JPWO2016167064A1 - エッチングマスク、エッチングマスク前駆体及び酸化物層の製造方法並びに薄膜トランジスタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)該エッチングマスクを除去する工程を別途行う必要がなくなるという、工程削減の効果
(2)例えば酸素プラズマへの曝露又はレジストマスク除去用の薬液への接触(代表的には、浸漬)によるその酸化物の物性への影響を抑制又は排除し得るという、該酸化物の特に電気的特性の保持又は向上の効果。
本発明は、上述の各視点と数多くの分析に基づいて創出された。
24 ゲート電極
32 ゲート絶縁体用前駆体層
34 ゲート絶縁体
42 チャネル用前駆体層
44 チャネル
50 ITO層
56 ドレイン電極
58 ソース電極
80 エッチングマスク
100 薄膜トランジスタ
1.エッチングマスクの前駆体、エッチングマスクの構成、並びにそれらの製造方法
本実施形態においては、脂肪族ポリカーボネート(不可避不純物を含み得る。以下、同じ)をある溶媒(代表的には、有機溶媒)中に溶解させた状態が、「エッチングマスク前駆体」を構成する。また、本実施形態の「エッチングマスク」は、そのエッチングマスク前駆体を加熱することによって、スクリーン印刷法に用いることができる程度に溶媒が除去された状態(代表的には、「ゲル状態」)を表す。
次に、本実施形態における脂肪族ポリカーボネートに着目し、該脂肪族ポリカーボネート及び該脂肪族ポリカーボネートを含む溶液(すなわち、「エッチングマスク前駆体」)について詳述する。
グリセリン、ソルビタン等の多価アルコールエステル;
ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリエーテルポリオール;ポリエチレンイミン等のアミン;
ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸等の(メタ)アクリル樹脂;
イソブチレンまたはスチレンと無水マレイン酸との共重合体、及びそのアミン塩など
である。
なお、後述する各実験例においては、脂肪族ポリカーボネートの例として、ポリプロピレンカーボネートが採用されているが、本実施形態で用いられる脂肪族ポリカーボネートの種類は特に限定されない。例えば、エポキシドと二酸化炭素とを重合反応させた脂肪族ポリカーボネートも、本実施形態において採用し得る好適な一態様である。このようなエポキシドと二酸化炭素とを重合反応させた脂肪族ポリカーボネートを用いることにより、脂肪族ポリカーボネートの構造を制御することで吸熱分解性を向上させられる、所望の分子量を有する脂肪族ポリカーボネートが得られるという効果が奏される。とりわけ、脂肪族ポリカーボネートの中でも酸素含有量が高く、比較的低温で低分子化合物に分解する観点から言えば、脂肪族ポリカーボネートは、ポリエチレンカーボネート、及びポリプロピレンカーボネートからなる群より選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。上述のいずれの脂肪族ポリカーボネートにおいても、その分子量が上述の数値範囲内であれば、本実施形態の効果と同様の効果が奏され得る。
機種:HLC−8020(東ソー株式会社製)
カラム:GPCカラム(東ソー株式会社の商品名:TSK GEL Multipore HXL−M)
カラム温度:40℃
溶出液:クロロホルム
流速:1mL/分
攪拌機、ガス導入管、温度計を備えた1L容のオートクレーブの系内をあらかじめ窒素雰囲気に置換した後、有機亜鉛触媒を含む反応液、ヘキサン、及びプロピレンオキシドを仕込んだ。次に、攪拌しながら二酸化炭素を加えることによって反応系内を二酸化炭素雰囲気に置換し、反応系内が約1.5MPaとなるまで二酸化炭素を充填した。その後、そのオートクレーブを60℃に昇温し、反応により消費される二酸化炭素を補給しながら数時間重合反応を行った。反応終了後、オートクレーブを冷却して脱圧し、ろ過した。その後、減圧乾燥することによりポリプロピレンカーボネートを得た。
酢酸亜鉛、ジエチル亜鉛、ジブチル亜鉛等の有機亜鉛触媒;あるいは、
一級アミン、2価のフェノール、2価の芳香族カルボン酸、芳香族ヒドロキシ酸、脂肪族ジカルボン酸、脂肪族モノカルボン酸等の化合物と亜鉛化合物とを反応させることにより得られる有機亜鉛触媒など
である。
これらの有機亜鉛触媒の中でも、より高い重合活性を有することから、亜鉛化合物と、脂肪族ジカルボン酸と、脂肪族モノカルボン酸とを反応させて得られる有機亜鉛触媒を採用することは好適な一態様である。
まず、攪拌機、窒素ガス導入管、温度計、還流冷却管を備えた四つ口フラスコに、酸化亜鉛、グルタル酸、酢酸、及びトルエンを仕込んだ。次に、反応系内を窒素雰囲気に置換した後、そのフラスコを55℃まで昇温し、同温度で4時間攪拌することにより、前述の各材料の反応処理を行った。その後、110℃まで昇温し、さらに同温度で4時間攪拌して共沸脱水させ、水分のみを除去した。その後、そのフラスコを室温まで冷却することにより、有機亜鉛触媒を含む反応液を得た。なお、この反応液の一部を分取し、ろ過して得た有機亜鉛触媒について、IRを測定(サーモニコレージャパン株式会社製、商品名:AVATAR360)した。その結果、カルボン酸基に基づくピークは認められなかった。
ペンタン、ヘキサン、オクタン、デカン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒;
ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶媒;
クロロメタン、メチレンジクロリド、クロロホルム、四塩化炭素、1,1−ジクロロエタン、1,2−ジクロロエタン、エチルクロリド、トリクロロエタン、1−クロロプロパン、2−クロロプロパン、1−クロロブタン、2−クロロブタン、1−クロロ−2−メチルプロパン、クロルベンゼン、ブロモベンゼン等のハロゲン化炭化水素系溶媒;
ジメチルカーボネート、ジエチルカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネート系溶媒など
である。
本願発明者らは、代表的には以下の実験を行うことにより、脂肪族ポリカーボネートの分子量と、曳糸性及びパターン形状との相関性に関する分析及び検討を入念に行った。その結果、脂肪族ポリカーボネートの分子量の代表的な例として、6千以上40万以下の脂肪族ポリカーボネートの比率が、該脂肪族ポリカーボネート全体の80質量%以上であれば、「ゲル状態」であるエッチングマスクの曳糸性を制御し、良好なパターンを形成することができることを本願発明者らは確認した。なお、以下の各実験例において採用される脂肪族ポリカーボネートは、ポリプロピレンカーボネート(以下、「PPC」ともいう。)である。
脂肪族ポリカーボネートの一例として、以下の(1)〜(10)に示す、質量平均分子量が異なる4種類のPPCの単体を溶解させた上述のエッチングマスク前駆体の試料を調製した。なお、以下の各質量平均分子量は、脂肪族ポリカーボネートのみの数値である。
(1)質量平均分子量が3万のPPC(以下、「試料A」ともいう。)のみ
(2)質量平均分子量が9万のPPC(以下、「試料B」ともいう。)のみ
(3)試料Aと試料Bとを1:1の比率で混合したもの(以下、「試料AB」ともいう。)
(4)質量平均分子量が23万のPPC(以下、「試料C」ともいう)のみ
(5)質量平均分子量が59万のPPC(以下、「試料D」ともいう)のみ
(6)試料Cと試料Dとを1:1の比率で混合したもの(以下、「試料CD」ともいう。)
(7)試料Aと試料Cとを1:1の比率で混合したもの(以下、「試料AC」ともいう。)
(8)試料Bと試料Cとを1:1の比率で混合したもの(以下、「試料BC」ともいう。)
(9)試料Aと試料Dとを1:1の比率で混合したもの(以下、「試料AD」ともいう。)
(10)試料Bと試料Dとを1:1の比率で混合したもの(以下、「試料BD」ともいう。)
機種:HLC−8020(東ソー株式会社製)
カラム:GPCカラム(東ソー株式会社の商品名:TSK GEL Multipore HXL−M)
カラム温度:40℃
溶出液:クロロホルム
流速:1mL/分
上記の方法で得られる、横軸を分子量(Log分子量)、縦軸を溶出割合(dwt/d(log分子量))とするクロマトグラムから、クロマトグラム全領域の面積と分子量が6千以上40万以下の分子量範囲の面積との比率を算出した。得られた結果を表1に示した。
次に、本願発明者らは、実験例1において採用した(1)〜(10)に示す試料について、以下の実験により、平均曳糸長(mm)及びゼロせん断粘度(Pa・s)を測定した。
<計算式>
「評価パラメータ」(mm−1・Pa−1)=L/(D×v×η)
なお、本実施形態の脂肪族ポリカーボネートの分子量の範囲は、上述の各実験例において開示された数値範囲に限定されない。本願発明者らの分析によれば、例えば、分子量が6千以上30万以下の脂肪族ポリカーボネートの比率が、該脂肪族ポリカーボネート全体の75質量%以上であることは、より確度高く曳糸性を制御し、良好なパターンを形成する観点から言えば、さらに好ましい一態様である。
(接触角及び広がり率の評価)
既に述べたとおり、エッチングマスクとしての機能を発揮し得る脂肪族ポリカーボネートは、例えばスクリーン印刷法によって形成されたパターンを用いてエッチング対象をエッチング処理した後は、主として加熱工程によって分解及び/又は除去される対象となる。従って、該エッチングマスクを必要とする時間は、いわば一時的に過ぎない。しかしながら、その一時的な時間を維持するためのパターンの形成作用(換言すれば、バランスの取れた粘度又は塗れ性)を、脂肪族ポリカーボネートを含む溶液(すなわち、「エッチングマスク前駆体)」が有するか否かは、基材上に該溶液を配置したときの、エッチングマスク前駆体とその基材との接触角を評価することが好適な指標になると本願発明者らは考えた。
本実施形態においては、脂肪族ポリカーボネートと、酸化されたときに金属酸化物となる金属の化合物とを混在させる代表的な態様が、「酸化物前駆体」である。従って、この酸化物前駆体の代表的な例は、酸化されたときに金属酸化物となる金属の化合物を、脂肪族ポリカーボネートを含む溶液中に分散させたものである。また、その金属酸化物には、既に述べたとおり、酸化物半導体、酸化物導電体、又は酸化物絶縁体が含まれる。なお、脂肪族ポリカーボネートは、例えば印刷法によって一旦パターンが形成された後においては、最終的に得られる金属酸化物から見れば不純物であるため、主として加熱工程によって分解及び/又は除去される対象となる。
1.本実施形態の薄膜トランジスタの全体構成
図5乃至9B、9D、図10A、図14、及び図15は、それぞれ、半導体素子の一例である薄膜トランジスタ100の製造方法の一過程を示す断面模式図である。なお、図15は、本実施形態における薄膜トランジスタ100の製造方法の一過程及び全体構成を示す断面模式図である。図15に示すように、本実施形態における薄膜トランジスタ100においては、基板10上に、下層から、ゲート電極24、ゲート絶縁体34、チャネル44、ソース電極58及びドレイン電極56の順序で積層されている。また、この半導体素子を備える電子デバイス(例えば、携帯端末や情報家電、あるいはその他の公知の電化製品)の提供ないし実現は、本実施形態の半導体素子を理解する当業者であれば特に説明を要せず十分に理解され得る。また、後述する、各種の酸化物前駆体の層を形成するための工程は、本願における「酸化物前駆体層の形成工程」に含まれる。
(1)ゲート電極の形成
本実施形態においては、ゲート電極24の材料として、酸化されたときに酸化物導電体となる金属の化合物(以下、単に「酸化物導電体」ともいう)を採用することができる。この場合、本実施形態のゲート電極24は、酸化物導電体(但し、不可避不純物を含み得る。以下、この材料の酸化物に限らず他の材料の酸化物についても同じ。)を、脂肪族ポリカーボネートを含む溶液中に分散させた酸化物導電体の前駆体の層(以下、「酸化物導電体の前駆体層」ともいう)を焼成することによって形成される。本実施形態では、図5に示すように、基材であるSiO2/Si基板(以下、単に「基板」ともいう)10上に低エネルギー製造プロセス(例えば、印刷法又はスピンコート法)を用いて出発材であるゲート電極用前駆体溶液を塗布することにより、ゲート電極用前駆体層22を形成することができる。
また、本実施形態においては、ゲート絶縁体34の材料として、酸化されたときに酸化物絶縁体となる金属の化合物(以下、単に「酸化物絶縁体」ともいう)を、脂肪族ポリカーボネートを含む溶液中に分散させた酸化物絶縁体の前駆体の層(以下、「酸化物絶縁体の前駆体層」ともいう)を焼成することによって形成される。
また、本実施形態においては、チャネル44の材料として、酸化されたときに酸化物半導体となる金属の化合物(以下、単に「酸化物半導体」ともいう)を、脂肪族ポリカーボネートを含む溶液中に分散させた酸化物半導体の前駆体の層(以下、「酸化物半導体の前駆体層」ともいう)を焼成することによって形成される。本実施形態では、図9Aに示すように、ゲート絶縁体34上に低エネルギー製造プロセス(例えば、印刷法又はスピンコート法)を用いて出発材であるチャネル用前駆体溶液を塗布することにより、チャネル用前駆体層42を形成することができる。
より具体的に説明すると、図11は、薄膜トランジスタのチャネルを形成するための酸化物半導体の前駆体を構成する、第1の実施形態の酸化物前駆体を構成材の一例であるインジウム−亜鉛含有溶液のTG−DTA特性を示すグラフである。また、図12は、薄膜トランジスタの構成要素(例えば、チャネル)を形成するための脂肪族ポリカーボネートのみを溶質とする溶液(エッチングマスク前駆体の代表例)の一例であるポリプロピレンカーボネート溶液のTG−DTA特性の一例を示すグラフである。なお、図11及び図12に示すように、各図中の実線は、熱重量(TG)測定結果であり、図中の点線は示差熱(DTA)測定結果である。
次に、具体的なチャネル44のパターンの形成方法について説明する。なお、このチャネル44のパターンの形成方法の一部又はほぼ全部は、上述の酸化物導電体又は酸化物絶縁体(すなわち、各種の酸化物層)の製造にも適用し得る。
さらにその後、チャネル44の形成方法と同様に、チャネル44上にパターニングされた本実施形態のエッチングマスク80の層を形成した。続いて、図14に示すように、チャネル44及びエッチングマスク80上に、公知のスパッタリング法により、ITO層50を形成する。本実施形態のターゲット材は、例えば、5wt%酸化錫(SnO2)を含有するITOであり、室温〜100℃の条件下において形成される。その後、約250℃に加熱することによってエッチングマスク80が除去されると、チャネル44上に、ITO層50によるドレイン電極56及びソース電極58が形成される。その結果、図15に示すように、薄膜トランジスタ100が製造される。なお、エッチングマスク80の代わりに、従来技術のフォトリソグラフィー法を用いた公知のレジスト層のパターンを活用することも、採用し得る他の一態様である。
本実施形態の薄膜トランジスタは、第2の実施形態におけるチャネルの焼成工程(本焼成)後に、エッチングマスク80を用いたエッチング処理が行われている点を除き、第2の実施形態の薄膜トランジスタ100の製造工程及び構成と同様である。従って、第1又は第2の実施形態と重複する説明は省略する。
また、第2の実施形態又は第2の実施形態の変形例(1)においては、酸化物前駆体層を溶解する溶液又は酸化物層を溶解する溶液である所定のエッチング溶液に接触させる接触工程によってチャネル44のパターンを形成しているが、第2の実施形態はエッチング溶液を用いた処理に限定されない。例えば、第2の実施形態の酸化物半導体の前駆体層であるチャネル用前駆体層42をエッチングするための公知のガスのプラズマに曝露する曝露工程を用いて、エッチングマスク80によって保護されていない領域の該チャネル用前駆体層42をエッチングすることも採用し得る一態様である。その結果、該プラズマに曝露されていない領域のチャネル用前駆体層42は、その後に加熱工程が施されることにより、チャネル44となる。加えて、その加熱工程によってエッチングマスク80を分解及び/又は除去することが可能となる。その結果、1つの処理(加熱工程)によって、チャネル44の形成とともにエッチングマスク80の分解及び/又は除去を実現することができる。また、第2の実施形態の変形例(1)において説明した例も、この変形例(2)を適用し得る。具体的には、酸化物半導体層であるチャネル44が形成された後に、プラズマに曝露する曝露工程によってチャネル44のパターンを形成する工程も、採用し得る他の一態様である。上述のいずれの場合であっても、パターンが形成されたチャネル44は、半導体としての整流性を有することができる。
また、第2の実施形態においては、チャネル44のパターンを形成するために、スクリーン印刷法によって形成されたエッチングマスク80が活用されているが、その他の層(例えば、酸化物導電体の層又は酸化物絶縁体の層)のパターンを形成するために、スクリーン印刷法によって形成されたエッチングマスク80を活用することも、採用し得る他の一態様である。上述のその他の層についてエッチングマスク80を採用した場合であっても、パターンが形成された酸化物導電体の層は導電性を備えることができ、パターンが形成された酸化物絶縁体の層は絶縁性を備えることができる。
ところで、上述の各実施形態においては、酸化物前駆体層又は酸化物層がエッチング処理の対象であったが、上述の各実施形態はそれらの例に限定されない。例えば、金属の一部をエッチングすることによって該金属のパターンを形成するために、上述の各実施形態のエッチングマスクを用いることができる。
また、例えば、絶縁体の一部をエッチングすることによって該絶縁体のパターンを形成するために、上述の各実施形態のエッチングマスクを用いることができる。図18は、第1の実施形態のエッチングマスクを用いた二酸化シリコン層(SiO2)のエッチング処理結果を示す平面写真である。
ところで、上述の第2の実施形態及びその変形例においては、いわゆる逆スタガ型の構造を有する薄膜トランジスタが説明されているが、上述の各実施形態はその構造に限定されない。例えば、スタガ型の構造を有する薄膜トランジスタのみならず、ソース電極、ドレイン電極、及びチャネルが同一平面上に配置される、いわゆるプレーナ型の構造を有する薄膜トランジスタであっても、上述の各実施形態の効果と同様の効果が奏され得る。さらに、上述の各実施形態のチャネル(すなわち、酸化物半導体層)が基材又は基板上に形成されることも採用し得る他の一態様である。
Claims (20)
- 脂肪族ポリカーボネートを含む、
スクリーン印刷用のエッチングマスク。 - 180℃以上の加熱によって、実質的に消失又は除去する前記脂肪族ポリカーボネートを含む、
請求項1に記載のエッチングマスク。 - 分子量が6千以上40万以下の前記脂肪族ポリカーボネートの比率が該脂肪族ポリカーボネート全体の80質量%以上である、前記脂肪族ポリカーボネートを含むエッチングマスク前駆体から形成される、
請求項1又は請求項2に記載のエッチングマスク。 - ティー・エイ・インスツルメント社製レオメーター(AR−2000EX)を用いて測定したゼロせん断粘度ηの前記脂肪族ポリカーボネートの溜まり中に、ポリテトラフルオロエチレン(polytetrafluoroethylene)製の直径がDである円柱棒を沈めた後に、前記円柱棒を速度vで引き上げたときの、前記脂肪族ポリカーボネートの溜まりの最表面からの曳糸長Lが測定された場合に、L/(D×v×η)の値が0.25mm−1Pa−1以上である前記脂肪族ポリカーボネートを含むエッチングマスク前駆体から形成される、
請求項1又は請求項2に記載のエッチングマスク。 - 前記エッチングマスク前駆体が基材上に配置されてから30秒後に、前記エッチングマスク前駆体の基材に対する接触角が、30°以上36°以下であるか、あるいは、前記エッチングマスク前駆体が基材上に配置されてから120秒後に、前記エッチングマスク前駆体の基材に対する接触角が、26°以上32°以下である、
請求項3又は請求項4に記載のエッチングマスク。 - エッチングの対象が酸化物層であり、
前記酸化物層の上にパターンが形成される前記エッチングマスクであって、
前記酸化物層を溶解する溶液に前記エッチングマスクを接触させた後に、前記エッチングマスクが分解する温度以上に加熱されることにより、前記パターンによって保護されていた前記酸化物層が整流性を示す、
請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のエッチングマスク。 - エッチングの対象が、酸化したときに酸化物層となる酸化物前駆体層であり、
前記酸化物前駆体層の上にパターンが形成される前記エッチングマスクであって、
前記酸化物前駆体層を溶解する溶液に前記エッチングマスクを接触させた後に、前記酸化物層が形成される温度以上に加熱されることにより、前記パターンによって保護されていた前記酸化物層が整流性を示す、
請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のエッチングマスク。 - エッチングの対象が酸化物層であり、
前記酸化物層の上にパターンが形成される前記エッチングマスクであって、
前記酸化物層をエッチングするプラズマに前記エッチングマスクが曝露された後に、前記エッチングマスクが分解する温度以上に加熱されることにより、前記パターンによって保護されていた前記酸化物層が整流性を示す、
請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のエッチングマスク。 - エッチングの対象が、酸化したときに酸化物層となる酸化物前駆体層であり、
前記酸化物前駆体層の上にパターンが形成される前記エッチングマスクであって、
前記酸化物前駆体層をエッチングするプラズマに前記エッチングマスクが曝露された後に、前記酸化物層が形成される温度以上に加熱されることにより、前記パターンによって保護されていた前記酸化物層が整流性を示す、
請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のエッチングマスク。 - 前記脂肪族ポリカーボネートが、ポリエチレンカーボネート及びポリプロピレンカーボネートからなる群から選ばれる少なくとも1種である、
請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載のエッチングマスク。 - 脂肪族ポリカーボネートを含む、
スクリーン印刷用のエッチングマスク前駆体。 - 180℃以上の加熱によって、実質的に消失又は除去する前記脂肪族ポリカーボネートを含む、
請求項11に記載のスクリーン印刷用のエッチングマスク前駆体。 - 分子量が6千以上40万以下の前記脂肪族ポリカーボネートの比率が該脂肪族ポリカーボネート全体の80質量%以上である、前記脂肪族ポリカーボネートを含む、
請求項11又は請求項12に記載のスクリーン印刷用のエッチングマスク前駆体。 - ティー・エイ・インスツルメント社製レオメーター(AR−2000EX)を用いて測定したゼロせん断粘度ηの前記脂肪族ポリカーボネートの溜まり中に、ポリテトラフルオロエチレン(polytetrafluoroethylene)製の直径がDである円柱棒を沈めた後に、前記円柱棒を速度vで引き上げたときの、前記脂肪族ポリカーボネートの溜まりの最表面からの曳糸長Lが測定された場合に、L/(D×v×η)の値が0.25mm−1Pa−1以上である前記脂肪族ポリカーボネートを含む、
請求項11又は請求項12に記載のスクリーン印刷用のエッチングマスク前駆体。 - 酸化物層上に、スクリーン印刷法によって脂肪族ポリカーボネートを含むエッチングマスクのパターンを形成するエッチングマスク形成工程と、
前記エッチングマスク形成工程の後、前記エッチングマスクによって保護されていない前記酸化物層を溶解する溶液に接触させる接触工程と、
前記接触工程の後、前記酸化物層及び前記エッチングマスクを前記エッチングマスクが分解する温度以上に加熱する加熱工程とを含む、
酸化物層の製造方法。 - 酸化されたときに酸化物層となる酸化物前駆体層上に、スクリーン印刷法によって脂肪族ポリカーボネートを含むエッチングマスクのパターンを形成するエッチングマスク形成工程と、
前記エッチングマスク形成工程の後、前記エッチングマスクによって保護されていない前記酸化物前駆体層を溶解する溶液に接触させる接触工程と、
前記接触工程の後、前記酸化物前駆体層及び前記エッチングマスクを、前記酸化物層が形成される温度以上に加熱する加熱工程とを含む、
酸化物層の製造方法。 - 酸化物層上に、スクリーン印刷法によって脂肪族ポリカーボネートを含むエッチングマスクのパターンを形成するエッチングマスク形成工程と、
前記エッチングマスク形成工程の後、前記エッチングマスクによって保護されていない前記酸化物層をエッチングするプラズマに曝露する曝露工程と、
前記曝露工程の後、前記酸化物層及び前記エッチングマスクを前記エッチングマスクが分解する温度以上に加熱する加熱工程とを含む、
酸化物層の製造方法。 - 酸化されたときに酸化物層となる酸化物前駆体層上に、スクリーン印刷法によって脂肪族ポリカーボネートを含むエッチングマスクのパターンを形成するエッチングマスク形成工程と、
前記エッチングマスク形成工程の後、前記エッチングマスクによって保護されていない前記酸化物前駆体層をエッチングするプラズマに曝露する曝露工程と、
前記曝露工程の後、前記酸化物前駆体層及び前記エッチングマスクを、前記酸化物層が形成される温度以上に加熱する加熱工程とを含む、
酸化物層の製造方法。 - 前記加熱工程において、前記酸化物前駆体層及び/又は前記エッチングマスクに対して紫外線を照射しながら有機物が分解される温度以上に加熱する、
請求項15乃至請求項18のいずれか1項に記載の酸化物層の製造方法。 - 請求項15乃至請求項19のいずれか1項に記載の酸化物層の製造方法の前記加熱工程によって形成された、前記エッチングマスクによって保護されていた前記酸化物層を、ゲート絶縁体を介在させてゲート電極に接するように形成する酸化物層形成工程を含む、
薄膜トランジスタの製造方法。
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