JPWO2017051867A1 - 光学フィルタおよび撮像装置 - Google Patents

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Abstract

入射角依存性が抑制され、可視光透過率が高い光学フィルタを提供する。波長685〜715nmに吸収極大波長λ(DA_Tmin)を有する第1の近赤外線吸収剤(DA)と、吸収極大波長λ(DA_Tmin)よりも長波長側の波長705〜725nmまたは波長725nm超900nm以下に吸収極大波長λ(DB_Tmin)を有する第2の近赤外線吸収剤(DB)とを含み、特定の吸光特性を満たす吸収層と、波長700〜1150nmにおいて特定の反射特性を満たす誘電体多層膜からなる反射層とを有し、可視光と近赤外光の境界領域における反射層の透過率と吸収層の透過率とが特定の関係を有する光学フィルタ。

Description

可視光を透過し、近赤外光を遮断する光学フィルタ、および該光学フィルタを備えた撮像装置に関する。
固体撮像素子を用いた撮像装置には、色調を良好に再現し鮮明な画像を得るため、可視域の光(以下「可視光」ともいう)を透過し近赤外域の光(以下「近赤外光」ともいう)を遮断する光学フィルタが用いられる。該光学フィルタとしては、近赤外吸収色素を含む吸収層と、紫外域の光(以下「紫外光」ともいう)および近赤外光を遮断する誘電体多層膜からなる反射層とを備えた近赤外カットフィルタが知られている(特許文献1〜3参照)。つまり、誘電体多層膜そのものは、入射角によって分光透過率曲線が変化するため、反射層と吸収層の両方を含む近赤外線カットフィルタは、吸収層の吸収特性により入射角依存性が抑制された分光透過率曲線が得られる。
吸収層は、例えば、波長700〜750nmに吸収極大を示すとともに波長630〜700nmの光吸収曲線が急峻な近赤外線吸収色素を、透明樹脂に分散して得られる。ここで、吸収層が、視感度の高い波長440〜600nmの光の透過率低下を招かないよう、該色素の含有量を少なくすると、所定の吸収率が得られる近赤外吸収帯が狭くなる。この場合、反射層の入射角依存性が顕在化して遮光が不十分な波長域が出現する場合がある。
特許文献1、2の光学フィルタは、波長600〜700nmのうち、透過率が大きく変化する透過率遷移領域における透過率50%超の波長域で、吸収層による透過率の入射角依存性の低減効果が概ね得られる。しかし、該透過率遷移領域のうち透過率50%以下の波長域では、吸収層でも十分に光吸収できず、反射層での分光透過率の入射角依存性が、光学フィルタの入射角依存性となって顕在化する問題があった。
そこで、入射角依存性を抑制する吸収帯を拡大するために、吸収極大波長の異なる2種以上の近赤外線吸収色素を含む吸収層が検討されている。特許文献2、3は、吸収極大波長が異なる2種以上の近赤外線吸収色素が使用可能な光学フィルタを開示している。また、特許文献4は、吸収極大波長が各々、波長695〜720nmと波長720〜800nmと、の異なる2種の近赤外線吸収色素を含む吸収層を用いた光学フィルタを開示している。さらに、特許文献5は、吸収極大波長が各々、波長685nmと波長702nmと、の異なる2種の光吸収剤を含む吸収層を用いた光学フィルタを開示している。
このように2種の近赤外線吸収色素を含む吸収層を備えた光フィルタは、透過率遷移領域における、透過率の入射角依存性を抑制しやすい。しかし、該色素の添加量を多くして近赤外光の吸収性を高めようとすると、僅かでも光吸収が確認できる吸収帯がブロード化し、本来高い透過率が得られるべき可視光の透過率まで低下する。一方、該色素の添加量を少なくすると、吸収による近赤外光の遮断能が低下するので、上記した入射角依存性が顕在化する。その結果、入射角依存性の抑制と、高い可視光透過率を得ること、はトレードオフの関係にあり、両特性が得られる光学フィルタを実現できない問題があった。
特開2013−190553号公報 特開2014−052482号公報 国際公開第2014/002864号 国際公開第2012/169447号 韓国登録特許第1453469号公報
本発明は、視感度の高い波長440〜600nmの可視光に対して高透過率を維持し、固体撮像素子の感度が高い波長700〜1150nmの光に対して高遮断性が得られる光学フィルタの提供を目的とする。さらに本発明は、上記光学特性に加え、波長600〜690nmの光に対する固体撮像素子の分光感度を、視感度曲線相当の高効率曲線に近似補正し、入射角0°〜30°の入射光に対する分光透過率曲線の変化が少ない光学フィルタおよび該光学フィルタを備えた撮像装置の提供を目的とする。
本発明は、波長685〜715nmに吸収極大波長λ(DA_Tmin)を有する第1の近赤外線吸収剤(DA)と、波長705〜725nmに吸収極大波長λ(DB_Tmin)を有する第2の近赤外線吸収剤(DB)とを含み、かつ、下記(i−1)〜(i−3)を満たす吸収層と、下記(ii−1)〜(ii−2)を満たす誘電体多層膜からなる反射層と、を有する光学フィルタを提供する。
(i−1)10nm≦λ(DB_Tmin)−λ(DA_Tmin)<40nmである。
(i−2)波長600nmの光の透過率が80%以上、波長650nmの光の透過率が40%以上、波長700nmの光の透過率が3%以下、かつ、波長714nmの光の透過率が10%以下である。
(i−3)波長580nm〜λ(DA_Tmin)において、透過率が90%、50%、5%となる波長をそれぞれ、λSh(DAB_T90%)、λSh(DAB_T50%)、λSh(DAB_T5%)とすると、
{λSh(DAB_T50%)−λSh(DAB_T90%)}≧{λSh(DAB_T5%)−λSh(DAB_T50%)}を満たす。
(ii−1)波長700〜1150nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が5%以下となる反射帯を有する。
(ii−2)波長680〜750nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が50%となる波長をλ(0°_T50%)とし、前記吸収層の、波長580nm〜λ(DA_Tmin)における透過率が10%となる波長をλSh(DAB_T10%)とし、波長λ(DB_Tmin)〜800nmにおける透過率が5%となる波長をλLo(DAB_T5%)とすると、
λSh(DAB_T10%)+30nm<λ(0°_T50%)<λLo(DAB_T5%)である。
また、本発明は、波長685〜715nmに吸収極大波長λ(DA_Tmin)を有する第1の近赤外線吸収剤(DA)と、波長725nm超900nm以下に吸収極大波長λ(DB_Tmin)を有する第2の近赤外線吸収剤(DB)とを含み、かつ、下記(i−4)〜(i−6)を満たす吸収層と、下記(ii−3)〜(ii−5)を満たす誘電体多層膜からなる反射層と、を有する光学フィルタを提供する。
(i−4)40nm≦λ(DB_Tmin)−λ(DA_Tmin)≦215nmである。
(i−5)波長600nmの光の透過率が80%以上、波長650nmの光の透過率が40%以上、波長λ(DA_Tmin)の光の透過率が3%以下で、波長λ(DB_Tmin)の光の透過率が3%以下である。
(i−6)波長580nm〜λ(DA_Tmin)において、透過率が90%、50%、5%となる波長をそれぞれ、λSh(DAB_T90%)、λSh(DAB_T50%)、λSh(DAB_T5%)とすると、
{λSh(DAB_T50%)−λSh(DAB_T90%)}≧{λSh(DAB_T5%)−λSh(DAB_T50%)}である。
(ii−3)波長700〜1150nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が5%以下となる反射帯を有する。
(ii−4)波長680〜750nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が50%となる波長をλ(0°_T50%)とし、前記吸収層の、波長580nm〜λ(DA_Tmin)における透過率が10%となる波長をλSh(DAB_T10%)とすると、
λSh(DAB_T10%)+20nm<λ(0°_T50%)<λ(Tmax)である。
ただし、λ(Tmax)は、波長λ(DA_Tmin)〜λ(DB_Tmin)において、前記吸収層の透過率が最大となる波長である。
(ii−5)波長640〜750nmにおいて、入射角30°のs偏光に対する透過率が50%となる波長をλ(30°_Ts50%)とすると、λ(0°_T50%)とλ(30°_Ts50%)との差δλSh(T50%)は、0nm<δλSh(T50%)≦25nmである。
本発明は、視感度の高い波長440〜600nmの可視光に対し、高透過率を維持し、波長700〜1150nmの光に対して高い遮断性が得られる低透過率を実現する光学フィルタが得られる。さらに本発明は、上記光学特性に加え、波長600〜690nmの分光透過率曲線を、視感度曲線に相当する高い効率を実現し得る曲線に近似し、入射角0°〜30°の光に対する分光透過率曲線の変化が少ない光学フィルタが得られる。また、そのような光学フィルタを用いた色再現性に優れる撮像装置が得られる。
本発明の光学フィルタの一例を示す断面図である。 本発明の光学フィルタの他の例を示す断面図である。 本発明の光学フィルタの他の例を示す断面図である。 本発明の光学フィルタの他の例を示す断面図である。 第1の実施形態の光学フィルタにおける吸収極大波長が異なる各近赤外吸収剤の分光透過率曲線である。 第1の実施形態の光学フィルタにおける吸収層の分光透過率の計算結果(1)を示すグラフである。 第1の実施形態の光学フィルタにおける吸収層の分光透過率の計算結果(2)を示すグラフである。 第1の実施形態の光学フィルタの第1の反射層の分光透過率の計算結果を示すグラフである。 第1の実施形態の光学フィルタの第2の反射層の分光透過率の計算結果を示すグラフである。 第1の実施形態の光学フィルタの反射層の分光透過率の計算結果を示すグラフ(1)である。 第1の実施形態の光学フィルタの反射層の分光透過率の計算結果を示すグラフ(2)である。 第2の実施形態の光学フィルタにおける吸収極大波長が異なる各近赤外吸収剤の分光透過率曲線である。 第2の実施形態の光学フィルタの吸収層の分光透過率の計算結果を示すグラフ(1)である。 第2の実施形態の光学フィルタの吸収層の分光透過率の計算結果を示すグラフ(2)である。 第2の実施形態の光学フィルタの第1反射層の分光透過率の計算結果を示すグラフである。 第2の実施形態の光学フィルタの第2反射層の分光透過率の計算結果を示すグラフである。 第2の実施形態の光学フィルタの反射層の分光透過率の計算結果を示すグラフ(1)である。 第2の実施形態の光学フィルタの反射層の分光透過率の計算結果を示すグラフ(2)である。 本発明の撮像装置の一例を概略的に示す断面図である。 実施例1の光学フィルタ30(a)の分光透過率の計算結果を示すグラフである。 実施例1の光学フィルタ30(d)の分光透過率の計算結果を示すグラフである。 比較例1の光学フィルタの分光透過率の計算結果を示すグラフである。 比較例2の光学フィルタの分光透過率の計算結果を示すグラフである。 実施例2の光学フィルタ40(a)の分光透過率の計算結果を示すグラフである。 実施例2の光学フィルタ40(d)の分光透過率の計算結果を示すグラフである。 実施例3の光学フィルタ30(a)の分光透過率の計算結果を示すグラフである。 実施例3の光学フィルタ30(d)の分光透過率の計算結果を示すグラフである。 実施例4の光学フィルタ40(a)の分光透過率の計算結果を示すグラフである。 実施例4の光学フィルタ40(d)の分光透過率の計算結果を示すグラフである。 比較例3の光学フィルタの分光透過率の計算結果を示すグラフである。 比較例4の光学フィルタの分光透過率の計算結果を示すグラフである。
本発明に係る光学フィルタは、吸収層および反射層を有し、以下、第1〜3の実施形態を詳述する。
(第1の実施形態)
本実施形態の光学フィルタ(以下、第1の実施形態の説明中「本フィルタ」ともいう)は、吸収層を1層以上有する。吸収層を2層以上有する場合、各層は同じ構成でも異なる構成でもよい。例えば、一方が、後述する近赤外線吸収剤(以下「NIR吸収剤」とも略記する)を含む樹脂からなる近赤外吸収層であり、他方が、後述する近紫外線吸収剤(以下「UV吸収剤」とも略記する)を含む樹脂からなる近紫外吸収層でもよい。さらに、近赤外線吸収剤は、第1の近赤外線吸収剤(DA)と第2の近赤外線吸収剤(DB)が同じ樹脂層に含まれてもよく、異なる樹脂層に含まれてもよい。また、吸収層は、それ自体が基板(樹脂基板)でもよい。なお、以降「第1の近赤外線吸収剤(DA)」は「吸収剤DA」、「第2の近赤外線吸収剤(DB)」は「吸収剤DB」、そして「UV吸収剤(DU)」は「吸収剤DU」ともいう。
本光学フィルタにおける反射層は、1以上の誘電体多層膜を有する。誘電体多層膜は、全て誘電体膜から構成されるものに限らず、一部に誘電体以外の材料(例えば、金属膜)が含まれてもよい。反射層が2以上の誘電体多層膜を有する場合、通常、反射帯の異なる複数の誘電体多層膜で構成される。これら各誘電体多層膜中の各膜の光学膜厚の平均値は、反射帯に応じて異なる。例えば、一方が、近赤外域(700〜1150nm)のうち短波長側の光を遮断する近赤外反射層であり、他方が、同領域のうち長波長側および近紫外域の両領域の光を遮断する近赤外・近紫外反射層となる構成が挙げられる。
本フィルタは、さらに透明基板を有してもよく、その場合、吸収層と反射層は、透明基板の同一主面上に有してもよく、異なる主面上に有してもよい。吸収層と反射層を同一主面上に有する場合、これらの積層順は限定されない。
また、本フィルタは、可視光の透過率損失を抑制する反射防止層等の他の機能層を有してもよい。とくに、本フィルタの吸収層が、空気と接しないように、吸収層上に反射防止層を設けるとよい。反射防止層は、吸収層の主表面に加え、側面全体も覆う構成としてもよく、この場合、吸収層の防湿効果を高められる。
次に、本フィルタの構成例を示す。図1Aは、吸収層11の両主面上に各々第1の反射層12aと第2の反射層12bを備えた光学フィルタ10である。図1Bは、吸収層11の一方の主面上に第1の反射層12aと第2の反射層12bを順に備えた光学フィルタ20である。なお、「吸収層11の一方の主面上に、第1の反射層12a等の他の層を備える」とは、吸収層11に接触して他の層が備わる場合に限らず、吸収層11と他の層との間に、別の機能層(空間も含む)が備わる場合も含むものとし、以下の構成も同様である。ここで、光学フィルタ10、20における吸収層11は、透明基板の機能を併せ持ってもよい。
図1Cは、透明基板13の両主面上に各々第1の反射層12aと第2の反射層12bを備え、第1の反射層12a上に吸収層11と反射防止層14を順に備えた光学フィルタ30である。図1Dは、透明基板13の一方の主面上に第1の反射層12aと第2の反射層12bを順に備え、透明基板13の他方の主面上に吸収層11と反射防止層14を順に備えた光学フィルタ40である。図1A〜図1Dは、構成が異なる2層の誘電体多層膜を備えた反射層を含む例である。前述のように、第1の反射層12aが短波長側の近赤外光を遮断する近赤外反射層で、第2の反射層12bが長波長側の近赤外光および紫外光を遮断する近赤外・近紫外反射層でもよい。なお、第1の反射層12aと第2の反射層12bの位置は限定されない。
本フィルタは、下記(1)および(2)を満たすとよい。
(1)入射角0°〜30°の分光透過率曲線において、波長440〜600nmにおける平均透過率が80%以上である。
(2)入射角0°〜30°の分光透過率曲線において、波長690〜720nm全域の透過率が5%以下である。
(1)の平均透過率は、85%以上が好ましく、90%以上がより好ましく、95%以上がさらに好ましい。
(2)の透過率は、3%以下がより好ましく、2%以下がさらに好ましい。
また、入射角0°の分光透過率曲線において、波長350〜390nmの光に対する平均透過率は、10%以下がよく、5%以下が好ましく、1%以下がより好ましい。
次に、本フィルタの構成について詳述する。
<吸収層>
吸収層は、吸収剤DAと、吸収剤DBと、透明樹脂(B)とを含有し、典型的には、透明樹脂(B)中に吸収剤DA、DBが所定の質量比で均一に溶解または分散した層である。なお、吸収層は、吸収剤DA、DB以外の吸収剤、例えば、UV吸収剤DUを含有してもよい。
NIR吸収剤を含む吸収層の光学的性質は、屈折率nと消衰係数κを用いた複素屈折率n−iκで表され、吸収剤固有の消衰係数κの波長(λ)依存性に応じた光吸収にともない分光透過率が変化する。吸収剤が透明樹脂中の厚さ方向に吸収剤濃度Cで均一に分散された吸収層の厚さをLとすると、吸収層の分光透過率T(λ)は、T(λ)=exp(−4πκL/λ)で示される。ここで、α=4πκ/λは吸収係数であり、常用対数を用いて表記する場合はT(λ)=10−βLとなり、吸収係数βはαにlog10(e)=0.434を乗じた値に相当する。ここで、吸光度Aは−log10{T(λ)}=βLで示される。吸収係数αおよびβは、吸収層中の吸収剤濃度Cにより変化する。即ち、吸収層の分光透過率は、吸収層中の吸収剤濃度Cおよび吸収層の厚さLにより調整でき、複数のNIR吸収剤を含む場合も同様である。
しかし、NIR吸収剤は、消衰係数κの波長依存性が固有であり、可視光で高透過率を維持し吸収作用によって広域の近赤外光を十分に遮断できない。そのため、本フィルタは、波長685〜715nmに吸収極大波長λ(DA_Tmin)を有する吸収剤DAを用い、吸収層中の吸収剤濃度Cと吸収層の厚さLを調整する。なお、吸収剤DAのみを含む吸収層は、例えば、λ(DA_Tmin)の光の透過率が6%以下、波長600nmの光の透過率が90%以上、波長650nmの光の透過率が60%以上となる急峻な分光透過率曲線を実現する。
図2は、NIR吸収剤としてスクアリリウム系化合物を含む吸収層の分光透過率曲線に基づき、吸収極大波長が685nm、695nm、705nm、715nmおよび725nmと、異なる5種のNIR吸収剤に調整した計算結果である。具体的に、吸収極大波長での透過率が10%となるNIR吸収剤濃度(図2中に「吸収極大波長−c」で記載)とその2.5倍の濃度(図2中に「吸収極大波長−d」で記載)の分光透過率を計算した結果を示す。なお、透明樹脂中に均一分散されたNIR吸収剤の濃度Cと透明樹脂層の厚さLの積C×Lが吸収層の実効厚となる。ここで、吸収極大波長の透過率が10%となる実効厚を基準値1とし、以降の吸収層の例は、該基準値との比である実効厚比CLで示す。この実効厚比CLは、吸収層中のNIR吸収剤の相対的な面密度に相当する。計算結果は、波長685〜715nmにλ(DA_Tmin)を有するスクアリリウム系化合物と同レベルの消衰係数κの波長依存性を有するNIR吸収剤を用いて、濃度Cおよび吸収層の厚さLを調整し、本フィルタに用いる吸収剤DAを含む吸収層が得られることを示す。
なお、単一のNIR吸収剤のみの使用は、狭い近赤外域の吸収作用に限定されるため、吸収が不十分である。そのため、波長700〜1150nmの光に対し、透過率が10%以上となる透過帯が生じる。この問題を改善するため、本フィルタは、反射層を併用するが、反射層の反射帯は光の入射角および入射偏光に依存してシフトする。反射層は、透過から反射に遷移する波長域において、入射角が0°〜30°に変化すると、透過率50%を示す波長が、例えば、最大略40nm短波長側にシフトする。そのため、光学フィルタが、吸収剤DAのみを含む吸収層と反射層を有する場合、入射角0°〜30°の光に対し、可視光を透過し波長700nm近傍の近赤外光の透過率を5%以下とし、かつ、入射角および入射偏光依存性が抑制された分光透過率曲線を得るためには、波長700nm近傍で透過率10%以下となる吸収波長帯幅Δλabs(T10%)が、40nm以上必要となる。本明細書において、「所定の波長の近傍の範囲」と言う場合、例えば「波長700nm近傍の範囲」とは、690〜710nmのように、700nmを含む範囲をいう。
しかし、図2の計算例(実効厚比CL=2.5)は、Δλabs(T10%)がせいぜい35nmであるため、さらにΔλabs(T10%)を拡張するためには、吸収層中の吸収剤DAの実効厚比CLを増す必要がある。また、λ(DA_Tmin)より短波長側の光の透過率低下を抑制するために、長波長側にλ(DA_Tmin)を有する吸収剤DAを用いるとよい。ところが、透明樹脂中に均一分散できる吸収剤の濃度には上限があり、可視光に僅かでも吸収を示すNIR吸収剤を用いると、可視光の透過率低下が生じてしまう。
Δλabs(T10%)の拡張と可視光透過率低下の抑制を達成するため、本フィルタの吸収層は、吸収剤DAのλ(DA_Tmin)より長波長側に、具体的には波長705〜725nmに吸収極大波長λ(DB_Tmin)を有する吸収剤DBも含む。この構成により、本フィルタは、可視光で高透過率を維持し、Δλabs(T10%)の40nm以上を確保できる。ここで、吸収剤DBは、波長705〜725nmにλ(DB_Tmin)を有し、吸収剤DBのみ含む吸収層を仮定したときの各透過率が、λ(DB_Tmin)の光で6%以下、波長600nmの光で90%以上、波長650nmの光で65%以上となるように実効厚比CLを調整するとよい。そして、図2の計算結果に基づき、波長705〜725nmにλ(DB_Tmin)を有するスクアリリウム系化合物と同レベルの分光透過率曲線のNIR吸収剤を用いて濃度調整し、本フィルタに用いる吸収層が得られる。
次に、λ(DA_Tmin)=685nmの吸収剤DAとλ(DB_Tmin)=705nmの吸収剤DBを用いて、各々の実効厚比(CL(A),CL(B))が(1.2,1.2)、(1.2,1.8)、(1.4,1.2)、(1.4,1.8)となるよう透明樹脂に含有させた吸収層を得る。図3は、波長550〜800nmの光に対する各吸収層の分光透過率の計算結果である。該結果は、いずれも、波長600nmの光の透過率が90%以上、波長650nmの光の透過率が45%以上、波長685〜700nmの光の透過率が2%以下、波長672〜714nmの光の透過率が10%以下である。即ち、波長600〜690nmの光に対し急峻な透過率変化を示し、Δλabs(T10%)≧40nmを実現できる。
また、図3の結果から、波長580nm〜λ(DA_Tmin)において、透過率が90%、50%および5%となる波長をそれぞれλSh(DAB_T90%)、λSh(DAB_T50%)およびλSh(DAB_T5%)としたとき、いずれにおいても、{λSh(DAB_T50%)−λSh(DAB_T90%)}≧{λSh(DAB_T5%)−λSh(DAB_T50%)}であることがわかる。
上記の分光透過率曲線を実現できる実効厚比CL(A)とCL(B)は、上記設定に限定されず、例えば、CL(A)=1.2〜1.4においてCL(B)=1.2〜1.8であれば同様の特性が得られる。また、他の実効厚比に調整した吸収層(DAB)でも、上記に示した所定の分光透過率、Δλabs(T10%)≧40nmが得られる。
他の例として、λ(DA_Tmin)=705nmの吸収剤DAとλ(DB_Tmin)=725nmの吸収剤DBを用いて、各々の実効厚比(CL(A),CL(B))が(2.0,4.0)、(2.0,5.2)、(2.4,4.0)、(2.4,5.2)となるよう透明樹脂に含有させた吸収層(DAB)を得る。図4は、波長550〜800nmの光に対する各吸収層の分光透過率の計算結果である。該結果は、いずれも、波長600nmの光の透過率が90%以上、波長650nmの光の透過率が50〜60%、波長691〜741nmの光の透過率が2%以下、波長682〜745nmの光の透過率が10%以下である。即ち、波長600〜690nmの光に対して急峻な透過率変化を示し、Δλabs(T10%)≧60nmを実現できる。
また、図4の結果から、上記同様のλSh(DAB_T90%)、λSh(DAB_T50%)およびλSh(DAB_T5%)の関係が、いずれにおいても、{λSh(DAB_T50%)−λSh(DAB_T90%)}≧{λSh(DAB_T5%)−λSh(DAB_T50%)}であることがわかる。
上記の分光透過率曲線を実現できる実効厚比CL(A)とCL(B)は、上記設定に限定されず、例えば、CL(A)=2.0〜2.4においてCL(B)=4.0〜5.2であれば同様の特性が得られる。また、他の実効厚比に調整した吸収層でも、上記に示した所定の分光透過率、Δλabs(T10%)≧60nmが得られる。
このように、上記の吸収剤DA、DBが、所定の実効厚比(CL(A),CL(B))で含有する吸収層を備えた本フィルタは、波長600〜690nmの分光透過率曲線を視感度に近似でき、Δλabs(T10%)≧40nmを実現できる。
吸収剤DAおよび吸収剤DBは、スクアリリウム系化合物の分光透過率曲線を参照したが、例えば、吸収剤DAは、シアニン系化合物、フタロシアニン系化合物、ナフタロシアニン系化合物、ジチオール金属錯体系化合物、ジイモニウム系化合物等、他の化合物からなるNIR吸収剤を参照してもよい。吸収剤DBは、近赤外域の長波長側での光吸収を広域で確保できるように、化合物の化学構造を調整して吸光特性が付与されたスクアリリウム系化合物やシアニン系化合物が好ましく使用できる。
本フィルタに好適なNIR吸収剤の具体例は、下記一般式(A1)で示されるスクアリリウム系化合物が挙げられる。
Figure 2017051867
式(A1)中の記号は以下のとおりである。
Xは、独立して1つ以上の水素原子が炭素数1〜12のアルキル基またはアルコキシ基で置換されていてもよい下記式(1)または式(2)で示される2価の有機基である。
−(CHn1− …(1)
式(1)中n1は、2または3である。
−(CHn2−O−(CHn3− …(2)
式(2)中、n2とn3はそれぞれ独立して0〜2の整数であり、n2+n3は1または2である。
は、独立して飽和環構造を含んでもよく、分岐を有してもよい炭素数1〜12の飽和もしくは不飽和炭化水素基、炭素数3〜12の飽和環状炭化水素基、炭素数6〜12のアリール基または炭素数7〜13のアルアリール基を示す。
およびRは、独立して水素原子、ハロゲン原子、または、炭素数1〜10のアルキル基もしくはアルコキシ基を示す。
は、独立して1つ以上の水素原子がハロゲン原子、水酸基、カルボキシ基、スルホ基、またはシアノ基で置換されていてもよく、炭素原子間に不飽和結合、酸素原子、飽和もしくは不飽和の環構造を含んでよい、少なくとも1以上の分岐を有する炭素数5〜25の炭化水素基である。
上記一般式(A1)で表される化合物は、可視域と近赤外域との境界付近の吸収スペクトルにおける傾斜が急峻であり、かつ近赤外光に対する遮断能も高い。そのため、吸収層は、該化合物を少量添加しても優れた吸収特性を有し、光学フィルタの薄型化および小型化を実現できる。さらに、上記一般式(A1)で表される化合物は、耐熱性に優れるため、熱プロセス中の分光透過率の変化も抑制できる。
スクアリリウム系化合物は、例えば、WO2012/169447を参照でき、該文献には、吸収極大波長695〜747nmを示す化合物が示される。また、種々の透明樹脂にスクアリリウム系化合物を含む吸収層は、例えば、WO2014/088063を参照でき、該文献には、吸収極大波長691〜722nmの実施例が示される。さらに、WO2014/030628も参照でき、該文献には、透明樹脂に、吸収極大波長が694nm、740nm、747nmを示すシアニン系化合物と、吸収極大波長が681nmを示すフタロシアニン系化合物と、を含む吸収層の具体例が示される。
<吸収層の条件(第1の実施形態)>
吸収層は、下記(i−1)の関係の吸収剤DAおよび吸収剤DBを含み、下記(i−2)、(i−3)の条件を満たす。吸収層は、下記(i−2)、(i−3)の条件を満たすように、各吸収剤の濃度Cおよび厚さLを調整して得られる。
(i−1)10nm≦λ(DB_Tmin)−λ(DA_Tmin)<40nmである。
(i−2)波長600nmの光の透過率が80%以上、波長650nmの光の透過率が40%以上、波長700nmの光の透過率が3%以下、波長714nmの光の透過率が10%以下である。
(i−3){λSh(DAB_T50%)−λSh(DAB_T90%)}≧{λSh(DAB_T5%)−λSh(DAB_T50%)}である。
ただし、λSh(DAB_T90%)、λSh(DAB_T50%)およびλSh(DAB_T5%)は、それぞれ、波長580nm〜λ(DA_Tmin)において、透過率が90%、50%および5%となる波長を示す。
(i−2)において、波長600nmの光の透過率は90%以上が好ましく、波長650nmの光の透過率は45%以上が好ましく、波長700nmの光の透過率は2%以下が好ましく、さらに、波長714nmの光の透過率は5%以下が好ましい。波長650nmの光の透過率は50%以上がさらに好ましい。
(i−3)は、吸収層による光吸収により、透過率が90%から5%へと減少する可視域の分光透過率曲線の傾斜の規定であって、波長幅{λSh(DAB_T5%)−λSh(DAB_T50%)}が波長幅{λSh(DAB_T50%)−λSh(DAB_T90%)}より狭い程、透過率遷移領域の長波長側で急峻な遮光性が得られ好ましい。また、上記規定は、吸収剤DA、DBを用い、CLを調整すればよく、上記規定を満たすことで、波長690〜720nmの光に対する高い遮光性と、波長600〜690nmの光に対する分光感度補正を効率よく実現できる。
<反射層>
吸収剤DA、DBを含む吸収層は、それだけでは、固体撮像素子が感度を有する波長350〜1150nmの光のうち、波長350〜390nmの近紫外光、λ(DB_Tmin)より長波長側の近赤外光の遮光が不十分である。反射層は、可視光を透過し、近紫外光および近赤外光の遮光性を向上させる機能を備えるので、本フィルタを備えた撮像装置では、固体撮像素子が可視光のみ有効に検知できる。
また、反射層は、上述のとおり、入射角の増加にともない分光透過率曲線の反射帯が短波長側にシフトする。即ち、反射層は、所定の透過率(例えば50%)を示す波長でみたとき、光の入射角に依存して該波長が変化し、入射角の変化量によって、該波長の差分量に相当するシフト量(単位[nm])も変化する。また、反射層は、同じ入射角の光でも偏光成分によってシフト量が異なる。そのため、本フィルタは、反射層における入射角依存性や偏光依存性を考慮した上で、可視光の分光透過率曲線を維持し、不要な近紫外光および近赤外光の高い遮光性を示す設計に基づき得られる。
反射層は、近赤外域の特定の波長λに対し光学膜厚がλ/4となるような誘電体多層膜の構成にすると、λ近傍だけでなくλ/3近傍にも反射帯が生成される。この反射層の特性により、一群の誘電体多層膜は、波長400nm以下の近紫外光および波長725〜1150nmの近赤外光の遮光が可能となる。
誘電体多層膜の材料は、可視光透過率が高く、高屈折率の誘電体膜の屈折率と低屈折率の誘電体膜の屈折率を各々、n、nとしたとき(n−n)/(n+n)が大きいと、後述する所定の近赤外反射帯幅ΔλNIRの確保や高い反射率が得られやすい。以下、高屈折率の誘電体膜は「高屈折率膜」、低屈折率の誘電体膜は「低屈折率膜」ともいう。例えば、可視波長588nmにおいて、n≧2.15の高屈折率膜は、TiO、Ta、Nb、ZnS、ZnSe等が挙げられ、低屈折率膜は、n=1.46のSiO以外にn≦1.38のNaAl14、NaAlF、MgF等が挙げられる。また、誘電体多層膜中には、分光透過率曲線の調整、膜応力低減、密着性向上等の目的で、高屈折率膜、低屈折率膜以外に、中間屈折率を示す誘電体膜を含んでもよい。
また、反射層は、波長700〜1150nmで、高反射性を示す450nm程度の反射帯幅ΔλNIRを確保するため、最大反射波長λが異なる2種の誘電体多層膜を含む構成としてもよい。具体的に、該構成の反射層は、近赤外域のうち、短波長側の反射帯用の第1の反射層と、長波長側の反射帯用の第2の反射層の2種(群)の誘電体多層膜を含み、以降の説明も、2種の誘電体多層膜を含むものとして説明する。
ここで、反射層は、吸収層における上述のΔλabs(T10%)を示す帯域内に、波長λ(0°_T50%)〜λ(30°_Ts50%)が含まれるとよい。なお、λ(0°_T50%)およびλ(30°_Ts50%)は、いずれも反射層における、近赤外域の短波長側での反射特性指標であって、前者は波長680〜750nmにおいて入射角0°の光に対する透過率50%となる波長、後者は波長640〜750nmにおいて入射角30°のs偏光の光に対する透過率50%となる波長を示す。なお、後者は波長680〜750nmの波長範囲に有するとより好ましい。本フィルタは、上記関係を満たすことで、入射角0°〜30°の光に対する透過率の入射角依存性が低減されるので好ましい。
また、上述のとおり反射層は、偏光依存性も考慮した設計が好ましい。具体的に、入射角0°を基準に、入射角の増加にともない各誘電体膜の干渉光路長差および実効屈折率の変化を考慮すると、反射帯の中心波長が短波長側にシフトするとともに、p偏光に対し反射帯幅の減少、s偏光に対し反射帯幅の増加をもたらす。その結果、入射角が0°〜30°で変化したとき、近赤外反射帯幅ΔλNIRの短波長側で透過率50%となる最短波長は、入射角30°時のs偏光の波長λSh(30°_Ts50%)に相当する。一方、ΔλNIRの長波長側で透過率50%となる最短波長は、入射角30°時のp偏光の波長λLo(30°_Tp50%)に相当する。
このように反射層は、入射角依存性および偏光依存性(以下「入射角/偏光依存性」ともいう)を考慮すると、波長700nm近傍における、入射角0°〜30°の光に対する透過率50%の最大波長シフト量δλSh(T50%)[nm]は、以下の関係で示され、例えば、40nm程度の値となる。また、δλSh(T50%)は、入射角とともに増加する。
δλSh(T50%)=λ(0°_T50%)−λ(30°_Ts50%)
一方、吸収層は、入射角や入射光の偏光による分光透過率曲線の変化は殆どない。
したがって、本フィルタは、反射層がもたらす透過率の入射角/偏光依存性によって、λ(0°_T50%)〜λ(30°_Ts50%)の範囲でシフトが発生したとしても、該範囲が、吸収層が所定の透過率以下を示す吸収波長帯に収まっていればよい。例えば、吸収層について、波長700nm近傍で透過率50%となる波長のうち、長波長側の波長をλLo(DAB_T50%)とするとき、本フィルタが、
λSh(DAB_T50%)≦λ(30°_Ts50%)<λ(0°_T50%)≦λLo(DAB_T50%)、
の関係を満たせば、波長600〜750nmにおける分光透過率の入射角/偏光依存性を抑制できる。即ち、上記条件を満たす本フィルタは、波長600〜750nmにおける分光透過率の入射角/偏光依存性が、透過率25%(=50%×50%)以下となる波長域のみに限定され現れるので好ましい。例えば、反射層の最大波長シフト量δλSh(T50%)が40nmであるとき、吸収層の近赤外吸収波長帯幅Δλabs(T50%)は、40nm以上あるとよい。
本フィルタは、反射層がもたらす透過率の入射角/偏光依存性をより低減するため、吸収層について、波長700nm近傍で透過率10%となる波長のうち、短波長側の波長をλSh(DAB_T10%)、長波長側の波長をλLo(DAB_T10%)とするとき、
λSh(DAB_T10%)≦λ(30°_Ts50%)<λ(0°_T50%)≦λLo(DAB_T10%)、
の関係を満たせば、より好ましい。即ち、上記条件を満たす本フィルタは、波長600〜750nmにおける分光透過率の入射角/偏光依存性が透過率5%(=10%×50%)以下となる波長域にのみに限定される。
本フィルタは、反射層がもたらす透過率の入射角/偏光依存性をさらに低減するため、波長700nm近傍で透過率10%となる波長のうち、入射角30°時のs偏光の波長をλSh(30°_Ts10%)、入射角0°時の波長をλ(0°_T10%)とするとき、
λSh(DAB_T10%)≦λ(30°_Ts10%)<λ(0°_T10%)≦λLo(DAB_T10%)、
の関係を満たせばさらに好ましい。なお、λSh(30°_Ts10%)は、近赤外反射帯幅ΔλNIRの短波長側で透過率10%となる最短波長に相当し、λ(0°_T10%)は、ΔλNIRの短波長側で透過率10%となる最長波長に相当する。上記条件を満たす本フィルタは、波長600〜750nmにおける分光透過率の入射角/偏光依存性が透過率1%(=10%×10%)以下となる波長域にのみに限定される。
また、本フィルタは、波長λ(DB_Tmin)〜λLo(DAB_T50%)の透過率を3%以下にするため、反射層は、近赤外反射帯の短波長側で入射角0°時の透過率が5%となる波長λSh(0°_T5%)が、波長λLo(DAB_T50%)より短波長側に位置する設計がよい。さらに、本フィルタは、波長λ(DB_Tmin)〜λLo(DAB_T50%)の透過率を0.5%以下にするため、反射層は、近赤外反射帯の短波長側で入射角0°時の透過率が1%となる波長λSh(0°_T1%)が、波長λLo(DAB_T50%)より短波長側に位置する設計が好ましい。
また、本フィルタの反射層は、近赤外反射帯の長波長側でも入射角/偏光依存性を低減できるとよい。例えば、反射層は、入射角30°のp偏光の透過率が15%となる波長λLo(30°_Tp15%)>1150nmとなる設計がよい。さらに反射層は、入射角30°で入射するp偏光の透過率が5%となる波長λLo(30°_Tp5%)>1150nmとなる設計が好ましい。
このように、反射層は、入射角0°〜30°の光に対する、近赤外反射帯の長波長側で透過率15%、5%となる最短波長は、入射角30°時のp偏光であり、各々、上記λLo(30°_Tp15%)と上記λLo(30°_Tp5%)に相当する。これらの波長が、固体撮像素子が感度を有する1150nmより長波長側に位置する反射層の仕様とすることで、本フィルタは、波長550〜1150nmの分光透過率曲線における、入射角/偏光依存性を抑制でき、撮像装置の色再現性を向上できる。
次に、本フィルタにおける、反射層の条件を示す。
<反射層の条件(第1の実施形態)>
(ii−1)反射層は、波長700〜1150nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が5%以下となる反射帯を有する。
(ii−2)反射層は、波長680〜750nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が50%となる波長をλ(0°_T50%)とすると、
λSh(DAB_T10%)+30nm<λ(0°_T50%)<λLo(DAB_T5%)
を満たす。ただし、λSh(DAB_T10%)およびλLo(DAB_T5%)は、吸収層が各々、波長580nm〜λ(DA_Tmin)の光に対し透過率が10%となる波長、波長λ(DB_Tmin)〜800nmの光に対し透過率が5%となる波長を示す。
なお、(ii−1)における透過率は3%以下が好ましい。
また、反射層の、波長700〜1150nmにおける、入射角0°〜30°の光に対する平均透過率は、迷光抑制のため1%以下が好ましく、0.5%以下がより好ましい。
次に、図1Cの光学フィルタ30に基づき、反射層の具体的設計例を示す。
図1Cの光学フィルタ30は、第1の反射層12a、吸収層11、および、第2の反射層12bを有する。反射層(第1の反射層12aおよび第2の反射層12b)は、吸収層11の吸収能が低い波長725〜1150nmの近赤外光を反射するように誘電体多層膜を設計する。
本例の第1の反射層12aは、(設計1)〜(設計3)の順に仕様を決定した。第1の反射層12aは、波長720〜950nmに反射帯が生じるよう、設計波長λ=880nmに対し、n=2.37のTiOとn=1.45のSiOを交互積層し、光学膜厚nとnが略λ/4となる27層構成とした(設計1)。なお、誘電体多層膜の屈折率nおよびnは波長に依存して変化するため、設計波長λにおける屈折率値を例示している。
次に、可視域でのリップル低減のため、TiOとSiOの27層における各層の光学膜厚をλ/4から±15%程度ずらした構成とした(設計2)。
さらに、可視域のリップル低減効果および反射防止効果を得るため、透明基板と該27層との界面、および吸収層と該27層との界面に、各層がλ/4より薄い光学膜厚となるSiO/TiO/SiOの3層をそれぞれ追加し、合計33層とした(設計3)。表1は、(設計3)の具体的構成である。なお、反射層の分光透過率評価のために、反射層の前後に備えた透明基板と吸収層(透明樹脂)は、波長880nmの光における屈折率を1.51とした。また、以降の表2〜4の透明基板または、透明基板および透明樹脂の屈折率も同様である。
Figure 2017051867
図5は、第1の反射層(表1)について、TiOとSiOの屈折率波長分散を考慮した、入射角0°時、入射角30°時のp/s偏光の各分光透過率の計算結果である。該計算および後述する図6〜図8に示す計算は、空気界面での反射損失を考慮していないが、後述する反射防止層により低減できる。第1の反射層は、入射角0°〜30°の光に対する各透過率が、波長715〜1043nmの光で50%以下、波長720〜957nmの光で15%以下、波長722〜956nmの光で10%以下、波長726〜953nmの光で5%以下、そして、波長736〜946nmの光で1%以下となる反射帯を有し、波長420〜670nmの可視光で平均透過率が99%以上を示す。なお、第1の反射層(表1)は、近赤外反射帯の最小透過率が0.004%程度だが、層数を増やすことでさらに低減できる。
表2は、光学フィルタ30の第2の反射層12bの設計例であって、(設計1´)〜(設計3´)の順に仕様を決定した。まず、波長350〜400nmと波長850〜1150nmに反射帯が生じるよう、設計波長λ=1024nmに対し、n=2.36のTiOとn=1.45のSiOを交互積層し、光学膜厚nとnが略λ/4となる23層構成とした(設計1´)。
次に、可視域でのリップル低減のため、TiOとSiOの23層各層の光学膜厚をλ/4から±10%程度ずらした構成とした(設計2´)。
さらに、可視光のリップル低減効果および反射防止効果を得るため、λ/4より薄い光学膜厚で、空気と該23層との界面にSiOを、透明基板と該23層との界面にSiOとTiOの2層を、それぞれ追加し、合計26層とした(設計3´)。表2は、(設計3´)の具体的構成である。
Figure 2017051867
図6は、第2の反射層(表2)について、TiOとSiOの屈折率波長分散を考慮した、入射角0°時、入射角30°時のp偏光/s偏光の各分光透過率の計算結果である。第2の反射層は、入射角0°〜30°の光に対する各透過率が、波長836〜1244nmの光で50%以下、波長853〜1210nmの光で15%以下となる反射帯域を有する。また、第2の反射層は、各透過率が、波長858〜1146nmの光で10%以下、波長870〜1138nmの光で5%以下、波長914〜1118nmの光で1%以下となる反射帯を有し、波長420〜670nmの可視光で平均透過率98%以上を示す。なお、第2の反射層(表2)は、近赤外反射帯の最小透過率が0.02%程度だが、層数を増やすことでさらに低減できる。
なお、図1A、1Cに示した光学フィルタ10、30は、第1の反射層12aと第2の反射層12bとが、離隔配置されてなる。本フィルタの反射層は、これら離隔配置される場合も含むが、第1の反射層12aと第2の反射層12bとの間隔が、入射光の可干渉長より短い場合、両者で発生する反射光の干渉を考慮した計算が必要である。一方、両者の間隔が、入射光の可干渉長より長い場合は干渉しないため、反射光の干渉の考慮は不要である。撮像装置は、被写体側から可干渉長の短い自然光が入射する。そのため、撮像装置に搭載する光学フィルタが、厚さ30μm以上の吸収層11または透明基板13の両主面に、第1の反射層12aと第2の反射層12bを備える場合、両者を含む反射層の分光透過率は、これらの干渉を考慮する必要がない。
図7は、第1、第2の反射層を含む「反射層」の分光透過率(入射角0°、入射角30°でp/s偏光)の計算結果である。該反射層は、入射角0°〜30°の光に対し、各透過率が、波長350〜380nmおよび波長707〜1236nmの光で50%以下、波長350〜377nmおよび波長712〜1198nmの光で15%以下、波長350〜376nmおよび波長714〜1135nmの光で10%以下、波長718〜1127nmの光で5%以下、そして、波長727〜1108nmの光で1%以下を示す。また、反射層は、波長420〜670nmの可視光で平均透過率98%以上、波長730〜1150nmの近赤外光で平均透過率0.5%以下を示す。
また、例えば、図7に示す反射層と図3に示す吸収層を組み合わせた場合、反射層が波長680〜750nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が50%となる波長をλ(0°_T50%)、吸収層が各々、波長580nm〜λ(DA_Tmin)の光に対し透過率が10%となる波長をλSh(DAB_T10%)、波長λ(DB_Tmin)〜800nmの光に対し透過率が5%となる波長をλLo(DAB_T5%)とすると、λSh(DAB_T10%)+30nm<λ(0°_T50%)<λLo(DAB_T5%)を満たす。
また、図1B、1Dに示した光学フィルタ20、40は、第1の反射層12aと第2の反射層12bとが積層されてなる。この場合、両者の界面の反射光が干渉するため、第1の反射層12aと第2の反射層12bを連続した1つの光干渉性の誘電体多層膜として分光透過率を計算するとよい。例えば、個別に設計した第1、第2の反射層を単に積層すると、透過帯や反射帯にリップルが生じるおそれがある。したがって、該リップルを低減するため、第1、第2の反射層の境界や空気との界面、吸収層11との界面等における誘電体膜の厚さや各誘電体多層膜の厚さを調整するとよい。
図8は、図1Dの光学フィルタ40について、透明基板13の一方の主面に第1、第2の反射層を連続して積層し、TiOとSiOを59層交互に積層した誘電体多層膜からなる「反射層」の分光透過率(入射角0°、入射角30°でp/s偏光)の計算結果である。該反射層は、λ=926nmで光学膜厚が略λ/4となる27層構成の第1の反射層と、λ=1050nmで光学膜厚が略λ/4となる23層の第2の反射層を、それぞれ基本とした。なお、図8に分光透過率が示される誘電体多層膜は、可視光の透過率向上およびリップル低減のため、表1と表2に示す光学膜厚を調整して得られる。
該反射層は、入射角0°〜30°の光に対し、波長350〜394nmおよび波長721〜1260nmの光で透過率50%以下となる反射帯を有する。また、該反射層は、各透過率が、波長350〜390nmおよび波長726〜1152nmの光で15%以下、波長350〜388nmおよび波長728〜1151nmの光で10%以下、波長732〜1150nmの光で5%以下、そして、波長742〜1087nmの光で1%以下を示す。また、該反射層は、波長420〜670nmの可視光で平均透過率98%以上、波長730〜1150nmの近赤外光で平均透過率0.2%以下を示す。
また、例えば、図8に示す反射層と図4に示す吸収層を組み合わせた場合、反射層が波長680〜750nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が50%となる波長をλ(0°_T50%)、吸収層が各々、波長580nm〜λ(DA_Tmin)の光に対し透過率が10%となる波長をλSh(DAB_T10%)、波長λ(DB_Tmin)〜800nmの光に対し透過率が5%となる波長をλLo(DAB_T5%)とすると、λSh(DAB_T10%)+30nm<λ(0°_T50%)<λLo(DAB_T5%)を満たす。
図7および図8に例示した反射層は、光学フィルタ10、20、30および40におけるいずれの配置であっても、入射角0°〜30°の光に対し、各透過率が、波長350〜377nmおよび波長726〜1152nmの光で15%以下、波長350〜376nmおよび波長728〜1135nmの光で10%以下、波長732〜1127nmの光で5%以下、そして、波長742〜1087nmの光で1%以下を示す。また、該反射層は、波長420〜670nm可視光で平均透過率98%以上、波長730〜1150nm近赤外光で平均透過率0.5%以下を示す。
なお、反射層が、吸収層または透明基板の同一主面上に第1、第2の反射層を備える場合、誘電体多層膜を連続して成膜でき生産性が向上する。一方、該反射層が配置された光学フィルタは、膜応力による基板歪みが生じやすくなるので、該膜応力が許容範囲となる設計がよい。また、反射層は、誘電体多層膜の層数が増すにつれて生じやすいリップルを抑制する設計がよい。
また、反射層が、透明基板の両主面に離隔して第1、第2の反射層を備える場合、表面と裏面に分けて成膜するために生産性が低下する場合がある。一方、該反射層が配置された光学フィルタは、膜応力が基板両面で互いに打ち消すように作用するので、例えば、透明基板を薄型化しても基板の歪みを抑制しやすい。また、透明基板が、入射光の可干渉長より厚ければ第1、第2の反射層間の干渉リップルが生じにくい。その結果、第1、第2の反射層は、これら誘電体多層膜間の干渉を無視し、多重反射のみ考慮した計算により、所望の分光透過率曲線を実現できる。
反射層は、図7、図8に示すように、入射角0°〜30°の光に対して、近紫外域にも透過率50%以下の反射帯を有する。また、波長350nm以下の紫外光は、反射層のTiOや透明基板等の吸収により遮断され、波長378nm以下の光で透過率10%以下となる。しかし、反射層の近紫外側の反射帯も、入射角0°から30°への増加にしたがい短波長側にシフトする。即ち、近紫外域における透過率50%の波長は、図7で397nmから383nmへ、図8で409nmから395nmへ、いずれも14nmシフトする。本フィルタは、反射層の近紫外光の入射角依存性を低減するため、NIR吸収剤に加え、UV吸収剤も含有した吸収層を備えるとよい。
UV吸収剤は、具体的に波長370〜405nmに吸収極大波長λ(DU_Tmin)を有し、波長400〜420nmに透過率50%となる波長λLo(DU_T50%)を有する。さらに、UV吸収剤は、UV吸収剤のみを含む吸収層を仮定したとき、入射角0°の光に対する分光透過率曲線において、波長440〜680nmの光に対する平均透過率が90%以上、好ましくは95%以上となるように、UV吸収剤の種類、UV吸収剤濃度C、吸収層の厚さLを設定するとよい。例として、波長350〜390nmの光の遮断性を有するUV吸収剤は、メロシアニン系色素が好適である。さらに、H.W.Sands社のSDA3382およびMSA3144、QCR Solutions社のUV386AおよびUV386BやUV386A(以上、商品名)なども好適である。
<透明基板>
本フィルタに透明基板を用いる場合、該透明基板は、波長420〜670nmの可視光で高透過を示す材料であればよく、近赤外光や近紫外光を吸収する材料でもよい。例えば、ガラスや結晶等の無機材料や、樹脂等の有機材料が挙げられ、形状も限定されないが、光学的、機械的信頼性、製造時のハンドリング性からガラスが好ましい。また、透明基板は、0.03〜5mm厚がよく、0.03〜0.5mm厚がより好ましい。また、透明基板がガラスであれば、0.05〜0.5mm厚が好ましい。
透明基板に使用できるガラスは、ソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、フツリン酸塩系ガラスやリン酸塩系ガラス等にCuO等を添加した吸収型ガラス等が挙げられる。透明基板に使用できる結晶材料は、水晶、ニオブ酸リチウム、サファイヤ等の複屈折性結晶が挙げられる。また、透明基板に使用できる樹脂は、ポリエステル樹脂、ポリオレフィン樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、塩化ビニル樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリイミド樹脂等が挙げられる。
透明基板が上記のCuO添加の吸収型ガラスの場合、吸収極大波長が800〜900nmで広域の近赤外吸収帯を有する。また、吸収型ガラスは、CuO添加濃度や厚さの調整で、波長700〜1150nmの光の透過率を調整でき、透過率20%以下を実現できる。なお、吸収型ガラスは、波長550〜700nmの可視域にも吸収が及ぶため、可視光の透過率低下を抑制しつつ、CuO添加濃度や厚さを調整する。
また、透明基板が吸収型ガラスであれば、透明樹脂(B)に吸収剤DA、DBを含む吸収層でも吸収できない近赤外光の遮光性を高められる。とくに、吸収型ガラスを用いた光学フィルタは、反射層に要求される近赤外光の低反射率化の要求レベルを緩和できるため、反射層を構成する誘電体多層膜の層数低減の実現や、不要光の高い遮光性の実現が可能となり、撮像装置の画質を向上できる。また、吸収型ガラスを用いた光学フィルタは、波長700〜1150nmの光に対して入射角に殆ど依存せず光吸収できる。そのため、該光学フィルタは、反射層で生じる近赤外線反射光が撮像装置内で迷光となって引き起こされる画質劣化を抑制できる。
<反射防止層>
本フィルタは、可視光の反射損失を低減する反射防止層を備えるとよい。反射防止層は、波長400〜700nmの可視光の反射防止効果を得るため、屈折率の異なる誘電体膜を例えば、3〜9層で、200〜400nm厚となるように積層して実現できる。また、反射防止層は、吸収層の表面にモスアイ構造と呼ばれる反射防止構造を備えたものでもよい。
本フィルタは、吸収層の、吸収剤DBのλ(DB_Tmin)と吸収剤DAのλ(DA_Tmin)の差が、10nm≦λ(DB_Tmin)−λ(DA_Tmin)<40nmを満たす組合せを前提とした。そのため、本フィルタは、吸収層におけるNIR吸収剤の実効厚比CLを調整し、λ(DA_Tmin)とλ(DB_Tmin)の中間波長域で透過率が1%以上となる透過帯が生じない構成が可能である。
一方、上記波長の差が10〜40nmと比較的小さいので、可視光の透過率低下を抑制する実効厚比CLに調整すると、吸収波長帯幅Δλabsを拡張しにくくなる。その結果、近赤外光の遮光は、反射層の反射特性に依存する傾向となる。また、Δλabsを拡張するため、λ(DB_Tmin)とλ(DA_Tmin)の差が大きな吸収剤DBを用いると、これらの中間波長域で透過率1%以上の透過帯が生じやすくなる。例えば、波長600〜690nmの光に対し、急峻な透過率変化が生じるよう吸収剤DAの実効厚比CLを調整すると、Δλabsが縮小するため上記透過帯が生じやすい。そのため、本フィルタは、使用するNIR吸収剤により変化するΔλabsに応じて、適切な反射層を設計するとよい。また、本フィルタは、可視域から近赤外域、とくに波長600〜900nm、における分光透過率曲線において、透過率50%以下となる波長の、入射角0°と30°の光に対する透過率の差は、30%以下であるのが好ましく、20%以下がより好ましく、10%以下がより一層好ましく、5%以下がさらに好ましい。なお、この指標は、後述する第2、第3の実施形態における光学フィルタでも同様に満足するとよい。
(第2の実施形態)
本実施形態の光学フィルタは、第1の実施形態に対し、吸収層に用いる吸収剤DBのλ(DB_Tmin)と反射層構成が異なる一方で、吸収剤DA、透明基板および反射防止層等は第1の実施形態と同じであるため、重複説明は省略する。また、第2の実施形態の光学フィルタは、第2の実施形態の説明中「本フィルタ」ともいう。
本フィルタは、吸収層に含まれる吸収剤DAのλ(DA_Tmin)は、第1の実施形態と同じ波長685〜715nmであるが、吸収剤DBのλ(DB_Tmin)が波長725nm超900nm以下であって、40nm≦λ(DB_Tmin)−λ(DA_Tmin)≦215nmを満たす。本フィルタは、第1の実施形態の光学フィルタに比べ、λ(DB_Tmin)とλ(DA_Tmin)の波長差が大きいことから、波長λ(DA_Tmin)〜λ(DB_Tmin)で、吸収層における透過率が最大となる波長λ(Tmax)近傍で透過率1%以上の透過帯が発生しやすい。
そのため、上記の透過帯が生じないよう、反射層が、λ(0°_T50%)>λ(Tmax)の関係を満たす設計にすると、反射層は、入射角の増加とともに反射帯が短波長側にシフトするので、λ(Tmax)近傍で生じる吸収層の透過帯が、反射層での反射で消滅する。しかし、入射角0°の光に対しλ(Tmax)近傍の透過帯を消滅できない。
一方、λ(Tmax)近傍の透過帯を確実に消滅するために、反射層が、λ(0°_T50%)<λ(Tmax)の関係を満たす設計にすると、以下の傾向が起こり得る。即ち、反射層は、入射角0°〜30°の光に対し、λ(Tmax)近傍で生じる吸収層の透過帯は消滅する。しかし、入射角の増加とともに、反射帯が短波長側にシフトし、λ(DA_Tmin)より短波長側で、吸収層の透過率が増大する可視光までも必要以上に反射するおそれがある。その場合、透過率50%以下の波長650〜700nmで、分光透過率の入射角/偏光依存性が増大するおそれがある。
したがって、本フィルタは、吸収層の吸収特性に基づき、入射角/偏光依存性の小さい分光透過率曲線を示す反射層を設計して組合せる。このような設計により、本フィルタは、入射角0°〜30°の光に対し、該反射層の反射帯がシフトしても、入射角/偏光依存性が殆ど無い分光透過率を示し、λ(Tmax)近傍の透過帯を消滅でき、波長700〜1150nmの光に対し、高い遮光性を実現できる。
以下、本フィルタの具体的な設計条件を説明する。なお、所望の分光透過率曲線としては、波長440〜600nmの可視光に対して高透過率を維持し、波長690〜720nmの光に対して高い吸収性を示し、波長600〜690nmの分光透過率曲線を、視感度曲線に近似補正し得る分光透過率を有する。さらに、入射角/偏光依存性による分光透過率変化が小さい光学フィルタを実現するための、吸収層および反射層の条件を以下に示す。
<吸収層の条件(第2の実施形態)>
吸収層は、下記(i−4)の関係の吸収剤DAおよび吸収剤DBを含み、下記(i−5)、(i−6)の条件を満たす。吸収層は、下記(i−5)、(i−6)の条件を満たすように、各吸収剤の濃度Cおよび厚さLを調整して得られる。
(i−4)40nm≦λ(DB_Tmin)−λ(DA_Tmin)≦215nmを満たす。
(i−5)波長600nmの光の透過率が80%以上、波長650nmの光の透過率が40%以上、波長λ(DA_Tmin)の光の透過率が3%以下、波長λ(DB_Tmin)の光の透過率が3%以下である。
(i−6){λSh(DAB_T50%)−λSh(DAB_T90%)}≧{λSh(DAB_T5%)−λSh(DAB_T50%)}を満たす。
ただし、λSh(DAB_T90%)、λSh(DAB_T50%)およびλSh(DAB_T5%)は、それぞれ、波長580nm〜λ(DA_Tmin)において、透過率が90%、50%および5%となる波長を示す。
(i−5)において、波長600nmの光の透過率は90%以上が好ましく、波長650nmの光の透過率は50%以上が好ましく、波長λ(DA_Tmin)の光の透過率は2%以下が好ましく、波長λ(DB_Tmin)の光の透過率は2%以下が好ましい。
図9は、スクアリリウム系化合物を含んだ吸収層の分光透過率に基づき、吸収極大波長が685nm、695nm、705nm、735nmおよび745nmと異なる5種のNIR吸収剤について、吸収極大波長の透過率が略10%となるNIR吸収剤濃度(図9中に「吸収極大波長−c」で記載)とその2.5倍の濃度(図9中に「吸収極大波長−d」で記載)における分光透過率の計算結果である。
本フィルタは、吸収剤DAのλ(DA_Tmin)より長波長側の波長725nm超900nm以下にλ(DB_Tmin)を有する吸収剤DBを含む吸収層を有する。該吸収層は、可視光で高透過率を維持しつつ、λ(DB_Tmin)より長波長側における広い吸収波長帯幅により遮光性を向上できる。ここで、吸収剤DBのみを含有する吸収層を仮定したとき、λ(DB_Tmin)の光の透過率が6%以下、波長600nmの光の透過率が90%以上、波長650nmの光の透過率が65%以上となるように吸収剤DBの、吸収剤濃度Cおよび吸収層の厚さL(実効厚比CL)を調整する。具体的には、図9の計算結果に基づき、波長725nm超775nm以下にλ(DB_Tmin)を有するスクアリリウム系化合物と同レベルの分光透過率曲線のNIR吸収剤を用い、該NIR吸収剤の実効厚比CLを調整することで、吸収剤DBを含む吸収層が得られる。
図10は、λ(DA_Tmin)=695nmの吸収剤DAとλ(DB_Tmin)=735nmの吸収剤DB、それぞれの実効厚比(CL(A),CL(B))が、(1.8,2.4)、(1.8,3.6)、(2.0,2.4)、(2.0,3.6)となるように透明樹脂中に含有させた吸収層の波長550〜800nmにおける分光透過率の計算結果である。図10の透過率はいずれも、波長600nmの光で90%以上、波長650nmの光で53〜64%である。また、同計算結果の透過率は、波長687〜705nmおよび波長723〜745nmの光で2%以下、波長682〜748nmの光で5%以下、波長678〜751nmの光で10%以下、波長λ(DA_Tmin)の光で2%以下、波長λ(DB_Tmin)の光で2%以下である。即ち、波長600〜690nmの可視域の長波長側で急峻な透過率変化を示し、Δλabs(T10%)として60nm以上を実現する。なお、これらの計算結果は、λ(Tmax)=713nm近傍で透過率略1〜5%の透過帯の発生も示す。さらに、{λSh(DAB_T50%)−λSh(DAB_T90%)}≧{λSh(DAB_T5%)−λSh(DAB_T50%)}を満たす。
なお、図10の分光透過率曲線を実現する実効厚比は、上記に限定されず、例えば、CL(A)=1.8でCL(B)=2.4〜3.6、CL(A)=2.0でCL(B)=2.4〜3.6でも同特性が得られる。また、上記以外の実効厚比に調整された吸収層でも、波長600nmの光の透過率が90%以上、波長650nmの光の透過率が50%以上、波長λ(DA_Tmin)の光の透過率が3%以下、波長λ(DB_Tmin)の光の透過率が2%以下、波長700nm近傍の光の透過率が2%以下となる吸収波長帯幅Δλabs(T2%)が20nm以上、透過率が5%以下となる吸収波長帯幅Δλabs(T5%)が60nm以上、透過率が10%以下となる吸収波長帯幅Δλabs(T10%)が70nm以上を実現できる。
次に、前例と異なる吸収層の設計例を示す。図11は、λ(DA_Tmin)=705nmの吸収剤DAとλ(DB_Tmin)=765nmの吸収剤DB、それぞれの実効厚比(CL(A)、CL(B))が、(2.0,2.8)、(2.0,4.0)、(2.6,2.8)、(2.6,4.0)となるように透明樹脂中に含有させた吸収層の波長550〜800nmの光に対する分光透過率の計算結果である。図11の透過率はいずれも、波長600nmの光で90%以上、波長650nmの光で64〜72%、波長696〜714nmおよび波長752〜776nmの光で2%以下、波長692〜718nmおよび波長748〜779nmの光で5%以下、波長688〜722nmおよび波長744〜782nmの光で10%以下、波長λ(DA_Tmin)の光で2%以下、波長λ(DB_Tmin)の光で2%以下である。なお、計算結果は、波長732nm近傍の光に対する透過率が12〜23%の透過帯の発生も示す。さらに、{λSh(DAB_T50%)−λSh(DAB_T90%)}≧{λSh(DAB_T5%)−λSh(DAB_T50%)}を満たす。
なお、図11の分光透過率曲線を実現する実効厚比は、上記に限定されず、例えば、CL(A)=2.0でCL(B)=2.8〜4.0、CL(A)=2.6でCL(B)=2.8〜4.0、それ以外の実効厚比に調整された吸収層でも上記の特性が得られる。また、本フィルタは、第1の実施形態に比べ、吸収層が広域な吸収帯を発現できる一方、λ(Tmax)近傍で発生する迷光が反射層により十分遮断できる。その前提において、吸収層は、λ(Tmax)近傍の透過帯を除く透過率が10%以下となるΔλabs(T10%)が70nm以上を実現できる。なお、本設計は、Δλabs(T10%)が90nm以上を実現した例である。
吸収層は、第1の実施形態の吸収層と同様に波長370〜405nmに吸収極大波長λ(DU_Tmin)を有するとともに、波長400〜420nmに透過率50%となる波長λLo(DU_T50%)を有する近紫外線吸収剤(吸収剤DU)を含んでもよい。
上記説明のとおり、本フィルタは、吸収層に含まれる2種のNIR吸収剤のλ(DA_Tmin)とλ(DB_Tmin)の波長差が40nm以上215nm以下の範囲であるため、これらの中間波長域で透過率1%以上となる透過帯が生じる。また、吸収剤DAは、波長600〜690nmの分光透過率曲線を視感度曲線に近似補正し、波長690〜720nmの光を吸収する分光透過率を実現できる。そのため、λ(DA_Tmin)の短波長側で吸収層の透過率が5%となるλSh(DAB_T5%)と、λ(Tmax)との波長差が略30nmと狭くなる。
したがって、本フィルタは、波長600〜700nmの光に対する入射角/偏光依存性が小さい吸収層の分光透過率曲線を利用し、波長700〜1150nmの光に対し、吸収層のみでは不十分な遮光性を改善する反射層を備える。ここで、第1の実施形態と同様の反射層を用いると、入射角0°〜30°の光に対し、反射層の反射帯が700nm近傍で約40nm短波長側にシフトするので、波長650〜750nmの光に対し、入射角/偏光依存性による透過率変化が生じ得る。
このような入射角/偏光依存性を低減するため、本フィルタは、シフト量が少ない反射層を用いるとよい。具体的に、該反射層は、入射角0°〜30°の光に対し、波長700nm近傍における反射帯の最大シフト量が30nm以下、好ましくは25nm以下、より好ましくは20nm以下となる設計を用いるとよい。
入射角/偏光依存性が小さい反射層は、例えば、WO2013/015303、特開2007−183525号に記載の設計を参照できる。前者は、屈折率2以上の層と屈折率1.6以下の層との組合せからなる単位屈折率層が15以上積層された誘電体多層膜により、波長650nm付近の光における、入射角0°と30°で、透過率50%となる波長の差を16nmとした例を示している。後者は、屈折率2.27のTiOと、屈折率1.72の(LaとAlの)複合酸化物と、を交互に27層積層した誘電体多層膜により、平均屈折率を高く(1.94)設定し、入射角0°と25°で、透過率50%となる波長の差を15nmとした例を示している。次に、本フィルタにおける、反射層の条件を示す。
<反射層の条件(第2の実施形態)>
(ii−3)反射層は、波長700〜1150nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が5%以下となる反射帯を有する。
(ii−4)反射層は、波長680〜750nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が50%となる波長をλ(0°_T50%)とし、吸収層の波長580nm〜λ(DA_Tmin)において透過率が10%となる波長をλSh(DAB_T10%)とすると、
λSh(DAB_T10%)+20nm<λ(0°_T50%)<λ(Tmax
を満たす。
(ii−5)波長640〜750nmにおいて、波長λ(0°_T50%)と、入射角30°のs偏光に対する波長λ(30°_Ts50%)との差δλSh(T50%)は、0nm<δλSh(T50%)≦25nmを満たす。
本フィルタは、(ii−3)〜(ii−5)の条件を満たすことにより、λ(Tmax)近傍で吸収層による透過帯が生じても、入射角0°〜30°時の、波長640〜750nmの光に対する透過率変化は僅かで、波長700〜1150nmの近赤外光に対して安定した遮光性が得られる。なお、(ii−5)は波長680〜750nmの波長範囲において満足するとより好ましく、その場合、入射角0°〜30°時の、波長680〜750nmの光に対する透過率変化は僅かである。
反射層は、第1の実施形態の光学フィルタと同様、最大反射波長λが異なる2種の誘電体多層膜を含む構成としてもよい。反射層は、例えば、第1の反射層12aと第2の反射層12bを有するが、上記説明した、反射帯のシフト量が小さい誘電体多層膜の設計は、波長700〜1150nmの近赤外域の短波長側の光を反射する第1の反射層12aに適用するとよい。なお、該近赤外域の長波長側の光および近紫外光を反射する第2の反射層12bは、第1の実施形態と同様に設計してもよい。
本フィルタの反射層における(ii−3)の条件は、第1の実施形態の反射層の(ii−1)の条件と同じであり、第1の反射層12aと第2の反射層12bの反射特性により達成される。(ii−5)の条件は、主として第1の反射層12aの反射特性により達成され、それにより反射層としての入射角0°〜30°の変化に対するシフト量δλSh(T50%)が低減される。このような反射層を前提に吸収層の分光特性と関連付けた条件が(ii−4)であり、第1の実施形態の反射層の(ii−2)の条件と異なる。それ以外の吸収層と反射層の分光透過率の好適条件は、第1の実施形態と同様のため、説明を省略する。
次に、本フィルタにおける反射層の設計例を示すが、第1の実施形態の光学フィルタの設計と共通する部分は説明を省略する。表3は、光学フィルタ30における、第1の反射層12aの設計例である。また、吸収層11は、図10に示した特性を有する。本設計では、第1の反射層12aは、吸収層11が十分に遮断できない波長713nm近傍の透過帯の光および波長750〜1150nmの近赤外光を、第1の反射層12aと第2の反射層12bの反射帯により遮光する。
Figure 2017051867
本例の第1の反射層12aは、(設計A)〜(設計D)の順に仕様を決定した。
まず、入射角/偏光依存性によるシフト量を低減するため、n=2.39のTiOとn=1.45のSiOとが交互に積層された多層膜構成を前提に、隣り合うTiO/SiO単位屈折率層の光学膜厚比(n/n)を6.0に設定した(設計A)。
次に、入射角0°時の波長700〜830nmの光に対し、透過率50%以下の反射帯が生じるとともに、透過率が1%以下となる反射帯幅の確保や遷移波長領域の透過率変化の急峻性を考慮して、34層構成とした(設計B)。なお、第1の反射層12aは、設計波長λ=746nmに対し、隣り合う誘電体膜の光学膜厚nとnの平均値が略λ/4となる。また、透明基板13と、吸収層11の屈折率を略1.51とした。
次に、可視光のリップルを低減するため、隣り合う17対(34層)のTiOとSiOからなる単位屈折率層の光学膜厚の和(n+n)を、λ/2から略±10%程度ずらし、35層構成とした(設計C)。その結果、隣り合う17対のn/nが、5.3〜8.5(平均値=6.5)で分布した。
さらに、可視光の透過率向上のため、35層のTiOとSiOからなる誘電体多層膜と透明基板13および吸収層11との界面にAlを付加し37層構成とした(設計D=表3)。この結果、第1の反射層(37層)の平均屈折率(多層膜全体の光学膜厚/物理膜厚)は2.17であった。
図12は、表3に示す第1の反射層について、TiOとSiOの屈折率波長分散を考慮した、入射角0°時の光と、入射角30°時のp/s偏光の各分光透過率の計算結果である。なお、該計算および後述する図13〜図15に示す計算は、空気界面の反射損失は考慮していないが、例えば、上記の反射防止層により可視光の反射損失を低減できる。図12に示すように、本設計例の第1の反射層は、入射角0°〜30°の光に対する各透過率が、波長699〜822nmの光で50%以下、波長705〜815nmの光で15%以下、波長708〜812nmの光で10%以下、波長711〜808nmの光で5%以下、そして、波長723〜795nmの光で1%以下となる反射帯を有する。さらに、第1の反射層は、波長420〜670nmの光に対し、平均透過率が99%以上を示す。なお、第1の反射層(表3)は、近赤外反射帯の最小透過率が0.2%程度だが、層数を増やすことでさらに低減できる。
本設計例の第1の反射層は、波長680〜750nmにおいて入射角0°時の光に対するλ(0°_T50%)が699nmであり、波長640〜750nmにおいて入射角30°時のs偏光に対するλ(30°_Ts50%)が679nmであり、シフト量は20nm程度である。
表4は、光学フィルタ30の第2の反射層12bの設計例であって(設計A´)〜(設計C´)の順に仕様を決定した。まず、波長750〜1150nmにおいて反射帯が生じるよう、設計波長λ=948nmに対し、TiOとSiOを交互積層し、光学膜厚nおよびnが略λ/4となる33層構成とした(設計A´)。
次に、反射帯の拡張と可視光のリップル低減のため、TiOとSiOの33層各層の光学膜厚をλ/4から±18%程度ずらした構成とした(設計B´)。
さらに、波長400〜700nmにおける可視光のリップル低減効果および反射防止効果を得るため、λ/4より薄い光学膜厚で、空気と該33層との界面にSiOを、透明基板と該33層との界面にSiOとTiOの2層を、それぞれ追加し、合計36層とした(設計C´=表4)。
Figure 2017051867
図13は、第2の反射層(表4)について、TiOとSiOの屈折率波長分散を考慮した、入射角0°時の光、入射角30°時のp/s偏光の各分光透過率の計算結果である。本設計例の第2の反射層は、入射角0°〜30°における各透過率が、波長720〜1299nmの光で50%以下、波長730〜1235nmの光で15%以下、波長733〜1230nmの光で10%以下、波長740〜1223nmの光で5%以下、そして、波長760〜1150nmの光で1%以下となる反射帯を有する。さらに、波長420〜670nmに対し、99%以上の透過率を有する。第2の反射層(表4)は、近赤外反射帯の最小透過率が、0.001%程度だが、層数を増やすことでさらに低減できる。
また、本設計例の第2の反射層は、波長680〜750nmにおいて入射角0°時の光に対するλ(0°_T50%)が720nmであり、波長640〜750mにおいて、さらに波長680〜750nmにおいて、入射角30°時のs偏光に対するλ(30°_Ts50%)が684nmであり、シフト量は36nm程度である。
次に、第1、第2の反射層を含む反射層の分光透過率の計算結果を示す。第1の実施形態と同様、本フィルタの第1、第2の反射層は、本フィルタにおけるそれらの配置による、入射光の可干渉長や膜応力を考慮して仕様を決定する。
図14は、第1、第2の反射層を、透明基板を挟むように配して含む反射層の分光透過率曲線(入射角0°、入射角30°でp/s偏光)の計算結果である。該設計の反射層は、入射角0°〜30°における各透過率が、波長350〜403nmおよび波長699〜1230nmの光で50%以下、波長350〜402nmおよび波長706〜1166nmの光で15%以下、波長350〜402nmおよび波長708〜1162nmの光で10%以下、波長350〜401nmおよび波長711〜1154nmの光で5%以下、波長723〜1064nmの光で1%以下となる反射帯を有する。さらに、該反射層は、波長420〜670nmの光に対する平均透過率が98%以上、波長730〜1150nmの光に対する平均透過率が0.5%以下を示す。
ここで、本設計例の反射層において、近赤外反射帯の短波長側で透過率50%となるλ(0°_T50%)とλ(30°_Ts50%)は、図14に示すように、第1の反射層の分光透過率により決定される。即ち、反射層は、入射角0°と30°での透過率50%のシフト量は20nm程度である。一方、第2の反射層の入射角0°と30°に対し透過率50%となるλ(0°_T50%)〜λ(30°_Ts50%)は、第1の反射層の反射帯にあるため、反射層の分光透過率曲線には殆ど影響しない。
例えば、図14に示す反射層と図10に示す吸収層を組み合わせた場合、反射層の、波長680〜750nmにおいて入射角0°の光に対する透過率が50%となる波長をλ(0°_T50%)とし、吸収層の波長580nm〜λ(DA_Tmin)において透過率が10%となる波長をλSh(DAB_T10%)とすると、λSh(DAB_T10%)+20nm<λ(0°_T50%)<λ(Tmax)(ただし、λ(Tmax)は、波長λ(DA_Tmin)〜λ(DB_Tmin)において、吸収層の透過率が最大となる波長)を満たす。また、波長640〜750nmにおいて、入射角30°のs偏光に対する透過率が50%となる波長をλ(30°_Ts50%)とすると、波長λ(0°_T50%)と、波長λ(30°_Ts50%)との差δλSh(T50%)は、0nm<δλSh(T50%)≦25nmを満たす。
図15は、第1、第2の反射層を透明基板の一方の主面に連続して73層積層した誘電体多層膜からなる反射層の分光透過率曲線(入射角0°、入射角30°でp/s偏光)の計算結果である。該設計の反射層は、第1の反射層における隣り合う17対(34層)のTiOとSiOからなる単位屈折率層がλ=753nmで平均光学膜厚が略λ/4となる34層構成と、第2の反射層がλ=948nmで光学膜厚が略λ/4となるTiOとSiOの33層構成を、それぞれ基本設計とした。そして、該設計は、可視光の透過率向上およびリップル低減のため、光学膜厚分布を調整しさらに調整層を追加した。
本設計の反射層は、入射角0°〜30°の光に対する各透過率が、波長350〜410nmおよび波長709〜1238nmの光で50%以下、波長350〜409nmおよび波長716〜1182nmの光で15%以下、波長350〜409nmおよび波長717〜1172nmの光で10%以下、波長350〜408nmおよび波長720〜1162nmの光で5%以下、波長724〜1068nmの光で1%以下となる反射帯を有する。また、波長420〜670nmの光に対する平均透過率が98%以上、波長730〜1150nmの光に対する平均透過率が0.3%以下を示す。
本設計例の反射層は、波長680〜750nmにおいて入射角0°時の光に対するλ(0°_T50%)が702nmであり、入射角30°時のs偏光に対するλ(30°_Ts50%)が682nmであり、シフト量は20nm程度である。
例えば、図15に示す反射層と図11に示す吸収層を組み合わせた場合、λSh(DAB_T10%)+20nm<λ(0°_T50%)<λ(Tmax)を満たす。また、波長λ(0°_T50%)と、波長λ(30°_Ts50%)との差δλSh(T50%)は、0nm<δλSh(T50%)≦25nmを満たす。
このような反射層と吸収層を備えた第2の実施形態の光学フィルタは、第1の実施形態の光学フィルタと同様の以下の特性を有することが好ましい。なお、以下の特性におけるより好ましい態様は第1の実施形態の光学フィルタの場合と同様である。
入射角0°〜30°の分光透過率曲線において、下記(1)および(2)の条件を満足する。
(1)波長440〜600nmにおける平均透過率が80%以上である。
(2)波長690〜720nm全域の透過率が5%以下である。
入射角0°の分光透過率曲線において、波長350〜390nmの光に対する平均透過率が10%以下である。
波長600〜900nmにおける分光透過率曲線において、透過率50%以下となる波長の、入射角0°の光に対する透過率と入射角30°の光に対する透過率の差が30%以下である。
このような反射層と吸収層を備えた第1、第2の実施形態の光学フィルタは、いずれも、視感度の高い波長440〜600nmの光では高い透過率を維持し、波長690〜720nmの光では吸収層により遮断できる。また、本発明の光学フィルタは、固体撮像素子が感度を有する波長700〜1150nmの光の遮光性を向上させ、反射層による入射角/偏光依存性を抑制できる。
また、本発明に係る光学フィルタは、さらに、第1、第2の実施形態の光学フィルタで用いた吸収剤DBの吸収極大波長より長波長側で、例えば、波長745〜1000nmにλ(DB_Tmin)を有し、可視光の吸収が少ない吸収剤を用いてもよい。該吸収剤は、可視光に吸収が残留する場合、少なくとも波長450〜550nmの光の透過率が90%以上となるように実効厚比CLを調整できることが前提となる。
例えば、波長800〜920nmに吸収極大を有するNIR吸収剤は、KODAK社のIRDシリーズの04、79等、Epolin社のEpolightTMシリーズの5547、5588等、QCR Solutions社のNIRシリーズの907B、910C等、H.W.Sands社のSDA8630等、Exciton社のNP800、IRA868(以上、商品名)等が挙げられる。
(第3の実施形態)
本実施形態の光学フィルタは、吸収層の一部として、吸収型ガラスを用いる。例えば、本フィルタの吸収層は、フツリン酸塩系ガラスやリン酸塩系ガラス等にCuO等を添加した吸収型ガラスと、吸収剤DAが透明樹脂(B)に溶解または分散した層(本実施形態で「樹脂層」ともいう。)と、を含んだ構成が挙げられる。この場合、吸収型ガラスはλ(DB_Tmin)を示す吸収剤DBを含む前提である。また、第3の実施形態の光学フィルタは、第3の実施形態の説明中「本フィルタ」ともいう。
吸収型ガラスは、CuO等の添加濃度や厚さを調整することで、波長700〜1150nmの光の透過率を調整できる。また、吸収剤DBを含む吸収型ガラスを使用する本フィルタは、反射層に要求される近赤外光の高反射率仕様を緩和できるので、少ない誘電体層数で同等の遮光性が得られたり、同じ構成の誘電体多層膜を用いて、遮光性を向上できたりする。
なお、本フィルタは、吸収型ガラスと樹脂層との間に誘電体層を有してもよく、その場合、本フィルタにおける吸収層の耐久性を向上できる。誘電体層の厚さは30nm以上が好ましく、100nm以上がより好ましく、200nm以上がさらに好ましい。誘電体層の厚さの上限はないが、設計や製造の容易さの観点から2000nm以下が好ましく、1000nm以下がより好ましい。
ここで、CuOを含有するガラスは、例えば、WO2014/30628A1に記載されているものが使用できる。
本フィルタは、吸収剤DBを含む前提で吸収型ガラスを用いるので、吸収型ガラスによるλ(DB_Tmin)が波長800〜900nmに存在し、吸収型ガラスは、λ(DB_Tmin)近傍の吸収波長幅が、NIR吸収剤に比べて広い。そのため、吸収型ガラスと、吸収剤DAを含む透明樹脂とを組合せてなる吸収層は、λ(Tmax)近傍の広域で透過率2%以上の透過帯が生じやすい。そのため、本フィルタは、第2の実施形態の光学フィルタと同様、入射角/偏光依存性の小さい反射層を用いて該透過帯を消失するとよい。即ち、吸収型ガラスを用いる本フィルタは、波長650〜750nmにおける入射角0°〜30°の光に対し、反射層の透過率が50%となる波長がシフトしても、シフト量が吸収剤DAの吸収帯に入るように反射層を設計する。
上記説明のとおり、第3の実施形態は、第2の実施形態において、吸収剤DBがλ(DB_Tmin)=800〜900nmの吸収ガラスを用いた光学フィルタに相当する。すなわち、本フィルタは、吸収剤DBの吸収極大波長λ(DB_Tmin)が波長725nm超900nm以下である、および、40nm≦λ(DB_Tmin)−λ(DA_Tmin)≦215nmを満たすことを意味する。
なお、透明樹脂(B)、吸収剤DA、反射層、反射防止層など、吸収型ガラス(吸収剤DB)以外は第2の実施形態で規定した構成(ただし、(i−5)の条件において、波長λ(DB_Tmin)の光の透過率が3%以下である構成は必須とせず、好適な構成とする)および好適条件とすればよい。
(第1〜3の実施形態および撮像装置)
このように、各実施形態の光学フィルタは、可視光のうち波長600〜690nmの光に対し、吸収剤DA、DBを含む吸収層により、視感度曲線に近似した感度補正ができる。また、各光学フィルタは、反射層の入射角/偏光依存性により反射帯がシフトしても、吸収層の波長600〜690nmにおける分光透過率曲線を維持できる。そのため、各光学フィルタは、近赤外光の分光透過率が、入射角/偏光依存性の影響を殆ど受けずに、近赤外光を十分に遮断できる。
本フィルタは、さらに、吸収層が吸収剤DUを含むと、近紫外光に対する反射層の分光透過率曲線が、入射角/偏光依存性によりシフトしても、光学フィルタとしての分光透過率曲線を維持できる。また、本フィルタは、吸収層の近紫外光における遮光性が不十分でも、反射層により十分低い透過率を実現できる。また、光学フィルタは、さらに入射角が拡大(30°超)する仕様では、それにともなう反射層のシフト量を考慮した吸収層を調整し入射角/偏光依存性を抑制するとよい。
また、図16は、このような光学フィルタとして光学フィルタ10を搭載した撮像装置100の模式図である。なお、撮像装置100において、他の構成の光学フィルタを用いた場合も以下の説明は同様である。撮像装置100において、光学フィルタ10中の反射層による反射光は、固体撮像素子21、撮像レンズ23、これらを固定する筐体24など撮像装置内での繰り返し反射や散乱により光学フィルタ10に再入射する迷光となる。したがって、波長700〜1150nmの光の遮光性が高いほど、固体撮像素子21の受光面に到達する迷光を低減できる。その結果、固体撮像素子21に到達する不要画像の重畳やノイズ光、の少ない鮮明な画像が撮像できる。
また、各実施形態の光学フィルタ10は、撮像装置100において、例えば、撮像レンズ23と固体撮像素子21との間に配置される。さらに、該光学フィルタ10は、固体撮像素子21、撮像レンズ23等に粘着剤層を介して直接貼着しても使用できる。撮像レンズ23は、筐体24の内側に設けられたレンズユニット22により固定され、固体撮像素子21と、撮像レンズ23とは、光軸Xに沿って配置されている。光学フィルタ10を設置する際の向きや位置は、設計に応じて適宜選択される。
[実施例1]
本例では、光学フィルタ30の製造例を説明する。
まず、屈折率1.52で100μm厚の透明樹脂フィルムからなる透明基板13の一方の主面と他方の主面にそれぞれ、表1に示す第1の反射層12a、表2に示す第2の反射層12bを形成する。次に、第1の反射層12aの表面に、吸収剤DAとしてλ(DA_Tmin)=685nmのスクアリリウム系化合物と、吸収剤DBとしてλ(DB_Tmin)=705nmのスクアリリウム系化合物を透明樹脂に含有させた吸収層11を形成する。具体的に、吸収剤DAおよびDBと、屈折率1.49のアクリル樹脂のシク口ヘキサノン溶液とを、所定の質量比割合で混合した後、室温で攪拌・溶解して得られた塗工液をダイコート法で塗布し、加熱乾燥させ吸収層11を得る。ここで、吸収剤DA、DBは、各々の実効厚比(CL(A),CL(B))が(1.2,1.2)、(1.2,1.8)、(1.4,1.2)、(1.4,1.8)となるよう調整する。図3は、吸収層のみの波長550〜800nmの光における分光透過率の計算結果である。
さらに、吸収層11の空気界面に、AlとZrOとMgFの3層からなる反射防止層14を成膜し、入射角0°〜30°で波長400〜700nmの可視光に対し残留反射率を1.5%以下とした4種の光学フィルタ30(a)〜(d)を得る。図17A、17Bは、光学フィルタ30(a)と30(d)の分光透過率曲線(入射角0°、入射角30°のp/s偏光)の計算結果である。光学フィルタ30(b)および30(c)も、同様の計算結果が得られる。なお、本実施例、以降の各実施例および各比較例は、吸収剤DAおよび吸収剤DBに用いるスクアリリウム系化合物が、波長550nm以下には吸収が殆ど無いと仮定し、透過率を100%としている。
本例の光学フィルタ30における図3に光学特性が示される吸収層は、上記のとおり(i−1)〜(i−3)の条件を満たし、これと組み合わせた反射層も上記のとおり(ii−1)、(ii−2)の条件を満たす。
図17A、17Bに示す分光透過率曲線より、実施例1の光学フィルタ30(a)〜(d)はいずれも、下記の光学特性を満足する。即ち、入射角0°〜30°の光に対して、視感度の高い波長420〜600nmの光の平均透過率が97%以上、波長690〜720nmの光の透過率が2%以下、そして、波長600〜690nmの分光透過率曲線を視感度曲線に相当する高い効率を実現し得る曲線に近似補正する分光透過率を示す。さらに、ノイズ光となる不要な波長700〜1150nmの光の平均透過率が0.8%以下で、入射角0°〜30°の光に対する分光透過率の変化が小さいことがわかる。また、波長600〜900nmで透過率が50%以下である波長654〜900nmにおいて、入射角0°と30°で透過率差が0〜7%であり、透過率変化は30%以下を満足する。
[比較例1]
本比較例1の光学フィルタは、吸収層が、λ(DA_Tmin)=695nmのスクアリリウム系化合物からなる吸収剤DAのみを含み、実効厚比CL(A)が(2.5)となるように調整した以外は、実施例1と同じ構成とする。
図18は、比較例1の光学フィルタにおける分光透過率曲線(入射角0°、入射角30°のp/s偏光)の計算結果である。比較例1の光学フィルタは、入射角30°時の波長698〜716nmの光の透過率が、0.5%以下を示す一方、入射角0°時は、透過率4%以上で最大15%を示す。即ち、比較例1は、吸収層に含まれるNIR吸収剤が、吸収剤DA1種のみでは吸収波長帯幅Δλabsが狭いため、反射層の入射角/偏光依存性により、波長690〜720nmの光の遮光性が不十分である。
[比較例2]
本比較例2の光学フィルタは、吸収層が、λ(DB_Tmin)=725nmのスクアリリウム系化合物からなる吸収剤DBのみを含み、実効厚比CL(B)が(5.2)となるように調整した以外は、実施例1と同じ構成とする。
図19は、比較例2の光学フィルタにおける分光透過率曲線(入射角0°、入射角30°のp/s偏光)の計算結果である。比較例2の光学フィルタは、入射角0°と30°の光に対し、波長668〜700nmでの分光透過率が4〜33%程度異なる。即ち、吸収剤DBのみでは、波長668〜700nmの光で急峻な吸収性が得られず残留透過が生じるため、反射層の入射角/偏光依存性により、該波長の光に対する遮光性が不十分である。また、波長600〜900nmで透過率が50%以下である波長664〜900nmにおいて、入射角0°と30°で透過率差が0〜34%である。
[実施例2]
本例では、光学フィルタ40の製造例を説明する。
まず、表1に示す第1の反射層12aと、表2に示す第2の反射層12bを、200μm厚のガラスからなる透明基板13の一方の主面に図1Dに示す順で成膜する。次に、透明基板13の他方の主面に、吸収剤DAとしてλ(DA_Tmin)=705nmのスクアリリウム系化合物と、吸収剤DBとしてλ(DB_Tmin)=725nmのスクアリリウム系化合物を透明樹脂に含有した吸収層11を形成する。具体的に、吸収剤DAおよびDBと、屈折率1.59のポリ力一ボネー卜樹脂のシク口ペンタノン溶液とを、所定の質量比割合で混合した後、室温で攪拌・溶解して得られた塗工液をダイコート法で塗布し、加熱乾燥させ10μm厚の吸収層を得る。
ここで、吸収剤DA、DBは、各々の実効厚比(CL(A),CL(B))が(2.0,4.0)、(2.0,5.2)、(2.4,4.0)、(2.4,5.2)となるよう調整する。なお、吸収層のみの波長550〜800nmの光における分光透過率の計算結果は、図4を参照できる。
さらに、吸収層11の空気界面に、TiOとSiOの4層からなる反射防止層14を成膜し、入射角0°〜30°で波長400〜700nmの光に対する残留反射率を1.5%以下とした4種の光学フィルタ40(a)〜(d)を得る。図20A、20Bに、光学フィルタ40(a)と40(d)の分光透過率曲線(入射角0°、入射角30°のp/s偏光)の計算結果を示す。光学フィルタ40(b)および40(c)も、同様の計算結果が得られる。
本例の光学フィルタ40における図4に光学特性が示される吸収層は、上記のとおり(i−1)〜(i−3)の条件を満たし、これと組み合わせた反射層も上記のとおり(ii−1)、(ii−2)の条件を満たす。
図20A、20Bに示す分光透過率曲線より、実施例2の光学フィルタ40(a)〜(d)はいずれも、下記の光学特性を満足する。即ち、入射角0°〜30°の光に対して、視感度の高い波長420〜600nmの光の平均透過率が97%以上、波長690〜720nmの光の透過率が2%以下、そして、波長600〜690nmの分光透過率曲線を視感度曲線に近似補正する分光透過率を示す。さらに、ノイズ光となる不要な波長700〜1150nmの光の平均透過率0.8%以下で、入射角0°〜30°の光に対する分光透過率の変化が小さいことがわかる。また、波長600〜900nmで透過率が50%以下である波長654〜900nmにおいて、入射角0°と30°で透過率差が0〜2%であり、透過率変化は30%以下を満足する。
[実施例3]
本例では、光学フィルタ30の製造例を説明する。
まず、実施例1と同じ透明基板13の一方の主面と他方の主面に各々、表3に示す第1の反射層12a、表4に示す第2の反射層12bを形成する。次に、第1の反射層の表面に、吸収剤DAとしてλ(DA_Tmin)=695nmのスクアリリウム系化合物と、吸収剤DBとしてλ(DB_Tmin)=735nmのスクアリリウム系化合物を透明樹脂に含有させた吸収層11を形成する。具体的に、吸収剤DA、DBと、屈折率1.49のアクリル樹脂のシク口ヘキサノン溶液とを、所定の質量比割合で混合した後、室温で攪拌・溶解して得られた塗工液をダイコート法で塗布し、加熱乾燥させ吸収層を得る。ここで、吸収剤DA、DBは、各々の実効厚比(CL(A),CL(B))が(1.8,2.4)、(1.8,3.6)、(2.0,2.4)、(2.0,3.6)となるよう調整する。なお、吸収層のみの波長550〜800nmの光に対する分光透過率の計算結果は、図10を参照できる。
さらに、吸収層11の空気界面に、AlとZrOとMgFの3層からなる反射防止層14を成膜し、入射角0°〜30°時の波長400〜700nmの可視光に対し残留反射率を1.5%以下とした4種の光学フィルタ30(a)〜(d)を得る。図21A、21Bは、光学フィルタ30(a)と30(d)の分光透過率曲線(入射角0°、入射角30°のp/s偏光)の計算結果を示す。光学フィルタ30(b)および30(c)も、同様の計算結果が得られる。
本例の光学フィルタ30における図10に光学特性が示される吸収層は、上記のとおり(i−4)〜(i−6)の条件を満たし、これと組み合わせた反射層も上記のとおり(ii−3)〜(ii−5)の条件を満たす。
図21A、21Bに示す分光透過率曲線より、実施例3の光学フィルタ30(a)〜(d)はいずれも、下記の光学特性を満足する。即ち、入射角0°〜30°の光に対して、視感度の高い波長430〜600nmの光の平均透過率が96%以上、波長690〜720nmの光の透過率が2%以下、そして、波長600〜690nmの分光透過率曲線を視感度曲線に近似補正する分光透過率を示す。さらに、ノイズ光となる不要な波長700〜1150nmの光の平均透過率が0.4%以下で、入射角0°〜30°の光に対する分光透過率の変化が小さいことがわかる。また、波長600〜900nmで透過率が50%以下である波長658〜900nmにおいて、入射角0°と30°で透過率差が0〜4%であり、透過率変化は30%以下を満足する。
[実施例4]
本例では、光学フィルタ40の製造例を説明する。
まず、実施例2と同じ透明基板13の一方の主面に、表3に示す第1の反射層12aと、表4に示す第2の反射層12bを、図1Dに示す順で成膜する。次に、吸収層の分光透過率に適合させるため、表3に示す第1の反射層の設計波長λを調整し、近赤外反射帯が長波長側に約10nmシフトする構成とする。また、第1、第2の反射層における反射帯が重なる波長域に大きな透過リップルが生じないよう、表3および表4の構成を調整する。
次に、透明基板13の他方の主面に、吸収剤DAとしてλ(DA_Tmin)=705nmのスクアリリウム系化合物と、吸収剤DBとしてλ(DB_Tmin)=765nmのスクアリリウム系化合物を透明樹脂に含有させた近赤外吸収層11を形成する。具体的に、吸収剤DA、DBと、屈折率1.59のポリカーボネー卜樹脂のシク口ペンタノン溶液とを、所定の質量比割合で混合した後、室温で攪拌・溶解して得られた塗工液をダイコート法で塗布し、加熱乾燥させ10μm厚の吸収層を得る。ここで、吸収剤DA、DBは、各々の実効厚比(CL(A),CL(B))が(2.0,2.8)、(2.0,4.0)、(2.6,2.8)、(2.6,4.0)となるよう調整する。なお、吸収層のみの波長550〜800nmの光に対する分光透過率の計算結果は、図11を参照できる。
さらに、吸収層11の空気界面に、TiOとSiOの4層からなる反射防止層14を成膜し、入射角0°〜30°の波長400〜700nmの可視光に対する残留反射率を1.5%以下とした4種の光学フィルタ40(a)〜(d)を得る。図22A、22Bは、光学フィルタ40(a)と40(d)の分光透過率曲線(入射角0°、入射角30°のp/s偏光)の計算結果である。光学フィルタ40(b)および40(c)も、同様の計算結果が得られる。
本例の光学フィルタ40における図11に光学特性が示される吸収層は、上記のとおり(i−4)〜(i−6)の条件を満たし、これと組み合わせた反射層も上記のとおり(ii−3)〜(ii−5)の条件を満たす。
図22A、22Bに示す分光透過率曲線より、実施例4の光学フィルタ40(a)〜(d)はいずれも、下記の光学特性を満足する。即ち、入射角0°〜30°の光に対して、視感度の高い波長430〜600nmの光の平均透過率97%以上、波長690〜720nmの光の透過率が5%以下、そして、波長600〜690nmの分光透過率曲線を視感度曲線に近似補正する分光透過率を示す。さらに、ノイズ光となる不要な波長700〜1150nmの光の平均透過率が0.3%以下で、入射角0°〜30°の光に対する分光透過率の変化が小さいことがわかる。また、波長600〜900nmで透過率が50%以下である波長664〜900nmにおいて、入射角0°と30°で透過率差が0〜6%であり、透過率変化は30%以下を満足する。
このように、実施例1、2の光学フィルタ30(a)〜(d)および光学フィルタ40(a)〜(d)、実施例3、4の光学フィルタ30(a)〜(d)および光学フィルタ40(a)〜(d)は、下記の特性を有する。即ち、これらの光学フィルタは、人間の眼は感度を有しないがRGBカラーフィルタ付き固体撮像素子は感度を有する入射角0°〜30°時の波長700〜1150nmの光を遮光する。そして、入射角0°〜30°時の波長600〜690nmの光の分光透過率の変動が殆どなく、固体撮像素子の分光感度を視感度に近似した分光感度曲線に補正し、さらに、波長430〜600nmの光に対し高い透過率が得られる。とくに、これらの光学フィルタは、波長690〜720nmの光の遮光性が高く、波長650〜700nmの光の透過率が50%以下となる分光透過率曲線の入射角/偏光依存性が殆ど無いため、撮像装置に搭載した場合に色再現性に優れた画像が得られる。また、実施例3、4は、実施例1、2と比べ、波長600〜650nmの光に対する透過率が55〜70%と高く、より光量損失の少ない光学フィルタを提供できる。
[比較例3]
比較例3の光学フィルタは、実施例4で用いた、分光透過率の入射角/偏光依存性が小さい反射層の代わりに、実施例1で用いた反射層を用いる。それ以外は、実施例4と同じ構成の光学フィルタとする。すなわち、吸収層は(i−4)〜(i−6)の条件を満たすが、これと組み合わせる反射層が(ii−3)〜(ii−5)の条件を全て満たさない。よって、波長600〜700nmにおいて、入射角0°〜30°の光に対する、透過率50%となる反射層の分光透過率曲線のシフト量が、実施例4で20nmであったのに対し、本比較例では36nmと拡大する。
図23は、比較例3の光学フィルタにおける分光透過率曲線(入射角0°、入射角30°のp/s偏光)の計算結果である。比較例3の光学フィルタは、波長696〜800nmにおいて、分光透過率の入射角/偏光依存性が殆ど無く、透過率2%以下の遮光性が得られる。しかし、透過率が50%以下である波長668〜692nmにおいて、入射角0°と30°で透過率の差が4〜31%と異なる。即ち、比較例3のように、実施例1の反射層と実施例4の吸収層を組合せる光学フィルタを構成すると、反射層の入射角/偏光依存性により、入射角0°〜30°において、波長668〜692nmの光の遮光性が不十分である。
[比較例4]
比較例4の光学フィルタは、反射層が波長668〜692nmの光に対する透過率の入射角/偏光依存性を低減するため、反射帯が20nm長波長側にシフトするよう、設計波長λを調整した設計とし、それ以外は、比較例3と同じ構成とする。すなわち、吸収層は(i−4)〜(i−6)の条件を満たすが、これと組み合わせる反射層が(ii−3)〜(ii−5)の条件を全て満たさない。
図24は、比較例4の光学フィルタにおける分光透過率曲線(入射角0°、入射角30°のp/s偏光)の計算結果である。比較例4の光学フィルタは、透過率が50%以下である波長668〜700nmにおいて、入射角0°と30°時の光の透過率変化が殆ど無い分光透過率が得られる。また、比較例4の光学フィルタは、入射角30°時の、吸収層のλ(Tmax)近傍の波長715〜734nmの光に対し、透過率0.5%以下を示すが、入射角0°時の上記波長の光に対し、透過率が2%以上で最大10%の透過帯を有する。即ち、比較例4の光学フィルタは、反射層の入射角/偏光依存性により、吸収層の入射角0°〜30°の光に対する波長710〜740nmの光の遮光性が不十分である。
[参考例]
本例の光学フィルタは、実施例4において、透明基板13としてCuOを含有する吸収型ガラス基板(旭硝子(株)製NF−50E)を用い、吸収剤DAとしてλ(DA_Tmin)=705nmのスクアリリウム系化合物のみを透明樹脂に含有させた近赤外吸収層11を用いる。すなわち、吸収層は、吸収剤DAを含有する樹脂層と、吸収剤DBとしてCuOを含有する吸収型ガラス基板と、を有する。それ以外は、実施例4と同じ構成とする。
ここで、吸収型ガラス基板はλ(DB_Tmin)=850nmで、この波長における透過率Tminが約20%となる厚さ0.2mmに加工されている。実施例1〜4の透明樹脂に色素を含有させた吸収剤DBに比べ近赤外吸収波長帯が広いため、可視域の透過率低下を抑えるようにTmin=10〜30%となる吸収型ガラス基板を用いる。
その結果、入射角0°〜30°の光に対して、視感度の高い波長430〜600nmの光の平均透過率94%以上、波長690〜720nmの光の透過率が5%以下、そして、波長600〜690nmの分光透過率曲線を視感度曲線に近似補正する分光透過率を示す。さらに、ノイズ光となる不要な波長700〜1150nmの光の平均透過率が0.3%以下で、入射角0°〜30°の光に対する分光透過率の変化が小さい。また、波長600〜900nmで透過率が50%以下である波長660〜900nmにおいて、入射角0°と30°で透過率差が0〜5%であり、透過率変化は30%以下を満足する。
本発明の光学フィルタは、固体撮像素子を用いたデジタルスチルカメラ、携帯電話カメラ等の撮像装置に用いられる光学フィルタとして有用である。
10,20,30,40…光学フィルタ、11…吸収層、12a…(第1の)反射層、12b…(第2の)反射層、13…透明基板、14…反射防止層、21…固体撮像素子、22…レンズユニット、23…撮像レンズ、24…筐体、100…撮像装置。

Claims (14)

  1. 波長685〜715nmに吸収極大波長λ(DA_Tmin)を有する第1の近赤外線吸収剤(DA)と、波長705〜725nmに吸収極大波長λ(DB_Tmin)を有する第2の近赤外線吸収剤(DB)とを含み、かつ、下記(i−1)〜(i−3)を満たす吸収層と、
    下記(ii−1)〜(ii−2)を満たす誘電体多層膜からなる反射層と、
    を有する光学フィルタ。
    (i−1)10nm≦λ(DB_Tmin)−λ(DA_Tmin)<40nmである。
    (i−2)波長600nmの光の透過率が80%以上、波長650nmの光の透過率が40%以上、波長700nmの光の透過率が3%以下、かつ、波長714nmの光の透過率が10%以下である。
    (i−3)波長580nm〜λ(DA_Tmin)において、透過率が90%、50%、5%となる波長をそれぞれ、λSh(DAB_T90%)、λSh(DAB_T50%)、λSh(DAB_T5%)とすると、
    {λSh(DAB_T50%)−λSh(DAB_T90%)}≧{λSh(DAB_T5%)−λSh(DAB_T50%)}である。
    (ii−1)波長700〜1150nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が5%以下となる反射帯を有する。
    (ii−2)波長680〜750nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が50%となる波長をλ(0°_T50%)とし、前記吸収層の、波長580nm〜λ(DA_Tmin)における透過率が10%となる波長をλSh(DAB_T10%)とし、波長λ(DB_Tmin)〜800nmにおける透過率が5%となる波長をλLo(DAB_T5%)とすると、
    λSh(DAB_T10%)+30nm<λ(0°_T50%)<λLo(DAB_T5%)である。
  2. 波長685〜715nmに吸収極大波長λ(DA_Tmin)を有する第1の近赤外線吸収剤(DA)と、波長725nm超900nm以下に吸収極大波長λ(DB_Tmin)を有する第2の近赤外線吸収剤(DB)とを含み、かつ、下記(i−4)〜(i−6)を満たす吸収層と、
    下記(ii−3)〜(ii−5)を満たす誘電体多層膜からなる反射層と、
    を有する光学フィルタ。
    (i−4)40nm≦λ(DB_Tmin)−λ(DA_Tmin)≦215nmである。
    (i−5)波長600nmの光の透過率が80%以上、波長650nmの光の透過率が40%以上、波長λ(DA_Tmin)の光の透過率が3%以下で、波長λ(DB_Tmin)の光の透過率が3%以下である。
    (i−6)波長580nm〜λ(DA_Tmin)において、透過率が90%、50%、5%となる波長をそれぞれ、λSh(DAB_T90%)、λSh(DAB_T50%)、λSh(DAB_T5%)とすると、
    {λSh(DAB_T50%)−λSh(DAB_T90%)}≧{λSh(DAB_T5%)−λSh(DAB_T50%)}である。
    (ii−3)波長700〜1150nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が5%以下となる反射帯を有する。
    (ii−4)波長680〜750nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が50%となる波長をλ(0°_T50%)とし、前記吸収層の、波長580nm〜λ(DA_Tmin)における透過率が10%となる波長をλSh(DAB_T10%)とすると、
    λSh(DAB_T10%)+20nm<λ(0°_T50%)<λ(Tmax)である。
    ただし、λ(Tmax)は、波長λ(DA_Tmin)〜λ(DB_Tmin)において、前記吸収層の透過率が最大となる波長である。
    (ii−5)波長640〜750nmにおいて、入射角30°のs偏光に対する透過率が50%となる波長をλ(30°_Ts50%)とすると、λ(0°_T50%)とλ(30°_Ts50%)との差δλSh(T50%)は、0nm<δλSh(T50%)≦25nmである。
  3. 前記吸収層は、波長700nm近傍で透過率10%以下となる吸収波長帯域幅Δλabs(T10%)が40nm以上である、請求項1に記載の光学フィルタ。
  4. 入射角0°〜30°の分光透過率曲線において、下記(1)および(2)の条件を満足する請求項1〜3いずれか1項に記載の光学フィルタ。
    (1)波長440〜600nmにおける平均透過率が80%以上である。
    (2)波長690〜720nm全域の透過率が5%以下である。
  5. 入射角0°の分光透過率曲線において、波長350〜390nmの光に対する平均透過率が10%以下である、請求項1〜4いずれか1項に記載の光学フィルタ。
  6. 前記反射層は、入射角30°のp偏光の透過率が15%となる波長λLo(30°_Tp15%)が1150nm超である、請求項1〜5いずれか1項に記載の光学フィルタ。
  7. 前記吸収層は、波長370〜405nmに吸収極大波長λ(DU_Tmin)を有するとともに、波長400〜420nmに透過率50%となる波長λLo(DU_T50%)を有する近紫外線吸収剤を含む、請求項1〜6いずれか1項に記載の光学フィルタ。
  8. 波長600〜900nmにおける分光透過率曲線において、透過率50%以下となる波長の入射角0°の光に対する透過率と入射角30°の光に対する透過率の差が30%以下である、請求項1〜7いずれか1項に記載の光学フィルタ。
  9. 透明基板を有する、請求項1〜8いずれか1項に記載の光学フィルタ。
  10. 前記透明基板は、吸収型ガラスである、請求項9に記載の光学フィルタ。
  11. 前記吸収層は、前記第1の近赤外線吸収剤(DA)を含む樹脂層と、前記第2の近赤外線吸収剤(DB)を含む吸収型ガラスを有する、請求項2〜9いずれか1項に記載の光学フィルタ。
  12. 前記吸収型ガラスは、CuOを含有するフツリン酸塩系ガラスまたはリン酸塩系ガラスである、請求項10または請求項11に記載の光学フィルタ。
  13. 前記第1の近赤外線吸収剤(DA)は、スクアリリウム系化合物、シアニン系化合物、フタロシアニン系化合物、ナフタロシアニン系化合物、ジチオール金属錯体系化合物、ジイモニウム系化合物から選ばれる少なくとも1種を含む、請求項1〜12いずれか1項に記載の光学フィルタ。
  14. 請求項1〜13のいずれか1項に記載の光学フィルタを備えた撮像装置。
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