JPWO2014112652A1 - 画像生成装置、欠陥検査装置および欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
シート状成形体を該シート状成形体の長手方向に搬送する搬送部と、
シート状成形体の長手方向に垂直な幅方向に直線状に延びる光源を備え、該光源によってシート状成形体に光を照射する光照射部と、
前記搬送部によって搬送中のシート状成形体に対して撮像動作を行って、2次元画像を表す2次元画像データを生成する撮像部と、
1または複数のアルゴリズム処理によって、前記2次元画像データを構成する各画素の特徴量を、各画素の輝度値に基づいて算出する特徴量算出部と、
前記2次元画像データを構成する各画素を、前記特徴量が予め定める閾値以上である欠陥画素と、前記特徴量が前記閾値未満である残余画素とに区別し、前記欠陥画素については前記特徴量に応じた階調値を表す階調情報が格納された階調情報格納ビット列からなり、前記残余画素については零の階調値を表す階調情報が格納された階調情報格納ビット列からなる処理画像データを生成する処理画像データ生成部と、
前記処理画像データに基づいて、画素ごとに、シート状成形体における欠陥についての欠陥情報を取得し、その取得した欠陥情報が格納された欠陥情報格納ビット列を生成する欠陥情報取得部と、
画素ごとに、前記処理画像データの前記階調情報格納ビット列に、前記欠陥情報格納ビット列を付加して得られる解析用ビット列からなる解析用画像データを生成する解析用画像データ生成部と、
を備える画像生成装置を提供する。
前記欠陥情報取得部は、画素ごとの前記階調情報格納ビット列の階調情報が、前記複数のアルゴリズム処理のうちのいずれのアルゴリズム処理によって算出された特徴量に応じた階調情報であるかに基づいて、前記欠陥種類情報を含む前記欠陥情報を取得することが好ましい。
前記画像生成装置の解析用画像データ生成部によって生成された解析用画像データを構成する解析用ビット列に格納された情報を用いて、予め定める画像解析を行うことによって、シート状成形体の欠陥を検出する画像解析装置と、
を備える欠陥検査装置である。
シート状成形体を、該シート状成形体の長手方向に搬送する搬送工程と、
シート状成形体の長手方向に垂直な幅方向に直線状に延びる光源によって、搬送される前記シート状成形体に光を照射する光照射工程と、
搬送中の前記シート状成形体に対して撮像動作を行って、2次元画像を表す2次元画像データを生成する撮像工程と、
1または複数のアルゴリズム処理によって、前記2次元画像データを構成する各画素の特徴量を、各画素の輝度値に基づいて算出する特徴量算出工程と、
前記2次元画像データを構成する各画素を、前記特徴量が予め定める閾値以上である欠陥画素と、前記特徴量が前記閾値未満である残余画素とに区別し、前記欠陥画素については前記特徴量に応じた階調値を表す階調情報が格納された階調情報格納ビット列からなり、前記残余画素については零の階調値を表す階調情報が格納された階調情報格納ビット列からなる処理画像データを生成する処理画像データ生成工程と、
前記処理画像データに基づいて、画素ごとに、シート状成形体における欠陥についての欠陥情報を取得し、その取得した欠陥情報が格納された欠陥情報格納ビット列を生成する欠陥情報取得工程と、
画素ごとに、前記処理画像データの前記階調情報格納ビット列に、前記欠陥情報格納ビット列を付加して得られる解析用ビット列からなる解析用画像データを生成する解析用画像データ生成工程と、
前記解析用画像データを構成する前記解析用ビット列に格納された情報を用いて、予め定める画像解析を行うことによって、シート状成形体の欠陥を検出する画像解析工程と、
を含む欠陥検査方法である。
図2は、本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置100の構成を示す模式図である。
図3は、欠陥検査装置100の構成を示すブロック図である。
図4Aは、欠陥検出アルゴリズムの一例であるエッジプロファイル法を説明するための図であり、撮像装置5で生成された2次元画像データに対応する2次元画像Aの一例を示す図である。
図4Bは、処理画像生成部61で作成されたエッジプロファイルP1の一例を示す図である。
図4Cは、処理画像生成部61で作成された微分プロファイルP2の一例を示す図である。
図5Aは、欠陥検出アルゴリズムの他の例であるピーク法を説明するための図であり、撮像装置5で生成された2次元画像データに対応する2次元画像Bの一例を示す図である。
図5Bは、処理画像生成部61で作成された輝度プロファイルP3の一例を示す図である。
図5Cは、処理画像生成部61で実行される、データ点の一端から他端に向かって移動する質点の想定手順を説明するための図である。
図5Dは、処理画像生成部61で作成された輝度値差プロファイルP4の一例を示す図である。
図6Aは、欠陥検出アルゴリズムの他の例である平滑化法を説明するための図であり、撮像装置5で生成された2次元画像データに対応する2次元画像Cの一例を示す図である。
図6Bは、処理画像生成部61で生成された平滑化プロファイルP5の一例を示す図である。
図7Aは、欠陥検出アルゴリズムの他の例である第2のエッジプロファイル法を説明するための図であり、撮像装置5で生成された2次元画像データに対応する2次元画像Dの一例を示す図である。
図7Bは、処理画像生成部61で作成されたエッジプロファイルP6の一例を示す図である。
図7Cは、処理画像生成部61で作成されたエッジプロファイルP7の一例を示す図である。
図8Aは、画像処理装置6が生成する処理画像の一例を示す図であり、第1欠陥検出アルゴリズムで処理されて生成された処理画像Eの一例を示す図である。
図8Bは、画像処理装置6が生成する処理画像の一例を示す図であり、第2欠陥検出アルゴリズムで処理されて生成された処理画像Fの一例を示す図である。
図8Cは、処理画像生成部61が、処理画像Eと処理画像Fとを合成して生成した処理画像Gの一例を示す図である。
図9Aは、画像処理装置6が生成する解析用画像の一例を示す図であり、処理画像生成部61で生成された処理画像Gを構成する各画素の階調情報格納ビット列に、欠陥情報格納ビット列を付加することにより、得られた解析用画像Hの一例を示す図である。
図9Bは、解析用画像Hにおける画素を構成する解析用ビット列H31、H32およびH33の一例を示す図である。
2 シート状成形体
3 搬送装置
4 照明装置
5 撮像装置
6 画像処理装置
7 画像解析装置
61 処理画像生成部
62 解析用画像生成部
71 解析用画像入力部
72 画像解析部
73 制御部
74 表示部
100 欠陥検査装置
Claims (5)
- シート状成形体の欠陥を検査するための画像データを生成する画像生成装置であって、 シート状成形体を該シート状成形体の長手方向に搬送する搬送部と、
シート状成形体の長手方向に垂直な幅方向に直線状に延びる光源を備え、該光源によってシート状成形体に光を照射する光照射部と、
前記搬送部によって搬送中のシート状成形体に対して撮像動作を行って、2次元画像を表す2次元画像データを生成する撮像部と、
1または複数のアルゴリズム処理によって、前記2次元画像データを構成する各画素の特徴量を、各画素の輝度値に基づいて算出する特徴量算出部と、
前記2次元画像データを構成する各画素を、前記特徴量が予め定める閾値以上である欠陥画素と、前記特徴量が前記閾値未満である残余画素とに区別し、前記欠陥画素については前記特徴量に応じた階調値を表す階調情報が格納された階調情報格納ビット列からなり、前記残余画素については零の階調値を表す階調情報が格納された階調情報格納ビット列からなる処理画像データを生成する処理画像データ生成部と、
前記処理画像データに基づいて、画素ごとに、シート状成形体における欠陥についての欠陥情報を取得し、その取得した欠陥情報が格納された欠陥情報格納ビット列を生成する欠陥情報取得部と、
画素ごとに、前記処理画像データの前記階調情報格納ビット列に、前記欠陥情報格納ビット列を付加して得られる解析用ビット列からなる解析用画像データを生成する解析用画像データ生成部と、
を備える画像生成装置。 - 前記欠陥情報は、シート状成形体における欠陥の種類を表す欠陥種類情報を含む
請求項1に記載の画像生成装置。 - 前記特徴量算出部は、複数のアルゴリズム処理によって前記特徴量を算出し、
前記欠陥情報取得部は、画素ごとの前記階調情報格納ビット列の階調情報が、前記複数のアルゴリズム処理のうちのいずれのアルゴリズム処理によって算出された特徴量に応じた階調情報であるかに基づいて、前記欠陥種類情報を含む前記欠陥情報を取得する
請求項2に記載の画像生成装置。 - 請求項1〜3のいずれか1つに記載の画像生成装置と、
前記画像生成装置の解析用画像データ生成部によって生成された解析用画像データを構成する解析用ビット列に格納された情報を用いて、予め定める画像解析を行うことによって、シート状成形体の欠陥を検出する画像解析装置と、
を備える欠陥検査装置。 - シート状成形体の欠陥を検査するための欠陥検査方法であって、
シート状成形体を、該シート状成形体の長手方向に搬送する搬送工程と、
シート状成形体の長手方向に垂直な幅方向に直線状に延びる光源によって、搬送される前記シート状成形体に光を照射する光照射工程と、
搬送中の前記シート状成形体に対して撮像動作を行って、2次元画像を表す2次元画像データを生成する撮像工程と、
1または複数のアルゴリズム処理によって,前記2次元画像データを構成する各画素の特徴量を、各画素の輝度値に基づいて算出する特徴量算出工程と、
前記2次元画像データを構成する各画素を、前記特徴量が予め定める閾値以上である欠陥画素と、前記特徴量が前記閾値未満である残余画素とに区別し、前記欠陥画素については前記特徴量に応じた階調値を表す階調情報が格納された階調情報格納ビット列からなり、前記残余画素については零の階調値を表す階調情報が格納された階調情報格納ビット列からなる処理画像データを生成する処理画像データ生成工程と、
前記処理画像データに基づいて、画素ごとに、シート状成形体における欠陥についての欠陥情報を取得し、その取得した欠陥情報が格納された欠陥情報格納ビット列を生成する欠陥情報取得工程と、
画素ごとに、前記処理画像データの前記階調情報格納ビット列に、前記欠陥情報格納ビット列を付加して得られる解析用ビット列からなる解析用画像データを生成する解析用画像データ生成工程と、
前記解析用画像データを構成する前記解析用ビット列に格納された情報を用いて、予め定める画像解析を行うことによって、シート状成形体の欠陥を検出する画像解析工程と、
を含む欠陥検査方法。
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