JPWO2015005263A1 - 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 - Google Patents
有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2015005263A1 JPWO2015005263A1 JP2015526319A JP2015526319A JPWO2015005263A1 JP WO2015005263 A1 JPWO2015005263 A1 JP WO2015005263A1 JP 2015526319 A JP2015526319 A JP 2015526319A JP 2015526319 A JP2015526319 A JP 2015526319A JP WO2015005263 A1 JPWO2015005263 A1 JP WO2015005263A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- organic
- substrate
- light emitting
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
- H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
- H10K77/111—Flexible substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2101/00—Properties of the organic materials covered by group H10K85/00
- H10K2101/10—Triplet emission
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/30—Coordination compounds
- H10K85/341—Transition metal complexes, e.g. Ru(II)polypyridine complexes
- H10K85/342—Transition metal complexes, e.g. Ru(II)polypyridine complexes comprising iridium
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
- H10K85/649—Aromatic compounds comprising a hetero atom
- H10K85/657—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons
- H10K85/6572—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons comprising only nitrogen in the heteroaromatic polycondensed ring system, e.g. phenanthroline or carbazole
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
- H10K85/649—Aromatic compounds comprising a hetero atom
- H10K85/657—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons
- H10K85/6574—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons comprising only oxygen in the heteroaromatic polycondensed ring system, e.g. cumarine dyes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
Description
を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
本発明の有機EL素子は、少なくとも、塑性変形する基板、平滑層、下部電極、有機発光層、上部電極及び透明封止基材をこの順に具備することを特徴とする。このような構成によって、通常は平面状であるが、物理的に加えた力により形状が曲面状に変化し、応力を除荷したときにその形を維持するような性質を有し、かつ、変形時に基板と電極の間で浮きや剥がれが生じない有機EL素子を提供できることを見出した。
〔有機EL素子の構成〕
本発明の有機EL素子の構成の一例を図1に示す。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。
本発明の有機EL素子の製造方法は、前記塑性変形する基板の表面を粗面化するために加熱処理を行う工程、当該基板上に前記平滑層を形成する工程、前記下部電極、有機発光層、及び上部電極をこの順に形成する工程、及び前記透明封止基材で少なくとも当該有機発光層全体をラミネート封止する工程、を有する。
本発明の有機EL素子の製造方法では、塑性変形する基板110を加熱処理することで粗面化し、上層との密着性をより向上することができる。
次いで、粗面化した基板表面を平滑にするために、平滑層110bを塗布法又は蒸着法等によって形成する、層厚としては、0.01〜1μmの範囲で形成することが好ましい。特に、後述する非導電性ポリマーやポリシラザンを含有する無機前駆体を用いて平滑層を形成する場合は、塗布法を用いることが好ましい。
上記平滑層を形成後、アノードとなる下部電極101を蒸着法等によって作製する。同時に、下部電極101端部に、外部電源と接続される取り出し電極部を蒸着法等の適宜の方法によって形成する。
次いで、接着層が設けられた透明封止基材105を、加熱圧着等の方法によって、少なくとも有機発光層全体を覆うようにラミネート封止し、有機EL素子100を作製する。
本発明に係る塑性変形する基板110aは、塑性変形する性質を有する樹脂材料、又は金属材料を用いることが特徴であり、中でも金属材料であることが好ましく、金属材料の具体例としては、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、金(Au)、銀(Ag)、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)及びチタン(Ti)から選択される少なくとも一種の金属又はそれらの合金からなる金属材料を用いることが好ましい。本発明の有機EL素子を製造する際の強度、質量、扱いやすさ、及びコスト等を考慮すると、アルミニウム(Al)又は銅(Cu)であることがより好ましい。
本発明に係る平滑層110bは、下部電極に対する電気絶縁性を有する絶縁層であり、さらに基板と上層、特に基板と下部電極との密着性を向上する中間層であり、かつ下部電極を形成しやすくするため、粗面化した基板表面を平滑化する層である。
本発明に係る非導電性ポリマーは、当該非導電性ポリマーがヒドロキシ基を有する非導電性ポリマーであることが好ましく、さらに解離性基を有する自己分散型ポリマーであることが好ましい。
本発明に用いられるヒドロキシ基を有する非導電性ポリマーとしては以下の一般式(I)で表される化合物を用いることが好ましい。
本発明においてヒドロキシ基を有する非導電性ポリマーとは、水溶性で、かつ、25℃の水100gに0.001g以上溶解するポリマーを意味する。前記溶解度は、ヘイズメーターや濁度計で測定することができる。
また本発明では、上記ヒドロキシ基を有する非導電性ポリマーに変えて解離性基を有する自己分散型ポリマーを使用することが好ましい。
また、本発明では、平滑層に上記ヒドロキシ基を有する非導電性ポリマー、又は解離性基を有する自己分散型ポリマーと、水系溶剤に均一分散可能な他のバインダーを用いることもできる。当該バインダーとしては透明なバインダーであることが好ましい。
本発明に係る基板上に、非導電性ポリマーを含有する層を形成する方法としては、高生産性と生産コスト低減の両立、及び環境負荷軽減の観点から、塗布法や印刷法等の液相成膜法を用いることが好ましい。塗布法としては、公知のロールコート法、バーコート法、ディップコーティング法、スピンコーティング法、キャスティング法、ダイコート法、ブレードコート法、バーコート法、グラビアコート法、カーテンコート法、スプレーコート法、ドクターコート法等を用いることができる。印刷法としては、凸版(活版)印刷法、孔版(スクリーン)印刷法、平版(オフセット)印刷法、凹版(グラビア)印刷法、スプレー印刷法、インクジェット印刷法等を用いることができる。
本発明に係る平滑層としては、ポリシラザン及びポリシラザン改質体の少なくともいずれかを含有する平滑層であることが好ましい。
「ポリシラザン」とは、ケイ素−窒素結合を持つポリマーで、Si−N、Si−H、N−H等からなるSiO2、Si3N4及び両方の中間固溶体SiOxNy等のセラミック前駆体無機ポリマーである。ポリシラザン及びポリシラザン誘導体は下記一般式(P)で表される。ポリシラザン改質体は、ポリシラザンが改質処理されることによって生成される、酸化ケイ素、窒化ケイ素及び酸窒化ケイ素から選ばれる少なくとも1種を含む化合物である。
改質処理は、ポリシラザンに対して行われ、これにより、ポリシラザンの一部又は全部がポリシラザン改質体となる。
改質処理としてのプラズマ照射処理は、公知の方法を用いることができるが、大気圧プラズマ処理が好ましい。大気圧プラズマ処理の場合は、放電ガスとしては窒素ガス及び/又は周期表の第18属原子、具体的には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等が用いられる。これらの中でも窒素、ヘリウム、アルゴンが好ましく用いられ、特に窒素がコストも安く好ましい。
改質処理の方法としては、紫外線照射による処理も好ましい。紫外線(紫外光と同義)によって生成されるオゾンや活性酸素原子は高い酸化能力を有しており、低温で高い緻密性と絶縁性を有する酸化ケイ素又は酸窒化ケイ素を作製することが可能である。
本発明において、更に好ましい改質処理の方法として、真空紫外線照射による処理が挙げられる。真空紫外線照射による処理は、シラザン化合物内の原子間結合力より大きい100〜200nmの光エネルギーを用い、好ましくは100〜180nmの波長の光のエネルギーを用い、原子の結合を光量子プロセスと呼ばれる光子のみによる作用により、直接切断しながら活性酸素やオゾンによる酸化反応を進行させることで、比較的低温で、酸化シリコン膜の形成を行う方法である。
有機EL素子100の構成においては、下部電極101がアノード(陽極)となり、上部電極102がカソード(陰極)になるが、有機発光層の構成によっては、下部電極101がカソードとなり、上部電極102がアノードとなってもよい。
下地層の層厚は、0.05〜50nmの範囲であることが、その効果(銀の凝集抑制)を得るため好ましい。
(1)発光層
有機発光層103には少なくとも発光層103cが含まれる。
ここで、本発明においてホスト化合物とは、発光層に含有される化合物の内でその層中での質量比が20%以上であり、かつ室温(25℃)においてリン光発光のリン光量子収率が、0.1未満の化合物と定義される。好ましくはリン光量子収率が0.01未満である。また、発光層に含有される化合物の中で、その層中での質量比が20%以上であることが好ましい。
より発光効率の高い有機EL素子を得る観点から、本発明の有機EL素子の発光層としては、上記のホスト化合物を含有すると同時に、リン光ドーパントを含有することが好ましい。
(2007)、Organometallics 23, 3745 (2004)、Appl. Phys. Lett. 74, 1361 (1999)、国際公開第2002/002714号、国際公開第2006/009024号、国際公開第2006/056418号、国際公開第2005/019373号、国際公開第2005/123873号、国際公開第2005/123873号、国際公開第2007/004380号、国際公開第2006/082742号、米国特許出願公開第2006/0251923号明細書、米国特許出願公開第2005/0260441号明細書、米国特許第7393599号明細書、米国特許第7534505号明細書、米国特許第7445855号明細書、米国特許出願公開第2007/0190359号明細書、米国特許出願公開第2008/0297033号明細書、米国特許第7338722号明細書、米国特許出願公開第2002/0134984号明細書、米国特許第7279704号明細書、米国特許出願公開第2006/098120号明細書、米国特許出願公開第2006/103874号明細書、国際公開第2005/076380号、国際公開第2010/032663号、国際公開第2008/140115号、国際公開第2007/052431号、国際公開第2011/134013号、国際公開第2011/157339号、国際公開第2010/086089号、国際公開第2009/113646号、国際公開第2012/020327号、国際公開第2011/051404号、国際公開第2011/004639号、国際公開第2011/073149号、米国特許出願公開第2012/228583号明細書、米国特許出願公開第2012/212126号明細書、特開2012−069737号公報、特開2011−181303号公報、特開2009−114086号公報、特開2003−81988号公報、特開2002−302671号公報、特開2002−363552号公報等である。
注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と発光層103cの間に設けられる層のことで、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123〜166頁)に詳細に記載されており、正孔注入層103aと電子注入層103eとがある。
正孔輸送層103bは、正孔を輸送する機能を有する正孔輸送材料からなり、広い意味で正孔注入層103a、電子阻止層も正孔輸送層103bに含まれる。正孔輸送層103bは単層又は複数層設けることができる。
電子輸送層103dは、電子を輸送する機能を有する材料からなり、広い意味で電子注入層103e、正孔阻止層(図示略)も電子輸送層103dに含まれる。電子輸送層103dは単層構造又は複数層の積層構造として設けることができる。
阻止層は、有機発光層103として、上記各機能層の他に、更に設けられていても良い。例えば、特開平11−204258号公報、同11−204359号公報、及び「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の237頁等に記載されている正孔阻止(ホールブロック)層がある。
正孔を輸送しつつ電子を阻止することで電子と正孔の再結合確率を向上させることができる。また、正孔輸送層103bの構成を必要に応じて電子阻止層として用いることができる。本発明に係る正孔阻止層の層厚としては、好ましくは3〜100nmの範囲であり、さらに好ましくは5〜30nmの範囲である。
取り出し電極は、下部電極101及び上部電極102と外部電源とを電気的に接続するものであって、その材料としては特に限定されるものではなく公知の素材を好適に使用できるが、例えば、3層構造からなるMAM電極(Mo/Al・Nd合金/Mo)等の金属膜を用いることができる。
補助電極は、下部電極101及び上部電極102の抵抗を下げる目的で設けるものであって、下部電極101の電極層101b及び上部電極102の電極層に接して設けられる。補助電極を形成する材料は、金、白金、銀、銅、アルミニウム等の抵抗が低い金属が好ましい。これらの金属は光透過性が低いため、光取り出し面からの発光光hの取り出しの影響のない範囲でパターン形成される。
本発明では前記上部電極102と前記透明封止基材105の間には、有機又は無機の化合物を含有する電極保護層104を形成することが、当該上部電極の表面を平滑にし、かつ機械的な保護を十分にするため、好ましい。また、有機又は無機の化合物を含有することによって、透明封止基材105をラミネートする際に、固体封止されるために接着強度が高い。
本発明に係る透明封止基材105は、その機能としては、有機EL素子100をラミネートして封止するものであり、図示例のように、例えば接着剤を含有する接着層(不図示)によって、電極保護層104側及び基板110側に固定されるものである。このような透明封止基材105は、有機EL素子100における下部電極101及び上部電極102の端子部分を露出させ、少なくとも有機発光層103を完全に覆う状態で設けられる。
透明封止基材105による封止(ラミネート)方法は、特に限定されるものではないが、例えば上記有機EL素子100を酸素及び水分濃度が一定の環境下(例えば、酸素濃度10ppm以下、水分濃度10ppm以下のグローブボックス内等)に置き、減圧下(1×10−3MPa以下)で吸引しながら加重をかけてプレスして、透明封止基材105に形成した接着層によって当該有機EL素子100をラミネートし、その後、熱風循環式オーブン、赤外線ヒーター、ヒートガン、高周波誘導加熱装置、ヒートツールの圧着による加熱等によって、当該接着層を熱硬化することによって行われる。
本発明の有機EL素子は、面発光体であり、各種の発光光源として用いることができる。例えば、家庭用照明や車内照明等の照明装置、時計や液晶用のバックライト、看板広告用照明、信号機の光源、光記憶媒体の光源、電子写真複写機の光源、光通信処理機の光源、光センサーの光源等に使用することができる。
〔有機EL素子101の作製〕
(基板の作製)
厚さ50μmの無アルカリガラス(表面の算術平均粗さRaが0.5μm)上に、平滑層として、下記ポリシラザン含有塗布液を塗布し、次いで真空紫外線照射してポリシラザン改質層(表中、PHPSと記載。)を形成した。当該平滑層表面の算術平均粗さRaは1.0nmであった。
無触媒のパーヒドロポリシラザンを20質量%含むジブチルエーテル溶液(AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製、アクアミカ(登録商標)NN120−20)と、アミン触媒(N,N,N′,N′−テトラメチル−1,6−ジアミノヘキサン(TMDAH))5質量%を含むパーヒドロポリシラザン20質量%のジブチルエーテル溶液(AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製、アクアミカ(登録商標)NAX120−20)とを、4:1の割合で混合し、さらにジブチルエーテルと2,2,4−トリメチルペンタンとの質量比が65:35となるように混合した溶媒で、塗布液の固形分が5質量%になるように、塗布液を希釈調製した。
真空紫外線照射は、図2に模式図で示した装置を用いて行った。
前記形成した平滑層上に、厚さ150nmとなる条件でアルミニウムを市販のスパッタリング装置を用いてスパッタ法で成膜し、フォトリソグラフィー法によりパターニングして、アルミニウム層から成る下部電極を形成した。なお、パターンは発光面積が50mm平方になるようなパターンとした。
(正孔輸送層の形成)
下部電極の上に、以下に示す正孔輸送層形成用塗布液を、25℃、相対湿度50%RHの環境下で、スピンコーターで塗布した後、下記の条件で乾燥及び加熱処理を行い、正孔輸送層を形成した。正孔輸送層形成用塗布液は乾燥後の厚さが50nmになるように塗布した。
ポリエチレンジオキシチオフェン・ポリスチレンスルホネート(PEDOT/PSS、Bayer社製 Bytron P AI 4083)を純水で65%、メタノール5%で希釈した溶液を正孔輸送層形成用塗布液として準備した。
正孔輸送層形成用塗布液を塗布した後、成膜面に向け高さ100mm、吐出風速1m/s、幅手の風速分布5%、温度100℃で溶媒を除去した後、引き続き、加熱処理装置を用い温度150℃で裏面伝熱方式の熱処理を行い、正孔輸送層を形成した。
上記で形成した正孔輸送層上に、以下に示す白色発光層形成用塗布液を、下記の条件によりスピンコーターで塗布した後、下記の条件で乾燥及び加熱処理を行い、発光層を形成した。白色発光層形成用塗布液は乾燥後の厚さが40nmになるように塗布した。
ホスト材として下記化学式H−Aで表される化合物1.0gと、ドーパント材として下記化学式D−Aで表される化合物を100mg、ドーパント材として下記化学式D−Bで表される化合物を0.2mg、ドーパント材として下記化学式D−Cで表される化合物を0.2mg、100gのトルエンに溶解し白色発光層形成用塗布液として準備した。
塗布工程を窒素ガス濃度99%以上の雰囲気で、塗布温度を25℃とした。
白色発光層形成用塗布液を塗布した後、成膜面に向け高さ100mm、吐出風速1m/s、幅手の風速分布5%、温度60℃で溶媒を除去した後、引き続き、温度130℃で加熱処理を行い、発光層を形成した。
上記で形成した発光層の上に、以下に示す電子輸送層形成用塗布液を下記の条件によりスピンコーターで塗布した後、下記の条件で乾燥及び加熱処理し、電子輸送層を形成した。電子輸送層形成用塗布液は、乾燥後の厚さが30nmになるように塗布した。
塗布工程は窒素ガス濃度99%以上の雰囲気で、電子輸送層形成用塗布液の塗布温度を25℃とした。
電子輸送層形成用塗布液を塗布した後、成膜面に向け高さ100mm、吐出風速1m/s、幅手の風速分布5%、温度60℃で溶媒を除去した後、引き続き、加熱処理部で、温度200℃で加熱処理を行い、電子輸送層を形成した。
上記で形成した電子輸送層上に、電子注入層を形成した。まず、基板を減圧チャンバーに投入し、5×10−4Paまで減圧した。あらかじめ、真空チャンバー にタンタル製蒸着ボートに用意しておいたフッ化セシウムを加熱し、厚さ3nmの電子注入層を形成した。
上記で形成した電子注入層の上であって、下部電極の取り出し電極になる部分を除く部分に、5×10−4Paの真空下で、上部電極形成材料としてITOを使用し、取り出し電極を有するように蒸着法にて、発光面積が50mm平方になるようにマスクパターン成膜し、厚さ150nmの上部電極を積層した。
以上のように、上部電極までが形成された各積層体を、再び窒素雰囲気に移動し、規定の大きさに、紫外線レーザーを用いて裁断し、有機EL素子を作製した。
作製した有機EL素子に、ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社製の異方性導電フィルムDP3232S9を用いて、フレキシブルプリント基板(ベースフィルム:ポリイミド12.5μm、圧延銅箔18μm、カバーレイ:ポリイミド12.5μm、表面処理NiAuメッキ)を接続した。
透明封止基材として、下記ガスバリアー層付きPET基材を用いて、有機EL素子101を作製した。PET基材は、厚さ125μmのポリエステルフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、テイジンテトロンフィルム(登録商標)K)を用いた。
無機前駆体化合物を含有する塗布液として、無触媒のパーヒドロポリシラザン20質量%ジブチルエーテル溶液(AZエレクトロニックマテリアルズ(株)製アクアミカ NN120−20)とアミン触媒を固形分の5質量%含有するパーヒドロポリシラザン20質量%ジブチルエーテル溶液(AZエレクトロニックマテリアルズ(株)製アクアミカ NAX120−20)とを混合して用い、アミン触媒を固形分の1質量%に調整した後、さらに、ジブチルエーテルで希釈することにより5質量%ジブチルエーテル溶液として作製した。
株式会社エム・ディ・コム製エキシマ照射装置MODEL:MECL−M−1−200、光波長172nm、ランプ封入ガス Xe
〈改質処理条件〉
エキシマ光強度 3J/cm2(172nm)
ステージ加熱温度 100℃
照射装置内の酸素濃度 1000ppm
〔有機EL素子102の作製〕
有機EL素子101の作製において、ガラス基材の厚さを100μmにした以外は同様にして、有機EL素子102を作製した。
有機EL素子101の作製において、ガラス基材の厚さを200μmにした以外は同様にして、有機EL素子103を作製した。
有機EL素子101の作製において、ガラス基材の代わりに、厚さ125μmのポリエステルフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、テイジンテトロンフィルム(登録商標)K)を用いた以外は同様にして、有機EL素子104を作製した。PET基材の表面の算術平均粗さRaは3μmであった。
有機EL素子101の作製において、ガラス基材の代わりに、厚さ100μmのSUS基材を用いた以外は同様にして、有機EL素子105を作製した。SUS基材の表面の算術平均粗さRaは18μmであった。
有機EL素子105の作製において、SUS基材をオーブンにて240℃で20分間加熱処理した後、徐冷して基板として用いた以外は同様にして、有機EL素子106を作製した。SUS基材の表面の算術平均粗さRaは126μmであった。
有機EL素子106の作製において、SUS基材の代わりに、厚さ50μmのアルミニウム(Al)基材をオーブンにて200℃で10分間加熱処理した後徐冷して基板として用いた以外は同様にして、有機EL素子107を作製した。アルミニウム(Al)基材の表面の算術平均粗さRaは73μmであった。
有機EL素子107の作製において、厚さ100μmのアルミニウム(Al)基材を用いた以外は同様にして、有機EL素子108を作製した。
有機EL素子107の作製において、厚さ200μmのアルミニウム(Al)基材を用いた以外は同様にして、有機EL素子109を作製した。
有機EL素子105の作製において、SUS基材の代わりに、厚さ100μmのアルミニウム(Al)基材を用いた以外は同様にして、有機EL素子110を作製した。アルミニウム(Al)基材の表面の算術平均粗さRaは22μmであった。
有機EL素子107の作製において、アルミニウム(Al)基材の代わりに銅(Cu)基材をオーブンにて200℃で10分間加熱処理した後徐冷して基板として用いた以外は同様にして、有機EL素子111を作製した。銅(Cu)基材の表面の算術平均粗さRaは122μmであった。
有機EL素子111の作製において、厚さ100μmの銅(Cu)基材を用いた以外は同様にして、有機EL素子112を作製した。
有機EL素子111の作製において、厚さ200μmの銅(Cu)基材を用いた以外は同様にして、有機EL素子113を作製した。
有機EL素子110の作製において、アルミニウム(Al)基材の代わりに厚さ100μmの銅(Cu)基材を用いた以外は同様にして、有機EL素子114を作製した。銅(Cu)基材の表面の算術平均粗さRaは63μmであった。
有機EL素子108の作製において、平滑層を下記非導電性ポリマー含有塗布液Aを用いて、厚さ300nmとなるように塗布、乾燥して形成した以外は同様にして、有機EL素子115を作製した。
ポリスチレンスルホン酸 4.8質量部
P−1:ポリ(2−ヒドロキシエチルアクリレート)水溶液(PHEA
) 20%液 3.8質量部
S−1:2−プロパノール(IPA) 1.7質量部
S−2:プロピレングリコール(PG 2.5質量部
S−3:プロピレングリコールモノプロピルエーテル(PGPr)
2.5質量部
〈非導電性ポリマー1:ヒドロキシ基含有ポリマーの合成〉
[1]開始剤1:メトキシキャップされたオリゴエチレングリコールメタクリレートの合成
50ml三口フラスコに2−ブロモイソブチリルブロミド(7.3g、35mmol)とトリエチルアミン(2.48g、35mmol)及びテトラヒドロフラン(20ml)を加え、アイスバスにより内温を0℃に保持した。この溶液内にオリゴエチレングリコール(10g、23mmol、エチレングリコールユニット7〜8、Laporte Specialties社製)の33%THF溶液30mlを滴下した。30分撹拌後、溶液を室温にし、さらに4時間撹拌した。THFをロータリーエバポレーターにより減圧除去後、残渣をジエチルエーテルに溶解し、分液ロートに移した。水を加えエーテル層を3回洗浄後、エーテル層をMgSO4により乾燥させた。エーテルをロータリーエバポレーターにより減圧留去し、開始剤1を8.2g(収率73%)得た。
開始剤1(500mg、1.02mmol)、2−ヒドロキシエチルアクリレート(4.64g、40mmol、東京化成社製)、50:50v/v%メタノール/水混合溶媒5mlをシュレンク管に投入し、減圧下液体窒素に10分間シュレンク管を浸した。シュレンク管を液体窒素から出し、5分後に窒素置換を行った。この操作を3回行った後、窒素下で、ビピリジン(400mg、2.56mmol)、CuBr(147mg、1.02mmol)を加え、20℃で撹拌した。30分後、ろ紙とシリカを敷いた4cm桐山ロート上に反応溶液を滴下し、減圧で反応溶液を回収した。ロータリーエバポレーターにより溶媒を減圧留去後、50℃で3時間減圧乾燥した。その結果、数平均分子量13100、分子量分布1.17、数平均分子量が1000未満の分子含有量が0%のヒドロキシ基含有ポリマー ポリ(2−ヒドロキシエチルアクリレート)を2.60g(収率84%)得た。構造、分子量は各々1H−NMR(400MHz、日本電子社製)、GPC(Waters2695、Waters社製)で測定した。得られたポリマーを水で希釈し、20%液(P−1と略記)に調整した。
有機EL素子108の作製において、平滑層を下記非導電性ポリマー含有塗布液Bを用いて、厚さ300nmとなるように塗布、乾燥して形成した以外は同様にして、有機EL素子116を作製した。
ポリスチレンスルホン酸 1.59g
ポリエステル樹脂水性分散体:E−1 0.35g(固形分
70mg)
ジメチルスルホキシド(DMSO、非導電性ポリマー溶液質量の10分の
1) 0.16g
<ポリエステル樹脂の製造>
〈ポリエステル樹脂PP−1〉
酸成分として、テレフタル酸(TPA)2160g、イソフタル酸(IPA)1578g、セバシン酸(SEA)505g、アルコール成分としてエチレングリコール(EG)931g、ネオペンチルグリコール(NPG)1953gをオートクレーブ中に仕込んで、250℃で4時間加熱してエステル化反応を行った。仕込み原料比率はTPA/IPA/SEA/EG/NPG=52/38/10/60/75(モル比)であった。次いで、触媒として酢酸亜鉛二水和物を3.3g添加した後、系の温度を260℃に昇温し、系の圧力を徐々に減じて1時間後に13Paとした。この条件下でさらに5時間縮重合反応を続け、系を窒素ガスで常圧にし、系の温度を下げ、255℃になったところで無水トリメリット酸7.2gを添加し、255℃で2時間撹拌して解重合反応を行った。その後、系を窒素ガスで加圧状態にしておいて、ストランド状に樹脂を払出し、水温が35℃のクエンチングバスを経由してペレタイザーでカッティングすることで、ペレット状のポリエステル樹脂PP−1を得た。得られたポリエステル樹脂PP−1の数平均分子量=14000、酸価=23、ガラス転移温度(Tg)=45であった。
〈ポリエステル樹脂水性分散体E−1〉
ジャケット付きガラス2L容器にポリエステル樹脂PP−1を400gとMEKを600g投入し、ジャケットに60℃の温水を通して加熱しながら、撹拌することにより、完全にポリエステル樹脂を溶解させ、固形分濃度40質量%のポリエステル樹脂溶液1000gを得た。次に、ジャケットに冷水を通して系内温度を13℃に保ち、回転速度50rpmで撹拌しながら、塩基性化合物としてトリエチルアミン23.8gを添加し、続いて100g/minの速度で13℃の蒸留水を1107g添加して転相乳化を行った。続いて、得られた水性分散体のうち、1600gを2Lのフラスコに入れ、常圧下で蒸留を行うことで有機溶剤を留去した。蒸留は留去量が630gになったところで終了し、室温まで冷却後、ポリエステル樹脂水性分散体を撹拌しながら、25質量%アンモニア水1.1gを添加した。その後、1000メッシュのステンレス製フィルターで濾過し、ポリエステル樹脂水性分散体E−1を得た。
有機EL素子112の作製において、平滑層を前記非導電性ポリマー含有塗布液Aを用いて、厚さ300nmとなるように塗布、乾燥して形成した以外は同様にして、有機EL素子117を作製した。
(1)表面粗さ(算術平均粗さ)Ra
算術平均粗さRaとは、JIS B0601−2001に準拠した算術平均粗さであり、AFM(原子間力顕微鏡 Atomic Force Microscope:Digital Instruments社製)を用い、極小の先端半径の触針を持つ検出器で連続測定した凹凸の断面曲線から算出され、極小の先端半径の触針により測定方向が30μmの区間内を3回測定し、微細な凹凸の振幅に関する平均の粗さから求めた。
5cm×5cmの大きさの平面状の基板を、温度23℃、55%RHの環境下で、φ(直径)50mmの半円形のロールに、当該ロールの形状になるように力を印加して曲面状に巻き付け、その後応力を除荷したときにその形状を維持している基板を塑性変形する基板として○、そうでない基板を×と表記した。
作製した有機EL素子No.101〜117を、φ(直径)2〜10cmのそれぞれのロールに巻き付けることを10回繰り返して、電極の浮き、剥がれ、割れを目視で以下の基準で評価した。
○:10回中、1回以下で電極の浮き、剥がれ、割れがみられる
△:10回中、3回以下で電極の浮き、剥がれ、割れがみられる
×:10回中、半数(5回)で電極の浮き、剥がれ、割れがみられる
評価結果を表1に示す。
有機EL素子No.108、No.110、No.112、No.114、No.115、No.116、No.117の作製において、上部電極を以下の形成方法で銀電極に形成した以外は同様にして、それぞれ有機EL素子No.201〜No.207を作製した。
実施例1において、電子注入層の形成まで行った基板を基板ホルダーにセットし、下記化合物Aをタンタル製抵抗加熱ボートに入れ、これらの基板ホルダーと加熱ボートとを真空蒸着装置の第1真空槽に取り付けた。
作製した有機EL素子に対して、実施例1の評価に下記発光輝度の評価を加えた。
作製した各有機EL素子を、室温下において2.5mA/cm2の定電流条件下で連続発光させ、発光輝度を、分光放射輝度計CS−1000(コニカミノルタ社製)を用いて測定した。測定した発光輝度の値を有機EL素子108の値を100として相対値で示した。
101 下部電極
102 上部電極
103 有機発光層
103a 正孔注入層
103b 正孔輸送層
103c 発光層
103d 電子輸送層
103e 電子注入層
104 電極保護層
105 透明封止基材
110 基板
110a 塑性変形する基板
110b 平滑層
h 発光光
Claims (6)
- 少なくとも、塑性変形する基板、平滑層、下部電極、有機発光層、上部電極及び透明封止基材をこの順に具備することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記塑性変形する基板が、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、金(Au)、銀(Ag)、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)及びチタン(Ti)から選択される少なくとも1種の金属又はそれらの合金からなることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記塑性変形する基板が、加熱処理されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記平滑層が、非導電性ポリマーを含有する平滑層、又はポリシラザン及びポリシラザン改質体の少なくともいずれかを含有する平滑層であることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、前記塑性変形する基板に加熱処理を行う工程、当該基板上に前記平滑層を形成する工程、前記下部電極、有機発光層、及び上部電極をこの順に形成する工程、及び前記透明封止基材で少なくとも当該有機発光層全体をラミネート封止する工程、
を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 前記加熱処理を、150〜300℃の範囲内の温度で行うことを特徴とする請求項5に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013145120 | 2013-07-11 | ||
JP2013145120 | 2013-07-11 | ||
PCT/JP2014/068020 WO2015005263A1 (ja) | 2013-07-11 | 2014-07-07 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015005263A1 true JPWO2015005263A1 (ja) | 2017-03-02 |
Family
ID=52279945
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015526319A Pending JPWO2015005263A1 (ja) | 2013-07-11 | 2014-07-07 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2015005263A1 (ja) |
WO (1) | WO2015005263A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020245972A1 (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | ヤマモトホールディングス株式会社 | コーティング材の被覆方法、及びコーティング材が被覆された金属材 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02164091A (ja) * | 1988-12-19 | 1990-06-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | プリント配線基板 |
JPH09179106A (ja) * | 1995-12-21 | 1997-07-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 薄型ディスプレイ用基板とこれを使用したフィルム液晶ディスプレイおよびフィールドエミッションディスプレイ |
JPH10293293A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Dainippon Printing Co Ltd | ディスプレイ用可撓性基板およびその製造方法 |
JP2005049341A (ja) * | 2003-07-04 | 2005-02-24 | Agfa Gevaert Nv | 可撓性支持体上に被覆された像貯蔵燐光体又はシンチレータパネル |
JP2005071646A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-17 | Chi Mei Electronics Corp | 有機elディスプレイおよびその製造方法 |
JP2006003775A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-01-05 | Hitachi Metals Ltd | ディスプレイ用基板 |
JP2007012623A (ja) * | 2005-07-01 | 2007-01-18 | Novaled Ag | 有機発光ダイオードおよびいくつかの有機発光ダイオードの配列 |
JP2007225587A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-09-06 | Fujifilm Corp | 蛍光体パネルの製造方法 |
JP2007292755A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-08 | Agfa Gevaert Nv | 放射線像燐光体又はシンチレータパネル |
JP2008142970A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Nippon Steel Materials Co Ltd | 電子デバイス作製用絶縁被覆金属箔 |
JP2008243772A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Seiko Epson Corp | 発光装置およびその製造方法 |
JP2013134808A (ja) * | 2011-12-23 | 2013-07-08 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置およびその作製方法 |
-
2014
- 2014-07-07 JP JP2015526319A patent/JPWO2015005263A1/ja active Pending
- 2014-07-07 WO PCT/JP2014/068020 patent/WO2015005263A1/ja active Application Filing
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02164091A (ja) * | 1988-12-19 | 1990-06-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | プリント配線基板 |
JPH09179106A (ja) * | 1995-12-21 | 1997-07-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 薄型ディスプレイ用基板とこれを使用したフィルム液晶ディスプレイおよびフィールドエミッションディスプレイ |
JPH10293293A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Dainippon Printing Co Ltd | ディスプレイ用可撓性基板およびその製造方法 |
JP2005049341A (ja) * | 2003-07-04 | 2005-02-24 | Agfa Gevaert Nv | 可撓性支持体上に被覆された像貯蔵燐光体又はシンチレータパネル |
JP2005071646A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-17 | Chi Mei Electronics Corp | 有機elディスプレイおよびその製造方法 |
JP2006003775A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-01-05 | Hitachi Metals Ltd | ディスプレイ用基板 |
JP2007012623A (ja) * | 2005-07-01 | 2007-01-18 | Novaled Ag | 有機発光ダイオードおよびいくつかの有機発光ダイオードの配列 |
JP2007225587A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-09-06 | Fujifilm Corp | 蛍光体パネルの製造方法 |
JP2007292755A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-08 | Agfa Gevaert Nv | 放射線像燐光体又はシンチレータパネル |
JP2008142970A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Nippon Steel Materials Co Ltd | 電子デバイス作製用絶縁被覆金属箔 |
JP2008243772A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Seiko Epson Corp | 発光装置およびその製造方法 |
JP2013134808A (ja) * | 2011-12-23 | 2013-07-08 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置およびその作製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015005263A1 (ja) | 2015-01-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2014142036A1 (ja) | ガスバリアフィルム、ガスバリアフィルムの製造方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
WO2015083660A1 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
WO2017056797A1 (ja) | 透明有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP2016046066A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JPWO2017056635A1 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP6390613B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
US9876057B2 (en) | Organic electroluminescence panel, method for manufacturing the same, organic electroluminescence module, and information device | |
JP6592915B2 (ja) | 透明電極基板とその製造方法、電子デバイス及び有機elデバイス | |
JP4985602B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP2009252944A (ja) | 有機エレクトロルミネセンス素子とその製造方法 | |
WO2015005263A1 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 | |
WO2014196329A1 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
WO2017056814A1 (ja) | 透明有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 | |
JP2012089398A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び該製造方法により製造された有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP6409771B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子、及びその製造方法 | |
US9818962B2 (en) | Organic electroluminescent element and method for manufacturing same | |
JP6107825B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP6269648B2 (ja) | 透明電極及び有機電子デバイス | |
WO2014126063A1 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 | |
TWI638448B (zh) | 發光裝置 | |
WO2016174950A1 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
WO2017158920A1 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 | |
JP2011222385A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
WO2014208449A1 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 | |
JP2010073589A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180417 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20181030 |