JPWO2016024613A1 - トリアジン環含有重合体およびそれを含む組成物 - Google Patents

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Abstract

例えば、下記式(22)または(26)で表されるような繰り返し単位構造を含むトリアジン環含有重合体を用いることで、高屈折率で、かつ、微細パターンを形成し得る薄膜を得ることができる。

Description

本発明は、トリアジン環含有重合体およびそれを含む組成物に関する。
近年、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ、タッチパネル、光半導体(LED)素子、固体撮像素子、有機薄膜太陽電池、色素増感太陽電池、および有機薄膜トランジスタ(TFT)等の電子デバイスを開発する際に、高機能な高分子材料が要求されるようになってきた。
求められる具体的な特性としては、1)耐熱性、2)透明性、3)高屈折率、4)高溶解性、5)低体積収縮率、6)高温高湿耐性、7)高膜硬度などが挙げられる。
この点に鑑み、本発明者らは、トリアジン環および芳香環を有する繰り返し単位を含む重合体が高屈折率を有し、ポリマー単独で高耐熱性、高透明性、高屈折率、高溶解性、低体積収縮を達成でき、電子デバイスを作製する際の膜形成用組成物として好適であることを既に見出している(特許文献1)。
ところで、液晶表示素子における、スペーサー、絶縁膜、保護膜などにおいて、透明材料を用いたパターン形成が行われており、これまでに多くのネガ型感光性組成物がこの用途に提案されてきた。
特に、近年では、高精細液晶ディスプレイや携帯電話用ディスプレイの需要が高まっていることにより、直径10μm以下の小さなパターンが求められるようになっている。
また、タッチパネルにおいては、透明電極の視認性向上のために高屈折率層の必要性が高まっているが、電極配線部分に絶縁膜が存在すると応答性に影響が出てくることから、配線部分から100〜1,000μmの幅で絶縁層を除去する必要がある。
当該用途に用いられている既存材料は、屈折率という点で不十分であり、また、透明性を維持しつつ、その屈折率を1.7超まで向上することは困難である。
この点、上記特許文献1の重合体は、屈折率という点では要求に応えられるものの、微細パターンの形成性という点で改善の余地がある。
なお、特許文献2には、トリアジン環含有重合体を含むパターン形成用組成物が開示されているものの、この重合体は屈折率が1.7未満であり、より高い屈折率が要求される上記用途には適していない。
国際公開第2010/128661号 特開2004−156001号公報
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、高屈折率で透明性に優れた薄膜を形成し得るとともに、高屈折率な微細パターンをも形成し得るトリアジン環含有重合体およびそれを含む組成物を提供することを目的とする。
本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意検討を重ねた結果、アリールアミノ基を側鎖に有するとともに、主鎖または側鎖を構成するアリール基上にカルボキシル基を有するトリアジン環含有重合体を用いることで、高屈折率で透明性に優れた薄膜を形成し得るとともに、高屈折率な微細パターンをも形成し得ることを見出し、本発明を完成した。
すなわち、本発明は、
1. 下記式(1)で表される繰り返し単位構造を含むことを特徴とするトリアジン環含有重合体、
Figure 2016024613
{式中、RおよびR′は、互いに独立して、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、またはアラルキル基を表し、Ar1は、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基またはカルボキシル基で置換されていてもよいアリール基を表し、Ar2は、式(2)〜(13)で示される群から選ばれる少なくとも1種を表す。
Figure 2016024613
〔式中、R1〜R92は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、カルボキシル基、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、R93およびR94は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表し、W1およびW2は、互いに独立して、単結合、CR9596(R95およびR96は、互いに独立して、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基(ただし、これらは一緒になって環を形成していてもよい。)を表す。)、C=O、O、S、SO、SO2、またはNR97(R97は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。)を表し、X1およびX2は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14)
Figure 2016024613
(式中、R98〜R101は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、カルボキシル基、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、Y1およびY2は、互いに独立して、単結合または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基を表す。)で示される基を表す。ただし、Ar1とAr2のどちらか一方または双方において、芳香環上に少なくとも1つのカルボキシル基を有する。〕
2. 前記Ar1が、カルボキシル基で置換されたアリール基である1のトリアジン環含有重合体、
3. 前記式(2)〜(13)が、いずれもその中の少なくとも1つの芳香環上に少なくとも1つのカルボキシル基を有する1のトリアジン環含有重合体、
4. 前記Ar1が、アルキル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基で置換されたアリール基である3のトリアジン環含有重合体、
5. さらに、下記式(1′)で表される繰り返し単位構造を含む1〜4のいずれかのトリアジン環含有重合体、
Figure 2016024613
{式中、RおよびR′は、互いに独立して、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、またはアラルキル基を表し、Ar3は、アルキル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基で置換されたアリール基を表し、Ar4は、式(2′)〜(13′)で示される群から選ばれる少なくとも1種を表す。
Figure 2016024613
〔式中、R1′〜R92′は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、R93およびR94は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表し、W1およびW2は、互いに独立して、単結合、CR9596(R95およびR96は、互いに独立して、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基(ただし、これらは一緒になって環を形成していてもよい。)を表す。)、C=O、O、S、SO、SO2、またはNR97(R97は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。)を表し、X1′およびX2′は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14′)
Figure 2016024613
(式中、R98′〜R101′は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、Y1およびY2は、互いに独立して、単結合または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基を表す。)で示される基を表す。〕}
6. 前記Ar1およびAr4が、これらAr1およびAr4上のNH基に対するオルト位の少なくとも一方に炭素数1〜20のアルキル基を有するアリール基である5のトリアジン環含有重合体、
7. 前記Ar1およびAr4が、前記オルト位の双方に炭素数1〜5のアルキル基を有するフェニル基である6のトリアジン環含有重合体、
8. 前記Ar1が、式(15)で示される7のトリアジン環含有重合体、
Figure 2016024613
9. 前記Ar2が、式(16)で示される1および3〜8のいずれかのトリアジン環含有重合体、
Figure 2016024613
10. 前記Ar2が、式(17)で示される9のトリアジン環含有重合体、
Figure 2016024613
11. 前記Ar4が、式(18)で示される5のトリアジン環含有重合体、
Figure 2016024613
12. さらに、下記式(1′′)で表される繰り返し単位構造を含む1または5のトリアジン環含有重合体、
Figure 2016024613
{式中、RおよびR′は、互いに独立して、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、またはアラルキル基を表し、Ar5は、非置換のアリール基を表し、Ar4は、式(2′)〜(13′)で示される群から選ばれる少なくとも1種を表す。
Figure 2016024613
〔式中、R1′〜R92′は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、R93およびR94は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表し、W1およびW2は、互いに独立して、単結合、CR9596(R95およびR96は、互いに独立して、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基(ただし、これらは一緒になって環を形成していてもよい。)を表す。)、C=O、O、S、SO、SO2、またはNR97(R97は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。)を表し、X1′およびX2′は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14′)
Figure 2016024613
(式中、R98′〜R101′は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、Y1およびY2は、互いに独立して、単結合または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基を表す。)で示される基を表す。〕}
13. 少なくとも1つのジアミン末端を有し、このジアミン末端の少なくとも1つが、アシル基、アルコキシカルボニル基、アラルキルオキシカルボニル基またはアリールオキシカルボニル基で封止されている1〜12のいずれかのトリアジン環含有重合体、
14. 1〜13のいずれかのトリアジン環含有重合体と有機溶媒とを含むトリアジン系重合体含有組成物、
15. さらに、架橋剤を含む14のトリアジン系重合体含有組成物、
16. 前記架橋剤が、多官能(メタ)アクリル化合物である15のトリアジン系重合体含有組成物、
17. 硬化膜形成用またはパターン形成用である15または16のトリアジン系重合体含有組成物、
18. 14〜17のいずれかのトリアジン系重合体含有組成物を硬化させて得られる硬化膜、
19. 15〜17のいずれかのトリアジン系重合体含有組成物から作製されたパターン、
20. 基材と、この基材上に形成された18の硬化膜とを備える電子デバイス、
21. 基材と、この基材上に形成された18の硬化膜とを備える光学部材、
22. 基材と、この基材上に形成された19のパターンとを備える電子デバイス
を提供する。
本発明によれば、高屈折率で透明性に優れた薄膜を形成し得るとともに、マスキングして露光・硬化させた後、これをアルカリ現像等することで微細パターンを形成することができる。
本発明の組成物から作製された硬化膜や微細パターンは、架橋されたトリアジン環含有重合体による、高耐熱性、高屈折率、低体積収縮という特性を発揮し得るため、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ、タッチパネル、LED素子、固体撮像素子、有機薄膜太陽電池、色素増感太陽電池、TFT、レンズ、プリズム、カメラ、双眼鏡、顕微鏡、半導体露光装置等を作製する際の一部材など、電子デバイスや光学材料の分野に好適に利用できる。
特に、本発明の組成物から作製された硬化膜や微細パターンは、透明性が高く、屈折率も高いため、ITOや銀ナノワイヤ等の透明導電膜の視認性を改善することができ、透明導電膜の劣化を抑制することができる。
また、本発明の組成物から作製された高屈折率パターンは、上述したタッチパネル等の透明電極骨見え防止、有機ELディスプレイの光取出し用途やブラックマトリックス用途をはじめとした、高屈折率パターンが要求される用途に好適に用いることできる。
実施例1で得られた高分子化合物[5]の1H−NMRスペクトル図である。 実施例2で得られた高分子化合物[7]の1H−NMRスペクトル図である。 実施例3で得られた高分子化合物[9]の1H−NMRスペクトル図である。 実施例4で得られた高分子化合物[11]の1H−NMRスペクトル図である。 実施例14で得られた高分子化合物[16]の1H−NMRスペクトル図である。
以下、本発明についてさらに詳しく説明する。
本発明に係るトリアジン環含有重合体は、下記式(1)で表される繰り返し単位構造を含むものである。
Figure 2016024613
上記式中、RおよびR′は、互いに独立して、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、またはアラルキル基を表すが、屈折率をより高めるという観点から、ともに水素原子であることが好ましい。
本発明において、アルキル基の炭素数としては特に限定されるものではないが、1〜20が好ましく、ポリマーの耐熱性をより高めることを考慮すると、炭素数1〜10がより好ましく、1〜3がより一層好ましい。また、その構造は、鎖状、分岐状、環状のいずれでもよい。
アルキル基の具体例としては、メチル、エチル、n−プロピル、イソプロピル、シクロプロピル、n−ブチル、イソブチル、s−ブチル、t−ブチル、シクロブチル、1−メチル−シクロプロピル、2−メチル−シクロプロピル、n−ペンチル、1−メチル−n−ブチル、2−メチル−n−ブチル、3−メチル−n−ブチル、1,1−ジメチル−n−プロピル、1,2−ジメチル−n−プロピル、2,2−ジメチル−n−プロピル、1−エチル−n−プロピル、シクロペンチル、1−メチル−シクロブチル、2−メチル−シクロブチル、3−メチル−シクロブチル、1,2−ジメチル−シクロプロピル、2,3−ジメチル−シクロプロピル、1−エチル−シクロプロピル、2−エチル−シクロプロピル、n−ヘキシル、1−メチル−n−ペンチル、2−メチル−n−ペンチル、3−メチル−n−ペンチル、4−メチル−n−ペンチル、1,1−ジメチル−n−ブチル、1,2−ジメチル−n−ブチル、1,3−ジメチル−n−ブチル、2,2−ジメチル−n−ブチル、2,3−ジメチル−n−ブチル、3,3−ジメチル−n−ブチル、1−エチル−n−ブチル、2−エチル−n−ブチル、1,1,2−トリメチル−n−プロピル、1,2,2−トリメチル−n−プロピル、1−エチル−1−メチル−n−プロピル、1−エチル−2−メチル−n−プロピル、シクロヘキシル、1−メチル−シクロペンチル、2−メチル−シクロペンチル、3−メチル−シクロペンチル、1−エチル−シクロブチル、2−エチル−シクロブチル、3−エチル−シクロブチル、1,2−ジメチル−シクロブチル、1,3−ジメチル−シクロブチル、2,2−ジメチル−シクロブチル、2,3−ジメチル−シクロブチル、2,4−ジメチル−シクロブチル、3,3−ジメチル−シクロブチル、1−n−プロピル−シクロプロピル、2−n−プロピル−シクロプロピル、1−イソプロピル−シクロプロピル、2−イソプロピル−シクロプロピル、1,2,2−トリメチル−シクロプロピル、1,2,3−トリメチル−シクロプロピル、2,2,3−トリメチル−シクロプロピル、1−エチル−2−メチル−シクロプロピル、2−エチル−1−メチル−シクロプロピル、2−エチル−2−メチル−シクロプロピル、2−エチル−3−メチル−シクロプロピル基等が挙げられる。
上記アルコキシ基の炭素数としては特に限定されるものではないが、1〜20が好ましく、ポリマーの耐熱性をより高めることを考慮すると、炭素数1〜10がより好ましく、1〜3がより一層好ましい。また、そのアルキル部分の構造は、鎖状、分岐状、環状のいずれでもよい。
アルコキシ基の具体例としては、メトキシ、エトキシ、n−プロポキシ、イソプロポキシ、n−ブトキシ、イソブトキシ、s−ブトキシ、t−ブトキシ、n−ペンチルオキシ、1−メチル−n−ブトキシ、2−メチル−n−ブトキシ、3−メチル−n−ブトキシ、1,1−ジメチル−n−プロポキシ、1,2−ジメチル−n−プロポキシ、2,2−ジメチル−n−プロポキシ、1−エチル−n−プロポキシ、n−ヘキシルオキシ、1−メチル−n−ペンチルオキシ、2−メチル−n−ペンチルオキシ、3−メチル−n−ペンチルオキシ、4−メチル−n−ペンチルオキシ、1,1−ジメチル−n−ブトキシ、1,2−ジメチル−n−ブトキシ、1,3−ジメチル−n−ブトキシ、2,2−ジメチル−n−ブトキシ、2,3−ジメチル−n−ブトキシ、3,3−ジメチル−n−ブトキシ、1−エチル−n−ブトキシ、2−エチル−n−ブトキシ、1,1,2−トリメチル−n−プロポキシ、1,2,2−トリメチル−n−プロポキシ、1−エチル−1−メチル−n−プロポキシ、1−エチル−2−メチル−n−プロポキシ基等が挙げられる。
上記アリール基の炭素数としては特に限定されるものではないが、6〜40が好ましく、ポリマーの耐熱性をより高めることを考慮すると、炭素数6〜16がより好ましく、6〜13がより一層好ましい。
アリール基の具体例としては、フェニル、o−クロルフェニル、m−クロルフェニル、p−クロルフェニル、o−フルオロフェニル、p−フルオロフェニル、o−メトキシフェニル、p−メトキシフェニル、p−ニトロフェニル、p−シアノフェニル、α−ナフチル、β−ナフチル、o−ビフェニリル、m−ビフェニリル、p−ビフェニリル、1−アントリル、2−アントリル、9−アントリル、1−フェナントリル、2−フェナントリル、3−フェナントリル、4−フェナントリル、9−フェナントリル基等が挙げられる。
アラルキル基の炭素数としては特に限定されるものではないが、炭素数7〜20が好ましく、そのアルキル部分は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。
その具体例としては、ベンジル、p−メチルフェニルメチル、m−メチルフェニルメチル、o−エチルフェニルメチル、m−エチルフェニルメチル、p−エチルフェニルメチル、2−プロピルフェニルメチル、4−イソプロピルフェニルメチル、4−イソブチルフェニルメチル、α−ナフチルメチル基等が挙げられる。
上記Ar1は、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基またはカルボキシル基で置換されていてもよいアリール基を表すが、式(1)で示される繰り返し単位構造のみからなる高分子化合物の場合、レジスト溶剤等の安全性の高い溶剤に対するトリアジン環含有重合体の溶解性を確保するという観点から、アルキル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基で置換されたフェニル基が好ましい。
置換基としては、炭素数1〜20のアルキル基が好ましく、炭素数1〜10のアルキル基がより好ましく、炭素数1〜5のアルキル基がより一層好ましい。
なお、これらアルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基としては、上記で例示したものと同様のものが挙げられる。
また、置換基の数や置換位置は特に限定されるものではないが、レジスト溶剤等の安全性の高い溶剤に対するトリアジン環含有重合体の溶解性を向上させるという観点から、Ar1上のNH基に対してメタ位またはオルト位に少なくとも1つの置換基が存在することが好ましく、オルト位の少なくとも一方に置換基が存在することがより好ましく、オルト位の双方に置換基が存在することがより一層好ましい。
これらの観点から、上記Ar1としては、このAr1上のNH基に対するオルト位の少なくとも一方に炭素数1〜20のアルキル基を有するアリール基が好ましく、オルト位の双方に炭素数1〜5のアルキル基を有するフェニル基がより好ましく、式(15)で示される、オルト位の双方にメチル基を有するフェニル基が最適である。
Figure 2016024613
一方、Ar2は、式(2)〜(13)で示される群から選ばれる少なくとも1種を表す。
Figure 2016024613
上記R1〜R92は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、カルボキシル基、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、R93およびR94は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表し、W1およびW2は、互いに独立して、単結合、CR9596(R95およびR96は、互いに独立して、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基(ただし、これらは一緒になって環を形成していてもよい。)を表す。)、C=O、O、S、SO、SO2、またはNR97(R97は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。)を表す。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
なお、アルキル基、アルコキシ基としては上記と同様のものが挙げられる。
また、X1およびX2は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14)で示される基を表す。
Figure 2016024613
上記R98〜R101は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、カルボキシル基、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、Y1およびY2は、互いに独立して、単結合または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基を表す。これらハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基としては上記と同様のものが挙げられる。
炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基としては、メチレン、エチレン、プロピレン、トリメチレン、テトラメチレン、ペンタメチレン基等が挙げられる。
なお、本発明においては、得られる薄膜や硬化膜のアルカリ現像液に対する溶解性を向上させるという点から、Ar1とAr2のどちらか一方または双方において、芳香環上に少なくとも1つのカルボキシル基を有するが、製造工程の簡便さ等の点から、Ar2の芳香環上に少なくとも1つのカルボキシル基を有することが好ましい。
Ar2の芳香環上に少なくとも1つのカルボキシル基を有する場合とは、式(2)〜(13)が、いずれもその中の少なくとも1つの芳香環上に少なくとも1つのカルボキシル基を有する場合であり、具体的には、式(2)のR1〜R4の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(3)のR5〜R10の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(4)のR11〜R15の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(5)のR16〜R23の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(6)のR24〜R31の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(7)のR32〜R37の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(8)のR38〜R44の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(9)のR45〜R56の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(10)のR57〜R68の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(11)のR69〜R76の少なくとも1つがカルボキシル基であり(X1および/またはX2が式(14)の場合、R69〜R76およびR98〜R101の少なくとも1つがカルボキシル基であり)、式(12)のR77〜R84の少なくとも1つがカルボキシル基であり、式(13)のR85〜R92の少なくとも1つがカルボキシル基であることを意味する。
また、カルボキシル基の数は、特に限定されるものではないが、アルカリ現像液での現像性および有機溶媒に対する溶解性のバランスを考慮すると、いずれの基においても1つが好適である。
特に、Ar2としては、式(2)、(5)〜(13)で示される少なくとも1種が好ましく、式(2)、(5)、(7)、(8)、(11)〜(13)で示される少なくとも1種がより好ましい。上記式(2)〜(13)で表されるアリール基の具体例としては、下記式で示されるものが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
Figure 2016024613
これらの中でも、より高い屈折率のポリマーが得られることから、下記式で示されるアリール基がより好ましい。
Figure 2016024613
さらに、アルカリ現像液での現像性および有機溶媒に対する溶解性のバランスを考慮すると、Ar2としては、式(16)で示される基が好ましく、式(17)で示される基がより好ましい。
Figure 2016024613
本発明のトリアジン環含有重合体は、上記式(1)で表される繰り返し単位のみを含むものでもよいが、式(1)で表される繰り返し単位構造とともにカルボキシル基を有しないジアミンを用いて得られる式(1′)で表される繰り返し単位を含むことが好ましい。
このような2種類のジアミンを併用した共重合型とすることで、レジスト溶剤等の安全性の高い溶剤に対するトリアジン環含有重合体の溶解性をより高めることができる。
Figure 2016024613
式(1′)において、RおよびR′は、上記と同じ意味を表し、Ar3は、アルキル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基で置換されたアリール基を表し、Ar4は、式(2′)〜(13′)で示される群から選ばれる少なくとも1種を表す。
上記アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基としては上記と同様のものが挙げられる。
Figure 2016024613
上記R1′〜R92′は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、R93およびR94は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表し、W1およびW2は、互いに独立して、単結合、CR9596(R95およびR96は、互いに独立して、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基(ただし、これらは一緒になって環を形成していてもよい。)を表す。)、C=O、O、S、SO、SO2、またはNR97(R97は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。)を表す。これらハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基としては上記と同様のものが挙げられる。
また、X1′およびX2′は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14′)で示される基を表す。
Figure 2016024613
上記R98′〜R101′は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、Y1およびY2は、上記と同じ意味を表す。これらハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基としては上記と同様のものが挙げられる。
特に、Ar4としては、式(2′)、(5′)〜(13′)で示される少なくとも1種が好ましく、式(2′)、(5′)、(7′)、(8′)、(11′)〜(13′)で示される少なくとも1種がより好ましい。上記式(2′)〜(13′)で表されるアリール基の具体例としては、下記式で示されるものが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
Figure 2016024613
これらの中でも、より高い屈折率のポリマーが得られることから、下記式で示されるアリール基がより好ましい。
Figure 2016024613
特に、レジスト溶剤等の安全性の高い溶剤に対するトリアジン環含有重合体の溶解性をより高めることを考慮すると、Ar4としては、式(18)で示されるm−フェニレン基が好ましい。
Figure 2016024613
このような共重合型の重合体とする場合、式(1)で表される繰り返し単位と式(1′)で表される繰り返し単位との含有比率は、特に限定されるものではないが、アルカリ溶解性および有機溶媒に対する溶解性のバランスを考慮すると、モル比で50:50〜99:1程度が好ましく、60:40〜90:10がより好ましく、65:35〜80:20がより一層好ましい。
さらに、式(1)で表される繰り返し単位構造とともに置換基を有しないアミンおよびカルボキシル基を有しないジアミンを用いて得られる式(1′′)で表される繰り返し単位を含むことが好ましい。
この繰り返し単位構造を含む重合体とすることで、屈折率の低下を抑制することができる。
Figure 2016024613
式(1′′)において、R、R′およびAr4は、上記と同じ意味を表し、Ar5は、非置換のアリール基を表す。
このアリール基としては、上記と同様のものが挙げられるが、フェニル基が好ましい。
このような共重合型の重合体とする場合、式(1)で表される繰り返し単位と式(1′′)で表される繰り返し単位との含有比率(カルボキシル基含有ジアミンとカルボキシル基非含有ジアミンとの使用比率)は、特に限定されるものではないが、アルカリ溶解性および有機溶媒に対する溶解性のバランス、並びに屈折率を考慮すると、モル比で50:50〜99:1程度が好ましく、60:40〜90:10がより好ましく、65:35〜80:20がより一層好ましい。
また、式(1)で表される繰り返し単位、式(1′)で表される繰り返し単位および式(1′′)で表される繰り返し単位を含む3成分共重合型の重合体とする場合、式(1)で表される繰り返し単位、式(1′)で表される繰り返し単位、および式(1′′)で表される繰り返し単位の含有比率は、特に限定されるものではないが、アルカリ溶解性および有機溶媒に対する溶解性のバランス、並びに屈折率を考慮すると、モル比で50:10:40〜98:1:1程度が好ましく、60:10:30〜90:5:5がより好ましく、65:5:30〜90:5:5がより一層好ましい。
本発明において、特に好適なトリアジン環含有重合体としては、式(19)〜(34)で示されるものが挙げられる。
Figure 2016024613
(式中、R、R′、R1〜R3およびR1′〜R4′は上記と同じ意味を表し、R102およびR103は、互いに独立して炭素数1〜5のアルキル基を表し、このアルキル基の具体例としては、上記例示したアルキル基のうち炭素数1〜5のものが挙げられる。)
Figure 2016024613
(式中、R、R′、R1〜R3、R1′〜R4′、R102およびR103は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 2016024613
(式中、R、R′、R1〜R3およびR1′〜R4′は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 2016024613
Figure 2016024613
(式中、R、R′、R1〜R4およびR1′〜R4′は上記と同じ意味を表し、R102およびR103は、互いに独立して炭素数1〜5のアルキル基を表し、このアルキル基の具体例としては、上記例示したアルキル基のうち炭素数1〜5のものが挙げられる。)
Figure 2016024613
(式中、R、R′、R1〜R4、R1′〜R4′、R102およびR103は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 2016024613
(式中、R、R′、R1〜R4およびR1′〜R4′は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 2016024613
Figure 2016024613
(式中、R、R′、R1〜R3およびR1′〜R4′は上記と同じ意味を表し、R102およびR103は、互いに独立して炭素数1〜5のアルキル基を表し、このアルキル基の具体例としては、上記例示したアルキル基のうち炭素数1〜5のものが挙げられる。)
Figure 2016024613
(式中、R、R′、R1〜R3、R1′〜R4′、R102およびR103は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 2016024613
(式中、R、R′、R1〜R3およびR1′〜R4′は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 2016024613
Figure 2016024613
(式中、R、R′、R1〜R4およびR1′〜R4′は上記と同じ意味を表し、R102およびR103は、互いに独立して炭素数1〜5のアルキル基を表し、このアルキル基の具体例としては、上記例示したアルキル基のうち炭素数1〜5のものが挙げられる。)
Figure 2016024613
(式中、R、R′、R1〜R4、R1′〜R4′、R102およびR103は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 2016024613
(式中、R、R′、R1〜R4およびR1′〜R4′は、上記と同じ意味を表す。)
Figure 2016024613
本発明における重合体の重量平均分子量(Mw)は、特に限定されるものではないが、500〜500,000が好ましく、さらに500〜100,000が好ましく、より耐熱性を向上させるとともに、収縮率を低くするという点から、2,000以上が好ましく、より溶解性を高め、得られた溶液の粘度を低下させるという点から、50,000以下が好ましく、30,000以下がより好ましく、さらに10,000以下が好ましい。
なお、本発明におけるMwは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(以下、GPCという)分析による標準ポリスチレン換算で得られる平均分子量である。
本発明のトリアジン環含有重合体は、上述した特許文献1に開示された手法によって製造することができる。
例えば、下記スキーム1に示されるように、トリアジン環含有重合体(22)は、トリアジン化合物(27)およびアリールアミノ化合物(28)を適当な有機溶媒中で反応させた後、これをカルボキシル基を有するアリールジアミノ化合物(29)およびカルボキシル基を有しないアリールジアミノ化合物(30)と適当な有機溶媒中で反応させて得ることができる。
Figure 2016024613
(式中、Xは、互いに独立してハロゲン原子を表す。)
上記1段階目の反応において、各原料の仕込み量としては、特に限定されるものではないが、トリアジン化合物(27)1当量に対し、アリールアミノ化合物(28)1当量が好ましい。
反応温度は、用いる溶媒の融点から溶媒の沸点までの範囲で適宜設定すればよいが、特に、−30〜50℃程度が好ましく、−10〜30℃がより好ましい。
各成分の配合順序は任意であるが、トリアジン化合物(27)および有機溶媒を含む溶液に、アリールアミノ化合物(28)を加える方法が好適である。
アリールアミノ化合物(28)は、ニートで加えても、有機溶媒に溶かした溶液で加えてもよいが、操作の容易さや反応のコントロールのし易さなどを考慮すると、後者の手法が好適である。
また、添加は、滴下等によって徐々に加えても、全量一括して加えてもよい。
上記2段階目の反応において、アリールジアミノ化合物(29)および(30)の仕込み比は、目的とする重合体が得られる限り任意であるが、トリアジン化合物(27)1当量に対し、アリールジアミノ化合物(29)および(30)の総量として0.01〜10当量が好ましく、1〜5当量がより好ましい。カルボキシル基を有するアリールジアミノ化合物(29)およびカルボキシル基を有しないアリールジアミノ化合物(30)の仕込み比は、上述のとおり、モル比でアリールジアミノ化合物(29):アリールジアミノ化合物(30)=50:50〜99:1程度が好ましく、60:40〜90:10がより好ましく、65:35〜80:20がより一層好ましい。
アリールジアミノ化合物(29)および(30)は、ニートで加えても、有機溶媒に溶かした溶液で加えてもよいが、操作の容易さや反応のコントロールのし易さなどを考慮すると、後者の手法が好適である。
反応温度は、用いる溶媒の融点から溶媒の沸点までの範囲で適宜設定すればよいが、特に、−30〜150℃程度が好ましく、−10〜100℃がより好ましい。
有機溶媒としては、この種の反応において通常用いられる種々の溶媒を用いることができ、例えば、テトラヒドロフラン(THF)、ジオキサン、ジメチルスルホキシド(DMSO);N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)、テトラメチル尿素、ヘキサメチルホスホルアミド、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)、N−メチル−2−ピペリドン、N,N−ジメチルエチレン尿素、N,N,N′,N′−テトラメチルマロン酸アミド、N−メチルカプロラクタム、N−アセチルピロリジン、N,N−ジエチルアセトアミド、N−エチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルプロピオン酸アミド、N,N−ジメチルイソブチルアミド、N−メチルホルムアミド、N,N′−ジメチルプロピレン尿素等のアミド系溶媒、およびそれらの混合溶媒が挙げられる。
中でもDMF、DMSO、NMP、DMAc、およびそれらの混合溶媒が好ましく、特に、DMAc、NMPが好適である。
また、上記スキーム1の反応では、重合時または重合後に通常用いられる種々の塩基を添加してもよい。
この塩基の具体例としては、炭酸カリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ナトリウムエトキシド、酢酸ナトリウム、炭酸リチウム、水酸化リチウム、酸化リチウム、酢酸カリウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、水酸化バリウム、リン酸三リチウム、リン酸三ナトリウム、リン酸三カリウム、フッ化セシウム、酸化アルミニウム、アンモニア、n−プロピルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、ジイソプロピルアミン、ジイソプロピルエチルアミン、N−メチルピペリジン、2,2,6,6−テトラメチル−N−メチルピペリジン、ピリジン、4−ジメチルアミノピリジン、N−メチルモルホリン等が挙げられる。
塩基の添加量は、トリアジン化合物(27)1当量に対して1〜100当量が好ましく、1〜10当量がより好ましい。なお、これらの塩基は水溶液にして用いてもよい。
得られる重合体には、原料成分が残存していないことが好ましいが、本発明の効果を損なわなければ一部の原料が残存していてもよい。
反応終了後、生成物は再沈法等によって容易に精製できる。
なお、側鎖にカルボキシル基を有するトリアジン環含有重合体を製造する場合は、1段階目の反応に、カルボキシル基を有するアリールアミノ化合物と、カルボキシル基を有しないアリールアミノ化合物とを、好ましくはアリールジアミノ化合物(29)およびアリールジアミノ化合物(30)の使用比率で用いるとともに、2段階目の反応に、カルボキシル基を有しないジアミノ化合物のみを用いればよく、その他の反応条件等は上述と同様である。
なお、本発明のトリアジン環含有重合体は、少なくとも1つのジアミン末端を有し、このジアミン末端の少なくとも1つが、アシル基、アルコキシカルボニル基、アラルキルオキシカルボニル基またはアリールオキシカルボニル基等のカルボニル含有基で封止されていることが好ましい。このように、カルボニル含有基で末端を封止することで、トリアジン環含有重合体の着色を抑制することができる。
アシル基の具体例としては、アセチル基、エチルカルボニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、ベンゾイル基等が挙げられる。
アルコキシカルボニル基の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、t−ブトキシカルボニル基等が挙げられる。
アラルキルオキシカルボニル基の具体例としては、ベンジルオキシカルボニル基等が挙げられる。
アリールオキシカルボニル基の具体例としては、フェノキシカルボニル基等が挙げられる。
これらの中でも、末端封止基としてはアシル基が好ましく、試薬の入手容易性等を考慮するとアクリロイル基、メタクリロイル基、アセチル基がより好ましい。
末端封止方法としては、公知の方法を採用すればよく、例えば、上記の手法により得られたトリアジン環含有重合体(22)を、末端封止基を与える末端封止剤である、酸ハロゲン化物、酸無水物等で処理すればよい。
この場合、末端封止剤の使用量は、重合反応に使われなかった余剰のジアミノ化合物由来のアミノ基1当量に対し、0.05〜10当量程度が好ましく、0.1〜5当量がより好ましく、0.5〜2当量がより一層好ましい。
上述した本発明のトリアジン環含有重合体は、架橋剤とともに膜形成用組成物やパターン形成用組成物として好適に用いることができる。
架橋剤としては、上述したトリアジン環含有重合体と反応し得る置換基を有する化合物であれば特に限定されるものではない。
そのような化合物としては、メチロール基、メトキシメチル基などの架橋形成置換基を有するメラミン系化合物、置換尿素系化合物、エポキシ基またはオキセタン基などの架橋形成置換基を含有する化合物、ブロック化イソシアナートを含有する化合物、酸無水物を有する化合物、(メタ)アクリル基を有する化合物、フェノプラスト化合物等が挙げられるが、耐熱性や保存安定性の観点からエポキシ基、ブロックイソシアネート基、(メタ)アクリル基を含有する化合物が好ましく、特に、ブロックイソシアネート基を有する化合物や、開始剤を用いなくとも光硬化可能な組成物を与える多官能エポキシ化合物および/または多官能(メタ)アクリル化合物が好ましい。
なお、これらの化合物は、重合体の末端処理に用いる場合は少なくとも1個の架橋形成置換基を有していればよく、重合体同士の架橋処理に用いる場合は少なくとも2個の架橋形成置換基を有する必要がある。
多官能エポキシ化合物としては、エポキシ基を一分子中2個以上有するものであれば特に限定されるものではない。
その具体例としては、トリス(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,2−エポキシ−4−(エポキシエチル)シクロヘキサン、グリセロールトリグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、2,6−ジグリシジルフェニルグリシジルエーテル、1,1,3−トリス[p−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]プロパン、1,2−シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジルエステル、4,4′−メチレンビス(N,N−ジグリシジルアニリン)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、トリメチロールエタントリグリシジルエーテル、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル等が挙げられる。
また、市販品として、少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂である、YH−434、YH434L(東都化成(株)製)、シクロヘキセンオキサイド構造を有するエポキシ樹脂である、エポリードGT−401、同GT−403、同GT−301、同GT−302、セロキサイド2021、同3000(ダイセル化学工業(株)製)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂である、エピコート(現、jER)1001、同1002、同1003、同1004、同1007、同1009、同1010、同828(以上、ジャパンエポキシレジン(株)製)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂である、エピコート(現、jER)807(ジャパンエポキシレジン(株)製)、フェノールノボラック型エポキシ樹脂である、エピコート(現、jER)152、同154(以上、ジャパンエポキシレジン(株)製)、EPPN201、同202(以上、日本化薬(株)製)、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂である、EOCN−102、同103S、同104S、同1020、同1025、同1027(以上、日本化薬(株)製)、エピコート(現、jER)180S75(ジャパンエポキシレジン(株)製)、脂環式エポキシ樹脂である、デナコールEX−252(ナガセケムテックス(株)製)、CY175、CY177、CY179(以上、CIBA−GEIGY A.G製)、アラルダイトCY−182、同CY−192、同CY−184(以上、CIBA−GEIGY A.G製)、エピクロン200、同400(以上、DIC(株)製)、エピコート(現、jER)871、同872(以上、ジャパンエポキシレジン(株)製)、ED−5661、ED−5662(以上、セラニーズコーティング(株)製)、脂肪族ポリグリシジルエーテルである、デナコールEX−611、同EX−612、同EX−614、同EX−622、同EX−411、同EX−512、同EX−522、同EX−421、同EX−313、同EX−314、同EX−321(ナガセケムテックス(株)製)等を用いることもできる。
多官能(メタ)アクリル化合物としては、(メタ)アクリル基を一分子中2個以上有するものであれば特に限定されるものではない。
その具体例としては、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート、エトキシ化ビスフェノールAジメタクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリメタクリレート、エトキシ化グリセリントリアクリレート、エトキシ化グリセリントリメタクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、エトキシ化ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ポリグリセリンモノエチレンオキサイドポリアクリレート、ポリグリセリンポリエチレングリコールポリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、多塩基酸変性アクリルオリゴマー等が挙げられる。
また、多官能(メタ)アクリル化合物は、市販品として入手が可能であり、その具体例としては、NKエステルA−200、同A−400、同A−600、同A−1000、同A−9300(イソシアヌル酸トリス(2−アクリロイルオキシエチル))、同A−9300−1CL、同A−TMPT、同UA−53H、同1G、同2G、同3G、同4G、同9G、同14G、同23G、同ABE−300、同A−BPE−4、同A−BPE−6、同A−BPE−10、同A−BPE−20、同A−BPE−30、同BPE−80N、同BPE−100N、同BPE−200、同BPE−500、同BPE−900、同BPE−1300N、同A−GLY−3E、同A−GLY−9E、同A−GLY−20E、同A−TMPT−3EO、同A−TMPT−9EO、同AT−20E、同ATM−4E、同ATM−35E(以上、新中村化学工業(株)製)、KAYARAD(登録商標)DPEA−12、同PEG400DA、同THE−330、同RP−1040(以上、日本化薬(株)製)、アロニックス(登録商標)M−210、M−350(以上、東亞合成(株)製)、KAYARAD DPHA、同NPGDA、同PET30(以上、日本化薬(株)製)、NKエステル A−DPH、同A−TMPT、同A−DCP、同A−HD−N、同TMPT、同DCP、同NPG、同HD−N(以上、新中村化学工業(株)製)、NKオリゴ U−15HA(新中村化学工業(株)製)、NKポリマー バナレジンGH−1203(新中村化学工業(株)製)、DN−0075(日本化薬(株)製)等が挙げられる。
上記多塩基酸変性アクリルオリゴマーも市販品として入手が可能であり、その具体例としては、アロニックスM−510、520(以上、東亞合成(株)製)等が挙げられる。
酸無水物化合物としては、2分子のカルボン酸を脱水縮合させたカルボン酸無水物であれば、特に限定されるものではなく、その具体例としては、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水ナジック酸、無水メチルナジック酸、無水マレイン酸、無水コハク酸、オクチル無水コハク酸、ドデセニル無水コハク酸等の分子内に1個の酸無水物基を有するもの;1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸無水物、3,4−ジカルボキシ−1,2,3,4−テトラヒドロ−1−ナフタレンコハク酸二無水物、ビシクロ[3.3.0]オクタン−2,4,6,8−テトラカルボン酸二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ−3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、3,3′,4,4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、1,3−ジメチル−1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物等の分子内に2個の酸無水物基を有するもの等が挙げられる。
ブロック化イソシアネートを含有する化合物としては、イソシアネート基(−NCO)が適当な保護基によりブロックされたブロック化イソシアネート基を一分子中2個以上有し、熱硬化の際の高温に曝されると、保護基(ブロック部分)が熱解離して外れ、生じたイソシアネート基が樹脂との間で架橋反応を起こすものであれば特に限定されるものではなく、例えば、下記式で示される基を一分子中2個以上(なお、これらの基は同一のものでも、また各々異なっているものでもよい)有する化合物が挙げられる。
Figure 2016024613
(式中、Rbはブロック部の有機基を表す。)
このような化合物は、例えば、一分子中2個以上のイソシアネート基を有する化合物に対して適当なブロック剤を反応させて得ることができる。
一分子中2個以上のイソシアネート基を有する化合物としては、例えば、イソホロンジイソシアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート、メチレンビス(4−シクロヘキシルイソシアネート)、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートのポリイソシアネートや、これらの二量体、三量体、および、これらとジオール類、トリオール類、ジアミン類、またはトリアミン類との反応物などが挙げられる。
ブロック剤としては、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−ブタノール、2−エトキシヘキサノール、2−N,N−ジメチルアミノエタノール、2−エトキシエタノール、シクロヘキサノール等のアルコール類;フェノール、o−ニトロフェノール、p−クロロフェノール、o−、m−またはp−クレゾール等のフェノール類;ε−カプロラクタム等のラクタム類、アセトンオキシム、メチルエチルケトンオキシム、メチルイソブチルケトンオキシム、シクロヘキサノンオキシム、アセトフェノンオキシム、ベンゾフェノンオキシム等のオキシム類;ピラゾール、3,5−ジメチルピラゾール、3−メチルピラゾール等のピラゾール類;ドデカンチオール、ベンゼンチオール等のチオール類などが挙げられる。
ブロック化イソシアネートを含有する化合物は、市販品としても入手が可能であり、その具体例としては、B−830、B−815N、B−842N、B−870N、B−874N、B−882N、B−7005、B−7030、B−7075、B−5010(以上、三井化学ポリウレタン(株)製)、デュラネート(登録商標)17B−60PX、同TPA−B80E、同MF−B60X、同MF−K60X、同E402−B80T(以上、旭化成ケミカルズ(株)製)、カレンズMOI−BM(登録商標)(以上、昭和電工(株)製)等が挙げられる。
アミノプラスト化合物としては、メトキシメチレン基を一分子中2個以上有するものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、ヘキサメトキシメチルメラミン CYMEL(登録商標)303、テトラブトキシメチルグリコールウリル 同1170、テトラメトキシメチルベンゾグアナミン 同1123(以上、日本サイテックインダストリーズ(株)製)等のサイメルシリーズ、メチル化メラミン樹脂であるニカラック(登録商標)MW−30HM、同MW−390、同MW−100LM、同MX−750LM、メチル化尿素樹脂である同MX−270、同MX−280同MX−290(以上、(株)三和ケミカル製)等のニカラックシリーズ等のメラミン系化合物が挙げられる。
オキセタン化合物としては、オキセタニル基を一分子中2個以上有するものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、オキセタニル基を含有するOXT−221、OX−SQ−H、OX−SC(以上、東亜合成(株)製)等が挙げられる。
フェノプラスト化合物は、ヒドロキシメチレン基を一分子中2個以上有し、そして熱硬化の際の高温に曝されると、本発明の重合体との間で脱水縮合反応により架橋反応が進行するものである。
フェノプラスト化合物としては、例えば、2,6−ジヒドロキシメチル−4−メチルフェノール、2,4−ジヒドロキシメチル−6−メチルフェノール、ビス(2−ヒドロキシ−3−ヒドロキシメチル−5−メチルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−3−ヒドロキシメチル−5−メチルフェニル)メタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジヒドロキシメチルフェニル)プロパン、ビス(3−ホルミル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチルフェニル)ホルミルメタン、α,α−ビス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチルフェニル)−4−ホルミルトルエン等が挙げられる。
フェノプラスト化合物は、市販品としても入手が可能であり、その具体例としては、26DMPC、46DMOC、DM−BIPC−F、DM−BIOC−F、TM−BIP−A、BISA−F、BI25X−DF、BI25X−TPA(以上、旭有機材工業(株)製)等が挙げられる。
これらの中でも、架橋剤配合による屈折率低下を抑制し得るとともに、硬化反応が速やかに進行するという点から、多官能(メタ)アクリル化合物が好適であり、その中でも、トリアジン環含有重合体との相溶性に優れていることから、下記イソシアヌル酸骨格を有する多官能(メタ)アクリル化合物がより好ましい。
このような骨格を有する多官能(メタ)アクリル化合物としては、例えば、NKエステルA−9300、同A−9300−1CL(いずれも、新中村化学工業(株)製)が挙げられる。
Figure 2016024613
(式中、R111〜R113は、互いに独立して、末端に少なくとも1つの(メタ)アクリル基を有する一価の有機基である。)
また、硬化速度をより向上させるとともに、得られる硬化膜の耐溶剤性、耐酸性および耐アルカリ性を高めるという観点から、25℃で液体であり、かつ、その粘度が5,000mPa・s以下、好ましくは1〜3,000mPa・s、より好ましくは1〜1,000mPa・s、より一層好ましくは1〜500mPa・sの多官能(メタ)アクリル化合物(以下、低粘度架橋剤という)を、単独もしくは2種以上組み合わせて、または、上記イソシアヌル酸骨格を有する多官能(メタ)アクリル化合物と組み合わせて用いることが好適である。
このような低粘度架橋剤も市販品として入手可能であり、例えば、上述した多官能(メタ)アクリル化合物のうち、NKエステルA−GLY−3E(85mPa・s,25℃)、同A−GLY−9E(95mPa・s,25℃)、同A−GLY−20E(200mPa・s,25℃)、同A−TMPT−3EO(60mPa・s,25℃)、同A−TMPT−9EO、同ATM−4E(150mPa・s,25℃)、同ATM−35E(350mPa・s,25℃)(以上、新中村化学工業(株)製)等の、(メタ)アクリル基間の鎖長が比較的長い架橋剤が挙げられる。
さらに、得られる硬化膜の耐アルカリ性をも向上させることを考慮すると、NKエステルA−GLY−20E(新中村化学工業(株)製)、および同ATM−35E(新中村化学工業(株)製)の少なくとも一方と、上記イソシアヌル酸骨格を有する多官能(メタ)アクリル化合物と組み合わせて用いることが好適である。
また、PETやポリオレフィンフィルム等の保護フィルムに本発明のトリアジン環含有重合体からなる薄膜を積層し、保護フィルムを介して光照射する場合、薄膜積層フィルムにおいても酸素阻害を受けることなく良好な硬化性を得ることができる。この場合、保護フィルムは硬化後に剥離する必要があるため、剥離性の良好な薄膜を与える多塩基酸変性アクリルオリゴマーを用いることが好ましい。
上述した架橋剤は単独で使用しても、2種以上組み合わせて使用してもよい。架橋剤の使用量は、トリアジン環含有重合体100質量部に対して、1〜100質量部が好ましいが、溶剤耐性を考慮すると、その下限は、好ましくは2質量部、より好ましくは5質量部であり、さらには、屈折率をコントロールすることを考慮すると、その上限は好ましくは20質量部、より好ましくは15質量部である。
本発明の組成物には、それぞれの架橋剤に応じた開始剤を配合することもできる。なお、上述のとおり、架橋剤として多官能エポキシ化合物および/または多官能(メタ)アクリル化合物を用いる場合、開始剤を使用せずとも光硬化が進行して硬化膜を与えるものであるが、その場合に開始剤を使用しても差し支えない。
多官能エポキシ化合物を架橋剤として用いる場合には、光酸発生剤や光塩基発生剤を用いることができる。
光酸発生剤としては、公知のものから適宜選択して用いればよく、例えば、ジアゾニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩などのオニウム塩誘導体を用いることができる。
その具体例としては、フェニルジアゾニウムヘキサフルオロホスフェート、4−メトキシフェニルジアゾニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−メチルフェニルジアゾニウムヘキサフルオロホスフェート等のアリールジアゾニウム塩;ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジ(4−メチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ジ(4−t−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート等のジアリールヨードニウム塩;トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス(4−メトキシフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジフェニル−4−チオフェノキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニル−4−チオフェノキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、4,4′−ビス(ジフェニルスルホニオ)フェニルスルフィド−ビスヘキサフルオロアンチモネート、4,4′−ビス(ジフェニルスルホニオ)フェニルスルフィド−ビスヘキサフルオロホスフェート、4,4′−ビス[ジ(β−ヒドロキシエトキシ)フェニルスルホニオ]フェニルスルフィド−ビスヘキサフルオロアンチモネート、4,4′−ビス[ジ(β−ヒドロキシエトキシ)フェニルスルホニオ]フェニルスルフィド−ビス−ヘキサフルオロホスフェート、4−[4′−(ベンゾイル)フェニルチオ]フェニル−ジ(4−フルオロフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−[4′−(ベンゾイル)フェニルチオ]フェニル−ジ(4−フルオロフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート等のトリアリールスルホニウム塩等が挙げられる。
これらのオニウム塩は市販品を用いてもよく、その具体例としては、サンエイドSI−60、SI−80、SI−100、SI−60L、SI−80L、SI−100L、SI−L145、SI−L150、SI−L160、SI−L110、SI−L147(以上、三新化学工業(株)製)、UVI−6950、UVI−6970、UVI−6974、UVI−6990、UVI−6992(以上、ユニオンカーバイド社製)、CPI−100P、CPI−100A、CPI−200K、CPI−200S(以上、サンアプロ(株)製)、アデカオプトマーSP−150、SP−151、SP−170、SP−171(以上、旭電化工業(株)製)、イルガキュア 261(BASF社製)、CI−2481、CI−2624、CI−2639、CI−2064(以上、日本曹達(株)製)、CD−1010、CD−1011、CD−1012(以上、サートマー社製)、DS−100、DS−101、DAM−101、DAM−102、DAM−105、DAM−201、DSM−301、NAI−100、NAI−101、NAI−105、NAI−106、SI−100、SI−101、SI−105、SI−106、PI−105、NDI−105、BENZOIN TOSYLATE、MBZ−101、MBZ−301、PYR−100、PYR−200、DNB−101、NB−101、NB−201、BBI−101、BBI−102、BBI−103、BBI−109(以上、ミドリ化学(株)製)、PCI−061T、PCI−062T、PCI−020T、PCI−022T(以上、日本化薬(株)製)、IBPF、IBCF(三和ケミカル(株)製)等を挙げることができる。
一方、光塩基発生剤としても、公知のものから適宜選択して用いればよく、例えば、Co−アミン錯体系、オキシムカルボン酸エステル系、カルバミン酸エステル系、四級アンモニウム塩系光塩基発生剤などを用いることができる。
その具体例としては、2−ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメート、トリフェニルメタノール、O−カルバモイルヒドロキシルアミド、O−カルバモイルオキシム、[[(2,6−ジニトロベンジル)オキシ]カルボニル]シクロヘキシルアミン、ビス[[(2−ニトロベンジル)オキシ]カルボニル]ヘキサン−1,6−ジアミン、4−(メチルチオベンゾイル)−1−メチル−1−モルホリノエタン、(4−モルホリノベンゾイル)−1−ベンジル−1−ジメチルアミノプロパン、N−(2−ニトロベンジルオキシカルボニル)ピロリジン、ヘキサアンミンコバルト(III)トリス(トリフェニルメチルボレート)、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2,6−ジメチル−3,5−ジアセチル−4−(2′−ニトロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン、2,6−ジメチル−3,5−ジアセチル−4−(2′,4′−ジニトロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン等が挙げられる。
また、光塩基発生剤は市販品を用いてもよく、その具体例としては、TPS−OH、NBC−101、ANC−101(いずれも製品名、みどり化学(株)製)等が挙げられる。
光酸または塩基発生剤を用いる場合、多官能エポキシ化合物100質量部に対して、0.1〜15質量部の範囲で使用することが好ましく、より好ましくは1〜10質量部の範囲である。
なお、必要に応じてエポキシ樹脂硬化剤を、多官能エポキシ化合物100質量部に対して、1〜100質量部の量で配合してもよい。
一方、多官能(メタ)アクリル化合物を用いる場合には、光ラジカル重合開始剤を用いることができる。
光ラジカル重合開始剤としても、公知のものから適宜選択して用いればよく、例えば、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、ミヒラーのベンゾイルベンゾエート、アミロキシムエステル、オキシムエステル類、テトラメチルチウラムモノサルファイドおよびチオキサントン類等が挙げられる。
特に、光開裂型の光ラジカル重合開始剤が好ましい。光開裂型の光ラジカル重合開始剤については、最新UV硬化技術(159頁、発行人:高薄一弘、発行所:(株)技術情報協会、1991年発行)に記載されている。
市販の光ラジカル重合開始剤としては、例えば、BASF社製 商品名:イルガキュア 127、184、369、379、379EG、651、500、754、819、903、907、784、2959、CGI1700、CGI1750、CGI1850、CG24−61、OXE01、OXE02、ダロキュア 1116、1173、MBF、BASF社製 商品名:ルシリン TPO、UCB社製 商品名:ユベクリル P36、フラテツリ・ランベルティ社製 商品名:エザキュアー KIP150、KIP65LT、KIP100F、KT37、KT55、KTO46、KIP75/B等が挙げられる。
光ラジカル重合開始剤を用いる場合、多官能(メタ)アクリレート化合物100質量部に対して、0.1〜200質量部の範囲で使用することが好ましく、1〜150質量部の範囲で使用することがより好ましい。
本発明の組成物には、各種溶媒を添加し、トリアジン環含有重合体を溶解させて使用することが好ましい。
溶媒としては、例えば、水、トルエン、p−キシレン、o−キシレン、m−キシレン、エチルベンゼン、スチレン、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコ−ルモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール、1−オクタノール、エチレングリコール、ヘキシレングリコール、トリメチレングリコール、1−メトキシ−2−ブタノール、シクロヘキサノール、ジアセトンアルコール、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、プロピレングリコール、ベンジルアルコール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、2,3−ブタンジオール、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソプロピルケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルn−ブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン(CHN)、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸n−プロピル、酢酸イソブチル、酢酸n−ブチル、乳酸エチル、メタノール、エタノール、2−プロパノール、t−ブチルアルコール、アリルアルコール、1−プロパノール、2−メチル−2−ブタノール、イソブチルアルコール、1−ブタノール、2−メチル−1−ブタノール、1−ペンタノール、2−メチル−1−ペンタノール、2−エチルヘキサノール、1−メトキシ−2−プロパノール、THF、1,4−ジオキサン、DMF、DMAc、NMP、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、DMSO、N−シクロヘキシル−2−ピロリジノン等が挙げられ、これらは単独で用いても、2種以上混合して用いてもよい。
この際、組成物中の固形分濃度は、保存安定性に影響を与えない範囲であれば特に限定されず、目的とする膜の厚みに応じて適宜設定すればよい。具体的には、溶解性および保存安定性の観点から、固形分濃度0.1〜50質量%が好ましく、より好ましくは0.1〜40質量%である。
本発明の組成物には、本発明の効果を損なわない限りにおいて、トリアジン環含有重合体、架橋剤および溶媒以外のその他の成分、例えば、レベリング剤、界面活性剤、シランカップリング剤、無機微粒子などの添加剤が含まれていてもよい。
界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリルエーテル類;ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロックコポリマー類;ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタントリステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類;ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤、商品名エフトップEF301、EF303、EF352(三菱マテリアル電子化成(株)製(旧(株)ジェムコ製))、商品名メガファックF171、F173、R−08、R−30、R−40、F−553、F−554、RS−75、RS−72−K(DIC(株)製)、フロラードFC430、FC431(住友スリーエム(株)製)、商品名アサヒガードAG710、サーフロンS−382、SC101、SC102、SC103、SC104、SC105、SC106(旭硝子(株)製)等のフッ素系界面活性剤、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、BYK−302、BYK−307、BYK−322、BYK−323、BYK−330、BYK−333、BYK−370、BYK−375、BYK−378(ビックケミー・ジャパン(株)製)等が挙げられる。
これらの界面活性剤は、単独で使用しても、2種以上組み合わせて使用してもよい。界面活性剤の使用量は、トリアジン環含有重合体100質量部に対して0.0001〜5質量部が好ましく、0.001〜1質量部がより好ましく、0.01〜0.5質量部がより一層好ましい。
無機微粒子としては、例えば、Be、Al、Si、Ti、V、Fe、Cu、Zn、Y、Zr、Nb、Mo、In、Sn、Sb、Ta、W、Pb、BiおよびCeからなる群から選ばれる1種または2種以上の金属の酸化物、硫化物または窒化物が挙げられ、特に、これらの金属酸化物が好適である。なお、無機微粒子は単独で用いても、2種以上組み合わせて用いてもよい。
金属酸化物の具体例としては、Al23、ZnO、TiO2、ZrO2、Fe23、Sb25、BeO、ZnO、SnO2、CeO2、SiO2、WO3などが挙げられる。
また、複数の金属酸化物を複合酸化物として用いることも有効である。複合酸化物とは、微粒子の製造段階で2種以上の無機酸化物を混合させたものである。例えば、TiO2とZrO2、TiO2とZrO2とSnO2、ZrO2とSnO2との複合酸化物などが挙げられる。
さらに、上記金属の化合物であってもよい。例えば、ZnSb26、BaTiO3、SrTiO3、SrSnO3などが挙げられる。これらの化合物は、単独でまたは2種以上を混合して用いることができ、さらに上記の酸化物と混合して用いてもよい。
なお、上記その他の成分は、本発明の組成物を調製する際の任意の工程で添加することができる。
本発明の膜形成用組成物は、基材に塗布し、その後、必要に応じて加熱して溶剤を蒸発させた後、加熱または光照射して所望の硬化膜とすることができる。
組成物の塗布方法は任意であり、例えば、スピンコート法、ディップ法、フローコート法、インクジェット法、ジェットディスペンサー法、スプレー法、バーコート法、グラビアコート法、スリットコート法、ロールコート法、転写印刷法、刷毛塗り、ブレードコート法、エアーナイフコート法等の方法を採用できる。
また、基材としては、シリコン、インジウム錫酸化物(ITO)が成膜されたガラス、インジウム亜鉛酸化物(IZO)が成膜されたガラス、ポリエチレンテレフタレート(PET)、プラスチック、ガラス、石英、セラミックス等からなる基材等が挙げられ、可撓性を有するフレキシブル基材を用いることもできる。
焼成温度は、溶媒を蒸発させる目的では特に限定されず、例えば110〜400℃で行うことができる。
焼成方法としては、特に限定されるものではなく、例えば、ホットプレートやオーブンを用いて、大気、窒素等の不活性ガス、真空中等の適切な雰囲気下で蒸発させればよい。
焼成温度および焼成時間は、目的とする電子デバイスのプロセス工程に適合した条件を選択すればよく、得られる膜の物性値が電子デバイスの要求特性に適合するような焼成条件を選択すればよい。
光照射する場合の条件も特に限定されるものではなく、用いるトリアジン環含有重合体および架橋剤に応じて、適宜な照射エネルギーおよび時間を採用すればよい。
また、上記組成物を光照射にて硬化膜を作製するにあたって、マスクを介して光照射した後、現像液にて現像することで微細パターンを形成することもできる。
この場合、露光後の現像は、例えば有機溶媒現像液または水性現像液中に露光樹脂を浸漬して行うことができる。
有機溶媒現像液の具体例としては、PGME、PGMEA、PGMEとPGMEAの混合溶媒、NMP、γ−ブチロラクトン、DMSO等が挙げられ、一方、水性現像液の具体例としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアルカリ水溶液が挙げられる。
ネガ型のパターン形成用組成物とする場合、上記組成物に、さらにオキシラン環含有化合物と、光硬化型触媒とを配合してもよい。
オキシラン環含有化合物としては、分子内にオキシラン環を1個以上、好ましくは2個以上有するものが挙げられ、その具体例としては、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、エポキシ変性ポリブタジエン樹脂、オキセタン化合物等が挙げられる。これらは単独で用いても、2種以上組み合わせて用いてもよい。
オキシラン含有化合物の配合量は、特に限定されるものではないが、トリアジン環含有重合体100質量部に対し、10〜400質量部程度とすることができる。
光硬化型触媒としては、光カチオン発生剤が挙げられる。光カチオン発生剤の具体例としては、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート等のトリアリールスルホニウム塩;トリアリールセレニウム塩;ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート等のジアリールヨードニウム塩などが挙げられる。これらは単独で用いても、2種以上組み合わせて用いてもよい。
光硬化型触媒の配合量は、特に限定されるものではないが、トリアジン環含有重合体100質量部に対し、0.1〜100質量部程度とすることができる。
上記ネガ型パターン形成用組成物の調製法は特に限定されるものではなく、任意の順序で各成分を配合して調製すればよい。また、その際、上述した溶媒を用いてよい。
上記組成物は、上述した手法によって塗布した後、例えば、紫外光等を1〜4,000mJ/cm2にて光照射して硬化させることができる。光照射は、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、LED、レーザー光等の公知の各種手法を用いて行えばよい。
なお、必要に応じ、露光前後に110〜180℃程度で加熱してもよい。
露光後の現像は、上述した有機溶媒現像液または水性現像液中に露光樹脂を浸漬して行うことができる。
一方、ポジ型のパターン形成用組成物とする場合、上記組成物に、さらにアジド化合物を配合してもよい。
アジド化合物としては、1,2−ナフトキノンジアジド基を1個以上、好ましくは2個以上有する化合物が好ましく、その具体例としては、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノンと1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5−スルホン酸とのエステル等の1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸誘導体などが挙げられる。
アジド化合物の配合量は、特に限定されるものではないが、トリアジン環含有重合体100質量部に対し、4〜60質量部程度とすることができる。
上記ポジ型パターン形成用組成物の調製法も特に限定されるものではなく、任意の順序で各成分を配合して調製すればよい。また、その際、上述した溶媒を用いてよい。
上記組成物は、上述した手法によって塗布した後、例えば、上述の光照射法により、紫外光等を1〜2,000mJ/cm2にて光照射して硬化させることができる。この場合も、必要に応じ、露光前後に110〜180℃程度で加熱してもよい。
露光後の現像は、上述した有機溶媒現像液または水性現像液中に露光樹脂を浸漬して行うことができる。
上記各パターン形成用組成物には、必要に応じて各種添加剤を加えてもよい。添加剤としては、ベンジル−4−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、1−ナフチルメチル−4−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウム メチルサルフェート等の熱カチオン発生剤;2,5−ジエチルチオキサントン、アントラセン、9,10−エトキシアントラセン等の光増感剤や、上記膜形成用組成物において例示した添加剤が挙げられる。
以上のようにして得られた本発明の硬化膜や微細パターンは、高耐熱性、高屈折率、および低体積収縮を達成できるため、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ、タッチパネル、LED素子、固体撮像素子、有機薄膜太陽電池、色素増感太陽電池、TFT、レンズ、プリズムカメラ、双眼鏡、顕微鏡、半導体露光装置などを作製する際の一部材など、電子デバイスや光学材料分野に好適に利用できる。
特に、本発明の組成物から作製された硬化膜や微細パターンは、透明性が高く、屈折率も高いため、ITOや銀ナノワイヤ等の透明導電膜の視認性を改善することができ、透明導電膜の劣化を抑制することができる。
透明導電膜としては、ITOフィルム、IZOフィルム、金属ナノ粒子、金属ナノワイヤ、金属ナノメッシュ等の導電性ナノ構造を有する透明導電膜が好ましく、導電性ナノ構造を有する透明導電膜がより好ましい。導電性ナノ構造を構成する金属は特に限定されないが、銀、金、銅、ニッケル、白金、コバルト、鉄、亜鉛、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、カドミウム、オスミウム、イリジウム、これらの合金等が挙げられる。すなわち、銀ナノ粒子、銀ナノワイヤ、銀ナノメッシュ、金ナノ粒子、金ナノワイヤ、金ナノメッシュ、銅ナノ粒子、銅ナノワイヤ、銅ナノメッシュ等を有する透明導電膜が好ましく、特に銀ナノワイヤを有する透明導電膜が好ましい。
また、本発明の組成物から作製された高屈折率パターンは、上述したタッチパネル等の透明電極骨見え防止、有機ELディスプレイの光取出し用途やブラックマトリックス用途をはじめとした、高屈折率パターンが要求される用途に好適に用いることできる。
以下、実施例および比較例を挙げて、本発明をより具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。なお、実施例で用いた各測定装置は以下のとおりである。
1H−NMR]
装置:Varian NMR System 400NB(400MHz)
JEOL−ECA700(700MHz)
測定溶媒:DMSO−d6
基準物質:テトラメチルシラン(TMS)(δ0.0ppm)
[GPC]
装置:SHIMADZU社製 SCL−10Avp GPCに改造
カラム:Shodex KF−804L+KF−805L
カラム温度:60℃
溶媒:NMP(1%LiCl添加)
検出器:UV(254nm)
検量線:標準ポリスチレン
[紫外線可視分光光度計]
装置:(株)島津製作所製 SHIMADSU UV−3600
[エリプソメーター]
装置:ジェー・エー・ウーラム・ジャパン製 多入射角分光エリプソメーターVASE
[示差熱天秤(TG−DTA)]
装置:(株)リガク製 TG−8120
昇温速度:10℃/分
測定温度:25℃−750℃
[電子顕微鏡]
日本電子(株)製 電子顕微鏡S−4800
[1]トリアジン環含有重合体の合成
[実施例1]高分子化合物[5]の合成
Figure 2016024613
窒素下、2L四口フラスコにDMAc467.12gを加え、2,4,6−トリクロロ−1,3,5−トリアジン(CYC)[1](105.59g、0.57mol、エボニック・デグサ製)を0℃以下で溶解させた。温度を0℃以下に制御しつつ2,6−キシリジン[2](69.11g、0.57mol、BASF製)を滴下し、1時間反応させた。その後、NMP700.95gに溶解させたm−フェニレンジアミン(mPDA)[3](30.82g、0.285moL、AminoChem製)および3,5−ジアミノ安息香酸[4](86.73g、0.57mol、日本純良薬品(株)製)を、フラスコ内温を30℃以下で制御しつつ滴下した。滴下後、90℃に加温して2時間反応させ、n−プロピルアミン104.38gを加え、1時間後室温まで降温して重合を停止した。
反応液をイオン交換水7,104.45gに滴下し、再沈殿を行った。得られた沈殿物をろ過し、ろ物をTHF543.52gに再溶解させ、さらにイオン交換水8,046.90gに再沈殿した。その後、ろ過により得られた生成物を100℃で8時間乾燥して目的の高分子化合物[5]89.46gを得た。高分子化合物[5]の1H−NMRスペクトルの測定結果を図1に示す。得られた高分子化合物[5]は式(1)で表される構造単位を有する化合物であり、そのGPCによるポリスチレン換算で測定されるMwは6,500、多分散度(Mw/Mn)は1.47であった。
実施例1で得られた高分子化合物[5]5.87mgを白金パンに秤量し、TG−DTAにより昇温速度15℃/minで測定したところ、5%重量減少は323℃であった。
[実施例2]末端アクリロイル化高分子化合物[7]の合成
Figure 2016024613
窒素下、2L四口フラスコにDMAc940.15gを加え、CYC[1](184.49g、1.0mol、エボニック・デグサ製)を0℃以下で溶解させた。温度を0℃以下に制御しつつ2,6−キシリジン[2](121.27g、1.0mol、BASF製)を滴下し、1時間反応させた。その後、NMP1402.12gに溶解させたmPDA[3](54.07g、0.5moL、AminoChem製)および3,5−ジアミノ安息香酸[4](152.15g、1.0mol、日本純良薬品(株)製)を、フラスコ内温を30℃以下で制御しつつ滴下した。滴下後、90℃に加温して2時間反応させ、50℃以下に降温してアクリル酸クロライド[6](72.85g、0.8mol、東京化成工業(株)製)を滴下し、その後、トリエチルアミン(384.79g、0.8mol、東京化成工業(株)製)を50℃以下に制御した反応系へ滴下し、1時間撹拌した。
得られたスラリー状の反応液をイオン交換水14,098gに滴下し、再沈殿を行った。得られた沈殿物をろ過し、ろ物をTHF1,752.65gに再溶解させ、1時間撹拌した後に静置し分液した。水層部分を除去し、有機層にTHF50.45gを追加し、イオン交換水14038.23gに再沈殿した。その後、ろ過して得られた生成物を100℃で10時間乾燥し、目的の高分子化合物[7]353.5gを得た。高分子化合物[7]の1H−NMRスペクトルの測定結果を図2に示す。得られた高分子化合物[7]は式(1)で表される構造単位を有する化合物であり、そのGPCによるポリスチレン換算で測定されるMwは6,000、Mw/Mnは1.27であった。
実施例2で得られた高分子化合物[7]について、実施例1と同様にTG−DTAにより昇温速度15℃/minで測定したところ、5%重量減少は290℃であった。
[実施例3]末端アセチル化高分子化合物[9]の合成
Figure 2016024613
アクリル酸クロライド[6]をアセチルクロライド[8](11.35g、0.144mol、関東化学(株)製)に変更した以外は、実施例2と同様にして目的の高分子化合物[9]64.49gを得た。高分子化合物[9]の1H−NMRスペクトルの測定結果を図3に示す。得られた高分子化合物[9]は式(1)で表される構造単位を有する化合物であり、そのGPCによるポリスチレン換算で測定されるMwは3,400、Mw/Mnは1.25であった。
実施例3で得られた高分子化合物[9]について、実施例1と同様にTG−DTAにより昇温速度15℃/minで測定したところ、5%重量減少は300℃であった。
[実施例4]高分子化合物[11]の合成
Figure 2016024613
窒素下、300mL四口フラスコに2,6−キシリジン[2](1.82g、0.015mol、BASF製)、3−アミノ安息香酸[10](4.81g、0.035g、日本純良薬品(株)製)を加え、NMP57.53gに溶解し、0℃以下に降温した。その後、CYC[1](9.23g、0.05mol、エボニック・デグサ製)を加え、1時間撹拌した後にNMP38.32gに溶解させたmPDA[3](8.11g、0.075moL、AminoChem製)を、フラスコ内温を30℃以下で制御し滴下した。滴下後、90℃に加温し2時間反応させて、n−プロピルアミン9.19gを加え、室温まで降温し重合を停止した。
反応液をイオン交換水574.91gに滴下し、再沈殿を行った。得られた沈殿物をろ過し、ろ物をTHF95.78gに再分散させ、さらにイオン交換水575.30gに再沈殿した。その後、ろ過により得られた生成物を100℃で8時間乾燥し、目的の高分子化合物[11](以下、L−TMX72という)9.78gを得た。L−TMX72の1H−NMRスペクトルの測定結果を図4に示す。得られたL−TMX72は式(1)で表される構造単位を有する化合物である。L−TMX72のGPCによるポリスチレン換算で測定されるMwは6,500、Mw/Mnは1.47であった。
[比較例1]高分子化合物[14]の合成
(1)2−アニリノ−4,6−ジクロロ−1,3,5−トリアジン[13]の合成
Figure 2016024613
500mL四口フラスコに、THF190mLに溶解したCYC[1](25.0g、138mmol、東京化成工業(株)製)を入れ、系内を窒素置換した。これを0℃まで冷却し、撹拌しながらTHF190mLに溶解したアニリン[12](12.8g、138mmol、純正化学(株)製)を30分かけて滴下した後、2時間撹拌を続けた。反応液を分液漏斗に移し、イオン交換水171mLに溶解した炭酸カリウム(19.04g、138mmol)水溶液を加えて、THF層を洗浄した。水層を除去した後、THFを減圧留去し、得られた固体をイオン交換水で洗浄し、目的とする2−アニリノ−4,6−ジクロロ−1,3,5−トリアジン[13]27.8gを得た。
(2)高分子化合物[14]の合成
Figure 2016024613
窒素下、100mL四口フラスコに、mPDA[3](1.35g、12.44mmol、東京化成工業(株)製)を入れ、DMAc17mLに溶解して、オイルバスで100℃に加熱した。その後、DMAc26mLに溶解した2−アニリノ−4,6−ジクロロ−1,3,5−トリアジン[13](3.00g、12.44mmol)を加えて重合を開始した。2時間反応を行い、室温まで放冷後、28%アンモニア水溶液(2.27g)を水160mLおよびメタノール54mLに溶解した混合溶液中に再沈殿させた。沈殿物をろ過し、DMF35mLに再溶解させ、イオン交換水170mLに再沈殿した。得られた沈殿物をろ過し、減圧乾燥機で120℃、6時間乾燥し、目的とする高分子化合物[14]2.25gを得た。高分子化合物[14]のGPCによるポリスチレン換算で測定されるMwは3,100、Mw/Mnは1.60であった。
比較例1で得られた高分子化合物[14]について、実施例1と同様にTG−DTAにより昇温速度15℃/minで測定したところ、5%重量減少は340℃であった。
実施例1〜3および比較例1で得られた高分子化合物を、THF、CHNおよびPGMEへ、10質量%、20質量%、30質量%となるように溶解させた場合に、また、大量の1%Na2CO3水溶液へ粉末を溶解させた場合に不溶物があるかを目視で確認し、以下の基準で評価した。その結果を表1に示す。また、実施例4で得られた高分子化合物について、上記と同様の方法で1%Na2CO3水溶液へ粉末を溶解させたところ、不溶物は確認されなかった。
○:不溶物なし
△:わずかに散乱
×:沈降物あり
Figure 2016024613
表1に示されるように、実施例1〜3で得られた高分子化合物は、置換基を有するアリール基を側鎖に有するとともにカルボキシル基含有アリーレン基を主鎖に有する高分子化合物を用いているため、比較例1で得られた高分子化合物に比べ、各種有機溶媒に対する溶解性および弱アルカリ水溶液に対する溶解性に優れている。
有機溶媒に対する溶解性が向上した理由としては、側鎖の置換基を有する芳香族アミン化合物により高分子化合物の強固な水素結合が緩和されたためであると推察される。
[2]被膜の作製
[実施例5〜7]
実施例1〜3で得られた高分子化合物のそれぞれを、10質量%となるようにPGMEに溶解させ、ガラス基板上にスピンコーターを用いてスピンコートし、120℃のホットプレートで3分間焼成して被膜を得た。
[比較例2]
比較例1で得られた高分子化合物を10質量%となるようにCHN/イオン交換水(96/4(質量部/質量部))を加え、沈降物をフィルターろ過した後、ガラス基板上にスピンコーターを用いてスピンコートし、150℃のホットプレートで2分間仮焼成し、次いで、大気下、250℃のホットプレートで5分間本焼成して被膜を得た。
上記実施例5〜7および比較例2で作製した被膜の屈折率および膜厚を表2に示す。
Figure 2016024613
表2に示されるように、実施例1〜3で得られた高分子化合物から作製した薄膜は、1.70を超える屈折率を有していることがわかる。
[3]架橋剤添加組成物の調製並びにパターン形成および硬化膜の作製
[実施例8]
実施例2で得られた高分子化合物[7]0.6gに、多官能アクリレート(DN−0075、日本化薬(株)製)0.3g、多官能アクリレート(A−GLY−20E、新中村化学工業(株)製)0.3g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE01、BASF社製)0.06gおよびPGME5.04gを加えて固形分20質量%のパターン形成用組成物6.36gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターで濾過し、ガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレート上で、120℃、60秒焼成して塗膜を形成した。この塗膜に、紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、フォトマスクを介して365nmにおける照射量が100mJ/cm2の紫外線を照射した。その後、23℃の0.04質量%の水酸化カリウム水溶液で60秒浸漬して現像し、さらに超純水で流水洗浄を行った。現像後、ライン/スペースが60μm/500μmのストライプ状パターンが残渣なく解像した。ナトリウムランプの下で目視観察を行ったところ、ガラス基板上に形成された硬化膜に異物は見られなかった。さらに、電子顕微鏡観察を行ったところ、硬化膜上に異物は見られなかった。
[実施例9]
実施例2で得られた高分子化合物[7]0.6gに、多官能アクリレート(DN−0075、日本化薬(株)製)0.3g、多官能アクリレート(A−GLY−20E、新中村化学工業(株)製)0.3g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE01、BASF社製)0.06gおよびPGME5.04gを加えて固形分20質量%のパターン形成用組成物6.36gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターで濾過し、ガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレート上で、120℃、60秒焼成して塗膜を形成した。この塗膜に、紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、365nmにおける照射量が、100mJ/cm2の紫外線を全面照射した。
得られた硬化膜について、エリプソメーターにて550nmにおける屈折率と膜厚を測定したところ、屈折率1.608(@550nm)、膜厚1,440nmであった。また、得られた硬化膜について、400nmの透過率を測定したところ、透過率90%であった。
[実施例10]
実施例2で得られた高分子化合物[7]0.6gに、多官能アクリレート(DN−0075、日本化薬(株)製)0.15g、多官能アクリレート(AT−20E、新中化学工業(株)製)0.45g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE01、BASF社製)0.12g、レベリング剤(F−477、DIC社製)0.0003gおよびPGME11.8827gを加えて固形分10質量%のパターン形成用組成物13.203gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターで濾過し、ガラス基板上にスピンコーターを用いて200rpmで5秒、800rpmで30秒スピンコート塗布した後、ホットプレート上で、120℃、2分間焼成して塗膜を形成した。この塗膜に、紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、フォトマスクを介して365nmにおける照射量が100mJ/cm2の紫外線を照射した。その後、23℃の0.04質量%の水酸化カリウム水溶液で60秒浸漬して現像し、さらに超純水で流水洗浄を行った。現像後、ライン/スペースが20μm/500μmのストライプ状パターンが残渣なく解像した。ナトリウムランプの下で目視観察を行ったところ、ガラス基板上に形成された硬化膜に異物は見られなかった。さらに、電子顕微鏡観察を行ったところ、硬化膜上に異物は見られなかった。
[実施例11]
実施例2で得られた高分子化合物[7]0.6gに、多官能アクリレート(DN−0075、日本化薬(株)製)0.15g、多官能アクリレート(AT−20E、新中化学工業(株)製)0.45g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE01、BASF社製)0.12g、レベリング剤(F−477、DIC社製)0.0003gおよびPGME11.8827gを加えて固形分10質量%のパターン形成用組成物13.203gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターで濾過し、ガラス基板上にスピンコーターを用いて200rpmで5秒、800rpmで30秒スピンコート塗布した後、ホットプレート上で、120℃、2分間焼成して塗膜を形成した。この塗膜に、紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、365nmにおける照射量が100mJ/cm2の紫外線を全面照射した。得られた硬化膜について、エリプソメーターにて550nmにおける屈折率と膜厚を測定したところ、屈折率1.604(@550nm)、膜厚513nmであった。また、得られた硬化膜について、400nmの透過率を測定したところ、透過率90%以上であった。
[実施例12]
実施例2で得られた高分子化合物[7]0.6gに、多官能アクリレート(DN−0075、日本化薬(株)製)0.15g、多官能アクリレート(AT−20E、新中化学工業(株)製)0.45g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE01、BASF社製)0.12g、多官能ブロックイソシアネート(TRIXENE BI−7982、Baxenden社製)0.257g、レベリング剤(BYK−333、ビックケミー社製)0.024gおよびPGME6.019gを加えて固形分20質量%のパターン形成用組成物7.62gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターで濾過し、ガラス基板上にスピンコーターを用いて200rpmで5秒、1,200rpmで30秒スピンコート塗布した後、ホットプレート上で、60℃、5分間焼成して塗膜を形成した。この塗膜に、紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、フォトマスクを介して365nmにおける照射量が100mJ/cm2の紫外線を照射した。その後、23℃の0.04質量%の水酸化カリウム水溶液で60秒浸漬して現像し、さらに超純水で流水洗浄を行った。最後にホットプレート上で、120℃、10分間ポストベイクを行った。現像後、ライン/スペースが20μm/500μmのストライプ状パターンが残渣なく解像した。ナトリウムランプの下で目視観察を行ったところ、ガラス基板上に形成された硬化膜に異物は見られなかった。さらに、電子顕微鏡観察を行ったところ、硬化膜上に異物は見られなかった。
[実施例13]
実施例2で得られた高分子化合物[7]0.6gに、多官能アクリレート(DN−0075、日本化薬(株)製)0.15g、多官能アクリレート(AT−20E、新中化学工業(株)製)0.45g、光ラジカル開始剤(イルガキュアOXE01、BASF社製)0.12g、多官能ブロックイソシアネート(TRIXENE BI−7982、Baxenden社製)0.257g、レベリング剤(BYK−333、ビックケミー社製)0.024gおよびPGME6.019gを加えて固形分20質量%のパターン形成用組成物7.62gを調製した。
この組成物を0.45μmのフィルターで濾過し、ガラス基板上にスピンコーターを用いて200rpmで5秒、1,200rpmで30秒スピンコート塗布した後、ホットプレート上で、60℃、5分間焼成して塗膜を形成した。この塗膜に、紫外線照射装置MA6(SUSS社製)により、365nmにおける照射量が100mJ/cm2の紫外線を全面照射し、最後にホットプレート上で120℃、10分間ポストベイクを行った。得られた硬化膜について、エリプソメーターにて550nmにおける屈折率と膜厚を測定したところ、屈折率1.610(@550nm)、膜厚1,020nmであった。また、得られた硬化膜について、400nmの透過率を測定したところ、透過率95%であった。
[4]トリアジン環重合体の合成2
[実施例14]末端アクリロイル化高分子化合物[16]の合成
Figure 2016024613
2,6−キシリジンに代えて2,6−キシリジン(3.64g、0.03mol、BASF製)とアニリン(1.86g、0.02mol、純正化学(株)製)の混合モノマーを用いた以外は、実施例2と同様のモル比および反応条件で反応を行って高分子化合物[16](以下、L−TAX15Aという)6.94gを得た。L−TAX15Aの1H−NMRスペクトルの測定結果を図5に示す。得られた高分子化合物[16]のGPCによるポリスチレン換算で測定されるMwは5,700、Mw/Mnは1.45であった。
[実施例15]末端アクリロイル化高分子化合物[17]の合成
Figure 2016024613
2,6−キシリジンに代えて2,6−キシリジン(3.88g、0.032mol、BASF製)とアニリン(4.47g、0.048mol、純正化学(株)製)の混合モノマーを用い、実施例2と同様にして、3,5−ジアミノ安息香酸(9.74g、0.064mol、日本純良化学(株)製)とm−フェニレンジアミン(3.46g、0.032mol、Aminochem社製)の混合モノマーを用いて目的の高分子化合物[17](以下、L−TAX18Aという)14.48gを得た。得られたL−TAX18AのGPCによるポリスチレン換算で測定されるMwは1,500、Mw/Mnは1.78であった。
実施例14,15で得られた高分子化合物を、THF、CHNおよびPGMEへ、10質量%、20質量%、30質量%となるように溶解させた場合に、また、大量の1%Na2CO3水溶液へ粉末を溶解させた場合に不溶物があるかを目視で確認し、以下の基準で評価した。その結果を表3に示す。
○:不溶物なし
△:わずかに散乱
×:沈降物あり
Figure 2016024613
表3に示されるように、実施例14,15で得られた高分子化合物は、置換基を有するアリール基を側鎖に有するとともにカルボキシル基含有アリーレン基を主鎖に有する高分子化合物を用いているため、各種有機溶媒に対する溶解性および弱アルカリ水溶液に対する溶解性に優れている。
[5]被膜の作製2
[実施例16,17]
実施例14,15で得られた高分子化合物のそれぞれを、10質量%となるようにPGMEに溶解させ、ガラス基板上にスピンコーターを用いてスピンコートし、120℃のホットプレートで3分間焼成して被膜を得た。
上記実施例16,17で作製した被膜の屈折率および膜厚を表4に示す。
Figure 2016024613
表4に示されるように、実施例14,15で得られた高分子化合物から作製した薄膜は、1.73を超える屈折率を有していることがわかる。

Claims (22)

  1. 下記式(1)で表される繰り返し単位構造を含むことを特徴とするトリアジン環含有重合体。
    Figure 2016024613
    {式中、RおよびR′は、互いに独立して、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、またはアラルキル基を表し、
    Ar1は、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基またはカルボキシル基で置換されていてもよいアリール基を表し、
    Ar2は、式(2)〜(13)で示される群から選ばれる少なくとも1種を表す。
    Figure 2016024613
    〔式中、R1〜R92は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、カルボキシル基、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、
    93およびR94は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表し、
    1およびW2は、互いに独立して、単結合、CR9596(R95およびR96は、互いに独立して、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基(ただし、これらは一緒になって環を形成していてもよい。)を表す。)、C=O、O、S、SO、SO2、またはNR97(R97は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。)を表し、
    1およびX2は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14)
    Figure 2016024613
    (式中、R98〜R101は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、カルボキシル基、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、
    1およびY2は、互いに独立して、単結合または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基を表す。)で示される基を表す。
    ただし、Ar1とAr2のどちらか一方または双方において、芳香環上に少なくとも1つのカルボキシル基を有する。〕
  2. 前記Ar1が、カルボキシル基で置換されたアリール基である請求項1記載のトリアジン環含有重合体。
  3. 前記式(2)〜(13)が、いずれもその中の少なくとも1つの芳香環上に少なくとも1つのカルボキシル基を有する請求項1記載のトリアジン環含有重合体。
  4. 前記Ar1が、アルキル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基で置換されたアリール基である請求項3記載のトリアジン環含有重合体。
  5. さらに、下記式(1′)で表される繰り返し単位構造を含む請求項1〜4のいずれか1項記載のトリアジン環含有重合体。
    Figure 2016024613
    {式中、RおよびR′は、互いに独立して、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、またはアラルキル基を表し、
    Ar3は、アルキル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基で置換されたアリール基を表し、
    Ar4は、式(2′)〜(13′)で示される群から選ばれる少なくとも1種を表す。
    Figure 2016024613
    〔式中、R1′〜R92′は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、
    93およびR94は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表し、
    1およびW2は、互いに独立して、単結合、CR9596(R95およびR96は、互いに独立して、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基(ただし、これらは一緒になって環を形成していてもよい。)を表す。)、C=O、O、S、SO、SO2、またはNR97(R97は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。)を表し、
    1′およびX2′は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14′)
    Figure 2016024613
    (式中、R98′〜R101′は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、
    1およびY2は、互いに独立して、単結合または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基を表す。)で示される基を表す。〕}
  6. 前記Ar1およびAr4が、これらAr1およびAr4上のNH基に対するオルト位の少なくとも一方に炭素数1〜20のアルキル基を有するアリール基である請求項5記載のトリアジン環含有重合体。
  7. 前記Ar1およびAr4が、前記オルト位の双方に炭素数1〜5のアルキル基を有するフェニル基である請求項6記載のトリアジン環含有重合体。
  8. 前記Ar1が、式(15)で示される請求項7記載のトリアジン環含有重合体。
    Figure 2016024613
  9. 前記Ar2が、式(16)で示される請求項1および3〜8のいずれか1項記載のトリアジン環含有重合体。
    Figure 2016024613
  10. 前記Ar2が、式(17)で示される請求項9記載のトリアジン環含有重合体。
    Figure 2016024613
  11. 前記Ar4が、式(18)で示される請求項5記載のトリアジン環含有重合体。
    Figure 2016024613
  12. さらに、下記式(1′′)で表される繰り返し単位構造を含む請求項1または5記載のトリアジン環含有重合体。
    Figure 2016024613
    {式中、RおよびR′は、互いに独立して、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、またはアラルキル基を表し、Ar5は、非置換のアリール基を表し、Ar4は、式(2′)〜(13′)で示される群から選ばれる少なくとも1種を表す。
    Figure 2016024613
    〔式中、R1′〜R92′は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、R93およびR94は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表し、W1およびW2は、互いに独立して、単結合、CR9596(R95およびR96は、互いに独立して、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基(ただし、これらは一緒になって環を形成していてもよい。)を表す。)、C=O、O、S、SO、SO2、またはNR97(R97は、水素原子または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基を表す。)を表し、X1′およびX2′は、互いに独立して、単結合、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基、または式(14′)
    Figure 2016024613
    (式中、R98′〜R101′は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、スルホ基、炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキル基、または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルコキシ基を表し、Y1およびY2は、互いに独立して、単結合または炭素数1〜10の分岐構造を有していてもよいアルキレン基を表す。)で示される基を表す。〕}
  13. 少なくとも1つのジアミン末端を有し、このジアミン末端の少なくとも1つが、アシル基、アルコキシカルボニル基、アラルキルオキシカルボニル基またはアリールオキシカルボニル基で封止されている請求項1〜12のいずれか1項記載のトリアジン環含有重合体。
  14. 請求項1〜13のいずれか1項記載のトリアジン環含有重合体と有機溶媒とを含むトリアジン系重合体含有組成物。
  15. さらに、架橋剤を含む請求項14記載のトリアジン系重合体含有組成物。
  16. 前記架橋剤が、多官能(メタ)アクリル化合物である請求項15記載のトリアジン系重合体含有組成物。
  17. 硬化膜形成用またはパターン形成用である請求項15または16記載のトリアジン系重合体含有組成物。
  18. 請求項14〜17のいずれか1項記載のトリアジン系重合体含有組成物を硬化させて得られる硬化膜。
  19. 請求項15〜17のいずれか1項記載のトリアジン系重合体含有組成物から作製されたパターン。
  20. 基材と、この基材上に形成された請求項18記載の硬化膜とを備える電子デバイス。
  21. 基材と、この基材上に形成された請求項18記載の硬化膜とを備える光学部材。
  22. 基材と、この基材上に形成された請求項19記載のパターンとを備える電子デバイス。
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