JPWO2014192691A1 - 走査レンズ - Google Patents

走査レンズ Download PDF

Info

Publication number
JPWO2014192691A1
JPWO2014192691A1 JP2015519845A JP2015519845A JPWO2014192691A1 JP WO2014192691 A1 JPWO2014192691 A1 JP WO2014192691A1 JP 2015519845 A JP2015519845 A JP 2015519845A JP 2015519845 A JP2015519845 A JP 2015519845A JP WO2014192691 A1 JPWO2014192691 A1 JP WO2014192691A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light beam
beam portion
image forming
boundary point
scanning lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2015519845A
Other languages
English (en)
Inventor
智仁 桑垣内
智仁 桑垣内
智也 山下
智也 山下
都築 健
健 都築
幸弘 向井
幸弘 向井
大介 関
関  大介
鈴木 隆敏
隆敏 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nalux Co Ltd
Original Assignee
Nalux Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nalux Co Ltd filed Critical Nalux Co Ltd
Publication of JPWO2014192691A1 publication Critical patent/JPWO2014192691A1/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/0005Optical objectives specially designed for the purposes specified below having F-Theta characteristic

Abstract

画像形成光線用部分を備え、該画像形成光線用部分の端部に同期検知光線用部分を備えた走査レンズを提供する。走査レンズは、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含む主走査方向の断面において、該画像形成光線用部分の入射面と該同期検知光線用部分の入射面との境界点を第1の境界点とし、該第1の境界点において該画像形成光線用部分の入射面と、該同期検知光線用部分の入射面と、がなす外側の角度をθ1とし、該画像形成光線用部分の出射面と該同期検知光線用部分の出射面との境界点を第2の境界点とし、該第2の境界点において該画像形成光線用部分の出射面と、該同期検知光線用部分の出射面と、がなす外側の角度をθ2として、θ1<180°、かつθ2<180°を満たす。

Description

本発明は、走査光学系に使用される走査レンズに関する。
偏向光束を走査レンズにより被走査面上に集光させて走査を行う走査光学系において、偏向光束を使用して走査の同期検出信号を発生させることが行われている。同期検出信号を発生させるために、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分とを一体的に成形した走査レンズが開発されている(たとえば、特許文献1)。
しかし、このように画像形成光線用部分と同期検知光線用部分とを備えた走査レンズの入射面及び出射面を、単一の鏡面駒を使用して成形するための金型を製造しようとすると、加工工具の制約から所望の入射面及び出射面を形成することができないという問題点があった。上記の問題点については、後で詳細に説明する。
このように、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分の入射面及び出射面を所定の形状に成形することのできる走査レンズは開発されていない。
特開平5−53067号公報(特許3073801号公報)
したがって、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分の入射面及び出射面を所定の形状に成形することのできる走査レンズに対するニーズがある。
本発明の走査レンズは、画像形成光線用部分を備え、該画像形成光線用部分の端部に同期検知光線用部分を備えた走査レンズである。該走査レンズは、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含む主走査方向の断面において、該画像形成光線用部分の入射面と該同期検知光線用部分の入射面との境界点を第1の境界点とし、該第1の境界点において該画像形成光線用部分の入射面と、該同期検知光線用部分の入射面と、がなす外側の角度をθとし、該画像形成光線用部分の出射面と該同期検知光線用部分の出射面との境界点を第2の境界点とし、該第2の境界点において該画像形成光線用部分の出射面と、該同期検知光線用部分の出射面と、がなす外側の角度をθとして、
θ<180°、かつ
θ<180°
を満たす。
本発明の走査レンズにおいては、θ及びθが180°より小さいので、金型の入射面用の鏡面駒、及び出射面用の鏡面駒において、画像形成光線用部分に対応する面と同期検知光線用部分に対応する面とがなす外側の角度が180°以上である。この結果、工具の刃先の干渉による欠損部分が生じることはなく、金型の入射面用の鏡面駒、及び出射面用の鏡面駒の所望の形状を加工することができる。したがって、画像形成光線用部分の入射面及び出射面、ならびに同期検知光線用部分の入射面及び出射面が所望の形状の走査レンズが得られる。
本発明の第一の実施形態による走査レンズは、
135°≦θ<180°、かつ
135°≦θ<180°
をさらに満たす。
θ及びθが鋭角になると金型の突起部の破損が生じやすくなるので好ましくない。また、θの補角をθαとし、θの補角をθβとすると、角度θα及びθβが大きくなることは偏肉比が増加する原因となり、射出成形時の収縮差が大きくなり製品形状を精度良く作製することが困難となるので好ましくない。
本発明の第二の実施形態による走査レンズは、
300°<θ+θ
をさらに満たす。
上記の条件を満たせば、走査レンズの同期検知光線用部分の出射面における全反射を防止することができる。
本発明による走査レンズを含む走査光学系の構成を示す図である。 本発明の実施形態の走査レンズの、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近の、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含むyz断面を示す図である。 本発明の他の実施形態の走査レンズの、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近の、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含むyz断面を示す図である。 本発明の他の実施形態の走査レンズの、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近の、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含むyz断面を示す図である。 θが180°以上である従来技術の走査レンズの、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近の、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含むyz断面を示す図である。 θが180°以上である従来技術の走査レンズの金型の、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近に対応する部分の、yz断面に対応する断面を示す図である。 画像形成光線用部分の入射面に対応する面を先に加工した場合の状態を示す図である。 同期検知光線用部分の入射面に対応する面を先に加工した場合の状態を示す図である。 θが180°以上である従来技術の走査レンズの、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近の、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含むyz断面を示す図である。 θが180°以上である従来技術の走査レンズの金型の、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近に対応する部分の、yz断面に対応する断面を示す図である。 画像形成光線用部分の出射面に対応する面を先に加工した場合の状態を示す図である。 同期検知光線用部分の出射面に対応する面を先に加工した場合の状態を示す図である。 従来技術の走査レンズの、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近の、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含むyz断面を示す図である。
図1は、本発明による走査レンズを含む走査光学系の構成を示す図である。走査光学系は、レーザダイオードなどの光源10、コリメータレンズ20、アパーチャ30、シリンドリカルレンズ40、ポリゴンミラー(回転多面鏡)50、走査レンズ100、及び同期検知用センサ70を含む。
光源10から放射された光は、コリメータレンズ20によって平行光束とされ、アパーチャ30を経てシリンドリカルレンズ40に至る。光束は、シリンドリカルレンズ40によって、副走査方向(図1の紙面に垂直な方向)にのみ収束性を与えられる。光束は、さらに、ポリゴンミラー50により偏向光束となって走査レンズ100に至り、走査レンズ100によって被走査面60上に収束させられる。ポリゴンミラー50が回転するにしたがって、偏向光束A1、A2、A3などによって光走査領域AAが走査される。被走査面60上には、ドラム状の光電性感光体が配置されており、回転することにより、感光体周面を副走査方向へ移動させる。
走査レンズ100は、画像形成光線用部分101と同期検知光線用部分103とを含む。画像形成光線用部分101は、上述のように、画像形成光線用部分101を被走査面60上に収束させる。同期検知光線用部分103は、偏向光束による光走査領域AAの走査の開始前に、偏向光束を同期検知用センサ70に収束させる。このように、同期検知用センサ70によって光束Bを検知することにより、光走査の同期信号を得ることができる。
なお、図1は、光束の主光線の経路を含む主走査方向の断面である。ポリゴンミラー50の反射面は、上記断面と垂直に配置されている。上記断面において、主光線の反射点を原点とし、原点で反射された主光線のうち、被走査面60に垂直に入射する光束A2の主光線の方向にz軸を定め、上記断面内でz軸と垂直な方向にy軸を定める。また、y軸及びz軸に垂直な方向にx軸を定める。y軸は、主走査方向に平行であり、x軸は副走査方向に平行である。ここで、z軸を走査レンズ100の光軸とする。
図2は、本発明の実施形態の走査レンズの、画像形成光線用部分101と同期検知光線用部分103との境界点付近の、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含むyz断面を示す図である。
図2のyz断面において、画像形成光線用部分101の入射面1011と同期検知光線用部分103の入射面1031との交点は、境界点1051である。境界点1051において、入射面1011と、入射面1031と、がなす外側の角度をθで表す。また、同様に、図2のyz断面において、画像形成光線用部分101の出射面1013と同期検知光線用部分103の出射面1033との交点は、境界点1053である。境界点1053において、出射面1013と、出射面1033と、がなす外側の角度をθで表す。
本実施形態においては、以下の関係が満たされる。
θ<180° (1)
θ<180° (2)
不等式(1)及び(2)を満たす走査レンズの形状が好ましい理由については後で説明する。
図13は、従来技術の走査レンズの、画像形成光線用部分101Cと同期検知光線用部分103Cとの境界点付近の、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含むyz断面を示す図である。同期検知光線用部分103Cは、光束Bを同期検知用センサ70に収束させる。この際に、収差(特に、コマ収差)を小さくするには、光束Bの進行方向に対して、できるだけ垂直な方向に光学面を定めるのが好ましい。したがって、従来技術の走査レンズの同期検知光線用部分103Cの入射面1031Cと1033Cとは、ほぼ平行となるように定められていた。このため、従来技術の走査レンズにおいて、θ及びθが上記の不等式(1)及び(2)を満足することはなかった。
図3は、本発明の他の実施形態の走査レンズの、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近の、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含むyz断面を示す図である。
θ及びθの和が小さすぎると、光束Bが同期検知光線用部分103の出射面1033で全反射されてしまう。したがって、出射面1033における全反射を防止するために、θ及びθが以下の関係を満たすのが好ましい。
300°<θ+θ(3)
図4は、本発明の他の実施形態の走査レンズの、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近の、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含むyz断面を示す図である。
図4において、θ及びθは、走査レンズを製造するための金型の突起部の角度に対応する。θ及びθが鋭角になると金型の突起部の破損が生じやすくなるので好ましくない。また、図4において、θの補角をθαとし、θの補角をθβとする。角度θα及びθβが大きくなることは偏肉比が増加する原因となり、射出成形時の収縮差が大きくなり製品形状を精度良く作製することが困難となるので好ましくない。したがって、θ及びθが以下の関係を満たすのが好ましい。
135°≦θ<180°(4)
135°≦θ<180°(5)
つぎに、従来技術の走査レンズが不当式(1)または(2)を満たさない場合にどのような問題が生じるかについて説明する。
走査レンズは、金型に溶融した樹脂を注入し、一体的に成形することによって製造する。一例として、樹脂は、ポリメチルメタクリレート樹脂、シクロオレフィンポリマー樹脂などである。ここで、走査レンズの入射面及び出射斜面のそれぞれに対応する金型の鏡面駒は一体型であるとする。入射面及び出射斜面のそれぞれに対応する金型の鏡面駒を、たとえば、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分など、複数の部分から構成すると、バリを発生させる原因となるので好ましくない。
図5は、θが180°以上である従来技術の走査レンズ100Aの、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近の、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含むyz断面を示す図である。
図6は、θが180°以上である従来技術の走査レンズ100Aの金型の、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近に対応する部分の、yz断面に対応する断面を示す図である。図6において金型を斜線で示す。yz断面において、θが180°より大きいと、金型の境界点に隣接する画像形成光線用部分の入射面1011Aに対応する面2011Aと、金型の境界点に隣接する同期検知光線用部分の入射面1031Aに対応する面2031Aとがなす外側の角度は、180度より小さくなる。金型を製造する場合には、加工工具200の刃先201によって画像形成光線用部分の入射面1011Aに対応する面2011A及び同期検知光線用部分の入射面1031Aに対応する面2031Aを所望の形状に加工する。ここで、加工工具200の刃先201の曲率半径は、一例として5ミリメータである。
図7は、画像形成光線用部分の入射面1011Aに対応する面2011Aを先に加工した場合の状態を示す図である。画像形成光線用部分の入射面1011Aに対応する面2011Aを所望の形状に加工すると、境界点に対応する部分付近で加工工具200の刃先201が、同期検知光線用部分の入射面1031Aに対応する面2031Aと干渉する。このため、同期検知光線用部分の入射面1031Aに対応する面2031Aに、図7のDで示す欠損部分が生じ、所望の形状が形成されない。
図8は、同期検知光線用部分の入射面1031Aに対応する面2031Aを先に加工した場合の状態を示す図である。同期検知光線用部分の入射面1031Aに対応する面2031Aを所望の形状に加工すると、境界点に対応する部分付近で加工工具200の刃先201が、画像形成光線用部分の入射面1011Aに対応する面2011Aと干渉する。このため、画像形成光線用部分の入射面1011Aに対応する面2011Aに、図8のEで示す欠損部分が生じ、所望の形状が形成されない。
このように、θが180°より大きいと、金型の入射面用の鏡面駒の画像形成光線用部分の入射面1011Aに対応する面2011Aまたは同期検知光線用部分の入射面1031Aに対応する面2031Aのいずれかを所望の形状に加工することができない。したがって、画像形成光線用部分の入射面1011A及び同期検知光線用部分の入射面1031Aが所望の形状の走査レンズが得られない。
図9は、θが180°以上である従来技術の走査レンズ100Bの、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近の、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含むyz断面を示す図である。
図10は、θが180°以上である従来技術の走査レンズ100Bの金型の、画像形成光線用部分と同期検知光線用部分との境界点付近に対応する部分の、yz断面に対応する断面を示す図である。図10において金型を斜線で示す。yz断面において、θが180°より大きいと、金型の境界点に隣接する画像形成光線用部分の出射面1013Bに対応する面2013Bと、金型の境界点に隣接する同期検知光線用部分の出射面1033Bに対応する面2033Bとがなす角度は、180度より小さくなる。金型を製造する場合には、加工工具200の刃先201によって画像形成光線用部分の出射面1013Bに対応する面2013B及び同期検知光線用部分の出射面1033Bに対応する面2033Bを所望の形状に加工する。
図11は、画像形成光線用部分の出射面1013Bに対応する面2013Bを先に加工した場合の状態を示す図である。画像形成光線用部分の出射面1013Bに対応する面2013Bを所望の形状に加工すると、境界点に対応する部分付近で加工工具200の刃先201が、同期検知光線用部分の出射面1033Bに対応する面2033Bと干渉する。このため、同期検知光線用部分の出射面1033Bに対応する面2033Bに、図11のFで示す欠損部分が生じ、所望の形状が形成されない。
図12は、同期検知光線用部分の出射面1033Bに対応する面2033Bを先に加工した場合の状態を示す図である。同期検知光線用部分の出射面1033Bに対応する面2033Bを所望の形状に加工すると、境界点に対応する部分付近で加工工具200の刃先201が、画像形成光線用部分の出射面1013Bに対応する面2013Bと干渉する。このため、画像形成光線用部分の出射面1013Bに対応する面2013Bに、図12のGで示す欠損部分が生じ、所望の形状が形成されない。
このように、θが180°より大きいと、金型の出射面用の鏡面駒の画像形成光線用部分の出射面1013Bに対応する面2013Bまたは同期検知光線用部分の出射面1033Bに対応する面2033Bのいずれかを所望の形状に加工することができない。したがって、画像形成光線用部分の出射面1013B及び同期検知光線用部分の出射面103
3Bが所望の形状の走査レンズが得られない。
これに対して、図2に示すように、θ及びθが180°より小さければ、金型の入射面用の鏡面駒、及び出射面用の鏡面駒において、画像形成光線用部分に対応する面と同期検知光線用部分に対応する面とがなす外側の角度が180°より大きいので、工具の刃先の干渉による欠損部分が生じることはなく、金型の入射面用の鏡面駒、及び出射面用の鏡面駒の所望の形状を加工することができる。したがって、画像形成光線用部分の入射面及び出射面、ならびに同期検知光線用部分の入射面及び出射面が所望の形状の走査レンズが得られる。
θまたはθが180°である場合には、刃先と加工対象ではない面との干渉はほとんど生じない。したがって、走査レンズの入射面及び出射面の形状を、
θ≦180°、かつ
θ≦180°
とすることもできる。
しかし、刃先と加工対象ではない面との干渉を完全に除去するには、走査レンズの入射面及び出射面の形状を、
θ<180°、かつ
θ<180°
とするのがより好ましい。
つぎに、走査光学系及び走査レンズの実施例について説明する。
表1は、走査光学系の諸元を示す表である。表1において、有効走査幅は、図1のAAの長さに対応する。入射角は、主光線が被走査面に垂直に入射する際に主光線がポリゴンミラー50の反射面に入射する角度である。「入射角」の下に記載された「焦点距離」とは、光軸と偏光光束の主光線とがなす角度である走査角をθ、走査面上での光軸からの高さYとして、
Y = f θ
の関係を満たす係数fである。である。偏向基準点とは、主光線のポリゴンミラー50の反射面における反射点、すなわち、上述の座標系の原点である。
Figure 2014192691
表2は、ポリゴンミラー50の回転中心及び走査レンズ100の各面の面定義中心の座標を示す表である。走査レンズ100の画像形成光線用部分101の入射面及び出射面の面定義中心は、各面とz軸との交点である。表2における長さの単位はミリメータである。
Figure 2014192691

また、画像形成光線用部分101と同期検知光線用部分103との境界部の座標は、以下のとおりである。長さの単位はミリメータである。
入射面の境界部の座標:(y, z)= (-45.5, 47.382)
出射面の境界部の座標:(y, z)= (-47, 51.211)
実施例の光学面に使用した面定義式は以下のとおりである。
Figure 2014192691
ただし、
Figure 2014192691
式中の変数及び係数の定義は以下のとおりである。
y:主走査方向座標
x:副走査方向座標
z:サグ
k:コーニック係数
Ry:主走査断面曲率半径
rx(y):副走査方向断面の主走査方向座標yにおける曲率半径
rx(0):副走査方向断面の光軸上の曲率半径
Ai:主走査方向断面の非球面係数(i = 1、2、3、4・・・)
Bi:副走査断面曲率半径を決定する係数(i = 1、2、3、4・・・)
表3は、上記の式の係数の値を示す表である。表3における長さの単位はミリメータである。
Figure 2014192691
実施例の走査レンズのθ及びθの値は以下のとおりである。
θ=168.6°
θ=172.5
したがって、θ及びθのは不等式(1)、(2)、(4)及び(5)を満たす。また、
θ+θ=341.1°
であるので、不等式(3)を満たす。
本実施例の走査レンズ100の同期検知光線用部分103のコマ収差は、λを光線の波長として、7.1mλである。このコマ収差の値は、従来技術の走査レンズの同期検知光線用部分のコマ収差の値より大きいが、同期検知用センサ70による光束の検出には全く問題がない。

Claims (3)

  1. 画像形成光線用部分を備え、該画像形成光線用部分の端部に同期検知光線用部分を備えた走査レンズであって、走査光学系に配置された状態で主光線の経路を含む主走査方向の断面において、該画像形成光線用部分の入射面と該同期検知光線用部分の入射面との境界点を第1の境界点とし、該第1の境界点において該画像形成光線用部分の入射面と、該同期検知光線用部分の入射面と、がなす外側の角度をθとし、該画像形成光線用部分の出射面と該同期検知光線用部分の出射面との境界点を第2の境界点とし、該第2の境界点において該画像形成光線用部分の出射面と、該同期検知光線用部分の出射面と、がなす外側の角度をθとして、
    θ<180°、かつ
    θ<180°
    を満たす走査レンズ。
  2. 135°≦θ<180°、かつ
    135°≦θ<180°
    をさらに満たす請求項1に記載の走査レンズ。
  3. 300°<θ+θ
    をさらに満たす請求項1または2に記載の走査レンズ。
JP2015519845A 2013-05-29 2014-05-26 走査レンズ Pending JPWO2014192691A1 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201361828362P 2013-05-29 2013-05-29
US61/828,362 2013-05-29
PCT/JP2014/063832 WO2014192691A1 (ja) 2013-05-29 2014-05-26 走査レンズ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPWO2014192691A1 true JPWO2014192691A1 (ja) 2017-02-23

Family

ID=51988722

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015519845A Pending JPWO2014192691A1 (ja) 2013-05-29 2014-05-26 走査レンズ

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPWO2014192691A1 (ja)
WO (1) WO2014192691A1 (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6455918U (ja) * 1987-10-02 1989-04-06
JPH0519186A (ja) * 1991-07-15 1993-01-29 Canon Inc 走査光学装置
JPH05134197A (ja) * 1991-10-11 1993-05-28 Nippon Hikyumen Lens Kk 走査光学系
JPH1010445A (ja) * 1996-06-26 1998-01-16 Ricoh Co Ltd 同期検知光学系

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6455918U (ja) * 1987-10-02 1989-04-06
JPH0519186A (ja) * 1991-07-15 1993-01-29 Canon Inc 走査光学装置
JPH05134197A (ja) * 1991-10-11 1993-05-28 Nippon Hikyumen Lens Kk 走査光学系
JPH1010445A (ja) * 1996-06-26 1998-01-16 Ricoh Co Ltd 同期検知光学系

Also Published As

Publication number Publication date
WO2014192691A1 (ja) 2014-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8472099B2 (en) Scanning optical apparatus
TWI705276B (zh) 支撐元件與可攜式光學成像鏡頭
US11822071B2 (en) Optical scanner and electrophotographic image forming apparatus
EP2400335B1 (en) Scanning optical apparatus
US5631763A (en) Fθ lens system in a laser scanning unit
JP2007140418A (ja) 走査装置及び走査光学系
KR20120080659A (ko) 광주사 장치
WO2014192691A1 (ja) 走査レンズ
KR101369635B1 (ko) 레이저 가공 방법 및 레이저 가공 장치
JP6381287B2 (ja) 結像光学素子の製造方法及び光走査装置の製造方法並びに画像形成装置
JP2010071732A (ja) 検品方法
US20090080037A1 (en) Condenser Lens and Optical Scanning Device
JP4374813B2 (ja) 温度補償可能なタンデム走査光学系
KR102534548B1 (ko) 주사 광학계 및 주사 렌즈
JP5499258B1 (ja) 走査光学系
JP2015034870A (ja) 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置
JP3748715B2 (ja) 走査結像レンズ
JP2017116701A (ja) 走査光学系及び走査レンズ
JPH06294935A (ja) 光ビーム走査光学装置
JPH09222574A (ja) 光走査光学系
JPH11311748A (ja) 光走査装置
CN114739908A (zh) 表面检测装置
JP2000147407A (ja) 走査結像レンズおよび光走査装置
JP2017090592A (ja) 光走査装置
JP2589898B2 (ja) シリンドリカルレンズ

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170411

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170411

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20170413

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20170418

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170425

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20171017