JP3919270B2 - 変位又は力の増幅機構 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、変位又は力の増幅機構に属する。
【0002】
【従来の技術】
従来の流体流量制御弁として、特開平3−157570号公報に示されるピエゾタイプの流体流量制御弁がある。この流体流量制御弁は、ピエゾスタックによる変位をダイアフラムを介して弁体に伝達している。
この流体流量制御弁では、弁体に閉曲線を描くような隔壁を形成して、弁体を通過する流体の通過面積を実効的に大きくし、僅かな変位で大流量の流体を制御できるようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしこのような構成の流体流量制御弁では、弁体に隔壁を形成して開口面積を大きくしても、ピエゾスタックの変位が最大40から50ミクロンしかないため、開口面積に比較して圧力損失が大きく、流量範囲の拡大には限界がある。また、流量範囲を拡大できてもバルブの変位は同じであるため、バルブゲイン(流量/変位)が高くなり、微妙な流量制御は難しいという問題を有する。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明は、一組のリテーナと、
前記リテーナの間に等間隔で固着された3つのスペーサと、
前記スペーサ間に等間隔で配された3つの球体収納部材とを有し、
前記球体収納部材は、一方の面に1つの球体が、他方の面に少なくとも3つの球体が前記リテーナの中心に向う三角形の各頂点の位置に、それぞれ、前記球体収納部材に設けた凹みに収納されており、
前記リテーナには前記球体の直径よりも小さい直径の孔があけられ、該孔に前記球体が該孔との間に隙間を設けて嵌合されており、
前記球体収納部材の他方の面の少なくとも3つの球体のうち外側にある2つの球体は不動のハウジングに接し、内側の球体は入出力部材の一方に接し、
前記球体収納部材の一方の面にある球体は入出力部材の他方に接するようになっていることを特徴とする、
変位又は力の増幅機構によって、前記の課題を解決した。
【0005】
【作用】
本発明の変位又は増幅機構は、変位又は力を拡大したい入出力部材の間で使用され、低摩擦の球体の3点での接触を介して、てこの原理によって、変位又は力を拡大して出力側に伝達する。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の増幅機構の実施形態を、図1乃至図6によって説明する。
図1(a)は、本発明の変位増幅機構としての第1実施形態の上面図である。この変位増幅機構10は、円板状(これに限定されない。)の上部リテーナ21及び下部リテーナ22の間に、等間隔に3つの円柱状(これに限定されない。)スペーサ4を固着し、各スペーサ4の間に3つの球体収容部材6を等間隔で挟んで形成されている。
上部リテーナ21には、等間隔に、3箇所、孔21a,21b,21cがあけられており、一方、下部リテーナ22には、中心付近に3つ、円周付近に6つ、合計9つの孔があけられている。下部リテーナ22の前記孔は、1つの球体収容部材6について見ると、中心に向う三角形の各頂点の位置にある。
上部リテーナ21の中心に近い部分は、下向きに凹ませられているが、これは、作動時に、鋼球63が球体収容部材6の凹みから外れて内側に移動したりしないようにするためである。
【0007】
球体収容部材6は、スペーサ4を固着した2枚のリテーナ21,22の間に入る厚さを持つ二等辺三角形(これに限定されない。)の板状で、その上面には、1つの鋼球62、下面には3つの鋼球61,61,63を受け入れるように、鋼球の直径よりもやや大きな直径で断面が略半円状の凹みが形成され、その中に、各鋼球が入れられている。これらの鋼球61,62,63は、通常、ボールベアリングに使用される焼き入れ硬化された鋼球であり、入手は容易である。なお、鋼球は、本発明で使用する「球体」の一例であり、材質としては、必ずしも鋼球に限定されるわけではない。例えば、セラミック球体のようなものでもよい。
【0008】
鋼球61,62,63の直径は、リテーナ21,22にあけられた孔の直径よりも大きい。従って、球体収納部材6の上面及び下面においてリテーナ21,22にあけられた孔に鋼球が所定の位置に入れられ、後述の入出力部材とハウジングに接したとき、各鋼球はリテーナ21,22との間で遊びがあって(換言すれば、各鋼球はリテーナ21,22にあけられた孔と各鋼球との間に隙間を設けて嵌合させられているので)、その動きが妨げられないとともに、拘束状態から抜け出すことがない。すなわち、リテーナ21,22は、ボールベアリングにおけるリテーナと同じ作用をしている。
【0009】
上部リテーナ21の孔21a,21b,21cに遊びをもって嵌合された鋼球62は、入力部材202aと接し、下部リテーナ22の孔に遊びをもって嵌合された鋼球61は固定ハウジング201と、鋼球63は出力部材202bと、それぞれ接している。入力部材202a、出力部材202b、及び固定ハウジング201の、鋼球61,62,63と接する箇所は、ベアリング用鋼球と点接触して、てこの作用をしなければならないので、例えば、ステンレス鋼に焼き入れ硬化処理が施されている。そして、摩擦低減のため、鋼球にはグリースを塗っておくのが好ましい。
固定ハウジング201は動かないから、固定ハウジング201に接する鋼球61は、後述の「てこ」の作用において、不動の支点として働くことになる。従って、入力部材202aを介して鋼球62に与えられた変位が、作用点となる鋼球63を介して増幅して伝達され、出力部材202bの拡大された動きとなる。
【0010】
図1(b)は図1(a)のB−B断面図であり、スペーサ4は、上下のリテーナ21,22に、接着、又は溶接のような手段によって固着されている。
具体的数値の一例をあげると、鋼球はベアリング用の直径2mmのものであり、リテーナは直径30mmの円板であり、スペーサの長さは5mmである。
【0011】
図1(c)は図1(a)のC−C断面図である。図1(c)に示すように、球体収納部材6の外側下部鋼球61と上部鋼球62との距離をL1、下部鋼球61,63間の距離をL2とする。変位は入力部材202aを介して球体収納部材6の上部鋼球62へ伝えられ、次に下部鋼球61をてこの支点として、作用点である下部鋼球63を介して、出力部材202bに伝えられる。このとき、入力変位をX1、出力変位をX2とすると、近似的に、X2=X1×L2/L1となり、出力変位X2は、入力変位X1のL2/L1倍に拡大されて伝達されることになる。図1(d)は、従来のものと比較して、本発明による変位拡大機能を図示したものである。
【0012】
図2は、増幅機構10の斜視図である。
この増幅機構10を使用したピエゾタイプの流体流量制御弁300を、図3に示す。
ベース100には、流入側通路101と流出側通路102が形成されている。ベース100の上部にはダイアフラム押さえ103が設けられ、ダイアフラム103押さえの内側にはホルダー104を介して弁座105が配置され、ダイアフラム103aの真下には、ロッド107と弁体106が設けられ、弁体106はバネ200によって常に上方へ押圧されている。ベース100とダイアフラム押さえ103及びベース100とホルダー104との間は、Oリング108,109により、シールされている。ダイアフラム103aの上部にはブースターハウジング(固定ハウジング)201が固定されている。ブースターハウジング201内には入力部材202a及び出力部材202bが配され、これらの部材の間に、本発明の増幅機構10が配置される。
入力部材202aは、ピエゾスタック204からの変位X1をダイアフラム203を介して増幅機構10に伝え、増幅機構10によって増幅された変位X2は、出力部材202bからダイアフラム103aを介してロッド107に伝達され、バルブが開閉される。
【0013】
本発明の増幅機構の第2実施形態を図4に示す。図4の増幅機構10’では、上下リテーナの図示を省略している。
この第2実施形態では、各球体収納部材6’について、出力部材202b’に接する下部鋼球64を、内側鋼球63’の外側に配置し、内側鋼球63’については、出力部材202b’との間に、δの遊び、すなわち、隙間を持たせている。上部鋼球62’と下部鋼球61’の距離はL1、鋼球64と鋼球61’の距離はL2、鋼球63’と鋼球61’の距離はL3である。この隙間δによって、入力部材202a’からの変位X1は、2段階に拡大され、拡大された変位X2は、近似的に、X1×L2/L1及び、X1×L3/L1と計算される。図2(c)は、この拡大機能を図示したものである。
このように、変位を2段階に増幅することによって、バルブ開き始めの流量制御を微細に行ない、最大流量を大きくすることができる。
【0014】
次に、本発明の第3実施形態として、図5(a)に示すように、本発明の増幅機構10”を用いてブースターユニットを構成し、力の増幅機構として利用する場合を説明する。
てこの作用により、小さな力を大きな力に変換する(その結果、大きな変位は小さな変位に変換される。)ことができるが、このような機能は、例えば、電磁弁において、推力を拡大して作用させたいような場合に応用することができる。
これを実現するには、これまで説明した変位拡大機構において、入力と出力を逆にすればよい。図5(a)はこの構成を図示したものであるが、その構成と作用は、これまで説明したことから明らかであるから、詳細な説明は省略する。図5(b)は、力の拡大機能を図示したものであるが、増幅された力F1は加えられた力F2のL2/L1倍となる。
【0015】
図6に、ピエゾタイプの流体流量制御弁に印加された電圧と変位量の関係を示す。図中の1は本発明の変位増幅機構を用いたときの変位、2は従来装置による変位を示し、本発明の増幅機構を用いたピエゾタイプの流体流量制御弁の変位量は、従来の流体流量制御弁と比較して略4倍とすることができる。
なお、本発明の増幅機構は、流量制御弁のみならず圧力制御弁にも応用できることは、言うまでもない。
【0016】
【発明の効果】
本発明は上記の構成により、下記の効果を奏する。
■ピエゾスタックの微小なストロークを拡大して、ピエゾタイプの流体流量制御弁の流量制御範囲を大きくすることができる。
■前記ストロークの拡大により、ピエゾタイプの流体流量制御弁の流量制御性を高めることができる。
■電磁弁の推力拡大機構としても使用することができる。
■球体を使用しているので、摩擦損失が少なく、増幅効率がよい。
■球体の3箇所での点接触構造を基本としているので、力を均一に分散させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の変位又は力の増幅機構を示し、(a)は増幅機構の上面図、(b)は(a)のB−B断面図、(c)は(a)のC−C断面図、(d)はこの変位の増幅機構の入力変位X1と出力変位X2との関係を示す図。
【図2】 本発明の変位又は力の増幅機構の斜視図。
【図3】 本発明の変位増幅機構を使用したピエゾタイプ流体流量制御弁の断面図。
【図4】 本発明の変位増幅機構の第2実施形態を示し、(a)は入力が加えられていない状態の増幅機構の断面図、(b)は入力が加えられた状態の増幅機構の断面図、(c)はこの増幅機構の入力変位X1と出力変位X2との関係を示す図。
【図5】 本発明の第3実施形態としての力の増幅機構を示し、(a)は増幅機構の断面図、(b)はこの増幅機構の入力F2と増幅された出力F1の関係を示す図。
【図6】 本発明の変位増幅機構を使用した流体流量制御弁と従来の流体流量制御弁の、ピエゾ電圧と変位の関係を示す図。
【符号の説明】
10,10’,10”:変位又は力の増幅機構
21,22:リテーナ
4:スペーサ
6,6’,6”:球体収納部材
61,62,63,61’,62’,63’,64:鋼球(球体)
202a:入力部材
202b:出力部材
Claims (4)
- 一組のリテーナと、
前記リテーナの間に等間隔で固着された3つのスペーサと、
前記スペーサ間に等間隔で配された3つの球体収納部材とを有し、
前記球体収納部材は、一方の面に1つの球体が、他方の面に少なくとも3つの球体が前記リテーナの中心に向う三角形の各頂点の位置に、それぞれ、前記球体収納部材に設けた凹みに収納されており、
前記リテーナには前記球体の直径よりも小さい直径の孔があけられ、該孔に前記球体が該孔との間に隙間を設けて嵌合されており、
前記球体収納部材の他方の面の少なくとも3つの球体のうち外側にある2つの球体は不動のハウジングに接し、内側の球体は入出力部材の一方に接し、
前記球体収納部材の一方の面にある球体は入出力部材の他方に接するようになっていることを特徴とする、
変位又は力の増幅機構。 - 前記球体収納部材の他方の面に、入出力部材の一方に接する球体を前記内側の球体より外側に配置し、前記内側の球体と前記入出力部材の一方との間に隙間を持たせた、請求項1の変位又は力の増幅機構。
- ピエゾタイプの流体流量制御弁のピエゾスタックに前記入力部材が連結されている、請求項1の変位の増幅機構。
- 電磁弁に使用されて推力を拡大する、請求項1の力の増幅機構。
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