WO2019130623A1 - 振動装置及び光学検出装置 - Google Patents

Abstract

より大きな振幅で液滴を移動させたり、あるいは霧化し得る、振動装置を提供する。　光学検出素子３の検出領域を含むようにドーム状のカバー１１が配置されており、カバー１１に筒状の振動体１２が固定されており、振動体１２を介してカバー１１を振動させる圧電素子１３が振動体１２に固定されている、振動装置２。振動体１２が、円筒部１４と、円筒部１４の第１の端部１４ａに連結されている第１の連結部１５と、第１の連結部のカバー１１側に連結されている第１のリング状部１６と、円筒部１４の第２の端部に連結されている第２の連結部１７と、第２の連結部１７の円筒部１４が連結されている側とは反対側に連結された第２のリング状部１８とを有する。

Description

振動装置及び光学検出装置

　本発明は、ドーム状のカバーに付着した水滴や埃などの異物を除去するための振動装置及び該振動装置を備える光学検出装置に関する。

　従来、カメラの撮像素子の前方に透光体が配置されたカメラモジュールが種々提案されている。下記の特許文献１には、このようなカメラモジュールにおける水滴除去装置が開示されている。特許文献１には、ドーム状の透光体に、筒状体が連結された構造を有した振動装置が開示されている。ここでは、ドーム状の透光体において、（ｍ，ｎ）のモードで振動させる構成が示されている。ここで、ｍが、円径の径方向に存在する節のラインの数であり、ｎは、周回方向に存在する節のラインの数である。特許文献１では、（０，０）モード、（１，０）モード、（０，１）モード、（１，１）モードが示されている。

　このようなモードでドーム状の透光体を振動させることにより、透光体表面に付着した水滴が除去される。

ＷＯ２０１７／１１０５６４

　しかしながら、特許文献１に記載の振動装置では、ドーム状の透光体に付着した液滴を十分に移動させ難かったり、あるいは霧化に時間を必要としていた。

　本発明の目的は、より大きな振幅で液滴を移動させたり、あるいは霧化し得る、振動装置を提供することにある。

　本発明の他の目的は、上記振動装置を有する光学検出装置を提供することにある。

　本発明に係る振動装置は、光学検出素子の検出領域を含むように配置されるドーム状のカバーと、前記カバーが固定されている筒状の振動体と、前記振動体に固定されており、前記振動体を介して前記カバーを振動させる圧電素子と、を備え、前記振動体が、前記カバー側に位置している第１の端部と、前記カバーとは反対側に位置している第２の端部とを有する円筒部と、前記円筒部の前記第１の端部に連結されており、前記円筒部よりも内径が大きい円筒からなる筒状の第１の連結部と、前記第１の連結部の前記カバー側に連結されており、前記第１の連結部の内径よりも内径が小さく、前記カバー側の面に前記カバーが固定されている、第１のリング状部と、前記円筒部の前記第２の端部に連結されており、前記円筒部よりも外径が小さい円筒からなる第２の連結部と、前記第２の連結部の前記円筒部が連結されている側とは反対の面に固定されており、前記第２の連結部の外径よりも外径が大きい、第２のリング状部と、を有し、前記第２のリング状部の前記第２の連結部に固定されている側とは反対の面に前記圧電素子が固定されている。

　本発明に係る振動装置によれば、ドーム状のカバーをより大きな振幅で振動させることができ、液滴の移動及び液滴の霧化をより効果的に果たし得る、振動装置を提供することができる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係るカメラの外観を示す斜視図である。 図２は、本発明の第１の実施形態に係るカメラの正面断面図である。 図３は、第１の実施形態に係るカメラを分解して示す正面断面図である。 図４は、第１の実施形態に係る振動装置におけるドーム状のカバー、筒状の振動体及び圧電素子が連結された構造を示す正面断面図である。 図５は、第１の実施形態で用いられている圧電素子を説明するための斜視図である。 図６は、第１の実施形態の振動装置の支持構造の第１の例を説明するための正面断面図である。 図７は、図６に示した支持構造で用いられている支持部材を説明するための斜視図である。 図８は、第１の実施形態の振動装置における振動体の支持構造の第２の例を説明するための正面断面図である。 図９は、図８に示した支持構造で用いられている支持部材を示す斜視図である。 図１０（ａ）～（ｃ）は、圧電振動子におけるリング状の圧電素子の分極構造の例を説明するための各斜視図である。 図１１は、（ｍ，ｎ）モードを説明するための模式図である。 図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、それぞれ、第１の実施形態の振動装置における変位していない状態と、（０，０）モードで最大変位した場合の振動姿態及びノードを説明するための各模式的正面断面図である。 図１３は、第１の実施形態の振動装置が（０，１）モードで振動した場合の最大変位となる振動姿態及びノードの位置を説明するための模式的正面断面図である。 図１４は、第１の実施形態の振動装置が（０，２）モードで振動した場合の最大変位となる振動姿態及びノードの位置を説明するための模式的正面断面図である。 図１５は、Ｊ寸法比と、電気機械結合係数との関係を示す図である。 図１６は、（０，２）モードを用いた場合のＪ寸法比と振幅比との関係を示す図である。 図１７は、（０，１）モードを用いた場合のＪ寸法比と振幅比との関係を示す図である。 図１８は、（０，０）モードを用いた場合のＪ寸法比と振幅比との関係を示す図である。

　以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

　図１は、本発明の第１の実施形態に係るカメラの外観を示す斜視図であり、図２は、第１の実施形態のカメラの正面断面図である。

　カメラ１は、水滴除去装置としての振動装置２と、カメラ本体３とを有する。カメラ本体３は、ベースプレート４上に固定されている。カメラ本体３の上端には撮像部５が設けられている。撮像部５内には、撮像素子を含む回路が内蔵されている。また撮像部５の上端には、レンズモジュール６が固定されている。ベースプレート４上には、筒状のケース材７が設けられている。そして、上記ケース材７内に振動装置２の一部が入り込んでいる。

　振動装置２は、ドーム状のカバー１１を有する。ドーム状のカバー１１は、ガラスやプラスチック等の透光体からなる。なお、ドーム状のカバー１１は、カメラの視野の前方に位置している部分のみが透光体からなるものであってもよい。

　振動装置２では、ドーム状のカバー１１に、筒状の振動体１２が固定されている。筒状の振動体１２の下端側に、圧電素子１３が固定されている。圧電素子１３を駆動することにより、圧電素子１３、振動体１２及びカバー１１からなる振動部分全体が振動する。

　第１の連結部１５及び第２の連結部１７は、円筒状の形状を有する。また、第１のリング状部１６及び第２のリング状部１８は、円環状のプレートである。円環状のプレートとは、円環状のプレートの径方向寸法が、厚みよりも大きいことを意味する。もっとも、第１，第２のリング状部１６，１８は、このような円環状のプレートに限定されるものではない。

　振動体１２は、円筒部１４と、第１の連結部１５と、第１のリング状部１６と、第２の連結部１７と、第２のリング状部１８とを有する。図２に示すように、本実施形態では、上記円筒部１４、第１の連結部１５、第１のリング状部１６、第２の連結部１７及び第２のリング状部１８は、それぞれの中心軸が同心軸上に位置するように一体に構成されている。図２では、これらの境界部分を破線で示すこととする。もっとも、これらの構造は別部材を接合することにより構成されていてもよい。

　円筒部１４は、カバー１１側に位置している第１の端部１４ａと、カバー１１とは反対側に位置している第２の端部１４ｂとを有する。第１の連結部１５は、第１の端部１４ａに連結されている。第１の連結部１５のカバー１１側に、第１のリング状部１６が連結されている。第１のリング状部１６のカバー１１側の面に、カバー１１が固定されている。第２の連結部１７は、第２の端部１４ｂに連結されている。第２の連結部１７の円筒部１４が連結されている側とは反対の面に、第２のリング状部１８が固定されている。

　ここで、第１の連結部１５の内径は、円筒部１４の内径よりも大きい。また、第１の連結部１５の外径は、円筒部１４の外径と等しくされている。そして、第１のリング状部１６の内径は、第１の連結部１５の内径よりも小さい。第１のリング状部１６の外径は、円筒部１４の外径と等しくされている。すなわち、第１の連結部１５は、第１のリング状部１６と円筒部１４との間であって、それぞれの外周側に設けられる。従って、第１の連結部１５のカバー１１側端部から、第１のリング状部１６は、径方向内側に張り出された形状を有する。第１のリング状部１６はリング状の振動板である。

　他方、第２の連結部１７は、円筒状の形状を有するが、第２の連結部１７の内径は、円筒部１４の内径と等しくされている。第２の連結部１７の外径は、円筒部１４の外径よりも小さい。

　そして、第２の連結部１７は、その内周面が、円筒部１４の内周面と面一となるように配置されている。

　他方、第２のリング状部１８の外径は、第２の連結部１７の外径よりも大きい。第２のリング状部１８の内径は、第２の連結部１７の内径と等しい。第２のリング状部１８の内周面は、第２の連結部１７の内周面と面一とされている。すなわち、第２の連結部１７は、円筒部１４と第２のリング状部１８との間であって、それぞれの内周側に設けられると共に、第１の連結部１５よりも内径側に設けられる。従って、振動装置２において、筒状の振動体１２は、図２に示されている径方向断面において、略Ｓ字状の断面形状を有している。

　なお、第２のリング状部１８の外径は、円筒部１４の外径よりも大きくされている。本実施形態では、第２のリング状部１８はリング状の振動板である。より具体的には、第２のリング状部１８は、第２の連結部１７の外周縁よりも第２の連結部１７の径方向外側にはみ出したフランジ部である。

　圧電素子１３は、リング状の形状を有する。振動装置２では、リング状の圧電素子１３を駆動し、上下方向に振動させる。その結果、リング状の圧電素子に固定されている筒状の振動体１２及びカバー１１が振動する。

　図３は、カメラ１の構造を説明するための分解正面断面図である。

　図４は、筒状の振動体１２と、圧電素子１３と、カバー１１とが連結されている構造を示す正面断面図である。

　図５は、圧電素子１３を示す斜視図である。圧電素子１３は、リング状の圧電体１３ａと、圧電体１３ａの一方主面及び他方主面にそれぞれ固定された電極１３ｂ，１３ｃとを有する。ここでは、リング状の圧電体１３ａは、円環状の形状を有している。もっとも、円環状以外の形状のリング状であってもよい。また、圧電体１３ａは、リング状でなくともよい。複数の矩形板状の圧電体を周方向に配置した構造を有する圧電素子であってもよい。図１０を参照して後述するように、圧電体１３ａは周方向に沿って配置された複数の領域において分極方向が厚み方向において異ならされている。それによって、電極１３ｂ，１３ｃ間に交流電界を印可した場合、上下方向に波打つように振動する。

　図６は、上記図４に示した構造を外部から支持する支持構造の第１の例を示す正面断面図である。ここでは、図７に示す支持プレート２１が用いられている。支持プレート２１は、プレート本体２１ａと、プレート本体２１ａに設けられた円形の開口部２１ｃを囲む円筒状支持壁２１ｂとを有する。支持壁２１ｂは、プレート本体２１ａと一体に設けられている。この支持壁２１ｂの上端面に円筒部１４の下面が配置され、それによって振動体１２が支持されている。

　図８は、上記振動体１２を外部から支持する構造の第２の例を説明するための正面断面図である。図９は、図８に示す支持構造に用いられている支持部材を示す斜視図である。支持部材２２は、矩形のプレート状の形状を有し、中央に円形の開口部２２ａを有する。この支持部材２２の内周端面が、図８に示すように、円筒部１４の側面に当接している。それによって、振動体１２が支持部材２２により支持される。

　なお、振動体１２を支持する構造は、上記第１の例及び第２の例に限定されるものではない。

　図１０（ａ）～図１０（ｃ）は、圧電素子における分極構造の例を説明するための各斜視図である。図１０では、図５で示した圧電体１３ａのみを示し、各領域の分極方向を示す。

　図１０（ａ）～図１０（ｃ）において、＋の領域は、分極軸が圧電体１３ａの厚み方向において下面から上面に向かう方向となっている領域であることを示す。－の領域は、逆に、分極軸が圧電体１３ａの厚み方向において上面から下面に向かう方向となっている領域であることを示す。

　図１０（ａ）では、周方向に配置された領域の分極方向がすべて同じ方向である。

　他方、図１０（ｂ）では、周方向に４分割された領域において、中心を介して対向している両側の領域の分極方向が反対となっている。

　図１０（ｃ）では、周方向に４分割された領域において、中心を介して対向している両側の領域の分極方向が等しくされている。

　図１０（ａ）で示した圧電体１３ａを用いた場合、上記リング状の圧電素子を駆動し振動装置２を振動させると、ドーム状のカバー１１において、後述する（０，０）モードの振動が励振される。他方、図１０（ｂ）で示す分極構造の圧電体１３ａを用いた場合には、ドーム状のカバー１１において（０，１）モードの振動が励振される。

　図１０（ｃ）で示した分極構造の圧電体１３ａを用いた場合には、ドーム状のカバー１１が、（０，２）モードで励振されることになる。

　本実施形態の振動装置２では、上記（０，０）モード、（０，１）モードまたは（０，２）モードが利用される。これを後述においてより詳細に説明する。なお、前述したように、（ｍ，ｎ）モードとは、ｍが、径方向に存在する節のラインの数であり、ｎは、周方向において存在する節のラインの数である。ｍ及びｎは、整数である。

　（ｍ，ｎ）モードを図１１に模式的に示す。ここでは、カバー１１を平面視した場合のカバー１１内の領域の振動の位相を示す。図１１において、＋が付されている領域と、－が付されている領域とは位相が反転して振動することを示す。

　本発明の振動装置では、このような（ｍ，ｎ）モードのうち、（０，０）モード、（０，１）モード及び（０，２）モードを利用するものである。

　図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、それぞれ、第１の実施形態の振動装置における変位していない状態と、（０，０）モードで最大変位した場合の振動姿態及びノードを説明するための各模式的正面断面図である。図１２（ｂ）における矢印は振動のノードの位置を示す。

　図１２（ｂ）に示すように、（０，０）モードでは、ドーム状のカバー１１の中央で最も大きく変位する。従って、カバー１１の中央付近に付着した液体を大きく移動させることができる。また、中央に付着した液体を霧化することも容易である。

　図１３は、（０，１）モードで振動している場合の最大変位状態の振動姿態及び振動のノードの位置を示す模式的正面断面図である。ここでも、振動のノード位置を矢印で示す。（０，１）モードでは、カバー１１の中央から一方側と他方側とが交互に大きく変位する。従って、（０，１）モードにより、ドーム状のカバー１１の外表面に付着した液滴をカバー１１の中央以外に分散移動させ、霧化させることができる。また、駆動領域において残留した少ない液滴を振動モードを切り替えて中央で霧化することにより、振幅を大きくすることなく液滴を除去することができる。なお、図１４は、（０，２）モードで振動した場合の最大変位状態の振動姿態及び振動のノードの位置を示す模式的正面断面図である。図１４に示した（０，２）モードにおいても、（０，１）モードの場合と同様に、液滴すぐのポイントで、かつカバー１１の中央以外のポイントで、十分分散移動させることができる。そして、節に残留した少ない液滴を、中央で霧化することにより、振幅を大きくすることなく、液滴を除去することができる。

　なお、（０，０）モードでは、カバー１１内に振動のノードが生じない。従って、視野を確保することができる。また、（０，０）モード、（０，１）モード及び（０，２）モードのいずれにおいても、カバー１１内に周方向に延びるノードが存在しない。これは、振動体１２の径方向断面がＳ字状の構造を有しているためである。すなわち、このような構造を有しているため、（１，０）モード、（１，１）モード及び（１，２）モードにおける周方向に延びるノードが、振動体１２の厚み方向中間部分に移動することになる。一枚のリング状振動体であれば、カバー内において、周方向に延びるノードが存在していた。これに対して、本実施形態では、上記Ｓ字状の径方向断面を有するため、径方向以外のノードを、視野外に置くことが可能とされている。

　また、本発明においては、上記円筒部１４の第１の端部１４ａと第２の端部１４ｂとを結ぶ方向（円筒部１４の中心軸が伸びる方向）に沿う筒状の振動体１２の寸法の１／２±４０％の範囲内の位置に、円筒部１４の第２の端部１４ｂが配置されている。そのため、図６に示した支持構造や図８に示した支持構造により、振動装置２の筒状の振動体１２の振動を阻害することなく、支持することができる。

　本願発明者は、上記振動装置２において、第２のリング状部１８の外径をＪ、円筒部１４の外径をＤとした場合、（Ｊ－Ｄ）／Ｄで示されるＪ寸法比が特定の範囲内にあれば、カバー１１を大きく振動させ得ることを見出した。これを図１５～図１８を参照して説明する。

　図１５は、上記（０，２）モード、（０，１）モード及び（０，０）モードのＪ寸法比と、電気機械結合係数との関係を示す図である。この電気機械結合係数は、電気入力を機械的出力に変換する効率を示し、共振子としての帯域幅を指標として計算される。この電気機械結合係数が小さいと、振幅のピークが同じでも、少しの周波数ずれにより、急激に振幅が小さくなる。従って、振幅を維持することが困難となる。図１５において、Ａ、Ｂ及びＣで示すラインは、それぞれ、第２の連結部の外径がＤである場合の、（０，０）モード、（０，２）モード及び（０，１）モードの値である。ラインＡ、ＢまたはＣを下回ると、第２の連結部を設ける必要がないことを意味する。従って、断面Ｓ字状の構造の効果を得る上では、ラインＡ、ＢまたはＣよりも結合係数が高くなるＪ寸法比を選択すればよい。

　よって、（０，０）モードでは、Ｊ寸法比は、－１６％以上、＋１９％以下の範囲であることが好ましい。（０，２）モードでは、－８％以上、＋１６％以下の範囲が好ましい。（０，１）モードでは、Ｊ寸法比は、－３％以上、＋２０％以下の範囲が好ましい。

　従って、これら３つのモードを利用する振動装置２の場合には、Ｊ寸法比を＋１６％以下とすることがより望ましい。また、Ｊ寸法比を－３％以上にすることがより望ましい。

　図１６は、（０，２）モードで振動させた場合のＪ寸法比と、振幅比（％）との関係を示す図である。ここで、振幅比（％）とは、Ｊ＝Ｄのときの振幅を基準としたときの振幅の増減率（％）である。

　図１６において、実線は金属板すなわち第２のリング状部１８の厚みが０．５ｔの場合の結果を示し、破線は１．０ｔの場合の結果を示す。なお、ｔ＝１．０ｍｍである。

　図１６から明らかなように、第２のリング状部１８の厚みを変化させるとしてもいずれの場合においても、Ｊ寸法比が－側で、－６％以上、－４％以下、＋側で、０％以上、１２％以下の範囲で、大きな振幅を得られることがわかる。

　図１７は、（０，１）モードで振動させた場合のＪ寸法比と、振幅比（％）との関係の示す図である。ここでは、第２のリング状部１８としての金属板の厚みは、０．５ｔとした。

　図１７から明らかなように、（０，１）モードを利用した場合においては、Ｊ寸法比が０％付近または５％以上、１５％以下の範囲が好ましい。それによって、より大きな振幅を得られることがわかる。

　図１８は、（０，０）モードで振動させた場合のＪ寸法比と、振幅比（％）との関係を示す図である。

　図１８から明らかなように、（０，０）モードを利用した場合には、Ｊ寸法比が０％以上、１２％以下の範囲が好ましい。その場合にはより大きな振幅を得られることがわかる。

　図１５～図１８から明らかなように、本発明においては、ドーム状のカバーからなる振動部分を、（０，０）モード、（０，１）モードまたは（０，２）モードで振動させることが好ましく、その場合、いずれの場合においても、Ｊ寸法比が５％以上、１２％以下の範囲内にあることが好ましい。それによって、カバー１１の外表面に付着した水滴などの液滴を大きく移動させることができ、かつ霧化により除去することができる。

　もっとも、（０，０）モード、（０，１）モードまたは（０，２）モードのいずれかのみを用いたり、いずれか２種を用いる場合には、図１６～図１８に示したＪ寸法比の各好ましい範囲を用いればよい。

　Ｊ寸法比が５％以上、１５％以下であることが好ましいが、本発明においては、第２のリング状部１８の外径と、円筒部１４の外径とが異なっていれば、上記のように（０，０）モード、（０，１）モードまたは（０，２）モードでカバー１１を振動させることができる。第２のリング状部１８の外径が円筒部１４の外径とわずかに異なっているように設けることにより、電気機械結合係数の安定を図ることができ、好ましい。

　なお、上記実施形態では、光学検出素子として撮像素子を用いて検出領域が視野とされていたが、光学検出素子は活性エネルギーを光学的に検出する素子であってもよい。その場合には、活性エネルギー線として、例えば赤外線及び電磁波の少なくとも一方を好適に用いることができる。

　本発明に係る光学検出装置は、上記振動装置と、振動装置の筒状の振動体の内部空間の少なくとも一部に配置されており、カバーに検出領域を有する光学検出素子とを備える。従って、本発明に係る光学検出装置は、カメラに限定されない。例えば、ＲＡＤＡＲやＬｉＤＡＲとして知られている車載用レーダー装置に、本発明を適用してもよい。

１…カメラ
２…振動装置
３…カメラ本体
４…ベースプレート
５…撮像部
６…レンズモジュール
７…ケース材
１１…カバー
１２…振動体
１３…圧電素子
１３ａ…圧電体
１３ｂ，１３ｃ…電極
１４…円筒部
１４ａ，１４ｂ…第１，第２の端部
１５…第１の連結部
１６…第１のリング状部
１７…第２の連結部
１８…第２のリング状部
２１…支持プレート
２１ａ…プレート本体
２１ｂ…支持壁
２１ｃ…開口部
２２…支持部材
２２ａ…開口部

Claims (19)

1. 　光学検出素子の検出領域を含むように配置されるドーム状のカバーと、
   　前記カバーが固定されている筒状の振動体と、
   　前記振動体に固定されており、前記振動体を介して前記カバーを振動させる圧電素子と、
   を備え、
   　前記振動体が、前記カバー側に位置している第１の端部と、前記カバーとは反対側に位置している第２の端部とを有する円筒部と、
   　前記円筒部の前記第１の端部に連結されており、前記円筒部よりも内径が大きい円筒からなる筒状の第１の連結部と、
   　前記第１の連結部の前記カバー側に連結されており、前記第１の連結部の内径よりも内径が小さく、前記カバー側の面に前記カバーが固定されている、第１のリング状部と、
   　前記円筒部の前記第２の端部に連結されており、前記円筒部よりも外径が小さい円筒からなる第２の連結部と、
   　前記第２の連結部の前記円筒部が連結されている側とは反対の面に固定されており、前記第２の連結部の外径よりも外径が大きい、第２のリング状部と、を有し、
   　前記第２のリング状部の前記第２の連結部に固定されている側とは反対の面に前記圧電素子が固定されている、振動装置。
2. 　前記円筒部の前記第１の端部と、前記第２の端部とを結ぶ方向に沿う前記筒状の振動体の寸法の１／２±４０％の範囲内の位置に、前記円筒部の前記第２の端部が配置されている、請求項１に記載の振動装置。
3. 　前記第２のリング状部の外径と、前記円筒部の外径とが異なっている、請求項１または２に記載の振動装置。
4. 　（前記第２のリング状部の外径－前記円筒部の外径）が、前記円筒部の外径の＋１６％以下の範囲内にある、請求項１～３のいずれか１項に記載の振動装置。
5. 　前記振動体及び前記カバーからなる振動部分が、（０，０）モードで振動する、請求項１～３のいずれか１項に記載の振動装置。
6. 　（前記第２のリング状部の外径－前記円筒部の外径）が、前記円筒部の外径の０％以上、１５％以下である、請求項５に記載の振動装置。
7. 　前記振動体及び前記カバーからなる振動部分が、（０，１）モードで振動する、請求項１～３のいずれか１項に記載の振動装置。
8. 　（前記第２のリング状部の外径－前記円筒部の外径）が、前記円筒部の外径の０％付近または５％以上、＋１５％以下の範囲内にある、請求項７に記載の振動装置。
9. 　前記振動体及び前記カバーからなる振動部分が（０，２）モードで振動する、請求項１～３のいずれか１項に記載の振動装置。
10. 　（前記第２のリング状部の外径－前記円筒部の外径）は、前記円筒部の外径の－６％以上、－４％以下、または０％以上、＋１２％以下の範囲内にある、請求項９に記載の振動装置。
11. 　前記円筒部の外径が、前記第１の連結部の外径と等しい、請求項１～１０のいずれか１項に記載の振動装置。
12. 　前記第２のリング状部が、リング状の振動板である、請求項１～１１のいずれか１項に記載の振動装置。
13. 　前記第２のリング状部が、前記第２の連結部の外周縁よりも前記第２の連結部の径方向外側にはみ出したフランジ部である、請求項１２に記載の振動装置。
14. 　前記リング状の圧電素子の外径が、前記円筒部の外径と等しい、請求項１～１３のいずれか１項に記載の振動装置。
15. 　前記カバーが透光体からなる、請求項１～１４のいずれか１項に記載の振動装置。
16. 　請求項１～１５のいずれか１項に記載の振動装置と、該振動装置の前記筒状の前記振動体の内部空間の少なくとも一部に配置されており、前記カバーに前記検出領域を有する光学検出素子とを備える、光学検出装置。
17. 　前記光学検出素子が撮像素子であり、前記検出領域が視野である、請求項１６に記載の光学検出装置。
18. 　前記光学検出素子が、活性エネルギー線を光学的に検出する素子である、請求項１６に記載の光学検出装置。
19. 　前記活性エネルギー線が、赤外線及び電磁波の少なくとも一方である、請求項１７に記載の光学検出装置。

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