JPWO2016024613A1 - トリアジン環含有重合体およびそれを含む組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
求められる具体的な特性としては、1)耐熱性、2)透明性、3)高屈折率、4)高溶解性、5)低体積収縮率、6)高温高湿耐性、7)高膜硬度などが挙げられる。
この点に鑑み、本発明者らは、トリアジン環および芳香環を有する繰り返し単位を含む重合体が高屈折率を有し、ポリマー単独で高耐熱性、高透明性、高屈折率、高溶解性、低体積収縮を達成でき、電子デバイスを作製する際の膜形成用組成物として好適であることを既に見出している(特許文献1)。
特に、近年では、高精細液晶ディスプレイや携帯電話用ディスプレイの需要が高まっていることにより、直径10μm以下の小さなパターンが求められるようになっている。
また、タッチパネルにおいては、透明電極の視認性向上のために高屈折率層の必要性が高まっているが、電極配線部分に絶縁膜が存在すると応答性に影響が出てくることから、配線部分から100〜1,000μmの幅で絶縁層を除去する必要がある。
当該用途に用いられている既存材料は、屈折率という点で不十分であり、また、透明性を維持しつつ、その屈折率を1.7超まで向上することは困難である。
この点、上記特許文献1の重合体は、屈折率という点では要求に応えられるものの、微細パターンの形成性という点で改善の余地がある。
1. 下記式(1)で表される繰り返し単位構造を含むことを特徴とするトリアジン環含有重合体、
2. 前記Ar1が、カルボキシル基で置換されたアリール基である1のトリアジン環含有重合体、
3. 前記式(2)〜(13)が、いずれもその中の少なくとも1つの芳香環上に少なくとも1つのカルボキシル基を有する1のトリアジン環含有重合体、
4. 前記Ar1が、アルキル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基で置換されたアリール基である3のトリアジン環含有重合体、
5. さらに、下記式(1′)で表される繰り返し単位構造を含む1〜4のいずれかのトリアジン環含有重合体、
6. 前記Ar1およびAr4が、これらAr1およびAr4上のNH基に対するオルト位の少なくとも一方に炭素数1〜20のアルキル基を有するアリール基である5のトリアジン環含有重合体、
7. 前記Ar1およびAr4が、前記オルト位の双方に炭素数1〜5のアルキル基を有するフェニル基である6のトリアジン環含有重合体、
8. 前記Ar1が、式(15)で示される7のトリアジン環含有重合体、
13. 少なくとも1つのジアミン末端を有し、このジアミン末端の少なくとも1つが、アシル基、アルコキシカルボニル基、アラルキルオキシカルボニル基またはアリールオキシカルボニル基で封止されている1〜12のいずれかのトリアジン環含有重合体、
14. 1〜13のいずれかのトリアジン環含有重合体と有機溶媒とを含むトリアジン系重合体含有組成物、
15. さらに、架橋剤を含む14のトリアジン系重合体含有組成物、
16. 前記架橋剤が、多官能(メタ)アクリル化合物である15のトリアジン系重合体含有組成物、
17. 硬化膜形成用またはパターン形成用である15または16のトリアジン系重合体含有組成物、
18. 14〜17のいずれかのトリアジン系重合体含有組成物を硬化させて得られる硬化膜、
19. 15〜17のいずれかのトリアジン系重合体含有組成物から作製されたパターン、
20. 基材と、この基材上に形成された18の硬化膜とを備える電子デバイス、
21. 基材と、この基材上に形成された18の硬化膜とを備える光学部材、
22. 基材と、この基材上に形成された19のパターンとを備える電子デバイス
を提供する。
本発明の組成物から作製された硬化膜や微細パターンは、架橋されたトリアジン環含有重合体による、高耐熱性、高屈折率、低体積収縮という特性を発揮し得るため、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ、タッチパネル、LED素子、固体撮像素子、有機薄膜太陽電池、色素増感太陽電池、TFT、レンズ、プリズム、カメラ、双眼鏡、顕微鏡、半導体露光装置等を作製する際の一部材など、電子デバイスや光学材料の分野に好適に利用できる。
特に、本発明の組成物から作製された硬化膜や微細パターンは、透明性が高く、屈折率も高いため、ITOや銀ナノワイヤ等の透明導電膜の視認性を改善することができ、透明導電膜の劣化を抑制することができる。
また、本発明の組成物から作製された高屈折率パターンは、上述したタッチパネル等の透明電極骨見え防止、有機ELディスプレイの光取出し用途やブラックマトリックス用途をはじめとした、高屈折率パターンが要求される用途に好適に用いることできる。
本発明に係るトリアジン環含有重合体は、下記式(1)で表される繰り返し単位構造を含むものである。
本発明において、アルキル基の炭素数としては特に限定されるものではないが、1〜20が好ましく、ポリマーの耐熱性をより高めることを考慮すると、炭素数1〜10がより好ましく、1〜3がより一層好ましい。また、その構造は、鎖状、分岐状、環状のいずれでもよい。
アリール基の具体例としては、フェニル、o−クロルフェニル、m−クロルフェニル、p−クロルフェニル、o−フルオロフェニル、p−フルオロフェニル、o−メトキシフェニル、p−メトキシフェニル、p−ニトロフェニル、p−シアノフェニル、α−ナフチル、β−ナフチル、o−ビフェニリル、m−ビフェニリル、p−ビフェニリル、1−アントリル、2−アントリル、9−アントリル、1−フェナントリル、2−フェナントリル、3−フェナントリル、4−フェナントリル、9−フェナントリル基等が挙げられる。
その具体例としては、ベンジル、p−メチルフェニルメチル、m−メチルフェニルメチル、o−エチルフェニルメチル、m−エチルフェニルメチル、p−エチルフェニルメチル、2−プロピルフェニルメチル、4−イソプロピルフェニルメチル、4−イソブチルフェニルメチル、α−ナフチルメチル基等が挙げられる。
置換基としては、炭素数1〜20のアルキル基が好ましく、炭素数1〜10のアルキル基がより好ましく、炭素数1〜5のアルキル基がより一層好ましい。
なお、これらアルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基としては、上記で例示したものと同様のものが挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
なお、アルキル基、アルコキシ基としては上記と同様のものが挙げられる。
また、X1およびX2は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14)で示される基を表す。
炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基としては、メチレン、エチレン、プロピレン、トリメチレン、テトラメチレン、ペンタメチレン基等が挙げられる。
Ar2の芳香環上に少なくとも1つのカルボキシル基を有する場合とは、式(2)〜(13)が、いずれもその中の少なくとも1つの芳香環上に少なくとも1つのカルボキシル基を有する場合であり、具体的には、式(2)のR1〜R4の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(3)のR5〜R10の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(4)のR11〜R15の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(5)のR16〜R23の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(6)のR24〜R31の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(7)のR32〜R37の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(8)のR38〜R44の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(9)のR45〜R56の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(10)のR57〜R68の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(11)のR69〜R76の少なくとも1つがカルボキシル基であり(X1および/またはX2が式(14)の場合、R69〜R76およびR98〜R101の少なくとも1つがカルボキシル基であり)、式(12)のR77〜R84の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(13)のR85〜R92の少なくとも1つがカルボキシル基であることを意味する。
このような2種類のジアミンを併用した共重合型とすることで、レジスト溶剤等の安全性の高い溶剤に対するトリアジン環含有重合体の溶解性をより高めることができる。
上記アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基としては上記と同様のものが挙げられる。
また、X1′およびX2′は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14′)で示される基を表す。
この繰り返し単位構造を含む重合体とすることで、屈折率の低下を抑制することができる。
このアリール基としては、上記と同様のものが挙げられるが、フェニル基が好ましい。
また、式(1)で表される繰り返し単位、式(1′)で表される繰り返し単位および式(1′′)で表される繰り返し単位を含む3成分共重合型の重合体とする場合、式(1)で表される繰り返し単位、式(1′)で表される繰り返し単位、および式(1′′)で表される繰り返し単位の含有比率は、特に限定されるものではないが、アルカリ溶解性および有機溶媒に対する溶解性のバランス、並びに屈折率を考慮すると、モル比で50:10:40〜98:1:1程度が好ましく、60:10:30〜90:5:5がより好ましく、65:5:30〜90:5:5がより一層好ましい。
なお、本発明におけるMwは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(以下、GPCという)分析による標準ポリスチレン換算で得られる平均分子量である。
例えば、下記スキーム1に示されるように、トリアジン環含有重合体(22)は、トリアジン化合物(27)およびアリールアミノ化合物(28)を適当な有機溶媒中で反応させた後、これをカルボキシル基を有するアリールジアミノ化合物(29)およびカルボキシル基を有しないアリールジアミノ化合物(30)と適当な有機溶媒中で反応させて得ることができる。
反応温度は、用いる溶媒の融点から溶媒の沸点までの範囲で適宜設定すればよいが、特に、−30〜50℃程度が好ましく、−10〜30℃がより好ましい。
各成分の配合順序は任意であるが、トリアジン化合物(27)および有機溶媒を含む溶液に、アリールアミノ化合物(28)を加える方法が好適である。
アリールアミノ化合物(28)は、ニートで加えても、有機溶媒に溶かした溶液で加えてもよいが、操作の容易さや反応のコントロールのし易さなどを考慮すると、後者の手法が好適である。
また、添加は、滴下等によって徐々に加えても、全量一括して加えてもよい。
アリールジアミノ化合物(29)および(30)は、ニートで加えても、有機溶媒に溶かした溶液で加えてもよいが、操作の容易さや反応のコントロールのし易さなどを考慮すると、後者の手法が好適である。
反応温度は、用いる溶媒の融点から溶媒の沸点までの範囲で適宜設定すればよいが、特に、−30〜150℃程度が好ましく、−10〜100℃がより好ましい。
中でもDMF、DMSO、NMP、DMAc、およびそれらの混合溶媒が好ましく、特に、DMAc、NMPが好適である。
この塩基の具体例としては、炭酸カリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ナトリウムエトキシド、酢酸ナトリウム、炭酸リチウム、水酸化リチウム、酸化リチウム、酢酸カリウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、水酸化バリウム、リン酸三リチウム、リン酸三ナトリウム、リン酸三カリウム、フッ化セシウム、酸化アルミニウム、アンモニア、n−プロピルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、ジイソプロピルアミン、ジイソプロピルエチルアミン、N−メチルピペリジン、2,2,6,6−テトラメチル−N−メチルピペリジン、ピリジン、4−ジメチルアミノピリジン、N−メチルモルホリン等が挙げられる。
塩基の添加量は、トリアジン化合物(27)1当量に対して1〜100当量が好ましく、1〜10当量がより好ましい。なお、これらの塩基は水溶液にして用いてもよい。
得られる重合体には、原料成分が残存していないことが好ましいが、本発明の効果を損なわなければ一部の原料が残存していてもよい。
反応終了後、生成物は再沈法等によって容易に精製できる。
アルコキシカルボニル基の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、t−ブトキシカルボニル基等が挙げられる。
アラルキルオキシカルボニル基の具体例としては、ベンジルオキシカルボニル基等が挙げられる。
アリールオキシカルボニル基の具体例としては、フェノキシカルボニル基等が挙げられる。
これらの中でも、末端封止基としてはアシル基が好ましく、試薬の入手容易性等を考慮するとアクリロイル基、メタクリロイル基、アセチル基がより好ましい。
この場合、末端封止剤の使用量は、重合反応に使われなかった余剰のジアミノ化合物由来のアミノ基1当量に対し、0.05〜10当量程度が好ましく、0.1〜5当量がより好ましく、0.5〜2当量がより一層好ましい。
架橋剤としては、上述したトリアジン環含有重合体と反応し得る置換基を有する化合物であれば特に限定されるものではない。
そのような化合物としては、メチロール基、メトキシメチル基などの架橋形成置換基を有するメラミン系化合物、置換尿素系化合物、エポキシ基またはオキセタン基などの架橋形成置換基を含有する化合物、ブロック化イソシアナートを含有する化合物、酸無水物を有する化合物、(メタ)アクリル基を有する化合物、フェノプラスト化合物等が挙げられるが、耐熱性や保存安定性の観点からエポキシ基、ブロックイソシアネート基、(メタ)アクリル基を含有する化合物が好ましく、特に、ブロックイソシアネート基を有する化合物や、開始剤を用いなくとも光硬化可能な組成物を与える多官能エポキシ化合物および/または多官能(メタ)アクリル化合物が好ましい。
なお、これらの化合物は、重合体の末端処理に用いる場合は少なくとも1個の架橋形成置換基を有していればよく、重合体同士の架橋処理に用いる場合は少なくとも2個の架橋形成置換基を有する必要がある。
その具体例としては、トリス(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,2−エポキシ−4−(エポキシエチル)シクロヘキサン、グリセロールトリグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、2,6−ジグリシジルフェニルグリシジルエーテル、1,1,3−トリス[p−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]プロパン、1,2−シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジルエステル、4,4′−メチレンビス(N,N−ジグリシジルアニリン)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、トリメチロールエタントリグリシジルエーテル、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル等が挙げられる。
その具体例としては、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート、エトキシ化ビスフェノールAジメタクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリメタクリレート、エトキシ化グリセリントリアクリレート、エトキシ化グリセリントリメタクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、エトキシ化ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ポリグリセリンモノエチレンオキサイドポリアクリレート、ポリグリセリンポリエチレングリコールポリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、多塩基酸変性アクリルオリゴマー等が挙げられる。
上記多塩基酸変性アクリルオリゴマーも市販品として入手が可能であり、その具体例としては、アロニックスM−510、520(以上、東亞合成(株)製)等が挙げられる。
一分子中2個以上のイソシアネート基を有する化合物としては、例えば、イソホロンジイソシアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート、メチレンビス(4−シクロヘキシルイソシアネート)、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートのポリイソシアネートや、これらの二量体、三量体、および、これらとジオール類、トリオール類、ジアミン類、またはトリアミン類との反応物などが挙げられる。
ブロック剤としては、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−ブタノール、2−エトキシヘキサノール、2−N,N−ジメチルアミノエタノール、2−エトキシエタノール、シクロヘキサノール等のアルコール類;フェノール、o−ニトロフェノール、p−クロロフェノール、o−、m−またはp−クレゾール等のフェノール類;ε−カプロラクタム等のラクタム類、アセトンオキシム、メチルエチルケトンオキシム、メチルイソブチルケトンオキシム、シクロヘキサノンオキシム、アセトフェノンオキシム、ベンゾフェノンオキシム等のオキシム類;ピラゾール、3,5−ジメチルピラゾール、3−メチルピラゾール等のピラゾール類;ドデカンチオール、ベンゼンチオール等のチオール類などが挙げられる。
オキセタン化合物としては、オキセタニル基を一分子中2個以上有するものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、オキセタニル基を含有するOXT−221、OX−SQ−H、OX−SC(以上、東亜合成(株)製)等が挙げられる。
フェノプラスト化合物としては、例えば、2,6−ジヒドロキシメチル−4−メチルフェノール、2,4−ジヒドロキシメチル−6−メチルフェノール、ビス(2−ヒドロキシ−3−ヒドロキシメチル−5−メチルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−3−ヒドロキシメチル−5−メチルフェニル)メタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジヒドロキシメチルフェニル)プロパン、ビス(3−ホルミル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチルフェニル)ホルミルメタン、α,α−ビス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチルフェニル)−4−ホルミルトルエン等が挙げられる。
フェノプラスト化合物は、市販品としても入手が可能であり、その具体例としては、26DMPC、46DMOC、DM−BIPC−F、DM−BIOC−F、TM−BIP−A、BISA−F、BI25X−DF、BI25X−TPA(以上、旭有機材工業(株)製)等が挙げられる。
このような骨格を有する多官能(メタ)アクリル化合物としては、例えば、NKエステルA−9300、同A−9300−1CL(いずれも、新中村化学工業(株)製)が挙げられる。
このような低粘度架橋剤も市販品として入手可能であり、例えば、上述した多官能(メタ)アクリル化合物のうち、NKエステルA−GLY−3E(85mPa・s,25℃)、同A−GLY−9E(95mPa・s,25℃)、同A−GLY−20E(200mPa・s,25℃)、同A−TMPT−3EO(60mPa・s,25℃)、同A−TMPT−9EO、同ATM−4E(150mPa・s,25℃)、同ATM−35E(350mPa・s,25℃)(以上、新中村化学工業(株)製)等の、(メタ)アクリル基間の鎖長が比較的長い架橋剤が挙げられる。
光酸発生剤としては、公知のものから適宜選択して用いればよく、例えば、ジアゾニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩などのオニウム塩誘導体を用いることができる。
その具体例としては、フェニルジアゾニウムヘキサフルオロホスフェート、4−メトキシフェニルジアゾニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−メチルフェニルジアゾニウムヘキサフルオロホスフェート等のアリールジアゾニウム塩;ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジ(4−メチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ジ(4−t−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート等のジアリールヨードニウム塩;トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス(4−メトキシフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジフェニル−4−チオフェノキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニル−4−チオフェノキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、4,4′−ビス(ジフェニルスルホニオ)フェニルスルフィド−ビスヘキサフルオロアンチモネート、4,4′−ビス(ジフェニルスルホニオ)フェニルスルフィド−ビスヘキサフルオロホスフェート、4,4′−ビス[ジ(β−ヒドロキシエトキシ)フェニルスルホニオ]フェニルスルフィド−ビスヘキサフルオロアンチモネート、4,4′−ビス[ジ(β−ヒドロキシエトキシ)フェニルスルホニオ]フェニルスルフィド−ビス−ヘキサフルオロホスフェート、4−[4′−(ベンゾイル)フェニルチオ]フェニル−ジ(4−フルオロフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−[4′−(ベンゾイル)フェニルチオ]フェニル−ジ(4−フルオロフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート等のトリアリールスルホニウム塩等が挙げられる。
その具体例としては、2−ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメート、トリフェニルメタノール、O−カルバモイルヒドロキシルアミド、O−カルバモイルオキシム、[[(2,6−ジニトロベンジル)オキシ]カルボニル]シクロヘキシルアミン、ビス[[(2−ニトロベンジル)オキシ]カルボニル]ヘキサン−1,6−ジアミン、4−(メチルチオベンゾイル)−1−メチル−1−モルホリノエタン、(4−モルホリノベンゾイル)−1−ベンジル−1−ジメチルアミノプロパン、N−(2−ニトロベンジルオキシカルボニル)ピロリジン、ヘキサアンミンコバルト(III)トリス(トリフェニルメチルボレート)、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2,6−ジメチル−3,5−ジアセチル−4−(2′−ニトロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン、2,6−ジメチル−3,5−ジアセチル−4−(2′,4′−ジニトロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン等が挙げられる。
また、光塩基発生剤は市販品を用いてもよく、その具体例としては、TPS−OH、NBC−101、ANC−101(いずれも製品名、みどり化学(株)製)等が挙げられる。
なお、必要に応じてエポキシ樹脂硬化剤を、多官能エポキシ化合物100質量部に対して、1〜100質量部の量で配合してもよい。
光ラジカル重合開始剤としても、公知のものから適宜選択して用いればよく、例えば、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、ミヒラーのベンゾイルベンゾエート、アミロキシムエステル、オキシムエステル類、テトラメチルチウラムモノサルファイドおよびチオキサントン類等が挙げられる。
特に、光開裂型の光ラジカル重合開始剤が好ましい。光開裂型の光ラジカル重合開始剤については、最新UV硬化技術(159頁、発行人:高薄一弘、発行所:(株)技術情報協会、1991年発行)に記載されている。
市販の光ラジカル重合開始剤としては、例えば、BASF社製 商品名:イルガキュア 127、184、369、379、379EG、651、500、754、819、903、907、784、2959、CGI1700、CGI1750、CGI1850、CG24−61、OXE01、OXE02、ダロキュア 1116、1173、MBF、BASF社製 商品名:ルシリン TPO、UCB社製 商品名:ユベクリル P36、フラテツリ・ランベルティ社製 商品名:エザキュアー KIP150、KIP65LT、KIP100F、KT37、KT55、KTO46、KIP75/B等が挙げられる。
光ラジカル重合開始剤を用いる場合、多官能(メタ)アクリレート化合物100質量部に対して、0.1〜200質量部の範囲で使用することが好ましく、1〜150質量部の範囲で使用することがより好ましい。
溶媒としては、例えば、水、トルエン、p−キシレン、o−キシレン、m−キシレン、エチルベンゼン、スチレン、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコ−ルモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール、1−オクタノール、エチレングリコール、ヘキシレングリコール、トリメチレングリコール、1−メトキシ−2−ブタノール、シクロヘキサノール、ジアセトンアルコール、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、プロピレングリコール、ベンジルアルコール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、2,3−ブタンジオール、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソプロピルケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルn−ブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン(CHN)、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸n−プロピル、酢酸イソブチル、酢酸n−ブチル、乳酸エチル、メタノール、エタノール、2−プロパノール、t−ブチルアルコール、アリルアルコール、1−プロパノール、2−メチル−2−ブタノール、イソブチルアルコール、1−ブタノール、2−メチル−1−ブタノール、1−ペンタノール、2−メチル−1−ペンタノール、2−エチルヘキサノール、1−メトキシ−2−プロパノール、THF、1,4−ジオキサン、DMF、DMAc、NMP、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、DMSO、N−シクロヘキシル−2−ピロリジノン等が挙げられ、これらは単独で用いても、2種以上混合して用いてもよい。
界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリルエーテル類;ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロックコポリマー類;ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタントリステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類;ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤、商品名エフトップEF301、EF303、EF352(三菱マテリアル電子化成(株)製(旧(株)ジェムコ製))、商品名メガファックF171、F173、R−08、R−30、R−40、F−553、F−554、RS−75、RS−72−K(DIC(株)製)、フロラードFC430、FC431(住友スリーエム(株)製)、商品名アサヒガードAG710、サーフロンS−382、SC101、SC102、SC103、SC104、SC105、SC106(旭硝子(株)製)等のフッ素系界面活性剤、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、BYK−302、BYK−307、BYK−322、BYK−323、BYK−330、BYK−333、BYK−370、BYK−375、BYK−378(ビックケミー・ジャパン(株)製)等が挙げられる。
金属酸化物の具体例としては、Al2O3、ZnO、TiO2、ZrO2、Fe2O3、Sb2O5、BeO、ZnO、SnO2、CeO2、SiO2、WO3などが挙げられる。
また、複数の金属酸化物を複合酸化物として用いることも有効である。複合酸化物とは、微粒子の製造段階で2種以上の無機酸化物を混合させたものである。例えば、TiO2とZrO2、TiO2とZrO2とSnO2、ZrO2とSnO2との複合酸化物などが挙げられる。
さらに、上記金属の化合物であってもよい。例えば、ZnSb2O6、BaTiO3、SrTiO3、SrSnO3などが挙げられる。これらの化合物は、単独でまたは2種以上を混合して用いることができ、さらに上記の酸化物と混合して用いてもよい。
なお、上記その他の成分は、本発明の組成物を調製する際の任意の工程で添加することができる。
組成物の塗布方法は任意であり、例えば、スピンコート法、ディップ法、フローコート法、インクジェット法、ジェットディスペンサー法、スプレー法、バーコート法、グラビアコート法、スリットコート法、ロールコート法、転写印刷法、刷毛塗り、ブレードコート法、エアーナイフコート法等の方法を採用できる。
焼成温度は、溶媒を蒸発させる目的では特に限定されず、例えば110〜400℃で行うことができる。
焼成方法としては、特に限定されるものではなく、例えば、ホットプレートやオーブンを用いて、大気、窒素等の不活性ガス、真空中等の適切な雰囲気下で蒸発させればよい。
焼成温度および焼成時間は、目的とする電子デバイスのプロセス工程に適合した条件を選択すればよく、得られる膜の物性値が電子デバイスの要求特性に適合するような焼成条件を選択すればよい。
光照射する場合の条件も特に限定されるものではなく、用いるトリアジン環含有重合体および架橋剤に応じて、適宜な照射エネルギーおよび時間を採用すればよい。
また、上記組成物を光照射にて硬化膜を作製するにあたって、マスクを介して光照射した後、現像液にて現像することで微細パターンを形成することもできる。
この場合、露光後の現像は、例えば有機溶媒現像液または水性現像液中に露光樹脂を浸漬して行うことができる。
有機溶媒現像液の具体例としては、PGME、PGMEA、PGMEとPGMEAの混合溶媒、NMP、γ−ブチロラクトン、DMSO等が挙げられ、一方、水性現像液の具体例としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアルカリ水溶液が挙げられる。
オキシラン環含有化合物としては、分子内にオキシラン環を1個以上、好ましくは2個以上有するものが挙げられ、その具体例としては、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、エポキシ変性ポリブタジエン樹脂、オキセタン化合物等が挙げられる。これらは単独で用いても、2種以上組み合わせて用いてもよい。
オキシラン含有化合物の配合量は、特に限定されるものではないが、トリアジン環含有重合体100質量部に対し、10〜400質量部程度とすることができる。
光硬化型触媒の配合量は、特に限定されるものではないが、トリアジン環含有重合体100質量部に対し、0.1〜100質量部程度とすることができる。
上記組成物は、上述した手法によって塗布した後、例えば、紫外光等を1〜4,000mJ/cm2にて光照射して硬化させることができる。光照射は、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、LED、レーザー光等の公知の各種手法を用いて行えばよい。
なお、必要に応じ、露光前後に110〜180℃程度で加熱してもよい。
露光後の現像は、上述した有機溶媒現像液または水性現像液中に露光樹脂を浸漬して行うことができる。
アジド化合物としては、1,2−ナフトキノンジアジド基を1個以上、好ましくは2個以上有する化合物が好ましく、その具体例としては、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノンと1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5−スルホン酸とのエステル等の1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸誘導体などが挙げられる。
アジド化合物の配合量は、特に限定されるものではないが、トリアジン環含有重合体100質量部に対し、4〜60質量部程度とすることができる。
上記組成物は、上述した手法によって塗布した後、例えば、上述の光照射法により、紫外光等を1〜2,000mJ/cm2にて光照射して硬化させることができる。この場合も、必要に応じ、露光前後に110〜180℃程度で加熱してもよい。
露光後の現像は、上述した有機溶媒現像液または水性現像液中に露光樹脂を浸漬して行うことができる。
特に、本発明の組成物から作製された硬化膜や微細パターンは、透明性が高く、屈折率も高いため、ITOや銀ナノワイヤ等の透明導電膜の視認性を改善することができ、透明導電膜の劣化を抑制することができる。
透明導電膜としては、ITOフィルム、IZOフィルム、金属ナノ粒子、金属ナノワイヤ、金属ナノメッシュ等の導電性ナノ構造を有する透明導電膜が好ましく、導電性ナノ構造を有する透明導電膜がより好ましい。導電性ナノ構造を構成する金属は特に限定されないが、銀、金、銅、ニッケル、白金、コバルト、鉄、亜鉛、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、カドミウム、オスミウム、イリジウム、これらの合金等が挙げられる。すなわち、銀ナノ粒子、銀ナノワイヤ、銀ナノメッシュ、金ナノ粒子、金ナノワイヤ、金ナノメッシュ、銅ナノ粒子、銅ナノワイヤ、銅ナノメッシュ等を有する透明導電膜が好ましく、特に銀ナノワイヤを有する透明導電膜が好ましい。
また、本発明の組成物から作製された高屈折率パターンは、上述したタッチパネル等の透明電極骨見え防止、有機ELディスプレイの光取出し用途やブラックマトリックス用途をはじめとした、高屈折率パターンが要求される用途に好適に用いることできる。
[1H−NMR]
装置:Varian NMR System 400NB(400MHz)
JEOL−ECA700(700MHz)
測定溶媒:DMSO−d6
基準物質:テトラメチルシラン(TMS)(δ0.0ppm)
[GPC]
装置:SHIMADZU社製 SCL−10Avp GPCに改造
カラム:Shodex KF−804L+KF−805L
カラム温度:60℃
溶媒:NMP(1%LiCl添加)
検出器:UV(254nm)
検量線:標準ポリスチレン
[紫外線可視分光光度計]
装置:(株)島津製作所製 SHIMADSU UV−3600
[エリプソメーター]
装置:ジェー・エー・ウーラム・ジャパン製 多入射角分光エリプソメーターVASE
[示差熱天秤(TG−DTA)]
装置:(株)リガク製 TG−8120
昇温速度:10℃/分
測定温度:25℃−750℃
[電子顕微鏡]
日本電子(株)製 電子顕微鏡S−4800
反応液をイオン交換水7,104.45gに滴下し、再沈殿を行った。得られた沈殿物をろ過し、ろ物をTHF543.52gに再溶解させ、さらにイオン交換水8,046.90gに再沈殿した。その後、ろ過により得られた生成物を100℃で8時間乾燥して目的の高分子化合物[5]89.46gを得た。高分子化合物[5]の1H−NMRスペクトルの測定結果を図1に示す。得られた高分子化合物[5]は式(1)で表される構造単位を有する化合物であり、そのGPCによるポリスチレン換算で測定されるMwは6,500、多分散度(Mw/Mn)は1.47であった。
得られたスラリー状の反応液をイオン交換水14,098gに滴下し、再沈殿を行った。得られた沈殿物をろ過し、ろ物をTHF1,752.65gに再溶解させ、1時間撹拌した後に静置し分液した。水層部分を除去し、有機層にTHF50.45gを追加し、イオン交換水14038.23gに再沈殿した。その後、ろ過して得られた生成物を100℃で10時間乾燥し、目的の高分子化合物[7]353.5gを得た。高分子化合物[7]の1H−NMRスペクトルの測定結果を図2に示す。得られた高分子化合物[7]は式(1)で表される構造単位を有する化合物であり、そのGPCによるポリスチレン換算で測定されるMwは6,000、Mw/Mnは1.27であった。
反応液をイオン交換水574.91gに滴下し、再沈殿を行った。得られた沈殿物をろ過し、ろ物をTHF95.78gに再分散させ、さらにイオン交換水575.30gに再沈殿した。その後、ろ過により得られた生成物を100℃で8時間乾燥し、目的の高分子化合物[11](以下、L−TMX72という)9.78gを得た。L−TMX72の1H−NMRスペクトルの測定結果を図4に示す。得られたL−TMX72は式(1)で表される構造単位を有する化合物である。L−TMX72のGPCによるポリスチレン換算で測定されるMwは6,500、Mw/Mnは1.47であった。
○:不溶物なし
△:わずかに散乱
×:沈降物あり
有機溶媒に対する溶解性が向上した理由としては、側鎖の置換基を有する芳香族アミン化合物により高分子化合物の強固な水素結合が緩和されたためであると推察される。
[実施例5〜7]
実施例1〜3で得られた高分子化合物のそれぞれを、10質量%となるようにPGMEに溶解させ、ガラス基板上にスピンコーターを用いてスピンコートし、120℃のホットプレートで3分間焼成して被膜を得た。
比較例1で得られた高分子化合物を10質量%となるようにCHN/イオン交換水(96/4(質量部/質量部))を加え、沈降物をフィルターろ過した後、ガラス基板上にスピンコーターを用いてスピンコートし、150℃のホットプレートで2分間仮焼成し、次いで、大気下、250℃のホットプレートで5分間本焼成して被膜を得た。
上記実施例5〜7および比較例2で作製した被膜の屈折率および膜厚を表2に示す。
[実施例8]
実施例2で得られた高分子化合物[7]0.6gに、多官能アクリレート(DN−0075、日本化薬(株)製)0.3g、多官能アクリレート(A−GLY−20E、新中村化学工業(株)製)0.3g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE01、BASF社製)0.06gおよびPGME5.04gを加えて固形分20質量%のパターン形成用組成物6.36gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターで濾過し、ガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレート上で、120℃、60秒焼成して塗膜を形成した。この塗膜に、紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、フォトマスクを介して365nmにおける照射量が100mJ/cm2の紫外線を照射した。その後、23℃の0.04質量%の水酸化カリウム水溶液で60秒浸漬して現像し、さらに超純水で流水洗浄を行った。現像後、ライン/スペースが60μm/500μmのストライプ状パターンが残渣なく解像した。ナトリウムランプの下で目視観察を行ったところ、ガラス基板上に形成された硬化膜に異物は見られなかった。さらに、電子顕微鏡観察を行ったところ、硬化膜上に異物は見られなかった。
実施例2で得られた高分子化合物[7]0.6gに、多官能アクリレート(DN−0075、日本化薬(株)製)0.3g、多官能アクリレート(A−GLY−20E、新中村化学工業(株)製)0.3g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE01、BASF社製)0.06gおよびPGME5.04gを加えて固形分20質量%のパターン形成用組成物6.36gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターで濾過し、ガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレート上で、120℃、60秒焼成して塗膜を形成した。この塗膜に、紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、365nmにおける照射量が、100mJ/cm2の紫外線を全面照射した。
得られた硬化膜について、エリプソメーターにて550nmにおける屈折率と膜厚を測定したところ、屈折率1.608(@550nm)、膜厚1,440nmであった。また、得られた硬化膜について、400nmの透過率を測定したところ、透過率90%であった。
実施例2で得られた高分子化合物[7]0.6gに、多官能アクリレート(DN−0075、日本化薬(株)製)0.15g、多官能アクリレート(AT−20E、新中化学工業(株)製)0.45g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE01、BASF社製)0.12g、レベリング剤(F−477、DIC社製)0.0003gおよびPGME11.8827gを加えて固形分10質量%のパターン形成用組成物13.203gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターで濾過し、ガラス基板上にスピンコーターを用いて200rpmで5秒、800rpmで30秒スピンコート塗布した後、ホットプレート上で、120℃、2分間焼成して塗膜を形成した。この塗膜に、紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、フォトマスクを介して365nmにおける照射量が100mJ/cm2の紫外線を照射した。その後、23℃の0.04質量%の水酸化カリウム水溶液で60秒浸漬して現像し、さらに超純水で流水洗浄を行った。現像後、ライン/スペースが20μm/500μmのストライプ状パターンが残渣なく解像した。ナトリウムランプの下で目視観察を行ったところ、ガラス基板上に形成された硬化膜に異物は見られなかった。さらに、電子顕微鏡観察を行ったところ、硬化膜上に異物は見られなかった。
実施例2で得られた高分子化合物[7]0.6gに、多官能アクリレート(DN−0075、日本化薬(株)製)0.15g、多官能アクリレート(AT−20E、新中化学工業(株)製)0.45g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE01、BASF社製)0.12g、レベリング剤(F−477、DIC社製)0.0003gおよびPGME11.8827gを加えて固形分10質量%のパターン形成用組成物13.203gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターで濾過し、ガラス基板上にスピンコーターを用いて200rpmで5秒、800rpmで30秒スピンコート塗布した後、ホットプレート上で、120℃、2分間焼成して塗膜を形成した。この塗膜に、紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、365nmにおける照射量が100mJ/cm2の紫外線を全面照射した。得られた硬化膜について、エリプソメーターにて550nmにおける屈折率と膜厚を測定したところ、屈折率1.604(@550nm)、膜厚513nmであった。また、得られた硬化膜について、400nmの透過率を測定したところ、透過率90%以上であった。
実施例2で得られた高分子化合物[7]0.6gに、多官能アクリレート(DN−0075、日本化薬(株)製)0.15g、多官能アクリレート(AT−20E、新中化学工業(株)製)0.45g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE01、BASF社製)0.12g、多官能ブロックイソシアネート(TRIXENE BI−7982、Baxenden社製)0.257g、レベリング剤(BYK−333、ビックケミー社製)0.024gおよびPGME6.019gを加えて固形分20質量%のパターン形成用組成物7.62gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターで濾過し、ガラス基板上にスピンコーターを用いて200rpmで5秒、1,200rpmで30秒スピンコート塗布した後、ホットプレート上で、60℃、5分間焼成して塗膜を形成した。この塗膜に、紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、フォトマスクを介して365nmにおける照射量が100mJ/cm2の紫外線を照射した。その後、23℃の0.04質量%の水酸化カリウム水溶液で60秒浸漬して現像し、さらに超純水で流水洗浄を行った。最後にホットプレート上で、120℃、10分間ポストベイクを行った。現像後、ライン/スペースが20μm/500μmのストライプ状パターンが残渣なく解像した。ナトリウムランプの下で目視観察を行ったところ、ガラス基板上に形成された硬化膜に異物は見られなかった。さらに、電子顕微鏡観察を行ったところ、硬化膜上に異物は見られなかった。
実施例2で得られた高分子化合物[7]0.6gに、多官能アクリレート(DN−0075、日本化薬(株)製)0.15g、多官能アクリレート(AT−20E、新中化学工業(株)製)0.45g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE01、BASF社製)0.12g、多官能ブロックイソシアネート(TRIXENE BI−7982、Baxenden社製)0.257g、レベリング剤(BYK−333、ビックケミー社製)0.024gおよびPGME6.019gを加えて固形分20質量%のパターン形成用組成物7.62gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターで濾過し、ガラス基板上にスピンコーターを用いて200rpmで5秒、1,200rpmで30秒スピンコート塗布した後、ホットプレート上で、60℃、5分間焼成して塗膜を形成した。この塗膜に、紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、365nmにおける照射量が100mJ/cm2の紫外線を全面照射し、最後にホットプレート上で120℃、10分間ポストベイクを行った。得られた硬化膜について、エリプソメーターにて550nmにおける屈折率と膜厚を測定したところ、屈折率1.610(@550nm)、膜厚1,020nmであった。また、得られた硬化膜について、400nmの透過率を測定したところ、透過率95%であった。
○:不溶物なし
△:わずかに散乱
×:沈降物あり
[実施例16,17]
実施例14,15で得られた高分子化合物のそれぞれを、10質量%となるようにPGMEに溶解させ、ガラス基板上にスピンコーターを用いてスピンコートし、120℃のホットプレートで3分間焼成して被膜を得た。
Claims (22)
- 下記式(1)で表される繰り返し単位構造を含むことを特徴とするトリアジン環含有重合体。
Ar1は、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基またはカルボキシル基で置換されていてもよいアリール基を表し、
Ar2は、式(2)〜(13)で示される群から選ばれる少なくとも1種を表す。
R93およびR94は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表し、
W1およびW2は、互いに独立して、単結合、CR95R96(R95およびR96は、互いに独立して、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基(ただし、これらは一緒になって環を形成していてもよい。)を表す。)、C=O、O、S、SO、SO2、またはNR97(R97は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。)を表し、
X1およびX2は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14)
Y1およびY2は、互いに独立して、単結合または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基を表す。)で示される基を表す。
ただし、Ar1とAr2のどちらか一方または双方において、芳香環上に少なくとも1つのカルボキシル基を有する。〕 - 前記Ar1が、カルボキシル基で置換されたアリール基である請求項1記載のトリアジン環含有重合体。
- 前記式(2)〜(13)が、いずれもその中の少なくとも1つの芳香環上に少なくとも1つのカルボキシル基を有する請求項1記載のトリアジン環含有重合体。
- 前記Ar1が、アルキル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基で置換されたアリール基である請求項3記載のトリアジン環含有重合体。
- さらに、下記式(1′)で表される繰り返し単位構造を含む請求項1〜4のいずれか1項記載のトリアジン環含有重合体。
Ar3は、アルキル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基で置換されたアリール基を表し、
Ar4は、式(2′)〜(13′)で示される群から選ばれる少なくとも1種を表す。
R93およびR94は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表し、
W1およびW2は、互いに独立して、単結合、CR95R96(R95およびR96は、互いに独立して、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基(ただし、これらは一緒になって環を形成していてもよい。)を表す。)、C=O、O、S、SO、SO2、またはNR97(R97は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。)を表し、
X1′およびX2′は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14′)
Y1およびY2は、互いに独立して、単結合または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基を表す。)で示される基を表す。〕} - 前記Ar1およびAr4が、これらAr1およびAr4上のNH基に対するオルト位の少なくとも一方に炭素数1〜20のアルキル基を有するアリール基である請求項5記載のトリアジン環含有重合体。
- 前記Ar1およびAr4が、前記オルト位の双方に炭素数1〜5のアルキル基を有するフェニル基である請求項6記載のトリアジン環含有重合体。
- さらに、下記式(1′′)で表される繰り返し単位構造を含む請求項1または5記載のトリアジン環含有重合体。
- 少なくとも1つのジアミン末端を有し、このジアミン末端の少なくとも1つが、アシル基、アルコキシカルボニル基、アラルキルオキシカルボニル基またはアリールオキシカルボニル基で封止されている請求項1〜12のいずれか1項記載のトリアジン環含有重合体。
- 請求項1〜13のいずれか1項記載のトリアジン環含有重合体と有機溶媒とを含むトリアジン系重合体含有組成物。
- さらに、架橋剤を含む請求項14記載のトリアジン系重合体含有組成物。
- 前記架橋剤が、多官能(メタ)アクリル化合物である請求項15記載のトリアジン系重合体含有組成物。
- 硬化膜形成用またはパターン形成用である請求項15または16記載のトリアジン系重合体含有組成物。
- 請求項14〜17のいずれか1項記載のトリアジン系重合体含有組成物を硬化させて得られる硬化膜。
- 請求項15〜17のいずれか1項記載のトリアジン系重合体含有組成物から作製されたパターン。
- 基材と、この基材上に形成された請求項18記載の硬化膜とを備える電子デバイス。
- 基材と、この基材上に形成された請求項18記載の硬化膜とを備える光学部材。
- 基材と、この基材上に形成された請求項19記載のパターンとを備える電子デバイス。
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