JPWO2015045987A1 - 流量制御弁及びそれを用いた質量流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明は、上記の流量制御弁を有する質量流量制御装置の発明である。
なお、ここで説明する実施の形態は本発明の実施の形態を例示するものにすぎず、本発明の実施の形態はここに例示する形態に限られない。
本発明において、ダイアフラムスペーサ及びリング状部材は、いずれも熱伝導率が20W/m・K以下の材料からなり、両者で第1熱シールド7を構成する。本発明でいう熱伝導率は、室温での値で代表させることができる。熱伝導率が20W/m・K以下の材料には、例えば、イットリア(熱伝導率:14W/m・K)、窒化ケイ素(熱伝導率:13W/m・K)、ジルコニア(熱伝導率:3.0W/m・K)などがある。第1熱シールドをこれらの熱伝導率が20W/m・K以下の材料で構成することにより、熱源である流体からダイアフラムを介して供給される熱が積層圧電アクチュエータに伝導することを抑制することができる。第1熱シールドを構成する材料の熱伝導率の値は10W/m・K以下がより好ましく、5.0W/m・K以下がさらに好ましい。
本発明において、ダイアフラムスペーサ及びリング状部材で構成される第1熱シールドと、応力伝達手段とで囲まれた空間は、第2熱シールドを構成する。第2熱シールドを構成する空間は、第1熱シールドと応力伝達手段とで囲まれた空間、すなわち、第1熱シールドと応力伝達手段との間に存在する空間、である。具体的には、流量制御弁を設計する段階で、部材の表面に凹部を設けたり、部材間に空隙を設けたりすることで、このような空間を実現することができる。例えば、図2の例では、ダイアフラムスペーサ7aと弁棒10aとの間に球状部材10cを設けることで、ダイアフラムスペーサ7aと弁棒10aとで挟まれた第2熱シールド8を構成する空間を実現している。また、ダイアフラムスペーサ7aとケーシング10bとで挟まれた空間も、先の空間と一体となって第2熱シールドを構成している。この例では、球状部材10cの大きさを大きくすると、それ自体が熱の伝達経路となり第2熱シールドの効果が抑制されるので、球状部材10cの大きさは応力を伝達するのに必要な最小限の大きさにすることが好ましい。
図3は、本発明の好ましい実施の態様に係る流量制御弁の部分拡大図である。この好ましい実施の態様において、第2熱シールド8と応力伝達手段10との中間に、熱伝導率が20W/m・Kを超えない材料からなる第3熱シールド9が設けられている。第3熱シールドを設けることにより、第2熱シールドから応力伝達手段への熱の伝達が妨げられ、積層圧電アクチュエータの昇温防止効果がさらに高まる。
弁棒10aは、積層圧電アクチュエータ11の膨張又は圧縮により発生する応力を第3熱シールド9に伝達する機能を有している。このため、弁棒10aは、十分な強度及び耐食性を備えた材料(例えば、ステンレス鋼など)で構成することが好ましい。また、弁棒10aは押圧方向(変位方向)に直交する断面が大きいため、第2熱シールド8又は第3熱シールド9で遮蔽しきれなかった熱が積層圧電アクチュエータ11に伝達する経路となる場合がある。このため、弁棒10aについても、20W/m・K以下の熱伝導率を有する材料(例えば、ジルコニアなど)で構成することがより好ましい。
図4は、本発明の好ましい実施の態様に係る質量流量制御装置の模式図である。この好ましい実施の態様において、積層圧電アクチュエータ11はその側面全体が冷却フード12bで覆われており、冷却ガス入口12aから冷却ガスを送り込むことによって冷却ガスと積層圧電アクチュエータ11の側面との間で熱交換が起こり、積層圧電アクチュエータ11が冷却される。積層圧電アクチュエータ11の熱で温められた冷却ガスは、冷却ガス出口12cから外部に排出される。冷却フード12bの外側には、放熱部材12dを設けることができる。また、積層圧電アクチュエータ11と冷却フード12bとのすき間に、積層圧電アクチュエータ11に接する冷却用フィンをさらに設けることができる。
本発明の構成に係る流量制御弁は、複数の熱シールドによって熱源である流体から伝達される熱を遮断して積層圧電アクチュエータに伝わることを効果的に防止することができる。本明細書に開示された構成に従って複数の熱シールドを設ければ、例えば、流路を流れる流体の温度が250℃のとき、積層圧電アクチュエータの下端の温度を110℃以下とすることができる。積層圧電アクチュエータの温度分布は通常熱源に最も近い下端の温度が最も高くなるので、下端の温度が110℃以下であれば、積層圧電アクチュエータ全体の温度も110℃以下となり、耐熱温度を超えることはない。したがって、本発明の構成に係る流量制御弁によれば、250℃に加熱された凝結性ガスの流量を確実に制御することができる。
本発明に係る質量流量制御装置1は、本発明に係る流量制御弁3を用い、これに質量流量計2やその他の部材を組み合わせることにより構成される。本発明に係る質量流量制御装置に採用する質量流量計は、熱式質量流量計、圧力式質量流量計その他の公知の質量流量計を採用することができる。本発明に係る流量制御弁を内蔵することにより、本発明の効果をそのまま実現した質量流量制御装置を構成することができる。
図4に示す冷却手段12を有する質量流量制御装置(La/(La+Ls)=0.72)を用いて、実施例1と同じ条件で各部の温度計測を行った。ただし、温度計測用の熱電対はカートリッジヒータ、ダイアフラム中央部、積層圧電アクチュエータ下部及び冷却フード外側にそれぞれセットした。
2 質量流量計
3 流量制御弁
4 ベース
5 弁座
6 ダイアフラム
7 第1熱シールド
7a ダイアフラムスペーサ
7b リング状部材
8 第2熱シールド(空間)
9 第3熱シールド
9a 円盤状部材
9b リング状部材
10 応力伝達手段
10a 弁棒
10b ケーシング
10c 球状部材
11 積層圧電アクチュエータ
12 冷却手段
12a 冷却ガス入口
12b 冷却フード
12c 冷却ガス出口
12d 放熱部材
13 コネクタ
Claims (6)
- 流体の流路が設けられたベースと、
前記流路と連通し、前記ベースの一の表面に開口部を有する環状の弁座と、
前記弁座の開口部を覆うように配置された薄板状の弾性体からなるダイアフラムと、
前記ダイアフラムを挟み前記弁座と反対側に位置し、前記ダイアフラムの外周部を前記ベースに押圧して固定するリング状部材と、
前記ダイアフラムを挟み前記弁座と反対側に位置し、前記ダイアフラムの中央部を前記弁座の方向又はその逆の方向に変位させて前記弁座の開口部の開度を制御するダイアフラムスペーサと、
複数の圧電素子が積層された積層圧電アクチュエータと、
前記積層圧電アクチュエータの膨張により発生する応力を前記ダイアフラムスペーサに伝達する応力伝達手段と
を有する流量制御弁であって、
前記リング状部材及び前記ダイアフラムスペーサは、いずれも熱伝導率が20W/m・K以下の材料からなる第1熱シールドを構成し、
前記第1熱シールドと前記応力伝達手段とで囲まれた空間は、第2熱シールドを構成する
ことを特徴とする流量制御弁。 - 前記第2熱シールドと前記応力伝達手段との中間に、熱伝導率が20W/m・K以下の材料からなる第3熱シールドを有する
ことを特徴とする請求項1に記載の流量制御弁。 - 前記積層圧電アクチュエータの周囲に冷却手段が設けられている
ことを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれかに記載の流量制御弁。 - 熱伝導率が20W/m・K以下の前記材料がマコール(登録商標)及びジルコニアからなる群より選択される1種又は2種のセラミックス材料である
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の流量制御弁。 - 前記流路を流れる流体の温度が250℃のとき、前記積層圧電アクチュエータの下端の温度が110℃以下であり、かつ、
前記積層圧電アクチュエータの長さをLa、前記ダイアフラムから前記積層圧電アクチュエータの下端までの距離をLsとしたとき、La/(La+Ls)の値が0.65以上0.95以下である
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の流量制御弁。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の流量制御弁と、
前記流路に設けられ、流体の質量流量を測定する質量流量計と
を有する質量流量制御装置。
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