電素子が配置された部分と前記第1の端部との間に位置する部分において、前記外側面及び前記内側面のうち少なくとも一方が、前記筒状体の前記第1の端部と前記第2の端部とを結ぶ方向に傾斜して延びている傾斜部を有し、
    前記外側面と前記内側面との距離を前記筒状体の肉厚としたときに、前記圧電素子側から前記第1の端部側に向かい、前記肉厚が薄くなるように前記傾斜部が設けられている、請求項1に記載の振動装置。
  5. 前記筒状体の前記外側面が前記傾斜部を有し、
    前記傾斜部が、前記圧電素子側から前記第1の端部側に向かい、かつ前記筒状体の内側に向かい延びている、請求項4に記載の振動装置。
  6. 前記圧電素子が、前記筒状体の前記第1の端部と前記第2の端部との間に配置されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の振動装置。
  7. 前記圧電素子が、前記筒状体のねじり振動のノードの位置に配置されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の振動装置。
  8. 前記圧電素子が複数設けられており、
    前記複数の圧電素子が、前記筒状体の周方向に沿い環状に、かつ互いに離間して配置されており、
    前記複数の圧電素子がそれぞれ圧電体を有し、前記複数の圧電体が前記筒状体の周方向に周回するように分極されている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の振動装置。
  9. 前記圧電素子がリング状圧電体を有し、
    前記リング状圧電体が、前記筒状体の前記第1の端部側に位置する第1の主面と、前記筒状体の前記第2の端部側に位置する第2の主面と、を有し、
    前記リング状圧電体が、前記筒状体の周方向に沿って複数の領域に分割されており、かつ前記複数の領域において、前記筒状体の周方向に周回するように分極されており、
    前記第1の主面上及び前記第2の主面上に、前記複数の領域を覆うように、それぞれ励振電極が設けられている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の振動装置。
  10. 前記リング状圧電体が、6つ以上の前記領域に分割されている、請求項9に記載の振動装置。
  11. 前記圧電素子とは別の圧電素子である圧電振動体をさらに備え、
    前記圧電振動体が、前記筒状体を前記内側面と前記外側面とを結ぶ方向に振動させる振動モード及び前記筒状体を前記第1の端部及び前記第2の端部とを結ぶ方向に振動させる振動モードのうち一方の振動モードを有する、請求項1〜10のいずれか1項に記載の振動装置。
JP2019515086A 2017-04-28 2017-12-11 振動装置 Active JP6610836B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017089410 2017-04-28
JP2017089410 2017-04-28
PCT/JP2017/044348 WO2018198417A1 (ja) 2017-04-28 2017-12-11 振動装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6610836B2 JP6610836B2 (ja) 2019-11-27
JPWO2018198417A1 true JPWO2018198417A1 (ja) 2019-12-12

Family

ID=63919574

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019515086A Active JP6610836B2 (ja) 2017-04-28 2017-12-11 振動装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11504742B2 (ja)
EP (1) EP3617796B1 (ja)
JP (1) JP6610836B2 (ja)
CN (1) CN110573960B (ja)
WO (1) WO2018198417A1 (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018100796A1 (ja) * 2016-11-30 2018-06-07 株式会社村田製作所 振動装置、カメラ用水滴除去装置及びカメラ
EP3668079B1 (en) * 2017-12-27 2022-09-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibratory device and optical detection device
WO2020003572A1 (ja) * 2018-06-28 2020-01-02 株式会社村田製作所 振動装置及び光学検出装置
TWI686226B (zh) * 2018-11-22 2020-03-01 國立臺灣大學 超音波細胞刺激裝置
JP6819845B1 (ja) * 2019-11-22 2021-01-27 株式会社村田製作所 振動装置、および振動装置を備える撮像ユニット
JP6819844B1 (ja) * 2019-11-22 2021-01-27 株式会社村田製作所 振動装置、および振動装置を備える撮像ユニット
JP6819846B1 (ja) * 2019-11-22 2021-01-27 株式会社村田製作所 振動装置、および振動装置を備える撮像ユニット
WO2021111668A1 (ja) * 2019-12-06 2021-06-10 株式会社村田製作所 振動装置及び撮像装置
WO2021192387A1 (ja) * 2020-03-27 2021-09-30 株式会社村田製作所 振動装置及び振動制御方法
WO2023095366A1 (ja) * 2021-11-26 2023-06-01 株式会社村田製作所 振動装置および撮像装置

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006333679A (ja) * 2005-05-30 2006-12-07 Nikon Corp 振動波モータ
JP2007189802A (ja) * 2006-01-12 2007-07-26 Canon Inc 振動波駆動装置及び振動波駆動機器
JP2010181584A (ja) * 2009-02-05 2010-08-19 Olympus Imaging Corp レンズ鏡筒、カメラ、およびカメラシステム
JP2013080177A (ja) * 2011-10-05 2013-05-02 Aisin Seiki Co Ltd 水滴除去機能付カメラ
US20140036084A1 (en) * 2011-04-18 2014-02-06 Magna Electronics, Inc. Vehicular camera with variable focus capability
WO2017022382A1 (ja) * 2015-08-04 2017-02-09 株式会社村田製作所 振動装置及びカメラ
JP2017085276A (ja) * 2015-10-26 2017-05-18 オリンパス株式会社 液滴排除装置と、液滴排除装置を有する画像装置、及び液滴排除装置の制御方法、液滴排除装置の制御プログラム
WO2017110563A1 (ja) * 2015-12-24 2017-06-29 株式会社村田製作所 振動装置及びその駆動方法並びにカメラ
JP2017170303A (ja) * 2016-03-22 2017-09-28 オリンパス株式会社 液滴排除装置と、液滴排除装置を有する画像装置及び上記液滴排除装置の制御方法と上記液滴排除装置の制御プログラム

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7324149B2 (en) 2002-05-20 2008-01-29 Olympus Optical Co., Ltd. Camera and image pick-up device unit having an optical member that is vibrated to remove dust
JP2004064554A (ja) * 2002-07-30 2004-02-26 Olympus Corp カメラ及びこれに用いる撮像素子ユニット
EP1739762B1 (en) 2005-05-26 2010-11-24 Nikon Corporation Vibrational Actuator and Method for Driving Vibrational Actuator
EP2284984B1 (en) * 2008-05-27 2016-01-06 Murata Manufacturing Co. Ltd. Ultrasonic motor
JP4790056B2 (ja) * 2009-03-11 2011-10-12 オリンパスイメージング株式会社 振動装置及びそれを用いた画像機器
JP5439272B2 (ja) * 2010-04-26 2014-03-12 オリンパスイメージング株式会社 振動装置及びそれを用いた画像機器
JP5675265B2 (ja) * 2010-10-20 2015-02-25 オリンパスイメージング株式会社 振動装置及びそれを用いた画像機器
WO2012129521A1 (en) * 2011-03-23 2012-09-27 Gentex Corporation Lens cleaning apparatus
JP5965681B2 (ja) * 2012-03-09 2016-08-10 オリンパス株式会社 振動装置及びそれを用いた画像機器
CN103376612B (zh) * 2012-04-18 2015-12-02 华晶科技股份有限公司 除尘系统、摄像装置及其振动除尘方法
US9436005B2 (en) * 2012-08-02 2016-09-06 Gentex Corporation Amplified piezoelectric camera lens cleaner
DE112016005987B4 (de) * 2015-12-25 2023-02-16 Murata Manufacturing Co., Ltd. Schwingungsvorrichtung und Kamera
WO2018100796A1 (ja) * 2016-11-30 2018-06-07 株式会社村田製作所 振動装置、カメラ用水滴除去装置及びカメラ
CN109644226B (zh) * 2016-11-30 2020-08-21 株式会社村田制作所 振动装置、摄像机用水滴去除装置以及摄像机
US10838199B2 (en) * 2016-12-30 2020-11-17 Texas Instruments Incorporated Ultrasound lens structure cleaner architecture and method using standing and traveling waves
JP7070497B2 (ja) * 2019-04-25 2022-05-18 株式会社村田製作所 振動装置及び光学検出装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006333679A (ja) * 2005-05-30 2006-12-07 Nikon Corp 振動波モータ
JP2007189802A (ja) * 2006-01-12 2007-07-26 Canon Inc 振動波駆動装置及び振動波駆動機器
JP2010181584A (ja) * 2009-02-05 2010-08-19 Olympus Imaging Corp レンズ鏡筒、カメラ、およびカメラシステム
US20140036084A1 (en) * 2011-04-18 2014-02-06 Magna Electronics, Inc. Vehicular camera with variable focus capability
JP2013080177A (ja) * 2011-10-05 2013-05-02 Aisin Seiki Co Ltd 水滴除去機能付カメラ
WO2017022382A1 (ja) * 2015-08-04 2017-02-09 株式会社村田製作所 振動装置及びカメラ
JP2017085276A (ja) * 2015-10-26 2017-05-18 オリンパス株式会社 液滴排除装置と、液滴排除装置を有する画像装置、及び液滴排除装置の制御方法、液滴排除装置の制御プログラム
WO2017110563A1 (ja) * 2015-12-24 2017-06-29 株式会社村田製作所 振動装置及びその駆動方法並びにカメラ
JP2017170303A (ja) * 2016-03-22 2017-09-28 オリンパス株式会社 液滴排除装置と、液滴排除装置を有する画像装置及び上記液滴排除装置の制御方法と上記液滴排除装置の制御プログラム

Also Published As

Publication number Publication date
EP3617796A4 (en) 2021-01-06
CN110573960B (zh) 2022-02-01
EP3617796A1 (en) 2020-03-04
CN110573960A (zh) 2019-12-13
US20200038914A1 (en) 2020-02-06
US11504742B2 (en) 2022-11-22
WO2018198417A1 (ja) 2018-11-01
JP6610836B2 (ja) 2019-11-27
EP3617796B1 (en) 2023-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6610836B2 (ja) 振動装置
CN108474998B (zh) 振动装置及其驱动方法、以及摄像头
JP6977785B2 (ja) 振動装置及び光学検出装置
JP6819844B1 (ja) 振動装置、および振動装置を備える撮像ユニット
CN111842345B (zh) 振动装置以及光学检测装置
JPWO2020003573A1 (ja) 振動装置及び光学検出装置
CN112004614B (zh) 振动装置
CN112004613B (zh) 振动装置和光学检测装置
WO2021100228A1 (ja) 振動装置、および振動装置を備える撮像ユニット
JP6819845B1 (ja) 振動装置、および振動装置を備える撮像ユニット
JP6819846B1 (ja) 振動装置、および振動装置を備える撮像ユニット
JP6420359B2 (ja) 内視鏡装置
JP7099633B2 (ja) 振動装置
CN112703063B (zh) 振动装置和光学检测装置
JP7099632B2 (ja) 振動装置
WO2023100399A1 (ja) 光学モジュールおよび光学装置
WO2024084728A1 (ja) 光学装置、および光学装置を備える撮像ユニット
WO2020137262A1 (ja) 振動装置及び光学検出装置
WO2023210101A1 (ja) 光学装置、および光学装置を備える撮像ユニット
WO2021220553A1 (ja) 振動装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190705

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20190705

TRDD Decision of grant or rejection written
A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20190919

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20191001

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20191014

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6610836

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150