JPWO2017022432A1 - ロードポート - Google Patents
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Abstract
Description
搬送空間を外部空間から隔離する壁の一部を構成するベースと、
前記ベースに設けられた開口部と、
前記開口部の開閉と、収容物を収容した容器に対する蓋体の固定及び固定の解除が可能なドアと、
前記ベースと前記容器との間をシールする第1シール部材と、
を備え、
前記ドアの前記容器側の端面の少なくとも一部が、前記第1シール部材の前記容器側の端部より前記搬送空間側に位置する。
前記容器が前記開口部に取付けられた状態で、前記容器を前記ベース側に押圧するクランプユニットを有し、
前記クランプユニットにクランプされた前記容器により前記ベース側に押圧された前記第1シール部材の前記容器側の端部より、前記ドアの前記容器側の端面の少なくとも一部が前記搬送空間側に位置する。
前記容器と対向する、前記ドアの端面の一部が、前記搬送空間側に凹む凹部を有する。
前記凹部の形状は、前記容器内の圧力を高めることで膨張した前記蓋体の膨張面に対応する。
前記ベースと前記ドアとの間をシールする第2シール部材を備え、
前記ドアの前記容器側の端面の全てが、前記第1シール部材の前記容器側の端部より前記搬送空間側に位置する。
前記ベースと前記ドアとの間をシールする第2シール部材と、
前記第1シール部材を介して前記容器が前記開口部と当接する状態にあるとき、少なくとも前記第1シール部材、前記第2シール部材、前記蓋体、および前記ドアによって構成された密閉空間と、
前記密閉空間にガスを注入する第1ガス注入部と、
前記密閉空間を排気する第1ガス排出部と、
を備えた。
前記ベースと前記ドアとの間をシールする第2シール部材と、
前記第1シール部材を介して前記容器が前記ベースと当接し、かつ前記第2シール部材を介して前記ドアが前記ベースと当接する状態にあるとき、前記ベース、前記第1シール部材、前記第2シール部材、前記蓋体、および前記ドアによって構成された密閉空間と、
を備え、
前記容器を前記ベースにクランプする際、前記ドアと前記蓋体とが離隔した状態から、前記ドアに向かって前記容器を近づける。
本実施形態のロードポート4には以下の特徴がある。
本実施形態のドア開閉システムには以下の特徴がある。
7 FOUP(容器)
9 搬送空間
41 ベース
50 クランプユニット(クランプ)
72 蓋体
81 ドア部(ドア)
87 第1ガス注入ノズル(第1ガス注入部)
88 第1ガス排出ノズル(第1ガス排出部)
92 開口部
94 Oリング(第1シール部材)
96 Oリング(第2シール部材)
Sd 密閉空間
Claims (7)
- 搬送空間を外部空間から隔離する壁の一部を構成するベースと、
前記ベースに設けられた開口部と、
前記開口部の開閉と、収容物を収容した容器に対する蓋体の固定及び固定の解除が可能なドアと、
前記ベースと前記容器との間をシールする第1シール部材と、
を備え、
前記ドアの前記容器側の端面の少なくとも一部が、前記第1シール部材の前記容器側の端部より前記搬送空間側に位置することを特徴とするロードポート。 - 前記容器が前記開口部に取付けられた状態で、前記容器を前記ベース側に押圧するクランプユニットを有し、
前記クランプユニットにクランプされた前記容器により前記ベース側に押圧された前記第1シール部材の前記容器側の端部より、前記ドアの前記容器側の端面の少なくとも一部が前記搬送空間側に位置することを特徴とする請求項1に記載のロードポート。 - 前記容器と対向する、前記ドアの端面の一部が、前記搬送空間側に凹む凹部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のロードポート。
- 前記凹部の形状は、前記容器内の圧力を高めることで膨張した前記蓋体の膨張面に対応することを特徴とする請求項3に記載のロードポート。
- 前記ベースと前記ドアとの間をシールする第2シール部材を備え、
前記ドアの前記容器側の端面の全てが、前記第1シール部材の前記容器側の端部より前記搬送空間側に位置することを特徴とする請求項1に記載のロードポート。 - 前記ベースと前記ドアとの間をシールする第2シール部材と、
前記第1シール部材を介して前記容器が前記開口部と当接する状態にあるとき、少なくとも前記第1シール部材、前記第2シール部材、前記蓋体、および前記ドアによって構成された密閉空間と、
前記密閉空間にガスを注入する第1ガス注入部と、
前記密閉空間を排気する第1ガス排出部と、
を備えたことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のロードポート。 - 前記ベースと前記ドアとの間をシールする第2シール部材と、
前記第1シール部材を介して前記容器が前記ベースと当接し、かつ前記第2シール部材を介して前記ドアが前記ベースと当接する状態にあるとき、前記ベース、前記第1シール部材、前記第2シール部材、前記蓋体、および前記ドアによって構成された密閉空間と、
を備え、
前記容器を前記ベースにクランプする際、前記ドアと前記蓋体とが離隔した状態から、前記ドアに向かって前記容器を近づけることを特徴とする請求項2から4のいずれか、又は請求項6に記載のロードポート。
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