JPWO2013179362A1 - 有機発光素子、有機el表示パネル、有機el表示装置、および塗布型デバイスと、これらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明者が、本発明の各態様に至った経緯について説明する。
本発明の一態様に係る有機発光素子では、基板と、基板の上方に形成された発光部と、発光部の構成中に含まれる有機層を基板の主面に沿った方向に区画するバンクと、を有する。当該態様に係る有機発光素子では、バンクにより区画された有機層は、平面視において、第1方向の長さが、これに直交する第2方向の長さに比べて長い面形状を有し、有機層の表面は、第2方向において、層厚方向の上方(上向き)に凸の形状を有し、かつ、第1方向において、層厚方向の下方(下向き)に凸の形状を有する、ことを特徴とすることができる。
画素サイズが1辺数百μm程度の微小な場合、あるいは厚さ数十〜数百nmの薄い厚みの層を形成する場合、乾燥中に、バンクの囲繞により構成される凹部内の中央部と端部における溶媒の蒸発速度の差が生じ、溶液が中央から端部へ対流しようとする力が働き、下方に突出する形状を備える傾向が強い。画素サイズが1辺数百μm以下の場合、上述のように薄い厚みの層を形成する条件を制御することで、上方に突出する形状を有する可能性がある。
本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置1の構成について、図1を用い説明する。
有機EL表示パネル10の構成について、図2および図3を用い説明する。図2は、有機EL表示パネル10の構成の一部を模式的に示す平面図であり、図3は、図2におけるA−A’断面を模式的に示す断面図である。
基板101は、例えば、無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、又はアルミナ等の絶縁性材料をベース材料として形成される。
陽極102は、Ag(銀)の他、APC(銀、パラジウム、銅の合金)、ARA(銀、ルビジウム、金の合金)、MoCr(モリブデンとクロムの合金)、NiCr(ニッケルとクロムの合金)等で形成されていても良い。
透明導電層103は、陽極102およびホール注入層104の間に介在し、各層間の接合性を良好にする機能を有する。
ホール注入層104は、金属酸化物、金属窒化物又、金属窒化物などホール注入機能を果たす材料、例えば、WOx(酸化タングステン)又はMoxWyOz(モリブデン−タングステン酸化物)で形成される。このホール注入層104は、バンク105の底面に沿って側方に延出している。
バンク105は、樹脂等の絶縁性を有する有機材料、例えば、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等で形成される。バンク105は、有機溶剤耐性を有することが望ましく、また、エッチング処理、ベーク処理等がされることがあるので、それらの処理に対して変形、変質などしにくい材料で形成することが好ましい。
発光層106は、RGB各発光色の有機発光材料(蛍光物質)からなる層(有機層)である。換言すると、有機EL素子においては、発光層106は機能層である。
電子注入層107は、陰極108から注入された電子を発光層106へ注入・輸送する機能を有し、例えば、バリウム、フタロシアニン、フッ化リチウム、あるいはこれらの組み合わせで形成されることが好ましい。
封止層109は、発光層106等が水分に晒されたり、空気に晒されたりすることを抑制する役割を有し、例えば、SiN(窒化シリコン)、SiON(酸窒化シリコン)等の材料で形成されている。
本実施の形態に係る有機EL表示パネル10が有する発光層106の層厚分布について、図4および図5を用い説明する。図4(a)は、図2のA−A’断面におけるホール注入層104、バンク105、および発光層106を模式的に抜き出して示す断面図であり、図4(b)は、図2のB−B’断面におけるホール注入層104、バンク105、および発光層106を模式的に抜き出して示す断面図である。図5は、発光層106における層厚が均一である領域を模式的に示す平面図である。
[数2]TC1<TE2
図4(a)に示すように、長軸方向(Y軸方向)での発光層106の表面FLは、Z軸方向の下向きに凸の形状を有する。
[数4]TC1>TE4
図4(b)に示すように、短軸方向(X軸方向)での発光層106の表面FSは、Z軸方向の上向きに凸の形状を有する。
有機EL表示装置1の製造方法のうち、有機EL表示パネル10の製造方法について、その特徴部分だけを図6を用い説明する。図6(a)から図6(d)は、上記有機EL表示パネル10の製造方法を説明する工程図である。
上記発光層106の形成方法について詳細に説明する。
以下、図9を参照しながら、この効果を詳細に説明する。
上記効果を確認するために以下のように実験を行った。
(1)上記実施の形態では、基板上に複数のEL素子を形成する際に、バンクの囲繞により構成される凹部内に発光層を形成する場合について示したが、電荷注入輸送層など、発光層以外の機能層をバンクの囲繞により構成される凹部内にウェットで形成する場合も、同様に実施することができ、同様の効果を奏する。
10.有機EL表示パネル
10a,10b,10c.サブピクセル
20.駆動・制御部
21〜24.駆動回路
25.制御回路
101.TFT基板
102.陽極
103.透明導電層
104.ホール注入層
105.バンク
105a,105b,105c.凹部
106.発光層
107.電子注入層
108.陰極
109.封止層
500.乾燥装置
501.乾燥室
502.排気管
503.真空ポンプ
504.バルブ
505.圧力計
506.コントローラ
507.支持部
1060.インク
Claims (16)
- 基板と、
基板の上方に形成された発光部と、
前記発光部の構成中に含まれる有機層を前記基板の主面に沿った方向に区画するバンクと、
を有し、
前記バンクにより区画された前記有機層は、平面視において、第1方向の長さが、これに直交する第2方向の長さに比べて長い面形状を有し、
前記有機層の表面は、前記第2方向において、層厚方向の上方に凸の形状を有し、かつ、前記第1方向において、層厚方向の下方に凸の形状を有する
ことを特徴とする有機発光素子。 - 前記有機層の表面は、前記第2方向において、中央部が端部側に比べて層厚方向上向きに突出し、前記第1方向において、端部側が中央部に比べて層厚方向上向きに突出する形状を備える、
請求項1記載の有機発光素子。 - 前記有機層は、前記バンクの囲繞により構成される凹部内に対して前記有機材料を含むインクを塗布し、これを乾燥させることにより形成されている、
請求項1記載の有機発光素子。 - 前記有機層は、前記第1方向の長さと前記第2方向の長さとの比が、3:1〜5:1の範囲内にある
請求項1記載の有機発光素子。 - 複数の画素が2次元配置され、
前記複数の画素の少なくとも一部の画素におけるサブ画素が、請求項1から請求項4の何れかに記載の素子構成を備える
ことを特徴とする有機EL表示パネル。 - 請求項5に記載の有機EL表示パネルを備える
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 凹部が形成されてなる基板と、
前記凹部に対してインクを塗布し、これを乾燥することにより形成された機能層と、
を有し、
前記機能層は、平面視において、第1方向の長さが、これに直交する第2方向の長さに比べて長い面形状を有し、
前記機能層の表面は、前記第2方向において、層厚方向の上方に凸の形状を有し、かつ、前記第1方向において、層厚方向の下方に凸の形状を有する
ことを特徴とする塗布型デバイス。 - 前記機能層は、前記第1方向の長さと前記第2方向の長さとの比が、3:1〜5:1の範囲内にある
請求項7記載の塗布型デバイス。 - 基板を準備し、
前記基板上に対し、その一部領域を囲繞するバンクを形成し、
前記バンクの囲繞により構成された凹部内に対して有機材料を含むインクを塗布して塗布膜を形成し、
前記塗布膜を乾燥させて、発光部の構成中に含まれる有機層を形成するものであって、
前記凹部内に形成される前記有機層は、平面視において、第1方向の長さが、これに直交する第2方向の長さに比べて長い面形状を有するようにし、
前記有機層の形成では、その表面が、前記第2方向において、層厚方向の上方に凸の形状であり、かつ、前記第1方向において、層厚方向の下方に凸の形状となるようにする
ことを特徴とする有機発光素子の製造方法。 - 乾燥前の前記塗布膜は、その表面が、前記第1方向および前記第2方向の両方向において、膜厚方向の上方に凸の形状である
請求項9記載の有機発光素子の製造方法。 - 前記有機層は、前記第1方向の長さと前記第2方向の長さとの比が、3:1〜5:1の範囲内にある
請求項9記載の有機発光素子の製造方法。 - 複数の画素が2次元配置されてなる有機EL表示パネルの製造方法であって、
前記複数の画素の少なくとも一部の画素におけるサブ画素の形成においては、請求項9から請求項11の何れかに記載の素子形成方法を採用する
ことを特徴とする有機EL表示パネルの製造方法。 - 複数の画素が2次元配置されてなる有機EL表示パネルと、当該有機EL表示パネルに接続される駆動・制御部とを備える有機EL表示装置の製造方法であって、
前記有機EL表示パネルの製造においては、請求項12に記載の製造方法を採用する
ことを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 - 凹部が形成されてなる基板を準備し、
前記凹部に対してインクを塗布し、
前記インクを乾燥させて機能層を形成するものであって、
前記凹部内に形成される前記機能層は、平面視において、第1方向の長さが、これに直交する第2方向の長さに比べて長い面形状を有するようにし、
前記機能層の形成では、その表面が、前記第2方向において、層厚方向の上方に凸の形状であり、かつ、前記第1方向において、層厚方向の下方に凸の形状となるようにする
ことを特徴とする塗布型デバイスの製造方法。 - 乾燥前の前記インクは、その膜表面が、前記第1方向および前記第2方向の両方向において、膜厚方向の上方に凸の形状である
請求項14記載の塗布型デバイスの製造方法。 - 前記機能層は、前記第1方向の長さと前記第2方向の長さとの比が、3:1〜5:1の範囲内にある
請求項14記載の塗布型デバイスの製造方法。
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JP6851923B2 (ja) * | 2016-11-01 | 2021-03-31 | 株式会社Joled | 有機el表示パネルの製造方法、及びインク乾燥装置 |
CN108346677B (zh) * | 2017-07-17 | 2019-03-12 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 像素结构及其制作方法 |
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KR20200071428A (ko) * | 2018-12-11 | 2020-06-19 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법 |
CN110137230B (zh) * | 2019-05-21 | 2021-02-23 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种oled显示面板及其制作方法 |
CN112349854A (zh) * | 2019-12-25 | 2021-02-09 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 显示器件及其制备方法和显示面板 |
US20210234132A1 (en) * | 2020-01-29 | 2021-07-29 | Sharp Kabushiki Kaisha | Shaped Filler Material In a QLED/OLED Pixel |
US11038150B1 (en) | 2020-01-30 | 2021-06-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | QLED/OLED pixel having reflective cavity electrode configuration |
US11152538B1 (en) | 2020-04-03 | 2021-10-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | High on-axis brightness and low color shift QD-LED pixel |
US11456443B2 (en) | 2020-12-01 | 2022-09-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | High on-axis brightness and low colour shift QD-LED pixel with equal layer thicknesses between colour pixels |
US11785819B2 (en) | 2021-04-01 | 2023-10-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Layers for improved extraction for transparent cathode emissive displays |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010267428A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Panasonic Corp | 機能膜形成方法および機能膜形成装置 |
WO2012049713A1 (ja) * | 2010-10-15 | 2012-04-19 | パナソニック株式会社 | 有機発光パネルとその製造方法、および有機表示装置 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05163488A (ja) | 1991-12-17 | 1993-06-29 | Konica Corp | 有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子 |
US5443922A (en) | 1991-11-07 | 1995-08-22 | Konica Corporation | Organic thin film electroluminescence element |
GB2391686B (en) * | 2002-07-31 | 2006-03-22 | Dainippon Printing Co Ltd | Electroluminescent display and process for producing the same |
JP4252297B2 (ja) * | 2002-12-12 | 2009-04-08 | 株式会社日立製作所 | 発光素子およびこの発光素子を用いた表示装置 |
JP2006223954A (ja) | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、有機el装置の製造方法 |
JP4415971B2 (ja) * | 2006-05-10 | 2010-02-17 | カシオ計算機株式会社 | 表示装置及びその製造方法 |
JP2008218253A (ja) | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法、乾燥装置 |
EP2270896B1 (en) * | 2008-02-28 | 2014-12-24 | Panasonic Corporation | Organic el display panel |
WO2010016199A1 (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-11 | パナソニック株式会社 | 照明用レンズおよびそれを用いた発光装置、面光源、液晶ディスプレイ装置 |
JP2010080268A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Seiko Epson Corp | 有機el装置及び電子機器 |
KR20110126594A (ko) | 2009-02-10 | 2011-11-23 | 파나소닉 주식회사 | 발광 소자, 발광 소자를 구비한 발광 장치 및 발광 소자의 제조 방법 |
WO2010143360A1 (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-16 | パナソニック株式会社 | 有機elディスプレイ |
JP2011009017A (ja) * | 2009-06-24 | 2011-01-13 | Panasonic Corp | 有機elディスプレイパネル |
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WO2012025954A1 (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-01 | パナソニック株式会社 | 有機発光素子とその製造方法、および有機表示パネルと有機表示装置 |
JP5276222B2 (ja) * | 2010-08-25 | 2013-08-28 | パナソニック株式会社 | 有機発光素子とその製造方法、および有機表示パネルと有機表示装置 |
WO2012049718A1 (ja) * | 2010-10-15 | 2012-04-19 | パナソニック株式会社 | 有機発光パネルとその製造方法、および有機表示装置 |
US9153782B2 (en) | 2011-01-19 | 2015-10-06 | Joled Inc. | Method for producing organic light-emitting element, organic display panel, organic light-emitting device, method for forming functional layer, ink, substrate, organic light-emitting element, organic display device, and inkjet device |
KR101830301B1 (ko) * | 2011-10-24 | 2018-02-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
KR20140120683A (ko) * | 2013-04-04 | 2014-10-14 | 서울반도체 주식회사 | 면 조명용 렌즈 및 발광 모듈 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010267428A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Panasonic Corp | 機能膜形成方法および機能膜形成装置 |
WO2012049713A1 (ja) * | 2010-10-15 | 2012-04-19 | パナソニック株式会社 | 有機発光パネルとその製造方法、および有機表示装置 |
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