JPWO2014034925A1 - 金属化合物の濃縮方法 - Google Patents
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Abstract
Description
バイヤー液からガリウムを得る方法として、例えば、バイヤー液に二酸化炭素を吹き込むことによってガリウムとアルミニウムを共沈させてガリウムの濃縮物を得て、これを水酸化ナトリウムに溶解して電解し金属ガリウムを得る方法、また、水銀電極を用いて直接バイヤー液を電解しアマルガムとして得る方法が知られている。
例えば、非特許文献1には、バイヤー液からガリウムを直接電析する方法が開示されている。
特許文献1に記載の方法は湿式であることから、大量の鉱石を処理する場合に大量の廃液が発生するという不利益がある。
インジウムについても同様の状況であり、インジウムを微量に含有する混合物からインジウムを分離あるいは濃縮する技術の開発が求められている。
特許文献7には、ウラン窒化物を主成分とする使用済燃料からウランを窒化物の形態で回収する使用済燃料の処理方法が開示されている。
特許文献8には、テルル原料を真空溶解して高純度テルルを製造する方法が開示されている。
特許文献9には、スクラップ合金中に含まれる元素のうち少なくとも1種の金属元素を金属酸化物として昇華させて捕集し、残余の金属元素と分離させるスクラップ合金から有価物を回収する方法が開示されている。
特許文献10には、ゲルマニウム含有固形物と塩化水素を接触させて四塩化ゲルマニウムを生成して回収する、ゲルマニウム回収方法及び装置が開示されている。
上記の問題はガリウムに限らず、インジウム、ゲルマニウム、テルル、セシウムの各元素を微量に含有する混合物から各元素を一定の濃度にまで濃縮することが困難である。
また、廃液の発生量を抑制して鉱山から採掘される鉱石や使用済み電子部品のような、インジウムを微量に含有する混合物からインジウムを一定の濃度にまで容易に濃縮することができる。
[ガリウム化合物の濃縮装置の構成]
図1は本実施形態に係る元素のガリウム化合物の濃縮装置の模式構成図である。
例えば、反応管10の上部開口部が上部栓11で塞がれており、上部栓11を貫通する上部ガラス管12が設けられている。
例えば、反応管10の下部開口部が下部栓13で塞がれており、下部栓13を貫通する下部ガラス管14が設けられている。
図1の構成のガリウム化合物の濃縮装置を用いて、以下のようにガリウム化合物を濃縮する。
例えば、第2タンマン管21の内部に第1ガリウム含有率の第1固体ガリウム化合物の混合物を収容する。第1固体ガリウム化合物の混合物としては、例えば鉱山から採掘される鉱石や使用済み電子部品の混合物を用いることができる。
また、例えば、上部ガラス管12から、窒素(N2)などのキャリアガスG1を所定の流量で流入する。キャリアガスG1は、第1タンマン管20の内部及び外部を流れる。
あるいは、上記のキャリアガスG1に還元性ガスを混合し、反応管10内を還元性ガス雰囲気とする。
あるいは、第1固体ガリウム化合物の混合物を第1固体ガリウム化合物と固体還元剤との混合物とし、さらに、上記のキャリアガスG1に還元性ガスを混合し、反応管10内を還元性ガス雰囲気とする。
上記の固体還元剤として、例えば、活性炭やグラファイトなどの炭素、廃材木、及び廃プラスチックなどを用いることができる。
また、還元性ガスとして、例えば、水素、一酸化炭素、石油類の燃焼ガス、廃材木の燃焼ガス、及び廃プラスチックの燃焼ガスなどを用いることができる。
以下の本実施形態においては、還元剤を代表して活性炭を用いて説明するが、これに限らず、上記の活性炭以外の固体還元剤、還元性ガスあるいはその両者を用いることができる。
化学式(1)及び(2)で示す反応では、第1固体ガリウム化合物と第2ガリウム化合物が同じ組成のGa2O3であるが、互いに異なる組成のガリウム化合物であってもよい。
ここで、第1固体ガリウム化合物を還元して気体ガリウム化合物とする工程(蒸発部30)は、例えば、還元により生成されるガリウム化合物の蒸気圧が10−2atm(1kPa)以上となる温度及び酸素分圧となる条件とする。
900℃未満では、上記の化学式(1)で示す還元反応が十分に進行しない可能性がある。
熱力学的計算によれば、上記の化学式(1)の反応において、Ga2Oが生成される温度は900℃以上となる。
また、気体ガリウム化合物を酸化して第2固体ガリウム化合物とする工程(捕集部31)は、例えば、酸化により生成されるガリウム化合物の蒸気圧が、蒸発部におけるガリウム化合物の蒸気圧の1/10以下となる温度及び酸素分圧となる条件とする。
上記のように第1固体ガリウム化合物の混合物を900℃以上となるように加熱するには、例えば、図1の構成のガリウム化合物の濃縮装置において、第1ヒーターをオフ(加熱なし)、第2ヒーターを1150℃、第3ヒーターを800〜1150℃に設定する。
電気炉の劣化を抑制するため、各ヒーターの設定温度上限を1150℃程度とするが、反応管の耐熱性が高ければこれ以上に高めることができる。
また、加熱温度を高くすると気体のケイ素成分(SiO(g)など)も生成されてケイ素化合物が捕集される可能性が高まるので、ケイ素成分を生成しない程度の温度に設定することが好ましい。
本実施形態では、廃液の発生量を抑制して鉱山から採掘される鉱石や使用済み電子部品からガリウムを濃縮することができる。
一方、本実施形態では、低酸素雰囲気下における酸化ガリウム(主にGa2O)の高い蒸気圧を利用している点で大きな相違がある。従って、まず蒸発部周辺において金属ガリウムが安定となるような低い酸素分圧を維持する必要はない。また、ガリウム捕集部においては酸化雰囲気にしている。よって、上記のような実用上の障害は無い。
一方、本実施形態では、低酸素雰囲気下における酸化ガリウム(主にGa2O)の高い蒸気圧を利用している点で大きな相違がある。従って、Feのような「酸化物の生成自由エネルギーの高い元素」含んでいても回収可能である。また、後述の実施例に示すように、Fe2O3を8.87重量%含有する鉱石Iにおいてガリウム化合物の濃縮を成功させている。
さらに、特許文献3の方法では、塩素化容器内に高沸点塩化物が残留しているため、これらを濾別するプロセスも必要である。
本実施形態では、例えば50ppm(0.005重量%)程度の微量のガリウム化合物からの濃縮に適用できる。
例えば、本実施形態によりある程度の濃度にまでガリウム化合物を濃縮し、得られた生成物について、特許文献1〜3の方法でさらに濃縮することも可能である。
酸化物イオン導電性を有する材料の場合、捕集基板23a内を酸化物イオンが移動することにより、捕集基板23aの捕集面に酸素を供給することができる。また、酸素吸蔵能を有する材料の場合、捕集基板23a内に吸蔵された酸素を捕集面に供給することができる。
上記の酸化物イオン導電性材料あるいは酸素吸蔵能を有する材料としては、例えば、安定化ジルコニア、ガドリニアド−プセリア、ジルコニア−セリア固溶体などが挙げられる。
[ガリウム化合物の濃縮装置の構成]
図2は本実施形態に係るガリウム化合物の濃縮装置の模式構成図である。
例えば、第1反応管10aの上部開口部が第1上部栓11aで塞がれており、第1上部栓11aを貫通する酸化ガス導入用の第1上部ガラス管12aが設けられている。また、第1上部栓11aを貫通して第2反応管24が設けられている。第2反応管24の上部開口部が第2上部栓11bで塞がれており、第2上部栓11bを貫通するキャリアガス導入用の第2上部ガラス管12bが設けられている。
例えば、第1反応管10aの下部開口部が下部栓13で塞がれており、下部栓13を貫通する下部ガラス管14が設けられている。
図2の構成のガリウム化合物の濃縮装置を用いて、以下のようにガリウム化合物を濃縮する。
例えば、第1るつぼ25の内部に第1ガリウム含有率の第1固体ガリウム化合物の混合物を収容する。第1固体ガリウム化合物の混合物としては、例えば鉱山から採掘される鉱石や使用済み電子部品と、還元剤である活性炭などの炭素の混合物を用いることができる。
また、例えば、第1上部ガラス管12aから、窒素(N2)などのキャリアガスと酸素(O2)の混合ガスG5を所定の流量で流入する。
また、例えば、第2上部ガラス管12bから、窒素(N2)などのキャリアガスと気体の水(H2O)の混合ガスG6を所定の流量で流入する。
あるいは、上記の混合ガスG5あるいは混合ガスG6などに還元性ガスを混合し、第2反応管24内を還元性ガス雰囲気とする。
あるいは、第1固体ガリウム化合物の混合物を第1固体ガリウム化合物と固体還元剤との混合物とし、さらに、上記の混合ガスG5あるいは混合ガスG6などに還元性ガスを混合し、第2反応管24内を還元性ガス雰囲気とする。
上記の固体還元剤として、例えば、活性炭やグラファイトなどの炭素、廃材木、及び廃プラスチックなどを用いることができる。
また、還元性ガスとして、例えば、水素、一酸化炭素、石油類の燃焼ガス、廃材木の燃焼ガス、及び廃プラスチックの燃焼ガスなどを用いることができる。
以下の本実施形態においては、還元剤を代表して活性炭を用いて説明するが、これに限らず、上記の活性炭以外の固体還元剤、還元性ガスあるいはその両者を用いることができる。
化学式(1)及び(2)で示す反応では、第1固体ガリウム化合物と第2ガリウム化合物が同じ組成のGa2O3であるが、互いに異なる組成のガリウム化合物であってもよい。
900℃未満では、上記の化学式(1)で示す還元反応が十分に進行しない可能性がある。
上記から、本実施形態では、廃液の発生量を抑制して鉱山から採掘される鉱石や使用済み電子部品からガリウムを濃縮することができる。
例えば、本実施形態によりある程度の濃度にまでガリウム化合物を濃縮し、得られた生成物について、特許文献1〜3の方法でさらに濃縮することも可能である。
上記の本実施形態においては、ガリウム化合物を濃縮する方法及び装置について説明したが、ガリウム化合物に限らず、第1実施形態と同様に、インジウム、ゲルマニウム、テルル、及びセシウムの各化合物に適用可能である。
[ガリウム化合物の濃縮装置の構成及び濃縮方法]
図3は本実施形態に係るガリウム化合物の濃縮装置の模式構成図である。
例えば、第1反応管10bの内部において、平板状の捕集基板40上に、下部に開口部が設けられた第2反応管41が、該開口部を捕集基板40の表面で塞ぐように配置して設けられている。
例えば、第2反応管41は、外部直流電源Bの正極を第2反応管41の外部表面に、負極を第2反応管41の内部表面に接続して電圧を印加することで、第2反応管41の内部を酸化物イオンが導電される材料で構成されている。上記のように電圧が印加されると、第2反応管41の上端近傍における内部に存在していた酸素が酸化物イオンとなって第2反応管41の内部表面から外部表面へ導電され、第2反応管41の上端近傍における外部表面で酸素となって放出される。即ち、第2反応管41は酸素ポンプとして機能し、第2反応管41の上端近傍における内部から酸素が除去される。
内部を酸化物イオンが導電される材料としては、例えば、安定化ジルコニア、アパタイト型ランタンシリケートなどを用いることができる。
酸素透過性材料は、例えば、第2反応管41が設けられた側の反対側における捕集基板40の表面から、第2反応管41が設けられた側の表面へ酸素を透過する。
酸化物イオン−電子混合導電性材料は、例えば、第2反応管41が設けられた側の反対側における捕集基板40の表面から第2反応管41が設けられた側の表面へ酸化物イオンを導電し、第2反応管41が設けられた側における捕集基板40の表面から第2反応管41が設けられた側の反対側の表面へ電子を導電し、酸化物イオンと電子を混合して導電することで実質的に第2反応管41が設けられた側の反対側における捕集基板40の表面から、第2反応管41が設けられた側の表面へ酸素を透過することができる。
酸素透過性材料あるいは酸化物イオン−電子混合導電性材料としては、例えば、安定化ジルコニア−金属複合材料、多孔質材料、ペロブスカイト形酸化物を用いることができる。
上記の構成のるつぼ42の内部には、第1ガリウム含有率の第1固体ガリウム化合物の混合物が収容される。
第2反応管41に電圧を印加して酸素ポンプとして機能させ、第2反応管41の上端近傍における内部に存在していた酸素を除去して還元雰囲気とし、ヒーター18により所定の温度に加熱することで、第1固体ガリウム化合物の混合物中の第1固体ガリウム化合物が還元されて気体ガリウム化合物が生成される。るつぼ42の内部を蒸発部30と称する。
例えば、本実施形態によりある程度の濃度にまでガリウム化合物を濃縮し、得られた生成物について、特許文献1〜3の方法でさらに濃縮することも可能である。
上記の本実施形態においては、ガリウム化合物を濃縮する方法及び装置について説明したが、ガリウム化合物に限らず、第1実施形態と同様に、インジウム、ゲルマニウム、テルル、及びセシウムの各化合物に適用可能である。
図3に示す金属化合物の濃縮装置と同様に、例えば、第1反応管10bの内部において、平板状の捕集基板40上に、下部に開口部が設けられた第2反応管41が、該開口部を捕集基板40の表面で塞ぐように配置して設けられている。第1反応管10bの内部における捕集基板40の下部に、内部に第1ガリウム含有率の第1固体ガリウム化合物の混合物が収容されたるつぼ42が設けられている。第1反応管10bの上部開口部が上部栓11で塞がれており、上部栓11を貫通する上部ガラス管12が設けられ、下部開口部が下部栓13で塞がれており、下部栓13を貫通する下部ガラス管14が設けられている。
例えば、第2反応管41は、電圧が印加されると内部を酸化物イオンが導電される材料で構成される。外部直流電源Bの正極を第2反応管41の内部表面に、負極を第2反応管41の外部表面に接続して電圧が印加されると、第2反応管41は酸素ポンプとして機能し、第2反応管41の上端近傍における外部に存在していた酸素が酸化物イオンとなって第2反応管41の外部表面から内部表面へ導電され、第2反応管41の上端近傍における内部表面で酸素となり、第2反応管41の上端近傍における内部へ酸素が導入される。第2反応管41と捕集基板40で囲われた空間において、酸素が捕集基板40側へと移送される。
例えば、捕集基板40は酸素透過性材料で構成され、第2反応管41が設けられた側における捕集基板40の表面から、第2反応管41が設けられた側の反対側の表面へ酸素を透過する。あるいは、捕集基板40は酸化物イオン−電子混合導電性材料で構成され、第2反応管41が設けられた側における捕集基板40の表面から第2反応管41が設けられた側の反対側の表面へ酸化物イオンを導電し、逆方向に電子を導電し、酸化物イオンと電子を混合して導電することで実質的に酸素を透過することができる。
上部ガラス管12から第1反応管10b内に窒素(N2)などのキャリアガスと気体の水(H2O)の混合ガスG11を流入し、ヒーター18により所定の温度に加熱することで、蒸発部30であるるつぼ42内の第1固体ガリウム化合物の混合物中の第1固体ガリウム化合物が還元されて気体ガリウム化合物が生成され、気体ガリウム化合物を含有するガスG12が捕集基板40の表面へと移送され、酸素ポンプとして機能する第2反応管41と、捕集基板40を透過した酸素により捕集基板40の表面で酸化されて第2固体ガリウム化合物が生成され、生成された第2固体ガリウム化合物が第1ガリウム含有率より高い第2ガリウム含有率で捕集部31である捕集基板40の表面に捕集される。未反応成分を含む排ガスG13が下部ガラス管14から排出される。
上記を除いては、図3に示す金属化合物の濃縮装置と同様である。
図3に示す金属化合物の濃縮装置において、捕集基板の第2反応管41が設けられた側の反対側の表面に、上部に開口部が設けられた第3反応管43が、該開口部を捕集基板40の表面で塞ぐように配置して設けられている。
第2反応管41と第3反応管43と同様に、電圧が印加されると内部を酸化物イオンが導電される材料で構成される。
外部直流電源B1の正極を第2反応管41の外部表面に、負極を第2反応管41の内部表面に接続して電圧を印加することで、第2反応管41は酸素ポンプとして機能し、第2反応管41の上端近傍における内部から酸素が除去される。酸素を除去して還元雰囲気とし、ヒーター18により所定の温度に加熱することで、蒸発部30であるるつぼ42内の第1固体ガリウム化合物の混合物中の第1固体ガリウム化合物が還元されて気体ガリウム化合物が生成される。生成された気体ガリウム化合物を含有するガスG10が、気体ガリウム化合物の濃度差によって生じるガスの流れに乗って捕集基板40の表面へと移送される。
一方、外部直流電源B2の正極を第3反応管43の内部表面に、負極を第3反応管43の外部表面に接続して電圧を印加することで、第3反応管43は酸素ポンプとして機能し、第3反応管43の下端近傍における内部へと酸素が導入される。第3反応管43と捕集基板40で囲われた空間において、酸素が捕集基板40側へと移送され、さらに捕集基板40を透過する。上記の気体ガリウム化合物は、捕集基板40を透過した酸素により捕集基板40の表面で酸化されて第2固体ガリウム化合物が生成され、生成された第2固体ガリウム化合物が第1ガリウム含有率より高い第2ガリウム含有率で捕集部31である捕集基板40の表面に捕集される。
上記を除いては、図3に示す金属化合物の濃縮装置と同様である。
表1は、ガリウム化合物を含有する混合物である天然の鉱石Iの組成と、鉱石Iを模した模擬鉱石の酸化ガリウム(Ga2O3)を除く部分の組成を示す。
模擬鉱石の酸化ガリウム(Ga2O3)含有率は約1重量%であり、ガリウム(Ga)に換算すると0.74重量%である。また、鉱石Iのガリウム(Ga)含有率は50ppm(0.005重量%)である。
本実施例においては、第1実施形態に係るガリウム化合物の濃縮装置及び方法を用いて、上記の模擬鉱石を原料として、還元剤である活性炭を混合し、この混合粉末を縦型の3ゾーン式電気炉の中央部に、Al2O3焼結体を3ゾーン式電気炉の下部に設置した。3ゾーン式電気炉の上部から下部にN2ガスを流しながら、中央部を1150℃に、下部を800℃〜1150℃に加熱し、ガリウム化合物の濃縮を行った。
図6(a)は、第1ヒーターをオフ(加熱なし)、第2ヒーターを1150℃、第3ヒーターを900℃と設定したときの温度プロファイルである。
図6(b)は、第1ヒーターをオフ(加熱なし)、第2ヒーターを1150℃、第3ヒーターを1000℃と設定したときの温度プロファイルである。
横軸は1160eV〜1110eV領域の束縛エネルギーEを示し、縦軸は光電子の強度I(相対値)を示す。図中、Ga(2p1/2)とGa(2p3/2)に対応する束縛エネルギーを破線で示している。
ここで、第1ヒーターをオフ(加熱なし)、第2ヒーターを1150℃とし、第3ヒーターの設定温度は、a:800℃、b:850℃、c:900℃、d:950℃、e:1000℃、f:1050℃、g:1100℃、h:1150℃と設定した。
上記の温度は、熱力学的計算による上記の化学式(1)の反応においてGa2Oが生成される温度である900℃以上と整合性のある温度であった。
横軸は第3ヒーターの設定温度Tを示し、縦軸は各元素の含有率R(原子%)を示す。
第3ヒーターを1000℃にした時のAl2O3焼結体である捕集基板の表面におけるGa成分の濃度が最も高いことがわかる。
そこで、実際の鉱石Iを用いて第3ヒーターを1000℃にしてガリウム化合物の濃縮を行うと、Al2O3焼結体である捕集基板の表面における成分の濃度は、X線光電子分光法(XPS)により、O:65.6原子%,Al:18.9原子%,C:10.2原子%,Si:4.3原子%,Ga:1原子%,Ca:0.1原子%であった。
この分析結果に対するAl2O3焼結体からの寄与を除去すると、O:65.3重量%、C:13.4重量%,Si:13.2重量%、Ga:7.6重量%、Ca:0.4重量%となり、ガリウムの濃度は金属成分中の35.8重量%となった。
上記のように、本実施例において、濃縮前のガリウム化合物のガリウム含有率50ppm(0.005重量%)の鉱石Iに対して、35.8重量%までガリウム含有率を高めることができた。
図9(a)は本実施例に係る捕集基板の模式平面図である。
捕集基板として、イットリア安定化ジルコニア(YSZ)基板Saとアルミナ焼結体基板Sbをそれぞれ半円形板状に成型し、円板上に接合した基板を用い、ガリウム含有原料(SiO2:32%,Al2O3:12%,MgCO3:16%,CaCO3:12%,Fe2O3:8%,Ga2O3:20%)を原料とし、第1実施例と同様にして、中央部を1150℃に、下部を1000℃に加熱してガリウム化合物の濃縮を行い、捕集基板の相違によるガリウム化合物の濃縮に対する効果の差を調べた。
図9(b)はYSZからなる捕集基板上の捕集物のX線光電子分光スペクトル(XPS)である。
図9(c)はアルミナ焼結体からなる捕集基板上の捕集物のX線光電子分光スペクトル(XPS)である。
アルミナ焼結体からなる捕集基板の表面の捕集物のガリウム濃度は3.4原子%であったのに対して、YSZからなる捕集基板の表面の捕集物のガリウム濃度は9.8原子%であり、捕集基板としてアルミナ焼結体よりYSZを用いる方が、濃縮効果が高かった。これは、捕集基板から放出された酸素によってGa2Oが酸化されたためと考えられる。
捕集基板として、セリア−ジルコニア固溶体などの酸素吸蔵能を有する基板を用いた場合でも、上記と同様にガリウムの濃縮に対する効果が高くなった。
本実施例においては、第1実施形態に係るガリウム化合物の濃縮装置及び方法を用いて、ITO粉末に還元剤である活性炭を混合し、この混合粉末を縦型の3ゾーン式電気炉の中央部に、Al2O3焼結体を3ゾーン式電気炉の下部に設置した。3ゾーン式電気炉の上部から下部にN2ガスを流しながら、中央部を700℃に、下部を350℃に加熱し、インジウム化合物の濃縮を行った。
図10は本発明の第3実施例に係るX線光電子分光スペクトル(XPS)である。
図10において、酸素(O)は74.4原子%、炭素(C)は20.1原子%、シリコン(Si)は4.5重量%、インジウム(In)は1.0原子%で検出され、捕集物中にIn化合物が存在することが確認された。Snに対応するピークは検出されず、ITOからInを分離、回収できたことが確認された。上記において、シリコン(Si)の検出はガラスウールからの混入とみられる。
上記の温度は、熱力学的計算による上記の化学式(3)の反応においてIn2Oが生成される温度である700℃以上と整合性のある温度であった。
図11は比較例に係る装置の模式構成図である。
反応管110の上部開口部が上部栓111で塞がれており、反応管110の下部開口部が下部栓112で塞がれている。
反応管110の内部に、タンマン管120が設けられている。タンマン管120の上端は開口されて反応管110の内部の空間と連通している。また、タンマン管120の下端は閉じられている。
タンマン管120の内部に、タンマン管からなる基板台121が設けられている。基板台121上に、アルミナ基板などの捕集基板122が保持される。
上記の構成のタンマン管120の内部に固体ガリウム化合物の混合物が収容される。
反応管110の外周部に、反応管10の内部を加熱するヒーター150が設けられている。
ヒーター150により固体ガリウム化合物が加熱される。タンマン管120の内部を蒸発部130と称する。
横軸は1160eV〜1110eV領域の束縛エネルギーEを示し、縦軸は光電子の強度I(相対値)を示す。図中、Ga(2p3/2)に対応する束縛エネルギーを破線で示している。
また、鉱石Iの粉末についてもXPSを測定した。得られた結果を図12中bで示す。
また、図12中のbに示すように、鉱石Iの粉末のXPSにおいてGaに対応するピークが現れなかった。
例えば、ガリウム、インジウム、ゲルマニウム、テルル、セシウムの各金属の化合物の混合物は、鉱山から採掘される鉱石のほか、使用済み電子部品にも適用できる。
また、熱処理するためのヒーターは上記の実施形態においては3個に分離され、個々に温度制御できるヒーターを用いているが、1個のヒーターで処理を行ってもよく、また、3個以外の複数個のヒーターを用いる構成としてもよい。
本実施形態に示す化学反応式において酸素が消費されるが、これは上部ガラス管などから供給してもよく、また、反応管内に既存の成分を用いてもよい。
温度モニターは熱電対以外のモニター装置を用いてもよい。また、各ヒーターの温度制御は熱電対などからモニターした温度値をフィードバックして行ってもよい。
上記の実施形態においては還元剤として活性炭を用いたが、その他の還元剤を用いることも可能である。
本発明は、金属を第1金属含有率で含有する第1固体金属化合物の混合物中の第1固体金属化合物を還元することで気体金属化合物となり、得られた気体金属化合物を酸化して第2固体金属化合物となる化学反応が可能な金属元素の化合物に適用でき、具体的には、ガリウムの他に、インジウム、ゲルマニウム、テルル、及びセシウムの各化合物に適用可能である。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
Claims (9)
- ガリウム、インジウム、ゲルマニウム、テルル、及びセシウムからなる群から選択された金属を第1金属含有率で含有する第1固体金属化合物の混合物中の前記第1固体金属化合物を還元して気体金属化合物とする工程と、
前記気体金属化合物を酸化して第2固体金属化合物として該第2固体金属化合物を前記第1金属含有率より高い第2金属含有率で捕集する工程と
を有する金属化合物の濃縮方法。 - 前記第1固体金属化合物を還元して前記気体金属化合物とする工程を蒸発部で行い、
前記気体金属化合物を前記蒸発部から捕集部に移送する工程をさらに有し、
前記気体金属化合物を酸化して前記第2固体金属化合物とする工程を捕集部で行う
請求項1に記載の金属化合物の濃縮方法。 - 前記第1固体金属化合物を還元して前記気体金属化合物とする工程において、前記第1固体金属化合物と固体還元剤との混合物中、還元性ガス雰囲気中、または還元性ガス雰囲気における前記第1固体金属化合物と固体還元剤との混合物中で前記第1固体金属化合物を還元して前記気体金属化合物とする
請求項1または2に記載の金属化合物の濃縮方法。 - 前記第1固体金属化合物を還元して前記気体金属化合物とする工程において前記第1固体金属化合物の混合物を加熱する
請求項1〜3のいずれかに記載の金属化合物の濃縮方法。 - 前記金属がガリウムであり、
前記第1固体金属化合物を還元して前記気体金属化合物とする工程において前記第1固体金属化合物の混合物を900℃以上となるように加熱する
請求項4に記載の金属化合物の濃縮方法。 - 前記第1固体金属化合物を還元して前記気体金属化合物とする工程において前記第1固体金属化合物を還元して気体Ga2Oとし、
前記気体金属化合物を酸化して前記第2固体金属化合物とする工程において前記気体Ga2Oを酸化して固体Ga2O3とする
請求項5に記載の金属化合物の濃縮方法。 - 前記金属がインジウムであり、
前記第1固体金属化合物を還元して前記気体金属化合物とする工程において前記第1固体金属化合物の混合物を600℃以上となるように加熱する
請求項4に記載の金属化合物の濃縮方法。 - 前記第1固体金属化合物を還元して前記気体金属化合物とする工程において前記第1固体金属化合物を還元して気体In2Oとし、
前記気体金属化合物を酸化して前記第2固体金属化合物とする工程において前記気体In2Oを酸化して固体In2O3とする
請求項7に記載の金属化合物の濃縮方法。 - 反応管と、
前記反応管内に設けられており、ガリウム、インジウム、ゲルマニウム、テルル、及びセシウムからなる群から選択された金属を第1金属含有率で含有する第1固体金属化合物の混合物が収容され、加熱により前記第1固体金属化合物を還元して気体金属化合物を生成する蒸発部と、
前記反応管内に設けられており、前記気体金属化合物が移送され、前記気体金属化合物を酸化して第2固体金属化合物として該第2固体金属化合物を捕集基板に捕集する捕集部と、
前記蒸発部において前記第1固体金属化合物を還元して気体金属化合物とし、前記捕集部において前記気体金属化合物を酸化して前記第1金属含有率より高い第2金属含有率で前記第2固体金属化合物を捕集する温度プロファイルとなるように前記反応管の内部を加熱する、反応管の外周部に設けられたヒーターと
を有する金属化合物の濃縮装置。
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