WO2021111668A1 - 振動装置及び撮像装置 - Google Patents

振動装置及び撮像装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2021111668A1
WO2021111668A1 PCT/JP2020/024948 JP2020024948W WO2021111668A1 WO 2021111668 A1 WO2021111668 A1 WO 2021111668A1 JP 2020024948 W JP2020024948 W JP 2020024948W WO 2021111668 A1 WO2021111668 A1 WO 2021111668A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
piezoelectric element
feeding conductor
vibrating
elastic portions
elastic
Prior art date
Application number
PCT/JP2020/024948
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
北森　宣匡
Original Assignee
株式会社村田製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社村田製作所 filed Critical 株式会社村田製作所
Priority to JP2021521540A priority Critical patent/JP7115638B2/ja
Publication of WO2021111668A1 publication Critical patent/WO2021111668A1/ja
Priority to US17/356,567 priority patent/US20210320241A1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B11/00—Filters or other obturators specially adapted for photographic purposes
    • G03B11/04—Hoods or caps for eliminating unwanted light from lenses, viewfinders or focusing aids
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/206—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using only longitudinal or thickness displacement, e.g. d33 or d31 type devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B2205/00—Adjustment of optical system relative to image or object surface other than for focusing
    • G03B2205/0053—Driving means for the movement of one or more optical element
    • G03B2205/0061—Driving means for the movement of one or more optical element using piezoelectric actuators

Definitions

  • the present invention relates to a vibration device and an imaging device that remove droplets and the like by vibration.
  • Patent Document 1 discloses a piezoelectric composite device in which a piezoelectric bimorph type actuator and a force detection sensor are combined.
  • a lead wire is soldered to an electrode for feeding a piezoelectric element.
  • Patent Document 1 still has room for improvement from the viewpoint of improving the reliability of the connection between the piezoelectric element and the feeding conductor.
  • the vibrating device is With a translucent cover, A piezoelectric element that vibrates the translucent cover and With one or more vibrating bodies connected to the piezoelectric element, One or more feeding conductors that come into contact with the piezoelectric element and feed the piezoelectric element. One or more elastic parts that press the one or more feeding conductors against the piezoelectric element, and To be equipped.
  • the imaging device of one aspect of the present invention is The vibrating device of the above aspect and An image sensor arranged in the vibrating device and To be equipped.
  • the piezoelectric element and the feeding conductor are connected by soldering a feeding conductor, which is a lead wire, to the feeding electrode of the piezoelectric element.
  • the device described in Patent Document 1 vibrates the piezoelectric element by supplying power to the piezoelectric element via a feeding conductor.
  • the piezoelectric element and the feeding conductor are connected by soldering, stress may be applied to the connecting portion between the piezoelectric element and the feeding conductor due to the vibration of the piezoelectric element, and the connecting portion may be broken.
  • the adhesive contains a conductive material such as a conductive filler in order to ensure conductivity.
  • the conductive material does not have adhesiveness. Therefore, it is difficult to improve the reliability of the connection between the piezoelectric element and the feeding conductor by bonding with a conductive adhesive.
  • the present inventors have found a configuration in which the feeding conductor is pressed against the piezoelectric element by an elastic portion and the feeding conductor and the piezoelectric element are electrically connected. It led to the invention.
  • the vibrating device is With a translucent cover, A piezoelectric element that vibrates the translucent cover and With one or more vibrating bodies connected to the piezoelectric element, One or more feeding conductors that come into contact with the piezoelectric element and feed the piezoelectric element. One or more elastic parts that press the one or more feeding conductors against the piezoelectric element, and To be equipped.
  • the one or more elastic portions are portions formed by bending the one or more feeding conductors, and may have a leaf spring shape in which the one or more feeding conductors are curved.
  • the feeding conductor can be pressed against the piezoelectric element, and the reliability of the connection between the piezoelectric element and the feeding conductor can be improved.
  • the contact region between the one or more feeding conductors and the piezoelectric element may be smaller than the connection region between the one or more vibrating bodies and the piezoelectric element.
  • the piezoelectric element has a first surface and a second surface opposite to the first surface.
  • the vibrating body is connected to the translucent body cover and the first surface of the piezoelectric element.
  • the feeding conductor comes into contact with the first surface of the piezoelectric element.
  • the one or more elastic portions press the feeding conductor against the first surface of the piezoelectric element.
  • the proportion of the connection region on the first surface of the piezoelectric element may be 70% or more, and the proportion of the contact region may be 30% or less.
  • the piezoelectric element has one or more electrodes and has one or more electrodes.
  • the one or more vibrating bodies are provided with one or more grooves that expose the one or more electrodes.
  • the one or more elastic portions may be arranged in the one or more grooves.
  • the feeding conductor can be easily pressed against the piezoelectric element, and the reliability of the connection between the piezoelectric element and the feeding conductor can be improved.
  • the one or more feeding conductors have an annular portion and have an annular portion.
  • the plurality of elastic portions may be arranged at equal intervals in the annular portion.
  • the feeding conductor can be brought into contact with the piezoelectric element in a well-balanced manner, and the reliability of the connection between the piezoelectric element and the feeding conductor can be further improved.
  • the piezoelectric element has a first surface and a second surface opposite to the first surface.
  • the plurality of feeding conductors include a first feeding conductor in contact with the first surface and a second feeding conductor in contact with the second surface.
  • the plurality of elastic portions include one or a plurality of first elastic portions that press the first feeding conductor against the first surface, and one or a plurality of first elastic portions that press the second feeding conductor against the second surface. It may have at least one of the two elastic portions.
  • the piezoelectric element is formed in an annular shape.
  • the plurality of vibrating bodies include a first vibrating body connected to the first surface of the bottom surface of the translucent body cover and the piezoelectric element, and a second vibrating body connected to the second surface of the piezoelectric element. And have The second feeding conductor may be in contact with the piezoelectric element on the inner peripheral side of the piezoelectric element with respect to the first feeding conductor.
  • the contact region between the first feeding conductor and the piezoelectric element is smaller than the connection region between the first vibrating body and the piezoelectric element.
  • the contact region between the second feeding conductor and the piezoelectric element may be smaller than the connection region between the second vibrating body and the piezoelectric element.
  • the piezoelectric element has a first electrode provided on the first surface and a second electrode provided on the second surface.
  • the first vibrating body is provided with one or a plurality of first grooves for exposing the first electrode.
  • the second vibrating body is provided with one or more second grooves for exposing the second electrode.
  • the one or more first elastic portions are arranged in the one or more first grooves.
  • the one or more second elastic portions may be arranged in the one or more second grooves.
  • the first feeding conductor has one or a plurality of first support portions extending in a direction intersecting the thickness direction of the piezoelectric element, and the one or a plurality of first elastic portions and the one or a plurality of first elastic portions. 1
  • the piezoelectric element may be held between the support portion and the support portion.
  • the piezoelectric element can be sandwiched by the first feeding conductor, and the reliability of the connection between the piezoelectric element and the first feeding conductor can be further improved.
  • the second feeding conductor has one or more second support portions extending in a direction intersecting the thickness direction of the piezoelectric element, and the one or more second elastic portions and the one or more second elastic portions. 2
  • the piezoelectric element may be held between the support portion and the support portion.
  • the piezoelectric element can be sandwiched by the second feeding conductor, and the reliability of the connection between the piezoelectric element and the second feeding conductor can be further improved.
  • the plurality of second elastic portions may be arranged between the plurality of first elastic portions.
  • the one or more first elastic portions and the one or more second elastic portions may be arranged so as to face each other in the thickness direction of the piezoelectric element.
  • the piezoelectric element can be sandwiched between the first elastic portion and the second elastic portion, and the reliability of the connection between the piezoelectric element and the second feeding conductor can be further improved.
  • the one or more vibrating bodies are made of metal and The one or more vibrating bodies may be covered with an insulating material.
  • the imaging device of one aspect of the present invention is The vibrating device of the above aspect and An image sensor arranged in the vibrating device and To be equipped.
  • FIG. 1 is a schematic view showing the configuration of an example of the vibration device 1A according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view showing an example of the vibration device 1A according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a partially enlarged view of an example of the vibration device 1A according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a schematic view of an example of the feeding conductor 6 according to the first embodiment of the present invention as viewed from below.
  • the X, Y, and Z directions in the figure indicate the vertical direction, the horizontal direction, and the height direction of the vibrating device 1A, respectively.
  • the vibrating device 1A includes a translucent body cover 2, a piezoelectric element 3, a plurality of vibrating bodies 4 and 5, and a feeding conductor 6.
  • a plurality of elastic portions 7 are provided on the feeding conductor 6.
  • the plurality of vibrating bodies 4 and 5 include a first vibrating body 4 and a second vibrating body 5.
  • the power feeding conductor 6 is provided with two elastic portions 7.
  • the vibrating device 1A may include a power supply circuit that supplies electric power to the power supply conductor 6 and a control unit that controls the power supply circuit.
  • the vibrating device 1A vibrates the translucent body cover 2 to atomize and remove droplets and the like adhering to the translucent body cover 2. Further, the vibrating device 1A moves the foreign matter and the like adhering to the translucent body cover 2 by vibrating the translucent body cover 2. For example, the vibrating device 1A removes droplets and / or foreign matter adhering to the translucent body cover 2 from the field of view of the image pickup device arranged in the internal space.
  • the foreign matter includes, for example, sand, stones and / or dust.
  • the internal space is formed by a translucent body cover 2, a piezoelectric element 3, a plurality of vibrating bodies 4 and 5, and a feeding conductor 6.
  • An optical detection element such as an image sensor is arranged in this internal space.
  • the internal space is not limited to a closed space. A space that is partially open to the outside is also an internal space.
  • the translucent body cover 2 forms the exterior of the vibrating device 1A.
  • the translucent body cover 2 has a translucent property through which energy rays or light having a wavelength detected by an optical detection element such as an image pickup element are transmitted.
  • translucent plastic for example, translucent plastic, glass such as quartz or borosilicate, or translucent ceramic can be used.
  • the translucent body cover 2 has a dome-shaped shape.
  • the shape of the translucent body cover 2 in a plan view is circular.
  • the translucent body cover 2 is connected to the first vibrating body 4.
  • the translucent body cover 2 has a bottom surface 2a.
  • the bottom surface 2a is connected to the upper surface of the first vibrating body 4.
  • the shape of the translucent body cover 2 is not limited to this.
  • the translucent body cover 2 may have a flat plate shape.
  • the shape of the translucent body cover 2 in a plan view may be, for example, a polygon, an ellipse, or a triangle. In the present specification, the plan view means the direction viewed from the Z direction.
  • the piezoelectric element 3 vibrates the translucent body cover 2.
  • the piezoelectric element 3 is connected to a plurality of vibrating bodies 4 and 5. Further, the piezoelectric element 3 is connected to the feeding conductor 6.
  • the piezoelectric element 3 is connected to the feeding conductor 6 via a plurality of elastic portions 7. The piezoelectric element 3 vibrates when power is supplied from the power feeding conductor 6.
  • the piezoelectric element 3 has a first surface PS1 and a second surface PS2 on the opposite side of the first surface PS1. Specifically, the piezoelectric element 3 is formed in a plate shape, and the first surface PS1 and the second surface PS2 face each other in the Z direction.
  • the first vibrating body 4 is arranged on the first surface PS1 side of the piezoelectric element 3.
  • the second vibrating body 5 is arranged on the second surface PS2 side of the piezoelectric element 3.
  • the piezoelectric element 3 has a piezoelectric body 3a and an electrode 3b provided on the first surface PS1 side.
  • the material for forming the piezoelectric body 3a for example, an appropriate piezoelectric ceramic such as PZT, (K, Na) NbO 3 , or an appropriate piezoelectric single crystal such as LiTaO 3 or LiNbO 3 can be used.
  • the piezoelectric body 3a is formed in an annular shape, for example. The shape of the piezoelectric body 3a is not limited to this.
  • the electrode 3b is formed in an annular shape, for example.
  • the electrode 3b is provided on the outer peripheral side of the first surface PS1 of the piezoelectric element 3.
  • the electrode 3b may be, for example, a Ni electrode.
  • the electrode 3b may be an electrode made of a metal thin film such as Ag or Au, which is formed by a sputtering method.
  • the electrode 3b is connected to the feeding conductor 6.
  • the electrode can be formed by plating or thin film deposition as well as sputtering.
  • the plurality of vibrating bodies 4 and 5 are connected to the piezoelectric element 3 and amplify the vibration of the piezoelectric element 3.
  • the first vibrating body 4 is arranged between the translucent body cover 2 and the piezoelectric element 3.
  • the second vibrating body 5 is arranged on the second surface PS2 side of the piezoelectric element 3.
  • the first vibrating body 4 is connected to the bottom surface 2a of the translucent body cover 2 and the first surface PS1 of the piezoelectric element 3. Specifically, the first vibrating body 4 is connected to the first surface PS1 of the piezoelectric element 3 via the connection region 9a. For example, the first vibrating body 4 is adhered by an adhesive applied to the connection region 9a.
  • the first vibrating body 4 is formed in a cylindrical shape.
  • the first vibrating body 4 has a cylindrical shape extending in the Z direction.
  • the first vibrating body 4 is a tubular body 4a, a top plate 4b projecting from the upper surface side of the tubular body 4a toward the center side of the tubular body 4a, and a tubular body 4a. It has a flange portion 4c that projects toward the outer peripheral side on the lower surface side.
  • the top plate 4b is made of an annular plate material. Further, a groove 8 on which the power feeding conductor 6 is arranged is provided on the lower surface of the top plate 4b.
  • the groove 8 is formed by being recessed in an annular shape. Specifically, the groove 8 is formed by being recessed in the thickness direction (Z direction) of the top plate 4b. The depth of the groove 8 is larger than the thickness of the feeding conductor 6.
  • the groove 8 exposes a part of the first surface PS1 of the piezoelectric element 3.
  • the groove 8 exposes the electrode 3b provided on the first surface PS1 side of the piezoelectric element 3 from the first vibrating body 4.
  • the second vibrating body 5 is connected to the second surface PS2 of the piezoelectric element 3. Specifically, the second vibrating body 5 is connected to the second surface PS2 of the piezoelectric element 3 via the connection region 9b. For example, the second vibrating body 5 is adhered by an adhesive applied to the connection region 9b.
  • the second vibrating body 5 is formed in a cylindrical shape. Specifically, the outer diameter of the second vibrating body 5 is smaller than the inner diameter of the tubular body 4a of the first vibrating body 4. The second vibrating body 5 is arranged inside the first vibrating body 4.
  • the material forming the first vibrating body 4 and the second vibrating body 5 is, for example, metal, glass, or ceramic.
  • the first vibrating body 4 and the second vibrating body 5 are made of metal. Further, the first vibrating body 4 and the second vibrating body 5 are covered with an insulating material.
  • the power feeding conductor 6 contacts the piezoelectric element 3 and supplies power to the piezoelectric element 3.
  • the feeding conductor 6 comes into contact with the first surface PS1 side of the piezoelectric element 3.
  • the power feeding conductor 6 has an annular portion 6a and a plurality of guides 6b.
  • the annular portion 6a is formed in an annular shape. Further, the annular portion 6a is formed of a plate-shaped member. The annular portion 6a is arranged in the groove 8 of the first vibrating body 4.
  • the plurality of guides 6b are plate-shaped members extending from the annular portion 6a.
  • the plurality of guides 6b extend in the Z direction along the inner circumference of the tubular body 4a of the first vibrating body 4 and extend toward the outer peripheral side of the first vibrating body 4. In other words, the plurality of guides 6b extend along the inner circumference of the tubular body 4a of the first vibrating body 4 and bend toward the flange portion 4c on the lower surface of the tubular body 4a.
  • two guides 6b are provided on the annular portion 6a.
  • the two guides 6b are provided in the annular portion 6a so as to face each other in the X direction.
  • the power feeding conductor 6 is made of a conductive material.
  • the material forming the feeding conductor 6 is, for example, a metal such as stainless steel, beryllium copper, nickel silver, or copper.
  • the surface of the insulating material may be provided with conductivity such as metal plating.
  • the power feeding conductor 6 is connected to, for example, a power feeding circuit.
  • the power supply circuit supplies power to the power supply conductor.
  • the power feeding circuit is composed of, for example, a semiconductor element.
  • the power supply circuit is controlled by, for example, a control unit.
  • the control unit includes, for example, a memory for storing a program and a processing circuit corresponding to a processor such as a CPU (Central Processing Unit). For example, in the control unit, the processor executes a program stored in the memory.
  • a CPU Central Processing Unit
  • the plurality of elastic portions 7 press the feeding conductor 6 against the piezoelectric element 3. Specifically, the plurality of elastic portions 7 press the feeding conductor 6 against the electrode 3b provided on the first surface PS1 of the piezoelectric element 3.
  • Pressing the feeding conductor 6 against the piezoelectric element 3 includes forming a part of the feeding conductor 6 as an elastic portion 7 and bringing the elastic portion 7 into contact with the piezoelectric element 3. Further, in “pressing the feeding conductor 6 against the piezoelectric element 3", the elastic portion 7 is formed separately from the feeding conductor 6, and the elastic portion 7 presses the feeding conductor 6 against the piezoelectric element 3 to bring them into contact with each other. That includes.
  • the plurality of elastic portions 7 are formed by a part of the feeding conductor 6.
  • the plurality of elastic portions 7 electrically connect the feeding conductor 6 and the electrode 3b of the piezoelectric element 3 by contacting the electrode 3b of the piezoelectric element 3 while applying a force.
  • the elastic portion 7 is a portion formed by bending the feeding conductor 6, and has a leaf spring shape in which the feeding conductor 6 is curved. Specifically, the elastic portion 7 is formed by bending a plate-shaped member projecting from the annular portion 6a of the feeding conductor 6 toward the center side in a U shape.
  • the elastic portion 7 is formed of, for example, a plate-shaped member having a thickness of 0.2 mm.
  • the elastic portion 7 is made of the same material as the feeding conductor 6.
  • the material forming the elastic portion 7 is, for example, a metal such as stainless steel, beryllium copper, nickel silver, or copper. Alternatively, the metal may be exposed only at the connection portion.
  • the elastic portion 7 includes a first plate-shaped portion 7a, a second plate-shaped portion 7b facing the first plate-shaped portion 7a at a distance, a first plate-shaped portion 7a, and a second plate.
  • a curved portion 7c that connects the shaped portion 7b is provided.
  • the first plate-shaped portion 7a extends in the Y direction.
  • the second plate-shaped portion 7b opposes the first plate-shaped portion 7a with a gap in the Z direction and extends in the Y direction. Further, the second plate-shaped portion 7b is in contact with the electrode 3b of the piezoelectric element 3.
  • the curved portion 7c is formed by bending a plate-shaped member.
  • the curved portion 7c is formed by bending a plate-shaped member in a U shape in the Y direction. One end of the curved portion 7c is connected to the first plate-shaped portion 7a. The other end of the curved portion 7c is connected to the second plate-shaped portion 7b.
  • the first plate-shaped portion 7a is supported by the concave surface of the groove 8 of the first vibrating body 4.
  • the second plate-shaped portion 7b comes into contact with the electrode 3b of the piezoelectric element 3.
  • the curved portion 7c presses the second plate-shaped portion 7b against the electrode 3b of the piezoelectric element 3.
  • the curved portion 7c applies a force to the second plate-shaped portion 7b in the height direction (Z direction) of the vibrating device 1A in a direction away from the first plate-shaped portion 7a.
  • the curved portion 7c can apply a force in the direction of widening the distance between the first plate-shaped portion 7a and the second plate-shaped portion 7b.
  • the second plate-shaped portion 7b is pressed against the electrode 3b of the piezoelectric element 3.
  • the elastic portion 7 is formed of a part of the feeding conductor 6, and presses the feeding conductor 6 against the electrode 3b of the piezoelectric element 3. As a result, even when the piezoelectric element 3 vibrates, it is possible to prevent the electrical connection between the feeding conductor 6 and the electrode 3b of the piezoelectric element 3 from being broken.
  • two elastic portions 7 are provided in the annular portion 6a so as to face each other in the Y direction. Further, the two elastic portions 7 are provided between the two guides 6b.
  • the shape, number, and arrangement position of the elastic portions 7 are not limited to this.
  • the elastic portion 7 can adopt various shapes, numbers, and arrangements described later. Further, the example in which the elastic portion 7 is formed by a part of the feeding conductor 6 has been described, but the present invention is not limited to this.
  • the elastic portion 7 may be formed separately from the feeding conductor 6.
  • connection region 9a of the first vibrating body 4 is a region in which the first vibrating body 4 and the piezoelectric element 3 are adhered to each other by an adhesive.
  • the contact region of the power feeding conductor 6 is a region in which the electrode 3b of the piezoelectric element 3 is formed.
  • the connection region 9a may or may not have an electrode formed.
  • FIG. 5 is a diagram showing an example of the relationship between the ratio of the connection region 9a of the first vibrating body 4 on the first surface PS1 of the piezoelectric element 3 and the maximum displacement amount ratio.
  • the ratio of the connection region 9a of the first vibrating body 4 to the first surface PS1 of the piezoelectric element 3 means the ratio of the area of the connection region 9a to the area of the first surface PS1 of the piezoelectric element 3. For example, when the ratio of the connection region of the first vibrating body 4 is 80%, the contact region of the feeding conductor 6 is 20%.
  • the maximum displacement amount ratio means the ratio of the maximum displacement amount calculated based on the displacement amount of 100%. The larger the maximum displacement ratio, the larger the vibration.
  • the contact region between the feeding conductor 6 and the piezoelectric element 3 is smaller than the connection region 9a between the first vibrating body 4 and the piezoelectric element 3.
  • the region where the electrode 3b is formed is smaller than the connection region 9a between the first vibrating body 4 and the piezoelectric element 3.
  • the ratio of the connection region 9a of the first vibrating body 4 to the first surface PS1 of the piezoelectric element 3 is 70% or more.
  • the maximum displacement ratio can be maintained at 0.8 or more.
  • the ratio of the connection region 9a of the first vibrating body 4 is preferably 75% or more.
  • the maximum displacement ratio can be maintained at 1 or more.
  • the ratio of the connection region 9a of the first vibrating body 4 is preferably 95% or less.
  • the ratio of the connection region 9a of the first vibrating body 4 is preferably 70% or more. More preferably, the ratio of the connection region 9a of the first vibrating body 4 is 75%.
  • the ratio of the contact region of the feeding conductor 6 is preferably 30% or less. More preferably, the proportion of the contact region of the feeding conductor 6 is 25% or less.
  • the control unit supplies electric power to the feeding conductor 6 by controlling the feeding circuit.
  • the power feeding circuit supplies power to the piezoelectric element 3 via the feeding conductor 6.
  • the piezoelectric element 3 vibrates due to the power supply by the power supply circuit.
  • the vibration of the piezoelectric element 3 is amplified by the first vibrating body 4 and the second vibrating body 5.
  • the vibrating device 1A vibrates the translucent body cover 2 by the vibration of the piezoelectric element 3, and removes droplets and / or foreign substances adhering to the translucent body cover 2.
  • the feeding conductor 6 is pressed against the electrodes 3b of the piezoelectric element 3 by a plurality of elastic portions 7. As a result, it is possible to prevent the connection between the power feeding conductor 6 and the electrode 3b of the piezoelectric element 3 from being broken.
  • the vibrating device 1A includes a translucent body cover 2, a piezoelectric element 3, a plurality of vibrating bodies 4, 5, a feeding conductor 6, and a plurality of elastic portions 7.
  • the piezoelectric element 3 vibrates the translucent body cover 2.
  • the plurality of vibrating bodies 4 and 5 are connected to the piezoelectric element 3.
  • the power feeding conductor 6 contacts the piezoelectric element 3 and supplies power to the piezoelectric element 3.
  • the plurality of elastic portions 7 press the feeding conductor 6 against the piezoelectric element 3. With such a configuration, the reliability of the connection between the piezoelectric element 3 and the feeding conductor 6 can be improved.
  • the plurality of elastic portions 7 are portions formed by bending the feeding conductor 6, and have a leaf spring shape in which the feeding conductor 6 is curved. With such a configuration, the feeding conductor 6 can be easily pressed against the piezoelectric element 3, and the reliability of the connection between the piezoelectric element 3 and the feeding conductor 6 can be improved. Further, the plurality of elastic portions 7 can be formed by a part of the feeding conductor 6, and the manufacturing cost can be reduced as compared with the case where the elastic body is provided separately.
  • the contact region between the power feeding conductor 6 and the piezoelectric element 3 is smaller than the connection region 9a between the first vibrating body 4 and the piezoelectric element 3.
  • the piezoelectric element 3 has a first surface PS1 and a second surface PS2 on the opposite side of the first surface PS1.
  • the first vibrating body 4 is connected to the translucent body cover 2 and the first surface PS1 of the piezoelectric element 3.
  • the feeding conductor 6 comes into contact with the first surface PS1 of the piezoelectric element 3.
  • the plurality of elastic portions 7 press the feeding conductor 6 against the first surface PS1 of the piezoelectric element 3.
  • the connection region 9a of the first vibrating body 4 occupies 70% or more, and the contact region of the power feeding conductor 6 occupies 30% or less. With such a configuration, it is possible to improve the reliability of the connection between the piezoelectric element 3 and the feeding conductor 6 while further suppressing the damping of vibration caused by the plurality of elastic portions 7.
  • the piezoelectric element 3 has an electrode 3b.
  • the first vibrating body 4 is provided with a groove 8 for exposing the electrode 3b.
  • the plurality of elastic portions 7 are arranged in the groove 8. With such a configuration, the feeding conductor 6 can be easily pressed by the plurality of elastic portions 7. By bringing the feeding conductor 6 into contact with the electrode 3b while pressing it with the plurality of elastic portions 7 in the groove 8, it becomes easy to suppress the peeling of the feeding conductor 6 and the piezoelectric element 3. Thereby, the reliability of the connection between the piezoelectric element 3 and the feeding conductor 6 can be further improved.
  • the plurality of vibrating bodies 4 and 5 are made of metal.
  • the plurality of vibrating bodies 4 and 5 are covered with an insulating material. With such a configuration, a plurality of vibrating bodies 4 and 5 can be manufactured at low cost, and electrical safety can be maintained.
  • the vibrating device 1A may have a plurality of piezoelectric elements having a rectangular shape, a circular shape, a polygonal shape, or an elliptical shape.
  • the plurality of piezoelectric elements may be arranged, for example, in an annular shape.
  • the plurality of piezoelectric elements may be arranged according to the shape of the translucent body cover 2.
  • the vibrating device 1A may include one or a plurality of vibrating bodies.
  • the vibrating device 1A may have one vibrating body connected to the translucent body cover 2 and the piezoelectric element 3.
  • the vibrating device 1A includes one feeding conductor 6
  • the vibrating device 1A may include one or more feeding conductors.
  • the vibrating device 1A may include one or a plurality of elastic portions 7.
  • the electrode 3b may be provided at a position where the piezoelectric element 3 and the feeding conductor 6 come into contact with each other.
  • the electrode 3b may be provided on the inner peripheral side of the first surface PS1 of the piezoelectric element 3.
  • the electrode 3b may be provided on the second surface PS2 of the piezoelectric element 3.
  • the electrode 3b is formed in an annular shape, but the present invention is not limited to this.
  • the electrode 3b may be provided at a portion in contact with the feeding conductor 6.
  • a plurality of electrodes 3b having a rectangular shape may be provided on the first surface PS1 of the piezoelectric element 3.
  • the feeding conductor 6 comes into contact with the first surface PS1 side of the piezoelectric element 3
  • the present invention is not limited to this.
  • the feeding conductor 6 may be in contact with the second surface PS2 side of the piezoelectric element 3.
  • the electrode 3b may be formed on the second surface PS2 side of the piezoelectric element 3.
  • the first vibrating body 4 may be formed with one or a plurality of grooves 8 having a space in which a plurality of elastic portions 7 are arranged. Further, in the one or a plurality of grooves 8, the electrode 3b may be exposed from the first vibrating body 4.
  • the present invention is not limited to this.
  • the plurality of elastic portions 7 may be randomly arranged on the annular portion 6a of the feeding conductor 6.
  • the elastic portion 7 is formed by bending the feeding conductor 6 and the feeding conductor 6 has a leaf spring shape curved in a U shape
  • the elastic portion 7 may have a shape in which the feeding conductor 6 is pressed against the piezoelectric element 3 to bring it into contact with the piezoelectric element 3.
  • the elastic portion 7 may be formed by bending the feeding conductor 6 into a coil shape.
  • the elastic portion 7 may have a shape such as a V shape or a W shape.
  • 6A-6D are partially enlarged views showing the configuration of the vibration device of the modified example of the first embodiment according to the present invention.
  • the elastic portion 7A is a portion formed by bending the feeding conductor 6, and has a leaf spring shape in which the feeding conductor 6 is curved.
  • the elastic portion 7A includes a fourth plate-shaped portion 7e arranged at intervals from the third plate-shaped portion 7d and the third plate-shaped portion 7d, and a third plate-shaped portion 7d and a fourth plate-shaped portion 7e.
  • a curved portion 7f to be connected is provided.
  • the third plate-shaped portion 7d extends in the Y direction.
  • the fourth plate-shaped portion 7e extends in the Y direction at the same height as the third plate-shaped portion 7d.
  • the third plate-shaped portion 7d and the fourth plate-shaped portion 7e are arranged at intervals.
  • the curved portion 7f is formed by bending a plate-shaped member in a U shape in the Z direction. One end of the curved portion 7f is connected to the end portion of the third plate-shaped portion 7d. The other end of the curved portion 7f is connected to the end portion of the fourth plate-shaped portion 7e.
  • the curved portion 7f is in contact with the electrode 3b of the piezoelectric element 3.
  • the curved portion 7f is in contact with the electrode 3b of the piezoelectric element 3 while applying a force in a direction of narrowing the distance between the third plate-shaped portion 7d and the fourth plate-shaped portion 7e.
  • the power feeding conductor 6 and the electrode 3b of the piezoelectric element 3 are electrically connected.
  • the elastic portion 7B is formed of a part of the feeding conductor 6 and is formed of a plate-shaped member extending in the Y direction from the inner circumference of the annular portion 6a.
  • the vibrating device 1AB has a convex portion 6c protruding from the elastic portion 7B toward the piezoelectric element 3 side.
  • the convex portion 6c is formed of a conductive elastic material.
  • the convex portion 6c can be formed, for example, by depositing, sputtering, plating, or the like on a metal body.
  • the convex portion 6c has, for example, a hemispherical shape.
  • the convex portion 6c is arranged in the groove 8 between the elastic portion 7B and the electrode 3b of the piezoelectric element 3. As a result, the power feeding conductor 6 and the piezoelectric element 3 are electrically connected.
  • a conductive sheet may be arranged between the convex portion 6c and the electrode 3b of the piezoelectric element 3.
  • the elastic portion 7C is formed of a part of the feeding conductor 6 and is formed of a plate-shaped member extending in the Y direction from the inner circumference of the annular portion 6a.
  • the vibrating device 1AC has a convex portion 4d protruding from a wall surface defining a groove 8 provided in the first vibrating body 4.
  • the convex portion 4d has, for example, a hemispherical shape.
  • the convex portion 4d is arranged between the concave surface of the groove 8 and the elastic portion 7C.
  • the elastic portion 7D is formed of a part of the feeding conductor 6 and is formed of a plate-shaped member extending in the Y direction from the inner circumference of the annular portion 6a.
  • the vibrating device 1AD has a convex portion 3d provided on the piezoelectric element 3.
  • the convex portion 3d is provided on the electrode 3b of the piezoelectric element 3.
  • the convex portion 3d has, for example, a hemispherical shape.
  • the convex portion 4d is arranged between the elastic portion 7D and the piezoelectric element 3. As a result, the power feeding conductor 6 and the piezoelectric element 3 are electrically connected.
  • the present invention is not limited to this.
  • the elastic portion 7 may be brought into contact with the piezoelectric element 3 by pressing the feeding conductor 6.
  • the elastic portion 7 may be formed separately from the feeding conductor 6.
  • the elastic portion 7 may be a conductive elastic member arranged between the feeding conductor 6 and the electrode 3b of the piezoelectric element 3 in the groove 8.
  • FIG. 7 is an exploded perspective view showing an example of the vibrating device 1B according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 8A is a partially enlarged cross-sectional view of the first elastic portion 7 of an example of the vibrating device 1B according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 8B is a partially enlarged cross-sectional view of the second elastic portion 11 of an example of the vibrating device 1B according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a schematic view of an example of the second feeding conductor 10 according to the second embodiment of the present invention as viewed from above.
  • the electrode 3b, the feeding conductor 6, the elastic portion 7 and the groove 8 of the piezoelectric element 3 of the first embodiment are provided with the first electrode 3b, the first feeding conductor 6, the first elastic portion 7, and the groove 8, respectively. It is called the first groove 8.
  • a second feeding conductor 10 and a plurality of second elastic portions 11 are provided, a second electrode 3c is provided on the second surface PS2 side of the piezoelectric element 3, and a second vibrating body. 5 is different from the first embodiment in that the second groove 12 is provided.
  • the vibrating device 1B includes a second feeding conductor 10 and a plurality of second elastic portions 11 in addition to the configuration of the vibrating device 1A of the first embodiment.
  • two second elastic portions 11 are provided on the second feeding conductor 10.
  • the two first elastic portions 7 are arranged so as to face each other in the Y direction, while the two second elastic portions 11 are arranged so as to face each other in the X direction.
  • the configuration of the vibrating device 1B shown in FIG. 8A and the configuration of the vibrating device 1A shown in FIG. 3 of the first embodiment are that the second electrode 3c is provided on the second surface PS2 side of the piezoelectric element 3. This is the same except that the second vibrating body 5 is provided with a second groove 12 that exposes the second electrode 3c.
  • the second electrode 3c comes into contact with the second feeding conductor 10.
  • the second electrode 3c is provided on the inner peripheral side of the piezoelectric element 3 on the second surface PS2 of the piezoelectric element 3.
  • the second electrode 3c is formed in an annular shape on the second surface PS2 of the piezoelectric element 3.
  • the region where the second electrode 3c is formed is smaller than the connection region 9b of the second vibrating body 5.
  • the contact region between the second feeding conductor 10 and the piezoelectric element 3 is smaller than the connection region 9b between the second vibrating body 5 and the piezoelectric element 3.
  • the second groove 12 exposes the second electrode 3c of the piezoelectric element 3 from the second vibrating body 5.
  • the second groove 12 is formed by being recessed from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the second vibrating body 5.
  • the second groove 12 is formed, for example, by being recessed in an annular shape.
  • the second feeding conductor 10 and the plurality of second elastic portions 11 will be described in detail.
  • the second feeding conductor 10 contacts the piezoelectric element 3 and feeds the piezoelectric element 3.
  • the second feeding conductor 10 comes into contact with the piezoelectric element 3 on the inner peripheral side of the piezoelectric element 3 with respect to the first feeding conductor 6. Further, the second feeding conductor 10 comes into contact with the second surface PS2 side of the piezoelectric element 3.
  • the second feeding conductor 10 has an annular portion 10a and a plurality of protruding portions 10b.
  • the annular portion 10a is formed in an annular shape. Further, the annular portion 10a is formed of a plate-shaped member. The annular portion 10a is attached to the second vibrating body 5.
  • the plurality of projecting portions 10b are plate-shaped members extending from the annular portion 10a.
  • the plurality of projecting portions 10b extend in the Z direction along the inner circumference of the second vibrating body 5. Further, a second elastic portion 11 is provided at each end of the plurality of protruding portions 10b.
  • two protrusions 10b are provided on the annular portion 10a.
  • the two projecting portions 10b are provided in the annular portion 10a so as to face each other in the X direction.
  • the second feeding conductor 10 is made of a conductive material.
  • the material forming the second feeding conductor 10 is, for example, a metal such as stainless steel, beryllium copper, nickel silver, or copper.
  • the second power feeding conductor 10 is connected to, for example, a power feeding circuit.
  • the plurality of second elastic portions 11 press the second feeding conductor 10 against the piezoelectric element 3.
  • the plurality of second elastic portions 11 press the second feeding conductor 10 against the second electrode 3c provided on the second surface PS2 of the piezoelectric element 3.
  • the plurality of second elastic portions 11 are arranged in the second groove 12 provided in the second vibrating body 5.
  • the plurality of second elastic portions 11 press the second feeding conductor 10 toward the second electrode 3c of the piezoelectric element 3 in the second groove 12.
  • the second elastic portion 11 has the same configuration as the first elastic portion 7. Specifically, the second elastic portion 11 is a portion formed by bending the second feeding conductor 10, and has a leaf spring shape in which the second feeding conductor 10 is curved. Specifically, the second elastic portion 11 is formed by bending a plate-shaped member protruding from the end of the protruding portion 10b of the second feeding conductor 10 toward the outer peripheral side of the annular portion 10a in a U shape. Has been done.
  • the second elastic portion 11 is formed of, for example, a plate-shaped member having a thickness of 0.2 mm.
  • the second elastic portion 11 is made of the same material as the second feeding conductor 10.
  • the material forming the second elastic portion 11 is, for example, a metal such as stainless steel, beryllium copper, nickel silver, or copper.
  • the second elastic portion 11 is formed of a part of the second feeding conductor 10, and presses the second feeding conductor 10 against the second electrode 3c of the piezoelectric element 3. As a result, even when the piezoelectric element 3 vibrates, it is possible to prevent the electrical connection between the second feeding conductor 10 and the second electrode 3c of the piezoelectric element 3 from being broken.
  • the two second elastic portions 11 are provided in the annular portion 10a so as to face each other in the X direction.
  • the plurality of second elastic portions 11 are arranged between the plurality of first elastic portions 7.
  • the plurality of second elastic portions 11 do not overlap with the plurality of first elastic portions 7.
  • the plurality of second elastic portions 11 and the plurality of first elastic portions 7 are arranged alternately.
  • the vibrating device 1B includes a translucent body cover 2, a piezoelectric element 3, a plurality of vibrating bodies 4, 5, a plurality of feeding conductors 6, 10, and a plurality of elastic portions 7, 11.
  • the piezoelectric element 3 has a first surface PS1 and a second surface PS2 opposite to the first surface PS1.
  • the plurality of feeding conductors 6 and 10 include a first feeding conductor 6 in contact with the first surface PS1 and a second feeding conductor 10 in contact with the second surface PS2.
  • the plurality of elastic portions 7 and 11 include a plurality of first elastic portions 7 that press the first feeding conductor 6 against the first surface PS1, and a plurality of second elastic portions that press the second feeding conductor 10 against the second surface PS2. 11 and.
  • the piezoelectric element 3 is formed in an annular shape.
  • the plurality of vibrating bodies 4 and 5 are connected to the first vibrating body 4 connected to the first surface PS1 of the bottom surface 2a of the translucent body cover 2 and the piezoelectric element 3 and to the second surface PS2 of the piezoelectric element 3. It has a second vibrating body 5.
  • the second feeding conductor 10 comes into contact with the piezoelectric element 3 on the inner peripheral side of the piezoelectric element 3 with respect to the first feeding conductor 6. With such a configuration, the first feeding conductor 6 can be pressed against the first surface PS1 of the piezoelectric element 3 on the outer peripheral side of the piezoelectric element 3 by the plurality of first elastic portions 7.
  • the plurality of second elastic portions 11 can press the second feeding conductor 10 against the second surface PS2 of the piezoelectric element 3 on the inner peripheral side of the piezoelectric element 3. Thereby, the reliability of the connection between the piezoelectric element 3 and the plurality of feeding conductors 6 and 10 can be further improved.
  • the contact region between the first feeding conductor 6 and the piezoelectric element 3 is smaller than the connection region 9a between the first vibrating body 4 and the piezoelectric element 3.
  • the contact region between the second feeding conductor 10 and the piezoelectric element 3 is smaller than the connection region 9b between the second vibrating body 5 and the piezoelectric element 3.
  • the piezoelectric element 3 has a first electrode 3b provided on the first surface PS1 and a second electrode 3c provided on the second surface PS2.
  • the first vibrating body 4 is provided with a first groove 8 for exposing the first electrode 3b.
  • the second vibrating body 5 is provided with a second groove 12 that exposes the second electrode 3c.
  • the plurality of first elastic portions 7 are arranged in the first groove 8.
  • the plurality of second elastic portions 11 are arranged in the second groove 12.
  • the vibrating device 1B may include one or a plurality of second elastic portions 11.
  • the second electrode 3c may be provided at a position where the piezoelectric element 3 and the feeding conductor 6 come into contact with each other.
  • the second electrode 3c may be provided on the outer peripheral side of the first surface PS1 of the piezoelectric element 3.
  • the second electrode 3c may be provided on the first surface PS1 of the piezoelectric element 3.
  • the second electrode 3c is formed in an annular shape, but the present invention is not limited to this.
  • the second electrode 3c may be provided at a portion in contact with the second feeding conductor 10.
  • a plurality of second electrodes 3c having a rectangular shape may be provided on the second surface PS2 of the piezoelectric element 3.
  • the present invention is not limited to this.
  • the second feeding conductor 10 may come into contact with the first surface PS1 side of the piezoelectric element 3.
  • the first feeding conductor 6 may be in contact with the second surface PS2 side of the piezoelectric element 3.
  • the second vibrating body 5 may be formed with one or a plurality of second grooves 12 having a space in which the second feeding conductor 10 and the plurality of second elastic portions 11 are arranged. Further, in the one or a plurality of second grooves 12, the second electrode 3c may be exposed from the second vibrating body 5.
  • the present invention is not limited to this.
  • the plurality of second elastic portions 11 may be arranged so as to face the plurality of first elastic portions 7.
  • the second elastic portion 11 is a portion formed by bending a part of the second feeding conductor 10, and has a leaf spring shape in which a part of the second feeding conductor 10 is curved in a U shape.
  • the second elastic portion 11 may have a shape in which the second feeding conductor 10 is pressed against the piezoelectric element 3 to bring them into contact with each other.
  • the second elastic portion 11 may have various shapes like the first elastic portion 7.
  • the second elastic portion 11 may be formed by bending the second feeding conductor 10 into a coil shape.
  • the second elastic portion 11 may have a shape such as a V shape or a W shape.
  • the second elastic portion 11 may be formed separately from the second feeding conductor 10.
  • FIGS. 10A-10C are partially enlarged views showing the configuration of the vibration device of the modified example of the second embodiment according to the present invention.
  • the first elastic portions 7, 7A and the second elastic portion 11 are shown in the same cross section for ease of explanation.
  • the arrangement positions of the first elastic portions 7, 7A and the second elastic portions 11 are not limited to these.
  • the first elastic portions 7, 7A and the second elastic portion 11 do not have to have the same cross section.
  • the first feeding conductor 6 has a first support portion 13 extending in a direction (X, Y direction) intersecting the thickness direction (Z direction) of the piezoelectric element 3, and has a first elasticity.
  • the piezoelectric element 3 is held between the portion 7 and the first support portion 13.
  • the first elastic portion 7 is provided in the middle of the first feeding conductor 6.
  • the first support portion 13 is a portion formed by bending the first feeding conductor 6, and is provided at an end portion of the first feeding conductor 6.
  • the first support portion 13 extends from the first elastic portion 7 arranged in the first groove 8 to the outer peripheral portion of the second vibrating body 5 in the Z direction and intersects the thickness direction (Z direction) of the piezoelectric element 3. It is bent in the (X, Y direction). As a result, the first support portion 13 engages with the second vibrating body 5, and holds the piezoelectric element 3 and the second vibrating body 5 between the first elastic portion 7 and the first supporting portion 13.
  • the first support portion 13 is formed of, for example, a plate-shaped member.
  • the second feeding conductor 10 has a second support portion 14 extending in a direction (X, Y direction) intersecting the thickness direction (Z direction) of the piezoelectric element 3, and the second elastic portion 11 and the second support portion 14 The piezoelectric element 3 is held between the two.
  • the second elastic portion 11 is provided in the middle of the second feeding conductor 10.
  • the second support portion 14 is a portion formed by bending the second feeding conductor 10, and is provided at an end portion of the second feeding conductor 10.
  • the second support portion 14 extends from the second elastic portion 11 arranged in the second groove 12 to the outer peripheral portion of the first vibrating body 4 in the Z direction and intersects the thickness direction (Z direction) of the piezoelectric element 3. It is bent in the (X, Y direction).
  • the first support portion 13 engages with the third groove 15 provided in the first vibrating body 4, and the piezoelectric element 3 and the first vibrating body 4 are combined with the second elastic portion 11 and the second supporting portion 14. Hold between.
  • the third groove 15 is above the surface in contact with the piezoelectric element 3 and is formed by being recessed from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the first vibrating body 4.
  • the second support portion 14 is formed of, for example, a plate-shaped member.
  • the first elastic portion 7A is provided at the end of the first feeding conductor 6.
  • the first support portion 13 is provided in the middle of the first power feeding conductor 6.
  • a step 16 is provided at a corner on the outer peripheral side of the second vibrating body 5.
  • the first support portion 13 is arranged on the step 16. As a result, the first support portion 13 engages with the step 16 of the second vibrating body 5, and holds the piezoelectric element 3 and the second vibrating body 5 between the first elastic portion 7A and the first supporting portion 13. .
  • the second feeding conductor 10 has a third support portion 17 extending in a direction (X, Y direction) intersecting the thickness direction (Z direction) of the piezoelectric element 3, and has a second elasticity.
  • the piezoelectric element 3 is held between the portion 11 and the third support portion 17.
  • the second elastic portion 11 is provided at the end of the second feeding conductor 10.
  • the third support portion 17 is a portion formed by bending the second feeding conductor 10, and is provided in the middle of the second feeding conductor 10.
  • the vibrating device 1BC does not include the second vibrating body 5, and the second electrode 3c is provided on the entire surface of the second surface PS2 of the piezoelectric element 3.
  • the second elastic portion 11 is arranged in the fourth groove 18 provided in the first vibrating body 4.
  • the fourth groove 18 is formed above the first surface PS1 of the piezoelectric element 3 and is recessed from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the first vibrating body 4.
  • the second elastic portion 11 is not in contact with the piezoelectric element 3.
  • the third support portion 17 extends from the second elastic portion 11 arranged in the fourth groove 18 to the outer peripheral portion of the first vibrating body 4 and the side of the piezoelectric element 3 in the Z direction, and extends in the thickness direction of the piezoelectric element 3 ( It is bent in the direction (X, Y direction) that intersects with the Z direction). As a result, the third support portion 17 engages with the second surface PS2 of the piezoelectric element 3, and holds the piezoelectric element 3 and the first vibrating body 4 between the second elastic portion 11 and the third support portion 17. ..
  • the third support portion 17 is formed of, for example, a plate-shaped member.
  • the second elastic portion 11 presses the third support portion 17 against the second surface PS2 of the piezoelectric element 3. As a result, the piezoelectric element 3 is held between the second elastic portion 11 and the third support portion 17.
  • the second feeding conductor 10 feeds the piezoelectric element 3 by electrically contacting the third support portion 17 with the second electrode 3c of the piezoelectric element 3.
  • the reliability of the connection between the plurality of feeding conductors 6 and 10 and the piezoelectric element 3 can be further improved.
  • the vibrating device 1BA-1BC is not limited to these forms.
  • the vibrating device 1BA-1BC one or a plurality of first support portions 13, one or a plurality of second support portions 14, one or a plurality of third grooves 15, one or a plurality of third support portions. It may have 17 and / or one or more fourth grooves 18.
  • the vibrating device 1BA-1BC may have at least one of the first support portion 13, the second support portion 14, and the third support portion 17.
  • the names of the first support portion 13, the second support portion 14, and the third support portion 17 are used for ease of explanation, but the present invention is not limited thereto.
  • the name may be changed according to the number of support parts.
  • the third support portion 17 may be referred to as a second support portion, and the second support portion 14 may be referred to as a third support portion.
  • FIG. 11 is a partially enlarged cross-sectional view of an example of the vibrating device 1C according to the third embodiment of the present invention.
  • the third embodiment is different from the second embodiment in that the first elastic portion 7A and the second elastic portion 11A are arranged on the outer peripheral side of the piezoelectric element 3 and sandwich the piezoelectric element 3.
  • the second electrode 3c is provided on the outer peripheral side of the piezoelectric element 3. Specifically, the second electrode 3c is arranged so as to face the first electrode 3b.
  • the second groove 12 is provided on the outer periphery of the second vibrating body 5. Specifically, the second groove 12 is recessed from the outer peripheral side to the inner peripheral side of the second vibrating body 5. As a result, the second groove 12 exposes the second electrode 3c from the second vibrating body 5.
  • the second elastic portion 11A is arranged in the second groove 12. In the second groove 12, the second elastic portion 11A presses the second feeding conductor 10 against the second electrode 3c of the piezoelectric element 3. Specifically, the second elastic portion 11A is formed of a part of the second feeding conductor 10 and is in contact with the second electrode 3c of the piezoelectric element 3. As a result, the second feeding conductor 10 is electrically connected to the second electrode 3c of the piezoelectric element 3 via the second elastic portion 11A.
  • the first elastic portion 7A is arranged in the first groove 8 provided in the first vibrating body 4.
  • the first elastic portion 7A presses the first feeding conductor 6 against the first electrode 3b of the piezoelectric element 3.
  • the first elastic portion 7A is formed of a part of the first feeding conductor 6 and is in contact with the first electrode 3b of the piezoelectric element 3.
  • the first feeding conductor 6 is electrically connected to the first electrode 3b of the piezoelectric element 3 via the first elastic portion 7A.
  • the first elastic portion 7A and the second elastic portion 11A are arranged so as to overlap each other in the height direction (Z direction) of the vibrating device 1C. That is, the first elastic portion 7A and the second elastic portion 11A are arranged so as to face each other in the thickness direction (Z direction) of the piezoelectric element 3. As a result, the piezoelectric element 3 is sandwiched between the first elastic portion 7A and the second elastic portion 11A.
  • the plurality of feeding conductors 6 and 10 include a first feeding conductor 6 in contact with the first surface PS1 and a second feeding conductor 10 in contact with the second surface PS2.
  • the plurality of elastic portions 7A and 11A include a plurality of first elastic portions 7A that press the first feeding conductor 6 against the first surface PS1, and a plurality of second elastic portions that press the second feeding conductor 10 against the second surface PS2. It has 11A and.
  • the plurality of first elastic portions 7A and the plurality of second elastic portions 11A are arranged so as to face each other in the thickness direction (Z direction) of the piezoelectric element 3.
  • the piezoelectric element 3 can be sandwiched between the plurality of first elastic portions 7A and the plurality of second elastic portions 11A. As a result, the reliability of the connection between the piezoelectric element 3 and the plurality of feeding conductors 6 and 10 can be further improved.
  • first electrode 3b and the second electrode 3c are provided on the outer peripheral side of the piezoelectric element 3
  • present invention is not limited to this.
  • the first electrode 3b and the second electrode 3c may be provided at positions facing each other in the piezoelectric element 3.
  • the first electrode 3b and the second electrode 3c may be provided on the inner peripheral side of the piezoelectric element 3.
  • first elastic portion 7A and the second elastic portion 11A sandwich the piezoelectric element 3 on the outer peripheral side of the piezoelectric element 3 has been described, but the present invention is not limited to this.
  • the first elastic portion 7A and the second elastic portion 11A may be arranged so as to face each other in the thickness direction (Z direction) of the piezoelectric element 3.
  • the vibrating device 1CA shown in FIG. 12A includes a second vibrating body 5 on the second surface PS2 side of the piezoelectric element 3.
  • the vibrating device 1CB shown in FIG. 12B does not include the second vibrating body 5 on the second surface PS2 side of the piezoelectric element 3.
  • the second elastic portion 11B is arranged on the second surface PS2 side of the piezoelectric element 3.
  • the second elastic portion 11B has two plate-shaped members arranged so as to face each other with an interval, and a curved portion connecting the two plate-shaped members.
  • the two plate-shaped members are arranged so as to face each other with an interval in the Y direction.
  • the curved portion is curved in a U shape in the Z direction and is in contact with the second electrode 3c of the piezoelectric element 3.
  • the piezoelectric element 3 can be sandwiched between the first elastic portions 7, 7A and the second elastic portion 11B. Thereby, the reliability of the connection between the piezoelectric element 3 and the plurality of feeding conductors 6 and 10 can be further improved.
  • FIG. 13 is a partially enlarged cross-sectional view of an example of the vibrating device 1D according to the fourth embodiment of the present invention.
  • the fourth embodiment is different from the first embodiment in that the second vibrating body 5 is not provided and the second feeding conductor 10 is provided.
  • the elastic portion 7 presses the first feeding conductor 6 against the first electrode 3b of the piezoelectric element 3 in the groove 8.
  • the second feeding conductor 10 is arranged in contact with the second surface PS2 side of the piezoelectric element.
  • the second electrode 3c is provided on the entire surface of the second surface PS2 of the piezoelectric element 3.
  • the second feeding conductor 10 is arranged in contact with the second electrode 3c.
  • the first feeding conductor 6 is pressed against the piezoelectric element 3 by the elastic portion 7 provided on the first feeding conductor 6.
  • the second feeding conductor 10 is not provided with an elastic portion.
  • the second vibrating body 5 is provided on the second surface PS2 side of the piezoelectric element 3. Even with such a configuration, the reliability of the connection between the piezoelectric element 3 and the plurality of feeding conductors 6 and 10 can be improved.
  • the vibrating device 1D may include an elastic portion that presses at least one of the first feeding conductor 6 and the second feeding conductor 10 against the piezoelectric element 3.
  • the vibrating device 1D may include an elastic portion that presses the second feeding conductor 10 against the piezoelectric element 3. In this case, the vibrating device 1D does not have to have the elastic portion 7 that presses the first feeding conductor 6 against the piezoelectric element 3.
  • FIG. 14 is a schematic view showing an example of the configuration of the image pickup apparatus 50 according to the fifth embodiment of the present invention.
  • the image pickup device 50 including the vibration device 1A and the image pickup device 51 of the first embodiment will be described.
  • the image pickup device 50 includes the vibration device 1A of the first embodiment and the image pickup device 51 arranged in the vibration device 1A. Since the vibrating device 1A is the same as that of the first embodiment, the description thereof will be omitted.
  • the image sensor 51 is arranged in the internal space of the vibration device 1A.
  • the image sensor 51 is mounted on the circuit board 52.
  • the circuit board 52 includes a control circuit for an image sensor that drives the image sensor.
  • Examples of the image sensor 51 include CMOS, CCD, bolometer, thermopile, etc., which receive light of any wavelength from the visible region to the far infrared region.
  • the image pickup device 50 includes the vibration device 1A of the first embodiment and the image pickup device 51 arranged in the vibration device 1A. With such a configuration, the reliability of the connection between the piezoelectric element 3 and the feeding conductor 6 can be improved.
  • the image pickup apparatus 50 may include the vibration devices 1A to 1D according to the first to fourth embodiments.
  • the image pickup apparatus 50 includes the circuit board 52
  • the present invention is not limited to this.
  • the circuit board 52 is not an essential configuration.
  • FIG. 15 is a schematic view of an example of the first feeding conductor 6A in the vibration device of another embodiment as viewed from below.
  • FIG. 16 is a schematic view of an example of the second feeding conductor 10A in the vibration device of another embodiment as viewed from above.
  • the first feeding conductor 6A has three first elastic portions 7.
  • the three first elastic portions 7 are arranged at equal intervals. Specifically, in the plan view of the first feeding conductor 6A, when a line segment is drawn from the center of the first feeding conductor 6A toward each of the three first elastic portions 7, the line segments are defined by adjacent line segments. The angles ⁇ 1 are equal. With such a configuration, the first elastic portion 7 can bring the first feeding conductor 6A into contact with the piezoelectric element 3 in a well-balanced manner. Thereby, the reliability of the connection between the piezoelectric element 3 and the first feeding conductor 6A can be further improved.
  • the second feeding conductor 10A has three second elastic portions 11.
  • the three second elastic portions 11 are arranged at equal intervals. Specifically, in the plan view of the second feeding conductor 10A, when a line segment is drawn from the center of the second feeding conductor 10A toward each of the three second elastic portions 11, the line segments are defined by adjacent line segments. The angles ⁇ 2 are equal. With such a configuration, the second elastic portion 11 can bring the second feeding conductor 10A into contact with the piezoelectric element 3 in a well-balanced manner. Thereby, the reliability of the connection between the piezoelectric element 3 and the second feeding conductor 10A can be further improved.
  • the number of the first elastic portion 7 and the number of the second elastic portion 11 are not limited to three.
  • the number of the first elastic portions 7 and the number of the second elastic portions 11 may be four or more.
  • the number of the first elastic portions 7 and the number of the second elastic portions 11 are preferably 2 or more and 4 or less. More preferably, the number of the first elastic portions 7 and the number of the second elastic portions 11 are 2 or more and 3 or less.
  • FIG. 17 is a schematic view showing an example of the configuration of the vibration device 1E of another embodiment.
  • the vibrating device 1E does not include the translucent body cover 2 and may be incorporated into another component, device and / or system.
  • the vibration device 1E is not limited to use in the image pickup device 50, and can be applied to various devices.
  • the vibrating device of the present invention can be applied to, for example, an image pickup device, a mobile phone, a digital camera, a mobile terminal device, a remote controller, and the like.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させる。本発明の振動装置は、透光体カバーと、前記透光体カバーを振動させる圧電素子と、前記圧電素子と接続される１つ又は複数の振動体と、前記圧電素子に接触し、前記圧電素子に給電する１つ又は複数の給電導体と、前記１つ又は複数の給電導体を前記圧電素子に対して押圧する１つ又は複数の弾性部と、を備える。

Description

振動装置及び撮像装置
　本発明は、振動によって液滴などを除去する振動装置及び撮像装置に関する。
　特許文献１には、圧電バイモルフ型のアクチュエータと力検出センサとを複合した圧電複合装置が開示されている。特許文献１に記載の装置は、圧電素子の給電用の電極に引き出し線を半田付けしている。
特開２００６－４８３０２号公報
　特許文献１の装置では、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させるという観点において未だ改善の余地がある。
　本発明の一態様の振動装置は、
　透光体カバーと、
　前記透光体カバーを振動させる圧電素子と、
　前記圧電素子と接続される１つ又は複数の振動体と、
　前記圧電素子に接触し、前記圧電素子に給電する１つ又は複数の給電導体と、
　前記１つ又は複数の給電導体を前記圧電素子に対して押圧する１つ又は複数の弾性部と、
を備える。
　本発明の一態様の撮像装置は、
　前記態様の振動装置と、
　前記振動装置内に配置される撮像素子と、
を備える。
　本発明によれば、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させた振動装置及び撮像装置を提供することができる。
本発明に係る実施の形態１の振動装置の一例の構成を示す概略図である。 本発明に係る実施の形態１の振動装置の一例を示す分解斜視図である。 本発明に係る実施の形態１の振動装置の一例の部分拡大図である。 本発明に係る実施の形態１における給電導体の一例を下から見た概略図である。 圧電素子の第１面における第１振動体の接着面積の割合と最大変位量比との関係の一例を示す図である。 本発明に係る実施の形態１の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。 本発明に係る実施の形態１の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。 本発明に係る実施の形態１の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。 本発明に係る実施の形態１の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。 本発明に係る実施の形態２の振動装置の一例を示す分解斜視図である。 本発明に係る実施の形態２の振動装置の一例の第１弾性部における部分拡大断面図である。 本発明に係る実施の形態２の振動装置の一例の第２弾性部における部分拡大断面図である。 本発明に係る実施の形態２における給電導体の一例を上から見た概略図である。 本発明に係る実施の形態２の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。 本発明に係る実施の形態２の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。 本発明に係る実施の形態２の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。 本発明に係る実施の形態３の振動装置の一例の部分拡大断面図である。 本発明に係る実施の形態３の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。 本発明に係る実施の形態３の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。 本発明に係る実施の形態４の振動装置の一例の部分拡大断面図である。 本発明に係る実施の形態５の撮像装置の構成の一例を示す概略図である。 他の実施形態の振動装置における第１給電導体の一例を下から見た概略図である。 他の実施形態の振動装置における第２給電導体の一例を上から見た概略図である。 他の実施形態の振動装置の構成の一例を示す概略図である。
（本発明に至った経緯）
　特許文献１に記載の装置は、圧電素子の給電用の電極に、引き出し線である給電導体を半田付けすることによって、圧電素子と給電導体とを接続している。特許文献１に記載の装置は、給電導体を介して圧電素子に給電することによって、圧電素子を振動させている。
　しかしながら、圧電素子と給電導体とは半田付けによって接続されているため、圧電素子の振動によって、圧電素子と給電導体との接続部分に応力が加わり、接続部分が破断される場合がある。
　また、圧電素子と給電導体とを導電性接着剤で接着することによって接続する方法もある。しかしながら、圧電素子と給電導体とを導電性接着剤で接着する場合、導電性を確保するために、接着剤は、導電フィラーなどの導電材料を含んでいる。導電材料は、接着性を有していない。このため、導電性接着剤による接着では、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることが難しい。
　そこで、本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討したところ、弾性部によって給電導体を圧電素子に押圧し、給電導体と圧電素子とを電気的に接続する構成を見出し、以下の発明に至った。
　本発明の一態様の振動装置は、
　透光体カバーと、
　前記透光体カバーを振動させる圧電素子と、
　前記圧電素子と接続される１つ又は複数の振動体と、
　前記圧電素子に接触し、前記圧電素子に給電する１つ又は複数の給電導体と、
　前記１つ又は複数の給電導体を前記圧電素子に対して押圧する１つ又は複数の弾性部と、
を備える。
　このような構成により、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。
　前記１つ又は複数の弾性部は、前記１つ又は複数の給電導体を折り曲げて形成される部分であり、前記１つ又は複数の給電導体を湾曲した板バネ形状を有していてもよい。
　このような構成により、給電導体を圧電素子に押圧し、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。
　前記１つ又は複数の給電導体と前記圧電素子との接触領域は、前記１つ又は複数の振動体と前記圧電素子との接続領域よりも小さくてもよい。
　このような構成により、圧電素子の振動が低減することを抑制しつつ、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。
　前記圧電素子は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面と、を有し、
　前記振動体は、前記透光体カバーと前記圧電素子の前記第１面とに接続され、
　前記給電導体は、前記圧電素子の前記第１面に接触し、
　前記１つ又は複数の弾性部は、前記給電導体を前記圧電素子の前記第１面に押圧し、
　前記圧電素子の前記第１面において、前記接続領域の占める割合は、７０％以上であり、前記接触領域の占める割合は、３０％以下であってもよい。
　このような構成により、圧電素子の振動が低減することを更に抑制しつつ、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　前記圧電素子は、１つ又は複数の電極を有し、
　前記１つ又は複数の振動体には、前記１つ又は複数の電極を露出させる１つ又は複数の溝が設けられており、
　前記１つ又は複数の弾性部は、前記１つ又は複数の溝に配置されていてもよい。
　このような構成により、給電導体を圧電素子に容易に押圧することができ、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。
　前記１つ又は複数の給電導体は、環状部を有し、
　前記複数の弾性部は、前記環状部において等間隔で配置されていてもよい。
　このような構成により、圧電素子に給電導体をバランスよく接触させることができ、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　前記圧電素子は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面と、を有し、
　前記複数の給電導体は、前記第１面と接触する第１給電導体と、前記第２面と接触する第２給電導体と、を有し、
　前記複数の弾性部は、前記第１給電導体を前記第１面に押圧する１つ又は複数の第１弾性部と、前記第２給電導体を前記第２面に押圧する１つ又は複数の第２弾性部と、のうち少なくともいずれか一方を有していてもよい。
　このような構成により、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　前記圧電素子は、環状に形成され、
　前記複数の振動体は、前記透光体カバーの底面と前記圧電素子との前記第１面に接続される第１振動体と、前記圧電素子の前記第２面に接続される第２振動体と、を有し、
　前記第２給電導体は、前記第１給電導体よりも前記圧電素子の内周側で前記圧電素子に接触していてもよい。
　このような構成により、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　前記圧電素子の前記第１面において、前記第１給電導体と前記圧電素子との接触領域は、前記第１振動体と前記圧電素子との接続領域よりも小さく、
　前記圧電素子の前記第２面において、前記第２給電導体と前記圧電素子との接触領域は、前記第２振動体と前記圧電素子との接続領域よりも小さくてもよい。
　このような構成により、圧電素子の振動が低減することを更に抑制しつつ、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。
　前記圧電素子は、前記第１面に設けられる第１電極と、前記第２面に設けられる第２電極と、を有し、
　前記第１振動体には、前記第１電極を露出させる１つ又は複数の第１溝が設けられており、
　前記第２振動体には、前記第２電極を露出させる１つ又は複数の第２溝が設けられており、
　前記１つ又は複数の第１弾性部は、前記１つ又は複数の第１溝に配置され、
　前記１つ又は複数の第２弾性部は、前記１つ又は複数の第２溝に配置されていてもよい。
　このような構成により、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　前記第１給電導体は、前記圧電素子の厚み方向と交差する方向に延びる１つ又は複数の第１支持部を有し、前記１つ又は複数の第１弾性部と前記１つ又は複数の第１支持部との間に前記圧電素子を保持していてもよい。
　このような構成により、圧電素子を第１給電導体によって挟持し、圧電素子と第１給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　前記第２給電導体は、前記圧電素子の厚み方向と交差する方向に延びる１つ又は複数の第２支持部を有し、前記１つ又は複数の第２弾性部と前記１つ又は複数の第２支持部との間に前記圧電素子を保持していてもよい。
　このような構成により、圧電素子を第２給電導体によって挟持し、圧電素子と第２給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　前記複数の第２弾性部は、前記複数の第１弾性部の間に配置されていてもよい。
　このような構成により、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　前記１つ又は複数の第１弾性部と前記１つ又は複数の第２弾性部とは、前記圧電素子の厚み方向において対向して配置されていてもよい。
　このような構成により、圧電素子を第１弾性部と第２弾性部とによって挟持し、圧電素子と第２給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　前記１つ又は複数の振動体は、金属で形成されており、
　前記１つ又は複数の振動体は、絶縁材料で覆われていてもよい。
　このような構成により、製造コストを低減しつつ、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。
　本発明の一態様の撮像装置は、
　前記態様の振動装置と、
　前記振動装置内に配置される撮像素子と、
を備える。
　このような構成により、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。
　以下、本発明の一実施形態を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。
（実施の形態１）
［全体構成］
　図１は、本発明に係る実施の形態１の振動装置１Ａの一例の構成を示す概略図である。図２は、本発明に係る実施の形態１の振動装置１Ａの一例を示す分解斜視図である。図３は、本発明に係る実施の形態１の振動装置１Ａの一例の部分拡大図である。図４は、本発明に係る実施の形態１における給電導体６の一例を下から見た概略図である。なお、図中のＸ，Ｙ，Ｚ方向は、それぞれ、振動装置１Ａの縦方向、横方向、高さ方向を示す。
　図１－図４に示すように、振動装置１Ａは、透光体カバー２、圧電素子３、複数の振動体４，５、及び給電導体６を備える。振動装置１Ａにおいては、給電導体６に複数の弾性部７が設けられている。実施の形態１では、複数の振動体４，５は、第１振動体４及び第２振動体５を含む。給電導体６には、２つの弾性部７が設けられている。なお、振動装置１Ａは、給電導体６に電力を供給する給電回路、及び給電回路を制御する制御部を備えていてもよい。
　振動装置１Ａは、透光体カバー２を振動させることによって、透光体カバー２に付着した液滴などを霧化して除去する。また、振動装置１Ａは、透光体カバー２を振動させることによって、透光体カバー２に付着した異物等を移動させる。例えば、振動装置１Ａは、内部空間に配置された撮像素子の視野内から透光体カバー２に付着した液滴及び／又は異物を除去する。なお、異物とは、例えば、砂、石及び／又は埃などを含む。
　内部空間は、透光体カバー２、圧電素子３、複数の振動体４，５、及び給電導体６により形成されている。この内部空間には、撮像素子などの光学検出素子が配置される。なお、本明細書において、内部空間は密閉された空間には限られない。一部が外部に開いた空間も内部空間とする。
　以下において、振動装置１Ａの構成の詳細について説明する。
＜透光体カバー＞
　透光体カバー２は、振動装置１Ａの外装を形成している。透光体カバー２は、撮像素子などの光学検出素子が検出する波長のエネルギー線又は光が透過する透光性を有する。
　透光体カバー２を形成する材料としては、例えば、透光性のプラスチック、石英、ホウ桂酸などのガラス、又は透光性のセラミックなどを用いることができる。
　透光体カバー２は、ドーム状の形状を有する。透光体カバー２の平面視における形状は円形である。透光体カバー２は、第１振動体４に接続される。具体的には、透光体カバー２は底面２ａを有する。底面２ａは、第１振動体４の上面に接続される。なお、透光体カバー２の形状は、これに限定されない。例えば、透光体カバー２は、平板状であってもよい。透光体カバー２の平面視における形状は、例えば、多角形、楕円形、三角形などであってもよい。本明細書において、平面視とはＺ方向から見る方向をいう。
＜圧電素子＞
　圧電素子３は、透光体カバー２を振動させる。圧電素子３は、複数の振動体４，５に接続されている。また、圧電素子３は、給電導体６に接続されている。例えば、圧電素子３は、複数の弾性部７を介して給電導体６に接続されている。圧電素子３は、給電導体６から給電されることによって振動する。
　圧電素子３は、第１面ＰＳ１と、第１面ＰＳ１と反対側の第２面ＰＳ２と、を有する。具体的には、圧電素子３は板状に形成されており、第１面ＰＳ１と第２面ＰＳ２とはＺ方向において対向している。圧電素子３の第１面ＰＳ１側には、第１振動体４が配置されている。圧電素子３の第２面ＰＳ２側には、第２振動体５が配置されている。
　圧電素子３は、圧電体３ａと、第１面ＰＳ１側に設けられる電極３ｂと、を有する。
　圧電体３ａを形成する材料としては、例えば、ＰＺＴ、（Ｋ，Ｎａ）ＮｂＯ３などの適宜の圧電セラミックス、又はＬｉＴａＯ３、ＬｉＮｂＯ３などの適宜の圧電単結晶などを用いることができる。圧電体３ａは、例えば、円環状に形成されている。なお、圧電体３ａの形状は、これに限定されない。
　電極３ｂは、例えば、円環状に形成されている。電極３ｂは、圧電素子３の第１面ＰＳ１において外周側に設けられている。電極３ｂは、例えば、Ｎｉ電極であってもよい。あるいは、電極３ｂは、スパッタリング法により形成される、Ａｇ又はＡｕなどの金属薄膜からなる電極であってもよい。電極３ｂは、給電導体６に接続されている。電極はスパッタリングの他、めっき、蒸着でも形成可能である。
＜複数の振動体＞
　複数の振動体４，５は、圧電素子３に接続され、圧電素子３の振動を増幅する。第１振動体４は、透光体カバー２と圧電素子３との間に配置されている。第２振動体５は、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に配置されている。
　第１振動体４は、透光体カバー２の底面２ａと圧電素子３の第１面ＰＳ１とに接続されている。具体的には、第１振動体４は、接続領域９ａを介して圧電素子３の第１面ＰＳ１に接続されている。例えば、第１振動体４は、接続領域９ａに塗布された接着剤によって接着されている。
　第１振動体４は、円筒状に形成されている。第１振動体４は、Ｚ方向に延びる円筒形状を有する。具体的には、第１振動体４は、筒状体４ａと、筒状体４ａの上面側において、筒状体４ａの中心側に向かって突設する天板４ｂと、筒状体４ａの下面側で外周側に向かって突設するフランジ部４ｃと、を有する。
　天板４ｂは、円環状の板材で形成されている。また、天板４ｂの下面には、給電導体６が配置される溝８が設けられている。溝８は、円環状に窪んで形成されている。具体的には、溝８は、天板４ｂの厚み方向（Ｚ方向）に窪んで形成されている。溝８の深さは、給電導体６の厚みより大きい。
　溝８は、圧電素子３の第１面ＰＳ１の一部を露出させている。溝８は、圧電素子３の第１面ＰＳ１側に設けられた電極３ｂを第１振動体４から露出させている。
　第２振動体５は、圧電素子３の第２面ＰＳ２に接続されている。具体的には、第２振動体５は、接続領域９ｂを介して圧電素子３の第２面ＰＳ２に接続されている。例えば、第２振動体５は、接続領域９ｂに塗布された接着剤によって接着されている。
　第２振動体５は、円筒状に形成されている。具体的には、第２振動体５の外径は、第１振動体４の筒状体４ａの内径より小さい。第２振動体５は、第１振動体４の内側に配置される。
　第１振動体４及び第２振動体５を形成する材料は、例えば、金属、又はガラス、セラミックである。
　実施の形態１では、第１振動体４及び第２振動体５は金属で形成されている。また、第１振動体４及び第２振動体５は、絶縁材料で覆われている。
＜給電導体＞
　給電導体６は、圧電素子３に接触し、圧電素子３に給電する。給電導体６は、圧電素子３の第１面ＰＳ１側に接触する。
　給電導体６は、環状部６ａと、複数のガイド６ｂと、を有する。
　環状部６ａは、円環状に形成されている。また、環状部６ａは、板状の部材で形成されている。環状部６ａは、第１振動体４の溝８に配置される。
　複数のガイド６ｂは、環状部６ａから延びる板状の部材である。複数のガイド６ｂは、第１振動体４の筒状体４ａの内周に沿ってＺ方向に延び、且つ第１振動体４の外周側に向かって延びている。言い換えると、複数のガイド６ｂは、第１振動体４の筒状体４ａの内周に沿って延び、且つ筒状体４ａの下面においてフランジ部４ｃ側に向かって屈曲している。
　実施の形態１では、２つのガイド６ｂが環状部６ａに設けられている。２つのガイド６ｂは、環状部６ａにおいてＸ方向に対向して設けられている。
　給電導体６は、導電性を有する材料で形成されている。給電導体６を形成する材料は、例えば、ステンレス鋼、ベリリウム銅、洋白、銅などの金属である。あるいは、絶縁材料表面に金属メッキ等導電性を施した構成でもよい。
　給電導体６は、例えば、給電回路に接続されている。給電回路は、給電導体に電力を供給する。給電回路は、例えば、半導体素子によって構成される。給電回路は、例えば、制御部によって制御される。制御部は、例えば、プログラムを記憶したメモリと、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）などのプロセッサに対応する処理回路を備える。例えば、制御部においては、プロセッサがメモリに記憶されたプログラムを実行する。
＜複数の弾性部＞
　複数の弾性部７は、給電導体６を圧電素子３に対して押圧する。具体的には、複数の弾性部７は、給電導体６を圧電素子３の第１面ＰＳ１に設けられた電極３ｂに対して押圧する。
　「給電導体６を圧電素子３に対して押圧する」は、給電導体６の一部を弾性部７として形成し、弾性部７を圧電素子３に接触させることを含む。また、「給電導体６を圧電素子３に対して押圧する」は、給電導体６とは別体で弾性部７を形成し、弾性部７によって給電導体６を圧電素子３に押圧して接触させること、を含む。
　実施の形態１では、複数の弾性部７は、給電導体６の一部で形成されている。複数の弾性部７が、圧電素子３の電極３ｂに対して力を加えながら接触することによって、給電導体６と圧電素子３の電極３ｂとを電気的に接続している。
　図３に戻って、弾性部７は、給電導体６を折り曲げて形成される部分であり、給電導体６を湾曲した板バネ形状を有する。具体的には、弾性部７は、給電導体６の環状部６ａから中心側に向かって突出する板状部材をＵ字状に湾曲させることによって形成されている。
　弾性部７は、例えば、０．２ｍｍの厚みの板状部材で形成されている。弾性部７は、給電導体６と同じ材料で形成されている。弾性部７を形成する材料は、例えば、ステンレス鋼、ベリリウム銅、洋白、銅などの金属である。あるいは、接続箇所のみ金属を露出させる構成でもよい。
　具体的には、弾性部７は、第１板状部７ａと、第１板状部７ａと間隔を有して対向する第２板状部７ｂと、第１板状部７ａと第２板状部７ｂとを接続する湾曲部７ｃと、を備える。
　第１板状部７ａは、Ｙ方向に延びている。第２板状部７ｂは、第１板状部７ａに対してＺ方向に間隔を有して対抗し、Ｙ方向に延びている。また、第２板状部７ｂは、圧電素子３の電極３ｂに接触している。湾曲部７ｃは、板状部材を湾曲して形成される。例えば、湾曲部７ｃは、板状部材をＹ方向においてＵ字状に湾曲して形成される。湾曲部７ｃの一端は、第１板状部７ａに接続される。湾曲部７ｃの他端は、第２板状部７ｂに接続される。
　第１板状部７ａは、第１振動体４の溝８の凹面で支持されている。第２板状部７ｂは、圧電素子３の電極３ｂに接触する。湾曲部７ｃは、第２板状部７ｂを圧電素子３の電極３ｂに対して押圧する。例えば、湾曲部７ｃは、振動装置１Ａの高さ方向（Ｚ方向）において、第２板状部７ｂを第１板状部７ａから離れる方向に力を加えている。これにより、湾曲部７ｃは、第１板状部７ａと第２板状部７ｂとの間隔を広げる方向に力を加えることができる。その結果、第２板状部７ｂが圧電素子３の電極３ｂに押圧される。
　このように、弾性部７は、給電導体６の一部で形成されており、給電導体６を圧電素子３の電極３ｂに押圧している。これにより、圧電素子３が振動した場合でも、給電導体６と圧電素子３の電極３ｂとの電気的な接続が破断されることを抑制することができる。
　実施の形態１では、２つの弾性部７が、環状部６ａにおいてＹ方向に対向して設けられている。また、２つの弾性部７は、２つのガイド６ｂの間に設けられている。
　なお、弾性部７の形状、数及び配置位置は、これに限定されない。弾性部７は、後述する様々な形状、数及び配置を採用することができる。また、弾性部７は、給電導体６の一部で形成される例について説明したが、これに限定されない。弾性部７は、給電導体６と別体で形成されていてもよい。
　次に、圧電素子３の第１面ＰＳ１における第１振動体４の接続領域９ａと、給電導体６の接触領域との関係について説明する。なお、第１振動体４の接続領域９ａとは、接着剤によって第１振動体４と圧電素子３とが接着されている領域である。給電導体６の接触領域とは、圧電素子３の電極３ｂが形成されている領域である。なお、接続領域９ａは、電極が形成されていてもよいし、電極が形成されていなくてもよい。
　図５は、圧電素子３の第１面ＰＳ１における第１振動体４の接続領域９ａの割合と最大変位量比との関係の一例を示す図である。なお、圧電素子３の第１面ＰＳ１における第１振動体４の接続領域９ａの割合とは、圧電素子３の第１面ＰＳ１の面積に対する接続領域９ａの面積の占める割合を意味する。例えば、第１振動体４の接続領域の割合が８０％である場合、給電導体６の接触領域は２０％である。最大変位量比とは、変位量１００％を基準として算出される最大変位量の割合を意味する。最大変位量比が大きいほど、振動が大きいことを意味している。
　図５に示すように、圧電素子３の第１面ＰＳ１において、給電導体６と圧電素子３との接触領域は、第１振動体４と圧電素子３との接続領域９ａよりも小さい。言い換えると、圧電素子３の第１面ＰＳ１において、電極３ｂの形成されている領域は、第１振動体４と圧電素子３との接続領域９ａよりも小さい。
　具体的には、圧電素子３の第１面ＰＳ１において、第１振動体４の接続領域９ａの占める割合が７０％以上であることが好ましい。これにより、最大変位量比を０．８以上で維持することができる。あるいは、第１振動体４の接続領域９ａの占める割合が７５％以上であることが好ましい。これにより、最大変位量比を１以上で維持することができる。また、圧電素子３の第１面ＰＳ１には、電極３ｂが形成される領域を確保するために、第１振動体４の接続領域９ａの占める割合が９５％以下であることが好ましい。
　このように、圧電素子３の第１面ＰＳ１においては、好ましくは、第１振動体４の接続領域９ａの占める割合は７０％以上である。より好ましくは、第１振動体４の接続領域９ａの占める割合は７５％である。圧電素子３の第１面ＰＳ１においては、好ましくは、給電導体６の接触領域の占める割合は３０％以下である。より好ましくは、給電導体６の接触領域の占める割合は２５％以下である。
［動作］
　次に、振動装置１Ａの動作の一例について説明する。
　振動装置１Ａにおいて、制御部は、給電回路を制御することによって、給電導体６に電力を供給する。これにより、給電回路は、給電導体６を介して圧電素子３に給電する。
　圧電素子３は、給電回路による給電によって振動する。圧電素子３の振動は、第１振動体４及び第２振動体５によって増幅される。振動装置１Ａは、圧電素子３の振動により、透光体カバー２を振動させ、透光体カバー２に付着した液滴及び／又は異物を除去する。
　振動装置１Ａにおいて、給電導体６は、複数の弾性部７によって圧電素子３の電極３ｂに押圧されている。これにより、給電導体６と圧電素子３の電極３ｂとの接続が破断されることを抑制している。
［効果］
　実施の形態１に係る振動装置１Ａによれば、以下の効果を奏することができる。
　振動装置１Ａは、透光体カバー２、圧電素子３、複数の振動体４，５、給電導体６、及び複数の弾性部７を備える。圧電素子３は、透光体カバー２を振動させる。複数の振動体４，５は、圧電素子３と接続される。給電導体６は、圧電素子３に接触し、圧電素子３に給電する。複数の弾性部７は、給電導体６を圧電素子３に対して押圧する。このような構成により、圧電素子３と給電導体６との接続の信頼性を向上させることができる。
　複数の弾性部７は、給電導体６を折り曲げて形成される部分であり、給電導体６を湾曲した板バネ形状を有する。このような構成により、給電導体６を圧電素子３に容易に押圧することができ、圧電素子３と給電導体６との接続の信頼性を向上させることができる。また、複数の弾性部７を給電導体６の一部で構成することができ、別体で弾性体を設ける場合と比べて、製造コストを低減することができる。
　給電導体６と圧電素子３との接触領域は、第１振動体４と圧電素子３との接続領域９ａよりも小さい。このような構成により、複数の弾性部７による振動の減衰を抑制しつつ、圧電素子３と給電導体６との接続の信頼性を向上させることができる。
　圧電素子３は、第１面ＰＳ１と、第１面ＰＳ１と反対側の第２面ＰＳ２と、を有する。第１振動体４は、透光体カバー２と圧電素子３の第１面ＰＳ１とに接続される。給電導体６は、圧電素子３の第１面ＰＳ１に接触する。複数の弾性部７は、給電導体６を圧電素子３の第１面ＰＳ１に押圧する。圧電素子３の第１面ＰＳ１において、第１振動体４の接続領域９ａの占める割合は７０％以上であり、給電導体６の接触領域の占める割合は３０％以下である。このような構成により、複数の弾性部７による振動の減衰を更に抑制しつつ、圧電素子３と給電導体６との接続の信頼性を向上させることができる。
　圧電素子３は電極３ｂを有する。第１振動体４には、電極３ｂを露出させる溝８が設けられている。複数の弾性部７は、溝８に配置される。このような構成により、複数の弾性部７によって給電導体６を容易に押圧することができる。溝８内で、複数の弾性部７によって給電導体６を電極３ｂに押圧しながら接触させることによって、給電導体６と圧電素子３との剥離を抑制しやすくなる。これにより、圧電素子３と給電導体６との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　複数の振動体４，５は、金属で形成されている。複数の振動体４，５は、絶縁材料で覆われている。このような構成により、複数の振動体４，５を安価に製造できると共に、電気的な安全性を保つことができる。
　なお、実施の形態１では、振動装置１Ａが１つの円環状の圧電素子３を備える例について説明したが、これに限定されない。例えば、振動装置１Ａは、矩形状、円形状、多角形状又は楕円形状の複数の圧電素子を有していてもよい。この場合、複数の圧電素子は、例えば、円環状に並べられて配置されてもよい。あるいは、複数の圧電素子は、透光体カバー２の形状に応じて配置されてもよい。
　実施の形態１では、振動装置１Ａが複数の振動体４，５を備える例について説明したが、これに限定されない。振動装置１Ａは、１つ又は複数の振動体を備えていればよい。例えば、振動装置１Ａは、透光体カバー２と圧電素子３とに接続される１つの振動体を有していてもよい。
　実施の形態１では、振動装置１Ａが１つの給電導体６を備える例について説明したが、これに限定されない。振動装置１Ａは、１つ又は複数の給電導体を備えていればよい。
　実施の形態１では、振動装置１Ａが複数の弾性部７を備える例について説明したが、これに限定されない。振動装置１Ａは１つ又は複数の弾性部７を備えていればよい。
　実施の形態１では、電極３ｂが圧電素子３の第１面ＰＳ１上の外周側に設けられる例について説明したが、これに限定されない。電極３ｂは、圧電素子３と給電導体６とが接触する位置に設けられていればよい。例えば、電極３ｂは、圧電素子３の第１面ＰＳ１上の内周側に設けられていてもよい。あるいは、電極３ｂは、圧電素子３の第２面ＰＳ２上に設けられていてもよい。
　実施の形態１では、電極３ｂが円環状に形成されている例について説明したが、これに限定されない。電極３ｂは、給電導体６と接触する部分に設けられていればよい。例えば、矩形状を有する複数の電極３ｂが圧電素子３の第１面ＰＳ１に設けられていてもよい。
　実施の形態１では、給電導体６が圧電素子３の第１面ＰＳ１側に接触する例について説明したが、これに限定されない。例えば、給電導体６は、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に接触していてもよい。この場合、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に電極３ｂが形成されていてもよい。
　実施の形態１では、第１振動体４に設けられる溝８が円環状に設けられている例について説明したが、これに限定されない。第１振動体４には、複数の弾性部７が配置される空間を有する１つ又は複数の溝８が形成されていればよい。また、１つ又は複数の溝８は、電極３ｂを第１振動体４から露出させていればよい。
　実施の形態１では、複数の弾性部７が給電導体６の環状部６ａ上でＹ方向に対向して配置される例について説明したが、これに限定されない。複数の弾性部７は、給電導体６の環状部６ａ上でランダムに配置されていてもよい。
　実施の形態１では、弾性部７が給電導体６を折り曲げて形成される部分であり、給電導体６をＵ字状に湾曲した板バネ形状を有する例について説明したが、これに限定されない。弾性部７は、給電導体６を圧電素子３に押圧させて接触させる形状を有していればよい。例えば、弾性部７は給電導体６をコイル状に折り曲げて形成してもよい。弾性部７は、Ｖ字状、Ｗ字状などの形状を有していてもよい。
　図６Ａ－図６Ｄは、本発明に係る実施の形態１の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。
　図６Ａに示す振動装置１ＡＡにおいて、弾性部７Ａは、給電導体６を折り曲げて形成される部分であり、給電導体６を湾曲した板バネ形状を有する。弾性部７Ａは、第３板状部７ｄ、第３板状部７ｄと間隔を有して配置される第４板状部７ｅと、第３板状部７ｄと第４板状部７ｅとを接続する湾曲部７ｆと、を備える。
　第３板状部７ｄは、Ｙ方向に延びている。第４板状部７ｅは、第３板状部７ｄと同じ高さでＹ方向に延びている。第３板状部７ｄと第４板状部７ｅとは、間隔を有して配置されている。湾曲部７ｆは、板状部材をＺ方向においてＵ字状に湾曲して形成される。湾曲部７ｆの一端は、第３板状部７ｄの端部に接続される。湾曲部７ｆの他端は、第４板状部７ｅの端部に接続される。湾曲部７ｆは、圧電素子３の電極３ｂに接触している。
　湾曲部７ｆは、第３板状部７ｄと第４板状部７ｅとの間隔を狭める方向に力を加えながら、圧電素子３の電極３ｂに接触している。これにより、給電導体６と圧電素子３の電極３ｂとを電気的に接続している。
　図６Ｂに示す振動装置１ＡＢにおいて、弾性部７Ｂは、給電導体６の一部で形成されており、環状部６ａの内周からＹ方向に延びる板状部材で形成されている。振動装置１ＡＢは、弾性部７Ｂから圧電素子３側に突出する凸部６ｃを有している。凸部６ｃは、導電性を有する弾性材料で形成されている。凸部６ｃは、例えば、金属体を蒸着、スパッタ、メッキ等を行うことによって形成することができる。凸部６ｃは、例えば、半球形状を有する。凸部６ｃは、溝８内において、弾性部７Ｂと圧電素子３の電極３ｂとの間に配置されている。これにより、給電導体６と圧電素子３とを電気的に接続している。なお、凸部６ｃと圧電素子３の電極３ｂとの間には、導電シートが配置されてもよい。
　図６Ｃに示す振動装置１ＡＣにおいて、弾性部７Ｃは、給電導体６の一部で形成されており、環状部６ａの内周からＹ方向に延びる板状部材で形成されている。振動装置１ＡＣは、第１振動体４に設けられた溝８を画定する壁面から突出する凸部４ｄを有する。凸部４ｄは、例えば、半球形状を有する。凸部４ｄは、溝８の凹面と弾性部７Ｃとの間に配置されている。これにより、弾性部７Ｃを圧電素子３の電極３ｂに押圧し、給電導体６と圧電素子３とを電気的に接続している。
　図６Ｄに示す振動装置１ＡＤにおいて、弾性部７Ｄは、給電導体６の一部で形成されており、環状部６ａの内周からＹ方向に延びる板状部材で形成されている。振動装置１ＡＤは、圧電素子３に設けられた凸部３ｄを有する。凸部３ｄは、圧電素子３の電極３ｂに設けられている。凸部３ｄは、例えば、半球形状を有する。凸部４ｄは、弾性部７Ｄと圧電素子３との間に配置されている。これにより、給電導体６と圧電素子３とを電気的に接続している。
　なお、弾性部７は、給電導体６の一部で形成される例について説明したが、これに限定されない。弾性部７は、給電導体６を圧電素子３に押圧して接触させることができればよい。弾性部７は、給電導体６と別体で構成されていてもよい。例えば、弾性部７は、溝８内において、給電導体６と圧電素子３の電極３ｂとの間に配置される導電性の弾性部材であってもよい。
（実施の形態２）
　本発明の実施の形態２に係る振動装置について説明する。なお、実施の形態２では、主に実施の形態１と異なる点について説明する。実施の形態２においては、実施の形態１と同一又は同等の構成については同じ符号を付して説明する。また、実施の形態２では、実施の形態１と重複する記載は省略する。
　図７は、本発明に係る実施の形態２の振動装置１Ｂの一例を示す分解斜視図である。図８Ａは、本発明に係る実施の形態２の振動装置１Ｂの一例の第１弾性部７における部分拡大断面図である。図８Ｂは、本発明に係る実施の形態２の振動装置１Ｂの一例の第２弾性部１１における部分拡大断面図である。図９は、本発明に係る実施の形態２における第２給電導体１０の一例を上から見た概略図である。
　実施の形態２においては、実施の形態１の圧電素子３の電極３ｂ、給電導体６、弾性部７及び溝８を、それぞれ、第１電極３ｂ、第１給電導体６、第１弾性部７及び第１溝８と称する。
　実施の形態２では、第２給電導体１０及び複数の第２弾性部１１を備えている点、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に第２電極３ｃが設けられている点、第２振動体５に第２溝１２が設けられている点で、実施の形態１と異なる。
　図７－図９に示すように、振動装置１Ｂは、実施の形態１の振動装置１Ａの構成に加えて、第２給電導体１０及び複数の第２弾性部１１を備える。実施の形態２では、２つの第２弾性部１１が第２給電導体１０に設けられている。２つの第１弾性部７がＹ方向に対向して配置されているのに対し、２つの第２弾性部１１はＸ方向に対向して配置されている。
　図８Ａに示す振動装置１Ｂの構成と、実施の形態１の図３に示す振動装置１Ａの構成とは、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に第２電極３ｃが設けられている点と、第２振動体５に第２電極３ｃを露出させる第２溝１２が設けられている点と、を除いて同様である。
　第２電極３ｃは、第２給電導体１０と接触する。第２電極３ｃは、圧電素子３の第２面ＰＳ２上で圧電素子３の内周側に設けられている。第２電極３ｃは、圧電素子３の第２面ＰＳ２において、円環状に形成されている。圧電素子３の第２面ＰＳ２において、第２電極３ｃが形成されている領域は、第２振動体５の接続領域９ｂより小さい。言い換えると、圧電素子３の第２面ＰＳ２において、第２給電導体１０と圧電素子３との接触領域は、第２振動体５と圧電素子３との接続領域９ｂよりも小さい。
　第２溝１２は、圧電素子３の第２電極３ｃを第２振動体５から露出させる。第２溝１２は、第２振動体５の内周側から外周側に向かって窪んで形成されている。第２溝１２は、例えば、円環状に窪んで形成されている。
　第２給電導体１０及び複数の第２弾性部１１について詳細に説明する。
＜第２給電導体＞
　第２給電導体１０は、圧電素子３に接触し、圧電素子３に給電する。第２給電導体１０は、第１給電導体６よりも圧電素子３の内周側で圧電素子３に接触する。また、第２給電導体１０は、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に接触する。
　第２給電導体１０は、環状部１０ａと、複数の突出部１０ｂと、を有する。
　環状部１０ａは、円環状に形成されている。また、環状部１０ａは、板状の部材で形成されている。環状部１０ａは、第２振動体５に取り付けられる。
　複数の突出部１０ｂは、環状部１０ａから延びる板状の部材である。複数の突出部１０ｂは、第２振動体５の内周に沿ってＺ方向に延びている。また、複数の突出部１０ｂの端部のそれぞれには、第２弾性部１１が設けられている。
　実施の形態２では、２つの突出部１０ｂが環状部１０ａに設けられている。２つの突出部１０ｂは、環状部１０ａにおいてＸ方向に対向して設けられている。
　第２給電導体１０は、導電性を有する材料で形成されている。第２給電導体１０を形成する材料は、例えば、ステンレス鋼、ベリリウム銅、洋白、銅などの金属である。
　第２給電導体１０は、例えば、給電回路に接続されている。
＜複数の第２弾性部＞
　図８Ｂに戻って、複数の第２弾性部１１は、第２給電導体１０を圧電素子３に対して押圧する。複数の第２弾性部１１は、第２給電導体１０を圧電素子３の第２面ＰＳ２に設けられた第２電極３ｃに対して第２給電導体１０を押圧する。具体的には、複数の第２弾性部１１は、第２振動体５に設けられた第２溝１２内に配置される。複数の第２弾性部１１は、第２溝１２内において、第２給電導体１０を圧電素子３の第２電極３ｃに向かって押圧する。
　第２弾性部１１は、第１弾性部７と同様の構成を有する。具体的には、第２弾性部１１は、第２給電導体１０を折り曲げて形成される部分であり、第２給電導体１０を湾曲した板バネ形状を有する。具体的には、第２弾性部１１は、第２給電導体１０の突出部１０ｂの端部から環状部１０ａの外周側に向かって突出させた板状部材をＵ字状に湾曲させることによって形成されている。
　第２弾性部１１は、例えば、０．２ｍｍの厚さの板状部材で形成されている。第２弾性部１１は、第２給電導体１０と同じ材料で形成されている。第２弾性部１１を形成する材料は、例えば、ステンレス鋼、ベリリウム銅、洋白、銅などの金属である。
　このように、第２弾性部１１は、第２給電導体１０の一部で形成されており、第２給電導体１０を圧電素子３の第２電極３ｃに押圧している。これにより、圧電素子３が振動した場合でも、第２給電導体１０と圧電素子３の第２電極３ｃとの電気的な接続が破断されることを抑制することができる。
　図９に戻って、実施の形態２では、２つの第２弾性部１１が、環状部１０ａにおいてＸ方向に対向して設けられている。
　また、振動装置１Ｂの平面視において、複数の第２弾性部１１は、複数の第１弾性部７の間に配置されている。言い換えると、振動装置１Ｂの平面視において、複数の第２弾性部１１は、複数の第１弾性部７と重なっていない。複数の第２弾性部１１と複数の第１弾性部７とは交互に配置されている。
［効果］
　実施の形態２に係る振動装置１Ｂによれば、以下の効果を奏することができる。
　振動装置１Ｂは、透光体カバー２、圧電素子３、複数の振動体４，５、複数の給電導体６，１０、及び複数の弾性部７，１１を備える。圧電素子３は、第１面ＰＳ１と、第１面ＰＳ１と反対側の第２面ＰＳ２と、を有する。複数の給電導体６，１０は、第１面ＰＳ１と接触する第１給電導体６と、第２面ＰＳ２と接触する第２給電導体１０と、を有する。複数の弾性部７，１１は、第１給電導体６を第１面ＰＳ１に押圧する複数の第１弾性部７と、第２給電導体１０を第２面ＰＳ２に押圧する複数の第２弾性部１１と、を有する。このような構成により、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を向上させることができる。
　圧電素子３は、環状に形成される。複数の振動体４，５は、透光体カバー２の底面２ａと圧電素子３との第１面ＰＳ１に接続される第１振動体４と、圧電素子３の第２面ＰＳ２に接続される第２振動体５と、を有する。第２給電導体１０は、第１給電導体６よりも圧電素子３の内周側で圧電素子３に接触する。このような構成により、複数の第１弾性部７によって圧電素子３の外周側で第１給電導体６を圧電素子３の第１面ＰＳ１に押圧することができる。また、複数の第２弾性部１１によって圧電素子３の内周側で第２給電導体１０を圧電素子３の第２面ＰＳ２に押圧することができる。これにより、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　圧電素子３の第１面ＰＳ１において、第１給電導体６と圧電素子３との接触領域は、第１振動体４と圧電素子３との接続領域９ａよりも小さい。圧電素子３の第２面ＰＳ２において、第２給電導体１０と圧電素子３との接触領域は、第２振動体５と圧電素子３との接続領域９ｂよりも小さい。このような構成により、複数の弾性部７，１１による振動の減衰を抑制しつつ、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を向上させることができる。
　圧電素子３は、第１面ＰＳ１に設けられる第１電極３ｂと、第２面ＰＳ２に設けられる第２電極３ｃと、を有する。第１振動体４には、第１電極３ｂを露出させる第１溝８が設けられている。第２振動体５には、第２電極３ｃを露出させる第２溝１２が設けられている。複数の第１弾性部７は、第１溝８に配置される。複数の第２弾性部１１は、第２溝１２に配置される。このような構成により、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　なお、実施の形態２では、振動装置１Ｂが複数の第２弾性部１１を備える例について説明したが、これに限定されない。振動装置１Ｂは１つ又は複数の第２弾性部１１を備えていればよい。
　実施の形態２では、第２電極３ｃが圧電素子３の第２面ＰＳ２上の内周側に設けられる例について説明したが、これに限定されない。第２電極３ｃは、圧電素子３と給電導体６とが接触する位置に設けられていればよい。例えば、第２電極３ｃは、圧電素子３の第１面ＰＳ１上の外周側に設けられていてもよい。あるいは、第２電極３ｃは、圧電素子３の第１面ＰＳ１上に設けられていてもよい。
　実施の形態２では、第２電極３ｃが円環状に形成されている例について説明したが、これに限定されない。第２電極３ｃは、第２給電導体１０と接触する部分に設けられていればよい。例えば、矩形状を有する複数の第２電極３ｃが圧電素子３の第２面ＰＳ２に設けられていてもよい。
　実施の形態２では、第２給電導体１０が圧電素子３の第２面ＰＳ２側に接触する例について説明したが、これに限定されない。例えば、第２給電導体１０は、圧電素子３の第１面ＰＳ１側に接触してもよい。この場合、第１給電導体６が圧電素子３の第２面ＰＳ２側に接触していてもよい。
　実施の形態２では、第２振動体５に設けられる第２溝１２が円環状に設けられている例について説明したが、これに限定されない。第２振動体５には、第２給電導体１０と複数の第２弾性部１１とが配置される空間を有する１つ又は複数の第２溝１２が形成されていればよい。また、１つ又は複数の第２溝１２は、第２電極３ｃを第２振動体５から露出させていればよい。
　実施の形態２では、複数の第２弾性部１１が第２給電導体１０の環状部１０ａ上でＸ方向に対向して配置される例について説明したが、これに限定されない。複数の第２弾性部１１は、第２給電導体１０の環状部１０ａ上でランダムに配置されてもよい。
　実施の形態２では、複数の第２弾性部１１が複数の第１弾性部７の間に交互に配置される例について説明したが、これに限定されない。複数の第２弾性部１１は、複数の第１弾性部７と対向して配置されてもよい。
　実施の形態２では、第２弾性部１１が第２給電導体１０の一部を折り曲げて形成される部分であり、第２給電導体１０の一部をＵ字状に湾曲した板バネ形状を有する例について説明したが、これに限定されない。第２弾性部１１は、第２給電導体１０を圧電素子３に押圧させて接触させる形状を有していればよい。第２弾性部１１は、第１弾性部７と同様に様々な形状を有していてもよい。例えば、第２弾性部１１は第２給電導体１０をコイル状に折り曲げて形成してもよい。第２弾性部１１は、Ｖ字状、Ｗ字状などの形状を有していてもよい。あるいは、第２弾性部１１は、第２給電導体１０と別体で構成されていてもよい。
　図１０Ａ－図１０Ｃは、本発明に係る実施の形態２の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。なお、図１０Ａ－図１０Ｃにおいては、説明を容易にするために、第１弾性部７，７Ａと第２弾性部１１とが同じ断面に示されている。しかしながら、第１弾性部７，７Ａと第２弾性部１１との配置位置はこれらに限定されない。第１弾性部７，７Ａと第２弾性部１１とは、同じ断面になくてもよい。
　図１０Ａに示す振動装置１ＢＡにおいて、第１給電導体６は、圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（Ｘ，Ｙ方向）に延びる第１支持部１３を有し、第１弾性部７と第１支持部１３との間に圧電素子３を保持する。振動装置１ＢＡにおいて、第１弾性部７は、第１給電導体６の途中に設けられている。第１支持部１３は、第１給電導体６を屈曲させて形成された部分であり、第１給電導体６の端部に設けられている。
　第１支持部１３は、第１溝８に配置される第１弾性部７から第２振動体５の外周部をＺ方向に延び、且つ圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（Ｘ，Ｙ方向）に屈曲している。これにより、第１支持部１３が第２振動体５に係合し、圧電素子３及び第２振動体５を、第１弾性部７と第１支持部１３との間に保持する。第１支持部１３は、例えば、板状の部材で形成されている。
　第２給電導体１０は、圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（Ｘ，Ｙ方向）に延びる第２支持部１４を有し、第２弾性部１１と第２支持部１４との間に圧電素子３を保持する。振動装置１ＢＡにおいて、第２弾性部１１は、第２給電導体１０の途中に設けられている。第２支持部１４は、第２給電導体１０を屈曲させて形成された部分であり、第２給電導体１０の端部に設けられている。
　第２支持部１４は、第２溝１２に配置される第２弾性部１１から第１振動体４の外周部をＺ方向に延び、且つ圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（Ｘ，Ｙ方向）に屈曲している。これにより、第１支持部１３が第１振動体４に設けられた第３溝１５に係合し、圧電素子３及び第１振動体４を、第２弾性部１１と第２支持部１４との間に保持する。第３溝１５は、圧電素子３と接触する面よりも上方であって、第１振動体４の内周側から外周側に向かって窪んで形成されている。第２支持部１４は、例えば、板状の部材で形成されている。
　図１０Ｂに示す振動装置１ＢＢにおいて、第１弾性部７Ａは、第１給電導体６の端部に設けられている。第１支持部１３は、第１給電導体６の途中に設けられている。また、振動装置１ＢＢにおいて、第２振動体５の外周側のコーナーに段差１６が設けられている。段差１６には、第１支持部１３が配置される。これにより、第１支持部１３が第２振動体５の段差１６に係合し、圧電素子３及び第２振動体５を、第１弾性部７Ａと第１支持部１３との間に保持する。
　図１０Ｃに示す振動装置１ＢＣにおいて、第２給電導体１０は、圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（Ｘ，Ｙ方向）に延びる第３支持部１７を有し、第２弾性部１１と第３支持部１７との間に圧電素子３を保持する。振動装置１ＢＣにおいて、第２弾性部１１は、第２給電導体１０の端部に設けられている。第３支持部１７は、第２給電導体１０を屈曲させて形成された部分であり、第２給電導体１０の途中に設けられている。また、振動装置１ＢＣは、第２振動体５を備えておらず、圧電素子３の第２面ＰＳ２の全面には、第２電極３ｃが設けられている。
　第２弾性部１１は、第１振動体４に設けられた第４溝１８に配置されている。第４溝１８は、圧電素子３の第１面ＰＳ１よりも上方であって、第１振動体４の内周側から外周側に向かって窪んで形成されている。第２弾性部１１は、圧電素子３に接触していない。
　第３支持部１７は、第４溝１８に配置される第２弾性部１１から第１振動体４の外周部及び圧電素子３の側方をＺ方向に延び、且つ圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（Ｘ，Ｙ方向）に屈曲している。これにより、第３支持部１７が圧電素子３の第２面ＰＳ２に係合し、圧電素子３及び第１振動体４を、第２弾性部１１と第３支持部１７との間に保持する。第３支持部１７は、例えば、板状の部材で形成されている。
　振動装置１ＢＣでは、第２弾性部１１によって第３支持部１７を圧電素子３の第２面ＰＳ２に押圧している。これにより、圧電素子３を第２弾性部１１と第３支持部１７との間に保持している。
　また、第２給電導体１０は、第３支持部１７と圧電素子３の第２電極３ｃを電気的に接触させることによって、圧電素子３に給電している。
　上記のような変形例の構成により、複数の給電導体６，１０と圧電素子３との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　なお、図１０Ａ－図１０Ｃに示す変形例は例示であって、振動装置１ＢＡ－１ＢＣはこれらの形態に限定されない。例えば、振動装置１ＢＡ－１ＢＣにおいて、１つ又は複数の第１支持部１３、１つ又は複数の第２支持部１４、１つ又は複数の第３溝１５、１つ又は複数の第３支持部１７、及び／又は１つ又は複数の第４溝１８を有していてもよい。あるいは、振動装置１ＢＡ－１ＢＣは、第１支持部１３、第２支持部１４及び第３支持部１７のうち少なくともいずれか１つを有していればよい。
　図１０Ａ－図１０Ｃに示す変形例では、説明を容易にするために、第１支持部１３、第２支持部１４及び第３支持部１７という名称を用いたが、これらに限定されない。支持部の数に応じて、名称を変更する場合がある。例えば、第３支持部１７を第２支持部と称する場合もあるし、第２支持部１４を第３支持部と称する場合もある。
（実施の形態３）
　本発明の実施の形態３に係る振動装置について説明する。なお、実施の形態３では、主に実施の形態２と異なる点について説明する。実施の形態３においては、実施の形態２と同一又は同等の構成については同じ符号を付して説明する。また、実施の形態３では、実施の形態２と重複する記載は省略する。
　図１１は、本発明に係る実施の形態３の振動装置１Ｃの一例の部分拡大断面図である。
　実施の形態３では、第１弾性部７Ａと第２弾性部１１Ａとが圧電素子３の外周側に配置され、圧電素子３を挟持している点で、実施の形態２と異なる。
　図１１に示すように、圧電素子３の第２面ＰＳ２において、第２電極３ｃは圧電素子３の外周側に設けられている。具体的には、第２電極３ｃは、第１電極３ｂと対向して配置されている。
　また、第２溝１２は、第２振動体５の外周に設けられている。具体的には、第２溝１２は、第２振動体５の外周側から内周側に向かって窪んでいる。これにより、第２溝１２は第２電極３ｃを第２振動体５から露出させている。
　第２溝１２内において、第２弾性部１１Ａが配置されている。第２溝１２内において、第２弾性部１１Ａは、第２給電導体１０を圧電素子３の第２電極３ｃに押圧している。具体的には、第２弾性部１１Ａは、第２給電導体１０の一部で形成されており、圧電素子３の第２電極３ｃに接触している。これにより、第２給電導体１０は、第２弾性部１１Ａを介して圧電素子３の第２電極３ｃに電気的に接続されている。
　一方、第１振動体４に設けられた第１溝８内においては、第１弾性部７Ａが配置されている。第１溝８内において、第１弾性部７Ａは、第１給電導体６を圧電素子３の第１電極３ｂに対して押圧している。具体的には、第１弾性部７Ａは、第１給電導体６の一部で形成されており、圧電素子３の第１電極３ｂに接触している。これにより、第１給電導体６は、第１弾性部７Ａを介して圧電素子３の第１電極３ｂに電気的に接続されている。
　第１弾性部７Ａと第２弾性部１１Ａとは、振動装置１Ｃの高さ方向（Ｚ方向）において、重なるように配置されている。即ち、第１弾性部７Ａと第２弾性部１１Ａとは、圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）において、対向して配置されている。これにより、圧電素子３は、第１弾性部７Ａと第２弾性部１１Ａによって挟持されている。
［効果］
　実施の形態３に係る振動装置１Ｃによれば、以下の効果を奏することができる。
　振動装置１Ｃにおいて、複数の給電導体６，１０は、第１面ＰＳ１と接触する第１給電導体６と、第２面ＰＳ２と接触する第２給電導体１０と、を有する。複数の弾性部７Ａ，１１Ａは、第１給電導体６を第１面ＰＳ１に押圧する複数の第１弾性部７Ａと、第２給電導体１０を第２面ＰＳ２に押圧する複数の第２弾性部１１Ａと、を有する。複数の第１弾性部７Ａと複数の第２弾性部１１Ａとは、それぞれ、圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）に対向して配置されている。これにより、複数の第１弾性部７Ａと複数の第２弾性部１１Ａとによって圧電素子３を挟持することができる。その結果、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を更に向上させることができる。
　なお、実施の形態３では、第１電極３ｂ及び第２電極３ｃが圧電素子３の外周側に設けられる例について説明したが、これに限定されない。第１電極３ｂ及び第２電極３ｃは、圧電素子３において互いに対向する位置に設けられていればよい。例えば、第１電極３ｂ及び第２電極３ｃは、圧電素子３の内周側に設けられていてもよい。
　実施の形態３では、第１弾性部７Ａ及び第２弾性部１１Ａが圧電素子３の外周側で圧電素子３を挟持する例について説明したが、これに限定されない。第１弾性部７Ａ及び第２弾性部１１Ａは、圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）において対向して配置されていればよい。
　図１２Ａ及び図１２Ｂは、本発明に係る実施の形態３の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。なお、図１２Ａに示す振動装置１ＣＡは、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に第２振動体５を備える。一方、図１２Ｂに示す振動装置１ＣＢは、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に第２振動体５を備えていない。
　図１２Ａ及び図１２Ｂに示すように、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に、第２弾性部１１Ｂが配置されている。第２弾性部１１Ｂは、間隔を有して対向して配置される２つの板状部材と、２つの板状部材を接続する湾曲部と、を有している。第２弾性部１１Ｂにおいて、２つの板状部材は、Ｙ方向に間隔を有して対向して配置されている。湾曲部は、Ｚ方向にＵ字状に湾曲しており、圧電素子３の第２電極３ｃと接触している。
　このような構成により、第１弾性部７，７Ａと第２弾性部１１Ｂとによって圧電素子３を挟持することができる。これにより、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を更に向上させることができる。
（実施の形態４）
　本発明の実施の形態４に係る振動装置について説明する。なお、実施の形態４では、主に実施の形態１と異なる点について説明する。実施の形態４においては、実施の形態１と同一又は同等の構成については同じ符号を付して説明する。また、実施の形態４では、実施の形態１と重複する記載は省略する。
　図１３は、本発明に係る実施の形態４の振動装置１Ｄの一例の部分拡大断面図である。
　実施の形態４では、第２振動体５を備えない点、及び第２給電導体１０を備える点で、実施の形態１と異なる。
　図１３に示すように、圧電素子３の第１面ＰＳ１側においては、溝８内において、弾性部７が第１給電導体６を圧電素子３の第１電極３ｂに押圧している。一方、圧電素子の第２面ＰＳ２側には、第２給電導体１０が接触して配置されている。
　具体的には、圧電素子３の第２面ＰＳ２の全面には、第２電極３ｃが設けられている。第２給電導体１０は、第２電極３ｃに接触して配置されている。
［効果］
　実施の形態４に係る振動装置１Ｄによれば、以下の効果を奏することができる。
　振動装置１Ｄにおいては、第１給電導体６に設けられた弾性部７によって第１給電導体６を圧電素子３に押圧している。一方、第２給電導体１０には弾性部が設けられていない。また、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に第２振動体５が設けられている。このような構成であっても、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を向上させることができる。
　なお、実施の形態４では、振動装置１Ｄが第１給電導体６を圧電素子３に押圧する弾性部７を備える例について説明したが、これに限定されない。振動装置１Ｄは、第１給電導体６と第２給電導体１０とのうち少なくともいずれか一方を圧電素子３に押圧する弾性部を備えていればよい。例えば、振動装置１Ｄは、第２給電導体１０を圧電素子３に押圧する弾性部を備えていてもよい。この場合、振動装置１Ｄは、第１給電導体６を圧電素子３に押圧する弾性部７を有していなくてもよい。
（実施の形態５）
　本発明の実施の形態５に係る撮像装置について説明する。なお、実施の形態５では、主に実施の形態１と異なる点について説明する。実施の形態５においては、実施の形態１と同一又は同等の構成については同じ符号を付して説明する。また、実施の形態５では、実施の形態１と重複する記載は省略する。
　図１４は、本発明に係る実施の形態５の撮像装置５０の構成の一例を示す概略図である。
　実施の形態５では、実施の形態１の振動装置１Ａと、撮像素子５１と、を備える撮像装置５０について説明する。
　図１４に示すように、撮像装置５０は、実施の形態１の振動装置１Ａと、振動装置１A内に配置される撮像素子５１と、を備える。なお、振動装置１Ａについては、実施の形態１と同様のため、説明を省略する。
＜撮像素子＞
　撮像素子５１は、振動装置１Ａの内部空間に配置される。撮像素子５１は、回路基板５２に搭載されている。回路基板５２は、撮像素子を駆動する撮像素子用制御回路を含む。
　撮像素子５１としては、例えば、可視領域から遠赤外領域のいずれかの波長の光を受光する、ＣＭＯＳ、ＣＣＤ、ボロメーターやサーモパイルなどを挙げることができる。
［効果］
　実施の形態５に係る撮像装置５０によれば、以下の効果を奏することができる。
　撮像装置５０は、実施の形態１の振動装置１Ａと、振動装置１Ａ内に配置される撮像素子５１と、を備える。このような構成により、圧電素子３と給電導体６との接続の信頼性を向上させることができる。
　なお、実施の形態５では、撮像装置５０が実施の形態１の振動装置１Ａを備える例について説明したが、これに限定されない。撮像装置５０は、実施の形態１～４の振動装置１Ａ～１Ｄを備えていてもよい。
　実施の形態５では、撮像装置５０が回路基板５２を備える例について説明したが、これに限定されない。回路基板５２は必須の構成ではない。
（他の実施形態）
　他の実施形態について説明する。
　図１５は、他の実施形態の振動装置における第１給電導体６Ａの一例を下から見た概略図である。図１６は、他の実施形態の振動装置における第２給電導体１０Ａの一例を上から見た概略図である。
　図１５に示すように、第１給電導体６Ａは、３つの第１弾性部７を有する。３つの第１弾性部７は、等間隔で配置されている。具体的には、第１給電導体６Ａの平面視において、第１給電導体６Ａの中心から３つの第１弾性部７のそれぞれに向かって線分を引いた場合、隣り合う線分で画定される角度θ１が等しい。このような構成により、３つの第１弾性部７によって、圧電素子３に第１給電導体６Ａをバランスよく接触させることができる。これにより、圧電素子３と第１給電導体６Ａとの接続の信頼性を更に向上させることができる。
　図１６に示すように、第２給電導体１０Ａは、３つの第２弾性部１１を有する。３つの第２弾性部１１は、等間隔で配置されている。具体的には、第２給電導体１０Ａの平面視において、第２給電導体１０Ａの中心から３つの第２弾性部１１のそれぞれに向かって線分を引いた場合、隣り合う線分で画定される角度θ２が等しい。このような構成により、３つの第２弾性部１１によって、圧電素子３に第２給電導体１０Ａをバランスよく接触させることができる。これにより、圧電素子３と第２給電導体１０Ａとの接続の信頼性を更に向上させることができる。
　なお、第１弾性部７の数及び第２弾性部１１の数は、３つに限定されない。第１弾性部７の数及び第２弾性部１１の数は、４つ以上であってもよい。ただし、組み立ての観点から、第１弾性部７の数及び第２弾性部１１の数は、２つ以上４つ以下が好ましい。より好ましくは、第１弾性部７の数及び第２弾性部１１の数は、２つ以上３つ以下である。
　図１７は、他の実施形態の振動装置１Ｅの構成の一例を示す概略図である。図１７に示すように、振動装置１Ｅは、透光体カバー２を備えず、別の部品、装置及び／又はシステムに組み込まれてもよい。言い換えると、振動装置１Ｅは、撮像装置５０での使用に限定されず、様々なデバイスに応用可能である。
　本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施の形態に関連して充分に記載されているが、この技術に熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
　本発明の振動装置は、例えば、撮像装置、携帯電話機、デジタルカメラ、携帯端末装置、リモートコントローラ等に適用できる。
　１Ａ，１ＡＡ，１ＡＢ，１ＡＣ，１ＡＤ，１Ｂ，１ＢＡ，１ＢＢ，１ＢＣ，１Ｃ，１ＣＡ，１ＣＢ，１Ｄ，１Ｅ　振動装置
　２　透光体カバー
　２ａ　底面
　３　圧電素子
　３ａ　圧電体
　３ｂ　第１電極
　３ｃ　第２電極
　３ｄ　凸部
　４　第１振動体
　４ａ　筒状体
　４ｂ　天板
　４ｃ　フランジ部
　４ｄ　凸部
　５　第２振動体
　６，６Ａ　第１給電導体
　６ａ　環状部
　６ｂ　ガイド
　６ｃ　凸部
　７，７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ　第１弾性部
　７ａ　第１板状部
　７ｂ　第２板状部
　７ｃ　湾曲部
　７ｄ　第３板状部
　７ｅ　第４板状部
　７ｆ　湾曲部
　８　第１溝
　９ａ，９ｂ　接続領域
　１０，１０Ａ　第２給電導体
　１１，１１Ａ，１１Ｂ　第２弾性部
　１２　第２溝
　１３　第１支持部
　１４　第２支持部
　１５　第３溝
　１６　段差
　１７　第３支持部
　１８　第４溝
　５０　撮像装置
　５１　撮像素子
　５２　回路基板

Claims (16)

  1. 　透光体カバーと、
    　前記透光体カバーを振動させる圧電素子と、
    　前記圧電素子と接続される１つ又は複数の振動体と、
    　前記圧電素子に接触し、前記圧電素子に給電する１つ又は複数の給電導体と、
    　前記１つ又は複数の給電導体を前記圧電素子に対して押圧する１つ又は複数の弾性部と、
    を備える、振動装置。
  2. 　前記１つ又は複数の弾性部は、前記１つ又は複数の給電導体を折り曲げて形成される部分であり、前記１つ又は複数の給電導体を湾曲した板バネ形状を有する、
    請求項１に記載の振動装置。
  3. 　前記１つ又は複数の給電導体と前記圧電素子との接触領域は、前記１つ又は複数の振動体と前記圧電素子との接続領域よりも小さい、
    請求項１又は２に記載の振動装置。
  4. 　前記圧電素子は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面と、を有し、
    　前記振動体は、前記透光体カバーと前記圧電素子の前記第１面とに接続され、
    　前記給電導体は、前記圧電素子の前記第１面に接触し、
    　前記１つ又は複数の弾性部は、前記給電導体を前記圧電素子の前記第１面に押圧し、
    　前記圧電素子の前記第１面において、
    　　前記接続領域の占める割合は７０％以上であり、
    　　前記接触領域の占める割合は３０％以下である、
    請求項３に記載の振動装置。
  5. 　前記圧電素子は、１つ又は複数の電極を有し、
    　前記１つ又は複数の振動体には、前記１つ又は複数の電極を露出させる１つ又は複数の溝が設けられており、
    　前記１つ又は複数の弾性部は、前記１つ又は複数の溝に配置される、
    請求項１～４のいずれか一項に記載の振動装置。
  6. 　前記１つ又は複数の給電導体は、環状部を有し、
    　前記複数の弾性部は、前記環状部において等間隔で配置されている、
    請求項１～５のいずれか一項に記載の振動装置。
  7. 　前記圧電素子は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面と、を有し、
    　前記複数の給電導体は、前記第１面と接触する第１給電導体と、前記第２面と接触する第２給電導体と、を有し、
    　前記複数の弾性部は、前記第１給電導体を前記第１面に押圧する１つ又は複数の第１弾性部と、前記第２給電導体を前記第２面に押圧する１つ又は複数の第２弾性部と、のうち少なくともいずれか一方を有する、
    請求項１又は２に記載の振動装置。
  8. 　前記圧電素子は、環状に形成され、
    　前記複数の振動体は、前記透光体カバーの底面と前記圧電素子との前記第１面に接続される第１振動体と、前記圧電素子の前記第２面に接続される第２振動体と、を有し、
    　前記第２給電導体は、前記第１給電導体よりも前記圧電素子の内周側で前記圧電素子に接触する、
    請求項７に記載の振動装置。
  9. 　前記圧電素子の前記第１面において、前記第１給電導体と前記圧電素子との接触領域は、前記第１振動体と前記圧電素子との接続領域よりも小さく、
    　前記圧電素子の前記第２面において、前記第２給電導体と前記圧電素子との接触領域は、前記第２振動体と前記圧電素子との接続領域よりも小さい、
    請求項８に記載の振動装置。
  10. 　前記圧電素子は、前記第１面に設けられる第１電極と、前記第２面に設けられる第２電極と、を有し、
    　前記第１振動体には、前記第１電極を露出させる１つ又は複数の第１溝が設けられており、
    　前記第２振動体には、前記第２電極を露出させる１つ又は複数の第２溝が設けられており、
    　前記１つ又は複数の第１弾性部は、前記１つ又は複数の第１溝に配置され、
    　前記１つ又は複数の第２弾性部は、前記１つ又は複数の第２溝に配置される、
    請求項８又は９に記載の振動装置。
  11. 　前記第１給電導体は、前記圧電素子の厚み方向と交差する方向に延びる１つ又は複数の第１支持部を有し、前記１つ又は複数の第１弾性部と前記１つ又は複数の第１支持部との間に前記圧電素子を保持する、
    請求項１０に記載の振動装置。
  12. 　前記第２給電導体は、前記圧電素子の厚み方向と交差する方向に延びる１つ又は複数の第２支持部を有し、前記１つ又は複数の第２弾性部と前記１つ又は複数の第２支持部との間に前記圧電素子を保持する、
    請求項１０又は１１に記載の振動装置。
  13. 　前記複数の第２弾性部は、前記複数の第１弾性部の間に配置されている、
    請求項７～１２のいずれか一項に記載の振動装置。
  14. 　前記１つ又は複数の第１弾性部と前記１つ又は複数の第２弾性部とは、前記圧電素子の厚み方向において対向して配置されている、
    請求項７に記載の振動装置。
  15. 　前記１つ又は複数の振動体は、金属で形成されており、
    　前記１つ又は複数の振動体は、絶縁材料で覆われている、
    請求項１～１４のいずれか一項に記載の振動装置。
  16. 　請求項１～１５のいずれか一項に記載の振動装置と、
    　前記振動装置内に配置される撮像素子と、
    を備える、撮像装置。
PCT/JP2020/024948 2019-12-06 2020-06-25 振動装置及び撮像装置 WO2021111668A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021521540A JP7115638B2 (ja) 2019-12-06 2020-06-25 振動装置及び撮像装置
US17/356,567 US20210320241A1 (en) 2019-12-06 2021-06-24 Vibration device and imaging device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019-221418 2019-12-06
JP2019221418 2019-12-06

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US17/356,567 Continuation US20210320241A1 (en) 2019-12-06 2021-06-24 Vibration device and imaging device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2021111668A1 true WO2021111668A1 (ja) 2021-06-10

Family

ID=76221872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2020/024948 WO2021111668A1 (ja) 2019-12-06 2020-06-25 振動装置及び撮像装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20210320241A1 (ja)
JP (1) JP7115638B2 (ja)
WO (1) WO2021111668A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11503190B2 (en) * 2017-12-27 2022-11-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibration device and optical detection device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009077545A (ja) * 2007-09-20 2009-04-09 Canon Electronics Inc 駆動装置
WO2015163166A1 (ja) * 2014-04-24 2015-10-29 株式会社村田製作所 振動装置
WO2018198417A1 (ja) * 2017-04-28 2018-11-01 株式会社村田製作所 振動装置
WO2019130623A1 (ja) * 2017-12-27 2019-07-04 株式会社村田製作所 振動装置及び光学検出装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009077545A (ja) * 2007-09-20 2009-04-09 Canon Electronics Inc 駆動装置
WO2015163166A1 (ja) * 2014-04-24 2015-10-29 株式会社村田製作所 振動装置
WO2018198417A1 (ja) * 2017-04-28 2018-11-01 株式会社村田製作所 振動装置
WO2019130623A1 (ja) * 2017-12-27 2019-07-04 株式会社村田製作所 振動装置及び光学検出装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11503190B2 (en) * 2017-12-27 2022-11-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibration device and optical detection device

Also Published As

Publication number Publication date
JP7115638B2 (ja) 2022-08-09
JPWO2021111668A1 (ja) 2021-12-09
US20210320241A1 (en) 2021-10-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4413956B2 (ja) カメラモジュール及び携帯端末機
JP4069161B2 (ja) 圧電素子及び超音波アクチュエータ
JP2011129180A (ja) ヘッドサスペンション、及びヘッドサスペンションの製造方法
US9253578B2 (en) Directional loudspeaker
JP2019502303A (ja) 移動端末
WO2021111668A1 (ja) 振動装置及び撮像装置
JP4849703B2 (ja) 光学モジュール
US20080291559A1 (en) Variable shape mirror and manufacturing method for variable shape mirror
JP2004104259A5 (ja)
JP4729496B2 (ja) 圧電発音器
JP7173333B2 (ja) 振動装置
JP6177630B2 (ja) レンズ駆動装置およびカメラモジュール
JP2005242242A (ja) 画像センサパッケージおよびカメラモジュール
WO2021229853A1 (ja) 振動装置
WO2019172052A1 (ja) 振動デバイス
JP5062537B2 (ja) カメラモジュール及び携帯端末機
JP5457843B2 (ja) 超音波プローブ
JP5128370B2 (ja) カメラモジュール
JP6729015B2 (ja) 圧電素子
JPH07107593A (ja) 電気音響変換器
JP7207146B2 (ja) 振動デバイス及び電子機器
CN110870781A (zh) 柔性超声波换能器阵列、聚焦换能器
JP5573490B2 (ja) プッシュスイッチ
JP4209762B2 (ja) 撮像装置
JPH0720930Y2 (ja) 電歪効果素子

Legal Events

Date Code Title Description
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2021521540

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 20896303

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 20896303

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1