JPWO2015163061A1 - 有機エレクトロルミネッセンス素子、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 28
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 471
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 230
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 194
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 100
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 100
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 78
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 72
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 53
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims description 223
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 119
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 103
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 103
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 59
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims description 40
- 238000002788 crimping Methods 0.000 claims description 31
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 104
- 239000010408 film Substances 0.000 description 60
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 47
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 45
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 40
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 37
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 31
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 21
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 21
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 21
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 17
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 17
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 15
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 13
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 12
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 11
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 11
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 11
- 230000006870 function Effects 0.000 description 10
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 10
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 9
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 9
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 8
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N succinic acid Chemical compound OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 7
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000002585 base Substances 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 238000006862 quantum yield reaction Methods 0.000 description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 7
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 6
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 6
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 6
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 6
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 5
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 5
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 5
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920008347 Cellulose acetate propionate Polymers 0.000 description 4
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 4
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 4
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 4
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 4
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 4
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 4
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 4
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 4
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 4
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 4
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 4
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 4
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 239000001384 succinic acid Substances 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 3
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-M Butyrate Chemical compound CCCC([O-])=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Natural products CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-M Formate Chemical compound [O-]C=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 3
- 125000000609 carbazolyl group Chemical class C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3NC12)* 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 3
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N stilbene Chemical class C=1C=CC=CC=1C=CC1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000298 Cellophane Polymers 0.000 description 2
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004713 Cyclic olefin copolymer Substances 0.000 description 2
- 229910000737 Duralumin Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 229920000219 Ethylene vinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 2
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-L Malonate Chemical compound [O-]C(=O)CC([O-])=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 2
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 2
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N Stilbene Natural products C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 2
- 229920010524 Syndiotactic polystyrene Polymers 0.000 description 2
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N [(2s,3r,4s,5r,6r)-2-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-dinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-trinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-3-yl]oxy-3,5-dinitrooxy-6-(nitrooxymethyl)oxan-4-yl] nitrate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O1)O[N+]([O-])=O)CO[N+](=O)[O-])[C@@H]1[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O[C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 150000007933 aliphatic carboxylic acids Chemical class 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 101150059062 apln gene Proteins 0.000 description 2
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- HKQOBOMRSSHSTC-UHFFFAOYSA-N cellulose acetate Chemical compound OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OC1C(CO)OC(O)C(O)C1O.CC(=O)OCC1OC(OC(C)=O)C(OC(C)=O)C(OC(C)=O)C1OC1C(OC(C)=O)C(OC(C)=O)C(OC(C)=O)C(COC(C)=O)O1.CCC(=O)OCC1OC(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C1OC1C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(COC(=O)CC)O1 HKQOBOMRSSHSTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920006217 cellulose acetate butyrate Polymers 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N coumarin Chemical compound C1=CC=C2OC(=O)C=CC2=C1 ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001925 cycloalkenes Chemical class 0.000 description 2
- GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-M decanoate Chemical compound CCCCCCCCCC([O-])=O GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000000113 differential scanning calorimetry Methods 0.000 description 2
- UFRKOOWSQGXVKV-UHFFFAOYSA-N ethene;ethenol Chemical compound C=C.OC=C UFRKOOWSQGXVKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004715 ethylene vinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M heptanoate Chemical compound CCCCCCC([O-])=O MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002504 iridium compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000001182 laser chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- SJCKRGFTWFGHGZ-UHFFFAOYSA-N magnesium silver Chemical compound [Mg].[Ag] SJCKRGFTWFGHGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 2
- JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N norbornene Chemical compound C1[C@@H]2CC[C@H]1C=C2 JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N 0.000 description 2
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 2
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 2
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 2
- 150000004032 porphyrins Chemical class 0.000 description 2
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 2
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 235000021286 stilbenes Nutrition 0.000 description 2
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-L succinate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCC([O-])=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229940070710 valerate Drugs 0.000 description 2
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- QGKMIGUHVLGJBR-UHFFFAOYSA-M (4z)-1-(3-methylbutyl)-4-[[1-(3-methylbutyl)quinolin-1-ium-4-yl]methylidene]quinoline;iodide Chemical compound [I-].C12=CC=CC=C2N(CCC(C)C)C=CC1=CC1=CC=[N+](CCC(C)C)C2=CC=CC=C12 QGKMIGUHVLGJBR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VERMWGQSKPXSPZ-BUHFOSPRSA-N 1-[(e)-2-phenylethenyl]anthracene Chemical class C=1C=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C2C=1\C=C\C1=CC=CC=C1 VERMWGQSKPXSPZ-BUHFOSPRSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HONWGFNQCPRRFM-UHFFFAOYSA-N 2-n-(3-methylphenyl)-1-n,1-n,2-n-triphenylbenzene-1,2-diamine Chemical compound CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C(=CC=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)=C1 HONWGFNQCPRRFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGADZUXDNSDTHW-UHFFFAOYSA-N 2H-pyran Chemical compound C1OC=CC=C1 MGADZUXDNSDTHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-n-[4-[4-(n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]phenyl]-n-phenylaniline Chemical compound CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AHDTYXOIJHCGKH-UHFFFAOYSA-N 4-[[4-(dimethylamino)-2-methylphenyl]-phenylmethyl]-n,n,3-trimethylaniline Chemical compound CC1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C(=CC(=CC=1)N(C)C)C)C1=CC=CC=C1 AHDTYXOIJHCGKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZUQOBHTUMCEQBG-UHFFFAOYSA-N 4-amino-5-hydroxynaphthalene-1,7-disulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC(O)=C2C(N)=CC=C(S(O)(=O)=O)C2=C1 ZUQOBHTUMCEQBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004172 4-methoxyphenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(OC([H])([H])[H])=C([H])C([H])=C1* 0.000 description 1
- MEIBOBDKQKIBJH-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-[4-[1-[4-(4-methyl-n-(4-methylphenyl)anilino)phenyl]-4-phenylcyclohexyl]phenyl]-n-(4-methylphenyl)aniline Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C1(CCC(CC1)C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC(C)=CC=1)C=1C=CC(C)=CC=1)C1=CC=C(C)C=C1 MEIBOBDKQKIBJH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKIJILZFXPFTO-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-[4-[1-[4-(4-methyl-n-(4-methylphenyl)anilino)phenyl]cyclohexyl]phenyl]-n-(4-methylphenyl)aniline Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C1(CCCCC1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC(C)=CC=1)C=1C=CC(C)=CC=1)C1=CC=C(C)C=C1 ZOKIJILZFXPFTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DUSWRTUHJVJVRY-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-[4-[2-[4-(4-methyl-n-(4-methylphenyl)anilino)phenyl]propan-2-yl]phenyl]-n-(4-methylphenyl)aniline Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C(C)(C)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC(C)=CC=1)C=1C=CC(C)=CC=1)C1=CC=C(C)C=C1 DUSWRTUHJVJVRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MVIXNQZIMMIGEL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-[4-[4-(4-methyl-n-(4-methylphenyl)anilino)phenyl]phenyl]-n-(4-methylphenyl)aniline Chemical group C1=CC(C)=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC(C)=CC=1)C=1C=CC(C)=CC=1)C1=CC=C(C)C=C1 MVIXNQZIMMIGEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XIQGFRHAIQHZBD-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-[4-[[4-(4-methyl-n-(4-methylphenyl)anilino)phenyl]-phenylmethyl]phenyl]-n-(4-methylphenyl)aniline Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC(C)=CC=1)C=1C=CC(C)=CC=1)C1=CC=C(C)C=C1 XIQGFRHAIQHZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPMFPOGUJAAYHL-UHFFFAOYSA-N 9H-Pyrido[2,3-b]indole Chemical class C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=N1 BPMFPOGUJAAYHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical class C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 229920001747 Cellulose diacetate Polymers 0.000 description 1
- 241000284156 Clerodendrum quadriloculare Species 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001651 Cyanoacrylate Polymers 0.000 description 1
- TXCDCPKCNAJMEE-UHFFFAOYSA-N Dibenzofuran Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3OC2=C1 TXCDCPKCNAJMEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004831 Hot glue Substances 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910000846 In alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000799 K alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-M Lactate Chemical compound CC(O)C([O-])=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N Methanesulfonic acid Chemical compound CS(O)(=O)=O AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MWCLLHOVUTZFKS-UHFFFAOYSA-N Methyl cyanoacrylate Chemical compound COC(=O)C(=C)C#N MWCLLHOVUTZFKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N N-phenyl amine Natural products NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000583 Nd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- LCTONWCANYUPML-UHFFFAOYSA-M Pyruvate Chemical compound CC(=O)C([O-])=O LCTONWCANYUPML-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- VMHLLURERBWHNL-UHFFFAOYSA-M Sodium acetate Chemical compound [Na+].CC([O-])=O VMHLLURERBWHNL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- JFBZPFYRPYOZCQ-UHFFFAOYSA-N [Li].[Al] Chemical compound [Li].[Al] JFBZPFYRPYOZCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWXLRKWPEIAGAT-UHFFFAOYSA-N [Mg].[Cu] Chemical compound [Mg].[Cu] OWXLRKWPEIAGAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHYLKGDXMUDNEO-UHFFFAOYSA-N [Mg].[In] Chemical compound [Mg].[In] JHYLKGDXMUDNEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-L adipate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCCCC([O-])=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- SNAAJJQQZSMGQD-UHFFFAOYSA-N aluminum magnesium Chemical compound [Mg].[Al] SNAAJJQQZSMGQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229940077388 benzenesulfonate Drugs 0.000 description 1
- SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-M benzenesulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 150000001722 carbon compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000010538 cationic polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000003869 coulometry Methods 0.000 description 1
- 229960000956 coumarin Drugs 0.000 description 1
- 235000001671 coumarin Nutrition 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000007850 degeneration Effects 0.000 description 1
- 150000004826 dibenzofurans Chemical class 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 150000008376 fluorenones Chemical class 0.000 description 1
- 125000003983 fluorenyl group Chemical class C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 description 1
- GNBHRKFJIUUOQI-UHFFFAOYSA-N fluorescein Chemical compound O1C(=O)C2=CC=CC=C2C21C1=CC=C(O)C=C1OC1=CC(O)=CC=C21 GNBHRKFJIUUOQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009474 hot melt extrusion Methods 0.000 description 1
- 150000007857 hydrazones Chemical class 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 1
- QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-L isophthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC(C([O-])=O)=C1 QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229940001447 lactate Drugs 0.000 description 1
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229940049920 malate Drugs 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N malic acid Chemical compound OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical group C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-M octanoate Chemical compound CCCCCCCC([O-])=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N octanoic acid Chemical class CCCCCCCC(O)=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 150000002908 osmium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000007978 oxazole derivatives Chemical class 0.000 description 1
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPRIERYVMZVKTC-UHFFFAOYSA-N p-quaterphenyl Chemical group C1=CC=CC=C1C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=C1 GPRIERYVMZVKTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004986 phenylenediamines Chemical class 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003058 platinum compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920005606 polypropylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N pyrazol-3-one Chemical class O=C1C=CN=N1 JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003219 pyrazolines Chemical class 0.000 description 1
- 150000003222 pyridines Chemical class 0.000 description 1
- 150000003230 pyrimidines Chemical class 0.000 description 1
- 229940076788 pyruvate Drugs 0.000 description 1
- WVIICGIFSIBFOG-UHFFFAOYSA-N pyrylium Chemical compound C1=CC=[O+]C=C1 WVIICGIFSIBFOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N quinolin-8-ol Chemical class C1=CN=C2C(O)=CC=CC2=C1 MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000012508 resin bead Substances 0.000 description 1
- 239000010979 ruby Substances 0.000 description 1
- 229910001750 ruby Inorganic materials 0.000 description 1
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M salicylate Chemical compound OC1=CC=CC=C1C([O-])=O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229960001860 salicylate Drugs 0.000 description 1
- WTGQALLALWYDJH-WYHSTMEOSA-N scopolamine hydrobromide Chemical compound Br.C1([C@@H](CO)C(=O)OC2C[C@@H]3N([C@H](C2)[C@@H]2[C@H]3O2)C)=CC=CC=C1 WTGQALLALWYDJH-WYHSTMEOSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003967 siloles Chemical class 0.000 description 1
- 239000001632 sodium acetate Substances 0.000 description 1
- 235000017281 sodium acetate Nutrition 0.000 description 1
- WXMKPNITSTVMEF-UHFFFAOYSA-M sodium benzoate Chemical compound [Na+].[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1 WXMKPNITSTVMEF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004299 sodium benzoate Substances 0.000 description 1
- 235000010234 sodium benzoate Nutrition 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 125000005504 styryl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L terephthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=C(C([O-])=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 1
- DQJCHOQLCLEDLL-UHFFFAOYSA-N tricyclazole Chemical class CC1=CC=CC2=C1N1C=NN=C1S2 DQJCHOQLCLEDLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006617 triphenylamine group Chemical group 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 210000003462 vein Anatomy 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
このようなに課題に対して、シート状封止部材を介して封止基板を貼り合わせた構造において、端子接続辺にスペーサーや接着層を配置することにより、シート状封止部材のはみ出しを防止することが提案されている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
そして、取り出し配線の上方において、封止基板が折り曲げられて無機封止層上に接触する。このため、取り出し配線の上方において、樹脂接着層の端面が封止基板により覆われる。従って、取り出し配線上への樹脂接着層の露出、流出を防ぐことができる。
この結果、有機エレクトロルミネッセンス素子の取り出し配線と、外部機器との接続信頼性が向上する。
なお、説明は以下の順序で行う。
1.有機エレクトロルミネッセンス素子(第1実施形態)
2.有機エレクトロルミネッセンス素子(第2実施形態)
3.有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法(第3実施形態)
4.有機エレクトロルミネッセンス素子モジュール(第4実施形態)
以下、本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子(有機EL素子)の具体的な実施の形態について説明する。図1〜3に、第1実施形態の有機EL素子の構成を示す。図1は、有機EL素子の概略構成を示す平面図である。図2は、図1に示す有機EL素子のX−X線断面図である。図3は、図1に示す有機EL素子のY−Y線断面図である。
図1に示すように、有機EL素子10は、基板11と封止基板19との間に発光部20が封止された構成を有している。そして、有機EL素子10は、発光部20から封止基板19の外部に引き出された取り出し配線14を有している。
そして、この基板11上において、第1電極21、有機機能層22、及び、第2電極23が積層され、有機EL素子10の発光部20が形成されている。有機EL素子10は、有機機能層22に、少なくとも発光性の有機材料を含む。例えば、有機EL素子10は、発光性の有機材料として、青(B)、緑(G)、及び、赤(R)の各色の発光ドーパントを有する、白色発光素子である。
なお、図3には示していないが、第1電極21と接続する取り出し配線14が設けられ、無機封止層15及び封止基板19の外部に引出されている。
また、図2及び図3に示すように、有機EL素子10の実装辺以外では、封止基板19の端部は折り曲げられず、樹脂接着層16の端面が有機EL素子10の端面に露出している。つまり、封止基板19が曲げられずに、封止基板19の端部と樹脂接着層16の端部とが同じ位置に形成されている。
また、有機EL素子10の実装辺以外では、取り出し配線14が設けられていないため、樹脂接着層16の流出による電極の汚染が問題とならない。このため、樹脂接着層16の端面が有機EL素子10の端面に露出した状態にしてもよい。
封止基板19を構成する金属層17と絶縁層18との少なくともいずれか一方が、無機封止層15と接触していることにより、樹脂接着層16を露出しない構成とすることができる。
金属層17のみが接触する構成では、実装辺の端部に金属層17が露出する部分を有する構成となる。
金属層17が露出している場合には、外部機器との電気的な接続の際に、外部機器の電極と金属層17との電気的な接触が起こると、短絡、リーク等の原因となる。このため、金属層17が露出しないように、絶縁層18が金属層17を覆う構成、つまり、絶縁層18が無機封止層15に接触する構成とすることが好ましい。
従って、金属層17を絶縁層18よりも厚く形成し、塑性変形させた金属の強度を高めることにより、封止基板19が折り曲げた状態を維持しやすくなる。
以下に有機EL素子10の各構成の詳細について説明する。なお、以下に説明する有機EL素子10の各構成は、有機EL素子10を構成するための一例であってその他の構成を適用することも可能である。
基板11(基体、基板、基材、支持体)は、例えば、薄型ガラス、薄型セラミック、樹脂フィルム、ガラス繊維や炭素繊維を含む樹脂フィルム等の透明性を有するフィルムである。特に、軽量化と耐外部衝撃性、コストの点から、透明樹脂フィルムを用いることが好ましい。
厚さは、50〜300μmが好適である。50μm未満では十分な保持強度が得られず、300μm以上では可撓性が低下する。
ガスバリア層12は、基板11の片面又は両面において、少なくとも発光部20が形成される側の全面に形成される。ガスバリア層12は、第1電極21と有機機能層22及び第2電極23に対して、大気中の水蒸気や酸素の浸透防止と電気絶縁性の確保を目的として形成されている。ガスバリア層12は、無機材料被膜だけでなく、無機材料と有機材料との複合材料からなる被膜、又は、これらの被膜を積層したハイブリッド被膜であってもよい。
例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸炭化ケイ素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ニオブ、酸化モリブデン等の無機材料からなる被膜で構成することができる。有機EL素子10では、ガスバリア性や透明性、分割時の割断性などを考慮して、ガスバリア層12が窒化ケイ素や酸化ケイ素などの珪素化合物を主原料とする無機材料被膜で構成されていることが好ましい。
下地層13は、ガスバリア層12と第1電極21の間に形成される層で、第1電極21を形成する前に、ガスバリア層12の表面の平坦化と、第1電極21の密着性を向上させるために形成する。特に、第1電極21に銀等の薄膜金属を使用する際には好適に用いられる。下地層13は、水蒸気を透過しやすい材料であるため、ガスバリア層12と無機封止層15で保護された構造であることが好ましい。
膜厚は50〜500mmの範囲で用いられる。50nm以下では平坦性が十分得られず、500nm以上では経済面から好ましくない。
第1電極21(陽極)は、発光層に正孔を供給(注入)する電極膜であり、仕事関数の大きい(4eV以上)、例えば、金属、合金、導電性化合物、及び、これらの混合物等の電極材料で形成される。
具体的には、有機EL素子10において、第1電極21側から光を取り出す場合には、第1電極21は、例えば、金や銀、アルミニウム等の薄膜金属や、ITO(インジウム錫酸化物)、酸化錫(SnO2)、酸化亜鉛(ZnO)、ガリウム亜鉛酸化物(GZO)、インジウムガリウム亜鉛酸化物(IGZO)等の光透過性を有する金属酸化物材料で形成することができる。
第1電極21の膜厚は、層構成や形成材料の電気抵抗、光透過性によって適時設定依存して変化するが、好ましくは5〜200nmの範囲内の値で設定される。
有機EL素子10は、電極間に発光性を有する有機機能層22を備える構成である。有機機能層22は、少なくとも発光層を有し、さらに、発光層と各電極との間に他の層を備えていてもよい。
(1)発光層
(2)発光層/電子輸送層
(3)正孔輸送層/発光層
(4)正孔輸送層/発光層/電子輸送層
(5)正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層
(6)正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層
(7)正孔注入層/正孔輸送層/(電子阻止層/)発光層/(正孔阻止層/)電子輸送層/電子注入層
上記の中で(7)の構成が好ましく用いられるが、これに限定されるものではない。
また、必要に応じて、発光層と陰極との間に正孔阻止層(正孔障壁層)や電子注入層(陰極バッファー層)等を設けてもよい。そして、発光層と陽極との間に電子阻止層(電子障壁層)や正孔注入層(陽極バッファー層)等を設けてもよい。
電子輸送層は、電子を輸送する機能を有する層である。電子輸送層には、広い意味で電子注入層、及び、正孔阻止層も含まれる。また、電子輸送層は、複数層で構成されていてもよい。
正孔輸送層は、正孔を輸送する機能を有する層である。正孔輸送層には、広い意味で正孔注入層、及び、電子阻止層も含まれる。また、正孔輸送層は、複数層で構成されていてもよい。
また、有機EL素子10は、少なくとも1層の発光層を含む有機機能層22を複数積層した、いわゆるタンデム構造の素子であってもよい。タンデム構造の代表的な素子構成としては、例えば以下の構成を挙げることができる。
(1)陽極/第1有機機能層/中間コネクタ層/第2有機機能層/陰極
(2)陽極/第1有機機能層/中間コネクタ層/第2有機機能層/中間コネクタ層/第3有機機能層/陰極
有機EL素子10では、第1電極21と発光層との間、又は、第2電極23と正孔輸送層との間に、正孔注入層(陽極バッファー層)を設けてもよい。なお、正孔注入層は、有機EL素子10の駆動電圧の低下や発光輝度の向上を図るために、第1電極21と、発光層又は正孔輸送層との間に設けられる。正孔注入層(陽極バッファー層)の形成材料としては、特開2000−160328号公報に記載されている化合物を用いることができる。
正孔輸送層は、第1電極21から供給された正孔を発光層に輸送(注入)する層である。また、正孔輸送層は、第2電極23側からの電子の流入を阻止する障壁としても作用する。このため、正孔輸送層という用語は、広い意味で、正孔注入層及び/又は電子阻止層を含む意味で用いられることもある。
また、正孔輸送材料としては、例えば、ポルフィリン化合物、芳香族第3級アミン化合物(スチリルアミン化合物)等の化合物を用いることができる。特に、本実施形態では、芳香族第3級アミン化合物を正孔輸送材料として用いることが好ましい。
さらに、正孔輸送材料として、例えば、特開平11−251067号公報、J.Huang et.al.著文献(Applied Physics Letters 80(2002),p.139)等の文献に記載されているような、いわゆるp型正孔輸送材料と呼ばれる材料を用いてもよい。なお、このような材料を正孔輸送材料として用いた場合には、より高効率の発光素子を得ることができる。
発光層は、第1電極21から直接、又は、第1電極21から正孔輸送層等を介して注入される正孔と、第2電極23から直接、又は、第2電極23から電子輸送層等を介して注入される電子とが再結合して発光する層である。なお、発光する部分は、発光層の内部であってもよいし、発光層とこれに隣接する層との間の界面であってもよい。
発光層に含まれるホスト化合物としては、室温(25℃)におけるリン光発光のリン光量子収率が約0.1未満の値である化合物を用いることが好ましい。特に、リン光量子収率が約0.01未満の値である化合物をホスト化合物として用いることが好ましい。また、発光層中のホスト化合物の体積比は、発光層に含まれる各種化合物の中で約50%以上の値とすることが好ましい。
なお、本実施形態では、ホスト化合物は、カルバゾール誘導体であることが好ましく、特に、カルバゾール誘導体であって、かつ、ジベンゾフラン化合物であることが好ましい。
発光材料(発光ドーパント)としては、例えば、リン光発光材料(リン光性化合物、リン光発光性化合物)、蛍光発光材料等を用いることができる。ただし、発光効率の向上の観点では、発光材料としてリン光発光材料を用いることが好ましい。
第1の発光過程は、エネルギー移動型の発光過程である。このタイプの発光過程では、まず、キャリア(正孔及び電子)が輸送される発光層内のホスト化合物上において、キャリアが再結合し、これにより、ホスト化合物の励起状態が生成される。そして、この際に発生するエネルギーがホスト化合物からリン光発光材料に移動し(励起状態のエネルギー準位がホスト化合物の励起準位から発光材料の励起準位(励起三重項)に移動し)、この結果、リン光発光材料から発光が生じる。
電子輸送層は、第2電極23から供給された電子を発光層に輸送(注入)する層である。また、電子輸送層は、第1電極21側からの正孔の流入を阻止する障壁としても作用する。このため、電子輸送層という用語は、広い意味で、電子注入層及び/又は正孔阻止層を含む意味で用いられることもある。
有機EL素子10では、第2電極23と発光層との間、又は、第2電極23と電子輸送層との間に、電子注入層(電子バッファー層)を設けてもよい。電子注入層は、正孔注入層と同様に、有機EL素子10の駆動電圧の低下や発光輝度の向上を図るために、第2電極23と有機化合物層(発光層又は電子輸送層)との間に設けられる。
ここでは、電子注入層の構成の詳細な説明を省略するが、例えば、「有機EL素子とその工業化最前線」(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)の第2編第2章「電極材料」(123−166頁)に電子注入層の構成が詳細に記載されている。
第2電極23(陰極)は、発光層に電子を供給(注入)する導電性の膜であり、通常、仕事関数の小さい(4eV以下)、例えば、金属(電子注入性金属)、合金、電気伝導性化合物、及び、これらの混合物等の電極材料で形成される。
取り出し配線14は、第1電極21及び第2電極23が耐湿性に欠ける金属等であるため、電極腐食を避けるために無機封止層15の外側に取り出す耐熱性・耐湿性を有する導電性の配線である。合計膜厚としては、50〜1000nmが好ましい。50nm以下では配線抵抗が大きくなってしまい、1000nm以上では屈曲時のクラックなどが発生しやすくなる。
取り出し配線14の材質としては、アルミニウム、チタン、モリブデン、銅、タンタルなどの金属、またはITO(インジウム錫酸化物)、インジウムガリウム亜鉛酸化物(IGZO)、酸化錫(SnO2)、酸化亜鉛(ZnO)、GZO(ガリウム亜鉛酸化物)などの透明性のある金属酸化物が挙げられるが、導電性に有利である金属材料がより好適である。これらを単層または、3層構造からなるMAM電極(Mo/Al・Nd合金/Mo)等の金属多層膜で用いてもよい。
無機封止層15は、第1電極21、有機機能層22、及び、第2電極23の吸湿・変質を防止するために設けられる。なお、無機封止層15は、取り出し配線14と金属層17との短絡を防止すること、及び、切断時に端部が露出しても側面の耐水性が確保できるように、絶縁性の無機化合物からなることが好ましい。無機封止層15は、第2電極23を覆うように設けられ、さらに、有機機能層22及び第2電極23の側面を覆いながらその周囲でガスバリア層12と接することにより、無機封止層15、ガスバリア層12、及び、取り出し配線14からなる密封形態を形成している。
無機封止層15の特性として、水蒸気透過度が約0.01g/[m2・day・atm]以下、好ましくは水蒸気透過度が約0.0001g/[m2・day・atm]以下、及び、抵抗率が1×1012Ω・cm以上のガスバリア性と絶縁性とを両立するような被膜であることが好ましい。
樹脂接着層16に用いる接着剤としては、アクリル酸系オリゴマー又はメタクリル酸系オリゴマーの反応性ビニル基を有する光硬化性又は熱硬化性接着剤等が挙げられる。また、アミン系や酸無水物系、カチオン重合系硬化剤を用いた熱硬化型エポキシ接着剤、イソシアネート硬化剤を有するウレタン樹脂系接着剤、シアノアクリレートなどの湿気硬化型接着剤、酸性基や金属イオン塩含有基を有するイオン架橋性接着剤等を用いてもよい。さらに、高温で軟化するポリアミド、ポリエステル、ポリエチレン等のポリオレフィン、熱可塑性樹脂等のホットメルト系接着剤、室温で初期タック性を有する粘着剤、加圧により軟化するような感圧性接着剤を用いてもよい。この他にも、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤を、接着剤として用いてもよい。
また、樹脂接着層16の含水率は、ラミネート時に発生するアウトガス低減化と有機EL素子10の長寿命化等を考慮して、約1.0%以下の値とすることが好ましい。なお、ここでいう含水率は、ASTM(米国材料試験協会)−D570に準拠した手法で測定された値である。
金属層17は、無機封止層15の保護、及び防湿性付与、有機EL素子10の発光時の放熱・熱拡散性付与、樹脂接着層16の保護の役割を持つ。また、樹脂接着層16の端部を覆うように変形・保持する必要があるため、適度な剛性・硬さが必要である。金属層17の材料特性を、ヤング率(JISZ2241)が30〜200GPa、ビッカース硬度(JISZ2244)がHV10〜250の範囲とすることで、無機封止層15を貫通せずに電気短絡を確実に防止し、さらに、ラミネート時の変形を保持して樹脂接着層16の端部被覆を確実に得ることができる。また、放熱性を得るため、金属層17の熱伝導率は5W/m・k以上が好ましい。
絶縁層18は、封止基板19において金属層17の樹脂接着層16と反対側の面に形成され、有機EL素子10では基板11に対向して配置される。絶縁層18は、金属層17と、有機EL素子10の取り出し配線14や、この取り出し配線14に接続される外部機器との絶縁性の確保を目的として形成されている。このため、絶縁層18は、抵抗率が1×1012Ω・cm以上の絶縁性を有することが好ましい。また、金属層17に追従して変形・保持する必要があるため、可撓性及び金属層17よりも低いヤング率、具体的にはヤング率が10GPa以下であることが好ましい。
絶縁層18の厚さは、金属層17の変形状態を保持する必要があるため、金属層17よりも薄くすることが好適である。具体的には、4〜30μmの範囲が好適である。4μm未満では十分な絶縁性が確保できず、30μm以上では剛性が上がってしまうため封止基板19の変形を保持しにくくなる。
次に、有機エレクトロルミネッセンス素子(有機EL素子)の第2実施形態について説明する。図4〜6に、第2実施形態の有機EL素子の構成を示す。図4は、有機EL素子の概略構成を示す平面図である。図5は、図4に示す有機EL素子のX−X線断面図である。また、図6は、図4に示す有機EL素子のY−Y線断面図である。
図4に示すように、有機EL素子10Aは、基板11と封止基板19との間に有機EL素子10Aの発光部となる第1発光部20A、第2発光部20Bが封止された構成を有している。そして、第1発光部20A及び第2発光部20Bから封止基板19の外部に引き出された取り出し配線14を有している。
図4に示す有機EL素子10Aでは、素子内に2つの第1発光部20A、第2発光部20Bを有し、基板11のそれぞれ対向する実装辺に取り出し配線14が配置されている。
また、図6においては、図3に示す第1実施形態の断面図から、第1発光部20A、第2発光部20B、及び、取り出し配線14の配置、並びに、封止基板19の端部の形状のみが異なる。このため、第2実施形態の有機EL素子10Aの構成は、上述の第1実施形態の有機EL素子と同様の構成を適用することができる。
そして、図4及び図6に示すように、取り出し配線14は、基板11上の両方向に引出されている。このように、有機EL素子10Aは、取り出し配線14が引出されている両実装辺方向において、外部機器に実装される。この、有機EL素子10Aの取り出し配線14が配置されている実装辺においては、封止基板19から、取り出し配線14が露出することにより、外部機器との接続用電極となる。
次に、上述の第1実施形態及び第2実施形態の有機EL素子の製造方法について説明する。
図7〜16に、上述の第1実施形態及び第2実施形態の有機EL素子の製造工程図を示す。
図7〜9、及び、図10〜12は、無機封止層まで形成した有機EL素子に、樹脂接着層を介して封止基板を接合する圧着工程を示す図である。
また、図13及び図14は、圧着工程を行なうロールラミネート装置の構成例を示す図である。
図15及び図16は、ロール状の基板に形成した複数の有機EL素子を、素子毎に切断する工程を説明する図である。
(ガスバリア層)
まず、基板11上にガスバリア層12を形成する。ガスバリア層12の形成は、基板11上に形成できる手法であれば、公知の手法を適用することができる。例えば、真空蒸着法、スパッタ法、マグネトロンスパッタ法、分子線エピタキシー法、クラスタ−イオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法(特開2004−68143号公報参照)、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法、レーザーCVD法、熱CVD法、ALD(原子層堆積)法、又は、湿式塗布等の手法を用いることができる。
次に、第1電極21を形成する部分において、ガスバリア層12上に下地層13を形成する。下地層13の形成は、蒸着等のドライプロセス、又は、スプレー塗布やグラビアコーター、コンマコーター、ダイコーター、インクジェット法等のウェットプロセスを用いることができる。そして、下地層13は、第1電極21と同じ形状にパターン形成する。
次に、下地層13上に、第1電極21を形成する。第1電極21の形成は、例えば真空蒸着やスパッタ法、マグネトロンスパッタ法、分子線エピタキシー法、クラスタ−イオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、湿式塗布等の手法により行なうことができる。
また、第1電極21は、所望の形状パターンで開口されたパターンマスクを用いて、所望のパターンに形成する。第1電極21は1つ以上の取り出し配線14と接続を有するパターンに形成する。
次に、下地層13及び第1電極21を覆う有機機能層22を形成する。有機機能層22は、上述のように複数の層から形成され、以下の説明では有機機能層22の一例として、正孔輸送層、発光層、電子輸送層の順に積層して形成する方法について説明する。
次に、有機機能層22を覆う第2電極23を形成する。第2電極23は、上述の第1電極21と同様に形成することができる。例えば真空蒸着やスパッタ法、マグネトロンスパッタ法、分子線エピタキシー法、クラスタ−イオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、湿式塗布等などの手法により形成することができる。
また、第2電極23は、所望の形状パターンで開口されたパターンマスクを用いて、所望のパターンに形成する。第2電極23は1つ以上の取り出し配線14と接続を有するパターンに形成する。
次に、上述の第1電極21、及び、第2電極23に接続する取り出し配線14を形成する。取り出し配線14は、例えば、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法等により形成する。また、取り出し配線14は、第1電極21、又は、第2電極23と接続するパターンに形成する。そして、無機封止層15の外部まで延在し、外部機器との接続用電極となるパターンに形成する。
なお、取り出し配線14の形成工程は、第2電極23の形成後に限られず、例えば、第1電極21を形成する前に、予め基板11上に形成しておいてもよい。この場合にも、上記製法を適用することができる。また、第1電極21の形成前に、予め取り出し電極14を形成する場合には、この取り出し配線14と電気的に接続するパターンに第1電極21及び第2電極23を形成する。
次に、発光部20A,20Bを覆う無機封止層15を形成する。
無機封止層15は、公知の手法を用いることができ、例えば、真空蒸着法、スパッタ法、マグネトロンスパッタ法、分子線エピタキシー法、クラスタ−イオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法等の手法を用いることができる。
次に、無機封止層15まで形成した有機EL素子に、封止基板19を接合する。
まず、封止基板19を形成する。封止基板19は、金属層17の一方の面上に絶縁層18を直接塗布して形成することができる。また、加熱溶融押出法によってカーテン状に垂れ流しながら、金属層17上に押出成形して絶縁層18を形成してもよい。また、あらかじめフィルム状にした絶縁層18を接着層(図示なし)によって金属層17と貼り合わせてもよい。
有機EL素子の製造プロセスの簡易性の観点から、樹脂接着層16は、熱重合開始剤を含有する熱硬化性接着剤で形成することが好ましい。
また、封止基板19は、取り出し配線14が形成される実装辺においては、金属層17が露出するように、金属層17よりも樹脂接着層16の面積を小さく形成する。
次に、封止基板19を無機封止層15上に、樹脂接着層16を介して圧着する。図7〜9、及び、図10〜12に、無機封止層15上に封止基板19を圧着する工程の概略図を示す。
図7〜9は、絶縁層18と金属層17とを同じ幅で形成し、樹脂接着層16のみをこれらよりも小さい面積(例えば、両端それぞれ約0.1mm小さい幅)で形成した場合を示している。
図10〜12は、金属層17を絶縁層18よりも小さい面積(例えば、両端それぞれ約0.1mm小さい幅)で形成し、さらに、樹脂接着層16を金属層17よりも小さい面積(例えば、両端それぞれ約0.1mm小さい幅)で形成し、金属層17の端部を絶縁層18で完全に覆った場合を示している。
第1圧着工程では、図8及び図11に示すように、樹脂接着層16を無機封止層15の表面に接触させる。
第2圧着工程では、図9及び図12に示すように、取り出し配線14が形成されている実装辺上において、封止基板19の端部を基板11側に折り曲げる。これにより、封止基板19が樹脂接着層16の側面を被覆する形状となる。
このように圧着工程を2段階に分けて行なうことにより、第1圧着工程では樹脂接着層16が封止基板19からはみ出さない程度に低温・低圧力で貼り合わせて、第2圧着工程では封止基板19を変形させて樹脂接着層16の側面を被覆することで、樹脂接着層16を流出させずに、十分な流動性を得るように高温・高圧力で貼り合わせることができる。
次に、上述の2段階の圧着工程を行なうための装置について説明する。図13及び図14に、2段階の圧着工程を行なうためのロールラミネート装置の例を示す。
このようにして圧着工程が終了し、基板11同士が繋がった状態の有機EL素子に対し、熱硬化等の工程を行なうことにより樹脂接着層16の硬化を行なう。
次に、基板11同士が繋がった状態の有機EL素子を切断し、素子毎に個片化する。
図15〜16に、素子毎に切断する工程の概略図を示す。図15は、上述の第1実施形態の有機EL素子を製造するための切断方法である。図16は、上述の第2実施形態の有機EL素子を製造するための切断方法である。
このとき、図15〜16に示すように、取り出し配線14が形成されてFPC実装が行なわれる実装辺を向かい合わせて面付けをすることにより、面積効率のよい素子取りができる。さらに、封止基板19及び樹脂接着層16をストライプ状のロール状態で準備することができるため、ロール状態での準備とラミネ−ト時の貼り合せ位置精度が取りやすくなる。
次に、有機エレクトロルミネッセンス素子(有機EL素子)の第4実施形態について説明する。第4実施形態では、上述の第1実施形態、第2実施形態の有機EL素子に、外部機器を接続した、有機EL素子モジュールについて説明する。
図17〜18、図19〜20、及び、図21〜22に、外部機器としてフレキシブル印刷配線フィルム(FPC)が接続された状態の有機EL素子モジュールを示す。図17、図19、及び、図21は、有機EL素子モジュールの平面図であり、図18、図20、及び、図22は、図17、図19、及び、図21に示す有機EL素子モジュールのX−X線断面図である。
図19〜20に、上述の第2実施形態の有機EL素子に、単一のFPCが接続されている状態の有機EL素子モジュールの構成を示す。
図21〜22に、上述の第2実施形態の有機EL素子に、複数のFPCが接続されている状態の有機EL素子モジュールの構成を示す。
図17及び図18では、上述の第1実施形態の有機EL素子10の取り出し配線14にFPC40による外部機器が接続されている。本例では、基板11の一方向(実装辺)に引出された取り出し配線14に、同じ方向(実装辺側)からFPC40が実装されている。そして、FPC40に設けられた金属配線43と、有機EL素子10の取り出し配線14とが、異方性導電フィルム(ACF)41により接続されている。
FPC40は、接続コネクタを介して制御回路ボード基板や電源ユニット(給電部)と接続される。このように、有機EL素子10は、取り出し配線14、FPC40の金属配線43、及び、接続コネクタを通じて外部の制御回路や電源等と導通し、照明デバイスや発光デバイスとして使用される。
このように、単一のFPC40を用いて、異なる実装辺に設けられた複数の取り出し配線14に外部機器を接続する構成としてもよい。
本例では、基板11の両方向(両実装辺側)に引出された取り出し配線14に対し、正対する方向(各実装辺側)からFPC40が実装されている。そして、各FPC40に設けられた金属配線43と、有機EL素子10Aのそれぞれの取り出し配線14とが、異方性導電フィルム(ACF)41により接続されている。
さらに、FPC40と有機EL素子10Aとは、両実装辺においてFPC40と基板11、及び、FPC40と封止基板19との間が補強テープ42で固定された構成である。
このように、複数のFPC40を用いて、異なる実装辺に設けられた複数の取り出し配線14に、それぞれ外部機器を接続する構成としてもよい。
また、上述のように外部機器が接続された有機EL素子モジュールは、ケーシングされた発光モジュール部品とすることが好ましい。
図23〜24、図25、及び、26に、ケーシングされた有機EL素子モジュール(発光モジュール部品)の構成を示す。
図24は、図23に示す有機EL素子モジュールのX−X線断面図に相当し、FPC40が接続される実装辺側を除く各面に設けられた金属枠44により、有機EL素子モジュールがケーシングされている構成を示している。
図25は、図23に示す有機EL素子モジュールのX−X線断面図に相当し、封止基板19上に設けられた金属板46により、有機EL素子モジュールがケーシングされている構成を示している。
図26は、図25に示す有機EL素子モジュールが、基板11側を外側(山側)にして屈曲保持された状態の構成を示している。
接着樹脂45は、有機EL素子モジュールとFPC40との実装部の周囲にも形成され、有機EL素子10AとFPC40との接続部から、FPC40側にも形成されている。また、金属枠44は、有機EL素子10Aの実装辺側には設けられず、有機EL素子10Aの実装辺側を除く他の面と、封止基板19上に設けられている。
このように、有機EL素子10Aを屈曲させた状態で保持することも可能である。
試料101〜109の各有機EL素子モジュールを作製した。以下に、試料101〜109の有機EL素子モジュールの構成、及び、作製手順を示す。
まず、公知の方法によって図1〜3及び図15に示す構成となるように、基板11上にガスバリア層12、下地層13、発光部20、及び、取り出し配線14まで形成した有機EL素子10を、連続した基板11上に複数作製した。
そして、図7〜9に示すように、同じ面積の絶縁層18(PETフィルム25μm)と金属層17(アルミニウム箔30μm、ビッカース硬度HV50)とからなる封止基板19上に、引き出し配線14側(実装辺側)のみが約0.1mm小さくなるようにエポキシ系熱硬化接着剤からなる樹脂接着層16を20μmで塗布形成した。そして、この封止基板19を用いて、1000Paの減圧雰囲気下で、70℃加熱ロール、圧力0.2MPa、搬送速度0.1m/minで第1圧着工程を行い、樹脂接着層16を無機封止層15上に接着した。さらに、90℃加熱ロール、圧力0.5MPa、搬送速度0.1m/minの条件にて第2圧着工程を行い、封止基板19の端部を折り曲げた。
そして、樹脂接着層16を熱硬化して、試料101の有機EL素子10を作製した。
さらに、図17及び図18に示すように、有機EL素子10の取り出し配線14に、ACF41を介してFPC40の実装をおこなった。
以上の工程により、試料101の有機EL素子モジュールを作製した。
図10〜12に示すように、金属層17及び樹脂接着層16が、引き出し配線14側(実装辺側)のみにおいて、それぞれ絶縁層18及び樹脂接着層16から約0.05mmずつ小さくなるように形成した以外は、上述の試料101と同様の方法で、試料102の有機EL素子モジュールを作製した。
まず、絶縁層18(PETフィルム25μm)と金属層17(アルミニウム箔30μm、ビッカース硬度HV50)、樹脂接着層16(エポキシ系熱硬化接着剤シート、膜厚20μm)の積層体を形成した。そして、テーパー角度45度のロール刃により、樹脂接着層16側から刃を入れて一括カットした。これにより、金属層17及び樹脂接着層16が、それぞれ絶縁層18及び樹脂接着層16から約0.05mmずつ小さくなるように切断して封止基板19を作製した。
まず、公知の方法によって図4〜6及び図16に示す構成となるように、基板11上にガスバリア層12、下地層13、発光部20A,20B、及び、取り出し配線14まで形成した有機EL素子10Aを、連続した基板11上に複数作製した。そして、上述の試料101と同様の方法により、無機封止層15の形成から有機EL素子10Aの個片化までを行なった。
これ以外は、上述の試料101と同様の工程により、試料103の有機EL素子モジュールを作製した。
無機封止層15を、イオンプレーティング法により膜厚200nmの酸窒化珪素(SiON、ビッカース硬度HV700)とした以外は、上述の試料101と同様の工程により、試料104の有機EL素子モジュールを作製した。
無機封止層15を、真空蒸着法により膜厚200nmの酸化珪素(SiO、ビッカース硬度HV450)とした以外は、上述の試料101と同様の工程により、試料105の有機EL素子モジュールを作製した。
封止基板19を接合する工程において、テーパー角度45度のロール刃により、絶縁層18側から刃を入れて一括カットし、金属層17及び樹脂接着層16が、引き出し配線14側(実装辺側)のみにおいて、それぞれ絶縁層18及び樹脂接着層16から約0.05mmずつ大きくなるように切断し、第2圧着工程において封止基板19の端部を折り曲げなかった以外は、上述の試料101と同様の工程により、試料106の有機EL素子モジュールを作製した。
試料106は、封止基板19よりも樹脂接着層16の形成面積が大きいため、第2圧着工程後において、取り出し配線14上の封止基板19と無機封止層15との間に、樹脂接着層16が露出する部分を有する構成である。
無機封止層15を、真空蒸着法により膜厚200nmのフッ化カルシウム(CaF、ビッカース硬度HV200)とした以外は、上述の試料101と同様の工程により、試料107の有機EL素子モジュールを作製した。
無機封止層15を、真空蒸着法により膜厚100nmの酸化珪素(SiO、ビッカース硬度HV450)とした以外は、上述の試料101と同様の工程により、試料108の有機EL素子モジュールを作製した。
無機封止層15を設けなかったこと以外は、上述の試料101と同様の工程により、試料109の有機EL素子モジュールを作製した。
作製した試料101〜109の有機EL素子モジュールについて、初期点灯試験、及び、85℃85%RHの環境下に500時間の放置した後の点灯試験を行なった。
上記試料101〜109の有機EL素子モジュール子の各評価結果を表2に示す。
また、試料109では、無機封止層を有していないため、取り出し配線と封止基板の金属層との間で電気短絡が発生し、有機EL素子モジュールが点灯しなかった。
また、試料107〜108では、無機封止層が部分的に損傷したことにより、85℃85%RH500時間後では、この損傷個所からの水分等の浸透により、有機EL素子モジュールが非点灯となった。
・・・取り出し配線、15・・・無機封止層、16・・・樹脂接着層、17・・・金属層、18・・・絶縁層、19・・・封止基板、20・・・発光部、20A・・・第1発光部、20B・・・第2発光部、21・・・第1電極、22・・・有機機能層、23・・・第2電極、30・・・ロールラミネート装置、31・・・第1圧着ロール、32・・・第2圧着ロール、33・・・セパレーター、34・・・切断線、40・・・フレキシブル印刷配線フィルム(FPC)、41・・・異方性導電フィルム(ACF)、42・・・補強テープ、43・・・金属配線、44・・・金属枠、45・・・接着樹脂、46・・・金属板
Claims (11)
- 基板と、
基板上に設けられたガスバリア層と、
前記ガスバリア層上に設けられた、第1電極、有機機能層、及び、第2電極からなる発光部と、
前記発光部を被覆する無機封止層と、
前記第1電極、又は、前記第2電極に接続されて、前記無機封止層の外部に延在する取り出し配線と、
前記無機封止層上に、樹脂接着層を介して貼り合わされた金属層と絶縁層とからなる封止基板と、を備え、
少なくとも前記取り出し配線の上方において、前記封止基板が前記基板側に折り曲げられ、前記金属層、及び、前記絶縁層の少なくともいずれか一方が、前記無機封止層に接触している
有機エレクトロルミネッセンス素子。 - 前記封止基板は、前記絶縁層の厚さが前記金属層よりも薄い請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記無機封止層の表面硬度が、ビッカース硬度でHV400以上である請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記無機封止層の最も薄い箇所が200nm以上である請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記樹脂接着層が、前記金属層よりも小さい面積で形成されている請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記封止基板が、前記無機封止層の外縁部の上面に接触している請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記無機封止層の外部に引出された前記取り出し配線に、外部機器が接続されている請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 基板上にガスバリア層を形成する工程と、
前記ガスバリア層上に、第1電極、有機機能層、及び、第2電極からなる発光部を形成する工程と、
前記第1電極、又は、前記第2電極に接続する取り出し配線を形成する工程と、
前記発光部及び前記取り出し配線の前記発光部側の一部を被覆する無機封止層を形成する工程と、
前記無機封止層上に、樹脂接着層を介して貼り合わされた金属層と絶縁層とからなる封止基板を接合し、前記金属層、及び、前記絶縁層の少なくともいずれか一方が、前記無機封止層に接触するように、少なくとも前記取り出し配線の上方の前記封止基板の端部を折り曲げる、封止基板の圧着工程と、を有する
有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 前記封止基板の圧着工程を、減圧雰囲気下で行なう請求項8に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 前記基板及び前記封止基板をロール状態で供給して、前記封止基板の圧着工程を行なう請求項8に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 前記封止基板の圧着工程が、前記樹脂接着層を前記無機封止層の表面に接触させる第1圧着工程と、前記封止基板の端部を折り曲げる第2圧着工程とを有する請求項8に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014089021 | 2014-04-23 | ||
JP2014089021 | 2014-04-23 | ||
PCT/JP2015/058483 WO2015163061A1 (ja) | 2014-04-23 | 2015-03-20 | 有機エレクトロルミネッセンス素子、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015163061A1 true JPWO2015163061A1 (ja) | 2017-04-13 |
JP6572885B2 JP6572885B2 (ja) | 2019-09-11 |
Family
ID=54332231
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016514817A Active JP6572885B2 (ja) | 2014-04-23 | 2015-03-20 | 有機エレクトロルミネッセンス素子、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9806280B2 (ja) |
EP (1) | EP3136824B1 (ja) |
JP (1) | JP6572885B2 (ja) |
KR (1) | KR101884542B1 (ja) |
WO (1) | WO2015163061A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016076171A1 (ja) * | 2014-11-12 | 2016-05-19 | シャープ株式会社 | エレクトロルミネッセンス装置、及び製造方法 |
US10600984B2 (en) * | 2015-06-15 | 2020-03-24 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Production method of organic EL device |
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- 2015-03-20 EP EP15783734.5A patent/EP3136824B1/en active Active
- 2015-03-20 WO PCT/JP2015/058483 patent/WO2015163061A1/ja active Application Filing
- 2015-03-20 KR KR1020167028303A patent/KR101884542B1/ko active IP Right Grant
- 2015-03-20 JP JP2016514817A patent/JP6572885B2/ja active Active
- 2015-03-20 US US15/125,773 patent/US9806280B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015163061A1 (ja) | 2015-10-29 |
KR20160135260A (ko) | 2016-11-25 |
JP6572885B2 (ja) | 2019-09-11 |
US9806280B2 (en) | 2017-10-31 |
EP3136824A1 (en) | 2017-03-01 |
KR101884542B1 (ko) | 2018-08-01 |
US20160380226A1 (en) | 2016-12-29 |
EP3136824B1 (en) | 2020-10-07 |
EP3136824A4 (en) | 2018-01-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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|
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