JPWO2016056620A1 - 空洞管の研磨用ロータ - Google Patents

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Abstract

内管に対して摺動自在に外管が嵌挿され、外管の周壁には少なくとも1つの窓を設ける。当該窓に対応する位置の内管には、板羽根の基端部が、主軸に直角な方向の副軸に回動自在に固定される。リンクバーを主軸方向に前記外管と前記板羽根に渡って配設し、前記外管に対して主軸方向に相対的に内管を移動させることによって、前記板羽根を閉じた状態(収納状態)と、開いた状態(稼動状態)との間で遷移が可能な構成とした空洞管の研磨用ロータ。羽根の先端には電解研磨用の電極、または機械研磨用のバフが固定され、これによって、板羽根の位置を調節でき研磨状態のコントロールができる。

Description

本発明は空洞管の内面を電解研磨するためのロータに関する。
陽電子と電子を衝突させ、ビッグバン状態を形成する装置としてリニアコライダが建設されようとしている(ILC計画)。リニアコライダには図13に示すように、両端にフランジ101a、101bを有し、軸方向に周期的に径が変化するニオブの空洞管100が使用される。この実験で所定の効果を得るための要素の1つとして、このニオブの空洞管100の内面が平滑になっているか否かがある。
ところが、空洞管100は、成形時に過大な圧力や熱を掛けるところから、その内表面の組織は不均一に歪んだ状態となっている。この表面状態をこのままにしておくと、電気的特性、磁気的特性も不均一な状態となり、結果として、電子や陽子に所定の速度を与えることができなくなる。そこで、空洞管の内面を所定の厚さ、研磨する方法が開発されている。
ニオブ空洞管を研磨する方法としては、化学的に研磨する方法(以後「化学研磨」と称す)及び電気化学的に研磨する方法(以後「電解研磨」と称す)更にバフ研磨等の機械研磨の3種類が知られている。
電解研磨については以下のような例がある。
特公昭55−12116号には、ニオブの空洞管の両端開口部を水平にした状態で、フッ酸、硫酸、水からなる研磨液中に空洞管の下半分を部分浸漬して、停止状態で短時間通電して部分電解研磨し、次いで通電を停止したのち回転させ、酸化膜を溶解除去することを何回も繰り返して行う間歇的な電解研磨が開示されている。
この方法は本来、研磨を必要としない空洞管の外面をも同時に研磨することになり、空洞管の不要な溶解ロスが発生するとともに、研磨液が不要に消耗し、また汚染することになる。また、研磨が間歇的であることによる、研磨段差が発生し、加えて、揮散性が高く有害な泡(ガス)を発生するフッ酸と、発熱性の高い硫酸を扱う極めて危険性の高い作業となっている。
特開昭61−23799号に開示の発明は、ニオブの空洞管を回転させながら、通液パイプに連通する吹出孔から研磨液を送液し、部分浸漬状態で連続電解しようとするようになっている。この構成で、研磨時間の短縮が計れると同時に無駄にニオブ材の溶解を起こさず、従って、研磨液の不要な汚染や消耗が抑制されることになる。
しかしながら、通液パイプに設けた吹出孔を研磨液中に開口して、研磨液を貯留した研磨液中に吐出させるようにしているので、研磨液の流速の差が研磨の状態に現れ、ニオブの空洞管の内面に研磨外観ムラを生じるという問題があった。
特開平11−350200号に開示の発明は、基本的に上記特開昭61−23799号に開示の発明と同じであるが、前記通液パイプに設けた吹出孔を、研磨される側と反対側である研磨液の上側に開口させて、貯留した研磨液に直接研磨液が流れ込まないようにして、研磨の均一化を図ろうとしている。
本願出願人は、PCT/JP2013/68593で、空洞管の膨らみの形状に符合する単翼の集合よりなる翼電極を、空洞管の内部で回転させて電解研磨ができる構成の電極を提案している。この電極は収納状態と稼動状態の間で遷移させることができ、規則的な膨らみを備えた空洞管への取り付けと取り外しが容易である構成となっている。
機械研磨としては、特開2000−71164号に、空洞管100の内部に砥粒をいれて空洞管を自転させながら公転させる研磨方法が開示されている。
特公昭55-12116号公報 特開昭61-23799号公報 特開平11−350200号公報 PCT/JP2013/68593 特開2000−71164号公報
上記特許文献1〜3の電解研磨方法においては、陰極となる通液パイプは直線状であり、研磨対象物である空洞管の内表面は、前記したように波形状に内径が変化している。したがって、陽極となる空洞管の内表面の各部分と陰極との距離が均一ではなく、電流は距離の短い部分に集中し、距離の大きい部分について、所定の厚みの研磨を使用とすると、膨大な時間を要することになり、コストが上がることになる。
また、上記特許文献1〜3の電解研磨方法においては、空洞管を水平に保ち、下側に研磨液を貯留して、研磨をする構成となっている。このとき、研磨液の上側に空洞を残しており、この部分にフッ化水素等、研磨液からでる泡が一時的であっても溜まることになり、研磨が進んだとしても、発生した泡により研磨された表面が変質する怖れがある。
更に、特開平11-350200号に開示の技術では、空洞管を設置したり、研磨液を充填するときは当該空洞管を縦にし、研磨作業時は横にし、さらに廃液作業時は再び縦にする等、作業工程が非常に複雑になる。
PCT/JP2013/68593の構成は、単翼が空洞管の内面形状に沿った形状をしているので、研磨の均一性が確保できることになり、上記の3つの構成(方法)よりも遥かに優れた精度での研磨ができる。しかしながら、発生する泡の影響で、膨らみの下側より上側の方がやや研磨厚が大きい傾向がある。
機械研磨としての特開2000−71164号に開示の技術は、自転と公転を併用する構成であって、研磨対象物の管径が軸方向に変化する場合は、研磨の仕上がり状態が径の変化に対応できずに部分によって異なった仕上がりになる。特に、上記リニアコライダに用いられる空洞管では、径の大きくなる膨らみ部分の研磨状態が充分ではなくなる。本願出願人は、空洞管として仕上げる前に、小径部を研磨する方法と治具を特願2013−198073号で提案しているが、この技術を用いても、空洞管として組み上がった後の大径部(熔接部)の内面の研磨をする作業が残されている。
本発明は、空洞管の内面を均一に研磨することができる機械研磨用ロータを提供することを目的とするものである。
本発明は空洞管の内面を研磨するロータであって、以下の構成を採っている。
内管に対して外管が摺動自在に、嵌挿される。外管の周壁には少なくとも1つの窓が設けられ、当該窓に対応する位置の内管に、板羽根の基端部が主軸(内管、外管の共通軸)に直角な方向の副軸に回動自在に固定され、主軸方向にリンクバーを前記外管と前記板羽根に渡って配設し、前記外管に対して内管を主軸方向に相対的に移動させることによって、前記板羽根を閉じた状態(収納状態)と、開いた状態(稼動状態)との間で遷移が可能な構成とする。
この構成で、更に、板羽根の先端に電極を取り付けることによって、前記稼動状態で、電解研磨をすることができる。また、板羽根は空洞管の内面で、前記水平以外に角度を調整することができる構成とすることができる。
全体を絶縁性の網または布のカバーで当該ロータを覆い、電解研磨すると、気泡は空洞管を傷めずに気泡通過口から外部に排出されることになる。
更に、板羽根の先端にバフを取り付け、前記稼動状態で当該バフの先端が空洞管の大径部の内面に当接する構成とすることができる。
板羽根の先端に電極を取り付けて、水平に稼動状態に開いた状態では、空洞管の大径部を研磨することができ、この部分の熔接による酸化や、熔接のフラックスを除去することができる。また、板羽根の角度を空洞管の内部で、調整することによって、空洞管の内面全体を電解研磨することができる。
板羽根の先端にバフを取り付けて、空洞管の膨らみの頂点の位置(熔接位置)に前記バフに当接する構成とすることによって、この部分のバフ研磨をすることができ、前記電解研磨同様、この部分の熔接による酸化や、熔接のフラックスを除去することができることになる。
図1は本発明の使用状態を示す側面図。 図2は電解研磨用のロータの構成を示す側断面図。 図3は電解研磨用のロータの構成を示す平断面図。 図4は電解研磨用のロータの構成を示す斜視図。 図5は板羽根を略180度開いた状態を示す側面図。 図6はガス抜き構造を示す図。 図7はスクリュウ機能を持たせた羽根板を示す図。 図8は機械研磨用のロータの構成を示す側断面図。 図9は機械研磨用のロータの使用状態を示す側面図。 図10は機械研磨用の別のロータの使用状態を示す側面図。 図11は機械研磨用のロータの別の構成を示す側断面図。 図12は空洞管の形成過程を示す図。 図13は本発明が適用される空洞管の側面図。
<空洞管の形成手順>
本願で研磨の対象となるのは、管体等の空洞管であるが、特に、前記図13に示す軸方向に周期的に径が変化する(膨らみ部が周期的に配列された)空洞管を意図している。当該空洞管の大径部(膨らみの最奥部)の研磨が重要であるが、その理由は空洞管の形成過程との関連がある。
空洞管100を形成するについて、まず、図12(a)→(b)示すように、カップ状の部材120の小径部110sを相互に熔接してダンベル状体110を形成する。次いで、小径部110sについてはこの時点で、内面を電解研磨する(図12(c))。更に、図12(d)→(e)に示すように、前記ダンベル状体110の大径部110wを相互に熔接して空洞管100に仕上げる。従って、膨らみの頂点(大径部)付近の内面に熔接による酸化部、あるいは酸化したフラックスが残ることになり、従って、この部分の研磨が重要となる。
<電解研磨用のロータ構造1>
図1は本発明の係るロータを用いて、空洞管の内部を電解研磨している状態を示す図であり、図2は本発明に係るロータを、研磨対象となる空洞管とともに示す側断面図、図3は平断面図である。更に、図4は本発明に係るロータの主要部を示した斜視図である。
まず、内外の管、板羽根を主要素とするロータが以下のように構成される。
内管21に対して外管22が主軸方向に摺動自在に嵌挿されている。尚、内管21と外管22に共通の軸を以下では主軸という。前記外管22には、前記空洞管100の各膨らみに対応して所定大きさの窓221が1つあるいは周方向に等間隔に複数開けられている。従って、当該窓221に対応して、内管21の表面が外部に現れることになり、外管22は隣接する窓221の間の主軸方向の窓枠222を介して上下に連続することになる。
前記窓221に対応して、内管21の主軸に直角な方向(周の接線方向)に設けられた副軸211に板羽根24の一端が回動自在に取り付けられる。当該板羽根24の上面の中央付近から外管22の前記窓221の上部に渡ってリンクバー25が主軸に直角方向の副軸241、223に軸支される。更に、上記の板羽根24の先端には、電極26固定される。
上記の構成によって、内管21と外管22を相対的に主軸方向にスライドさせることによって、板羽根24は以下の初期状態と稼動状態の間を遷移する。
すなわち、外管22を内管21に対して最も引き上げた状態とし、前記板羽根24が上方向に最も開いた状態になったときを初期状態(図2の実線)とする。次いで、外管22を内管21に対して次第に押し下げて、前記板羽根24と主軸との角度が次第に開き、直角な方向(水平方向)に向いた稼動状態(図2破線、図3、図4)を形成する。
前記したように、本願では、膨らみの頂点(大径部)付近の内面に形成される熔接による酸化部、あるいは付着したフラックスを研磨することが重要となる。従って、上記板羽根24の水平付近での状態を維持することと、先端に取り付けた電極26が、空洞管100の内面に、後述する電解研磨に必要な距離近接していることが重要である。
尚、空洞管100の各膨らみに対応して周方向に1または複数の板羽根24が等間隔に配設されることになるが、図2、図3、図4では前記窓221は4つ、従って、板羽根24も等間隔に周方向に4つ配設されて、空洞管100の1の膨らみに対応する羽根ユニット20が構成される。
図1あるいは図13に示すように、前記空洞管100は、主軸方向に規則的に複数の膨らみを持つので、前記羽根ユニット20の構成が、膨らみの数と位置に対応している必要がある。図2では図1の最上段の膨らみとその下の膨らみに対応する羽根ユニット20のみを示している。更に、前記羽根ユニット20が膨らみの数に対応する数備えられてロータ200が構成されることになる。
前記羽根ユニット20を構成する板羽根24の形状は用途に応じて種々提案することができるが、以下のように電解研磨を目的とする場合は、端面の電極26が金属で、板羽根24の部分は平たい金属あるいは絶縁性の板を用いることで足りる。この場合、端面の電極26に必要な電力が供給されるように、外管22あるいは内管21との電気導通性が確保されることは勿論である。
<電解研磨>
上記のように構成されたロータ200を、図1に示すように空洞管100に装着して、空洞管100の内面を電解研磨する手順を以下に説明する。
図1は、上記のように構成したロータ200を使用して、空洞管の内面を研磨する装置を示した側面図である。
基台10上に、架台11が設けられ、当該架台11の中央下側には、液導入室14が設けられ、当該液導入室14には研磨液タンク15からの研磨液がポンプ16を介して供給され、さらに、当該液導入室14を介して架台11上に載置される空洞管100の内部に研磨液が導入できるようになっている。
上記架台11の上側には、研磨対象物である空洞管100が一方のフランジ101aを利用して固定される。この状態で、上記初期状態のロータ200が空洞管100の上端から差し込まれる。このとき、ロータ200の内管21は、前記液導入室14の下側にまで液密にかつ回転自在に貫通され、その下端にリードとの接続具17が取り付けられる。尚、空洞管100は縦に長いので、架台11上での安定性を確保するために空洞管100を固定する支持枠18が図示しない支柱で支えられる。
次いで、空洞管100の他方のフランジ101b上に液導出室19が固定される。このとき、内管21(または、内管21と外管22)が、液導出室19の上端の上に液密にかつ回転自在に突出し、外管22に対して内管21がスライドできる構成として、手動あるいは機械操作での、前記板羽根24の初期状態から、稼動状態の遷移ができる構成とする。
上記、空洞管100の取り付け構造、ロータ200の設置構造は上記以外に種々考えることができるのでここではさらなる説明を省略するが、上記のように差し込まれたロータ200は、前記のように上方に突出した内管21(または外管22)に回転力を与えると各板羽根24が空洞管100に対して回転できる構成となっている。このとき、上記回転力は駆動手段130より与えられる構成とし、電解処理中、板羽根24を所定の速度で回転できるようにしておく。
上記の構成で、給液ポンプ16で液導入室14から所定の流速で研磨液を空洞管100に導入し、さらに液導出室19から研磨液タンク15に戻す状態を形成する。さらに、内管21を外管22に対してスライドさせて、板羽根24を稼動状態にする。この状態で、板羽根24の先端に電極26と空洞管100との間に研磨に必要な電界を掛け、内管21を外管22とともにゆっくり(例えば50回/分)回転させると、空洞管100の内面が研磨されることになる。特に、上記稼動状態では電極26は、空洞管の膨らみの頂点部分、すなわち、熔接部分に最も近い位置になっており、この部分の熔接酸化、あるいは熔接時に使用するフラックスの酸化物を除去することができる。
電解液の流入速度、電界の強度等の種々の条件は本発明の要旨ではないのでここでは詳しい説明を省略する。
上記のようにして研磨が終了すると、研磨液を排出して(例えば、液導入室14に設けたドレン(図示しない)から)、洗浄水を給液ポンプ16から空洞管100に送り込んで洗浄する。その後、ロータ200を初期状態にして、空洞管100から抜き取ることによって作業は終了することになる。
<電解研磨用のロータ構造2>
上記では板羽根24を初期状態から水平状態へ遷移する場合しか示していないが、図5に示すように水平状態より更に板羽根24を初期状態に対して、略180度まで開いた状態を形成する構成とすることもできる。
この構成で、板羽根24の主軸に対する角度を、前記の最も開いた状態(外管22を最も下の位置に押し下げた状態α)から、水平状態(状態β)を経て初期状態(外管22を最も引き上げた状態γ)にまで遷移させて、空洞管100の内面全体に渡って電解研磨することが可能となる。尚、板羽根24の角度によって空洞管100の内面との距離が不均一となり、均一な厚さの研磨が必要なときは、角度に応じて電流、あるいは処理時間のコントロールが必要となる。また、前記したようにここで加工対象としている空洞管100は、各膨らみ部での熔接酸化、あるいはフラックスを除去することにあるので、板羽根24の角度が水平付近になったときに、研磨の度合いを大きくする等のコントロールが必要である。
<気泡抜き取り、追い出し構造>
また、電解処理中は、水素等の気泡が多量に発生し、研磨の品質を低下せしめる原因となる。また、冒頭に述べたリニアコライダに使用する空洞管の材料であるニオブが水素を吸収すると加速器として特性を充分に発揮することができないことになる。
従って、空洞管100の内面はできるだけ発生する気泡に曝されない構造とする必要がある。そこで、以下に説明するガス抜き構造が液導出室19に設けられる。
上記の構成では、研磨液は、給液タンク15、液導入室14、空洞管100、液導出室19、給液タンク15と循環するが、電解処理で発生した気泡は、液導出室19に溜まることになる。そこで、図6に示すように液導出室19の液循環口191より上の位置(喫水41より上の位置)に気泡抜き口192を設けるとともに、更に、気泡抜き口192から強制的に気泡を抜き取って、気泡による悪影響を解消する構成を採用することもできる。
更に、発生した気泡が空洞管100の内面に接触しない構成とする必要がある。そこで、電解研磨用のロータ200全体に、絶縁性の布もしくは網のカバー40を被せた構成とする。カバー40の上端を、液導出室19に開いて(気泡通過口)、発生した気泡を当該液導出室19に導くようになっている。
この構成によると、発生する気泡を空洞管100の内面に触れさせることなく研磨処理ができる。また、準備段階で、空洞管100にロータ200を差し込むとき、あるいは電解処理が終了して、ロータ200を空洞管100から抜くとき、空洞管100を傷付けることはない。もちろん板羽根24は閉じた状態となっている。
また、図4に示すように、窓221に対応する内管21に内管21と空洞管100の内部を連通する通気孔28を設けるとともに、内管21と液導出室19を通気孔(図示しない)で連結させた構成とすることもでき、あるいはこの構成を前記カバー40を備えた構成と併用することもできる。
また、板羽根24は上記のように空洞管100の内部で主軸を中心に回転し、電解処理をする。そこで、カバー40を持つ構成であっても持たない構成であっても、上記回転を利用して電解液を前記気泡とともに上方に送り出す機能を板羽根24に持たせる構成とすることも有効である。例えば、板羽根24の回転の下流側を図7に示すように上方に反らせて、スクリュウ機能を持たせた構成とするのが好ましい。
以上、各羽根ユニット20で板羽根24が複数である場合について述べたが、板羽根の数は各羽根ユニット20で少なくとも1枚で足りる。
本発明において、研磨液としては従来と同様の研磨液(例えばフッ酸、硫酸、水からなる研磨液)が使用されることは勿論である。また、ここで研磨される厚みは、当該空洞管が高速加速器である場合には、50μm〜100μmである。更に、研磨時に掛かる電圧は15V前後、流れる電流は20A/dm2程度である。
また、本願発明に使用するロータ200は、ニオブの電解研磨だけでなく、種々の金属管の内面を電解研磨するときに使用でき、更に、電解研磨だけでなく、電解メッキにも利用できる。
<バフ研磨用ロータ1>
上記構成のロータは、バフ研磨等の機械研磨にもそのまま転用することができる。
すなわち、図8、図9に示すように、板羽根24の先端の電極26に代えてバフ27を取り付けた構成とする。この構成のロータ200を使用するとき、研磨装置は、電解液を使用しないので、液導入室14、液導出室19等の電解液を循環させる機構は不要であるが、板羽根24を回転させる駆動手段130は必要となる。
この構造の研磨ロータ200を実際の研磨に用いるときは、図10に示すように前記図1で説明した手順と同様、収納状態で、架台10上に設置した空洞管100に挿入する。ついで、板羽根24を広げて先端のバフ27が空洞管100の各膨らみの最奥部(熔接部)に接する状態(稼動状態)として、板羽根24を回転する。
前記回転で前記最奥部(熔接部)が研磨されると、再び収納状態にして、研磨用ロータ200を空洞管100から抜く。
尚、空洞管100の膨らみの主軸に直角な方向の半径Bが主軸方向の径Aの半分以下であるときは、図8に示すように、板羽根24とバフ27を合わせた長さを前記半径Bに対応させることによって、稼動状態で、板羽根24の先端のバフ27を空洞管100の膨らみの最奥に接する状態にできる。主軸に直角な方向の半径Bが主軸方向の径Aと同じ程度のときは、板羽根24とその先端にバフ27を合わせた長さを前記長さBに合わせて形成すると、図9に示すように、当該板羽根24の先端のバフ27は膨らみ部からはみ出すことになる。この場合、板羽根24の基端の副軸211が、一旦を膨らみの下付近の位置(黒丸位置)に来るまでロータ200全体の位置を下げ、次いで、板羽根24を広げながら、副軸211が膨らみの軸方向中央に位置するまでロータ200を引き上げるようにすることによって、バフ27が空洞管100の膨らみの最奥部に接する状態とすることができる。
このように、板羽根24を水平に開いた状態で前記駆動手段130で、ロータ200を回転させることによって、空洞管の内面をバフ研磨することができることになる。
<バフ研磨用ロータ2>
上記は複数の前記羽根ユニット20の構成が、膨らみの数と位置に対応した状態としているが、以下に説明するように羽根ユニット20の数は1つでも足りる。すなわち、図11に示すように、前記羽根ユニット20を、内管21と外管22の下端付近に1つ形成したロータ200を構成しておく。もちろんこの場合の板羽根24の先端にはバフ27が取り付けられている。また、内管21あるいは外管22の前記膨らみに対応した位置に、内視鏡30を取り付け、当該内視鏡30から光ファイバ31で外部のモニターで研磨の状態を観察できるように構成しておく。
図10と同様に架台10上に空洞管100を立てた状態で、前記の構成のバフ研磨用ロータを、羽根ユニット20が最上段の膨らみの位置になるように、収納状態で挿入する。次に羽根ユニット20を稼動状態に移行させて、板羽根24の先端のバフが空洞管の膨らみの最奥部(熔接部)に接する状態として、板羽根24を回転させる。この回転によって、熔接部の研磨が進行し、その様子はカメラで確認できることになる。
充分な研磨ができたことを確認したとき、オペレータは回転を止めて、板羽根24を収納状態に戻し、最上段の下の段の膨らみ位置に羽根ユニット20を下げる。ここで再び稼動状態にして、前記最上段と同様に膨らみの最奥部(熔接部)の研磨をする。以上の作業を繰り返すことによって、空洞管の内面全体を研磨することができることになる。
最下段の膨らみまで研磨できた段階で、板羽根24を収納状態に戻して、空洞管100から引き抜くことによって、全体の研磨が終了したことになる。
以上説明したように、本発明は、板羽根を開閉して、稼動状態と収納状態を形成することができるので、板羽根の先端に電極を取り付けることによって、空洞管の膨らみの最奥部分(熔接部分)を研磨することができる。また、電解処理中に板羽根の角度を調整することによって、空洞管内面全体の電解研磨が可能となる。更に、羽根板の先端に電極に代えてバフを取り付けることによって、空洞管の膨らみの最奥部分をバフ研磨することができる。
以上、空洞管として軸方向に膨らみ部が周期的に配列された空洞管を例に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、単純な管体の内面、有低の缶体の内面等、あらゆる管体の内面の研磨に利用できることは勿論である。
10 基台
11 架台
14 液導入室
19 液導出室
21 内管
22 外管
24 板羽根
25 リンクバー
28 通気孔
30 内視鏡
100 空洞管
200 ロータ

Claims (10)

  1. 空洞管の内面を研磨するロータにおいて
    内管と、
    前記内管を摺動自在に嵌挿する外管と、
    外管の周壁に少なくとも1つ設けられた窓と、
    前記窓に対応する位置の内管に基端部が主軸方向に直角な副軸に回動自在に固定された、周方向に少なくとも1つの板羽根と、
    リンクバーを主軸方向に前記外管と前記板羽根に渡って配設し、前記外管に対して内管を主軸方向に相対的に移動させることによって、前記板羽根を閉じた初期状態と、開いた稼動状態に遷移するリンク機構と
    を備えたことを特徴とする空洞管の研磨用ロータ。
  2. 前記板羽根の先端に電極を固定して、電解研磨用のロータとする請求項1に記載の空洞管の研磨用ロータ。
  3. 前記板羽根を稼動状態が、主軸方向に直角な方向に開いた状態である請求項2に記載の空洞管の研磨用ロータ。
  4. 前記板羽根を稼動状態が、主軸方向に閉じた初期状態から、それとは180度反対方向に開いた状態までの間の角度での遷移状態をいう請求項2に記載の空洞管の研磨用ロータ。
  5. 前記空洞管が、軸方向に周期的な膨らみ部を複数備え、前記一つの膨らみ部に対応した少なくとも1つの板羽根よりなる羽根ユニットを、前記膨らみの数に対応して備えた請求項2に記載の空洞管の研磨用ロータ。
  6. 全体を覆う絶縁性の網または布のカバーを備え、研磨処理時に発生する気泡の抜け道を備えた請求項2に記載の空洞管の研磨用ロータ。
  7. 前記板羽根の先端にバフを固定して、バフ研磨用のロータとする請求項1に記載の空洞管の研磨用ロータ。
  8. 前記板羽根を稼動状態が、主軸方向に直角な方向に開いた状態である請求項7に記載の空洞管の研磨用電極。
  9. 前記空洞管が、軸方向に周期的な膨らみ部を複数備え、前記一つの膨らみ部に対応した複数の板羽根よりなる羽根ユニットを、前記膨らみの数に対応して備えた請求項7に記載の空洞管の研磨用ロータ。
  10. 前記空洞管が、軸方向に周期的な膨らみ部を複数備え、前記1の膨らみ部に対応した複数の板羽根よりなる羽根ユニットを、前記膨らみの数にかかわらず1つとした請求項7に記載の空洞管の研磨用ロータ。
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