JPWO2017154885A1 - カーボンナノチューブ構造体の起毛方法、カーボンナノチューブ構造体の製造方法およびカーボンナノチューブ構造体 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の複数のカーボンナノチューブの起毛方法の第1実施形態は、例えば、図1A〜図1Dに示すように、カーボンナノチューブ構造体の一例としての熱伝導性シート1であって、固定シート2およびカーボンナノチューブアレイ3(以下、CNTアレイ3とする。)を備える熱伝導性シート1を準備する工程と、粘着テープ8をCNTアレイ3に貼り付ける工程と、粘着テープ8をCNTアレイ3から剥離する工程と、を含んでいる。
熱伝導性シート1を準備するには、まず、図4Cに示すように、固定シート2を準備する。第1実施形態では、固定シート2は、2つのCNTアレイ3を固定可能であり、基材4と、2つの樹脂層5とを備えている。
熱伝導性シート1(一次熱伝導性シート1A)は、TIMとして、図5Bに示すように、例えば、電子部品11(対象物)と、放熱部材10(対象物)との間に、厚み方向に挟まれるように配置されて使用される。
そして、二次熱伝導性シート1BをTIMとして再利用する場合、複数のCNT6が既に傾倒しているため、複数のCNT6が電子部品11および放熱部材10の表面粗さに追従できず、複数のCNT6の電子部品11および放熱部材10の表面に対する接触が不十分となり、電子部品11および放熱部材10との間に空隙が生じ、熱伝導率が低下してしまう。
熱伝導性シート1は、図1Aに示すように、成長基板15から剥離されたCNTアレイ3の複数のCNT6の一端部が、固定シート2に埋め込まれているので、固定シート2とCNT6との粘着力の向上を図ることができる。
次に、図6A〜図6Cを参照して、本発明の第2実施形態について説明する。なお、第2実施形態では、上記した第1実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
次に、図7A〜図7Cを参照して、本発明の第3実施形態について説明する。なお、第3実施形態では、上記した第1実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
次に、図8A〜図8Cを参照して、本発明の第4実施形態について説明する。なお、第4実施形態では、上記した第1実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
次に、図9Aおよび図9B参照して、本発明の第5実施形態および第6実施形態について説明する。なお、第5実施形態および第6実施形態では、上記した第1実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
第1実施形態〜第4実施形態では、例えば、図1A〜図1Dに示すように、本発明の複数のカーボンナノチューブの起毛方法が、熱伝導性シート1のリサイクル(再利用)に利用され、第5実施形態および第6実施形態では、図9Aおよび図9Bに示すように、本発明の複数のカーボンナノチューブの起毛方法が、搬送ベルト30のメンテナンスに利用されているが、これに限定されない。
次に、図10A〜図10Cを参照して、本発明の第8実施形態について説明する。なお、第8実施形態では、上記した第1実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
第1実施形態では、固定シート準備工程において、樹脂層5が熱可塑性樹脂から形成される場合について詳述したが、樹脂層5が熱硬化性樹脂から形成される場合、まず、上記した熱硬化性樹脂に対応する未硬化の樹脂組成物を準備する。未硬化の樹脂組成物は、液状のAステージ状態である。熱硬化性樹脂として、好ましくは、エポキシ樹脂およびフッ素系ゴムが挙げられる。
なお、基材4の表面4Aに樹脂組成物層を形成し、CNTアレイ3を表側の樹脂組成物層に埋め込み、樹脂組成物層を硬化させて樹脂層5とした後、基材4の裏面4Bに樹脂組成物層を形成し、CNTアレイ3を裏側の樹脂組成物層に埋め込み、樹脂組成物層を硬化させて樹脂層5とすることもできる。また、樹脂組成物層は、Bステージ状態のプリプレグシートを基材4に貼り付けることにより形成してもよい。
ステンレス製の成長基板(ステンレス基板)の表面に二酸化ケイ素膜を積層した後、二酸化ケイ素膜上に、触媒層として鉄を蒸着した。
成長基板を700℃に加熱して、触媒層に原料ガス(アセチレンガス)を15分間供給したこと以外は、調製例1と同様にして、CNTアレイを準備した。CNTアレイにおいて、CNTは、多層カーボンナノチューブであり、CNTの平均外径は、約12nm、CNTの平均長さは、約300μm、VACNTsの嵩密度は、約50mg/cm3であった。
CNTアレイが樹脂シートを貫通して、銅シートと接触するように埋め込まれる工程において、370℃を5分間維持したこと以外は、調製例1と同様にして、一次熱伝導性シートを得た。
調製例1と同様にして、基板の表面および裏面の両面にVACNTsを形成した。そして、両面にVACNTsが配置される成長基板を一次熱伝導性シートとした。
調製例1と同様にして、基板の表面および裏面の両面にVACNTsを形成し、カッター刃を成長基板に沿って移動させて、VACNTsを成長基板から切り離して、CNTアレイを準備した。そして、CNTアレイを一次熱伝導性シートとした。
調製例1で得られた一次熱伝導性シートを、図5Bに示すように、放熱部材と電子部品との間に挟み、TIMとして使用した。
粘着テープを、粘着テープの固定シートに対する引き剥がし角度が180°となるように、CNTsから剥離したこと以外は、実施例1と同様にして、三次熱伝導性シートを得た。
剥離速度を1mm/sに変更したこと以外は、実施例1と同様にして、三次熱伝導性シートを得た。
粘着テープ(メンディングテープ、3M社製)を、粘着テープ(耐熱マスキングテープ、3M社製、SCOTCH 5413、粘着力:2.8N/cm)に変更したこと以外は、実施例1と同様にして、三次熱伝導性シートを得た。
粘着テープ(メンディングテープ、3M社製)を、粘着テープ(接着フィルム、日立化成社製、ヒタレックス L−3310、粘着力:0.6N/cm(15cN/25mm))に変更したこと以外は、実施例1と同様にして、三次熱伝導性シートを得た。
粘着テープのCNTsに対する貼付圧力を、10kg/cm2に変更したこと以外は、実施例1と同様にして、三次熱伝導性シートを得た。
調製例1で得られた一次熱伝導性シートを、調製例2で得られた一次熱伝導性シートに変更したこと以外は、実施例1と同様にして、三次熱伝導性シートを得た。
調製例1で得られた一次熱伝導性シートを、調製例3で得られた一次熱伝導性シートに変更したこと以外は、実施例1と同様にして、三次熱伝導性シートを得た。
調製例4で得られた一次熱伝導性シート(両面にVACNTsが配置される成長基板)を、放熱部材と電子部品との間に挟み、TIMとして使用した。このとき、VACNTsの一部が欠けて、CNTが脱落した。
調製例4で得られた一次熱伝導性シート(両面にVACNTsが配置される成長基板)を、調製例5で得られた一次熱伝導性シート(CNTアレイ)に変更したこと以外は、比較例1と同様に実施した。
実施例1と同様にして、調製例1で得られた一次熱伝導性シートを、図5Bに示すように、TIMとして使用した後、放熱部材と電子部品との間から取り出して、二次熱伝導性シートを準備した。
(1)熱抵抗測定
各調製例および実施例で得られた熱伝導性シート(具体的には、調製例1の一次熱伝導性シートおよび実施例1の三次熱伝導性シートと、調製例3の一次熱伝導性シートおよび実施例8の三次熱伝導性シート)について、熱抵抗を熱抵抗測定装置(商品名:T3Ster DynTIM Tester、メンターグラフィックス社製)により測定した。
各実施例および比較例で得られた熱伝導性シートについて、複数のCNTの状態について、走査型電子顕微鏡 SEMにより確認した。そして、複数のCNTの状態を、以下の基準により評価した。その結果を表1に示す。
B:複数のCNTの大部分が固定シートに対して良好に起立したが、複数のCNTの一部が固定シートに対して折り重なるように傾倒していた。
C:複数のCNTの全体が固定シートに対して良好に起立したが、複数のCNTの一部に粘着テープの粘着剤が付着し、複数のCNTの一部が汚染された。
D:複数のCNTの固定シートに対する起立が確認されないか、または、複数のCNTの一部が粘着テープに付着し、熱伝導性シートから離脱された。
本発明のカーボンナノチューブ構造体の起毛方法は、各種産業製品に用いられるカーボンナノチューブ構造体のリサイクルやメンテナンスなどに好適に用いることができる。
本発明のカーボンナノチューブ構造体の製造方法は、各種産業製品に用いられるカーボンナノチューブ構造体の製造に好適に用いることができる。
2 固定シート
3 CNTアレイ
6 CNT
8 粘着テープ
15 成長基板
30 搬送ベルト
Claims (4)
- 固定シートと、
成長基板から剥離された複数のカーボンナノチューブが所定方向に配向されるカーボンナノチューブアレイと、を備え、
前記複数のカーボンナノチューブの少なくとも一部が前記固定シートに埋め込みまたは接合されてなるカーボンナノチューブ構造体の起毛方法であって、
前記複数のカーボンナノチューブの少なくとも一部を前記固定シートに対して折り重なるように傾倒する、カーボンナノチューブ構造体を準備する工程と、
粘着テープを前記カーボンナノチューブアレイに貼り付ける工程と、
前記粘着テープを前記カーボンナノチューブアレイから剥離して前記複数のカーボンナノチューブを前記固定シートに対して起立させる工程と、を含んでいることを特徴とする、カーボンナノチューブ構造体の起毛方法。 - 固定シートと、
成長基板から剥離された複数のカーボンナノチューブが所定方向に配向されるカーボンナノチューブアレイと、を備え、
前記複数のカーボンナノチューブの少なくとも一部が前記固定シートに埋め込みまたは接合されるカーボンナノチューブ構造体を準備する工程と、
前記複数のカーボンナノチューブの少なくとも一部を前記固定シートに対して折り重なるように傾倒させる工程と、
粘着テープを前記カーボンナノチューブアレイに貼り付ける工程と、
前記粘着テープを前記カーボンナノチューブアレイから剥離して前記複数のカーボンナノチューブを前記固定シートに対して起立させる工程と、を含んでいることを特徴とする、カーボンナノチューブ構造体の製造方法。 - 前記複数のカーボンナノチューブの少なくとも一部を前記固定シートに対して折り重なるように傾倒させる工程と、
前記粘着テープを前記カーボンナノチューブアレイに貼り付ける工程と、
前記粘着テープを前記カーボンナノチューブアレイから剥離して前記複数のカーボンナノチューブを前記固定シートに対して起立させる工程との、
一連の工程を複数回行うことを特徴とする、請求項2に記載のカーボンナノチューブ構造体の製造方法。 - 固定シートと、
成長基板から剥離された複数のカーボンナノチューブが所定方向に配向されるカーボンナノチューブアレイと、を備え、
前記複数のカーボンナノチューブは、
前記複数のカーボンナノチューブの少なくとも一部を前記固定シートに対して折り重なるように傾倒させ、粘着テープを前記カーボンナノチューブアレイに貼り付け剥離することにより前記固定シートに対して起立していることを特徴とする、カーボンナノチューブ構造体。
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