JPWO2016117512A1 - 導電性基板、および導電性基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ところで、近年タッチパネルを備えたディスプレイの大画面化が進んでおり、これに対応してタッチパネル用の透明導電性フィルム等の導電性基板についても大面積化が求められている。しかし、ITOは電気抵抗値が高いため、導電性基板の大面積化に対応できないという問題があった。
透明基材と、
前記透明基材の少なくとも一方の面側に形成された銅層と、
前記透明基材の少なくとも一方の面側に形成され、酸素、銅、ニッケル及びモリブデンを含有し、前記酸素を5原子%以上60原子%以下含有する黒化層と、を備えた導電性基板を提供する。
(導電性基板)
本実施形態の導電性基板は、透明基材と、
透明基材の少なくとも一方の面側に形成された銅層と、
透明基材の少なくとも一方の面側に形成され、酸素、銅、ニッケル及びモリブデンを含有し、酸素を5原子%以上60原子%以下含有する黒化層(以下、単に「黒化層」とも記載する)とを備えた構成とすることができる。
(導電性基板の製造方法)
次に本実施形態の導電性基板の製造方法の構成例について説明する。
透明基材を準備する透明基材準備工程と、
透明基材の少なくとも一方の面側に銅層を形成する銅層形成工程と、
透明基材の少なくとも一方の面側に酸素、銅、ニッケル及びモリブデンを含有し、酸素を5原子%以上60原子%以下含有する黒化層を形成する黒化層形成工程と、を有することが好ましい。
(評価方法)
(1)光学特性(反射率、明度、色度)
以下の実験例2、実験例3において作製した導電性基板について、光学特性(反射率)の測定を行い、必要に応じて測定した光学特性(反射率)から明度(L*)、色度(a*、b*)を算出した。
(2)溶解試験
以下の実験例1、実験例3において作製した、透明基材上に黒化層を形成した試料をエッチング液に浸漬して黒化層の溶解試験を行った。
(3)EDS分析
実験例1、実験例3において作製した、透明基材上に黒化層を形成した試料の黒化層の組成について、SEM−EDS装置(SEM:日本電子株式会社製 型式:JSM−7001F、EDS:サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社製 型式:検出器 UltraDry 解析システム NORAN System 7)によりEDS分析を行った。
(4)シート抵抗
実験例1において作製した、透明基材上に黒化層を形成した試料について、黒化層のシート抵抗の評価を行った。
[実験例1]
実験例1においては、以下に示す実験例1−1−1〜実験例1−1−14の14種の試料を作製し、黒化層の組成についてのEDS分析、溶解試験、及びシート抵抗評価を実施した。また、実験例1−2−1〜実験例1−2−4の4種の試料を作製し、溶解試験を実施した。
(1)銅−ニッケル−モリブデン混合焼結ターゲットの作製
実験例1、2において黒化層を成膜する際に用いるためにまず、銅−ニッケル−モリブデン混合焼結のターゲットを作製した。以下に具体的な手順を示す。
(2)実験例1−1−1〜実験例1−1−14、実験例1−2−1〜実験例1−2−4の試料の作製条件
(実験例1−1−1〜実験例1−1−7)
まず、透明基材であるPET基材上に、酸素、銅、ニッケル、及びモリブデンを含有する黒化層を形成した試料(実験例1−1−1〜実験例1−1−7)を作製した。具体的な手順について、以下に説明する。
(実験例1−1−8〜実験例1−1−12)
また、作製した実験No.4の焼結体(組成が60Cu−25Ni−15Mo)から得られた混合焼結ターゲットを使用して、実験例1−1−8〜実験例1−1−12の5種の試料を作製した。なお、実験例1−1−8〜実験例1−1−12では、ターゲットを変更し、黒化層の成膜時にチャンバー内に供給する酸素ガスとアルゴンガスとの比、及びターゲットに供給する電力量を表2に示した値にした点以外は、実験例1−1−1〜実験例1−1−7と同様にして試料を作製した。
(実験例1−1−13)
作製した実験No.6の焼結体(組成が28Cu−67Ni−5Mo)から得られた混合焼結ターゲットを使用して、実験例1−1−13の試料を作製した。なお、実験例1−1−13では、ターゲットを変更し、黒化層の成膜時にチャンバー内に供給する酸素ガスとアルゴンガスとの比、及びターゲットに供給する電力量を表2に示した値にした点以外は、実験例1−1−1〜実験例1−1−7と同様にして試料を作製した。
(実験例1−1−14)
作製した実験No.7の焼結体(組成が20Cu−76Ni−4Mo)から得られた混合焼結ターゲットを使用して、実験例1−1−14の試料を作製した。なお、実験例1−1−14では、ターゲットを変更し、黒化層の成膜時にチャンバー内に供給する酸素ガスとアルゴンガスとの比、及びターゲットに供給する電力量を表2に示した値にした点以外は、実験例1−1−1〜実験例1−1−7と同様にして試料を作製した。
(実験例1−2−1〜実験例1−2−4)
また比較のため、酸素、銅、ニッケル、モリブデンを含有する黒化層にかえて、モリブデンの酸化膜を形成した点以外は、それぞれ上述の実験例1−1−1〜実験例1−1−4と同様にして実験例1−2−1〜実験例1−2−4の試料を作製した。実験例1−2−1〜実験例1−2−4は、使用するターゲットを42Cu−42Ni−16Mo混合焼結ターゲットから、Moターゲットに変更した以外はそれぞれ実験例1−1−1〜実験例1−1−4と同じ条件で試料を作製した。
(3)評価結果
以下に、実験例1−1−1〜実験例1−1−14、実験例1−2−1〜実験例1−2−4で作製した試料の評価結果を説明する。
(黒化層の組成評価:EDS分析結果)
実験例1−1−1〜実験例1−1−14で作製した試料について、EDSを用いて黒化層の組成分析を行った。測定結果を表2に示す。
(溶解試験結果)
実験例1−1−1〜実験例1−1−5、実験例1−1−8、実験例1−1−10〜実験例1−1−14で作製した試料について、エッチング液として塩化第二鉄10質量%と、塩酸10質量%と、残部が水からなる水溶液を用いて、25℃で溶解試験を行った。その結果を表3に示す。
表3に示した結果によると、実験例1−1−1〜実験例1−1−5、実験例1−1−8、実験例1−1−10〜実験例1−1−14のいずれの試料においてもエッチング液に試料を浸漬後、30秒以内に黒化層が溶解していることが確認できた。すなわち、これらの実験例の黒化層は、銅層と同等の溶解性を示すことが確認できた。
表5から、黒化層を成膜する際にチャンバーへの供給ガス中の酸素比率が10体積%〜25体積%である実験例1−1−1〜実験例1−1−4では、いずれの試料についてもシート抵抗は1kΩ/□未満であり、十分小さいことが確認できた。これに対して、黒化層を成膜する際にチャンバーへの供給ガス中の酸素比率が30体積%である実験例1−1−5では急激にシート抵抗が増加することが確認できた。
[実験例2]
次に、実験例1で行った予備実験の結果を参考に導電性基板を作製し、その評価を行った。
(実験例2−1)
ここではまず、実験例2−1の導電性基板の作製手順を例に説明する。
(実験例2−2〜実験例2−4)
実験例2−2〜実験例2−4については黒化層の成膜条件を変更した点以外は実験例2−1と同様にして導電性基板を作製した。
(実験例2−5)
実験例2−5については、黒化層の膜厚を38nmとした点以外は実験例2−4と同様にして導電性基板を作製した。
(実験例2−6)
実験例2−6については、黒化層の膜厚を50nmとした点以外は実験例2−4と同様にして導電性基板を作製した。
(実験例2−7)
実験例2−7については、銅層までは実験例2−1と同様にして作製した後、銅層上に黒化層の膜厚を25nmとした点以外は、実験例1−1−5と同じ条件で黒化層を成膜した。
(実験例2−8)
実験例2−8については黒化層の成膜条件を変更した点以外は実験例2−1と同様にして導電性基板を作製した。
(実験例2−9)
実験例2−9については黒化層の成膜条件を変更した点以外は実験例2−1と同様にして導電性基板を作製した。
(実験例2−10)
実験例2−10については黒化層の成膜条件を変更した点以外は実験例2−1と同様にして導電性基板を作製した。
(実験例2−11)
実験例2−11については黒化層の成膜条件を変更した点以外は実験例2−1と同様にして導電性基板を作製した。
(実験例2−12)
実験例2−12については、銅層までは実験例2−1と同様にして作製した後、銅層上に黒化層にかえてモリブデンの酸化膜を成膜した。モリブデンの酸化膜は、膜厚を25nmとした点以外は実験例1−2−4と同様にして成膜した。
(光学特性:反射率の評価)
作製した実験例2−1〜実験例2−12の導電性基板について反射率測定を実施した。その結果を表6にまとめて示す。また、一部の試料の反射率の波長依存性を図5に示す。
実施例である実験例2−1から実験例2−11の導電性基板における、波長550nmの光の反射率、及び波長が350nm以上780nm以下の範囲の光に対する反射率の平均値である可視光平均反射率はいずれも、30%未満であることが確認できた。
[実験例3]
実験例3ではまず、透明基材であるPET基材上に、酸素、銅、ニッケル、及びモリブデンを含有する黒化層を形成した試料である、実験例3−1−1〜実験例3−1−4の試料を作製し、黒化層の組成についてのEDS分析、溶解試験を実施した。
(実験例3−1−1、実験例3−1−2)
本実験例では、透明基材であるPET基材上に、酸素、銅、ニッケル、及びモリブデンを含有する黒化層を形成した試料を作製した。
(実験例3−1−3、実験例3−1−4)
本実験例では、透明基材であるPET基材上に、酸素、銅、ニッケル、及びモリブデンを含有する黒化層を形成した試料を作製した。
表7に示した結果から、46Cu−46Ni−8Moの熔解合金ターゲット、または49Cu−43Ni−8Moの熔解合金ターゲットを用いた場合でも、黒化層はいずれも銅、ニッケル、モリブデン、酸素を含有することが確認できた。
(実験例3−2−1、実験例3−2−2)
まず、実験例3−2−1、実験例3−2−2のいずれの導電性基板においても、実験例2−1と同様にして透明基材の一方の面上に銅薄膜層、及び銅めっき層を有する銅層を形成した。
(実験例3−2−3、実験例3−2−4)
まず、実験例3−2−3、実験例3−2−4のいずれの導電性基板においても、実験例2−1と同様にして透明基材の一方の面上に銅薄膜層、及び銅めっき層を有する銅層を形成した。
表9に示した結果によると、いずれの試料においても波長550nmの光の反射率、及び波長が350nm以上780nm以下の範囲の光に対する反射率の平均値である可視光平均反射率はいずれも、30%未満であることが確認できた。
11、11A、11B 透明基材
12、12A、12B 銅層
13、13A、13B、131、132、131A、131B、132A、132B、32A、32B 黒化層
31A、31B 配線
Claims (7)
- 透明基材と、
前記透明基材の少なくとも一方の面側に形成された銅層と、
前記透明基材の少なくとも一方の面側に形成され、酸素、銅、ニッケル及びモリブデンを含有し、前記酸素を5原子%以上60原子%以下含有する黒化層と、を備えた導電性基板。 - 前記黒化層は、
前記黒化層の銅とニッケルとモリブデンとの含有量を100原子%とした場合に、前記モリブデンの含有量が2原子%以上70原子%以下である請求項1に記載の導電性基板。 - 前記銅層は厚さが100nm以上であり。
前記黒化層は厚さが20nm以上である請求項1または2に記載の導電性基板。 - 波長550nmの光の反射率が30%以下である請求項1乃至3のいずれか一項に記載の導電性基板。
- メッシュ状の配線を備えた請求項1乃至4のいずれか一項に記載の導電性基板。
- 透明基材を準備する透明基材準備工程と、
前記透明基材の少なくとも一方の面側に銅層を形成する銅層形成工程と、
前記透明基材の少なくとも一方の面側に、酸素、銅、ニッケル及びモリブデンを含有し、前記酸素を5原子%以上60原子%以下含有する黒化層を形成する黒化層形成工程と、を有する導電性基板の製造方法。 - 前記黒化層形成工程は、
銅−ニッケル−モリブデンターゲットを用い、
酸素を5体積%以上45体積%以下の割合で含有するガスをチャンバー内に供給しながらスパッタリング法により、前記黒化層を成膜する請求項6に記載の導電性基板の製造方法。
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