JPWO2018008113A1 - Circuit formation device - Google Patents

Circuit formation device Download PDF

Info

Publication number
JPWO2018008113A1
JPWO2018008113A1 JP2018525883A JP2018525883A JPWO2018008113A1 JP WO2018008113 A1 JPWO2018008113 A1 JP WO2018008113A1 JP 2018525883 A JP2018525883 A JP 2018525883A JP 2018525883 A JP2018525883 A JP 2018525883A JP WO2018008113 A1 JPWO2018008113 A1 JP WO2018008113A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
unit
units
resin
side guide
stage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018525883A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6785310B2 (en
Inventor
克明 牧原
克明 牧原
政利 藤田
政利 藤田
良崇 橋本
良崇 橋本
明宏 川尻
明宏 川尻
謙磁 塚田
謙磁 塚田
雅登 鈴木
雅登 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of JPWO2018008113A1 publication Critical patent/JPWO2018008113A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6785310B2 publication Critical patent/JP6785310B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y30/00Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/04105Bonding areas formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bonding areas on chip-scale packages
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73267Layer and HDI connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/91Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
    • H01L2224/92Specific sequence of method steps
    • H01L2224/922Connecting different surfaces of the semiconductor or solid-state body with connectors of different types
    • H01L2224/9222Sequential connecting processes
    • H01L2224/92242Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector
    • H01L2224/92244Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector the second connecting process involving a build-up interconnect
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1515Shape
    • H01L2924/15153Shape the die mounting substrate comprising a recess for hosting the device

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Abstract

本発明の回路形成装置10では、基板が載置されるステージ20が複数、設けられており、それら複数のステージが、樹脂印刷ユニット22,金属インク印刷ユニット26等の複数のユニットのうちの任意の1のユニットに移動される。これにより、複数のステージを複数のユニットに同時に位置させることが可能となり、複数のステージに保持された複数の基板に対して、並行して作業を行うことが可能となる。また、例えば、ステージを収納するためのユニット等を用意することで、そのユニットにおいて、ステージを放置し、長時間、低温での乾燥,自然乾燥を行いつつ、他のユニットにおいて、硬化性樹脂,金属含有液等の印刷工程を行うことが可能となる。これにより、回路を効率的に形成することが可能となり、回路形成装置の実用性が向上する。In the circuit forming apparatus 10 of the present invention, a plurality of stages 20 on which a substrate is mounted are provided, and the plurality of stages are any of a plurality of units such as the resin printing unit 22 and the metal ink printing unit 26. Moved to unit 1 of. Thus, a plurality of stages can be simultaneously positioned in a plurality of units, and work can be performed in parallel on a plurality of substrates held by a plurality of stages. Also, for example, by preparing a unit or the like for storing the stage, the stage is left in that unit, and drying at a low temperature and natural drying are performed for a long time, while curing is performed in other units. It becomes possible to perform the printing process of the metal containing liquid etc. As a result, the circuit can be formed efficiently, and the practicability of the circuit forming apparatus is improved.

Description

本発明は、硬化性樹脂を吐出する第1吐出装置と、金属微粒子を含有する金属含有液を吐出する第2吐出装置とを用いて回路を形成する回路形成装置に関する。   The present invention relates to a circuit forming apparatus that forms a circuit using a first discharge device that discharges a curable resin and a second discharge device that discharges a metal-containing liquid containing metal fine particles.

近年、下記特許文献に記載されているように、紫外線の照射等により硬化する硬化性樹脂によって3次元造形物を形成する技術が開発されている。このような技術を利用して、硬化性樹脂により樹脂層を形成し、その樹脂層を用いて回路が形成される。   In recent years, as described in the following patent documents, a technique for forming a three-dimensional structure from a curable resin that is cured by irradiation of ultraviolet light or the like has been developed. By using such a technique, a resin layer is formed of a curable resin, and a circuit is formed using the resin layer.

特開2015−168202号公報JP, 2015-168202, A

上記特許文献に記載されている技術を利用して、回路が形成される際には、硬化性樹脂によって樹脂層が形成されるだけなく、金属微粒子を含有する金属含有液によって配線も形成される。このように、硬化性樹脂と金属含有液とを用いて回路が形成される際に、硬化性樹脂,金属インクを乾燥させる乾燥工程が必要な場合があり、乾燥工程において、乾燥温度が低い場合等には、1時間以上の乾燥時間を要する場合がある。このような場合には、他の作業が中断し、回路の形成効率が低下する。また、従来の回路形成装置では、硬化性樹脂を印刷するためのユニット,金属インクを印刷するためのユニットなど、複数のユニットの間を、基板を保持する1台のステージが順次、移動し、各ユニットにおいて作業が行われる。この際、ステージが位置していないユニットでは、作業を行うことができず、作業効率が悪い。このように、硬化性樹脂と金属含有液とを用いて回路を形成する装置には、種々の問題があり、それら種々の問題を解決することで、回路形成装置の実用性は向上すると考えられる。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、回路形成装置の実用性を向上させることである。   When a circuit is formed using the technology described in the above patent documents, not only the resin layer is formed of the curable resin, but also the wiring is formed of the metal-containing liquid containing metal fine particles. . As described above, when a circuit is formed using a curable resin and a metal-containing liquid, a drying step of drying the curable resin and the metal ink may be required in some cases, and in the drying step, the drying temperature is low. Etc. may require a drying time of 1 hour or more. In such a case, other work is interrupted and the circuit formation efficiency is reduced. Further, in the conventional circuit forming apparatus, one stage for holding a substrate is sequentially moved between a plurality of units, such as a unit for printing a curable resin and a unit for printing a metal ink, Work is performed in each unit. At this time, in the unit in which the stage is not positioned, work can not be performed, and work efficiency is poor. As described above, there are various problems in an apparatus for forming a circuit using a curable resin and a metal-containing liquid, and solving the various problems is considered to improve the practicability of the circuit forming apparatus. . The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to improve the practicability of a circuit forming device.

上記課題を解決するために、本発明の回路形成装置は、硬化性樹脂を吐出する第1吐出装置を含む樹脂層形成ユニットと、金属微粒子を含有する金属含有液を吐出する第2吐出装置を含む配線形成ユニットとを少なくとも含む複数のユニットと、基板が載置される複数のステージと、前記複数のステージの各々を、前記複数のユニットの任意の1のユニットに移動させる移動装置とを備え、前記第1吐出装置の硬化性樹脂の吐出により形成される樹脂層、及び前記第2吐出装置の金属含有液の吐出により形成される配線を含む回路を基板上に形成することを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned subject, the circuit formation device of the present invention is a resin layer formation unit containing the 1st discharge device which discharges hardening resin, and the 2nd discharge device which discharges metal content liquid containing metal particulates. A plurality of units including at least a wiring forming unit, a plurality of stages on which a substrate is mounted, and a moving device for moving each of the plurality of stages to any one of the plurality of units. Forming a circuit including a resin layer formed by the discharge of the curable resin of the first discharge device, and a wiring formed by the discharge of the metal-containing liquid of the second discharge device on a substrate .

本発明の回路形成装置では、基板が載置されるステージが複数、設けられており、それら複数のステージが、樹脂層形成ユニット,配線形成ユニット等の複数のユニットのうちの任意の1のユニットに移動される。これにより、複数のステージを複数のユニットに同時に位置させることが可能となり、複数のステージに保持された複数の基板に対して、並行して作業を行うことが可能となる。また、例えば、ステージを収納するためのユニット等を用意することで、そのユニットにおいて、ステージを放置し、長時間、低温での乾燥,自然乾燥を行いつつ、他のユニットにおいて、硬化性樹脂,金属含有液等の印刷工程を行うことが可能となる。これにより、回路を効率的に形成することが可能となり、回路形成装置の実用性が向上する。   In the circuit forming apparatus of the present invention, a plurality of stages on which the substrate is mounted are provided, and the plurality of stages are any one of a plurality of units such as a resin layer forming unit and a wiring forming unit. Moved to Thus, a plurality of stages can be simultaneously positioned in a plurality of units, and work can be performed in parallel on a plurality of substrates held by a plurality of stages. Also, for example, by preparing a unit or the like for storing the stage, the stage is left in that unit, and drying at a low temperature and natural drying are performed for a long time, while curing is performed in other units. It becomes possible to perform the printing process of the metal containing liquid etc. As a result, the circuit can be efficiently formed, and the practicability of the circuit forming apparatus is improved.

回路形成装置を示す平面図である。It is a top view showing a circuit formation device. 収納ユニットを示す側面図である。It is a side view showing a storage unit. 回転テーブル及び樹脂印刷ユニットを示す拡大図である。It is an enlarged view which shows a turntable and a resin printing unit. 図3のAA線における断面図である。It is sectional drawing in AA line of FIG. リニアモータを示す概略図である。It is the schematic which shows a linear motor. 制御装置を示すブロック図である。It is a block diagram showing a control device. 樹脂層が形成された状態の回路を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the circuit of the state in which the resin layer was formed. 樹脂層のキャビティに電子部品が装着された状態の回路を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the circuit of the state in which the electronic component was mounted | worn with the cavity of the resin layer. キャビティの隙間に樹脂層が形成された状態の回路を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the circuit of the state in which the resin layer was formed in the clearance gap of a cavity. 樹脂層の上に金属インクが吐出された状態の回路を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the circuit of the state in which the metal ink was discharged on the resin layer.

回路形成装置の構成
図1に回路形成装置10を示す。回路形成装置10は、複数台のステージ20と、樹脂印刷ユニット22と、樹脂硬化ユニット24と、金属インク印刷ユニット26と、焼成ユニット28と、装着ユニット30と、収納ユニット群32と、移動装置34と、制御装置(図6参照)36とを備える。それら樹脂印刷ユニット22と、樹脂硬化ユニット24と、金属インク印刷ユニット26と、焼成ユニット28と、装着ユニット30と、収納ユニット群32と、移動装置34とは、回路形成装置10のベース38の上に配置されている。
Configuration of Circuit Forming Device FIG. 1 shows a circuit forming device 10. The circuit forming apparatus 10 includes a plurality of stages 20, a resin printing unit 22, a resin curing unit 24, a metal ink printing unit 26, a baking unit 28, a mounting unit 30, a storage unit group 32, and a moving device. 34 and a control unit 36 (see FIG. 6). The resin printing unit 22, the resin curing unit 24, the metal ink printing unit 26, the baking unit 28, the mounting unit 30, the storage unit group 32, and the moving device 34 are of the base 38 of the circuit forming device 10. It is located on the top.

各ステージ20は、基板(図7参照)50を保持するものであり、基台52と、保持装置54と、ステージ昇降装置56とを有している。基台52は、概して矩形の平板状に形成され、上面に基板50が載置される。保持装置54は、基台52の両側部に設けられている。そして、基台52に載置された基板50の両縁部が、保持装置54によって挟まれることで、基板50が固定的に保持される。また、ステージ昇降装置56は、基台52の下方に配設されており、基台52を昇降させる。   Each stage 20 holds a substrate (see FIG. 7) 50, and includes a base 52, a holding device 54, and a stage lifting device 56. The base 52 is formed in a generally rectangular flat plate shape, and the substrate 50 is mounted on the upper surface. The holding devices 54 are provided on both sides of the base 52. Then, both edges of the substrate 50 placed on the base 52 are held by the holding device 54, whereby the substrate 50 is fixedly held. The stage lifting device 56 is disposed below the base 52 and lifts the base 52.

樹脂印刷ユニット22は、ステージ20の基台52に載置された基板50の上に紫外線硬化樹脂を薄膜状に印刷するユニットであり、インクジェットヘッド(図6参照)60と、平坦化装置(図6参照)62とを有している。インクジェットヘッド60は、基台52に載置された基板50の上に紫外線硬化樹脂を吐出する。なお、インクジェットヘッド60は、例えば、圧電素子を用いたピエゾ方式でもよく、樹脂を加熱して気泡を発生させノズルから吐出するサーマル方式でもよい。また、平坦化装置62は、インクジェットヘッド60によって基板50の上に吐出された紫外線硬化樹脂の上面を平坦化するものであり、例えば、紫外線硬化樹脂の表面を均しながら余剰分の樹脂を、ローラもしくはブレードによって掻き取ることで、紫外線硬化樹脂の厚みを均一させる。   The resin printing unit 22 is a unit for printing an ultraviolet curable resin in a thin film form on the substrate 50 placed on the base 52 of the stage 20, and includes an inkjet head (see FIG. 6) 60 and a flattening device (see FIG. 6) 62). The inkjet head 60 discharges the ultraviolet curable resin onto the substrate 50 placed on the base 52. The inkjet head 60 may be, for example, a piezo method using a piezoelectric element, or may be a thermal method in which a resin is heated to generate air bubbles and discharged from a nozzle. The planarizing device 62 planarizes the upper surface of the ultraviolet curable resin discharged onto the substrate 50 by the ink jet head 60. For example, the excessive amount of resin can be obtained by leveling the surface of the ultraviolet curable resin, The thickness of the ultraviolet curable resin is made uniform by scraping with a roller or a blade.

樹脂硬化ユニット24は、基板50の上に吐出された紫外線硬化樹脂を硬化させるユニットであり、照射装置(図6参照)66を有している。照射装置66は、光源として水銀ランプもしくはLEDを備えており、基板50の上に吐出された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する。これにより、基板50の上に吐出された紫外線硬化樹脂が硬化し、樹脂層が造形される。   The resin curing unit 24 is a unit for curing the ultraviolet curing resin discharged onto the substrate 50, and has an irradiation device 66 (see FIG. 6). The irradiation device 66 includes a mercury lamp or an LED as a light source, and irradiates the ultraviolet curing resin discharged on the substrate 50 with ultraviolet light. Thereby, the ultraviolet curing resin discharged onto the substrate 50 is cured, and the resin layer is shaped.

金属インク印刷ユニット26は、基板50の上に金属インクを回路パターンに応じて印刷するユニットであり、インクジェットヘッド(図6参照)68を有している。インクジェットヘッド68は、基台52に載置された基板50の上に、金属インクを線状に吐出する。金属インクは、金属の微粒子が溶剤中に分散されたものである。なお、インクジェットヘッド68は、例えば、圧電素子を用いたピエゾ方式によって複数のノズルから金属インクを吐出する。   The metal ink printing unit 26 is a unit for printing metal ink on the substrate 50 in accordance with the circuit pattern, and has an ink jet head (see FIG. 6) 68. The ink jet head 68 linearly discharges the metal ink onto the substrate 50 placed on the base 52. The metal ink is one in which fine particles of metal are dispersed in a solvent. The ink jet head 68 discharges metal ink from a plurality of nozzles by, for example, a piezo method using a piezoelectric element.

焼成ユニット28は、基板50の上に吐出された金属インクを焼成させるユニットであり、レーザ照射装置(図6参照)70を有している。レーザ照射装置70は、基板50の上に吐出された金属インクにレーザを照射する装置であり、レーザが照射された金属インクは焼成し、配線が形成される。なお、金属インクの焼成とは、エネルギーを付与することによって、溶媒の気化や金属微粒子保護膜の分解等が行われ、金属微粒子が接触または融着をすることで、導電率が高くなる現象である。そして、金属インクが焼成することで、金属製の配線が形成される。   The baking unit 28 is a unit for baking the metal ink discharged onto the substrate 50, and has a laser irradiation device (see FIG. 6) 70. The laser irradiation apparatus 70 is an apparatus for irradiating a laser onto the metal ink discharged onto the substrate 50, and the metal ink irradiated with the laser is fired to form a wiring. The baking of the metal ink is a phenomenon in which evaporation of the solvent, decomposition of the metal fine particle protective film, and the like are carried out by applying energy, and the metal fine particles contact or fuse to increase the conductivity. is there. Then, the metal ink is fired to form a metal wiring.

装着ユニット30は、基板50の上に電子部品(図8参照)72を装着するユニットであり、テープフィーダ(図6参照)74と、装着ヘッド(図6参照)76と、移動装置(図6参照)78とを有している。テープフィーダ74は、テーピング化された電子部品72を1つずつ送りだし、供給位置において、電子部品72を供給する。装着ヘッド76は、電子部品72を吸着保持するための吸着ノズル(図示省略)を有する。吸着ノズルは、正負圧供給装置(図示省略)から負圧が供給されることで、エアの吸引により電子部品72を吸着保持する。そして、正負圧供給装置から僅かな正圧が供給されることで、電子部品72を離脱する。また、移動装置78は、テープフィーダ74による電子部品72の供給位置と、基台52に載置された基板50との間で、装着ヘッド76を移動させる。これにより、装着ユニット30では、テープフィーダ74から供給された電子部品72が、吸着ノズルにより保持され、その吸着ノズルによって保持された電子部品72が、基板50に装着される。   The mounting unit 30 is a unit for mounting the electronic component (see FIG. 8) 72 on the substrate 50, and includes a tape feeder (see FIG. 6) 74, a mounting head (see FIG. 6) 76, and a moving device (FIG. 6). See also 78). The tape feeder 74 feeds the taped electronic components 72 one by one, and supplies the electronic components 72 at the supply position. The mounting head 76 has a suction nozzle (not shown) for holding the electronic component 72 by suction. The suction nozzle sucks and holds the electronic component 72 by suction of air by being supplied with negative pressure from a positive / negative pressure supply device (not shown). Then, the electronic component 72 is detached by supplying a slight positive pressure from the positive and negative pressure supply device. In addition, the moving device 78 moves the mounting head 76 between the supply position of the electronic component 72 by the tape feeder 74 and the substrate 50 placed on the base 52. Thus, in the mounting unit 30, the electronic component 72 supplied from the tape feeder 74 is held by the suction nozzle, and the electronic component 72 held by the suction nozzle is mounted on the substrate 50.

収納ユニット群32は、図2に示すように、ラック80を有しており、ラック80の内部が、ステージ20を収納するための3つの収納ユニット82,84,86に区画されている。詳しくは、ラック80の内部は、棚板88によって、上下方向に離間した状態の3つのスペースに区画されている。各スペースは、ステージ20を収容可能な寸法とされており、各スペースの内部には、後述する移動装置34の一部が配設されている。そして、移動装置34の作動により、各スペースにステージ20が収容される。このため、各スペースが、ステージ20を収納するための収納ユニット82,84,86として機能している。   As shown in FIG. 2, the storage unit group 32 has a rack 80, and the inside of the rack 80 is divided into three storage units 82, 84 and 86 for storing the stage 20. Specifically, the inside of the rack 80 is partitioned by the shelf plate 88 into three spaces spaced apart in the vertical direction. Each space is sized to accommodate the stage 20, and a part of the moving device 34 described later is disposed inside each space. Then, the stage 20 is accommodated in each space by the operation of the moving device 34. Therefore, the respective spaces function as storage units 82, 84, 86 for storing the stage 20.

移動装置34は、図1に示すように、回転テーブル100と、スライド機構102と、リニアモータ104と、ラック昇降装置(図2参照)106とを有している。回転テーブル100は、円盤状をなし、ベース38の略中央部において、回転可能に配設されており、回転モータ(図6参照)108の駆動より、制御可能に回転する。なお、樹脂印刷ユニット22と、樹脂硬化ユニット24と、金属インク印刷ユニット26と、焼成ユニット28と、装着ユニット30と、収納ユニット群32とは、回転テーブル100の回転方向に沿うように、回転テーブル100の外周縁と対向した状態で、6等配の位置に配設されている。   As shown in FIG. 1, the moving device 34 has a rotary table 100, a slide mechanism 102, a linear motor 104, and a rack lifting device (see FIG. 2) 106. The rotary table 100 has a disk shape, is rotatably disposed substantially at the center of the base 38, and is controllably rotated by the drive of a rotary motor (see FIG. 6). The resin printing unit 22, the resin curing unit 24, the metal ink printing unit 26, the baking unit 28, the mounting unit 30, and the storage unit group 32 rotate along the rotation direction of the rotary table 100. In a state of facing the outer peripheral edge of the table 100, it is disposed at six equally spaced positions.

スライド機構102は、回転テーブル100の上に配設された1対のテーブル側ガイドレール110と、樹脂印刷ユニット22等の各ユニット(収納ユニット群32では、収納ユニット82,84,86)に配設された1対のユニット側ガイドレール112と、各ステージ20に配設された4個のスライダ114とを有している。1対のテーブル側ガイドレール110は、互いに平行かつ、回転テーブル100の回転中心を中心として対称的に、所定寸法、離間した状態で回転テーブル100の上面に配設されている。また、1対のユニット側ガイドレール112は、互いに平行かつ、回転テーブル100の径方向に延びる仮想線を中心として対称的に、1対のテーブル側ガイドレール110の離間寸法と同寸法、離間した状態で、樹脂印刷ユニット22等の各ユニットに配設されている。これにより、回転テーブル100が所定の位置に回転した場合に、1対のテーブル側ガイドレール110と、任意のユニットの1対のユニット側ガイドレール112とが、直線状に配置される。図1では、1対のテーブル側ガイドレール110と、樹脂印刷ユニット22及び焼成ユニット28の1対のユニット側ガイドレール112とが、直線状に配置された状態の回路形成装置10が図示されている。なお、テーブル側ガイドレール110とユニット側ガイドレール112とは、回転テーブル100の回転を担保するべく、所定のクリアランスがある状態で配設されている。   The slide mechanism 102 is disposed in each of a pair of table side guide rails 110 disposed on the rotary table 100 and each unit such as the resin printing unit 22 (in the storage unit group 32, the storage units 82, 84, 86). A pair of unit-side guide rails 112 provided and four sliders 114 provided on each stage 20 are provided. The pair of table-side guide rails 110 are disposed parallel to each other and on the upper surface of the rotary table 100 in a state of being separated by a predetermined size and symmetrically about the rotation center of the rotary table 100. Further, the pair of unit-side guide rails 112 are separated from each other by the same dimension as the pair of table-side guide rails 110 in a symmetrical manner with respect to an imaginary line extending in the radial direction of the rotary table 100 in parallel with each other. It is arrange | positioned by each unit of resin printing unit 22 grade | etc., In a state. Thus, when the rotary table 100 is rotated to a predetermined position, the pair of table-side guide rails 110 and the pair of unit-side guide rails 112 of any unit are linearly arranged. In FIG. 1, the circuit forming apparatus 10 in a state in which the pair of table-side guide rails 110 and the pair of unit-side guide rails 112 of the resin printing unit 22 and the baking unit 28 are linearly arranged is illustrated. There is. The table side guide rail 110 and the unit side guide rail 112 are disposed with a predetermined clearance so as to secure the rotation of the rotary table 100.

また、各ステージ20には、長手方向における一端部側の両側面に、1対のスライダ114が固定され、他端部側の両側面に、1対のスライダ114が固定されている。つまり、ステージ20の両側面に4個のスライダ114が固定されている。そして、両側面のうちの一方の側面の1対のスライダ114が、1対のテーブル側ガイドレール110若しくは、1対のユニット側ガイドレール112の一方に、スライド可能に嵌合され、両側面のうちの他方の側面の1対のスライダ114が、1対のテーブル側ガイドレール110若しくは、1対のユニット側ガイドレール112の他方に、スライド可能に嵌合されている。なお、各スライダ114の長さ寸法は、テーブル側ガイドレール110とユニット側ガイドレール112との間のクリアランスより長くされている。これにより、図3に示すように、テーブル側ガイドレール110とユニット側ガイドレール112とが直線状に配置されている際に、回転テーブル100の上と樹脂印刷ユニット22等の各ユニットとの間を、各ステージ20がスライドする。   In each stage 20, a pair of sliders 114 is fixed to both side surfaces on one end side in the longitudinal direction, and a pair of sliders 114 is fixed to both side surfaces on the other end side. That is, four sliders 114 are fixed to both side surfaces of the stage 20. Then, the pair of sliders 114 on one side of the both sides is slidably fitted to one of the pair of table side guide rails 110 or the pair of unit side guide rails 112, A pair of sliders 114 on the other side of them is slidably fitted to the other of the pair of table side guide rails 110 or the pair of unit side guide rails 112. The length dimension of each slider 114 is made longer than the clearance between the table side guide rail 110 and the unit side guide rail 112. Thereby, as shown in FIG. 3, when the table side guide rail 110 and the unit side guide rail 112 are arranged in a straight line, between the top of the rotary table 100 and each unit such as the resin printing unit 22 etc. , Each stage 20 slides.

また、スライド機構102は、ベース38から各ステージ20に電力を供給するための電力供給機構(図4参照)120を有している。電力供給機構120は、テーブル側給電配線122と、ユニット側給電配線124と、受電端子(図4参照)126とによって構成されている。テーブル側給電配線122は、1対のテーブル側ガイドレール110の各々の上面に、各テーブル側ガイドレール110の延びる方向に沿って配設されている。ユニット側給電配線124は、樹脂印刷ユニット22等の各ユニットの1対のユニット側ガイドレール112の各々の上面に、各ユニット側ガイドレール112の延びる方向に沿って配設されている。そして、テーブル側給電配線122および、ユニット側給電配線124に、ベース38に配設された電力供給源(図示省略)から電力が供給されている。また、受電端子126は、図3のAA線における断面図である図4に示すように、スライダ114の内周面に露出した状態で配設されており、テーブル側ガイドレール110若しくは、ユニット側ガイドレール112にスライダ114が嵌合された状態で、スライダ114が、テーブル側給電配線122若しくは、ユニット側給電配線124に接触する。   The slide mechanism 102 also has a power supply mechanism (see FIG. 4) 120 for supplying power from the base 38 to each stage 20. The power supply mechanism 120 is configured of a table-side power supply wire 122, a unit-side power supply wire 124, and a power receiving terminal (see FIG. 4) 126. The table side feed wiring 122 is disposed on the top surface of each of the pair of table side guide rails 110 along the extending direction of each table side guide rail 110. The unit-side power supply wiring 124 is disposed on the upper surface of each unit-side guide rail 112 of each unit such as the resin printing unit 22 along the extending direction of each unit-side guide rail 112. Then, power is supplied to the table-side power supply wiring 122 and the unit-side power supply wiring 124 from a power supply source (not shown) disposed on the base 38. Further, as shown in FIG. 4 which is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 3, the power receiving terminal 126 is disposed exposed on the inner peripheral surface of the slider 114. The table side guide rail 110 or unit side With the slider 114 fitted in the guide rail 112, the slider 114 comes in contact with the table-side power supply wire 122 or the unit-side power supply wire 124.

これにより、ステージ20が回転テーブル100の上に位置している場合において、受電端子126は、テーブル側給電配線122と接触し、テーブル側給電配線122から電力を受電する。また、ステージ20が樹脂印刷ユニット22等の各ユニットに位置している場合において、受電端子126は、ユニット側給電配線124と接触し、ユニット側給電配線124から電力を受電する。また、ステージ20が回転テーブル100と各ユニットとの間でスライドする際にも、受電端子126による受電は担保される。   Thus, when the stage 20 is positioned on the rotary table 100, the power receiving terminal 126 contacts the table-side power supply line 122, and receives power from the table-side power supply line 122. In addition, when the stage 20 is located in each unit such as the resin printing unit 22, the power receiving terminal 126 contacts the unit-side power supply wiring 124, and receives power from the unit-side power supply wiring 124. Further, even when the stage 20 slides between the rotary table 100 and each unit, power reception by the power reception terminal 126 is secured.

詳しくは、ステージ20が回転テーブル100と各ユニットとの間でスライドする際に、スライダ114がテーブル側ガイドレール110とユニット側ガイドレール112とのクリアランスに至ると、受電端子126が、テーブル側給電配線122とユニット側給電配線124との何れにも接触しない状態となる。しかしながら、受電端子126は、ステージ20に設けられている4個のスライダ114の全てに配設されており、1対のスライダ114と1対のスライダ114とは、ステージ20のスライド方向において離間した状態で配設されている。つまり、受電端子126は、ステージ20のスライド方向における前方と後方とに離間した状態で配設されている。このため、ステージ20のスライド方向における前方と後方との一方に配設されている受電端子126が、テーブル側ガイドレール110とユニット側ガイドレール112とのクリアランスに至り、テーブル側給電配線122とユニット側給電配線124との何れにも接触しない状態となっても、ステージ20のスライド方向における前方と後方との他方に配設されている受電端子126は、テーブル側給電配線122とユニット側給電配線124との何れかと接触している。これにより、ステージ20が回転テーブル100と各ユニットとの間でスライドする際にも、受電端子126による受電は担保される。   Specifically, when the slider 114 reaches the clearance between the table-side guide rail 110 and the unit-side guide rail 112 when the stage 20 slides between the rotary table 100 and each unit, the power reception terminal 126 receives the table-side power supply. It will be in the state which does not contact any of wiring 122 and unit side electric supply wiring 124. However, the power receiving terminal 126 is disposed on all four sliders 114 provided on the stage 20, and the pair of sliders 114 and the pair of sliders 114 are separated in the sliding direction of the stage 20. It is arranged in the state. That is, the power receiving terminal 126 is disposed in a state of being separated forward and backward in the sliding direction of the stage 20. For this reason, the power receiving terminal 126 disposed on one of the front and the rear in the sliding direction of the stage 20 reaches the clearance between the table side guide rail 110 and the unit side guide rail 112, and the table side feed wiring 122 and the unit Even when the power supply terminal 124 is not in contact with any of the side power supply lines 124, the power reception terminal 126 disposed on the other of the front and the back in the sliding direction of the stage 20 is the table side power supply line 122 and the unit side power supply wiring. Contact with any of 124. Thus, even when the stage 20 slides between the rotary table 100 and each unit, power reception by the power reception terminal 126 is secured.

また、リニアモータ104は、図1に示すように、回転テーブル100の上に配設されたシャフト状のテーブル側固定子130と、樹脂印刷ユニット22等の各ユニットに配設されたシャフト状のユニット側固定子132と、各ステージ20に配設される円筒状の可動子(図5参照)134とを有している。テーブル側固定子130および、ユニット側固定子132の各々は、図5に示すように、円筒状のパイプ140と、そのパイプ140内に配設された複数の永久磁石142とによって構成されている。複数の永久磁石142の各々は、概して円柱状とされており、一端部側がN極とされ、他端部側がS極とされている。それら複数の永久磁石142は、1軸線上に延びるように配設されており、隣り合う2つの永久磁石142の向かい合う端部は、互いに同じ磁極とされている。そして、隣り合う2つの永久磁石142の間には、非磁性材製のスペーサ(図示省略)が設けられている。また、パイプ140は、1軸線上に延びるように配設された複数の永久磁石142を覆うように設けられており、非磁性材料によって形成されている。   Further, as shown in FIG. 1, the linear motor 104 has a shaft-shaped table-side stator 130 disposed on the rotary table 100 and a shaft-shaped stator disposed in each unit such as the resin printing unit 22. A unit-side stator 132 and a cylindrical movable element (see FIG. 5) 134 disposed on each stage 20 are provided. Each of the table side stator 130 and the unit side stator 132 is comprised by the cylindrical pipe 140 and the some permanent magnet 142 arrange | positioned in the pipe 140, as shown in FIG. . Each of the plurality of permanent magnets 142 is generally cylindrical, with one end side being an N pole and the other end side being an S pole. The plurality of permanent magnets 142 are arranged to extend along one axis, and the facing ends of two adjacent permanent magnets 142 have the same magnetic pole. A spacer (not shown) made of nonmagnetic material is provided between two adjacent permanent magnets 142. The pipe 140 is provided so as to cover the plurality of permanent magnets 142 disposed to extend along one axis, and is formed of a nonmagnetic material.

また、可動子134は、ステージ20の下面側に固定されおり、円筒状の複数のコイル146により構成されている。複数のコイル146の各々は、線材が巻回されて円筒状とされており、線材同士の隙間に樹脂が充填されている。複数のコイル146は、同心状に等間隔で設けられており、隣り合う2つのコイル146の間には、非磁性材製の円環状のスペーサ(図示省略)が設けられている。そして、複数のコイル146およびスペーサが、シャフト状のテーブル側固定子130若しくは、ユニット側固定子132の外周面にクリアランスのある状態で嵌合されている。これにより、可動子134のコイル146に電力が供給されることで、ステージ20が、テーブル側固定子130若しくは、ユニット側固定子132の軸方向に制御可能にスライドする。なお、可動子134への電力の供給は、電力供給機構120を介して行われる。つまり、テーブル側給電配線122若しくは、ユニット側給電配線124から受電端子126が受電した電力が、可動子134に供給される。また、可動子134の長さ寸法は、テーブル側固定子130とユニット側固定子132との間のクリアランスより長くされている。これにより、テーブル側固定子130とユニット側固定子132とが直線状に配置されている際に、回転テーブル100の上と樹脂印刷ユニット22等の各ユニットとの間を、リニアモータ104の駆動によって、ステージ20がスライドする。   Further, the mover 134 is fixed to the lower surface side of the stage 20, and is constituted by a plurality of cylindrical coils 146. Each of the plurality of coils 146 is formed by winding a wire into a cylindrical shape, and the gap between the wires is filled with a resin. The plurality of coils 146 are provided concentrically at equal intervals, and an annular spacer (not shown) made of nonmagnetic material is provided between two adjacent coils 146. A plurality of coils 146 and spacers are fitted to the outer peripheral surface of the shaft-like table side stator 130 or the unit side stator 132 in a state of clearance. As a result, by supplying power to the coil 146 of the mover 134, the stage 20 controllably slides in the axial direction of the table-side stator 130 or the unit-side stator 132. The power supply to the mover 134 is performed via the power supply mechanism 120. That is, the power received by the power receiving terminal 126 from the table-side power supply wiring 122 or the unit-side power supply wiring 124 is supplied to the mover 134. Further, the length dimension of the mover 134 is made longer than the clearance between the table side stator 130 and the unit side stator 132. Thereby, when the table side stator 130 and the unit side stator 132 are linearly arranged, the linear motor 104 is driven between the top of the rotary table 100 and each unit such as the resin printing unit 22. , The stage 20 slides.

また、ラック昇降装置106は、図2に示すように、収納ユニット群32のラック80の下方に配設されており、ラック80を昇降させる。これにより、収納ユニット82,84,86の各々に配設されているユニット側ガイドレール112及びユニット側固定子132が、回転テーブル100に配設されているテーブル側ガイドレール110及びテーブル側固定子130と同じ高さとなるように、ラック80を昇降させるとともに、テーブル側ガイドレール110とユニット側ガイドレール112とが直線状に配置され、テーブル側固定子130とユニット側固定子132とが直線状に配置されるように、回転テーブル100を回転させることで、回転テーブル100の上と各収納ユニット82,84,86との間を、各ステージ20がリニアモータ104の駆動により制御可能にスライドする。   Further, as shown in FIG. 2, the rack lifting and lowering device 106 is disposed below the rack 80 of the storage unit group 32 and lifts and lowers the rack 80. As a result, the unit-side guide rails 112 and the unit-side stator 132 disposed in each of the storage units 82, 84 and 86 are arranged on the rotary table 100, and the table-side guide rails 110 and the table-side stator are disposed. The rack 80 is raised and lowered so that the same height as 130 is obtained, and the table side guide rail 110 and the unit side guide rail 112 are linearly arranged, and the table side stator 130 and the unit side stator 132 are linear Each stage 20 is controllably slid by the drive of the linear motor 104 between the top of the rotary table 100 and each of the storage units 82, 84, 86 by rotating the rotary table 100 so as to be disposed in .

また、制御装置36は、図6に示すように、コントローラ150と、複数の駆動回路152とを備えている。複数の駆動回路152は、上記保持装置54、ステージ昇降装置56、インクジェットヘッド60、平坦化装置62、照射装置66、インクジェットヘッド68、レーザ照射装置70、テープフィーダ74、装着ヘッド76、移動装置78、リニアモータ104、ラック昇降装置106、回転モータ108、に接続されている。コントローラ150は、CPU,ROM,RAM等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路152に接続されている。これにより、ステージ20、樹脂印刷ユニット22、樹脂硬化ユニット24、金属インク印刷ユニット26、焼成ユニット28、装着ユニット30、収納ユニット群32の作動が、コントローラ150によって制御される。   Further, as shown in FIG. 6, the control device 36 includes a controller 150 and a plurality of drive circuits 152. The plurality of drive circuits 152 includes the holding device 54, the stage lifting device 56, the inkjet head 60, the flattening device 62, the irradiation device 66, the inkjet head 68, the laser irradiation device 70, the tape feeder 74, the mounting head 76, and the moving device 78. , The linear motor 104, the rack lifting device 106, and the rotary motor 108. The controller 150 includes a CPU, a ROM, a RAM and the like, is mainly composed of a computer, and is connected to a plurality of drive circuits 152. Thus, the controller 150 controls the operation of the stage 20, the resin printing unit 22, the resin curing unit 24, the metal ink printing unit 26, the baking unit 28, the mounting unit 30, and the storage unit group 32.

回路形成装置の作動
回路形成装置10では、上述した構成によって、樹脂印刷ユニット22、樹脂硬化ユニット24、金属インク印刷ユニット26、焼成ユニット28、装着ユニット30、収納ユニット82,84,86の8つのユニットの間で、回転テーブル100を介して、複数のステージ20が順次、移動され、各ユニットにおいて作業が実行されることで、回路が形成される。なお、回路形成装置10では、7台のステージ20が、移動装置34の作動により、8つのユニットの間で、順次、移動可能とされている。以下に、7台のステージ20のうちの1台のステージ20を、各ユニットの間で移動させ、基板50に回路を形成する手法について説明する。
Operation of Circuit Forming Device In the circuit forming device 10, eight components of the resin printing unit 22, the resin curing unit 24, the metal ink printing unit 26, the baking unit 28, the mounting unit 30, and the storage units 82, 84 and 86 are provided. A plurality of stages 20 are sequentially moved between the units via the rotary table 100, and a task is performed in each unit to form a circuit. In the circuit forming device 10, the seven stages 20 are sequentially moved among the eight units by the operation of the moving device 34. Hereinafter, a method of forming a circuit on the substrate 50 by moving one of the seven stages 20 among the units will be described.

具体的には、ステージ20の基台52に基板50がセットされ、そのステージ20が、樹脂印刷ユニット22と樹脂硬化ユニット24との間を移動される。そして、樹脂印刷ユニット22及び樹脂硬化ユニット24において、図7に示すように、基板50の上に樹脂層160が形成される。樹脂層160は、電子部品72を装着するためのキャビティ162を有しており、インクジェットヘッド60からの紫外線硬化樹脂の吐出と、吐出された紫外線硬化樹脂への照射装置66による紫外線の照射とが繰り返されることにより形成される。   Specifically, the substrate 50 is set on the base 52 of the stage 20, and the stage 20 is moved between the resin printing unit 22 and the resin curing unit 24. Then, in the resin printing unit 22 and the resin curing unit 24, as shown in FIG. 7, the resin layer 160 is formed on the substrate 50. The resin layer 160 has a cavity 162 for mounting the electronic component 72, and the discharge of the ultraviolet curable resin from the ink jet head 60 and the irradiation of the ultraviolet light by the irradiation device 66 to the discharged ultraviolet curable resin are It is formed by repeating.

詳しくは、樹脂印刷ユニット22において、インクジェットヘッド60が、基板50の上面に紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。この際、インクジェットヘッド60は、基板50の上面の所定の部分が概して矩形に露出するように、紫外線硬化樹脂を吐出する。続いて、紫外線硬化樹脂が薄膜状に吐出されると、紫外線硬化樹脂の膜厚が均一となるように、紫外線硬化樹脂が平坦化装置62によって平坦化される。そして、ステージ20が、樹脂印刷ユニット22から樹脂硬化ユニット24に移動され、樹脂硬化ユニット24において、照射装置66が、その薄膜状の紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する。これにより、基板50の上に薄膜状の樹脂層が形成される。   Specifically, in the resin printing unit 22, the inkjet head 60 discharges the ultraviolet curing resin in a thin film form on the upper surface of the substrate 50. At this time, the inkjet head 60 discharges the ultraviolet curable resin so that a predetermined portion of the upper surface of the substrate 50 is exposed in a generally rectangular shape. Subsequently, when the ultraviolet curable resin is discharged in the form of a thin film, the ultraviolet curable resin is flattened by the flattening device 62 so that the film thickness of the ultraviolet curable resin becomes uniform. Then, the stage 20 is moved from the resin printing unit 22 to the resin curing unit 24. In the resin curing unit 24, the irradiation device 66 irradiates the thin film ultraviolet curing resin with ultraviolet light. Thus, a thin resin layer is formed on the substrate 50.

続いて、再度、ステージ20が、樹脂硬化ユニット24から樹脂印刷ユニット22に移動される。そして、樹脂印刷ユニット22において、インクジェットヘッド60が、その薄膜状の樹脂層の上の部分にのみ紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。つまり、インクジェットヘッド60は、基板50の上面の所定の部分が概して矩形に露出するように、薄膜状の樹脂層の上に紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。そして、平坦化装置62によって薄膜状の紫外線硬化樹脂が平坦化される。次に、ステージ20が、再度、樹脂印刷ユニット22から樹脂硬化ユニット24に移動され、樹脂硬化ユニット24において、照射装置66が、その薄膜状の紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する。これにより、薄膜状の樹脂層の上に薄膜状の樹脂層が積層される。このように、樹脂印刷ユニット22と樹脂硬化ユニット24とにおいて、薄膜状の樹脂層の上への紫外線硬化樹脂の吐出と、紫外線硬化樹脂の平坦化と、紫外線の照射とが繰り返されることで、キャビティ162を有する樹脂層160が形成される。   Subsequently, the stage 20 is moved from the resin curing unit 24 to the resin printing unit 22 again. Then, in the resin printing unit 22, the inkjet head 60 discharges the ultraviolet curing resin in a thin film form only on the portion on the thin film resin layer. That is, the inkjet head 60 discharges the ultraviolet curable resin in a thin film form on the thin film resin layer so that a predetermined portion of the upper surface of the substrate 50 is exposed in a generally rectangular shape. Then, the thin film ultraviolet curable resin is planarized by the planarizing device 62. Next, the stage 20 is moved again from the resin printing unit 22 to the resin curing unit 24, and in the resin curing unit 24, the irradiation device 66 irradiates the thin film ultraviolet curing resin with ultraviolet light. Thus, the thin film resin layer is laminated on the thin film resin layer. Thus, in the resin printing unit 22 and the resin curing unit 24, the discharge of the ultraviolet curing resin on the thin film resin layer, the flattening of the ultraviolet curing resin, and the irradiation of the ultraviolet radiation are repeated, A resin layer 160 having a cavity 162 is formed.

上述した手順により樹脂層160が形成されると、ステージ20が装着ユニット30に移動される。装着ユニット30では、テープフィーダ74により電子部品72が供給され、その電子部品72が装着ヘッド76の吸着ノズルによって、保持される。そして、装着ヘッド76が、移動装置78によって移動され、吸着ノズルにより保持された電子部品72が、図8に示すように、樹脂層160のキャビティ162の内部において、基板50の所定の装着位置に装着される。なお、樹脂層160の高さ寸法と、電子部品72の高さ寸法とは略同じとされている。   When the resin layer 160 is formed by the above-described procedure, the stage 20 is moved to the mounting unit 30. In the mounting unit 30, the electronic component 72 is supplied by the tape feeder 74, and the electronic component 72 is held by the suction nozzle of the mounting head 76. Then, the mounting head 76 is moved by the moving device 78, and the electronic component 72 held by the suction nozzle is at the predetermined mounting position of the substrate 50 inside the cavity 162 of the resin layer 160, as shown in FIG. It is attached. The height dimension of the resin layer 160 and the height dimension of the electronic component 72 are substantially the same.

電子部品72がキャビティ162の内部において基板50に装着されると、樹脂印刷ユニット22と樹脂硬化ユニット24とにおいて、図9に示すように、キャビティ162の隙間、つまり、キャビティ162を区画する内壁面と電子部品72の側壁面との間に、樹脂層166が形成される。なお、樹脂層166は、樹脂層160と同様の手法により形成されるため、樹脂層166の形成手法については、説明を省略する。なお、樹脂層166の高さ寸法は、樹脂層160および電子部品72の高さ寸法と略同じとされている。これにより、樹脂層160の上面と樹脂層166の上面と電子部品72の上面とは、面一とされる。   When the electronic component 72 is attached to the substrate 50 inside the cavity 162, the gap between the cavities 162, that is, the inner wall surface that partitions the cavity 162, in the resin printing unit 22 and the resin curing unit 24, as shown in FIG. And the side wall surface of the electronic component 72, a resin layer 166 is formed. In addition, since the resin layer 166 is formed by the same method as the resin layer 160, the description of the method of forming the resin layer 166 is omitted. The height dimension of the resin layer 166 is substantially the same as the height dimension of the resin layer 160 and the electronic component 72. Thereby, the upper surface of the resin layer 160, the upper surface of the resin layer 166, and the upper surface of the electronic component 72 are flush with each other.

次に、キャビティ162の隙間に樹脂層166が形成されると、ステージ20が、金属インク印刷ユニット26に移動される。そして、金属インク印刷ユニット26において、インクジェットヘッド68によって、金属インクが樹脂層160,166の上に、回路パターンに応じて線状に吐出される。この際、図10に示すように、金属インク168は、電子部品72の電極170と、他の電極(図示省略)とを繋ぐように、線状に吐出される。続いて、金属インク168が印刷されると、ステージ20は、焼成ユニット28に移動される。そして、焼成ユニット28において、吐出された金属インク168に、レーザ照射装置70によってレーザが照射される。これにより、金属インク168が焼成し、電極間を繋ぐ配線が形成される。   Next, when the resin layer 166 is formed in the gap of the cavity 162, the stage 20 is moved to the metal ink printing unit 26. Then, in the metal ink printing unit 26, the metal ink is discharged linearly on the resin layers 160 and 166 in accordance with the circuit pattern by the ink jet head 68. At this time, as shown in FIG. 10, the metal ink 168 is discharged linearly so as to connect the electrode 170 of the electronic component 72 and another electrode (not shown). Subsequently, when the metal ink 168 is printed, the stage 20 is moved to the baking unit 28. Then, in the baking unit 28, the ejected metal ink 168 is irradiated with a laser by the laser irradiation device 70. Thereby, the metal ink 168 is fired to form a wiring connecting the electrodes.

このように、回路形成装置10では、1台のステージ20が、樹脂印刷ユニット22と樹脂硬化ユニット24と装着ユニット30と金属インク印刷ユニット26と焼成ユニット28とを順次、移動し、紫外線硬化性樹脂の印刷工程と、紫外線硬化樹脂を硬化させる工程と、電子部品72の装着工程と、金属インクの印刷工程と、金属インクの焼成工程とが行われることで、回路が形成される。また、その1台のステージ(以下、「第1のステージ」と記載する場合がある)20に対して作業しているユニットと異なるユニットにおいて、第1のステージ20と異なるステージ(以下、「第2のステージ」と記載する場合がある)20に対して作業を行うことで、第1のステージと第2のステージ20との両方において、並行して各種工程を行うことが可能となる。   As described above, in the circuit forming apparatus 10, one stage 20 sequentially moves the resin printing unit 22, the resin curing unit 24, the mounting unit 30, the metal ink printing unit 26, and the baking unit 28 so as to be ultraviolet curable. A circuit is formed by performing a printing process of resin, a process of curing ultraviolet curing resin, a mounting process of electronic component 72, a printing process of metal ink, and a baking process of metal ink. Also, in a unit different from the unit working on the one stage (which may hereinafter be referred to as the “first stage”) 20, a stage different from the first stage 20 (hereinafter “the first stage”) By performing the operation on the stage 20 (which may be described as “the second stage”), it becomes possible to perform various processes in parallel in both the first stage and the second stage 20.

詳しくは、例えば、第1のステージ20が樹脂印刷ユニット22に移動し、その樹脂印刷ユニット22において第1のステージ20に対して作業を行っている間に、第2のステージ20を金属インク印刷ユニット26に移動させることで、その金属インク印刷ユニット26において第2のステージ20に対して作業を行うことが可能となる。つまり、第1のステージ20に保持された基板50と、第2のステージ20に保持された基板50との両方に、同時に、各種作業が実行される。これにより、多くの回路を同時に作成することが可能となり、回路作成能力が向上する。特に、回路形成装置10では、7台のステージ20が各ユニット間で移動可能とされているため、樹脂印刷ユニット22と樹脂硬化ユニット24と装着ユニット30と金属インク印刷ユニット26と焼成ユニット28との5つのユニットにおいて、同時に作業を行うことが可能となり、回路作成能力が格段に向上する。   Specifically, for example, while the first stage 20 is moved to the resin printing unit 22 and the resin printing unit 22 is working on the first stage 20, the second stage 20 is printed with metal ink. By moving to the unit 26, it is possible to work on the second stage 20 in the metal ink printing unit 26. That is, various operations are simultaneously performed on both the substrate 50 held by the first stage 20 and the substrate 50 held by the second stage 20. This makes it possible to create many circuits at the same time, and improves the circuit creation capability. In particular, in the circuit forming apparatus 10, seven stages 20 are movable between the units, so the resin printing unit 22, the resin curing unit 24, the mounting unit 30, the metal ink printing unit 26, and the baking unit 28 It becomes possible to work at the same time in the five units in the above, and the circuit creation ability is significantly improved.

また、回路作成能力の向上により、インクジェットヘッド68への金属インクの補充回数を少なくすることが可能となる。詳しくは、金属インクは、金属の微粒子が溶剤中に分散されたものであるため、金属微粒子の沈殿,金属微粒子の分散性の低下等により、劣化速度が速い。このため、所定時間内に使用される量の金属インクが、インクジェットヘッド68に補充される。つまり、単位時間当たりの回路の形成枚数が少ない場合には、少量の金属インクしかインクジェットヘッド68に補充できず、インクジェットヘッド68への金属インクの補給回数が多くなる。一方、回路形成装置10では、5つのユニットにおいて、同時に作業を行うことが可能であるため、単位時間当たりの回路の形成枚数は多くなる。このため、多くの量の金属インクをインクジェットヘッド68に補充することが可能となり、インクジェットヘッド68への金属インクの補給回数を少なくすることが可能となる。   Further, by the improvement of the circuit forming ability, it is possible to reduce the number of replenishments of the metal ink to the ink jet head 68. Specifically, since metal particles are obtained by dispersing metal particles in a solvent, the metal ink has a high deterioration rate due to the precipitation of metal particles and the decrease in the dispersibility of metal particles. Therefore, the ink jet head 68 is replenished with an amount of metal ink used within a predetermined time. That is, when the number of formed circuits per unit time is small, only a small amount of metal ink can be replenished to the ink jet head 68, and the number of times of metal ink replenishment to the ink jet head 68 increases. On the other hand, in the circuit forming apparatus 10, since it is possible to work simultaneously in five units, the number of formed circuits per unit time is increased. Therefore, a large amount of metal ink can be replenished to the ink jet head 68, and the number of times of metal ink replenishment to the ink jet head 68 can be reduced.

また、金属インク及び、紫外線硬化樹脂は、溶媒等の揮発成分を含んでおり、その揮発成分の種類,量に応じて、乾燥工程が必要な場合がある。詳しくは、印刷された紫外線硬化樹脂に、紫外線が照射される前に、紫外線硬化樹脂を乾燥させなければ、紫外線の照射により紫外線硬化樹脂が適切に硬化しない場合がある。また、印刷された金属インクに、レーザが照射される前に、金属インクを乾燥させなければ、レーザの照射により金属インクが適切に焼成しない場合がある。このため、印刷された紫外線硬化樹脂若しくは、金属インクに、紫外線若しくはレーザが照射される前に、紫外線硬化樹脂若しくは、金属インクを乾燥させる工程が必要となる場合がある。そして、この乾燥工程では、加熱による成分の変性を防止するべく、加熱などを行わずに、自然乾燥が好ましい場合があり、自然乾燥では、1時間以上、放置される場合もある。このように、長時間、ステージ20が、樹脂印刷ユニット22,樹脂硬化ユニット24,装着ユニット30,金属インク印刷ユニット26,焼成ユニット28に放置されると、作業効率が低下する。   The metal ink and the ultraviolet curable resin contain volatile components such as a solvent, and depending on the type and amount of the volatile components, a drying step may be required. In detail, if the ultraviolet curable resin is not dried before being irradiated with the ultraviolet light, the ultraviolet curable resin may not be appropriately cured by the irradiation of the ultraviolet light. In addition, if the metal ink is not dried before the laser is irradiated to the printed metal ink, the metal ink may not be appropriately fired by the laser irradiation. Therefore, it may be necessary to dry the ultraviolet curable resin or the metal ink before the printed ultraviolet curable resin or the metal ink is irradiated with the ultraviolet light or the laser. And in this drying process, in order to prevent denaturation of the component by heating, natural drying may be preferable without performing heating etc. In natural drying, it may be left for 1 hour or more. As described above, when the stage 20 is left in the resin printing unit 22, the resin curing unit 24, the mounting unit 30, the metal ink printing unit 26, and the baking unit 28 for a long time, the working efficiency is lowered.

このため、回路形成装置10には、収納ユニット群32が設けられており、収納ユニット群32の収納ユニット82,84,86において、自然乾燥が行われる。つまり、紫外線硬化樹脂、若しくは、金属インクが基板50に印刷され、その紫外線硬化樹脂、若しくは、金属インクの自然乾燥が必要である場合には、印刷された基板50を保持するステージ20が、収納ユニット82,84,86に収容される。これにより、樹脂印刷ユニット22,樹脂硬化ユニット24,装着ユニット30,金属インク印刷ユニット26,焼成ユニット28において、ステージ20を長時間、放置させることが無くなり、作業効率の低下を防止することが可能となる。特に、収納ユニット群32では、3つの収納ユニット82,84,86が設けられており、3つのステージ20を放置することが可能となり、多くの基板50に対して、自然乾燥工程を行うことが可能となる。また、3つの収納ユニット82,84,86は、上下方向に離間した状態で配設されており、ラック昇降装置106によってラック80を昇降させることで、回転テーブル100から各収納ユニット82,84,86にステージ20を収納することが可能となっている。これにより、収納ユニット82,84,86の配設スペースを小さくすることが可能とされている。   For this reason, the storage unit group 32 is provided in the circuit forming apparatus 10, and natural drying is performed in the storage units 82, 84, 86 of the storage unit group 32. That is, when the UV curable resin or the metal ink is printed on the substrate 50 and the UV curable resin or the metal ink needs to be naturally dried, the stage 20 for holding the printed substrate 50 is accommodated. The units 82, 84 and 86 are accommodated. As a result, in the resin printing unit 22, the resin curing unit 24, the mounting unit 30, the metal ink printing unit 26, and the baking unit 28, the stage 20 is not left for a long time, and a reduction in work efficiency can be prevented. It becomes. In particular, in the storage unit group 32, three storage units 82, 84, 86 are provided, and it becomes possible to leave the three stages 20, and a natural drying process may be performed on many substrates 50. It becomes possible. In addition, the three storage units 82, 84, 86 are disposed vertically separated from one another, and by raising and lowering the rack 80 by the rack lifting device 106, the storage units 82, 84, It is possible to store the stage 20 in 86. As a result, it is possible to reduce the installation space of the storage units 82, 84, 86.

さらに言えば、回路形成装置10では、8つのユニット間で7台のステージ20が移動可能とされているため、最も効率よく回路形成を行うことが可能となる。詳しくは、8つのユニットの全てにステージ20が位置している場合には、ユニット間でステージ20を移動させることができない。このため、各ユニット間でステージ20を移動させるためには、少なくとも1つのユニットにステージ20が位置していないことが必要である。一方で、ステージ20の数は多いほど、回路の形成功率は高くなる。このため、ユニット数より1少ない数のステージ20を用いること、つまり、回路形成装置10では、7台のステージ20を用いることで、最も効率よく回路形成を行うことが可能となる。   Furthermore, in the circuit forming apparatus 10, seven stages 20 are movable among eight units, so that circuit formation can be performed most efficiently. Specifically, when the stage 20 is located in all eight units, the stage 20 can not be moved between the units. For this reason, in order to move the stage 20 between units, it is necessary that the stage 20 not be located in at least one unit. On the other hand, the larger the number of stages 20, the higher the form success rate of the circuit. For this reason, using the number of stages 20 smaller than the number of units, that is, using seven stages 20 in the circuit forming apparatus 10, enables circuit formation to be performed most efficiently.

また、回路形成装置10では、ステージ20を移動させるための移動装置34として、回転テーブル100が採用され、その回転テーブル100の外周縁に沿って、樹脂印刷ユニット22等の各ユニットが配置されている。これにより、ステージ20の移動距離を少なくすることが可能となり、効率よく回路形成を行うことが可能となる。   Further, in the circuit forming apparatus 10, the rotating table 100 is adopted as the moving device 34 for moving the stage 20, and units such as the resin printing unit 22 are arranged along the outer peripheral edge of the rotating table 100. There is. As a result, the moving distance of the stage 20 can be reduced, and circuit formation can be performed efficiently.

ちなみに、上記実施例において、回路形成装置10は、回路形成装置の一例である。ステージ20は、ステージの一例である。樹脂印刷ユニット22は、樹脂層形成ユニットの一例である。金属インク印刷ユニット26は、配線形成ユニットの一例である。移動装置34は、移動装置の一例である。インクジェットヘッド60は、第1吐出装置の一例である。インクジェットヘッド68は、第2吐出装置の一例である。回転テーブル100は、回転テーブルの一例である。ラック昇降装置106は、昇降装置の一例である。テーブル側ガイドレール110は、テーブル側ガイドレールの一例である。ユニット側ガイドレール112は、ユニット側ガイドレールの一例である。スライダ114は、スライダの一例である。テーブル側給電配線122およびユニット側給電配線124は、給電端子の一例である。受電端子126は、受電端子の一例である。   Incidentally, in the above embodiment, the circuit forming device 10 is an example of the circuit forming device. The stage 20 is an example of a stage. The resin printing unit 22 is an example of a resin layer forming unit. The metal ink printing unit 26 is an example of a wiring forming unit. The moving device 34 is an example of a moving device. The inkjet head 60 is an example of a first discharge device. The inkjet head 68 is an example of a second discharge device. The rotary table 100 is an example of a rotary table. The rack lifting device 106 is an example of the lifting device. The table side guide rail 110 is an example of a table side guide rail. The unit side guide rail 112 is an example of a unit side guide rail. The slider 114 is an example of a slider. The table-side feed wiring 122 and the unit-side feed wiring 124 are examples of a feed terminal. The power receiving terminal 126 is an example of a power receiving terminal.

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。例えば、上記実施例では、樹脂印刷ユニット22と樹脂硬化ユニット24と金属インク印刷ユニット26と焼成ユニット28と装着ユニット30と収納ユニット82,84,86との8つのユニットが採用されているが、任意の数のユニットを採用することが可能である。ただし、回路形成装置10では、樹脂層および配線の形成は、必須であるため、樹脂印刷ユニット22と金属インク印刷ユニット26とは必ず採用する必要がある。一方、紫外線硬化樹脂などの硬化性樹脂,金属インクは、種類に応じて、自然乾燥で硬化するものもあるため、樹脂硬化ユニット24および焼成ユニット28は、必要に応じて採用すればよい。また、装着ユニット30および収納ユニット82,84,86も、必要に応じて採用すればよい。また、上記ユニット以外に、赤外線ランプ等により紫外線硬化樹脂などを乾燥させるためのユニット,電気炉等により金属インクを焼成するためのユニット等、種々のユニットを採用してもよい。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be implemented in various modes in which various changes and improvements are made based on the knowledge of those skilled in the art. For example, in the above embodiment, eight units of the resin printing unit 22, the resin curing unit 24, the metal ink printing unit 26, the baking unit 28, the mounting unit 30, and the storage units 82, 84, 86 are employed. It is possible to employ any number of units. However, in the circuit forming apparatus 10, since the formation of the resin layer and the wiring is essential, the resin printing unit 22 and the metal ink printing unit 26 need to be adopted. On the other hand, since there are curable resins such as ultraviolet curable resins and metal inks, which cure by natural drying depending on the types, the resin curing unit 24 and the baking unit 28 may be adopted as needed. Also, the mounting unit 30 and the storage units 82, 84, 86 may be adopted as necessary. In addition to the above units, various units such as a unit for drying an ultraviolet curable resin with an infrared lamp or the like, a unit for baking a metal ink with an electric furnace or the like, and the like may be adopted.

また、上記実施例では、ステージ20を移動させる移動装置として、回転テーブル100が採用されているが、ステージ20をXY方向に移動させる移動装置を採用してもよい。なお、ステージ20をXY方向に移動させる移動装置が採用される場合には、複数のユニットを、X方向とY方向との少なくとも一方に並んで配設することで、効率的にユニット間でステージ20を移動させることが可能となる。   Further, in the above embodiment, the rotary table 100 is adopted as the moving device for moving the stage 20, but a moving device for moving the stage 20 in the XY direction may be adopted. When a moving device for moving the stage 20 in the X and Y directions is adopted, the plurality of units are arranged side by side in at least one of the X direction and the Y direction, so that the stages can be efficiently performed between the units. It becomes possible to move 20.

10:回路形成装置 20:ステージ 22:樹脂印刷ユニット(樹脂層形成ユニット) 26:金属インク印刷ユニット(配線形成ユニット) 34:移動装置 60:インクジェットヘッド(第1吐出装置) 68:インクジェットヘッド(第2吐出装置) 100:回転テーブル 106:ラック昇降装置(昇降装置) 110:テーブル側ガイドレール 112:ユニット側ガイドレール 114:スライダ 122:テーブル側給電配線(給電端子) 124:ユニット側給電配線(給電端子) 126:受電端子   10: circuit forming device 20: stage 22: resin printing unit (resin layer forming unit) 26: metal ink printing unit (wiring forming unit) 34: moving device 60: ink jet head (first discharge device) 68: ink jet head (first 2 Discharge device) 100: Rotary table 106: Rack lifting device (lifting device) 110: Table side guide rail 112: Unit side guide rail 114: Slider 122: Table side feed wiring (feed terminal) 124: Unit side feed wiring (feed) Terminal) 126: Power receiving terminal

Claims (6)

硬化性樹脂を吐出する第1吐出装置を含む樹脂層形成ユニットと、金属微粒子を含有する金属含有液を吐出する第2吐出装置を含む配線形成ユニットとを少なくとも含む複数のユニットと、
基板が載置される複数のステージと、
前記複数のステージの各々を、前記複数のユニットの任意の1のユニットに移動させる移動装置と
を備え、前記第1吐出装置の硬化性樹脂の吐出により形成される樹脂層、及び前記第2吐出装置の金属含有液の吐出により形成される配線を含む回路を基板上に形成する回路形成装置。
A plurality of units including at least a resin layer forming unit including a first discharge device discharging a curable resin, and a wiring formation unit including a second discharge device discharging a metal-containing liquid containing metal fine particles;
A plurality of stages on which the substrate is mounted;
A moving device for moving each of the plurality of stages to any one of the plurality of units, and a resin layer formed by the discharge of the curable resin of the first discharge device, and the second discharge The circuit formation apparatus which forms the circuit containing the wiring formed by discharge of the metal containing liquid of an apparatus on a board | substrate.
前記移動装置が、
前記複数のステージのうちの任意の1のステージを、前記複数のユニットの各々に向けて回転させるための回転テーブルを有することを特徴とする請求項1に記載の回路形成装置。
The moving device
The circuit forming apparatus according to claim 1, further comprising a rotary table for rotating any one of the plurality of stages toward each of the plurality of units.
前記複数のユニットが、
前記回転テーブルの回転方向に沿って配設されていることを特徴とする請求項2に記載の回路形成装置。
The plurality of units are
The circuit forming apparatus according to claim 2, wherein the circuit forming apparatus is disposed along the rotation direction of the rotary table.
前記移動装置が、
前記回転テーブルに設けられたテーブル側ガイドレールと、
前記複数のユニットの各々に設けられたユニット側ガイドレールと、
前記複数のステージの各々に設けられ、各ステージが前記回転テーブルによって前記複数のユニットのうちの任意の1のユニットに向けて回転された際に、その1のユニットの前記ユニット側ガイドレールと、前記テーブル側ガイドレールとに跨ってスライドするスライダと、
前記テーブル側ガイドレールと前記ユニット側ガイドレールとの各々に沿って延びるように設けられた給電端子と、
前記スライダに設けられ、前記スライダのスライド時に前記給電端子と摺接する1対の受電端子と
を有し、
前記1対の受電端子が、前記テーブル側ガイドレールと前記ユニット側ガイドレールとの各々の延びる方向において離間した状態で配設されることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の回路形成装置。
The moving device
A table side guide rail provided on the rotary table;
Unit-side guide rails provided in each of the plurality of units;
Provided on each of the plurality of stages, and when each stage is rotated by the rotary table toward any one of the plurality of units, the unit-side guide rails of that one unit; A slider sliding across the table-side guide rail;
A feed terminal provided to extend along each of the table-side guide rail and the unit-side guide rail;
And a pair of power reception terminals provided on the slider and in sliding contact with the power supply terminal when the slider slides.
The circuit according to claim 2 or 3, wherein the pair of power reception terminals are disposed in a state of being separated in the extending direction of each of the table-side guide rail and the unit-side guide rail. Forming device.
前記複数のステージの数が、前記複数のユニットの数より1少ないことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1つに記載の回路形成装置。   The circuit formation device according to any one of claims 1 to 4, wherein the number of the plurality of stages is one less than the number of the plurality of units. 前記複数のユニットのうちの2以上のユニットが、上下方向に離間した状態で配設され、
前記移動装置が、
前記複数のステージの各々を、上下方向に離間した状態で配設された2以上のユニットの各々に向けて移動させるために、前記ステージを昇降させる昇降装置を有することを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1つに記載の回路形成装置。
Two or more units of the plurality of units are disposed in a state of being vertically separated from each other,
The moving device
In order to move each of the plurality of stages toward each of two or more units disposed in a state of being separated in the up and down direction, it has an elevation device for raising and lowering the stages. A circuit forming apparatus according to any one of the preceding claims.
JP2018525883A 2016-07-06 2016-07-06 Circuit forming device Active JP6785310B2 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2016/070032 WO2018008113A1 (en) 2016-07-06 2016-07-06 Circuit forming device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2018008113A1 true JPWO2018008113A1 (en) 2019-05-16
JP6785310B2 JP6785310B2 (en) 2020-11-18

Family

ID=60912571

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018525883A Active JP6785310B2 (en) 2016-07-06 2016-07-06 Circuit forming device

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6785310B2 (en)
WO (1) WO2018008113A1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20230199970A1 (en) * 2020-04-24 2023-06-22 Fuji Corporation Circuit forming method and circuit forming device

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4665037B2 (en) * 2009-02-06 2011-04-06 東京エレクトロン株式会社 Substrate processing system
JP5585238B2 (en) * 2010-06-24 2014-09-10 東京エレクトロン株式会社 Substrate processing equipment
ITUD20110079A1 (en) * 2011-06-06 2012-12-07 Applied Materials Italia Srl SUPPORT AND TRANSPORT UNIT FOR A PRINTING SUBSTRATE FOR A PRINT TRACK DEPOSITION PLANT, AND ITS DEPOSITION PROCEDURE
JP5143266B1 (en) * 2011-09-30 2013-02-13 株式会社東芝 Flexible printed wiring board manufacturing apparatus and manufacturing method

Also Published As

Publication number Publication date
WO2018008113A1 (en) 2018-01-11
JP6785310B2 (en) 2020-11-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11470724B2 (en) Manufacturing apparatus for performing additive manufacturing of an electrical device
JP6947842B2 (en) Manufacturing method of 3D laminated electronic device
CN104772981A (en) Circuit board manufacturing method and ink-jet printer
JPWO2018003000A1 (en) Circuit formation method
JP6533112B2 (en) Circuit formation method
JPWO2018008113A1 (en) Circuit formation device
JP6811770B2 (en) Circuit formation method
JP6714109B2 (en) Circuit forming method and circuit forming apparatus
WO2016189577A1 (en) Wiring forming method
JPWO2019193644A1 (en) Three-dimensional structure forming method and three-dimensional structure forming apparatus
JP6949751B2 (en) Via forming method for 3D laminated modeling
JP6663516B2 (en) Circuit forming method and circuit forming apparatus
JP6816283B2 (en) Wiring forming method and wiring forming device
WO2019123629A1 (en) Method and device for manufacturing additively manufactured electronic device
JPWO2019186780A1 (en) Circuit formation method and circuit formation device
JP6866198B2 (en) Circuit forming device
JP7062795B2 (en) Circuit forming device
JP6967138B2 (en) How to form a cavity
JPWO2019171531A1 (en) Information processing device
JP2020077661A (en) Circuit formation method
JP6808050B2 (en) Wiring forming method and wiring forming device
WO2021166139A1 (en) Circuit forming method
WO2021019707A1 (en) Method for manufacturing circuit wiring by three-dimensional additive manufacturing
JP2021141184A (en) Circuit formation method
WO2019038879A1 (en) Wire forming method and wire forming device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190606

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200630

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200731

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20201020

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20201026

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6785310

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250