JPWO2016185602A1 - 回折光学素子 - Google Patents
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Abstract
Description
図12は、実施例1の回折光学素子の格子周期と0次効率及び格子高さとの関係を示す図である。この結果は、RCWA法によって求めたものである。N=2、λ=830ナノメータ、n=1.4847、n0=1であり、式(4)によって求めた格子高さh=856ナノメータである。図12の横軸は、格子周期を表す。横軸の単位は、マイクロメータである。図12の縦軸は、0次効率及び格子高さを表す。0次効率を表す左側の縦軸の単位は、パーセントである。格子高さを表す右側の縦軸の単位は、マイクロメータである。図12の実線は、0次効率を最小とするように修正した格子高さhとその格子高さhとした場合の0次効率を表す。図12の破線は、式(4)によって求めた格子高さh0=856ナノメータと0次効率を表す。格子高さhは、格子周期が10マイクロメータの場合にはh0=856ナノメータとほぼ等しい。格子周期が減少するにしたがって、格子高さhは、一部の区間を除いて単調に増加し、3次の反射光を生じる限界周期Λlimit=1.68マイクロメータで最大値1030ナノメータに達する。さらに格子周期が減少すると、格子高さは減少し、Λ=830ナノメータ以下では、h0=856ナノメータと等しくなる。格子周期が3次の反射光を生じる限界周期Λlimit=1.68マイクロメータの周辺において、格子高さhの場合の0次効率は約6パーセントであるのに対し、格子高さh0=856ナノメータの場合の0次効率は約10パーセントである。このように、格子高さを調整したことによって0次効率が減少している。
F=1−W/Λ
図16は、実施例2の回折光学素子の格子周期と0次効率及び比率Fとの関係を示す図である。この結果は、RCWA法によって求めたものである。N=2、λ=830ナノメータ、n=1.4847、n0=1であり、格子高さは、式(4)によって求めたh0=856ナノメータである。図16の横軸は、格子周期を表す。横軸の単位は、マイクロメータである。図16の縦軸は、0次効率及び比率Fを表す。0次効率を表す左側の縦軸の単位は、パーセントである。図16の実線は、0次効率を最小とするように修正した比率Fとその比率Fとした場合の0次効率を表す。図16の破線は、格子周期によって変化しない一定の比率F0と比率F0の場合の0次効率を表す。一定の比率F0は0.5である。実線で示す比率Fは、格子周期が10マイクロメータの場合にはほぼ0.5である。格子周期が減少するにしたがって、実線で示す比率Fは、一部の区間を除いて単調に増加し、3次の反射光を生じる限界周期Λlimit=1.68マイクロメータの周辺で最大値0.61に達する。さらに格子周期が減少すると、実線で示す比率Fは減少し、Λ=830ナノメータ以下では、0.5となる。格子周期が3次の反射光を生じる限界周期Λlimit=1.68マイクロメータの周辺において、比率Fを調整した場合の0次効率は約4パーセントであるのに対し、比率F0=0.5の場合の0次効率は約11パーセントである。このように、比率Fを調整したことによって0次効率が減少している。
図18は、実施例3の回折光学素子の格子周期と0次効率及び格子高さとの関係を示す図である。この結果は、RCWA法によって求めたものである。N=2、λ=830ナノメータ、n=1.4847、n0=1であり、格子高さは、式(4)によって求めたh0=856ナノメータである。図18の横軸は、格子周期を表す。横軸の単位は、マイクロメータである。図18の縦軸は、0次効率及び格子高さを表す。0次効率を表す左側の縦軸の単位は、パーセントである。格子高さを表す右側の縦軸の単位は、マイクロメータである。比率Fは、格子周期が8マイクロメータ未満では0.55とし、格子周期が8マイクロメータ以上では0.5とした。図18の実線は、0次効率を最小とするように修正した格子高さhとその格子高さhとした場合の0次効率を表す。図18の破線は、式(4)によって求めた格子高さh0=856ナノメータと0次効率を表す。実線で示す修正した格子高さhは、格子周期が10マイクロメータの場合にはh0=856ナノメータとほぼ等しい。格子周期が減少するにしたがって、実線で示す格子高さhは、一部の区間を除いて単調に増加し、3次の反射光を生じる限界周期Λlimit=1.68マイクロメータで最大値990 ナノメータに達する。さらに格子周期が減少すると、実線で示す格子高さは減少し、Λ=830ナノメータ以下では、h0=856ナノメータと等しくなる。格子周期が3次の反射光を生じる限界周期Λlimit=1.68マイクロメータの周辺において、実線で示す格子高さhの場合の0次効率は2パーセント未満であるのに対し、格子高さh0の場合の0次効率は約8パーセントである。このように、格子高さ及び比率Fを調整したことによっていずれか一方を調整した場合よりも0次効率が減少している。
表1は、実施例1乃至実施例3の回折格子の性能をまとめた表である。式(5)によれば、3次反射光を生じる限界周期Λ3、5次反射光を生じる限界周期Λ5、7次反射光を生じる限界周期Λ7は、それぞれ、1.68、2.8及び3.9マイクロメータである。限界周期は、格子周期の下限値であるので、下限周期とも呼称する。
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