JPWO2014077410A1 - Ag含有層およびAg含有層を有する摺動接点材 - Google Patents
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Abstract
Description
摺動接点材における磨耗は、大別して、凝着磨耗と引っかき磨耗が知られている。
凝着磨耗は、摺動接点材を構成する金属材料同士の溶着により、軟らかい方の金属が引き裂かれて固い方の金属に移行することによって起こる。
また、ひっかき磨耗は、硬さが大きく異なる材料が摺動する場合、あるいは、軟らかい材料同士でも一方に硬い粒子などが含まれている場合に引き起こされるものである。
AgCd合金はCdの環境汚染の問題があり、AgCd合金に代替できる摺動接点材が求められ、例えば、AgZn合金(特許文献1参照)、AgAl合金(特許文献2参照)、AgNi合金(特許文献3参照)、Ta酸化物を分散させたAg合金マトリックス(特許文献4参照)を、CuまたはCuSn合金などのベース材に張り合わせ、あるいは埋設したクラッド複合材料が開発された。
また、特許文献5には、例えば回転機器の機械的摺動部に用いられる摺動接点材のブラシ用途として、PdとAgの合金を用いることが開示されている。
AgPd合金は、硬度、耐摩耗性、整流時に発生する火花に対する磨耗性、接触抵抗安定性に優れており、ブラシとして使用するのに適した材料である。
AgPd合金層は、原材料の使用量を抑制することが求められており、圧延の他にめっき法あるいは真空蒸着法により薄膜として形成する方法が知られている。
上記のAgPd合金層のほか、ベース材の表面に、AgCu合金層及びAgNi合金層などのAg合金層、及びAg非金属複合層などのAg含有層をコーティングしたクラッド複合材料についても、AgPd合金層と同様の状況であり、Ag含有層の組織を構成するAg合金の微粒子あるいはAgと非金属の複合層を構成するAgと非金属の複合材料の微粒子の粒径を厚み方向に均一にすることが困難である。
高エネルギーのレーザ光の光源としては、例えばYAGレーザ、CO2レーザ、エキシマレーザなどを用いることができるが、これらのレーザ光のスポット径はAgを含有する微粒子として、nmオーダーの粒径として発生するように小さくする。
。
特に、本発明のAgPd合金層、AgCu合金層及びAgNi合金層などのAg含有層、及びAg非金属複合層などのAg含有層の製造方法を用いた一用途として、摺動接点材の製造方法について説明する。
[摺動接点材(AgPd合金層)の構成]
図1は本発明の本実施形態に係る摺動接点材の模式断面図である。
本実施形態の摺動接点材は、ベース材33上に、Ag含有層としてAgPd合金層1が形成されている。
ベース材33は、例えば、CuまたはCuSnあるいはCuSnNiなどのCu合金からなり、摺動接点材として用いるのに適したバネ性を有する。
また、AgPd合金層1の膜厚は、例えば0.05〜22μm、好ましくは1〜10μmである。
あるいは、本実施形態の摺動接点材のAgPd合金層は、例えば、1〜20nmの粒径を有するAgPd合金の1次粒子が複数個凝集して2次粒子となったAgPd合金の微粒子が堆積したものであり、AgPd合金の微粒子がAgPd合金層の厚み方向に均一な粒径で堆積して形成されている。
特に、AgPd合金層の組織を構成するAgPd合金の微粒子の粒径が厚み方向に均一になっていることから、摺動時にAgPd合金の微粒子の剥離が生じても、剥離後の表面に新たな微粒子面が形成され、接触不良の問題を抑制することができるので摺動接点材に適している。特に、小電流、小接触の摺動接触部に適しており、直流小型モーターあるいはポジションセンサなどの回転機器の機械的摺動部に用いられる摺動接点材であるブラシに好ましく用いることができる。
次に、本実施形態に係る摺動接点材(AgPd合金層)の製造方法について説明する。
本実施形態に係る摺動接点材の製造方法は、まず、AgPd合金からAgPd合金の微粒子として蒸発させるスポット径の高エネルギーのレーザ光をAgPd合金に照射してAgPd合金の微粒子を蒸発させる。
次に、蒸発したAgPd合金の微粒子を高真空雰囲気下でベース材にジェット噴出させてベース材に物理蒸着させる。
上記の摺動接点材(AgPd合金層)の製造方法は、以下の物理蒸着装置を用いた物理蒸着方法により行う。
物理蒸着装置は、例えば、蒸発チャンバー10及び成膜用の真空チャンバーである成膜チャンバー30を備える。
さらに、蒸発チャンバー10にマスフローコントロール12を介して設けられたガス供給源13から、必要に応じて、HeあるいはN2などの不活性の雰囲気ガスが蒸発チャンバー10内に所定の流量で供給される。なお、成膜時は蒸発チャンバー10を大気雰囲気または減圧雰囲気とする。
蒸発チャンバー10には、例えば、レーザ光源16aとレーザ光源16aから出射されるレーザ光17を導く光学系が設けられている。光学系は、例えば、アパーチャ16b、ミラー16c、レンズ16d及びミラー16eなどから構成される。光学系としては、上記以外のミラーやレンズなどを適宜さらに用いた構成としてもよい。レーザ光源16aからのレーザ光17は、レンズで集光され、蒸発チャンバー10に設けられた石英などからなる光照射窓10wから蒸発チャンバー10の内部に導かれ、蒸発源15に照射されて、蒸発源15が加熱される。
例えば、回転モーター14aの駆動とレーザ光源16aの駆動は、制御装置20により全体的に制御される。
生成されたAgPd合金ナノ粒子は、蒸発チャンバー10内の雰囲気ガスとともに移送管18を通して成膜チャンバー30へと移送される。
例えば、Nd:YAGレーザの基本波(1064nm)、CO2レーザの基本波(約10μm)、あるいはエキシマレーザの基本波(XeClエキシマレーザの場合で308nm)のレーザ光、あるいは2倍波や3倍波などの基本波を波長変換した短波長のレーザ光が用いられる。
成膜チャンバー30内には、例えば、ステージ32が設けられ、このステージ32に成膜対象であるベース材33が固定される。
具体的には、ノズル内部径が変化している縮小−拡大管であり、蒸発チャンバーと成膜チャンバー間の差圧により生起するガス流を、例えばマッハ数1.2以上の超音速まで高めることができる。
上記の構成のノズル35によって、AgPd合金ナノ粒子NPと雰囲気ガスを含むガス流を超音速にまで加速し、AgPd合金ナノ粒子NPをガス流Jに乗せて成膜チャンバー30中においてベース材33に向けて噴出し、ガス流Jの噴出範囲Rにおいて、ベース材33上に物理蒸着させ、AgPd合金層を形成する。
蒸発源全体を溶融加熱する構成では、蒸発源に含まれる元素の蒸気圧に応じてナノ粒子が生成されるため、条件によっては成膜中に組成などが変動するなどの不具合が生じることがある。
本実施形態では、蒸発源の局所的に加熱された部分がそのままの組成でAgPd合金ナノ粒子化するので、成膜中に組成が変動する不具合は抑制できる。
さらに、AgPd合金からなる蒸発源の組成を変更することで、ベース材上に形成されるAgPd合金層の組成を容易に変更することができる。例えば、蒸発源の組成を変更することで、AgPd合金層1の組成をPdが0〜100重量%の範囲で適宜調節可能であり、形成可能なAgPd合金の組成の自由度が大きい。
本実施形態の摺動接点材の製造方法によれば、AgPd合金層の膜厚を例えば5〜22μm程度にまで厚膜化しても内部ひずみが小さく、成膜時の割れを抑制することができ、膜厚の自由度が大きいという利点がある。
あるいは、例えば、1〜200nmの粒径を有するAgPd合金の1次粒子が複数個凝集して2次粒子となったAgPd合金の微粒子をAgPd合金層の厚み方向に均一な粒径で堆積してAgPd合金層を形成できる。
本実施形態の摺動接点材の製造方法は、ベース材の表面にAgPd合金層をコーティングしたクラッド複合材料である摺動接点材において、AgPd合金層の組織を構成するAgPd合金の微粒子の粒径が厚み方向に均一になるように形成できる。
従って、この粗大粒子が摺動接点材の磨耗時に剥離することが防止され、接触部における接触不良及び回転機器としての寿命のばらつきを抑制することができる。
上記の構成のノズル35によって、ナノ粒子と雰囲気ガスを含むガス流を亜音速あるいは遷音速にまで加速し、ナノ粒子をガス流Jに乗せて成膜チャンバー30中においてベース材33に向けて噴出し、ベース材33上に物理蒸着させ、AgPd合金層を形成する。
さらに、ガス流の加速は亜音速または遷音速とする場合、超音速領域のガス流に発生する衝撃波の影響がない、あるいは非常に小さくすることができる。
(1)ナノ粒子が成膜対象のベース材に衝突する際の衝撃波の影響がない、あるいは非常に小さい。
(2)蒸発チャンバーと成膜チャンバーの圧力差を小さくできるので、成膜チャンバーのポンプ性能を低くすることが可能となり、これにより物理蒸着装置のコストを削減可能であり、また、蒸発チャンバーの圧力を低くでき、ヘリウムの流量を少なくすることができ、これによりコストを削減することが可能である。
(3)成膜チャンバー内に設けられるノズルと成膜対象であるベース材間の距離の自由度が増加する。
図4は本実施形態に係る摺動接点材(AgPd合金層)の製造方法に用いる物理蒸着装置の模式構成図である。
一方向に延伸する板状のベース材を当該一方向に駆動させる方式の物理蒸着装置であり、蒸着チャンバー30A内においてベース材33Aが巻き出しロールから巻き取りロール33Cに搬送ロール36A,36B,37A,37Bによって搬送される。
図4においては、蒸発チャンバー10Aを有している。図解は省略しているが、第1実施形態に係る図2に示す蒸発チャンバー10と同様の構成を有する。
蒸発チャンバー10Aにおいて、第1実施形態と同様にしてAgPd合金ナノ粒子が生成される。
蒸発チャンバー10Aと成膜チャンバー30Aの間に移送管18Aが設けられ、移送管18Aの先端に不図示のノズルが設けられている。
図4においては、搬送ロール36A,36Bと搬送ロール37A,37Bの間のベース材33Aが平坦に保持された領域が物理蒸着領域となっている。
本実施形態においては、一方向に延伸する板状のベース材に対して連続的にAgPd合金層を形成することができる。
ここで、蒸発チャンバー10Aにおいて、第1実施形態と同様にレーザ光を用いており、蒸発源の組成に応じたAgPd合金層を形成できることから、一方向に延伸する板状のベース材に対するいずれの成膜領域においても一定のAgPd合金組成を維持することができる。
従って、この粗大粒子が摺動接点材の磨耗時に剥離することが防止され、摺動接点材としての摺動時の接触抵抗は良好で、磨耗量も少なく、接触部における接触不良及び回転機器としての寿命のばらつきを抑制することができる。
上記の他、第1実施形態に係る摺動接点材の製造方法と同様の効果を得ることができる。
第1実施形態に係る摺動接点材の製造方法に従って、CuSn合金からなるベース材上に、表1に示す組成のAgPd合金層を2μmの膜厚で形成し、実施例1a〜6aとした。
また、従来技術に係る張り合わせ法により基板上にAgPd合金層を2μmの膜厚で形成し、比較例1aとした。
図5(a)と図5(b)から、ほぼ平坦な表面を有するAgPd合金層が形成されており、図5(d)から、約100nm程度の粒径のAgPd微粒子が堆積していることが確認された。
ベース材100上にAgPd合金層101が形成されている様子を示している。
図7(a)及び(b)ともに、ベース材100とAgPd合金層101の界面に隙間はなく、ベース材100とAgPd合金層101間の密着性が良好であることを示している。AgPd合金層101中に間隙は存在しておらず、緻密な膜として形成されている。
また、図7(a)中にはベース材100の表面に凹部102が存在していたが、AgPd合金層は凹部102の内部にまで入り込んで形成されていたことが確認された。
図8(a)はベース材100上にAgPd合金層101が形成されている様子を示しており、図8(b)及び(c)AgPd合金層の領域をさらに拡大したものである。
図8(a)〜(c)から、約100nm程度の粒径のAgPd微粒子が堆積していることが確認された。また、AgPd合金層の組織中に粗大粒子は存在せず、組織を構成するAgPd合金の微粒子の粒径が厚み方向に均一になっていることが確認された。
また、従来技術に係る真空蒸着法により同様にAgPd層を形成したが、結晶組織は観察されなかった。
実施例1a〜6a及び比較例1aの各試料を切断してもAgPd合金層は剥離しなかった。
(曲げ試験)
実施例1a〜6a及び比較例1aの各試料を90°に折り曲げた後に元に戻す曲げ戻し試験を行ってもAgPd合金層は剥離しなかった。
上記のように本第1実施例によれば、ベース材100とAgPd合金層101間の密着性が良好であり、剥離しにくい膜であることが確認された。
図9は摺動試験装置の模式図である。
実施例1a〜6a、比較例1aの各試料から、摺動試験用ブラシ(固定側摺動接点)200を形成し、AgCu4Ni0.5から摺動試験用コミンテータ(可動側摺動接点)300を形成する。
摺動試験用コミンテータ300は、摺動試験用ブラシ200に接触しやすいように曲げ加工されている。
摺動試験用ブラシ200上に電極201が設けられている。また、摺動試験用コミンテータ300に電極301が設けられ、20gの荷重302が印加された状態で、摺動試験用コミンテータ300が摺動試験用ブラシ200に対して摺動可能なように設けられている。
摺動試験用ブラシ200上の長さ10mmの領域で摺動試験用コミンテータ300が往復移動して摺動する。1サイクルで20mm摺動し、1回の摺動試験は50000サイクルで1kmの摺動試験長さとする。
摺動は1サイクル1.4秒とし、摺動の端部ではそれぞれ0.2秒停止する。50000サイクルで約19.5時間の摺動試験とする。
摺動試験終了後に、摺動試験用ブラシの摺動領域の磨耗量をレーザー顕微鏡で測定し、磨耗量3μm未満を良好(○)、3μm以上6μm未満をやや良好(△)、6μm以上を不良(×)と判定した。
また、摺動試験終了後に、1サイクル摺動しながら電極201と電極301間に6V50mAの電流を流し、摺動試験用ブラシと摺動試験用コミンテータの間の接触抵抗の最大値をミリオームメーターで測定した。抵抗が50mΩ未満を良好(○)、50mΩ以上100mΩ未満をやや良好(△)、100mΩ以上を不良(×)と判定した。
比較例1aは、接触抵抗が不良であった。
[摺動接点材(AgCu合金層)の構成]
本実施形態の摺動接点材は、第1実施形態に係る図1と同様に、ベース材上に、Ag含有層としてAgCu合金層が形成された構成である。
ベース材33は第1実施形態と同様である。
また、AgCu合金層の膜厚は、例えば0.05〜22μm、好ましくは1〜10μmである。
あるいは、本実施形態の摺動接点材のAgCu合金層は、例えば、1〜20nmの粒径を有するAgCu合金の1次粒子が複数個凝集して2次粒子となったAgCu合金の微粒子が堆積したものであり、AgCu合金の微粒子がAgCu合金層の厚み方向に均一な粒径で堆積して形成されている。
上記を除いては、第1実施形態と同様である。
また、本実施形態に係る摺動接点材(AgCu合金層)は、例えば、第1実施形態及び第2実施形態と同様の物理蒸着装置を用いた物理蒸着方法において、蒸発源をAgCu合金とすることで製造することができる。
本実施形態の摺動接点材の製造方法によれば、AgCu合金層の膜厚を例えば5〜22μm程度にまで厚膜化しても内部ひずみが小さく、成膜時の割れを抑制することができ、膜厚の自由度が大きいという利点がある。
あるいは、例えば、1〜200nmの粒径を有するAgCu合金の1次粒子が複数個凝集して2次粒子となったAgCu合金の微粒子をAgCu合金層の厚み方向に均一な粒径で堆積してAgCu合金層を形成できる。
従って、この粗大粒子が摺動接点材の磨耗時に剥離することが防止され、摺動接点材としての摺動時の接触抵抗は良好で、磨耗量も少なく、接触部における接触不良及び回転機器としての寿命のばらつきを抑制することができる。
第3実施形態に係る摺動接点材の製造方法に従って、CuSn合金からなるベース材上に、表2に示す組成のAgCu合金層を6μmの膜厚で形成し、実施例1b〜6bとした。
また、従来技術に係る張り合わせ法により基板上にAgCu合金層を6μmの膜厚で形成し、比較例1bとした。
図10はベース材100上にAgCu合金層103が形成されている様子を示している。
図10から、断面組織の結晶粒寸法が約100nmであり、1〜20nmの粒径を有するAgCu合金の1次粒子が複数個凝集して、結晶粒寸法が約100nmの2次粒子となったAgCu合金の粒子が堆積していることが確認された。
また、AgCu合金層の組織中に粗大粒子は存在せず、組織を構成するAgCu合金の微粒子の粒径が厚み方向に均一になっていることが確認された。
実施例1b〜2b、4b〜6bのAgCu層について断面を同様に観察した。各試料の断面組織の結晶粒寸法と粗大粒子の有無について表2に示す。
比較例1bには、AgCu合金層の組織中に粗大粒子が観察された。
また、従来技術に係る真空蒸着法により同様にAgCu層を形成したが、結晶組織は観察されなかった。
実施例1b〜6b及び比較例1bに対して、第1実施例と同様の剥離試験を行った。
実施例1b〜6bのAgCu合金層は剥離しなかった。
実施例1b〜6b及び比較例1bに対して、第1実施例と同様の曲げ試験を行った。
実施例1b〜6bのAgCu合金層は剥離しなかった。
上記のように実施例1b〜6bによれば、ベース材とAgCu合金層間の密着性が良好であり、剥離しにくい膜であることが確認された。
実施例1b〜6b及び比較例1bに対して、第1実施例と同様に、摺動試験を行い、磨耗量と接触抵抗を測定した。
表2に示すように、実施例1b〜6bは、接触抵抗は良好で、磨耗量も良好であった。
比較例1bは、接触抵抗が不良であった。
[摺動接点材(AgNi合金層)の構成]
本実施形態の摺動接点材は、第1実施形態に係る図1と同様に、ベース材上に、Ag含有層としてAgNi合金層が形成された構成である。
ベース材33は第1実施形態と同様である。
AgNi合金層を構成する粒子を小さくするためには、混合する粉末状のNi粒子を小さくする必要があり、粉末冶金法では、微小な粒子からなるAgNi合金層を形成するのは非常に困難であった。
また、AgNi合金層1の膜厚は、例えば0.05〜22μm、好ましくは1〜10μmである。
あるいは、本実施形態の摺動接点材のAgNi合金層は、例えば、1〜20nmの粒径を有するAgNi合金の1次粒子が複数個凝集して2次粒子となったAgNi合金の微粒子が堆積したものであり、AgNi合金の微粒子がAgNi合金層の厚み方向に均一な粒径で堆積して形成されている。
上記を除いては、第1実施形態と同様である。
また、本実施形態に係る摺動接点材(AgNi合金層)は、例えば、第1実施形態及び第2実施形態と同様の物理蒸着装置を用いた物理蒸着方法において、蒸発源をAgとNiを含有する蒸発源とすることで製造することができる。
本実施形態の摺動接点材の製造方法によれば、AgNi合金層の膜厚を例えば5〜22μm程度にまで厚膜化しても内部ひずみが小さく、成膜時の割れを抑制することができ、膜厚の自由度が大きいという利点がある。
あるいは、例えば、1〜200nmの粒径を有するAgNi合金の1次粒子が複数個凝集して2次粒子となったAgNi合金の微粒子をAgNi合金層の厚み方向に均一な粒径で堆積してAgNi合金層を形成できる。
従って、この粗大粒子が摺動接点材の磨耗時に剥離することが防止され、摺動接点材としての摺動時の接触抵抗は良好で、磨耗量も少なく、接触部における接触不良及び回転機器としての寿命のばらつきを抑制することができる。
第4実施形態に係る摺動接点材の製造方法に従って、CuSn合金からなるベース材上に、表3に示す組成のAgNi合金層を6μmの膜厚で形成し、実施例1c〜6cとした。
また、従来技術に係る張り合わせ法により基板上にAgNi合金層を6μmの膜厚で形成し、比較例1cとした。
図12はベース材100上にAgNi合金層104が形成されている様子を示している。
図12から、断面組織の結晶粒寸法が約120nmであり、1〜20nmの粒径を有するAgNi合金の1次粒子が複数個凝集して、結晶粒寸法が約120nmの2次粒子となったAgNi合金の粒子が堆積していることが確認された。
また、AgNi合金層の組織中に粗大粒子は存在せず、組織を構成するAgNi合金の微粒子の粒径が厚み方向に均一になっていることが確認された。
実施例1c〜2c、4c〜6cのAgNi層について断面を同様に観察した。各試料の断面組織の結晶粒寸法と粗大粒子の有無について表3に示す。
比較例1cには、AgNi合金層の組織中に粗大粒子が観察された。
また、従来技術に係る真空蒸着法により同様にAgNi層を形成したが、結晶組織は観察されなかった。
実施例1c〜6c及び比較例1cに対して、第1実施例と同様の剥離試験を行った。
実施例1c〜6cのAgNi合金層は剥離しなかった。
実施例1c〜6c及び比較例1cに対して、第1実施例と同様の曲げ試験を行った。
実施例1c〜6cのAgNi合金層は剥離しなかった。
上記のように実施例1c〜6cによれば、ベース材とAgNi合金層間の密着性が良好であり、剥離しにくい膜であることが確認された。
実施例1c〜6c及び比較例1cに対して、第1実施例と同様に、摺動試験を行い、磨耗量と接触抵抗を測定した。
表3に示すように、実施例1c〜6cは、接触抵抗は良好で、磨耗量も良好であった。
比較例1cは、接触抵抗が不良であった。
[摺動接点材(Ag非金属複合層)の構成]
本実施形態の摺動接点材は、第1実施形態に係る図1と同様に、ベース材上に、Ag含有層としてAg非金属複合層が形成された構成である。
ベース材は第1実施形態と同様である。
例えば、AgとZnOの複合材料の蒸発源からAgとZnOの複合材料の微粒子として蒸発させるスポット径の高エネルギーのレーザ光をAgとZnOの複合材料の蒸発源に照射し、照射によって蒸発されたAgとZnOの複合材料の微粒子を高真空雰囲気下でベース材にジェット噴出させてベース材に物理蒸着させて形成されたものである。
その他の材料からなるAg非金属複合層は、対応するAg非金属複合材料の蒸発源を用いて形成されたものである。
また、Ag非金属複合層の膜厚は、例えば0.05〜22μm、好ましくは1〜10μmである。
あるいは、本実施形態の摺動接点材のAg非金属複合層は、例えば、1〜20nmの粒径を有するAgの1次粒子とZnOなどの非金属の1次粒子が複数個凝集して2次粒子となったAg非金属複合微粒子が堆積したものであり、Ag非金属複合微粒子がAg非金属複合層の厚み方向に均一な粒径で堆積して形成されている。
上記を除いては、第1実施形態と同様である。
また、本実施形態に係る摺動接点材(Ag非金属複合層)は、例えば、第1実施形態及び第2実施形態と同様の物理蒸着装置を用いた物理蒸着方法において、蒸発源をAg非金属複合材料の蒸発源とすることで製造することができる。
本実施形態の摺動接点材の製造方法によれば、Ag非金属複合層の膜厚を例えば5〜22μm程度にまで厚膜化しても内部ひずみが小さく、成膜時の割れを抑制することができ、膜厚の自由度が大きいという利点がある。
あるいは、例えば、1〜200nmの粒径を有するAgの1次粒子と非金属の1次粒子が複数個凝集して2次粒子となったAg非金属複合微粒子をAg非金属複合層の厚み方向に均一な粒径で堆積してAg非金属複合層を形成できる。
従って、この粗大粒子が摺動接点材の磨耗時に剥離することが防止され、摺動接点材としての摺動時の接触抵抗は良好で、磨耗量も少なく、接触部における接触不良及び回転機器としての寿命のばらつきを抑制することができる。
第5実施形態に係る摺動接点材の製造方法に従って、CuSn合金からなるベース材上に、表4に示す組成のAgと非金属(ZnO,SnO,InOあるいはWC)の複合層を6μmの膜厚で形成し、実施例1d〜7dとした。例えば、実施例1dはAgを91重量%、ZnOを9重量%含有する複合材料の蒸発源を用いて成膜した複合膜であり、実施例2d〜7dも同様である。
また、従来技術に係る張り合わせ法により基板上に、表4に示すAgと非金属(ZnOあるいはWC)の複合層を6μmの膜厚で形成し、比較例1d及び2dとした。
図14はベース材100上にAgと非金属(ZnO)の複合層105が形成されている様子を示している。
図15はベース材100上にAgと非金属(WC)の複合層106が形成されている様子を示している。
図14から、断面組織の結晶粒寸法が約110nmであり、1〜20nmの粒径を有するAgの1次粒子と非金属(ZnO)の1次粒子が複数個凝集して約110nmの複合粒子が堆積していることが確認された。また、図15から、断面組織の結晶粒寸法が約80nmであり、1〜20nmの粒径を有するAgの1次粒子と非金属(WC)の1次粒子が複数個凝集して約80nmの複合粒子が堆積していることが確認された。
また、Ag非金属複合層の組織中に粗大粒子は存在せず、組織を構成するAg非金属複合微粒子の粒径が厚み方向に均一になっていることが確認された。
実施例1d〜2d、4d〜6dのAg非金属複合層について断面を同様に観察した。各試料の断面組織の結晶粒寸法と粗大粒子の有無について表4に示す。
比較例1d及び比較例2dには、Ag非金属複合層の組織中に粗大粒子が観察された。
また、従来技術に係る真空蒸着法により同様にAg非金属複合層を形成したが、結晶組織は観察されなかった。
実施例1d〜7d及び比較例1d〜2dに対して、第1実施例と同様の曲げ試験を行った。
実施例1d〜7dのAg非金属複合層は剥離しなかった。
上記のように実施例1d〜7dによれば、ベース材とAg非金属複合層間の密着性が良好であり、剥離しにくい膜であることが確認された。
実施例1d〜7d及び比較例1d〜2dに対して、第1実施例と同様に、摺動試験を行い、磨耗量と接触抵抗を測定した。
表4に示すように、実施例1d〜7dは、接触抵抗は良好で、磨耗量も良好であった。
比較例1d〜2dは、接触抵抗と磨耗量の両方が不良であった。
例えば、AgPd合金の微粒子、AgCu合金の微粒子、AgNi合金の微粒子、あるいはAg非金属複合微粒子を含むガスをノズルから噴出して得られるガス流は、超音速に限定されず、遷音速あるいは亜音速でもよい。
AgPd合金としては、AgPdCu合金、PtAuAgPdCuZn合金等の合金の他、AgPdを主体とする多元合金にも適用できる。
また、AgCu合金層についてはAgCu合金を主体とする多元合金に適用できる。AgNi合金層についてはAgNi合金を主体とする多元合金に適用できる。Ag非金属複合層についてはAg非金属複合材料を主体とする多元複合材料に適用できる。
ベース材としてはCuまたはCu合金を用いることについて説明しているが、これに限定されるものではなく、他の材料からなるベース材にも適用できる。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
10,10A…蒸発チャンバー
10w…光入射窓
11…排気管
12…マスフローコントロール
13…ガス供給源
14…テーブル
14a…回転モーター
15…蒸発源
16a…レーザ光源
16b…アパーチャ
16c…ミラー
16d…レンズ
16e…ミラー
17…レーザ光
18,18A…移送管
20…制御装置
30,30A…成膜チャンバー
31…排気管
32…ステージ
33,33A…ベース材
33B…巻き出しロール
33C…巻き取りロール
35…ノズル
36A,36B,37A,37B…搬送ロール
J…ガス流
VP1,VP3…真空ポンプ
当該Ag含有層は、Agを含有する蒸発源から蒸発した粒径1〜20nmのAgPd合金微粒子、AgCu合金微粒子、AgNi合金微粒子、あるいはAg非金属複合微粒子の1次粒子が複数個凝集して粒径1〜200nmの2次粒子となって前記ベース材の面に隙間なく堆積された層である、Ag含有層が提供される。
あるいは、本実施形態の摺動接点材のAgPd合金層は、蒸発源から蒸発した、例えば、1〜20nmの粒径を有するAgPd合金の1次粒子が、物理蒸着の過程において、複数個凝集して2次粒子となったAgPd合金の微粒子が堆積したものであり、AgPd合金の微粒子がAgPd合金層の厚み方向に均一な粒径で堆積して形成されている。
あるいは、例えば、1〜20nmの粒径を有する蒸発したAgPd合金の1次粒子が、物理蒸着過程において複数個凝集して1〜200nmの粒径を有する2次粒子となったAgPd合金の微粒子をAgPd合金層の厚み方向に均一な粒径で堆積してAgPd合金層を形成できる。
あるいは、本実施形態の摺動接点材のAgCu合金層は、例えば、1〜20nmの粒径を有するAgCu合金の1次粒子が複数個凝集して1〜200nmの粒径を有する2次粒子となったAgCu合金の微粒子が堆積したものであり、AgCu合金の微粒子がAgCu合金層の厚み方向に均一な粒径で堆積して形成されている。
上記を除いては、第1実施形態と同様である。
あるいは、例えば、1〜20nmの粒径を有するAgCu合金の1次粒子が複数個凝集して、1〜200nmの粒径を有する2次粒子となったAgCu合金の微粒子をAgCu合金層の厚み方向に均一な粒径で堆積してAgCu合金層を形成できる。
あるいは、本実施形態の摺動接点材のAgNi合金層は、例えば、1〜20nmの粒径を有するAgNi合金の1次粒子が複数個凝集して1〜200nmの粒径を有する2次粒子となったAgNi合金の微粒子が堆積したものであり、AgNi合金の微粒子がAgNi合金層の厚み方向に均一な粒径で堆積して形成されている。
上記を除いては、第1実施形態と同様である。
あるいは、例えば、1〜20nmの粒径を有するAgNi合金の1次粒子が複数個凝集して1〜200nmの粒径を有する2次粒子となったAgNi合金の微粒子をAgNi合金層の厚み方向に均一な粒径で堆積してAgNi合金層を形成できる。
あるいは、本実施形態の摺動接点材のAg非金属複合層は、例えば、1〜20nmの粒径を有するAgの1次粒子とZnOなどの非金属の1次粒子が複数個凝集して1〜200nmの粒径を有する2次粒子となったAg非金属複合微粒子が堆積したものであり、Ag非金属複合微粒子がAg非金属複合層の厚み方向に均一な粒径で堆積して形成されている。
上記を除いては、第1実施形態と同様である。
あるいは、例えば、1〜20nmの粒径を有するAgの1次粒子と非金属の1次粒子が複数個凝集して1〜200nmの粒径を有する2次粒子となったAg非金属複合微粒子をAg非金属複合層の厚み方向に均一な粒径で堆積してAg非金属複合層を形成できる。
当該Ag含有物理蒸着層は、合金の組成を保った、粒径1〜20nmのAgPd合金蒸発微粒子、AgCu合金蒸発微粒子、AgNi合金蒸発微粒子あるいはAg非金属複合蒸発微粒子の1次粒子からなる粒径1〜200nmの凝集2次粒子が前記ベース材に隙間なく堆積されている、Ag含有物理蒸着層が提供される。
前記Ag含有物理蒸着層は、合金の組成を保った、粒径1〜20nmのAgPd合金蒸発微粒子、AgCu合金蒸発微粒子、AgNi合金蒸発微粒子あるいはAg非金属複合蒸発微粒子の1次粒子からなる粒径1〜200nmの凝集2次粒子が前記ベース材に隙間なく堆積されている、摺動接点材が提供される。
Claims (15)
- Agを含有する蒸発源からAgを含有する微粒子として蒸発させるスポット径の高エネルギーのレーザ光を、前記Agを含有する蒸発源に照射してAgを含有する微粒子を蒸発させる蒸発工程と、
前記蒸発したAgを含有する微粒子を高真空雰囲気下でベース材にジェット噴出させて前記ベース材に物理蒸着させる蒸着工程と
を有するAg含有層の製造方法。 - 前記蒸発工程において、前記Agを含有する微粒子を含むガスをノズルからガス流に乗せてジェット噴出させて前記Agを含有する微粒子を前記ベース材に物理蒸着させる
請求項1に記載のAg含有層の製造方法。 - 前記蒸発工程において、前記ガス流が、超音速、遷音速、あるいは亜音速のガス流である
請求項2に記載のAg含有層の製造方法。 - 前記蒸発工程において、YAGレーザ、CO2レーザ、あるいはエキシマレーザの基本波のレーザ光あるいは基本波を波長変換した短波長のレーザ光を照射する
請求項1〜3のいずれかに記載のAg含有層の製造方法。 - 前記ベース材は、CuまたはCu合金である
請求項1〜4のいずれかに記載のAg含有層の製造方法。 - 前記Agを含有する微粒子がAgPd微粒子であり、前記Ag含有層としてAgPd合金層を製造する
請求項1〜5のいずれかに記載のAg含有層の製造方法。 - 前記Agを含有する微粒子がAgCu微粒子であり、前記Ag含有層としてAgCu合金層を製造する
請求項1〜5のいずれかに記載のAg含有層の製造方法。 - 前記Agを含有する微粒子がAgNi微粒子であり、前記Ag含有層としてAgNi合金層を製造する
請求項1〜5のいずれかに記載のAg含有層の製造方法。 - 前記Agを含有する微粒子がAg非金属複合微粒子であり、前記Ag含有層としてAg非金属複合層を製造する
請求項1〜5のいずれかに記載のAg含有層の製造方法。 - 前記Ag非金属複合微粒子が、Agと酸化物あるいは炭化物との複合微粒子であり、前記Ag含有層としてAgと酸化物あるいは炭化物との複合層を製造する
請求項9に記載のAg含有層の製造方法。 - Agを含有する蒸発源からAgを含有する微粒子として蒸発させるスポット径の高エネルギーのレーザ光を射出するレーザ光源と、
前記レーザ光を、前記Agを含有する蒸発源に照射してAgを含有する微粒子を蒸発させる蒸発チャンバーと、
前記Agを含有する微粒子を移送する移送管と、
前記移送管の先端に設置されたノズルから前記Agを含有する微粒子を高真空雰囲気下でベース材にジェット噴出させて前記ベース材に物理蒸着させる成膜チャンバーと
を有するAg含有層の製造装置。 - Agを含有する蒸発源からAgを含有する微粒子として蒸発させるスポット径の高エネルギーのレーザ光を、前記Agを含有する蒸発源に照射し、照射によって蒸発された前記Agを含有する微粒子を高真空雰囲気下でベース材にジェット噴出させて前記ベース材に物理蒸着させて形成された
Ag含有層。 - ベース材上に、1〜200nmの粒径を有するAgを含有する微粒子が厚み方向に均一な粒径で堆積して形成されている
Ag含有層。 - ベース材と、
Agを含有する蒸発源からAgを含有する微粒子として蒸発させるスポット径の高エネルギーのレーザ光を、前記Agを含有する蒸発源に照射し、照射によって蒸発された前記Agを含有する微粒子を高真空雰囲気下で前記ベース材にジェット噴出させて前記ベース材に物理蒸着させて形成されたAg含有層と
を有する摺動接点材。 - ベース材と、
前記ベース材上に、1〜200nmの粒径を有するAgを含有する微粒子が厚み方向に均一な粒径で堆積して形成されたAg含有層と
を有する摺動接点材。
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